WO2004111293A1

WO2004111293A1 - 窒化処理方法及び装置

Info

Publication number: WO2004111293A1
Application number: PCT/JP2004/008133
Authority: WO
Inventors: Yutaka Takeuchi; Hitoshi Karasawa; Hideo Kojima
Original assignee: Honda Motor Co., Ltd.
Priority date: 2003-06-13
Filing date: 2004-06-10
Publication date: 2004-12-23
Also published as: EP1640470B1; EP1640470A4; EP1640470A1; CN1826422A; CN100513628C; KR20060018886A; JP2005002444A; JP4257157B2; CN101570847A; CN101570847B; KR100726821B1; US20060124202A1

Abstract

　放電用電源ユニット（４８）から１５ｋＨｚの周波数からなるパルス電圧を２．５ｍＡ／ｃｍ2の電流密度でクランクシャフト（１２）と電極板（４５）との間に印加してグロー放電を発生させるとともに、電気ヒータ（３４）を出力４０％（６４ｋＷ／ｋｇ）で駆動することにより、４００°Cまでクランクシャフト（１２）を加熱した後、グロー放電の電流密度を０．５ｍＡ／ｃｍ2とし、電気ヒータ（３４）の出力を９０％（１４４ｋＷ／ｋｇ）として加熱を継続し、所望の窒化処理温度において窒化処理を行う。

Description

明細書

窒化処理方法及び装置

技術分野

[0001] 本発明は、熱処理炉内にてワークを窒化処理する窒化処理方法及び装置に関する。

背景技術

[0002] 窒化処理は、鋼材からなるワークの表面を窒化させることによって窒化鉄層を形成し、これによりワーク表面を硬化する処理であり、広汎に実施されている。窒化処理の一方法としては、グロ一放電によってプラズマ加熱を行うプラズマ窒化処理が挙げられる。

[0003] ところで、ワークが冷えているとグロ一放電が不安定となり、状況によってはアーク放電が発生し、ワーク表面の一部が溶解したり、あるいは、均一な窒化処理を施すことができなくなる不具合が生じる。特に、ワークの温度分布が不均一であると、窒化の進行度合いが場所によって異なってくるため、良好な製品を得ることができなくなってしまう。

[0004] そこで、安定した窒化処理が可能な所望の温度までワークを迅速且つ均一に加熱することを目的として、ワークの周囲に赤外線ヒータ又はグラフアイトクロス発熱体等の加熱手段を配設し、グロ一放電と併用してワークを加熱するように構成した従来技術が知られている（例えば、特開昭 52—82641号公報、特開昭 53— 23836号公報参照）。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力、しながら、例えば、複雑な形状からなる複数のワークを同時に熱処理炉内に投入して加熱するような場合、上記の従来技術のように、単にグロ一放電と加熱手段とを併用しただけでは、ワークを均一な温度分布とすることはできない。

[0006] すなわち、グロ一放電による発熱は、基本的には、グロ一放電によって生成された窒素イオンがワークの表面に衝突することにより生じるものである力ワークがある温度以上に加熱されると、ワーク自身の放射熱によって周囲のワークを加熱することになるため、加熱手段に近接した部位と加熱手段から離間した部位との間に温度差が生じてしまう。なお、ワーク間に多数の加熱手段を配設すれば、この問題を解消可能となるが、例えば、異なる形状からなるワークに対して窒化処理を行うことが要求される多品種少量生産のような生産ラインにおいて、ワーク間の適切な位置に加熱手段を配設して構成することは、実質上不可能である。

[0007] 本発明の一般的な目的は、ワークを安定した窒化処理が可能な温度まで迅速且つ均一に加熱し、ワークの温度ばらつきの少ない状態で良好な窒化処理を施すことができる窒化処理方法及び装置を提供することにある。

[0008] 本発明の主たる目的は、複雑な形状からなる多数のワークに対して、極めて良好な窒化処理を施すことができる窒化処理方法及び装置を提供することにある。

[0009] 本発明の他の目的は、異なる多種類のワークに容易に適用することができる窒化処理方法及び装置を提供することにある。

[0010] 本発明の他の目的は、横型熱処理炉に適用して良好な窒化処理を施すことができる窒化処理方法及び装置を提供することにある。

[0011] 本発明のさらに他の目的は、ワークの温度を高精度に管理して極めて良好な窒化処理を施すことができる窒化処理方法及び装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0012] 本発明では、グロ一放電を発生させるためのノ^レス電圧の周波数を 1kHz以上とすることにより、電流が連続的に通電される時間を lms以下とし、短い検知時間でァーク放電の継続を阻止することで、アーク痕が発生する電圧に到達する以前に電流を遮断するため、アーク痕の発生を防止して安定したグロ一放電状態を維持し、ワーク表面を損傷させることなく加熱することができる。なお、検知時間は、より短いほうが好ましぐ従って、例えば、パルス電圧を発生させる電源としては、 15kHz程度のものを使用すると好適である。また、グロ一放電によってワークが直接加熱されるため、ヮークの形状やワークの配置等によらず、特に、対流や発熱体からの距離、ワークの個数等によりばらつきの生じ易い横型熱処理炉のような構造であっても、熱処理炉内のヮーク温度を均一に上昇させることができる。なお、グロ一放電と発熱体による加熱とを併用することにより、均一な温度分布を維持した状態でワークを迅速に加熱することができる。この結果、全てのワークが一定温度に到達するまでの所要時間が短ぐまた、ワークを一定温度に保持する必要時間も短縮することができる。

[0013] また、加熱中におけるワークの温度を検出し、温度が 350°Cに到達した後、グロ一放電の電流密度を減少させることにより、グロ一放電によって加熱されたワーク自体からの過剰な放射熱の発生を回避し、熱処理炉内の温度分布を均一に維持することができるとともに、急激な温度上昇を回避することができる。次いで、この温度からヮークの周囲に配設した発熱体を用いてワークをさらに加熱することにより、ワークを所望の窒化処理温度に高精度に設定することができる。

[0014] この場合、ワークの温度が所望の窒化処理温度を超過すると、ワークに異常組織が生成されてしまうおそれがあるが、本発明では、グロ一放電による発熱を高精度に調整することができるため、ワークをオーバーシュートすることのない高温度に設定して窒化処理に要する時間を短縮することができる。

[0015] なお、グロ一放電の電流密度としては、 0. 05— 7mA/cm²に設定すると好適である。 0. 05mA/cm²未満であると、特に低温時において、グロ一放電が安定せず、均一な加熱ができなレ、。また、電流密度を 7mA/cm²よりも大きく設定すると、アーク放電に移行しワークの損傷が生じる。なお、電流密度が 0. ImA/cm²未満では、昇温に時間がかかり、また、 4mA/cm²を超えると、突起部等を有するワークの場合、突起部等にイオン衝突が起こり易ぐ異常加熱するおそれがある。従って、電流密度は、 0. 1一 4mA/cm²の範囲に設定することが好ましい。

[0016] さらに、本発明では、ワークの温度を接触式の温度計を用いることなく高精度に検出するため、熱処理炉内にダミーワークを配設し、ダミーワークの接触温度と放射温度とを検出するとともに、ワークの放射温度を検出し、ダミーワークの接触温度及び放射温度の温度差からワークの放射温度を補正してワーク自体の温度を推定する。このようにして推定したワークの温度に基づいて、グロ一放電や発熱体による加熱を制御することにより、ワークの温度を高精度に管理して極めて良好な窒化処理を行うことができる。

図面の簡単な説明 [0017] [図 1]本実施形態の窒化処理装置を含む窒化処理システムの概略構成図である。

[図 2]窒化処理の対象であるワーク及びそれを収納したマガジンの説明図である。

[図 3]本実施形態の横型熱処理炉及びその制御回路の構成説明図である。

[図 4]本実施形態の窒化処理方法のフローチャートである。

[図 5]本実施形態の窒化処理方法におけるワーク温度、電流密度及びヒータ出力の関係説明図である。

発明を実施するための最良の形態

[0018] 図 1は、本実施形態の窒化処理装置を含む窒化処理システム 10の概略構成図である。この窒化処理システム 10には、図 2に示すように、ワークである複数のクランクシャフト 12が治具 14に位置決めされたマガジン 16として供給される。

[0019] 窒化処理システム 10は、コンベア 18によって搬送されるクランクシャフト 12に付着した塵や油等を除去する洗浄機 20と、洗浄されたクランクシャフト 12をコンベア 18から受け取って各作業ステーションに搬送するコンベア 22と、コンベア 22に沿った複数の作業ステーションに配置される横型熱処理炉 24と、コンベア 22の最終端に接続されるコンベア 27によって搬送されるクランクシャフト 12を冷却する冷却槽 25とを備える。

[0020] 図 3は、各作業ステーションに配置される横型熱処理炉 24及びその制御回路の構成説明図である。

[0021] 横型熱処理炉 24は、クランクシャフト 12に対してプラズマ窒化処理を施す熱処理炉であり、クランクシャフト 12が位置決めされたマガジン 16を水平方向に出入する横型として構成される。横型熱処理炉 24には、基台 26上に内側隔壁 28及び外側隔壁 30が配設される。

[0022] 内側隔壁 28は、治具 14とともにクランクシャフト 12を収納する窒化雰囲気からなる窒化処理室 32を形成する。また、内側隔壁 28と外側隔壁 30との間の空間は、内側隔壁 28を冷却して熱放射の影響をなくし、窒化処理室 32の温度上昇時の制御を容易にする冷却液通路 33を形成する。

[0023] 窒化処理室 32には、内側隔壁 28及び基台 26に沿って複数の電気ヒータ 34 (発熱体）が配設される。また、窒化処理室 32には、物性がクランクシャフト 12と同等のダミ一ワーク 36が配設される。なお、ダミーワーク 36は、クランクシャフト 12そのものであつてもよい。

[0024] 基台 26には、マガジン 16に電気的に接続される負電極 38が絶縁体 40を介して配設されるとともに、ダミーワーク 36に電気的に接続される負電極 42が絶縁体 44を介して配設される。また、窒化処理室 32の電気ヒータ 34の内側には、電極板 45が配設される。この電極板 45には、正電極 46が接続される。これらの負電極 38、 42と正電極 46との間には、 1kHz以上の周波数からなるパルス電圧を印加する放電用電源ュニット 48 (グロ一放電発生手段）が接続される。電気ヒータ 34には、ヒータ電源ュニット 50 (加熱手段）が接続される。

[0025] また、窒化処理室 32には、クランクシャフト 12の放射温度を検出するワーク用放射温度計 52と、ダミーワーク 36の放射温度を検出するダミーワーク用放射温度計 54と、ダミーワーク 36に固定され、ダミーワーク 36の接触温度を検出する熱電対からなるダミーワーク用接触温度計 56とが配設される。ワーク用放射温度計 52、ダミーワーク用放射温度計 54及びダミーワーク用接触温度計 56は、温度検出ユニット 58 (温度検出手段、温度算出手段）に接続される。温度検出ユニット 58は、検出された各温度データからクランクシャフト 12の温度を推定する。

[0026] 窒化処理室 32には、窒化処理室 32の内部のガスを吸引して所望の真空度を得るための真空吸引ポンプ 60がバルブ 62を介して接続される。また、窒化処理室 32には、窒化処理室 32の内部にプラズマ窒化処理を行うためのガス、例えば、窒素ガス、水素ガス、アンモニアガス、アルゴンガス等の混合ガスである窒化処理ガスを供給する窒化処理ガス供給ユニット 64がバルブ 66を介して接続される。冷却液通路 33 には、冷却液を供給する冷却液供給ユニット 68がバルブ 70を介して接続される。なお、冷却液通路 33に供給された冷却液は、バルブ 72を介して外部に排出可能に構成される。

[0027] 放電用電源ユニット 48、ヒータ電源ユニット 50、温度検出ユニット 58、真空吸引ポンプ 60、窒化処理ガス供給ユニット 64及び冷却液供給ユニット 68は、制御ユニット 7 4 (制御手段）によって制御される。

[0028] 本実施形態の窒化処理システム 10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作及び作用効果につき、図 4に示すフローチャートに従って説明する。

[0029] 先ず、図 2に示すように、治具 14に複数のクランクシャフト 12を位置決めしたマガジン 16を準備し、このマガジン 16をコンベア 18によって洗浄機 20に搬入し、各クランクシャフト 12に付着している塵や油の除去を行う（ステップ Sl)。

[0030] 次いで、クランクシャフト 12が洗浄されたマガジン 16をコンベア 22によって搬送し、各横型熱処理炉 24の窒化処理室 32に投入する（ステップ S2)。この場合、横型熱処理炉 24は、横型であるため、縦型に比較すると、クランクシャフト 12を保持した複数のマガジン 16を窒化処理室 32に対して容易に出入することができるとともに、窒化処理システム 10のレイアウトを簡略化できる利点がある。また、一度に処理できるクランクシャフト 12の処理数を容易に増加することができる。これに対して、縦型の場合、熱処理室を上方に大型に構成しなければならない。

[0031] マガジン 16が窒化処理室 32に投入されると、治具 14の底部が基台 26に配設された負電極 38と接続される。なお、窒化処理室 32には、クランクシャフト 12と物性が同等のダミーワーク 36が予め配設されている。

[0032] マガジン 16が窒化処理室 32に投入され、横型熱処理炉 24を密閉した後、窒化処理室 32を窒化雰囲気に設定する（ステップ S3)。この場合、制御ユニット 74は、真空吸引ポンプ 60を駆動し、窒化処理室 32の内部の空気を所定の真空度まで吸引した後、窒化処理ガス供給ユニット 64を駆動し、窒素ガス、水素ガス、アンモニアガス、ァルゴンガス等の混合ガスからなる窒化処理ガスを窒化処理室 32に導入する。

[0033] 次いで、冷却液供給ユニット 68を駆動し、内側隔壁 28と外側隔壁 30との間の冷却液通路 33に冷却液を導入し、内側隔壁 28の壁面の冷却を開始する（ステップ S4)。また、制御ユニット 74は、放電用電源ユニット 48に対して、周波数が 15kHz、電流密度 pが 2. 5mAZcm²からなるパルス電圧を設定する（ステップ S5)。さらに、制御ュニット 74は、ヒータ電源ユニット 50の出力 Hを 40%に設定する（ステップ S6)。なお、ヒータ電源ユニット 50は、窒化処理室 32に投入するクランクシャフト 12の lkg当たりの電力量（熱量）が 160Wのときの出力を 100%とする。従って、 40%の出力 Hは、 6 4W/kgとなる。 [0034] 処理条件を前記のように設定した後、窒化処理室 32の窒化雰囲気の加熱及び窒化処理が開始される（ステップ S7)。この場合、図 5に示すように、クランクシャフト 12 が投入され、各処理条件の設定が完了して放電用電源ユニット 48及びヒータ電源ュニット 50が駆動されると（処理時間 tO)、負電極 38と正電極 46との間に印加されるパノレス電圧によってグロ一放電が発生し、このグロ一放電によって窒化処理室 32の窒化処理ガスがイオンィ匕してクランクシャフト 12の表面に衝突することにより、クランクシャフト 12が加熱される。また、クランクシャフト 12を保持するマガジン 16の外周部に配設されてレ、る電気ヒータ 34が発熱し、その発熱による放射熱によって窒化処理室 32 の窒化雰囲気が加熱される。なお、グロ一放電は、ダミーワーク 36の表面においても発生するため、ダミーワーク 36も同様にして加熱される。

[0035] ここで、負電極 38、 42と正電極 46との間には、パルス周波数が 15kHzの電圧が印カロされているため、窒化雰囲気が安定した窒化処理を開始できる温度まで十分に昇温されていない状態であっても、アーク放電が発生することのない安定したグロ一放電状態が維持される。すなわち、電流が連続的に通電される時間が極めて短ぐ短ぃ検知時間でアーク放電の継続を阻止することで、アーク痕が発生する電圧に到達する以前に電流を遮断し、アーク痕の発生を防止して安定したグロ一放電状態を維持すること力 Sできる。従って、クランクシャフト 12の表面がアーク放電によって損傷する事態が生じることはない。また、グロ一放電による加熱は、放射熱によるものではなぐグロ一放電によって生成された窒素イオン又は窒素ラジカルがクランクシャフト 12 に衝突することによるものであるため、 350°C未満では、クランクシャフト 12の放射熱による影響が少なぐ隣接して配設されるクランクシャフト 12の位置関係やクランクシャフト 12の形状の影響を受けることがなレ、。従って、クランクシャフト 12は、グロ一放電によってむらなく加熱される。さらに、内側隔壁 28に沿って配設され、出力が低く設定された電気ヒータ 34からの放射熱により、窒化処理室 32の窒化雰囲気が加熱されるため、クランクシャフト 12は、温度分布を均一に維持した状態で安定した所望の窒化処理温度まで迅速に加熱される。

[0036] なお、昇温中において、冷却液通路 33には、冷却液が供給されており、例えば、内側隔壁 28を冷却液で 100°C以下に冷却維持することにより、電気ヒータ 34からの放射熱が内側隔壁 28によって反射して内側に配設されたクランクシャフト 12を必要以上に加熱してしまう事態を回避することができる。従って、クランクシャフト 12を一層均一に昇温させることができる。

[0037] 一方、クランクシャフト 12の温度は、窒化処理室 32に配設したダミーワーク 36の温度と、クランクシャフト 12の放射温度とを用いて高精度に推定される（ステップ S8、 S9

[0038] すなわち、クランクシャフト 12に近接して配設されたワーク用放射温度計 52は、クランクシャフト 12から放射された放射熱の温度である放射温度 Trwを検出する。また、ダミーワーク 36に近接して配設されたダミーワーク用放射温度計 54は、ダミーワーク 36から放射された放射熱の温度である放射温度 Trdを検出する。さらに、ダミーヮーク 36に固定されたダミーワーク用接触温度計 56は、ダミーワーク 36の正確な接触温度 Tedを検出する。

[0039] そこで、温度検出ユニット 58は、ダミーワーク用放射温度計 54によって検出されたダミーワーク 36の放射温度 Trdと、ダミーワーク用接触温度計 56によって検出されたダミーワーク 36の接触温度 Tedとの差を温度補正値 Δ Τとして求め、この温度補正値 ΔΤを用いて、クランクシャフト 12の温度 Twを、

Tw=Trw+ ΔΤ

として算出する。このようにしてクランクシャフト 12の温度を算出することにより、クランクシャフト 12に熱電対等の温度計を固定することなぐクランクシャフト 12の温度 Tw を非接触で高精度に推定することができる。

[0040] 次に、制御ユニット 74は、窒化処理室 32の窒化雰囲気の加熱中において、温度検出ユニット 58によって推定したクランクシャフト 12の温度 Tw力 S400°C以上であるか否かの判定処理を行う（ステップ S10)。この場合、クランクシャフト 12の温度 Tw力 S400 °C以上になると、クランクシャフト 12自身の熱放射の影響を無視することができなくなり、このままグロ一放電による加熱を継続すると、クランクシャフト 12に温度むらの発生するおそれがある。

[0041] そこで、クランクシャフト 12の温度 Tw力 S400°Cに到達したことが判定されると（処理時間 tl)、制御ユニット 74は、放電用電源ユニット 48を制御し、負電極 38と正電極 4 6との間に印加されるグロ一放電の電流密度 pを 0. 5mA/cm²まで降下させるとともに（ステップ SI 1)、ヒータ電源ユニット 50の出力を 90% (144kW/kg)まで上昇させる（ステップ S 12)。

[0042] この場合、電流密度 pを 0. 5mAZ cm²まで降下させることにより、グロ一放電により加熱されたクランクシャフト 12から放射熱が放射される事態を抑制することができるとともに、クランクシャフト 12のグロ一放電による急激な加熱を抑制することができる。また、ヒータ電源ユニット 50の出力を 90% (144kW/kg)まで上昇させることにより、クランクシャフト 12の温度分布を均一に維持した状態で、電気ヒータ 34からの放射熱によりオーバーシュートすることのない所望の窒化処理温度までクランクシャフト 12をカロ熱すること力 Sできる。なお、放電用電源ユニット 48及びヒータ電源ユニット 50によるクランクシャフト 12の温度制御を行う場合、例えば、温度検出ユニット 58によって推定したクランクシャフト 12の温度 Twに従レ、、電流密度 pを処理時間 tlから t2まで徐々に降下させる一方、ヒータ電源ユニット 50の出力を処理時間 tlからクランクシャフト 12の所望の窒化処理温度となるまで徐々に上昇させるように制御すると好適である。

[0043] クランクシャフト 12の温度 Twが所望の窒化処理温度 570°Cに到達した後（ステップ S13)、制御ユニット 74は、ヒータ電源ユニット 50を制御してクランクシャフト 12の温度 Twを窒化処理温度 570°Cに維持する（ステップ S14)。この間、クランクシャフト 12 の表面では、窒素イオンと鉄イオンとが反応することで窒化処理が進行する。

[0044] そして、所定の時間が経過して窒化処理が完了すると（ステップ S15、処理時間 t3 )、クランクシャフト 12がマガジン 16とともに横型熱処理炉 24から排出される（ステップ S16)。横型熱処理炉 24から排出されたマガジン 16は、コンベア 22によって搬送され、冷却槽 25に搬入されて冷却処理された後（ステップ S17)、コンベア 27を介して外部に排出される。

Claims

請求の範囲

[1] 熱処理炉（24)内にてワーク（12)を窒化処理する窒化処理方法であって、

前記熱処理炉（24)と前記ワーク（12)との間に 1kHz以上の周波数からなる所定の電流密度のパルス電圧を印加し、発生するグロ一放電によって前記ワーク（12)をカロ熱する第 1ステップと、

前記ワーク（12)の温度が少なくとも 350°Cに到達した後、前記パルス電圧の電流密度を減少させる一方、前記ワーク（12)の周囲に配設した発熱体（34)により前記ヮーク（12)を所望の窒化処理温度まで加熱する第 2ステップと、

力なり、前記グロ一放電で生成された窒素イオン又は窒素ラジカルにより窒化処理を行うことを特徴とする窒化処理方法。

[2] 請求項 1記載の方法において、

前記第 1ステップでは、前記グロ一放電及び前記発熱体（34)により発生する熱によって前記ワーク（12)を加熱し、

前記第 2ステップでは、前記発熱体（34)による発熱量を前記第 1ステップよりも高く設定して加熱することを特徴とする窒化処理方法。

[3] 請求項 1記載の方法において、

前記第 2ステップでは、前記パルス電圧の電流密度を除々減少させる一方、前記ヮーク（12)の周囲に配設した発熱体（34)により前記ワーク（12)を所望の窒化処理温度まで除々に加熱することを特徴とする窒化処理方法。

[4] 請求項 1記載の方法において、

前記第 2ステップでは、前記ワーク（12)が所望の窒化処理温度に到達した後、前記窒化処理温度を維持させて窒化処理を遂行させることを特徴とする窒化処理方法

[5] 請求項 1記載の方法において、

前記パルス電圧の電流密度は、 0. 05— 7mA/cm²に設定することを特徴とする窒化処理方法。

[6] 請求項 1記載の方法において、

前記パルス電圧の電流密度は、 0. 1一 4mA/cm²に設定することを特徴とする窒化処理方法。

請求項 1記載の方法において、

前記ワーク（12)の温度は、前記熱処理炉（24)内に配設したダミーワーク（36)の放射温度及び接触温度の温度差を検出するとともに、前記ワーク（12)の放射温度を検出し、前記ワーク（12)の前記放射温度を前記温度差によって補正して求めることを特徴とする窒化処理方法。

熱処理炉（24)内にてワーク（12)を窒化処理する窒化処理装置であって、前記熱処理炉（24)と前記ワーク（12)との間に 1kHz以上の周波数からなる所定の電流密度のパルス電圧を印加してグロ一放電を発生させるグロ一放電発生手段 (48 )と、

前記熱処理炉（24)内に配設される発熱体（34)により前記ワーク（12)を加熱する加熱手段（50)と、

前記ワーク（12)の温度を検出する温度検出手段（58)と、

前記温度検出手段（58)によって検出された前記ワーク（12)の温度に基づき、前記グロ一放電発生手段 (48)による前記グロ一放電の電流密度を制御するとともに、前記加熱手段（50)を制御する制御手段（74)と、

を備えることを特徴とする窒化処理装置。

請求項 8記載の装置において、

前記熱処理炉（24)は、

前記ワーク（12)を収容し、前記ワーク（12)との間でグロ一放電を発生させる電極板 (45)により囲繞される窒化処理室（32)と、

前記電極板 (45)の外周部に前記発熱体（34)が配設され、隔壁（28)によって囲繞される加熱室と、

前記隔壁（28)の外周部に配設され、前記隔壁（28)を冷却する冷却液が供給される冷却手段（33)と、

を備えることを特徴とする窒化処理装置。

請求項 8記載の装置において、

前記温度検出手段（58)は、前記熱処理炉（24)内に配設したダミーワーク（36)の放射温度を検出するダミーヮーク用放射温度計（54)と、

前記ダミーワーク（36)の接触温度を検出するダミーワーク用接触温度計（56)と、前記ワーク（12)の放射温度を検出するワーク用放射温度計（52)と、

前記ダミーワーク（36)の前記放射温度及び前記接触温度の温度差を算出し、前記ワークの前記放射温度を前記温度差によって補正することで前記ワークの温度を算出するワーク温度算出手段（58)と、

を備えることを特徴とする窒化処理装置。

[11] 請求項 8記載の装置において、

前記熱処理炉（24)は、横型熱処理炉であることを特徴とする窒化処理装置。

[12] 請求項 8記載の装置において、

前記ワーク（12)は、クランクシャフトであることを特徴とする窒化処理装置。