WO2005004188A3 - Perfectionnements a l'imagerie en champ lointain - Google Patents

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WO2005004188A3
WO2005004188A3 PCT/GB2004/002699 GB2004002699W WO2005004188A3 WO 2005004188 A3 WO2005004188 A3 WO 2005004188A3 GB 2004002699 W GB2004002699 W GB 2004002699W WO 2005004188 A3 WO2005004188 A3 WO 2005004188A3
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John Marius Rodenburg
Helen Mary Louise Faulkner
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John Marius Rodenburg
Helen Mary Louise Faulkner
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    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
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Abstract

La présente invention a trait à un procédé et un appareil pour l'imagerie en champ lointain comportant une petite ouverture qui peut soit être balayée à travers un objet pour la formation d'image, ou située très proche du spécimen. Le rayonnement traverse l'objet et l'ouverture pour former une image de diffraction dans le champ lointain. Les niveaux d'intensité des images de diffraction sont enregistrés pour au moins deux position d'ouverture. Au moyen des mesures d'intensité et d'information connue concernant l'ouverture, une fonction d'onde de sortie de l'objet est déterminée. La fonction d'onde de sortie de l'objet est utilisée pour assurer une information de haute résolution concernant l'objet.
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