WO2004085942A1

WO2004085942A1 - 大型基板用多段式加熱装置

Info

Publication number: WO2004085942A1
Application number: PCT/JP2004/000512
Authority: WO
Inventors: Makoto Fujiyoshi
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2003-03-24
Filing date: 2004-01-21
Publication date: 2004-10-07
Also published as: JPWO2004085942A1; JP3877750B2; TWI312856B; TW200421488A

Abstract

　内部に発熱体を有する両面加熱式の矩形状のパネルヒーター４−１、４−２・・・４−ｎが複数枚、上下方向に所定の間隔を置いて多段に配置され、隣接する上下のパネルヒーター間の空間部が、矩形状の大型基板６を加熱・乾燥させるための乾燥室７−１、７−２・・・７−（ｎ−１）とされている。これら上下方向に多段に形成される複数の乾燥室の周囲を連ねて、上昇気流によるエアカーテンが形成されて、乾燥室内の水蒸気、溶剤蒸気等が、この上昇気流により吸引・排気されるようになっている。この大型基板用多段式加熱装置１によれば、大型基板の高い乾燥品質を保持しつつ、構造が簡単で、製作コスト、運転コスト等のコストを低減することができる。

Description

明細書大型基板用多段式加熱装置技術分野

本願の発明は、液晶表示板（L C D) やプラズマ表示板 ( P D P)等の大型基板を加熱 ·乾燥させるために用いられる大型基板用多段式加熱装置に関し、特に大型基板の高い乾燥品質を保持しつつ、構造の簡素化と製作コスト、運転コスト等コストの低減を図つた大型基板用多段式加熱装置に関する。背景技術

液晶表示板（L C D ) やプラズマ表示板（P D P) 等の大型基板の製造においては、基板洗浄後の水分の除去や、基板上に塗布された薬液の組成分中に含まれる溶剤等の除去のために、加熱 ·乾燥工程が不可欠である。このような、大型基板に対してなされる加熱 -乾燥工程を、大型基板の多数枚について行なうために、多段式加熱装置が使用されることがある。

この多段式加熱装置は、被乾燥物である複数枚の大型基板を上下方向に多段に配置し、これに合わせて、複数枚の棚ヒーターを多段に配置して、各段における大型基板の加熱 ·乾燥処理を、各段における棚ヒー夕一による加熱により、同時に実行するようにされたもので、発生する水蒸気や溶剤蒸気等の排気系は、共通にされている。このような多段式加熱装置は、設置面積を大幅に低減することができるので、多数枚の大型基板を同時に加熱 ·乾燥処理するのに適している。特開 2 0 0 1— 3 1 7 8 7 2号公報に紹介されている大型基板用多段式加熱炉では、各段に配置される棚ヒー夕一が、その両面から遠赤外線が放射される両面加熱式のパネルヒーター（放熱板）によって構成されており、これが上下方向に一定のピヅチで配置されていて、隣り合う上下の棚ヒー夕一間の空間部が乾燥室とされている。このように、両面加熱式の棚ヒー夕一とされることにより、ヒ一夕一が薄型化し、設置高さも大幅に低減されることになり、大幅な省スペース化を図ることができる。また、各棚ヒー夕一に埋設される発熱体は、装置の奥行方向に向かって複数のゾーンに分割されており、各ゾーンの発熱体の発熱温度を任意に設定することができるようにされており、これにより、被加熱物である大型基板の表面加熱温度の均一化が図られている。

また、炉本体の各側壁部には、炉内に臨むようにして遠赤外線パネルヒーターからなる補助加熱用の側面ヒー夕一がそれそれ設置されており、各段の大型 ¾反は、上下の棚ヒ一夕一によりその上下面が加熱されるのみならず、側面ヒー夕一によりその周縁部も加熱されるので、大型基板の全面加熱が可能となって、表面加熱温度の精度が一層高まるように工夫されている。

さらに、この多段式加熱炉においては、各段の棚ヒ一夕一の内部に気体通路が形成されており、この気体通路を流れるエアー類は、棚ヒ一夕一の下面に開口された孔から吹き出されて、乾燥室内の水蒸気や溶剤蒸気等を伴いつつ、ダウンブ口一方式により、乾燥室を囲む炉本体内に集められ、そこから炉本体の側壁部に設けられた排気孔を通じて外部に吸引 '排気され、炉内雰囲気の高いクリーン度が保持されるようになっている。

このように、の大型基板用多段式加熱炉は、設置スペースの低減、大型基板の表面加熱温度の均一化と精度の向上、炉内雰囲気のクリーン度の保持等の点で、種々の工夫が施され、大型基板の乾燥品質を高めることができるものであるが、構造が複雑である上に、排気系にダウンプロ一方式が採用されるなど、製作コスト、運転コストが嵩むものになっている。発明の開示 - 本願の発明は、従来の大型基板用多段式加熱装置が有する前記のような問題点を解決して、大型基板の高い乾燥品質を保持しつつ、構造が簡単で、製作コスト、運転コスト等のコストを低減することができる大型基板用多段式加熱装置を提供することを課題とする。

本願の発明によれば、このような課題は、被乾燥物である矩形状の大型基板を複数枚、多段状に配置して乾燥させるために用いられる大型反用多段式加熱装置であって、内部に発熱体を有する両面加熱式の矩形状のパネルヒーターが複数枚、上下方向に所定の間隔を置いて多段に配置され、隣り合う上下のパネルヒー夕一間の空間部が、前記大型基板を加熱'乾燥させるための乾燥室とされ、上下方向に多段に形成される複数の前記乾燥室の周囲を連ねて、上昇熱気流によるェァカーテンを形成するための気流通路形成手段が設けられていることを特徴とする大型基板用多段式加熱装置により解決される。

この大型基板用多段式加熱装置によれば、気流通路形成手段により、上下方向に多段に形成される複数の乾燥室の周囲を連ねて、上昇熱気流によるエアカーテンが形成され、各段の乾燥室内の水蒸気、溶剤蒸気等は、このエアカーテンにより吸引 '排気され、また、乾燥室外の冷気は、このエアカーテンにより乾燥室内への侵入が防がれるので、乾燥室内を高いクリーン度と高温雰囲気に維持することができ、大型基板に乾燥むらが発生するのを防いで、大型基板の高い乾燥品質を得ることができる。

また、上昇熱気流として、複数の乾燥室の周囲を連ねて自然に形-成される気流を巧く利用して、これを気流通路形成手段により誘導させるだけの簡単な構造により、各段の乾燥室内の水蒸気、溶剤蒸気等の吸引，排気、乾燥室外の冷気の乾燥室内への侵入の防止を図ることができるので、乾燥室内の水蒸気、溶剤蒸気等の強制排気手段、乾燥室内を保温するための側面ヒー夕一等が不要となり、構造を簡単化することができ、また、動力消費を節減することができる。

これらにより、大型基板の高い乾燥品質を保持することができるとともに、構造が簡単で、製作コスト、運転コスト等のコストを低減することができる大型基板用多段式加熱装置を提供することができる。

好ましい実施形態では、この大型基板用多段式加熱装置において、その気流通路形成手段は、複数枚のパネルヒーターの各々の周壁の四周を巡って取り付けられ、細長い 2枚の板が水平方向に所定の間隔を置いて平行に配置されて組み立てられてなる二重壁構造体からなり、エアカーテンは、より下方の二重壁構造体の内部を流れる上昇熱気流が、より上方の二重壁構造体の内部に流入していくようにされることにより形成されている。

これにより、上下方向に多段に形成される複数の乾燥室の周囲を連ねて形成される上昇熱気流によるエアカーテンを、きわめて簡単な構造により得ることができ、上下の複数の乾燥室にわたる均一な温度分布を達成することができる。別の好ましい実施形態では、この大型基板用多段式加熱装置において、その二重壁構造体の内側の板は、その内外両面が黒色に加工され、二重壁構造体の外側の板は、その内面が黒色に加工されている。この結果、二重壁構造体の内外側板の黒色加工による保熱効果により、これらの間の流路を流れる気流がより良く保温され、スムースな上昇熱気流の流れが促進されるとともに、吸引した水蒸気、溶剤蒸気等の固化を防止することができる。また、各乾燥室内に流れ込む気流も保温されているので、各乾燥室内の基板は、外気の影響を受けることなく、安定した温度分布を維持することができる。図面の簡単な説明

図 1は、本願の発明の一実施形態における大型基板用多段式加熱装置の炉壁を透視して見た全体概略斜視図である。

図 2は、同大型基板用多段式加熱装置の乾燥室部分の横断面図である。

図 3は、図 2の I I I— I I I線矢視断面図である。

図 4は、図 3の部分拡大図である。

図 5は、図 1の部分拡大図であって、気流の流れを説明するための図である。図 6は、同大型基板用多段式加熱装置に使用されるパネルヒー夕一の平面図でめる。

図 7は、同パネルヒー夕一の側面図である。

図 8は、図 6の温度センサ一が埋設される部分の拡大図である。

図 9は、図 8の側面図である。

図 1 0は、同パネルヒ一夕一の上に載置されるサブプレートの平面図あって、同サブプレートが乾燥室から引き出された状態を示す図である。

図 1 1は、同サブプレートの一側の位置決め機構の平面図である。

図 1 2は、同サブプレートの他側の位置決め機構の断面図であって、図 2の X I I一 X I I線矢視断面図である。発明を実施するための最良の形態以下、本願の発明の一実施形態について説明する。

本実施形態における大型基板用多段式加熱装置は、主として液晶表示板（L C D ) やプラズマ表示板 ( P D P )等の大型基板の加熱 ·乾燥用に使用される。このような大型基板の製造工程においては、通常、基板洗浄後の水分の除去や、基板上に塗布された薬液の組成分中に含まれる溶剤等の除去のために、大型基板に加熱 ·乾燥処理を施すことが不可欠である。多段式加熱装置は、このような大型基板を複数枚、多段に配置して同時に加熱 '乾燥させるので、設置スペースを節減しつつ、多数の大型基板を迅速に加熱 ·乾燥処理するのに適している。次に、本実施形態における大型基板用多段式加熱装置の構造について説明する。図 1に図示されるように、本実施形態における大型基板用多段式加熱装置 1は、炉壁 2に囲まれた炉底部の架台 3上に、平面視矩形状の複数枚（n枚）のパネルヒ一夕一 4— 1、 4一 2 · · · 4— nが、それらの各四隅を支柱 5により支持されて、上下方向に所定の間隔を置いて多段に配置されている。そして、隣り合う上下のパネルヒーターの間、すなわち、パネルヒーター 4一 1とパネルヒー夕 —4一 2との間、パネルヒーター 4— 2とパネルヒータ一 4一 3との間 . · 'パネルヒーター 4— ( n— 1 ) とパネルヒ一夕一 4一 nとの間の各空間部は、被乾燥物である基板 6を加熱'乾燥させるための乾燥室 7— 1、 7 - 2 - · · 7 - ( n - 1 ) とされている。基板 6は、平面視矩形状をなし、一辺が 1 . 0〜2 . 0 mに及ぶ大型のものであり、厚さは l mm前後から数 mmである。パネルヒー夕 — 4— m (m= l、 2 · · · η) も、基板 6の形状に合わせて平面視矩形状とされているが、その面積は、基板 6の面積よりも広い。

支柱 5は、各段を貫通する 1本の棒状体のものも使用できるが、本実施形態においては、各段毎に分割された分割支柱が使用されており、これらの分割支柱が積み重ねられることにより、支柱 5が形成されている。これらの分割支柱は、架台 3と最下段のパネルヒ一夕一 4— 1との間、隣り合う上下のパネルヒ一夕一の間、最上段のパネルヒーター 4一 ηと後述する天井板 1 3との間に配置されて、これらの四隅において、これらを互いに上下方向に間隔付け、立体的に組み立てている。四隅のうちの任意の一隅に配される支柱 5の下端は、鋼材等からなる架台 3の中に埋設されて（図 1の Α部参照）、固定される一方、残りの三隅を支持する支柱 5は、固定されている支柱を中心として、水平方向に移動可能にされて、パネルヒー夕一 4一 mの熱膨張 ·収縮を許容するようになっている。

パネルヒー夕一 4一 mは、図 3、図 4、図 6ないし図 9に図示されるように、アルミ材からなる上下 2枚の板の間に発熱体 11が挟み込まれ、埋め込まれることにより構成されており、両面加熱式の板状ヒ一夕一であって、図 4に太い矢印で示されるように、その上下両面から輻射熱を放って、その下方および上方の乾燥室 7— （m— 1) 、 7— mにそれそれセットされた基板 6を同時に加熱する。但し、パネルヒーター 4一 mの上面には、後述するサブプレート 8— mが載置されるので、実際には、このサブプレート 8— mを介して輻射熱を放って、その上方の乾燥室 7— mにセットされた基板 6を加熱する。しかしながら、このサブプレート 8— mは、本実施形態において、必須ではない。

発熱体 11は、抵抗発熱体であり、単位長さ当たりの発熱量が均一で、パネルヒ一夕一 4一 mの周縁の近傍に、該周縁に沿って埋め込まれている。発熱体 11 の形態としては、抵抗発熱体に限られず、気体、液体による熱媒体が使用されてもよい。

基板 6は、パネルヒ一夕一 4一 1、 4-2 · · - 4- (n- 1)の上にそれそれ直接に載置されるものではなく、図 1、図 2および図 4に図示されるように、これらのパネルヒー夕一の上に熱伝導性の良好なアルミ材からなるサブプレート 8— 1、 8-2 · - · 8- (n- 1) がそれそれ載置されていて、これらのサブプレ一ト 8— m (m=l、 2 · · · (n-1) ) にそれそれ植設された複数本の支持ピン 9により、基板 6の中央部および周縁部を含む複数適所がそれそれ支持されて（図 2、図 10参照）、各パネルヒー夕一 4一 mの上面および各サブプレ —ト 8— mの上面から所定長だけそれそれ隔てられて、乾燥室 7— 1、 7-2 · - - 7- (n-1)の上下方向略中央部位にセットされる。

したがって、乾燥室 7— m (m=l、 2 · · · (n-1) ) にセットされた基板 6は、隣り合う上下のパネルヒーター 4一（m+1)、 4—mのうち、下方のパネルヒ一夕一 4— mからは、その上に載置されたサブプレート 8— mがパネルヒ一夕一 4一 mの発熱を熱伝導により受熱して放射する輻射熱により、また、上方のパネルヒーター 4— (m+1) からは、それ自体が放射する輻射熱により、その両面が同時に加熱される。

但し、最下段のパネルヒーター 4— 1の下方の空間は、実際には乾燥室として使用されておらず、架台 3の表面上にステンレスプレート 1 2が敷かれていて、最下段のパネルヒー夕一 4一 1の下面から放射される輻射熱を反射し、ここの空間を乾燥室 7—mと同じような高温環境になるようにしていて、最下段の乾燥室 7—1と中間の乾燥室 7— m ( Km< ( n— 1 ) ) との間に温度勾配が生じないようにしている。同様に、最上段のパネルヒーター 4— nの上方の空間も、実際には乾燥室として使用されておらず、ステンレスプレートが裏貼りされた天井板 1 3が張設されていて、最上段のパネルヒー夕一 4一 n上に載置されたサブプレート 8— nから放射される輻射熱を反射し、ここの空間を乾燥室 7— mと同じような高温環境になるようにしていて、最上段の乾燥室 7— (n - 1 ) と中間の乾燥室 7— m ( Km< ( n- 1 ) ) との間に温度勾配が生じないようにしている。以下、これらの高温環境空間を下部補助乾燥室 7 L、上部補助乾燥室 7 Uと呼ぶこととする。

基板 6の乾燥室 7—1、 7 - 2 · · - 7 - (n- 1 ) 内におけるセットは、複数本の支持ビン 9により複数適所がそれそれ支持されるのみならず、図 2、図 4 および図 1 0に図示されるように、その四隅の各々が、そこの直交する 2辺を挟み込むようにして配置された 2本の位置決めピン 1 0により、それそれ位置決めされることにより、サブプレート 8—m (m= l、 2 · · · (n - 1 ) ) の上面から所定の高さ位置で、水平面上の所定の位置に、正確に位置決めされる。 ¾反 6のこのようなセッティングは、図示されないロボットにより自動的に行なわれる。なお、位置決めピン 1 0は、基板 6の大きさに応じ、その位置を調整することができるように、可動片 2 2に植設されている。この可動片 2 2は、サブプレ一ト 8—mの上面へのネジ止め位置を所定の範囲で変えることができる。

サブプレート 8— mは、図 2に図示されるように、パネルヒー夕一 4一 mと略相似形状の平面視矩形状をなし、パネルヒー夕一 4一 mよりもわずかに狭い。そして、サブプレート 8—mをパネルヒ一夕一 4— mの上面に載置したり、メンテナンスのために、そこから取り出したりするときに便利なように、サブプレート 8—mの出し入れ方向手前側になるメンテナンス作業側の側縁と、サブプレート 8—mの出し入れ方向先方側になる反メンテナンス作業側の側縁とに、一対の把手 1 4がそれそれ取り付けられている。図 1 0には、サブプレート 8— mがパネルヒ一夕一 4— m上から取り出された状態が図示されている。

また、サブプレート 8— mは、それがパネルヒーター 4一 mの上面に載置されたとき、所定の位置に位置決めされるように、メンテナンス作業側においては、図 2、図 1 0および図 1 1に図示されるように、サブプレート 8— mの左右両隅部にそれそれ位置決め部材 1 5、 1 6が固着され、また、これらの位置決め部材 1 5、 1 6に係合するように、パネルヒー夕一 4— mの対応する部位（サブプレート 8—mの出し入れ方向手前側のパネルヒーター 4一 mの左右両隅部近傍）に、それそれ位置決め部材 1 7、 1 8が固着されている。

位置決め部材 1 5は、その図 1 1において左方上端部が丸く突出させられていて、位置決め部材 1 7の図 1 1において下端の V字状溝に嵌合（凹凸嵌合）して、これら両位置決め部材 1 5、 1 7同志が係合する。また、位置決め部材 1 6は、その図 1 1において右方上端部が丸く突出させられていて、位置決め部材 1 8 の図 1 1において下方の平坦面に衝合して、これら両位置決め部材 1 6、 1 8同志が係合する。そして、この係合状態において、位置決め部材 1 5、 1 6の角部の部分がロヅクピン 1 9によりパネルヒ一夕一 4— mにそれそれネジ止めされて、サブプレート 8—mがパネルヒ一夕一 4—mに固定される。このようにして、サブプレート 8— mの水平面上における位置ずれと回転とが防止されている。また、サブプレート 8— mの反メンテナンス作業側においては、図 2および図 1 2に図示されるように、サブプレート 8— mの側縁に沿って、左右一対の押え板 2 0と中央部の押え板 2 1とが、それそれパネルヒ一夕一 4— mの上面に固着されている。これらの押え板（押え部材） 2 0、 2 1は、それらとパネルヒー夕 —4一 mの上面との間の内方凹所にサブプレ一ト 8— mの側縁を受け入れて、サブプレート 8— mのこの側縁側が熱により反り上がったり、凹んだりして、熱変形を起こすのを防止している。

次に、乾燥室 7— 1、 7 - 2 · · · 7 - ( n— 1 ) の各々において発生する水蒸気、溶剤蒸気等の排気構造について説明する。

図 1に図示されるように、多段式加熱装置 1の炉壁 2の下方部の適所には、外気取り入れ口 2 7が形成されており、また、その天井部には、排気口 2 8が形成されている。したがって、外気取り入れ口 2 7から取り入れられた外気は、下部補助乾燥室 7 L、乾燥室 7— 1、 7 - 2 - · · 7 - （n— 1 )、上部補助乾燥室 7 Uの各室内部の熱気およびこれらの各室を取り囲む構造物の熱により加熱されて、上昇熱気流（図 4、図 5の矢印 B参照）となる。そして、これらの各室および構造物から適切に熱を奪い、また、装置内部において発生した各種気体（水蒸気、溶剤蒸気等）、パーティクル等を吸引して内部に取り込み、排気口 2 8から流出する。この上昇熱気流は、外気が専ら装置内部で加熱されることにより生起される自然対流に因っているので、ポンプ動力の消費はわずかである。

他方、パネルヒー夕一 4— 1、 4— 2 · · · 4— nの各々の周壁には、図 1ないし図 5に図示されるように、その四周を巡って、上昇熱気流形成用二重壁構造体 2 3— 1、 2 3 - 2 · · · 2 3— nがボルト等の固定具により固着されている。また、天井板 1 3の周壁にも、その四周を巡って、略同様の構造の上昇熱気流形成用二重壁構造体 2 4がボルト等の固定具により固着されている。二重壁構造体 2 4は、二重壁構造体 2 3— 1、 2 3 - 2 · · - 2 3— nよりわずかに幅（高さ）が短くされてもよい。

これらの二重壁構造体 2 3— 1、 2 3 - 2 · · - 2 3— n、 2 4の各々は、図 4および図 5により良く図示されるように、内側に位置する内側折曲板 2 5と外側に位置する外側折曲板 2 6とを構成要素とし、これら内側折曲板 2 5と外側折曲板 2 6とが、これらの間に水平方向にスペース Sを置いて隔てられ、平行に配置されて、組み立てられることにより構成されている。そして、その上端部は、乾燥室 7— 1、 7 - 2 · · · 7 - ( n - 1 ) および上部補助乾燥室 7 Uの各周囲開口部の上下方向略中央部にまで伸長している。

内側折曲板 2 5は、アルミ材からなり、その内外両面が黒色に加工され、その上方部が内方に折曲されている。また、外側折曲板 2 6は、ステンレス材からなり、その内面が黒色に加工され、その上方部が内方に折曲されるとともに、その下方部が、内側折曲板 2 5の下方部から遠ざかるように外方に折曲され、しかも、内側折曲板 2 5の下方部よりもわずかに下方に伸長した形状をなしている。内側折曲板 2 5の内外両面の黒色加工、外側折曲板 2 6の内面の黒色加工は、テフロン（登録商標）に黒色塗料を練り込んだものを、これらの面に被膜することによって行なわれている。

内外折曲板 2 5、 2 6のこのような形状により、これらを構成要素とする二重壁構造体 2 3— m (m= 1、 2 . ■ ■ n)、 2 4の下方部は、下方に向けて末広がり状に開口して、広く気流を取り入れ、中間部は、上方を指向した直線状の気流流路となり、上方部は、この気流をやや内方寄りに指向して、乾燥室 7— m ( m= l、 2 · · · ( n— 1 ) ) および上部補助乾燥室 7 Uの各周囲開口部の上方部分に向けて流出させることができるようになつている。

二重壁構造体 2 3— m (m= l、 2 · · · n)、 2 4は、前記のように構成されており、また、すでに述べたとおり、多段式加熱装置 1の内部には、下部補助乾燥室 7 L、乾燥室 7— 1、 7 - 2 - · - 7 - ( n- 1 )、上部補助乾燥室 7 U の各室の周囲を囲んで、上昇熱気流が生じているので、これらの二重壁構造体 2 3— m、 2 4が所定の間隔を置いて上下に配置された状態においては、装置内部の上昇熱気流の大部分は、各二重壁構造体 2 3— m、 2 4の内部流路を流れるようになる（図 4、図 5の矢印 C参照）。

より下方の二重壁構造体 2 3— m内を上昇する熱気流は、その流出口において、一旦乾燥室 7—mの周囲開口部の上方部分に向かうようにやや内方寄りに指向しながら、当該乾燥室 7 _m内の熱気流に押し戻され、また、上方の二重壁構造体 2 3— (m+ 1 ) 内を上昇する熱気流により引っ張られて、より上方の二重壁構造体 2 3— (m+ 1 ) 内に吸引されて行く。このようにして、上下方向に多段に形成された複数の乾燥室 7— 1、 7 - 2 · · · 7 - ( n- 1 ) および上部補助乾燥室 7 Uの周囲を連ねて、上昇熱気流によるエアカーテンが形成される。各乾燥室 7 _m内に充満する水蒸気、溶剤蒸気等は、この上昇熱気流により吸引され (図 4、図 5の矢印 D参照）、これに取り込まれて、排気口 2 8から排気されるこの間、内外折曲板 2 5、 2 6の各面の黒色加工による保熱効果により、これらの間の流路を流れる気流がより良く保温されるので、各乾燥室 7— m内に流れ込む気流も保温されているため、各乾燥室 7— m内の基板 6は、外気の影響を受けることなく、安定した温度分布を維持することができる。上記の熱気流の流れは、上昇気流によるエアカーテンであり、多段に配置されたパネルヒーター 4一 mの周囲を取り囲むように形成されるため、各乾燥室 Ί一 mの温度をより安定させる。

また、各乾燥室 7— m内に充満する水蒸気、溶剤蒸気等が上昇熱気流（エア力 —テン）に取り込まれて排気される過程においては、内外折曲板 2 5、 2 6の各面の黒色加工による保熱効果により、これらの間の流路を流れる気流がより良く保温されるので、水蒸気、溶剤蒸気等の固化を防止することができる。さらに、内外折曲板 2 5、 2 6の各面に施された黒色加工中に含まれるテフロンの作用により、これらの板面への水蒸気、溶剤蒸気、各種パ一ティクル等の付着が防止されて、両板の腐食が防がれる。これらにより、上昇熱気流のスムースな流れを形成することができる。

なお、上昇熱気流形成用二重壁構造体 2 3— 1、 2 3 - 2 - · · 2 3—nの各々には、図 1に図示されるように、多段式加熱装置 1の扉（図示されず）が設けられる側において、パネルヒー夕一 4— 1、 4 - 2 - · · 4— nの各厚さを残し、所定長にわたって、切欠き 2 9が左右 2個所に形成されている。これらの切欠き 2 9は、図示されないロボットのハンドが基板 6を載せて各乾燥室 7 _m (m = 1、 2 . . . ( n - 1 ) ) 内に出入りするのに便利なように設けられたものである。

各パネルヒ一夕一 4一 m (m= l、 2 · · · n) には、その発熱温度を検知するために、図 8および図 9に図示されるように、その任意の一隅近傍に温度センサー 3 0が埋設されている。前記のとおり、パネルヒ一夕一 4— mの発熱体 1 1 は、パネルヒ一夕一 4一 mの周縁の近傍に、該周縁に沿って埋め込まれており、一様に発熱するので、パネルヒ一夕一 4一 mの任意の一隅近傍の温度を、この温度センサー 3 0により計測して、パネルヒー夕一 4一 mの発熱温度の制御を行なう。なお、温度センサー 3 0の近傍には、パネルヒー夕一 4一 mの過昇温を防止するためのサ一モスイッチ 3 1が埋設されている。

本実施形態における大型基板用多段式加熱装置 1は、前記のように構成されているので、今、図示されないロボットのハンドが基板 6を各乾燥室 7— m (m= 1、 2 · · ■ ( n - 1 ) ) 内の複数本の支持ピン 9上にセットして、各パネルヒ —夕一 4— m (m=l、 2 · · · n) を所定の温度で維持させると、各乾燥室 7 —m内の基板 6は、その下方のパネルヒーター 4一 m上に載置されたサブプレ一ト 8—m、およびその上方のパネルヒ一夕一 4一 (m+ 1)から放射される輻射熱により、その両面が同時に加熱されて、迅速に乾燥される。そして、この加熱

-乾燥処理中に発生する水蒸気や溶剤蒸気等は、乾燥室 7— mの周囲開口部へと流動し、二重壁構造体 23— m内の流路を上昇して来た熱気流により吸引され、これに取り込まれて、乾燥室 7 _mから排気される。

そして、このようにして水蒸気や溶剤蒸気等を取り込んだ上昇熱気流は、順次、上方の二重壁構造体 23— (m+1)、 23- (m+2) · · ■ 24内を流れ、そこの室内の水蒸気や溶剤蒸気等を取り込みつつ、各乾燥室 7— m、上部補助乾燥室 7 Uを囲むエア力一テンを形成して、他の上昇熱気流とともに排気口 28 から排気される。

本実施形態の大型基板用多段式加熱装置は、前記のように構成されているので次のような効果を奏することができる。

二重壁構造体 23— 1、 23-2 · · · 23— n (気流通路形成手段）により、上下方向に多段に形成される複数の乾燥室 7— 1、 7-2 · · - 7- (n-1 ) の周囲を連ねて、上昇熱気流によるエアカーテンが形成され、各段の乾燥室 7 -m (m=l、 2 · ■ · (n-1) ) 内の水蒸気、溶剤蒸気等は、このエア力一テンにより吸引，排気され、また、乾燥室 7— m外の冷気は、このエア力一テンにより乾燥室 7—m内への侵入が防がれるので、乾燥室 7—m内を高いクリーン度と高温雰囲気に維持することができ、大型基板に乾燥むらが発生するのを防いで、大型基板の高い乾燥品質を得ることができる。

また、上昇熱気流として、下部補助乾燥室 7 L、複数の乾燥室 7— m (m=l 、 2 · · · (n-1) )、上部補助乾燥室 7 Uの周囲を連ねて自然に形成される気流の流れを巧く利用して、これを二重壁構造体 23— m (m=l、 2 · · · n ) により誘導させるだけの簡単な構造により、各段の乾燥室 7— m内の水蒸気、溶剤蒸気等の吸引 '排気、乾燥室 7— m外の冷気の乾燥室 7— m内への侵入の防止を図ることができるので、乾燥室 7— m内の水蒸気、溶剤蒸気等の強制排気手段（例えば、パネルヒ一夕一 4— m (m=2、 3■ · · n)の壁体内に形成されるダウンプロ一用空気通路や排気ポンプ等）、乾燥室 7—m内を保温するための側面ヒ一夕一等が不要となり、構造を簡単化することができ、また、動力消費を節減することができる。

これらにより、大型基板 6の高い乾燥品質を保持することができるとともに、構造が簡単で、製作コスト、運転コスト等のコストを低減することができる大型基板用多段式加熱装置を提供することができる。

また、二重壁構造体 2 3— m (m= l、 2 · · - n) は、複数枚のパネルヒー夕一 4一 1、 4 - 2 · · · 4一 n、天井板 1 3の各々の周壁の四周を巡って取り付けられ、細長い 2枚の板（内側折曲板 2 5、外側折曲板 2 6 ) が水平方向に所定の間隔（スペース S ) を置いて隔てられ、平行に配置されて組み立てられてなり、エア力一テンは、より下方の二重壁構造体 2 3— mの内部を流れる上昇熱気流が、より上方の二重壁構造体 2 3— (m+ 1 ) の内部に流入していくようにされることにより形成されているので、上下方向に多段に形成される複数の乾燥室 7— m (m= l、 2 · · · ( n - 1 ) ) の周囲を連ねて形成される上昇熱気流によるエアカーテンをきわめて簡単な構造により得ることができ、これら上下の複数の乾燥室にわたる均一な温度分布を達成することができる。

さらに、各二重壁構造体 2 3 -m (m= l、 2 · · · n) の上端部は、当該二重壁構造体が位置する段の乾燥室 7 _ mの周囲閧口部の上下方向略中央部にまで伸びており、しかも、二重壁構造体 2 3— mの内側折曲板 2 5は、その上方部が内方に折曲され、外側折曲板 2 6は、その上方部が内方に折曲されるとともに、その下方部が、内側折曲板 2 5の下方部から遠ざかるように外方に折曲され、内側折曲板 2 5の下方部よりもわずかに下方に伸長した形状をなしているので、二重壁構造体 2 3— mの下方部は、末広がり状に下方に開口して広く気流を取り入れ、中間部は、上方を指向した直線状の気流流路となり、上方部は、この気流をやや内方に指向して、各乾燥室 7— mの各周囲開口部の上方部分に向けて流出させ、各乾燥室 7— m内に充満する水蒸気、溶剤蒸気等により押し戻されながら、これらを吸引して内部に取り込み、より上位の二重壁構造体 2 3 _ (m+ 1 ) 内に流入して行くことができる。これにより、エアカーテンを確実、安定的に形成しつつ、このエアカーテン（上昇熱気流）による各段の乾燥室 7— m内の水蒸気、溶剤蒸気等の吸引 '排気、乾燥室 7— m外の冷気の乾燥室 7— m内への侵入の防止を確実に行なうことができる。

また、二重壁構造体 2 3— mの内側折曲板 2 5は、その内外両面が黒色に加工され、外側折曲板 2 6は、その内面が黒色に加工されているので、その保熱効果により、これらの間の流路を流れる気流がより良く保温され、スムースな上昇熱気流の流れが促進されるとともに、吸引した水蒸気、溶剤蒸気等の固化を防止することができる。また、各乾燥室 7— m内に流れ込む気流も保温されているので、各乾燥室 7— m内の基板 6は、外気の影響を受けることなく、安定した温度分布を維持することができる。

さらに、また、内外折曲板 2 5、 2 6の各面に施された黒色加工中に含まれるテフロンの作用により、これらの板面への水蒸気、溶剤蒸気、各種パーティクル等の付着が防止されて、両板の腐食を防止することができる。その他、種々の効果を奏することができる。

なお、本願の発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。

Claims

請求の範囲

1 . 被乾燥物である矩形状の大型基板を複数枚、多段状に配置して乾燥させるために用いられる大型基板用多段式加熱装置であって、

内部に発熱体を有する両面加熱式の矩形状のパネルヒ一夕一が複数枚、上下方向に所定の間隔を置いて多段に配置され、

隣り合う上下のパネルヒー夕一間の空間部が、前記大型基板を加熱 ·乾燥させるための乾燥室とされ、

上下方向に多段に形成される複数の前記乾燥室の周囲を連ねて、上昇熱気流によるエアカーテンを形成するための気流通路形成手段が設けられていることを特徴とする大型基板用多段式加熱装置。

2 . 前記気流通路形成手段は、複数枚の前記パネルヒーターの各々の周壁の四周を巡って取り付けられ、細長い 2枚の板が水平方向に所定の間隔を置いて平行に配置されて組み立てられてなる二重壁構造体からなり、

前記エアカーテンは、より下方の前記二重壁構造体の内部を流れる上昇熱気流が、より上方の前記二重壁構造体の内部に流入していくようにされることにより形成されている

ことを特徴とする請求項 1に記載の大型基板用多段式加熱装置。

3 . 前記二重壁構造体の内側の板は、その内外両面が黒色に加工され、

前記二重壁構造体の外側の板は、その内面が黒色に加工されている

ことを特徴とする請求項 2に記載の大型基板用多段式加熱装置。