WO2004085962A1

WO2004085962A1 - レーザー用ターゲット装置

Info

Publication number: WO2004085962A1
Application number: PCT/JP1994/002272
Authority: WO
Inventors: Fumio Ohtomo; Kunihiro Hayashi
Original assignee: Fumio Ohtomo; Kunihiro Hayashi
Priority date: 1994-07-02
Filing date: 1994-12-27
Publication date: 2004-10-07
Also published as: JPH0814907A; JP2819003B2; US5708748A

Description

明細書

レーザー用ターゲ" /卜装置謹分野

本発明はレーザ一用ターゲット装置に係わり、特に、複数のファイバ一部材を備えると共に、少なくとも 1面を拡散面にすることにより、明るい場所においても視認性を向上させることのできるレーザ一用ターゲット装置に西するものである。

龍賺

下水道管等の設事においては、地面を掘り下げ、中空パイプ等を設財るのが"^的である。これらの中空パイプには、上下水等の液状物をさせるの' で、の |¾斜を持たせる要がある。特に中空パイプが、中間で上下に湾曲したり & ^に蛇行すると、物力して閉塞したり、地中に ®1出等の心配かあつた。

従って ί Τパイプを設るには、ー隱毎にパイプの設灘さを計測し、定められた深さに地面を掘り下げる様に、適切な扉線を設ける要があつた。

具体的に紅法を説明すると、まず、一定の固泉間にレーザー光をガイドとして照射し、このレザ一光を扉として賺の仮台を設る。そして^置した仮台の上方向、俱斜、更に内径の Wが互いに一 itrる様にパイァを m^ る。そしてパイプの設纖、地面を埋め戻して工事が完了する。

Lの様な工事におけるパイプの位菌^には、レーザー光は補であり、特に、糸の様に長 su eも驰むことが少なく、更に、 «の障害となることもなく、また中にノプ等ヒ干渉して切断されることがないという觀がぁる。またの様に、レーザ一光をガイドとしてノ、。ィフ gx事を行う ^には、レーザ—光はノ、。ィプの中心を羅させている。このレーザー光とノ、ィフ。の位置合わせを行うには、各種の夕ーゲットが使用されている。

このターゲ'ット装置は、例えば'第 7図に^ こ、ターゲ'ッ卜板 1 0000と、このターゲット板 1 0000をするためのターゲット台 20000、 20 1 0 0とから構成されている。ターゲット板 1 0 0 0 0はレーザー光を受けるためのものであり、レーザー ¾^'Ait ると、光が拡 irrる様になつている。即ち.、レーザー光は指向性があり極めて視認しにく -、が.、光を拡散させることにより、 ^者が容易に視認される様になつている。

そして、このターゲット装置を使用してバイフ °の設置位置を確認する時、最初のパイプを設るには、レーザー光発置側から «することができるが、通常では、ノ、。イブの ¾ϋに設置したターゲット装置を拡散するレーザ一光を »するが殆どであつた。

従ってターゲット板 1 0 0 0 0は、レーザー光が拡 rfると共に、ある觀は拡する様な不透明な材質が採用されている。

しかしながらパイプの設事、特に、小口径のパイプを地中に埋設する工事等は、明るい日中で亍うことがどである。徒って、縣のターゲット装置のタ一ゲット板 1 0 00 0では、第 8図に示に、 ¾¾一様に拡るため、どの位置からでも確認することができるが、明る、場所では確認しずらという問題点があった。翻の開示

本発明は、可ネを齒して拡散させるための拡散部材と、 ^TOを一 liSr 向にさせるための光学部材とからなり、学部材は、方向が^ F行に配置されている複数のファィノ一部材となっており、可概をー向にる様になつている。

また本発明は、可 ¾を^ iして拡散させるための拡散部材から形成された拡籠と、言河概を邀齒させるための羅板と、この顯板の少なくとも一面側に形成された光学部材とから構成されており、言魏学部狩は、方向が行に配置されている複数のファイバ一部材となっている。

更に本発明は、可 TOを遗して拡散させるための拡散部材から形成された拡と、該可 ί¾¾をさせるための屈折率が異なるモールド部材からなる ¾1 板と霧纖鎌の中に形成された光^^材とから構成されており、

^方向が DTP行に配置されている複数のファイバ一部材となっている。そして本発明は、可ネ! ¾をして拡散させるための拡散部材から形成された拡籠と、該可視光をさせるための第 1の^ i板と、編己可視を羅させるための第 2の,碧齒板と、編 1の歸 ii板と鶴2の纖板との間に形成された光学部材とから構成されており、 ¾学部材は、 ^方向が行に配置されている複数のファイバ一部材となっている。

また本発明は.、ファイノ S—部材とフアイ/く一部材との間痛を雷職することにより、可 ίΐ¾のを変ィ匕させることができる。

更に本発明は、複数のファイバ一部材が、ファイバーシートから構成することもできる。 '

そして本発明は、ファイバ一部材に代えて、非円形の断面である柱状の光学部材とすることもできる。

更に本発明は、ファイノく一部材に代えて、円柱レンズにすることもできる。また本発明は、拡匿を^ ¾と"^に形成することもできる。

更に本発明は、拡散部材から形成された拡籠に代えて、拡散部材から形成されたシ一卜部材となっており、このシー卜部材が遗 JI板と別体に形成されているか、或いは、編己シート部材が遗板と^:に形成することもできる。

そして本発明は、拡散部材から形成された拡籠に代えて、板の少なくとも一面を拡散面に形成することもできる。，

また本明は、回転照厘レーザ一装置用ターゲットであり、レーザー用ターゲット装置の麵部に RIすミラーを形成することができる。醒の簡単な説明

陣ま本発明の実施例を示すものであり、第 1園ま、賴施例の構成を示す図であり、第 2図は、第 1実方 t例のターゲット板 1 0 0 aの構成を説曰月する図、第 3 ( a )図は、複数のファイバ'一部材 1 2 0、 1 2 0■ ■ 'のィ乍用を説日月する図、第 3 ( b )図は、複数のファーバ'一部材 1 2 0、 1 2 0■ - 'の作用を言兌日月する図、第 4面は、第 2実 ¾例のターゲット反 1 0 O bの f冓成を説日月する図、第 5図は、第 3実施例のターゲット板 1 0 0 cの構成を説明する図、第 6 ( a )図は、回転レーザー装 g¾ターゲット 4 0 0 0を説日 J!する図、第 6 ( b )図は、回転レーザ一装置用ターゲット 4000を説曰 J!する図、第 7図は、 ^1¾ί ίを説明する図、第 8図は-. を説明する図.、第 9園ま、レーザ一照職置 2 000を説明する図、第 1 0図は、レーザ'一 f ¾置 2000を説明する面.、第 1 1図は、レーザー,照^置 2000を説月月する面であり、第 1 2図は、回転照身擢レーザー装置 3000用の一般的タ一ゲットを説明する面である。発明を実るための最良の开さ態、

本発明の実施例であるターゲット装置 1 000を説明する。

ここでターゲット装置 1 000を説明する前に、このターゲッ卜装置 1 000 にレーザー光を i るレーザ一照職置 2000を説明する。

レーザ—,照^置 2000は、第 9図及び'第 1 1図に示す櫞こ、フレーム 1と、このフレーム 1の前傍に形成されたヌ平な »W«t2を中心に回動自在に取り付けれた體フレーム 3と、この俯仰フレーム 3に対して鉛 E ^向に取り付けられた揺動軸 4を中心に揺動自在に形成されたレーザ一 ¾ ^置 5とから構成されている。

俯仰フレーム 3の下部には、水平補助フレーム 6が後方に向けて形成されており、このヌ平補助フレーム 6には、水平なピン 7が形成されている。このピン 7は、スプリング 8を介してフレーム 1と纖吉されており、スプリング 8の弾性観力により、膽フレーム 3を第 9図中晴十方向に附勢している。

ピン 7に対して略鼓する方向に、辦卬スクリュー 1 0を歐させており、俯仰スクリユー 1 0に螺合されたナツ卜 1 1と、このナツ卜 1 1にさ; TLた固定ピン 1 2を係合させている。そして ifffllスクリュー 1 0は、フレーム 1にされた辦卬モータ 9.の出力軸に纖吉されており、辦卬モータ 9の扉隱力により、俯 ί卬フレーム 3の傾きをさせることがて"きる。

俯仰フレーム 3の側辺には第 1 1図に示泰に、垂直補助フレーム 1 3が形成されており、この直補助フレーム 1 3は、ギアボックス 1 4を介して揺動モータ 1 5が取り付けられている。このギアボックス 1 4より水平方向にガイドシャフト 1 6及びi動スクリュー 1 7か ¾設されており、揺動スクリュー 1 7は、揺動モータ 1 5の出力軸に連結されている。そして、揺動スクリユー 1 7に螺合されるナツトフ"ロック 1 8は、ガイドシャフト 1 6に摺動自在に齢されている。レーザー発 «置 5の後には、水平方向に水平突出ピン 1 9が取り付けら ilており、この.水平突出ピン 1 9は、ナットブロック 1 8に形成された係合ピン 2 0と係合されている。そして水平突出ピン 1 9と垂直補助フレーム 1 3との間には、弾性スプリング 2 1が揷入されており、この弾性スァリング 2 1の弾性復原力により、レーザ一発置 5は水平方向、即ち、第 1 1図中に附勢されている。

iiUbの様に構成されたレーザー照置 2 0 0 0は、需卬モータ 9と ««1モータ 1 5の層睡により、窗交する 2方向に回動させることができる。

そしてレーザー発置 5にはレーザ一光 ¾¾ϋが備えられており、レーザー出力されている。

次に、賴施例のターゲット装置 1 0 0 0を第 1図に基づいて説明する。 ^施例のターゲット装置 1 0 0 0は、タ一ゲット板 1 0 0と、このターゲッ卜板 1 0 0をるためのターゲット台 2 0 0、 2 1 0とから構成されている。ターゲット板 1 0 0は、ターゲット板本体 1 0 1と拡籠 1 0 2とから構成され、レーザー照職置 2 0 00からのレーザー光を受ける様になつている。ここで、施例のターゲット板 1 0 0を詳細に説明する。

「第 1実施例」

ターゲット板 1 0 0の第 1実施例を第≤図に基づいて説明する。第 1実施例のターゲット板 1 00 は、拡匿 1 0 2と、遗 §板 1 1 0、 ΐ复数のファイノく一部材 1 2 0、 1 2 0 - ■ ■ ■とから構成されている。

拡 l 0 2は、可概をして拡散させるための拡散部材から形成されている。

i 1 0は可 TOを^ 1させるためのものである。

複数のファイノ一部材 1 2 0、 1 2 0■ ■ ■ 'は光学部材に該当するもので、 i 1 0の少なくとも一面側に^方向が行に配置されている。

なお拡散板 1 02は、 ¾板 1 1 0の何れ側の面に配置してもよい，また第 2図に示す第 1実前 i例のターゲット板 1 0 0 aは、可視光をする透過板 1 1 0カら光を AIォさせてもよく、拡 ¾1 02力ら光を ΑΙォさせてもよい。複裘のファイノく一部材 120、 120 ' ' ' 'に Altrるレーザー光を第 3 ( a)図.及び'第 3 (b)図に基づいて説曰 J!すると、ファイバ-一部材 120を衝齒する光は、ファイバ一部材 120の娇方向には拡大されないが、薛方向と鼓する方向に拡大され、この方向ではどの角度からでも確認することができる。第 3 (b)図は、複数のファイバ'一部材 120、 120■ · ■ 'の部分を駄したものである。 AI恍は、ファイバ'一部材 120の部分を衝. する光と、ファィバ一部材 120の表面で lォされる光とがしている。従って、このフアイバー部材 120の部分を衝 iiする光に、ファイバ一部材 120の表面でされる光が加わるので、光をより駄させることができる。なおモールドされる^ には、屈折率の差に »されることになる。

そして拡散面は衝齒する光を拡散させるので、その位置を拡匿に表出し、通過した光は拡散の量權を受けて第 1図に示 1¾に、略楕円となり薛方向にも見易くなるという効果がある。

また拡营文面を複数のファイバ'一部材 120. 120の t¾ttr又は f 方に言 »rると、同様に光の衝 ji位置を拡籠に表出し、特^ r向に駄された光は拡散の影響を受け、第 1図に示 Hiに楕円形の开娥となる。

なお横1実施例は、拡匿 102と板 110とを"^:化させることもできる。更に拡 02を省、略し、 ¾ϋ板 110の片面 11 Oaを可 ί!¾を^ する面に开成し、他面の 110bを拡散面にすることができる。そして拡散面 1 1 Obに、複数のファイノ一部材 120、 120 - ■ · 'を、方向が平行になる様に配置することもできる。

なお、複数のファイノ一部材 120、 120 - ' ' 'は、可読を^ する面 1.1 に酉 WM>こともで'きる。

更に、複数のファイバ'一部材 120、 120 - ■ ' 'は、等で使用されているファイノく一を使用することができ、ファイバーシートであってもよいそしてファイバ一部材 120に代えて、非円形の断面である柱状レンズ等の柱¾¾ 学部材をす系用することもでる。

また、ファイノく一部材 120の間隔を変ィ匕させることにより、と、拡大される: ¾ftを Mすることもできる。なお、ファイバ一部材 120に代えて、円柱レンズを採用することもできる。「第 2実施例」

ターゲット扳 100の第 2実施例を第 4図に基づいて説明する.:.第 2実施例のターゲッ卜 3反 100 bは、可を懲齒する第 1の板 130と、可 II光を透過する第 2の邀齒板 140と、第 1の邀板 130と第 2の^ i板 140との ϋ に开成された複数のファイバ一部材 120、 120■ ■ · 'とから 3着成されている。

第 1の衝板 130と第 2の邀齒板 140の何 il Pの少なくとも 1面が'拡散面となっている。この拡散面は、第 1の露 JI板 130又は第 2の^ 板 140の内側面でも外側面でもよい。

m_hの様に構成された第 2実施例のターゲット板 100 bでも、光の衝位置が拡散面に表出されると共に、薛向に駄された光は眩しくなくなり、拡散して精円开多となる。

なお 2実方 t例では、第.1の^ 板 130と第 2の^ 板 140の何れカの少なくとも 1面を拡散面としており、第 1の^ 板 130と第 2の^ 板 140 の何れかと拡散面とをに形成しているが、拡散面を ¾!：の棚; はシ一ト状の拡散部材から开成し、第 1 130と第 2 m 140の何れかと、 t¾等の拡散部材とを II体に形成することもできる。

なお、その他の構成等は第 1実施例のタ一ゲット板 100 a 同様であるから説明を省略する。.

「第 3実施例」

ターゲット板 100の第 3実施例を第 5図に基づいて説明する。第 3実施例のターゲット板 100cは、複数のファイバ'一部材 120、 120 · · -をモールドしたものである。

第 3実施例のターゲッ卜板 100 は、モールド部体 150と、このモールド部体 150内に形成され、方向を同じくする複数のファイバ一部材 12

0、 120 · ■ ' ■とから ί冓成さreいる。

モーレド部; I *体 150の片面は、可 ¾をする第 1の面 150 aとなつており、他面も可視光を¾する第 2の面 15 Obとなっており、第 1の面 15 0 aと第 2の面 1 5 O bの何れかが拡散面となっている。

なお、モールド部体 1 5 0とファイバ一部材 1 20の機の屈斤率は異なる必要がある。屈折率が同一であると、レーザ一光は単に通齒するのみとなってしまう。またモール'ド部； Ι Ιεί本 1 5 0とファイノ S'—部材 1 20の屈率を言職することにより、耐の効率を USすることができる。 " t的にはモー/レド部» 体 1 5 0が、ファイバ'一部树1 2 0より屈斤率がいと瓦射の 1率が'向上する。 iiLLの様に構成された第 3実施例のターゲッ卜板 1 00 cでも、光の衝] i位置が拡散面に表出されると共に、特向に駄された光は眩しくなくなり、拡散して楕円?^状となる。

なお棉3実施例では、第 1の面 1 50 aと第 2の面 1 50 bの何れかが拡散面となっており、モールド部体 1 50と拡散面とを ~#に形成しているが、拡散面を難の板; はシート状の拡散部材から形成し、第 1の面 1 50 aと第 2.の面 1 5 0 bの何れかと拡散部材とを別体に形成することもできる。

なお、その他の構成等は第 1実施例のターゲット板 1 00 a等と同様であるから説明を省略する。

: L の様にターゲット装置 1 0 00は、第 1実施例から第 3実施例のターゲット板 1 00をターゲット台 200、 2 1 0上に ¾5して構成する。

このターゲット装置 1 00 0をパイプ工事であれば、ノ、。ィプの内部の底面に設置し、レーザ一照職置 20 0 0からのレーザー光を受〖 tLば、難線を正確に出すことができ、ノ、。ィフ。の高精度の位衝夬めを行うことができる。

次に、ターゲット位置でスキャニングを行う回転照«レーザー装置への応用例を説明する。

まず、回転照濯レーザ一装置 3 0 00の概略を説明する。

回転照皿レーザー装置 3000は、レーザ一光源部から射出されるレーザー光の光上に、コリメータレンズと、傾斜角補正系と、ォ鏡と、ビームエキスパンダと、ターゲットからの光を¾|に導くためのミラーと、 ¾¾ϋと、ビーム回転系とを配置して H成している。

従って回転 I裡レーザー装置 3000は、レーザー光を鉛 amを中心に回転させ、レーザー光により水 TO 面を形成することができ、面を有するターゲットを使用 1ば、回転匪レーザー装置 3000を回脚しすることにより、 ¾線、面等の位定を行うことが'て "きる.:.

そして回転照 J濯レーザー装置 3000用の一般的夕ーゲットは、第 12図に示す 3录な反身ォ部材 60から；！成.さいる。 RI†部 '60には、 2個の垂菌 ΗΙ ゾーン 62、 64が形成されている。

回転照雁レーザー装置 3000は、 ime 0の 2個の垂翻ォゾーン 6

2、 64をサーチし、ダブルパルス信号を得る様になつている。従って、回転照身擢レーザー装置 3000は、ダブルパルス信号によりターゲットである力、不要の M 物であるかを判 lifることが可能となる。

次に ^施例のターゲット装置 1000を回転照画レーザー装置 3000用に応用した場合を説明する。

回転僵レ一ザ一装翻ターゲット 4000は、第 6 (a)図及び'第 6 (b) 図に示す様に、ターゲット板本体 500と、このターゲット板本体 500の ¾m 部に形成されたミラー部 600とから構成されている。

ターゲット板本体 500には、中、部にレーザー λ!す部 510が？^成され、このレーザー Ι部 510の両側にレーザー^部 520, 520が形成されている。

レーザー AIォ部 510は、可概を難する板部材から構成されており、麵部にはミラー部 600が連設されている。

レーザー XIす部 510の内部には、複数のファイノ一部材 120、 120 · ' ■が鉛直方向に平行に配置されている。なお本実施例では、レーザー λ!ォ部 51 0は複数のファイバ一部材' ' ■をモールドして形成されている。

更に、レーザー ΑΙォ部 510の全面部は拡散面となっている。

の様に構成された回照纖レーザー装置用夕ーゲ、ゾト 4000は、使用者が、第 6 (a)図及び第 6 (b)図の手前側から聽する様になつており、レーザ一 λ!部 510に A したレーザー光は、麵部に連設されたミラー部 600 によりされる。そしてされたレーザ一光は、スキャニング方向にされる様になつている。

なお、第ら (a)図及び第 6 (b)図に示に、 ¾|ォの方向を ίϋ¾めることが 'できる。

上の様に構成された本発明は、拡散部材か可視をして拡散させ..,光学部材可を一ifc 向に^する禄に構成されている。

そして本明ほ、拡散部材が可視光を) して拡散させ、光学部材か^ mを一 tt ^向に拡大する様に様になっており、光^材が、長手方向が略平行に配置されている複数のファイバ一部材となっている。

また本発明は、拡肯文部材か可を透過して拡散させ、板が可を^ i させ、光学部材を遠齒板の少なくとも一面側に形成し、光材が、方向が i§ 行に配置されている複数のファイバ一部材となっている。

更に本発明は、拡散部材から形成された拡籠が、可観を難して拡散させ

、屈折率が異なるモールド部材からなる^ i板が、可 ||¾を ^1させ、光学部材を^ 板の中に牙成し、光学部材が、方向が行に配置されている複数のファイバ一部材となっている。

そして本発明は、拡散部材から形成された拡が、可 ίΜ¾をして拡散させ、第 1の邀 ]1板が可 TOを遗させ、第 2の板が可を邀させ、光学部材を第 1の^ 板と第 2の璨應との間に形成し、光学部材が、薛方向が略平行に配置されている複数のファイバー部材となっている。

更に本発明は、ファーバ '—間隔 DIM手段が、ファイバ'—部材とファイノ —部材との間隔をすることができ、可 ί皿の ft^cを変ィ匕させることができる。また本発明の ί复数のファイノ一部材をファイノ s'—シートにすることもで'きる。更に本発明はファィ ) 一部材に代えて、非円形の断面である柱状の光学部材にすることもできる。

そして本発明はファイノ一部材に代えて、円柱レンズにすることもできる。 .また本発明は拡散阪を、板とに开さ成することもできる。

更に本発明は、拡散部材から形成された拡籠に代えて、拡散部材から形成されたシート部材となっており、このシート部材を厘と別体にする力或いは

、シート部材を露板と ~ にすることもできる。

そして本発明は、拡散部材から形成された拡謝反に代えて、板の少なくとも一面を拡散面にすることもできる。また本発明の回転照身厘レーザー装置用ターゲットは、レーザー用ターゲット装置の ¾ffi部に反ミラーを形成している。上の様に構成された本発明は、拡散部が可視光をして拡散させ、板が可概を^ させ、光学部材を邀愚板の少なくとも一面側に形成し、光^ ϋ 材が、方向が! ι^Η亍に配置されて ^複数のファィノ一部材となってるで、光の衝齒位置を拡籠に表出し、した光は拡散の影響を受けて眩しくなくなり、明る場所でも視認性が向上するという熟果がある。

また本発明は、フレキシブルなファイバ一部材を使用しているので、拡丽等の板に挟む^^、モールド ^が麥易となるという ¾1果がぁる。

そして本発明は、ファイバ一部材と拡を組み合わせたので、光の iffi 位置を拡籠に表出すると共に、ファイバ一部材からのレーザ一直当に拡!^れ、明る、場所でも視認性が向上する上、眩しくないという卓越した効果がある。 smjiの利用可能性

の様に本発明は、複数のファイバ一部材を備えると共に、少なくとも 1面を拡敢面にすることにより、明るい場所においても視認性を向上させることのできるレーザー用ターゲット装置に係わり、光の雖位置を拡籠に表出し、衝 § した光は拡散の景響を受けて眩しくなくなり、明る場所でも視認性が向上するレーザー用ターゲ、' /ト装置である。このレーザ一用ターゲッ卜装置は、下水道管等の設事等に ©Iなものである。

Claims

請求の删 i。をして拡散させるための K n材と、を^ 向に拡大させるための光¾！材とカらなり、言 t¾学部材は、方向が行に配置されている複数のファイバ一部材であるレーザー用ターゲット装置。

2。可を遗して拡散させるための拡散部材カら开成さ Iた拡霄癒と、該可 ίΙ¾を韻させるための^ i板と、この ^^板の少なくとも一面側に形成された光学部材とから構成されており、言就学部材は、方向が BTP行に配置されている複数のファィバ一部材であるレーザー用ターゲット装置。

3。可† ¾を透して拡散させるための拡散部材カら开成された拡 i ^と、該可をさせるための屈折率が異なるモールド部材からなる^ 板と、議過板の中に形成された光学部材とから構成されており、雷魏学部材は、 -ifm カ-¾ 行に配置されている複数のファイバー部材であるレーザ—用ターゲット装置。

4。可をして拡散させるための拡散部材から形成された拡 1¾と、該可ネ1¾を iSiさせるための第 1の邀齒板と、 Ml己可 ί見光を^ させるための第 2 の¾i板と、編藤 1の板と 2の齒板との間に形成された光学部材と力ら構成さ ftており、 ^学部材は、方向が ΙίΤΡ行に酉 S置されている複数のファイバ一部材であるレーザー用ターゲット装置。

5。ファイバ'一部材とファイバ'一部材との間隔を肯に構成し、可 ίΙ¾の駄を変化させる請求項 1〜4記載のレーザー用ターゲット装置。

6。複数のファイバ—部材が、ファイバ一シートから構成された請求項 1〜5 のレーザー用ターゲット装置。

7。ファイバ一部材に代えて、非円形の断面である柱状の光学部材である請求項 1〜5言 5®のレーザー用ターゲット装置。

8。ファイノく一部材に代えて、円柱レンズである請求項 1〜5記載のレーザー用タ一ゲット装置。

9。拡 t嫩を、板と"^に形成された請求項 2〜8言のレーザー用ターゲッ卜装置。 1 0。拡散部材から形成された拡«に代えて、拡散部材から形成されたシー卜部 Itとなっており、このシート部材が ¾teと別体に形成されているか、或いは、編 Sシート部材が ¾過板と"^に形成されている請求 Ϊ2〜8記載のレーザ一用ターゲット装置。

1 1。拡散部材から开成された拡散板に代えて、還板の少なくとも一面を拡散面に形成した請求項 2〜1 0雪のレーザ一用ターゲット装置。

1 2。回転照 J通レーザ一装ターゲットであり、レーザー用ターゲッ卜装置の部にミラーが形成されている請求項 1〜 1 1旨 5®のレーザー用ターゲット装置。