WO2005058562A1 - Schneidevorrichtung und steuerung der schneidevorrichtung - Google Patents

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Definitions

  • the invention relates to a cutting device for a bonding machine with a cutting knife for severing a bonding wire, the cutting knife being directly or indirectly movably attached to a main movement device of a bonding machine in the vertical feed direction.
  • the invention further relates to a method for controlling the cutting movement of a cutting knife in bonding machines for at least partially cutting a bonding wire.
  • Cutting devices in bonding machines are known and are used for at least partially severing a bonding wire. It is known to provide cutting knives with separate drives in order to be able to move a cutting knife independently of a main movement device or to move the cutting knife directly with a main movement device.
  • the object of the invention is to provide a device and a method with which reliable control / regulation of the bonding force is achieved and which preferably also provide information about the degree of knife wear, that is to say about its current sharpness.
  • This object is achieved in that the cutting knife when placed on an at least partially cut wire by moving the Main movement device can be acted upon by a spring element with a cutting force to be exerted on the wire.
  • the cutting force results essentially from the static force effect which is achieved by means of the spring element.
  • a spring element e.g. a compression spring, leaf spring or the corpse
  • the spring element is preferably arranged between a cutting knife holder and an element of the main movement device, the cutting knife holder being movably mounted on the main movement device, in particular by means of a swivel joint, a linear guide or solid-state joints.
  • the range of motion of the cutting knife relative to the main movement device in particular with respect to a zero point position, can be determined by means of a sensor.
  • the speed of the knife with respect to the bonding wire can be known or can be determined.
  • the cutting force can thus be determined from the relative position of the cutting knife to its zero point position.
  • the force applied by the cutting knife to the wire can be determined from the position of the cutting knife in relation to a zero point position and a force characteristic of the spring element which can be tensioned by the movement of the cutting knife and by means of which a force is exerted on the wire via the cutting knife.
  • the speed of the cutting knife can also be incorporated into the force control.
  • the actual force can then be regulated, for example, by changing the position of the cutting knife relative to the zero point position and / or the speed of the cutting knife. This changes the deflection of the spring element and, depending on the force characteristic of this spring element, the force applied.
  • the force is also a function of the speed at which the knife moves relative to the bond wire. This speed can be determined on the basis of the speed of movement of the main movement device before it is placed on the bonding wire. After placement, the wire cuts into the wire due to the spring force, the main movement device being moved up to a set depth of cut in the Z direction. The cutting force can be permanently monitored during the cutting process. If this exceeds a maximum permitted value, the movement parameters of the main movement device must be adapted, in particular the speed can be reduced for this.
  • the cutting process and in particular a desired cutting force can be controlled and / or readjusted very precisely within wide limits.
  • a degree of cutting knife wear can be obtained.
  • a predetermined maximum cutting force is exceeded at or below a predetermined minimum cutting speed, it can be assumed that the knife is no longer sufficiently sharp and must be replaced due to wear.
  • this method offers the advantage, in addition to force control, that a knife can be replaced as required.
  • Figure 1 shows at least part of the main movement device 1 of a bonding machine.
  • the transducer 2 is attached to this (not shown here) with an ultrasound tool 3.
  • a cutting knife holder 5 is connected to the main movement device 1 via a swivel joint 4, so that they can move relative to one another.
  • a cutting knife 6, whose lower knife tip is cranked here, is attached to the cutting knife holder and points vertically downward to a bond point.
  • the cutting knife 6 is placed on the bonding wire, not shown.
  • the initial force essentially results from an overstroke of the main movement device 1 beyond this zero point position.
  • the spring 7 located between the cutting knife holder 5 and the main movement device 1 is compressed, so that a force which corresponds to the spring force acts on the wire 6 via the knife and cuts it.
  • the decisive factor for the effective force is the degree of compression of the spring, which is influenced by the speed of the main movement device and the sharpness of the knife.
  • Force or deflection can be measured by a position sensor 8, which determines the position of the knife 6 relative to the zero point position.
  • the current force can then be determined based on the force characteristic and e.g. in the event of a deviation from a desired force, the influencing variables, e.g. the cutting speed to be recalculated.
  • Figure 2 shows a section of the arrangement in an alternative construction from the front, where instead of a swivel joint, a spring steel connection was chosen in order to flexibly couple the knife holder and the main movement device with one another.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schneidvorrichtung für eine Bondmaschine mit einem Schneidmesser zum Durchtrennen eines Bonddrahtes wobei das Schneidmesser direkt oder indirekt an einer Hauptbewegungseinrichtung einer Bondmaschine in vertikaler Vorschubrichtung beweglich befestigt ist, wobei das Schneidmesser beim Aufsetzen auf einen zumindest teilweise zu schneidenden Draht durch Bewegung der Hauptbewegungseinrichtung mittels eines Federelementes mit einer auf den Draht auzuübenden Schneidkraft beaufschlagbar ist. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Verfahren zur Steuerung des Schneidvorganges.

Description

SCHNEIDEVORRICHTUNG UND STEUERUNG DER SCHNEIDEVORRICHTUNG
Schneidvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Schneidvorrichtung für eine Bondmaschine mit einem Schneidmesser zum Durchtrennen eines Bonddrahtes wobei das Schneidmesser direkt oder indirekt an einer Hauptbewegungseinrichtung einer Bondmaschine in vertikaler Vorschubrichtung beweglich befestigt ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Steuerung der Schnittbewegung eines Schneidmessers in Bondmaschinen zum wenigstens teilweisen Schneiden eines Bonddrahtes.
Schneidvorrichtung bei Bondmaschinen sind bekannt und dienen zum zumindest teilweisen Durchtrennen eines Bonddrahtes. Hierbei ist es bekannt, Schneidmesser mit separaten Antrieben zu versehen, um unabhängig von einer Hauptbewegungseinrichtung ein Schneidmesser bewegen zu können oder das Schneidmesser direkt mit einer Hauptbewegungseinrichtung zu bewegen.
Beide Methoden geben keine genaue Auskunft über die tatsächlich am Bonddraht wirkenden Kräfte und erlauben daher nur eine unzureichende Steuerung bzw. Regelung der Schneidkraft.
Aufgabe der Erfindung ist es eine Vorrichtung und ein Verfahren bereit zu stellen, mit denen eine zuverlässige Steuerung / Regelung der Bondkraft erreicht wird und welche bevorzugt noch eine Auskunft geben über den Grad der Messerabnutzung, also über dessen aktuelle Schärfe.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das Schneidmesser beim Aufsetzen auf einen zumindest teilweise zu schneidenden Draht durch Bewegung der Hauptbewegungseinrichtung mittels eines Federelementes mit einer auf den Draht auzuübenden Schneidkraft beaufschlagbar ist.
Dadurch dass die Kraft nicht direkt durch die Hauptbewegungseinrichtung sondern über ein Federelement, z.B. eine Druckfeder, Blatttfeder oder der leichen ausgeübt wird, ergibt sich die Schneidkraft im wesentlichen aus der statischen Kraftwirkung die mittels des Federelementes erzielt wird. Je nach Weite der Bewegung des Schneidmessers gegenüber der Hauptbewegungseinrichtung bzw. einer gegenüber der Hauptbewegungseinrichtung ortsfesten Nullpunktsposition und einer damit verbundenen mehr oder weniger starken Stauchung oder Streckung des Federelementes kann die wirkende Kraft geändert werden.
Um dies zu erreichen, ist bevorzugt das Federelement zwischen einer Schneidmesserhalterung und einem Element der Hauptbewegungseinrichtung angeordnet, wobei die Schneidmesserhalterung an der Hauptbewegungseinrichtung beweglich gelagert ist, insbesondere mittels eines Drehgelenkes, einer Linearführung oder Festkörpergelenken.
In vorteilhafter Ausgestaltung kann die Bewegungsweite des Schneidmessers relativ zur Hauptbewegungseinrichtung, insbesondere bezogen auf eine Nullpunktsposition, mittels eines Sensors ermittelbar sein. Ebenso kann die Geschwindigkeit des Messers bzgl. des Bonddrahtes bekannt sein oder ermittelbar sein .
Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann so die Schneidkraft aus der relativen Lage des Schneidmessers zu seiner Nullpunktsposition bestimmt werden. Hierzu kann die von dem Schneidmesser auf den Draht aufgebrachte Kraft ermittelt werden aus der Position des Schneidmessers gegenüber einer Nullpunktsposition und einer Kraftkennlinie des durch die Bewegung des Schneidmessers spannbaren Federelementes, mittels dem eine Kraft über das Schneidmesser auf den Draht ausgeübt wird.
Ergänzend zu der Ermittlung der Kraft anhand der Position des Schneidmessers kann noch die Geschwindigkeit des Schneidmessers mit in die Kraftregelung einfließen. Anhand eines Vergleiches einer ermittelten Ist-Kraft gegenüber einer Soll-Kraft oder einem Soll-Kraftintervall kann sodann die Ist-Kraft z.B. dadurch geregelt werden, dass die Position des Schneidmessers relativ zur Nullpunktsposition und/oder die Geschwindigkeit des Schneidmessers geändert wird. Hierdurch ändert sich die Auslenkung des Federelementes und in Abhängigkeit der Kraft-Kennlinie dieses Federelementes die aufgebrachte Kraft.
Die Kraft ist ebenso eine Funktion der Geschwindigkeit mit der sich das Messer gegenüber dem Bonddraht bewegt. Diese Geschwindigkeit kann vor dem Aufsetzen auf den Bonddraht anhand der Bewegungsgeschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung ermittelt werden. Nach dem Aufsetzen schneidet der Draht aufgrund der wirkenden Federkraft in den Draht ein, wobei die Hauptbewegungseinrichtung bis zu einer eingestellten Schnitttiefe in Z-Richtung verfahren wird. Hierbei kann während des Schneidvorganges die Schnittkraft permanent überwacht werden. Sollte diese einen maximal erlaubten Wert überschreiten, so müssen die Bewegungsparameter der Hauptbewegungseinrichtung angepasst werden, insbesondere kann die Geschwindigkeit hierzu reduziert werden.
Gemäß der Erfindung kann der Schneidvorgang und insbesondere eine gewünschte Schneidkraft in weiten Grenzen sehr genau gesteuert und/oder nachgeregelt werden.
Durch Vergleich der ermittelten Schneidkräfte und Schneidgeschwindigkeiten mit vorgegebenen maximalen und minimalen Schneidkräften bzw. Schneidgeschwindigkeiten kann ein Grad der Schneid messerabnutzung gewonnen werden. Insbesondere bei Überschreiten einer vorgegebenen maximalen Schneidkraft bei oder unter einer vorgegebenen minimalen Schneidgeschwindigkeit ist davon auszugehen, dass das Messer keine ausreichende Schärfe mehr aufweist und aufgrund der Abnutzung ausgetauscht werden muss.
Gegenüber bisherigen Verfahren, wo Messer lediglich nach einer bestimmten Anzahl von Schneidvorgängen ausgetauscht wurden bietet dieses Verfahren neben der Kraftsteuerung/-regelung den Vorteil, dass ein Messer bedarfsgerecht ausgetauscht werden kann.
Dir Figuren 1 und 2 verdeutlichen Verfahren und Vorrichtung. Figur 1 zeigt zumindest einen Teil der Hauptbewegungseinrichtung 1 einer Bondmaschine. An dieses ist (hier nicht dargestellt) der Transducer 2 mit einem Ultraschallwerkzeug 3 befestigt.
Über ein Drehgelenk 4 ist eine Schneidmesserhalterung 5 mit der Hauptbewegungseinrichtung 1 verbunden, so dass sich diese relativ zueinander bewegen können. An der Schneidmesserhalterung ist ein senkrecht nach unten auf eine Bondstelle weisendes Schneidmesser 6 befestigt, dessen untere Messerspitze hier gekröpft ist.
Wird die Hauptbewegungseinrichtung nach unten in Z-Richtung bewegt, so setzt das Schneidmesser 6 auf den nicht dargestellten Bonddraht auf. Die Initial-Kraft ergibt sich im wesentlichen durch einen Überhub der Hauptbewegungseinrichtung 1 über diese Nullpunktsposition hinaus. Hierdurch wird die zwischen Schneidmesserhalterung 5 und Hauptbewegungseinrichtung 1 befindliche Feder 7 gestaucht, so dass eine Kraft, die der Federkraft entspricht über das Messer 6 auf den Draht einwirkt und diesen schneidet. Maßgeblich für die wirkende Kraft ist der Stauchungsgrad der Feder, welcher durch die Geschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung sowie die Schärfe des Messers beeinflusst wird.
Kraft bzw. Auslenkung können durch einen Positionssensor 8 gemessen werden, der die Position des Messers 6 gegenüber der Nullpunktsposition bestimmt. Anhand der Kraftkennlinie kann sodann die aktuelle Kraft bestimmt und z.B. bei Abweichung von einer gewünschten Kraft können für den nächsten Schneidvorgang die Einflußgrößen, wie z.B. die Schnittgeschwindigkeit, neu berechnet werden.
Unterschreitet die Geschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung eine Mindestgeschwindigkeit und überschreitet dabei die Kraft eine Maximalkraft, so ist dies insbesondere ein Zeichen für ein stumpfes Messer 6, welches sodann ausgewechselt werden sollte.
Figur 2 zeigt im Schnitt die Anordnung in alternativer Bauweise von vorne, wo statt einer Drehgelenkverbindung eine Federstahlverbindung gewählt wurde, um Messerhalterung und Hauptbewegungseinrichtung miteinander flexibel zu koppeln.

Claims

Patentansprüche
1. Schneidvorrichtung für eine Bondmaschine mit einem Schneidmesser zum Durchtrennen eines Bonddrahtes wobei das Schneidmesser direkt oder indirekt an einer Hauptbewegungseinrichtung einer Bondmaschine in vertikaler Vorschubrichtung beweglich befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Schneidmesser beim Aufsetzen auf einen zumindest teilweise zu schneidenden Draht durch Bewegung der Hauptbewegungseinrichtung mittels eines Federelementes mit einer auf den Draht auzuübenden Schneidkraft beaufschlag bar ist.
2. Schneidvorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement zwischen einer Schneidmesserhalterung und einem Element der Hauptbewegungseinrichtung angeordnet ist, wobei die Schneidmesserhalterung an der Hauptbewegungseinrichtung beweglich gelagert ist, insbesondere mittels eines Drehgelenkes, einer Linearführung oder Festkörpergelenken.
3. Schneidvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsweite relativ zur Hauptbewegungseinrichtung, insbesondere bezogen auf eine Nullpunktsposition, mittels eines Sensors ermittelbar ist.
4. Schneidvorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schneidkraft ermittelbar ist aus der relativen Lage des Schneidmessers zu seiner Nullpunktsposition.
5. Verfahren zur Steuerung der Schnittbewegung eines Schneidmessers in Bondmaschinen zum wenigstens teilweisen Schneiden eines Bonddrahtes, insbesondere mittels einer Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die von dem Schneidmesser auf den Draht aufgebrachte Kraft ermittelt wird aus der Position des Schneidmessers gegenüber einer Nullpunktsposition und einer Kraftkennlinie eines durch die Bewegung des Schneidmessers spannbaren Federelementes, mittels dem eine Kraft über das Schneidmesser auf den Draht ausgeübt wird.
6. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass anhand eines Vergleiches einer ermittelten Ist-Kraft gegenüber einer Soll- Kraft oder einem Soll-Kraftintervall die Ist-Kraft für den nächsten Schneidvorgang durch Neufestlegung der Geschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung so eingestellt wird, dass sich sich im erlaubten Kraftintervall befindet.
7. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass aus der ermittelten Schneidkraft, insbesondere bei Überschreiten einer vorgegebenen maximalen Schneidkraft bei einer vorgegebenen minimalen Schneidgeschwindigkeit, ein Grad der Schneidmesserabnutzung gewonnen wird, insbesondere wobei durch die Bondmaschine ein Messerwechsel angefordert wird.
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