WO2005059197A2 - Verfahren und vorrichtung zum magnetronsputtern - Google Patents

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Definitions

  • the invention relates to a method and a device for magnetron sputtering. These techniques are used to deposit functional and finishing layers. Magnetron sputtering techniques are already being used on a large scale, for example for the coating of architectural glass, in industrial production.
  • coating processes in which the coating is composed of several chemical elements.
  • An example is titanium dioxide.
  • the metallic component is often provided by sputtering a metallic target.
  • the further layer component is introduced into the process chamber in gaseous form.
  • reactive coating processes high coating rates and optimum coating quality can only be achieved if the process is operated in the range of unstable operating points.
  • This so-called transition mode is characterized by the fact that the reactive gas supply on the one hand is large enough to provide a sufficient amount of reactive gas for the layer deposition. On the other hand, however, the amount of reactive gas supplied is so low that contamination of the sputtering target with reactive gas is avoided. Consistent quality and reproducibility of the coating require the operation of the magnetron sputtering system with the help of complex control loops, especially at these unstable operating points.
  • Magnetron sputter sources can be influenced according to the prior art by the supplied electric power or the reactive gas flow.
  • the necessary control signal can be obtained by measuring various parameters. For example, in EP 1 232 293 B1, it is proposed to use the harmonic content of the electrical parameters of the discharge as a controlled variable.
  • the deposition rate of a magnetron sputtering source operated in the unstable transition region is not absolutely known. Therefore, the layer thicknesses of the produced layers on the substrate after deposition must be determined. In the first place For this purpose optical measurements such as photometry or ellipso etrie used.
  • the coating of steel strip substrates or architectural glass in a continuous process is carried out on an industrial scale.
  • Such coating machines have a large number of magnetron sputtering sources. Typical are twenty to about thirty sources, but there are also plants with up to sixty magnetron sputtering in use. Decisive for industrial production is the interaction of all these individual sputtering sources, with multiple sources often depositing one and the same material. It is only possible by very great effort that all sources provide identical results in terms of layer properties, coating rate and homogeneity.
  • the invention is therefore based on the object of specifying a sputter source, which allows the deposition of layers with defined properties and with defined coating rates without control of the deposited layer and without complicated control loops. Furthermore, the object is to provide a sputtering source, which has a higher coating rate for high-index materials such as titanium dioxide compared to the prior art.
  • the magnetron coating apparatus consists of a first coating source, an auxiliary substrate, which is arranged between this first coating source and the region which is provided for receiving the substrate to be coated, such as a magnetron. Means are provided for determining the mass occupation of this auxiliary substrate and the auxiliary substrate forms a cathode for said magnetron.
  • a layer having a known deposition rate is therefore first deposited on an auxiliary substrate by means of the first coating source.
  • This auxiliary substrate now serves as a sputtering cathode for coating the substrate by means of the magnetron.
  • the material of the auxiliary substrate can be removed, but also the material of the auxiliary substrate itself. Both Materials in this case, optionally together with a gaseous component, form the final layer on the substrate.
  • the mass occupancy of the substrate from the mass balance of Hilfsssufcistrats can be determined.
  • the first coating source e.g. a planar magnetron, a linear ⁇ zone source that sputters a target, or xenon or krypton, a linear source based on the principle of laser ablation, or a linear source of vaporization.
  • the auxiliary substrate is designed as a rotating, cylindrical body.
  • those surfaces which face the first coating source can be continuously provided with a coating while at the same time those surface elements facing the substrate are continuously available as sputtering cathode for coating the substrate.
  • the auxiliary substrate is therefore part of a rod cathode magnetron.
  • the zylinderför auxiliary support may be hollow indoors and thus tubular or run as a solid rod.
  • the first coating source is a planar magnetron.
  • this first magnetron is operated in a pure inert gas atmosphere.
  • the coating rate can be determined absolutely from the known sputtering rate as well as from the electrical discharge parameters. If now the second magnetron is operated with reactive gas or a mixture of inert and reactive gas, the coating rate of the substrate can only be insufficiently quantified at this point due to the constantly variable reactive gas partial pressure. After the determination of the mass coverage on the auxiliary substrate, however, the coating rate of the substrate from the mass balance of the auxiliary substrate can be determined absolutely.
  • the first coating source may be disposed in a shield to prevent the penetration of reactive gas components that would contaminate the coating source.
  • the mass occupation of the auxiliary substrate is determined by means of X-ray fluorine essence. Overall, in this way, the coating rate of the substrate can be determined with an error of less than 0.1%.
  • argon is suitable as the inert gas for the operation of the first magnetron. This is available without great technical effort and cost.
  • argon has a high ionization potential as a noble gas and remains inert even at high temperatures.
  • the reactive gas is in particular nitrogen and / or oxygen and / or methane.
  • nitrides, oxides or carbides can be deposited as a thin layer on the substrate.
  • a metal layer deposited on the auxiliary substrate of less than 100 nanometers, particularly preferably a layer of less than 10 nanometers, is suitable as the metallic target.
  • S. Berg, J. Vac. Be. Technol. A 10 (1992), pp. 1592-1596 it is known that the Sputter rate of materials with implanted heavy atoms compared to the sputtering rate of the pure material has a significant increase.
  • high deposition rates can be achieved with the magnetron coating system according to the invention even in operating states outside the transition mode.
  • the device of the invention allows the coating rate to be increased by more than 50%.
  • the metal layer deposited by means of the first magnetron has a larger mass number than the average mass number of the material of the auxiliary substrate.
  • the sputtering rate of a 2 nm-thick layer of tungsten on an auxiliary substrate made of aluminum is up to a factor of 3 greater than the sputtering rate of a homogeneous tungsten target.
  • the second magnetron can, as known from the prior art, be operated as a single magnetron with DC voltage or with pulsed DC voltage.
  • the device according to the invention is operated as a double magnetron with an alternating voltage of about 10 kHz to about 100 kHz. Particularly advantageous is the operation with a frequency of 40 kHz.
  • two of the arrangements shown in Figure 1 are connected to the poles of an AC voltage source.
  • each auxiliary substrate is alternately switched as an anode and a cathode. Due to the alternating electron bombardment of the auxiliary substrates, an effective unification of the surfaces of the auxiliary substrates takes place. This increases the process stability as desired.
  • the magnetron coating system according to the invention thus for the first time offers the possibility of monitoring the achievement of a predetermined layer thickness in a simple manner with the aid of the built-in measuring technique.
  • large in-line sputtering systems can be realized with a variety of coating stations, which were not manageable with the previously available control methods and optical diagnostic systems.
  • FIG. 1 shows the schematic structure of a Magnentron coating module according to the present invention.
  • the figure shows in its central part a cylindrical auxiliary substrate 2, which rotates about its longitudinal axis.
  • This substrate may be architectural glass, for example.
  • the substrate 1 is moved below the coating system.
  • a voltage applied to the auxiliary substrate 2 voltage is ignited in the region 3 between the auxiliary substrate 2 and the substrate 1 Pla sma.
  • the auxiliary substrate thus forms a rod cathode, from which material is sputtered, which coats the substrate 1 connected as an anode.
  • area 3 there is a mixture of inert and reactive gas, which allows the deposition of a more component layer.
  • a planar magnetron 5 On the opposite side of the auxiliary substrate 2 is a planar magnetron 5 in a shield 4.
  • the auxiliary substrate 2 is connected as an anode, which is coated in the plasma region 7 with material of the planar sputter cathode 5.
  • the gas phase in region 7 contains only inert gas, so that the deposition rate in region 7 can be determined from the known sputtering rates and the electrical parameters.
  • the coating rate on the substrate 1 results from the mass balance on the auxiliary substrate 2.
  • the mass occupation after the sputtering process in area 3 is still required for this purpose.
  • the device 6 contains an X-ray source for irradiating the auxiliary substrate 2 and a photodetector for determining the reflected from the auxiliary substrate X-ray.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Magnetronbeschichtungsanlage, bestehend aus einer ersten Beschichtungsquelle, einem Hilfssubstrat, einem Magnetron sowie Mitteln zur Bestimmung der Massenbelegung des Hilfssubstrates. Das Hilfssubstrat ist dabei zwischen der ersten Beschichtungsquelle und dem Bereich, welcher zur Aufnahme des zu beschichteten Substrates vorgesehen ist angeordnet und bildet eine Kathode für das Magnetron. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten, bei welchem mittels einer ersten Beschichtungsquelle eine Schicht auf ein Hilfssubstrat abgeschieden wird und dieses Hilfssubstrat als Kathode zur Beschichtung eines Substrates mittels eines Magnetrons verwendet und die Massenbelegung des Hilfssubstrates bestimmt wird.

Description

Verf hren und Vorrichtung zum Magnetronsputtern
Anmelderin : Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Magnetronsputtern. Diese Techniken werden zur Abscheidung von Funktions- und Veredelungsschichten verwendet. Magnetronsputtertechniken werden bereits in großem Maßstab, beispielsweise für die Beschichtung von Architekturglas, in der industriellen Fertigung eingesetzt.
Von besonderer technischer Bedeutung sind Beschichtungsprozesse, bei welchen die Beschichtung aus mehreren chemischen Elementen zusammengesetzt ist. Als Beispiel sei Titandioxid genannt. Bei solchen Beschichtungsprozessen wird oftmals die metallische Komponente durch Zerstäuben eines metallischen Targets bereitgestellt. Die weitere Schichtkomponente wird gasförmig in die Prozesskammer eingeleitet. Bei diesen sogenannten reaktiven Beschichtungsprozessen können hohe Beschichtungsraten und optimale Schichtqualität nur dann erreicht werden, wenn der Prozess im Bereich instabiler Arbeitspunkte betrieben wird. Dieser sogenannte Transition Mode zeichnet sich dadurch aus, dass die Reaktivgaszufuhr einerseits groß genug ist um eine ausreichende Menge an Reaktivgas für die Schichtabscheidung bereit zu stellen. Andererseits ist die zugeführte Menge an Reaktivgas jedoch so gering, dass eine Kontamination des Sputtertargets mit Reaktivgas vermieden wird. Gleichbleibende Qualität und Reproduzierbarkeit der Beschichtung setzen gerade bei diesen instabilen Arbeitspunkten den Betrieb der Magnetronsputteranlage mit Hilfe komplexer Regelschleifen voraus .
Magnetronsputterquellen lassen sich nach dem Stand der Technik durch die zugeführte elektrische Leistung oder den Reaktivgasfluss beeinflussen. Das notwendige Regelsignal kann durch Messung verschiedener Parameter erhalten werden. So wird beispielsweise in der EP 1 232 293 Bl vorgeschlagen, den Oberwellenanteil der elektrischen Parameter der Entladung als Regelgröße zu verwenden.
Aus der EP 0 795 623 AI ist bekannt, den Partialdruck von Reaktivgasen mit geeigneten Sonden zu bestimmen. So kann beispielsweise der mit einer La da-Sonde gemessene
Saue stoffpartialdruck als Regelgröße verwendet werden. Aus
J. Affinito et al., J. Vac. Sei. Technol. A 2 (1984), S.
1275-1284 ist bekannt, eine Magnetronsputterquelle durch Messung der Plasmaimpedanz zu regeln. Die Dissertation von
J. Strumpfel, „Prozessstabilisierung beim reaktiven
Hochratenzerstäuben mittels optischer Emissionsspektroskopie zur industriellen Herstellung von Indium-Zinn-Oxidschichten und Titandioxidschichten", Chemnitz 1991, beschreibt als weitere Möglichkeit die Messung der Intensität ausgewählter
Spektrallinien des Plasmas der Magnetronsputterquellen.
Weiterhin ist die Abscheiderate einer Magnetronsputterquelle, welche im instabilen Übergangsbereich betrieben wird, nicht absolut bekannt. Daher müssen die Schichtdicken der hergestellten Schichten auf dem Substrat nach der Abscheidung bestimmt werden. In erster Linie werden hierzu optische Messungen wie Fotometrie oder Ellipso etrie verwendet .
Um eine gleichbleibende Schichtqualität, einen gleichbleibenden Schichtaufbau und eine gleichbleibende Schichtdicke zu gewährleisten, ist der beschriebene apparative Aufwand für jede einzelne Sputterquelle einer Beschichtungsanlage, notwendig. Hieraus resultieren zum einen hohe Kosten in Anschaffung und Betrieb der Beschichtungsanlage als auch eine große Störanfälligkeit. Dies gilt insbesondere für große In-linesysteme.
In solchen In-linesystemen wird die Beschichtung von Stahlbandsubstraten oder Architekturglas im Durchlaufverfahren großtechnisch durchgeführt. Solche Beschichtungs- anlagen verfügen über eine große Anzahl von Magnetron- Sputterquellen. Typisch sind hierbei zwanzig bis etwa dreißig Quellen, es sind jedoch auch Anlagen mit bis zu sechzig Magnetron-Sputterquellen im Einsatz. Entscheidend für die industrielle Fertigung ist dabei das Zusammenspiel all dieser einzelnen Sputterquellen, wobei häufig mehrere Quellen ein und das selbe Material abscheiden. Nur durch sehr großen Aufwand ist es dabei möglich, dass alle Quellen im Hinblick auf Schichteigenschaften, Beschichtungsrate und Homogenität identische Ergebnisse liefern.
Eine optische Messung der Schichteigenschaften nach jeder Sputterquelle erweist sich als außerordentlich schwierig. Neben hohen Kosten macht insbesondere die hohe Störanfälligkeit dieses Gesamtsystems, welches eine Vielzahl optischer Messsysteme aufweist, solche Verfahren in der Praxis nicht anwendbar. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Sputterquelle anzugeben, welche ohne Kontrolle der abgeschiedenen Schicht und ohne aufwändige Regelschleifen die Abscheidung von Schichten mit definierten Eigenschaften und mit definierten Beschichtungsraten ermöglicht. Weiterhin besteht die Aufgabe darin, eine Sputterquelle anzugeben, welche für hochbrechende Materialien wie Titandioxid eine im Vergleich zum Stand der Technik erhöhte Beschichtungsrate aufweist.
Die Aufgabe wird gelöst durch eine Magnetronbeschichtungsanlage gemäß dem unabhängigen Anspruch eins und einem Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten gemäß dem unabhängigen Anspruch sieben. Bevorzugte Ausgestaltungen finden sich in den jeweiligen Unteransprüchen.
Die erfindungsgemäße Magnetronbeschichtungsanlage besteht aus einer ersten Beschichtungsquelle, einem Hilfssubstrat, welches zwischen dieser ersten Beschichtungsquelle und dem Bereich, welcher zur Aufnahme des zu beschichtenden Substrates vorgesehen ist, angeordnet ist, so wie einem Magnetron. Dabei sind Mittel zur Bestimmung der Massenbelegung dieses Hilfssubstrates vorgesehen und das Hilfssubstrat bildet eine Kathode für das genannte Magnetron.
Zur Abscheidung einer Schicht auf einen Substrat wird demnach zunächst mittels der ersten Beschichtungsquelle eine Schicht mit bekannter Abscheiderate auf ein Hilfssubstrat abgeschieden. Dieses Hilfssubstrat dient nun als Sputterkathode zur Beschichtung des Substrates mittels des Magnetrons. Dabei kann selbstverständlich nicht nur die auf das Hilfssubstrat abgeschiedene Schicht abgetragen werden, sondern auch das Material des Hilfssubstrates selbst. Beide Materialien bilden in diesem Fall, gegebenenfalls zusammen mit einer gasförmig zugeführten Komponente, die endgültige Schicht auf dem Substrat.
Nach der Best iranung der Massenbelegung des Hilfssubstrates kann die Massenbelegung des Substrates aus der Massenbilanz des Hilfssufcistrats bestimmt werden. Als erste Beschichtungsquelle eignet sich z.B. ein planares Magnetron, eine lineare ∑onenquelle, welche ein Target zerstäubt oder Xenon oder Krypton implantiert, eine Linearquelle, die auf dem Prinzip der Laser-Ablation aufbaut oder eine lineare Verdampfungsquelle .
Vorzugsweise ist das Hilfssubstrat als rotierender, zylindrischer Körper ausgeführt. Somit können diejenigen Flächen, welche der ersten Beschichtungsquelle zugewandt sind kontinuierlich mit einer Beschichtung versehen werden während gleichzeitig diejenigen Flächenelemente, welche dem Substrat zugewandt sind, kontinuierlich als Sputterkathode zur Beschichtung des Substrates zur Verfügung stehen. Das Hilfssubstrat ist demnach Bestandteil eines Stabkathoden- magnetrons . Das zylinderför ige Hilfssubstrat kann im Innenbereich hohl sein und damit rohrförmig oder aber als massiver Stab ausgeführt werden. Durch die Rotation des Hilfssubstrates wird das vom ersten Magnetron abgesputterte Material kontinuierlich zum Substrat transportiert und dort abgeschieden.
In einer besonders vorteilhaften Ausführung handelt es sich bei der ersten Beschichtungsquelle um ein planares Magnetron. Dabei wird dieses erste Magnetron in einer reinen Schutzgasatmosphäre betrieben. Somit kann die Beschich- tungsrate aus der bekannten Sputterrate sowie aus den elektrischen Entladungsparametern absolut bestimmt werden. Wird nun das zweite Magnetron mit Reaktivgas oder einer Mischung aus Inert- und Reaktivgas betrieben, so kann die Beschichtungsrate des Substrates aufgrund des stets veränderlichen Reaktivgaspartialdrucks an dieser Stelle nur unzureichend quantifiziert werden. Nach der Bestimmung der Massenbelegung am Hilfssubstrat kann jedoch die Beschichtungsrate des Substrates aus der Massenbilanz des Hilfssubstrates absolut bestimmt werden.
Fallweise kann die erste Beschichtungsquelle in einer Abschirmung angeordnet sein, um das Eindringen von Reaktivgaskomponenten, welche die Beschichtungsquelle verunreinigen würden, zu verhindern.
Vorteilhaft wird die Massenbelegung des Hilfssubstrates mittel Röntgenfloressenz bestimmt. Insgesamt kann auf diese Weise die Beschichtungsrate des Substrates mit einem Fehler von weniger als 0.1% bestimmt werden.
Als Inertgas zum Betrieb des ersten Magnetrons eignet sich insbesondere Argon. Dieses ist ohne großen technischen Aufwand und kostengünstig verfügbar. Darüber hinaus weist Argon als Edelgas ein hohes Ionisierungspotential auf und bleibt auch bei hohen Temperaturen inert. Als Reaktivgas eignet sich insbesondere Stickstoff und/oder Sauerstoff und/oder Methan. Damit lassen sich in Verbindung mit einen metallischen Sputtertarget Nitride, Oxide oder Karbide als dünne Schicht auf dem Substrat abscheiden.
Als metallisches Target eignet sich insbesondere eine auf dem Hilfssubstrat abgeschiedene Metallschicht von weniger als 100 Nanometern, besonders bevorzugt eine Schicht von weniger als 10 Nanometer dicke. Aus S. Berg, J. Vac. Sei. Technol. A 10 (1992), S. 1592-1596 ist bekannt, dass die Sputterrate von Materialien mit implantierten Schweratomen im Vergleich zur Sputterrate des reinen Materials eine deutliche Überhöhung aufweist. Somit können mit der erfindungsgemäßen Magnetron-Beschichtungsanlage auch bei Betriebszuständen außerhalb des Transition Modes hohe Abscheideraten erzielt werden. Für Materialien mit hohen Brechungsindex, wie z.B. Titandioxid, erlaubt die erfindungsgemäße Vorrichtung die Beschichtungsrate um mehr als 50% zu steigern.
Eine besonders hohe Steigerung der Beschichtungsrate ergibt sich demnach dann, wenn die mittels des ersten Magnetrons abgeschiedene Metallschicht eine größere Massenzahl aufweist, als die durchschnittliche Massenzahl des Materials des Hilfssubstrates. So ist beispielsweise die Sputterrate einer 2 nm dicken Schicht Wolfram auf einem Hilfssubstrat aus Aluminium bis zu einem Faktor 3 größer als die Sputterrate eines homogenen Wolframtargets .
Das zweite Magnetron kann, wie aus dem Stand der Technik bekannt, als Einzelmagnetron mit Gleichspannung oder mit gepulster Gleichspannung betrieben werden. Vorteilhafterweise wird jedoch die erfindungsgemäße Vorrichtung als Doppelmagnetron mit einer Wechselspannung von etwa 10 kHz bis etwa 100 kHz betrieben. Besonders vorteilhaft ist der Betrieb mit einer Frequenz von 40 kHz. Beim Betrieb als Doppelmagnetron werden zwei der in Figur 1 gezeigten Anordnungen mit den Polen einer Wechselspannungsquelle verbunden. Damit wird jedes Hilfssubstrat abwechselnd als Anode und Kathode geschaltet. Durch den abwechselnden Elektronenbeschuss der Hilfssubstrate erfolgt eine effektive Einigung der Oberflächen der Hilfssubstrate. Dies vergrößert wunschgemäß die Prozessstabilität. Weiterhin führt der Betrieb von mindestens zwei Hilfssubstraten als
Doppelmagnetron zu einer größeren Plasmadichte und damit wunschgemäß zu verbesserten Schichteigenschaften .
Die erfindungsgemäße Magnetronbeschichtungsanlage bietet somit erstmals die Möglichkeit , mit Hilfe der eingebauten Messtechnik das Erreichen einer vorgegebenen Schichtdicke auf einfachem Wege zu überwachen . Mit Hilfe dieser Technologie können auch große In-line Sputveranlagen mit einer Vielzahl von Beschichtungsstationen realisiert werden, welche mit den bisher verfügbaren Regelungsverfahren und optischen Diagnosesystemen nicht handhabbar waren .
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer Figur beispielhaft erläutert .
Figur 1 zeigt den schematischen Aufbau eines Magnentron- beschichtungsmoduls gemäß der vorliegenden Erfindung .
Die Figur zeigt in ihrem zentralen Teil ein zylindrisches Hilfssubstrat 2 , welches um seine Längsachse rotiert . Unterhalb des zylindrischen Hilfssubstrates ist das zu beschichtende Substrat 1 angeordnet . Bei diesem Substrat kann es sich beispielsweise um Architekturglas handeln . Das Substrat 1 wird unterhalb der Beschichtungsanlage hindurch bewegt . Durch eine an das Hilfssubstrat 2 angelegte Spannung wird im Bereich 3 zwischen dem Hilfssubstrat 2 und dem Substrat 1 Pla sma gezündet . Das Hilfssubstrat bildet somit eine Stabkathode , von welcher Material abgesputtert wird, welches das als Anode geschaltete Substrat 1 beschichtet . Im Bereich 3 befindet sich eine Mischung aus Inert- und Reaktivgas , we lche die Abscheidung einer mehr komponent igen Schicht erlaubt . Auf der entgegengesetzten Seite des Hilfssubstrates 2 befindet sich ein planares Magnetron 5 in einer Abschirmung 4. In diesem Fall ist das Hilfssubstrat 2 als Anode geschaltet, welche im Plasmabereich 7 mit Material der planaren Sputterkathode 5 beschichtet wird. Die Gasphase im Bereich 7 enthält ausschließlich Inertgas, so dass die Abscheiderate im Bereich 7 aus den bekannten Sputterraten und den elektrischen Parametern bestimmbar ist. Die Beschichtungsrate auf dem Substrat 1 ergibt sich aus der Massenbilanz am Hilfssubstrat 2. Neben der bekannten Beschichtungsrate im Bereich 7 wird hierzu noch die Massenbelegung nach dem Sputterprozess im Bereich 3 benötigt. Hierzu befindet sich eine Einrichtung zur Bestimmung der Röntgenfloressenz 6 hinter der Plasmazone 3. Die Einrichtung 6 enthält dabei eine Röntgenquelle zur Bestrahlung des Hilfssubstrates 2 und einen Fotodetektor zur Bestimmung der vom Hilfssubstrat reflektierten Röntgenstrahlung.

Claims

Patentansprüche
1 . Magnetron-Beschichtungsanlage , bestehend aus • einer ersten Beschichtungsquelle ( 5 ) • einem Hilfssubstrat (2) , angeordnet zwischen dieser ersten Beschichtungsquelle und dem Bereich, welcher zur Aufnahme des zu beschichtenden Substrates (1) vorgesehen ist • ein Magnetron (3) , wobei das Hilfssubstrat (2) eine Kathode für dieses Magnetron bildet • Mittel zur Bestimmung der Massenbelegung (6) des Hilfssubstrates (2).
2. Magnetron-Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Hilfssubstrat zylinderförmig ausgebildet und das Magnetron ein Stabkathodenmagnetron ist .
3. Magnetronbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Beschichtungsquelle ein planares Magnetron ist.
4. Magnetronbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Beschichtungsquelle eine Abschirmung (4) aufweist.
5. Magnetronbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Bestimmung der Massenbelegung (6) eine Einrichtung zur Bestimmung der Röntgenfloureszenz enthalten.
6. Magnetronbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetron (2,3) mehrere Kathoden aufweist, welche jeweils ein Hilfssubstrat (2) enthalten.
7. Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten, bei welchem mittels einer ersten Beschichtungsquelle eine Schicht auf ein Hilfssubstrat abgeschieden und dieses Hilfssubstrat als Kathode zur Beschichtung eines Substrates mittels eines Magnetrons verwendet und die Massenbelegung des Hilfssubstrates bestimmt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die abgeschiedene Schichtdicke auf dem Hilfssubstrat weniger als 100 nm beträgt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die abgeschiedene Schichtdicke auf dem Hilfssubstrat weniger als 10 nm beträgt.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die abgeschieden Schicht eine Metallschicht ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht überwiegend aus einem Element besteht, welches eine größere Massenzahl aufweist als die durchschnittliche Massenzahl des Materials des Hilfssubstrates .
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Betrieb des ersten Magnetrons mit Inertgas und der Betrieb des zweiten Magnetrons mit Inert- und/oder Reaktivgas erfolgt.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Inertgas Argon enthält und/oder das Reaktivgas Stickstoff und/oder Sauerstoff und/oder Methan enthält.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Massenbelegung auf dem Hilfstarget bestimmt wird, nachdem dieses als Kathode zur Beschichtung eines Substrates mittels eines zweiten Magnetrons verwendet wurde.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Massenbelegung des Hilfstargets mittels Röntgenfloureszenz bestimmt wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetron (2,3) mit Gleichspannung oder gepulster Gleichspannung betrieben wird.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetron (2,3) als mehrere Kathoden aufweisendes Magnetron mit einer Frequenz von etwa 10 kHz bis etwa 100 kHz betrieben wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Substrat eine Schicht abgeschieden wird, welche Titandioxid enthält.
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