Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement
Technisches Gebiet
Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement. Die vorgeschlagene Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem elektrischen Heizelement ist in Kraftfahrzeugen (Kfz) einsetzbar.
Stand der Technik
In modernen Fahrzeugen steuern Luftgütesensoren die Umluftklappe der Klimaanlage. Bei schlechter Außenluft wird die Umluftklappe geschlossen und erst dann wieder geöffnet, wenn die Außenluft wieder besser ist. Schlechte Außenluft liegt beispielsweise dann vor, wenn die Konzentration an schadstoff- haltiger Luft für den Fahrzeugeninsassen zu hoch ist. Gemessen wird dazu beispielsweise die NOx- Konzentration und/oder die Konzentration an Kohlenwasserstoffen und/oder die Konzentration an Kohlen- monoxid in der das Fahrzeug umgebenden Luft.
Ob die Umluftklappe geschlossen oder geöffnet werden soll, hängt somit von der Qualität der Umgebungsluft des Fahrzeugs ab. Dazu werden ständig bestimmte Leitgase in der Luft überwacht. Steigt die Konzentration eines Leitgases über einem vordefinierten Pegel oder Schaltgradienten, rauss das Innere des Fahrzeugs gegen das in der Umgebung des Fahrzeugs befindliche schädliche Gas, im folgenden auch als Schadgas bezeichnet, geschützt werden. Da- zu kann die Klimaanlage das Schließen der Umluftklappe veranlassen, falls andere für die Klimaanlage relevante Daten dies zulassen.
Zur Erfassung der Qualität der Umgebungsluft wird ein Sensor verwendet, dessen Widerstand sich je nach Zusammensetzung der den Sensor umgebenden Luft ändert. Dieser, im folgenden auch als chemischer Gassensor bezeichnete Sensor benötigt, um die Konzentration eines bestimmten Gases in der Umgebungs- luft erfassen zu können, eine Aktivierungsenergie, die ihm in Form von Wärme zugeführt wird. Der Sensor ist dazu mit einem elektrischen Heizelement versehen. Die Erfassung der Gaskonzentration erfolgt mit Hilfe einer auf dieses Gas sensitiven Schicht, die auf einer Silizium-Membran aufgebracht ist. Der sich in Abhängigkeit von der Gaskonzentration ändernde Widerstand der gassensitiven Schicht wird über zwei mit der gassensitiven Schicht in Verbindung stehenden Elektroden erfasst. Die gas- sensitive Schicht ist dabei als Halbleiter- Metalloxid-Schicht ausgebildet. Die Genauigkeit bei der Erfassung der Gaskonzentration mit Hilfe eines solchen Sensors hängt stark davon ab, wie genau die
gewünschte Temperatur, im folgenden als Betriebstemperatur bezeichnet, eingehalten werden kann.
Des weiteren ist es möglich, mit nur einem Sensor die Konzentrationen von zwei unterschiedlichen Gasen zu erfassen. Der Sensor wird dazu zuerst auf eine erste Betriebstemperatur gebracht, dann wird die Konzentration des ersten zu erfassenden Gases gemessen, anschließend wird der Sensor -auf eine zweite Betriebstemperatur gebracht, um dann die Konzentration des zweiten zu erfassenden Gases zu messen. Schließlich wird der Sensor wieder auf die erste Betriebstemperatur gebracht, um erneut die Konzentration des ersten zu erfassenden Gases zu messen. Die Gaskonzentrationen werden somit periodisch alternativ erfasst. Hierbei muss neben der exakten Einhaltung der für das jeweilige Gas erforderlichen Betriebstemperatur auch eine hohe zeitliche Genauigkeit bei der • Umschaltung zwischen den verschiedenen Betriebstemperaturen gewährleistet werden.
Darstellung der Erfindung
Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement bietet den Vorteil, dass sowohl der absolute Wert der Betriebstemperatur als auch die zeitliche Genauig- keit bei der Umschaltung zwischen zwei oder noch mehr verschiedenen Betriebstemperaturen exakt eingehalten werden kann.
Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement weist dazu die Merkmale gemäß Patentanspruch 1 auf.
Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement weist einen Regelkreis zur Regelung der Betriebstemperatur des Sensors über das Heizelement auf, wobei der Regelkreis einen Pulsgenerator zur Erzeugung eines Pulssignals mit veränderbarer Pulsweite aufweist. Der Pulsgenerator ist ausgangsseitig mit dem Heizelement verbunden.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den abhängigen Patentansprüchen angegebenen Merkmalen.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung weist die Schaltungsanordnung eine Steuereinheit zur Vorgabe einer oder mehrerer Soll-Betriebstemperaturen auf, wobei die Steuereinheit ausgangsseitig mit dem Regelkreis verbunden ist. Damit können mit einem einzelnen Sensor die Konzentrationen von verschiedenen Gasen erfasst werden.
Entsprechend einer bevorzugten Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung ist im Regelkreis der Pulsgenerator mit einem Zähler versehen, dessen Zählbereich die Periode des Pulssig- nals vorgibt. Dies hat den Vorteil, dass neben der Möglichkeit zur Veränderung der Pulsweite auch die Frequenz des Pulssignals verändert werden kann.
Bei einer Weiterbildung der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung weist der Pulsgenerator ein Ü- bertragsregister für einen Übertragswert auf, um den Zählbereich vorzugeben. Damit kann auf einfache Art und Weise der Zählbereich vergrößert oder verkleinert werden. Wird der Zählbereich vergrößert, in dem der Übertragswert im Übertragsregister verkleinert wird, wird damit die Frequenz des Pulssignals verringert. Wird im umgekehrten Fall der Zähl- bereich verkleinert, in dem der Übertragswert vergrößert wird, wird damit die Frequenz des Pulssignals vergrößert.
Darüber hinaus kann die erfindungsgemäße Schal- tungsanordnung im Pulsgenerator ein Komparatorre- gister für einen Komparatorwert aufweisen, wobei der Komparatorwert den Zeitpunkt eines Pegelwechsels des Pulssignals vorgibt. Damit lässt sich auf eine einfache Art und Weise die Pulsweite des Puls- Signals einstellen. So lange der Zählerwert den Komparatorwert unterschreitet behält das Pulssignals seinen Pegel bei. Sobald der Zählerwert dem Komparatorwert entspricht, wechselt der Pegel des Pulssignals .
Vorteilhafterweise kann bei der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung eine Korrektureinheit vorgesehen seien, um aus der Soll-Betriebstemperatur und der Ist-Betriebstemperatur des Sensors einen Kor- rekturwert zu bilden.
Bei einer Ausführungsform der Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement ist ein Analog-Digital-Umsetzter vorgesehen, um die
Ist-Temperatur des Sensors zu digitalisieren und der Korrektureinheit zuzuführen.
Darüber hinaus kann bei der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung vorgesehen sein, dass die Steuereinheit, der Pulsgenerator und der Analog- Digital-Wandler Teil eines MikroControllers sind. Dies hat den Vorteil, dass die Schaltung mit wenigen Bauelementen auskommt, wenig Platz benötigt, flexibel programmierbar und kostengünstiger realisierbar ist.
Bei einer Weiterbildung der erfindungsgemäßen Schaltung ist die Steuereinheit derart ausgebildet und betreibbar, dass damit die Schaltungsanordnung in einem Messmodus oder einem Heizmodus betrieben werden kann. Dazu wird im Messmodus die Heizung abgeschaltet .
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Figur 1 zeigt in Form eines Blockdiagramms den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemä- ßen Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Sensors mit einem Heizelement.
Figur 2 zeigt in Form eines Zustandsdiagramms die Steuerung bei der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung.
Figur 3 zeigt den prinzipiellen Aufbau eines für die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung geeigneten Gassensors in der Draufsicht.
Figur 4 zeigt den prinzipiellen Aufbau des in Figur 3 gezeigten Gassensors zusätzlich mit einer gassensitiven Schicht in der Drauf- sieht.
Wege zur Ausführung der Erfindung
In Figur 1 ist eine mögliche Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung zum Betreiben ' eines Sensors mit einem Heizelement in vereinfachter Form als Blockdiagramm dargestellt. An einen ersten Eingang 2.1 einer Steuereinheit 14 ist ein erster Wert anlegbar, der eine erste Soll- Betriebstemperatur Tl repräsentiert. An einen zweiten Eingang 2.2 der Steuereinheit 14 ist ein zweiter Wert anlegbar, der eine zweite Soll- Betriebstemperatur T2 repräsentiert. Die beiden Eingänge 2.1 und 2.2 sind zudem die Eingänge einer Einheit zur Temperaturvorgabe 2. Es können auch weitere Soll-Temperaturen am Eingang Tn zur Verfügung gestellt werden. Mittels einer Logik 3, welche mit ihrem ersten Ausgang 3.1 mit dem Steuereingang 2.3 der Einheit zur Temperaturvorgabe 2 verbunden ist, wird ausgewählt, welche der beiden Temperaturen Tl oder T2, die an den beiden Eingängen 2.1 und 2.2 anliegen, als Sollwert für die Betriebstemperatur am Ausgang 2.4 der Einheit zur Temperaturvorga- be 2 anliegen soll. Die Logik 3 ist ebenfalls Be¬ standteil der Steuereinheit 14. Eine Einheit zur Zeitsteuerung 4 ist über ihren Ausgang 4.1 mit dem Steuereingang 3.3 der Logik 3 verbunden. Über die Zeitsteuerung 4 wird die Logik 3 veranlasst, zu
entsprechenden Steuerzeitpunkten ein Steuersignal am Ausgang 3.2 zu erzeugen, welches von einer Einheit zur Messsteuerung 5 an dessen Eingang 5.1 empfangen wird. Entsprechend den von der Zeitsteuerung erzeugten Befehlen steuert die Einheit zur Messsteuerung 5 einen Analog-Digital-Umsetzter 7, einen Pulsgenerator 9 sowie ein Schaltelement 8» Die Einheit zur Messsteuerung 5 ist dazu mit ihrem Ausgang 5.2 mit dem Steuereingang 7.2 des Analog-Digital- Umsetzers 7, dem Steuereingang 9.3 des Pulsgenerators 9 sowie einem Steuerausgang 15.1 der Schaltung 1 verbunden. Der Steuerausgang 15.1 wiederum ist mit dem Steuereingang des Schaltelements 8 verbunden. Als Schaltelement 8 kann beispielsweise ein elektronisch steuerbarer Schalter, welcher als Transistor ausgebildet sein kann, verwendet werden. Die Schaltausgänge des Schaltelements 8 sind einerseits mit einer Versorgungsspannung, beispielsweise 5 V, und andererseits mit einem ersten Anschluss eines Messwiderstands 11 zur Erfassung der Temperatur eines Gassensors verbunden.^ Damit kann über den Ausgang 15.1 der Schaltung 1 bzw. den Steuereingang des Schaltelements 8 der Messwiderstand 11 wahlweise mit der Versorgungsspannung verbunden oder von dieser getrennt werden. Der zweite Anschluss des Messwiderstands 11 ist einerseits mit einem ersten Anschluss eines Heizwiderstands 12, einem Messeingang 15.2 der Schaltung 1 sowie einem weiteren Steuerausgang 15.3 der Schaltung 1, der im folgen- den auch als Port bezeichnet wird, verbunden. Der Messeingang 15.2 der Schaltung 1 wiederum ist mit dem Eingang 7.1 des Analog-Digital-Umsetzers 7 verbunden. Sobald der Analog-Digital-Umsetzter 7 über seinen Steuereingang 7. 2 den entsprechenden Befehl
zur Signalumsetzung erhält, wird die am Eingang 7.1 des Analog-Digital-Umsetzers 7 anliegende analoge Spannung, welche dem Istwert der Betriebstemperatur des Gassensors entspricht, in einen digitalen Be- triebstemperaturwert T umgesetzt. Da der Ausgang 7.3 des Analog-Digital-Umsetzers 7 mit einem Eingang 6.2 einer Korrektureinheit 6 verbunden ist, kann die Korrektureinheit 6 zusammen mit dem an ihren anderen Eingang 6.1 anliegenden Wert- für die Soll-Betriebstemperatur einen entsprechenden Korrekturwert KW berechnen. Der Korrekturwert KW ist dann am Ausgang 6.3 der Korrektureinheit 6 abgreifbar. Über eine Verbindung des Ausgangs 6.3 mit einem Korrekturwert-Eingang 9.1 des Pulsgenerators 9 wird der Korrekturwert KW dem Pulsgenerator 9 zugeführt. Am Eingang 9.2 des Pulsgenerators 9 ist ein Oszillator 13 angeschlossen, der ein Referenzsignal, oder auch als Taktsignal bezeichnet, mit einer konstanten Frequenz erzeugt und damit die Zählge- schwindigkeit des im Pulsgenerator 9 integrierten Zählers vorgibt. Der Pulsgenerator 9 erzeugt an seinem Ausgang 9.4 ein Pulssignal 9.6 dessen Pulsweite und Frequenz über den Korrekturwert KW eingestellt werden kann. Über das Pulssignal 9.6 wird ein zweites Schaltelement 10, welches ebenso wie das Schaltelement 8 ein elektronisch steuerbarer Schalter in Form eines Transistors sein kann, gesteuert. Der Steuereingang des Schaltelements 10 ist dazu mit dem Ausgang 9.4 des Pulsgenerators 9 verbunden. Ausgangsseitig ist das Schaltelement 10 mit seinem einen Schaltausgang mit der Versorgungsspannung oder Heizspannung, beispielsweise 5 Volt, verbunden. Mit seinem zweiten Schaltausgang ist das Schaltelement 10 über den Steuerausgang 15.3 der
Schaltung 1 mit dem Heizwiderstand 12 des Sensors verbunden. Der zweite Anschluss des Heizwiderstands 12 des Sensors ist mit einem Bezugspotenzial GND verbunden. Somit wird über das Schaltelement 10 das Heizelement des Sensors gesteuert, indem der Heizwiderstand 12 bedarfsweise über das Schaltelement 10 mit der Heizspannung verbunden wird.
Der Pulsgenerator 9, welcher auch als Autor Reload Timer bezeichnet wird, beinhaltet den bereits erwähnten Zähler, der kontinuierlich von einem An- fangswert R, beispielsweise von Null, bis zu einem maximalen Zählerwert Z zählt. Anschließend beginnt der Zähler wieder beim einem Anfangswert R, bei- spielsweise bei Null, um erneut bis zum maximalen Zählerwert Z zu zählen. Dieser Vorgang wiederholt sich beliebig oft.
Um die Zähldauer, welche sich aus der Differenz zwischen maximalem Zählerwert Z und Anfangswert R ergibt, verändern zu können, besteht die Möglichkeit, dem Pulsgenerator 9 über den Steuereingang 9.1 mit Hilfe des Korrekturwerts KW den Anfangswert R vorzugeben. Je größer der Anfangswert R ist, des- to kleiner wird die Differenz zwischen maximalem Zählerwert Z und Anfangswert R, und desto niedriger wird die Frequenz und die Periode P des Pulssignals 9.6 am Ausgang 9.4 des Pulsgenerators 9.
Zur Einstellung der Pulsweite des Pulssignals 9.6 ist ein Komparatorwert K vorgesehen, bei dessen Er¬ reichen das Pulssignal 9.6 seinen Pegel wechselt. Dies ist bei dem in Figur 1 gezeigten Beispiel zu den beiden Zeitpunkten t2 und t4 der Fall. Je höher
der Komparatorwert K gewählt wird, desto länger befindet sich das Pulssignal 9.6 im Zustand high. Um ein Pulsbreitenverhältnis von 50 Prozent zu erhalten, ist der Komparatorwert K=(Z-R)/2 zu wählen. Sobald der Zähler des Pulsgenerators 9 wieder mit dem Anfangswert R zu zählen beginnt, wechselt das Pulssignal 9.6 am Ausgang 9.4 des Pulsgenerators 9 vom Zustand low in den Zustand high.
Die in Figur 1 mit dem Bezugszeichen 1 gekennzeichnete Schaltung kann vorzugsweise als Mikrocontrol- ler ausgeführt sein. Dadurch wird der gesamte Aufbau kompakt, die Anzahl der Bauelemente reduziert sich und die Flexibilität der Steuerung wird er- höht.
Mit der in Figur 1 beschriebenen Schaltungsanordnung kann ein Gassensor mit zwei unterschiedlichen Betriebsmodi betrieben werden. Der erste Modus be- steht darin, dass der Gassensor auf einer konstanten Temperatur geregelt wird. Dadurch ist es möglich, den Gassensor gegenüber einem speziellen Gas zu sensibilisieren. Der zweite Modus besteht darin, dass der Gassensor zyklisch auf mindestens zwei verschiedenen Betriebstemperaturen geregelt wird. Dadurch ist es möglich, die Konzentrationen mehrerer unterschiedlicher Gase mit ein und demselben Sensorelement zu erfassen.
Vorteilhafterweise erfolgt bei beiden Betriebsarten die Erfassung der Konzentration des Gases sehr exakt. Dies wird dadurch möglich, dass die Betriebstemperatur des Gassensors exakt auf einen bestimmten Wert geregelt wird.
Bei dem zweiten Betriebsmodus erfolgt die zyklische U schaltung zwischen den einzelnen Betriebstemperaturen zudem zu zeitlich exakt definierten Zeitpunk- ten, was bei dieser Betriebsart die Genauigkeit bei der Erfassung der Konzentrationen mehrerer verschiedener Gase weiter erhöht.
Unabhängig von den beiden Betriebsmodi gibt es noch zwei weitere Modi, nämlich den Messmodus und den Heizmodus. Mess- und Heizmodus kommen sowohl beim ersten als auch beim zweiten Betriebsmodus vor.
Figur 2 zeigt in Form eines Zustandsdiagramms die Steuerung mit den einzelnen aufeinander folgenden Schritten als Statemachine bei der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. Das System beginnt bei Schritt 21, welcher den Start darstellt. Zunächst wird beim Zustand 22 die Periode mit der die Mes- sungen wiederholt werden, auf beispielsweise 1 s festgelegt. Dann wird zu Zustand 23 gewechselt bei dem der Sollwert der Betriebstemperatur Tl oder T2 festgelegt wird. Anschließend wird zu Zustand 22 zurück gesprungen. Nun wird im Zustand 24 die Mes- sung der Ist-Betriebstemperatur begonnen. Sobald die Ist-Betriebstemperatur gemessen wurde, wird zurück zu Zustand 22 gesprungen und dann zu Zustand 25 gewechselt. Bei Zustand 25 erfolgt die Auswertung der gemessenen Ist-Betriebstemperatur. Auch hiernach erfolgt ein Rücksprung zu Zustand 22, um dann im Zustand 26 die Regelabweichung zu berechnen. Schließlich wird zu Zustand 27 gewechselt, um im Bedarfsfall das Pulssignal 9.6 entsprechend anzupassen.
Die Festlegung des Sollwerts der Betriebstemperatur im Zustand 23 erfolgt dadurch, dass im Zustand 231 die Periode der Zeitsteuerung, welche in Figur 1 mit dem Bezugszeichen 4 versehen ist, auf 10 ms festgelegt wird. Nun wird zum Zustand 232 gesprungen, um dort die beiden Ports oder Ausgangsanschlüsse 15.1 und 15.3 des MikroControllers 1 zu konfigurieren, das heißt in den Messmodus • zu brin- gen. Dies bedeutet, dass das Schaltelement 8 leitend und das Schaltelement 10 hochohmig wird, so- dass der Heizwiderstand 12 nicht weiter heizt. Nachdem zum Zustand 233 gewechselt wurde, wird mittels des Analog-Digital-Umsetzers 7 der Istwert der Betriebstemperatur durch Auswertung des Messwiderstands 11 bestimmt. Anschließend werden im Zustand 234 die beiden Ports 15.1 und 15.3 erneut konfiguriert und dieses Mal in den Heizmodus gebracht. Dabei wird die Heizung wieder eingeschaltet und die Messung über den Messwiderstand 11 ausgeschaltet. Im nächsten Zustand 235 wird die Regelabweichung berechnet. Dies geschieht mit Hilfe der Korrektureinheit 6 aus Figur 1. Schließlich wird der entsprechende Korrekturwert KW in den Pulsgenerator 9 geladen und zum Zustand 231 zurück gesprungen. Falls ein neuer Sollwert für die Betriebstemperatur Tl oder T2 verwendet werden soll, wird dieser im Zustand 237 vorgegeben und im Zustand 236 in dem Pulsgenerator 9 geladen.
Durch die Verwendung eines Betriebssystems und eines MikroControllers mit einem integrierten Auto Reload Timer 9, einem integrierten Analog-Digital- Umsetzer 7 und mindestens einem Timer 4, ist es
möglich ein System anzugeben, welches die oben genannten Anforderungen erfüllt und kostengünstig zu fertigen ist.
Das Betriebssystem ruft definierte Funktionen in bestimmten zeitlichen und logischen Abfolgen auf. Dadurch ist sichergestellt, dass eine Messung immer im gleichen Intervall mit definierten Zuständen gestartet wird. Voraussetzung für ein solches Be- triebssystem ist ein autark arbeitender Timer eines Mikrocontrollers. Dieser steuert die zeitlichen Abläufe des Betriebssystems über einen sogenannten Timertick. Mit Hilfe der weiteren Komponenten lassen sich mit einem einfachen und kostengünstigen MikroController mit einem reduzierten Befehlssatz und langsamen Maschinenzyklen trotzdem die oben genannten Vorteile realisieren. Mit Hilfe des Auto Reload Timers wird nach seiner Konfiguration ein gleichbleibendes Pulssignal 9.6 mit konstanter Fre- quenz und gleichbleibender Pulsweite erzeugt, ohne dabei den Prozessor zu belasten. Der Analog- Digital-Umsetzter zeigt nach Beendigung des Messzyklus mittels eines Signals die Beendigung des Messzyklus dem MikroController an, sodass dadurch ebenfalls keine Belastung für den Prozessor entsteht .
Im folgenden wird das Betriebssystem weiter beschrieben. Die Aufgaben werden wie folgt aufge- teilt. Der Mikrocontroller 1 übernimmt durch seine Software gesteuert, abhängig von der jeweiligen Aufgabe., die sich aus der zeitlichen und logischen Abfolge ergibt, die Steuerung der beiden Ports 15.1 und 15.3. Außerdem stößt er zeitlich richtig unter-
schiedliche Prozesse nacheinander an. Ein Beispiel für einen solchen Prozess ist die regelmäßige periodische Messung der Betriebstemperatur des Gassensors, beispielsweise nach jeweils 10 ms.
Der Messzyklus beginnt, in dem der Spannungsteiler, welcher aus den beiden Widerständen 11 und 12 gebildet wird, über den Port 15.1 und der Analog- Digital-Umsetzter 7 über den Steuereingang 7.2 ein- geschaltet werden, um eine Spannungsmessung durchzuführen. Die Spannung über dem Platin-Widerstand Heizwendel 12 des Gassensors repräsentiert die Betriebstemperatur des Sensors. Voraussetzung dafür ist, dass der Port 15.3, der das Pulssignal 9.6 auf den Heizwiderstand 12 des Gassensors gibt, vorher abgeschaltet worden ist. Nachdem die beiden Ports 15.1 und 15.3 umgeschaltet worden sind und die Messung des Widerstands 12 angestoßen worden ist, kann der Mikrocontroller 1 für die Dauer der Messung beispielsweise die Auswertung einer früheren Sensor-Messung durchführen. Je nach Anordnung kann der Widerstand 11 auch der Heizwiderstand sein. Dieser Moment wird dem Mikrocontroller 1 über einen Inter- ruptflag mitgeteilt. Sobald das Interruptflag ge- setzt ist, werden die beiden Ports 15.1 und 15.3 wieder zurück geschaltet, das heißt in den Heizmodus gebracht. Um ein weiteres Abkühlen des Sensors zu verhindern, wird die Heizung 12 wieder mit dem alten Sollwert eingeschaltet. Anschließend wird der neue Sollwert für die Betriebstemperatur berechnet. Die Regelabweichung errechnet sich aus der aktuellen gemessenen Betriebstemperatur des Sensors und dem zur Zeit gültigen Sollwert der Betriebstemperatur (Tl, T2 ... Tn) . Der neu berechnete Wert für
die Betriebstemperatur wird anschließend in das Register des Pulsgenerators 9 geschrieben. Der Pulsgenerator 9 stellt sich nach einem internen Interrupt, der zyklisch auftritt, auf die neuen Werte ein. Nach dem Schreiben der Daten in das Register des Pulsgenerators 9 stehen dem Mikrocontroller 1 wieder alle Rechenressourcen zur Verfügung, um anschließend eine Messung der Gaskonzentration bzw. eine Kommunikation mit der Klimaanlage beispiels- weise durchzuführen.
Der Pulsgenerator 9 und der Analog-Digital- Umsetzter 7 arbeiten wie folgt zusammen. Der Pulsgenerator 9 ist ein freilaufender schneller Zähler, welcher direkt mit dem Oszillator 13 verbunden ist und der bei einem Überlauf einen internen Interrupt auslöst. Der Pulsgenerator 9 generiert selbständig ein Pulssignal 9.6, dass keinerlei Belastung des Rechenkerns während des Betriebs darstellt. Das Pulssignal 9.6 des Pulsgenerators 9 wird auf den Port 15.3 des Microcontrollers 1 geführt. Zusätzlich weist der Pulsgenerator 9 das bereits erwähnte Komparatorregister für den Komparatorwert K und das ebenfalls bereits erwähnte Reload-Register für den Anfangswert R, im folgenden auch als Reload- oder Übertragswert bezeichnet, auf.
Sobald der Pulsgenerator 9 gestartet wird, wird der Pegel am Ausgang 15.3 auf high gesetzt. Dieser Zu- stand wird beibehalten, bis der Zähler des Pulsgenerators 9 den Komparatorwert K erreicht. Dann wird der Pegel am Port 15.3 auf low gezogen. Der Port 15.3 verweilt im low-Zustand, bis der Zähler seinen maximalen Wert Z erreicht hat. Zu diesem Zeitpunkt
wird der Pegel am Port 15.3 wieder auf high gelegt und der Zählzyklus beginnt wieder beim Anfangswert. Dadurch, dass die Werte im Komparatorregister als Parameter abgelegt werden, ist es möglich, das Puls-Pausen-Verhältnis des Pulssignals 9.6 zu verändern.
Daneben lässt sich auch die Frequenz des vom Pulsgenerator 9 erzeugten Pulssignals 9.6 durch den Ü- bertragswert, der im Übertragsregister gespeichert ist, verändern. Erreicht der Zähler seinen Überlauf, wird aus dem Übertragsregister der Übertragswert R auf den aktuellen Zählerwert addiert. Der Zähler erreicht somit schneller seinen Überlauf als dies ohne den Übertragswert R der Fall wäre und erhöht somit die Frequenz des Pulssignals 9.6.
In Abhängigkeit von der thermischen Zeitkonstante des Sensorelements ist es möglich, ein Pulssignal 9.6 mit einer entsprechend angepassten Frequenz zu generieren. Falls der Sensor eine große thermische Zeitkonstante aufweist, kann der Mikrocontroller 1 das Sensorelement mit einem Pulssignal mit einer niedrigen Frequenz heizen. Die Wärmekapazität des Sensors gleicht das Puls-Pausen-Verhältnis des Pulssignals 9.6 aus, sodass sich eine nahezu konstante Temperatur einstellt. Besitzt das Sensorelement allerdings eine geringe thermische Zeitkonstante, muss die Frequenz des Pulssignals 9.6 ent- sprechend angepasst und damit höher werden, um die Linearisierung über die geringe Wärmekapazität zu erreichen.
Um den Sensor bei mehreren verschiedenen Betriebstemperaturen zu betreiben, sowie um die gewünschte Betriebstemperatur exakt zu erreichen, wird wie gerade beschrieben, vorgegangen. Die Veränderung der Pulsweite ermöglicht dann entweder ein starkes Ü- berschwingen der Sensortemperatur bzw. eine asymptotische Annäherung der Sensortemperatur an die gewünschte Betriebstemperatur. Mit der vorgeschlagenen Vorgehensweise ist es möglich, die Besonder- heiten von unterschiedlichen Gassensoren durch einen entsprechenden Abgleich zu kompensieren, ohne dass eine Modifikation der Hardware oder der Software erforderlich wäre.
• Als Sensorelement kann beispielsweise das in den Figuren 3 und 4 gezeigte Sensorelement verwendet werden.
In Figur 3 ist der prinzipielle "Aufbau eines Halb- leiter-Sensorelements ohne die gassensitive Schicht in der Draufsicht gezeigt. Das Sensorelement ist auf einem Siliziumsubstrat, auf welchem eine Membran 30 angeordnet ist, aufgebaut. In die Membran 30 ist eine Heizstruktur 32 sowie eine Elektroden- Struktur 33 eingebettet. Die Elektrodenstruktur 33 ist, wie in den beiden Figuren 3 und 4 gezeigt, mit einer Zuleitung 35 und die Heizstruktur 32 mit Zuleitungen 37.1 und 37.2 zum Anschluss an eine Spannungsquelle versehen.
Die Heizstruktur 32 und die Elektrodenstruktur 33 sind, wie in Figur 4 gezeigt, von einer sensitiven Schicht 34 überdeckt, die beispielsweise aus Zinn-
dioxid besteht und mit 0,1 Prozent Kupfer sowie mit 0,1 Prozent Silber und Gold dotiert ist.
Die Zusammensetzung der sensitiven Schicht 34 hängt vom zu erfassende Gas ab. Daher können für unterschiedliche zu erfassende Gase verschiedene sensitiven Schichten verwendet werden.
Die Betriebstemperatur der sensitiven Schicht 34 liegt zwischen 100 und 400 Grad Celsius. Diese Temperatur wird mittels der Heizstruktur 32, die in Figur 1 dem Heizwiderstands 12 entspricht, eingestellt. Befindet sich in der Umgebung des Halbleiter-Gassensors das zu erfassende Gas, so ändert sich der elektrische Widerstand der gassensitiven Schicht 34, was mittels der Elektrodenstruktur 33 gemessen und mittels einer Auswerteeinheit ausgewertet wird.
Der Messwiderstand 12 zur Temperaturerfassung aus Figur 1 entspricht in den Figuren 3 und 4 dem Temperatursensor 31 mit der entsprechenden Zuleitung 38.
Die vorhergehende Beschreibung der Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Erfindung dient nur zu illustrativen Zwecken und nicht zum Zwecke der Beschränkung der Erfindung. Im Rahmen der Erfindung sind verschiedene Änderungen und Modifikationen möglich, ohne den Umfang der Erfindung sowie ihre Äquivalente zu verlassen.