WO2004044630A1

WO2004044630A1 - 光学多層膜フィルタおよびその製造方法

Info

Publication number: WO2004044630A1
Application number: PCT/JP2003/013715
Authority: WO
Inventors: Masayuki Ohtani
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2002-11-13
Filing date: 2003-10-27
Publication date: 2004-05-27
Also published as: AU2003284699A1; JP2004163692A

Abstract

本発明に係る光学多層膜フィルタ１は、多角形板状に形成された透明基板２と、透明基板２の互いに対向する表面および裏面のいずれか一方に成膜された光学多層膜３とを備えて構成された光学多層膜フィルタにおいて、透明基板３における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、マーク５が設けられていることを特徴とする。

Description

曰月糸田 β 光学多層膜フィル夕およびその製造方法技術分野

本発明は、透明基板と、この透明基板の表面に成膜された光学多層膜とを備えた光学多層膜フィル夕およびその製造方法に関する。背景技術

近年、イン夕一ネット通信等の普及および利用が進み、通信ラインの通信量が急速に増大しつつある。このため、大量の通信量を扱える光フアイバを用いた光通信が主流になりつつあり、さらに、波長分割多重通信技術 W D M等も用いられている。このような光ファイバを用いた光通信システムにおいて、所定の波長の光をカットしたり、波長選択を行ったり、波長対応ゲイン調整を行ったりするために、高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に積層して作られる光学多層膜フィル夕が多く用いられている。光学多層膜フィル夕は、ガラス基板等の透明基板と、透明基板の表面に成膜された光学多層膜と、透明基板の裏面に成膜された反射防止膜とを備えて構成される。そして、このように構成'された光学多層膜フィル夕を光が通過することで所定のフィル夕処理が行われるようになつている。ところで、透明基板の内部から透明基板の裏面に達した光は、反射防止膜により透明基板の裏面で反射するのを防止されているが、反射防止膜を用いても完全に光の反射を抑えることはできない。そのため、透明基板の表面と裏面とが平行であると、透明基板の内部における反射防止膜で反射した僅かな光が光学多層膜を通過する光と干渉を起こし、光学多層膜の分 -19/9

2 光透過率特性が劣化してしまう。そこで、このような光の干渉を抑えるために、透明基板における光学多層膜が成膜される面と、反射防止膜が成膜される面とが平行にならないように、透明基板の表面と裏面との間に傾きが設けられ、光学多層膜フィル夕（透明基板）の表面に垂直でフィルタ表面の傾く方向と平行な断面が楔形となるようになつている。

(例えば、国際公開第 W O 0 2 / 3 1 5 4 5 A 1号参照）

このような断面が楔形の光学多層膜フィル夕を通過する光は屈折するため、光学多層膜フィル夕を通過した光の出射進行方向は、光学多層膜フィル夕に入射する光の入射進行方向と同じではなく、光の入射進行方向に対し若干傾いている。そこで、上述のような光通信システムにおいて、光学多層膜フィル夕を通過した光を受光する受光部（例えば、コリメ一夕レンズ）の設置方向は、光の透過率を損なわないように、光学多層膜フィル夕を通過した光の出射進行方向の延長上で、光軸が重なるように配置されている。

そのため、光学多層膜フィル夕を配設する際には、フィル夕表面の傾く方向を知る必要がある。例えば、 1 0 0 mm角の光学多層膜フィル夕に 0 . 3度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を 1 mmとすると、厚い方は約 1 . 5 mmになる。これくらいの差であれば、目視でどちらが厚いか判別でき、フィル夕表面の傾く方向を目視で知ることができる。

しかしながら、光学多層膜フィル夕は、大きさが 1 . 4〜2 . 0 mm角のものが多く用いられており、例えば、 1 . 4 mm角の光学多層膜フィル夕に 0 . 3度の傾きをつけた場合では、その厚さの薄い方を 1 mmとすると、厚い方は約 1 . 0 0 7 mmであり、この差は目視ではほとんど判別できない。そのため、フィル夕表面の傾く方向を容易に知るための方策が求められていた。 -18/9

3 発明の開示

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、フィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィル夕を提供することを目的とする。本発明はまた、フィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィル夕の製造方法を提供することを目的とする。このような目的達成のため、請求項 1に係る発明の光学多層膜フィル夕は、透明基板と、透明基板の互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に成膜された光学多層膜とを備えて構成された光学多層膜フィル夕において、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、マークが設けられていることを特徴とする。

請求項 2に係る発明の光学多層膜フィルタは、請求項 1に記載の光学多層膜フィル夕において、マークは、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面を段付平面状に形成して設けられていることを特徴とする。 .

請求項 3に係る発明の光学多層膜フィル夕は、請求項 1に記載の光学多層膜フィル夕において、マークは、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面を他の側面と加工模様が異なるように形成することにより、側面にマ一キング面を形成して設けられていることを特徴とす o

請求項 4に係る発明の光学多層膜フィル夕の製造方法は、板状の透明基板材における互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に光学多層膜を成膜してフィル夕部材を形成し、フィルタ部材を切断分割する工程を有する光学多層膜フィル夕を製造する方法であって、複数種の切断分割方法を用いてフィル夕部材の切断分割を行い、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面の切断面形態を他の側面の切断面形態と異ならせ、少なくとも一つの側面の切断面形態によりマ一キング -17/9

4 面を形成することを特徴とする。

請求項 5に係る発明の光学多層膜フィル夕の製造方法は、請求項 4に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法において、フィル夕部材の切断分割時に所定の切断位置に隣接して溝を形成し、次に前記所定の切断位置でフィル夕部材を切断分割することにより、マ一キング面が段付平面状に形成されることを特徴とする。

請求項 6に係る発明の光学多層膜フィル夕の製造方法は、請求項 4に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法において、フィル夕部材の切断面の加ェ模様が、マ一キング面と、他の側面とで異なるようにフィル夕部材を切断分割し、側面にマーキング面が形成されることを特徴とする。

請求項 7に係る発明の光学多層膜フィル夕の製造方法は、請求項 4に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法において、フィル夕部材の切断速度が、マーキング面が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異なるようにフィル夕部材を切断分割し、側面にマーキング面が形成されることを特徴とする。

図面の簡単な説明

図 1は、本発明にかかる光学多層膜フィル夕の斜視図である。

図 2は、本発明に係る光学多層膜フィル夕の右側面図である。

図 3は、本発明に係る光学多層膜フィル夕を光が通過する状態を示す図である。

図 4 ( a ) はフィル夕部材の側面図であり、図 4 ( b ) はフィル夕部材の平面図である。

図 5は、フィル夕部材を切断分割して複数の本発明に係る光学多層膜フィル夕を得た状態を示す平面図である。

図 6は、フィル夕部材を切断分割するためのダイシングソ一の側面図である。図 7は、ダイシングソ一によりダウン力ットでフィル夕部材を切断する様子を示す側面図である。

図 8 ( a ) はダイシングブレードによりフィル夕部材に溝が形成された状態を示す拡大図であり、図 8 ( b ) はダイシングブレードによりフィル夕部材が溝に隣接する切断位置で切断された状態を示す拡大図であり、図 8 ( c ) はダイシングブレードによりフィル夕部材が切断されて複数のフィル夕部材細片が得られた状態を示す拡大図である。

図 9は、もう一つの本発明に係る光多層膜フィル夕の斜視図である。図 1 0は、もう一つの本発明におけるフィル夕部材が第 1ダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。

図 1 1は、もう一つの本発明におけるフィル夕部材細片が第 2ダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。

図 1 2は、さらにもう一つの本発明におけるフィル夕部材がダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。

図 1 3は、さらにもう一つの本発明におけるフィル夕部材細片がダイシングプレードにより切断された状態を示す拡大図である。発明を実施するための最良の形態

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る光学多層膜フィル夕を図 1に示している。この光学多層膜フィル夕 1は、ガラス基板等の透明基板 2と、透明基板 2の表面に成膜された光学多層膜 3 (厚さ数十 m程度）と、透明基板 2の裏面に成膜された反射防止膜 4 (厚さ 0 . 数〜数〃 m程度）とを備えて構成される。

光学多層膜 3は、詳細図示しないが、透明基板 2の表面に高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に多数積層して形成され、所定の分光透過率特性を有している。そして、光学多層膜 3を光が通過することで、所定の -15/9

6 フィル夕処理が行われるようになつている。

なお、光学多層膜フィル夕 1が行うフィル夕処理には、例えば、所定の波長の光をカットする処理や、波長選択処理、波長対応ゲイン調整処理等がある。ここで、波長対応ゲイン調整処理は、光信号を増幅する光アンプ (図示せず）の増幅特性が持つ波長依存性を平坦化するための処理であり、このような処理を行うフィル夕はゲイン平坦化フィル夕 G F F ( Gain Flattening Filter) と称される。

反射防止膜 4は透明基板 2の他方の表面に形成され、透明基板 2の内部から他方の表面に達した光が反射するのを防止するようになっている。なお、反射防止膜 4の最大反射率は、光学多層膜フィル夕 1の動作波長域で 0 . 5 %以下となっている。

透明基板 2は四角形板状に形成され、透明基板 2の表面に光学多層膜 3 が成膜されるとともに、透明基板 2の裏面に反射防止膜 4が成膜されている。光学多層膜フィル夕 1の寸法は、厚さが 1 . 0〜 1 . 5 mm、大きさが 1 . 4〜2 . 0 mm角のものが多く用いられている。

図 2にも示すように、透明基板 2の表面と裏面との間には傾きが設けられ、光学多層膜フィル夕 1 (透明基板 2 ) の表面に垂直でフィル夕表面の傾く方向と平行な断面が楔形となるようになつている。これにより、透明基板 2における光学多層膜 3が成膜される面と、反射防止膜 4が成膜される面とが平行にならないため、反射防止膜 4で反射した透明基板 2内部の僅かな光が光学多層膜 3を通過する光と干渉を起こして、光学多層膜 3の分光透過率特性の劣化を招くことを防止することができる。なお、透明基板 2の表面と裏面との間、すなわち、光学多層膜 3の表面と反射防止膜 4 の表面との間の相対的な傾き角ひは、 0 . 3度のものが多く用いられている。

上述のような断面が楔形の光学多層膜フィル夕 1を通過する光は屈折す -14/9

7 るため、光学多層膜フィル夕 1を通過した光の出射進行方向は、図 3に示すように、光学多層膜フィルタ 1に入射する光の入射進行方向と同じではなく、光の入射進行方向に対し若干傾いている。そこで、光学多層膜フィル夕 1を通過した光を受光する受光部 R (例えば、コリメ一夕レンズ）の設置方向は、光の透過率を損なわないように、光学多層膜フィル夕を通過した光の出射進行方向の延長上で、光軸 0が重なるように配置されている。そのため、光学多層膜フィルタ 1を配設する際には、フィル夕表面の傾く方向を知る必要がある。例えば、 1 0 0 mm角の光学多層膜フィル夕に 0 . 3度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を 1 mmとすると、厚い方は約 1 . 5 mmになる。これくらいの差であれば、目視でどちらが厚いか判別でき、フィルタ表面の傾く方向を目視で知ることができる。

ところが、 1 . 4 mm角の光学多層膜フィル夕に 0 . 3度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を 1 mmとすると、厚い方は約 1 . 0 0 7 m m であり、この差は目視ではほとんど判別できない。そこで、フィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができるように、図 1における光学多層膜フィル夕 1の右側面、すなわち、透明基板 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面には、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークとしてのマ一キング面 5が設けられている。

マーキング面 5は、段差部 6を有する段付平面状に形成されており、マ —キング面 5の形状を透明基板 2における他の側面とは異なる形状にすることで、光学多層膜フィル夕 1の向きを判別することができるようになつている。これにより、光学多層膜フィル夕 1に設けられたマ一キング面 5 を基に、光学多層膜フィル夕 1におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。

また、段差部 6を有するマ一キング面 5は光学多層膜フィル夕 1における他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマ一キングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。

なお、マーキング面 5は、透明基板 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図 1における光学多層膜フィル夕 1の右側面）に設けられているため、光学多層膜フィル夕 1を通過する光に影響を及ぼすことは皆無である。

このような構成の光学多層膜フィル夕 1において、透明基板 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図 1における光学多層膜フィル夕 1の右側面）には、段差部 6を有するマ一キング面 5が設けられている。そのため、光学多層膜フィル夕 1におけるフィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができ、光学多層膜フィルタ 1を所定方向に容易に配設することができる。

そして、図 3に示すように、光学多層膜フィルタ 1に入射した光は光学多層膜 3を通過し、光学多層膜 3を通過した光は、透明基板 2を通過したのち反射防止膜 4を通過する。すなわち、光学多層膜フィル夕 1による光信号のフィル夕処理が行われる。

この結果、透明基板 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図 1における光学多層膜フィル夕 1の右側面）には、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面 5が設けられているため、光学多層膜フィル夕 1におけるフィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができる。また、段差部 6を有するマーキング面 5は光学多層膜フィル夕 1における他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィル夕をより低コストで提供することができる。次に、上述のような光学多層膜フィル夕 1の製造方法について説明する。まず、四角形板状に形成された透明基板材 1 2の表面に、光学多層膜 1 3 を所定の分光透過率特性が得られるように、スパッタリング、蒸着等により成膜する。次に、透明基板材 1 2の裏面に、反射防止膜 1 4を、スパッ夕リング、蒸着等により成膜する。これにより、図 4 ( a ) に示すように、透明基板材 1 2の各表面に光学多層膜 1 3および反射防止膜 1 4が成膜されたフィル夕部材 1 1が得られる。なお、透明基板材 1 2の一方の表面と裏面との間には傾きが設けられており、透明基板材 1 2における光学多層膜 1 3が成膜される面と、反射防止膜 1 4が成膜される面とが平行にならないようになっている。

続いて、フィル夕部材 1 1を、ダイシングソ一 2 0により升目状に切断分割して、複数の光学多層膜フィル夕 1が得られるように切断する。ダイシングソー 2 0は、図 6に示すように、極薄の円形刃であるダイシングブレード 2 1を有してなるプレードソ一であり、図示しないモー夕により回転軸 2 2を駆動してダイシングブレード 2 1を回転させる構成となっている。

ダイシングブレード 2 1は、直径が 5 0 mmから 1 5 0 mm程度、厚さが 0 . 0 3 mmから 2 mm程度であるのが一般的であり、ブロンズ系を主体とした数種類の金属粉を混合焼結したものを結合材としたいわゆるメタルボンドのダイヤモンドブレード、またはフエノールレジン、ポリミド等の樹脂成分を結合材としたいわゆるレジンボンドのダイャモンドブレードが用いられる場合が多い。

ステージ（基台） 2 3は、切断対象であるフィルタ部材 1 1をその上面側に載置する円形の台であり、その上下方向に延びた中心軸 A Xを中心に回転自在であるとともに、任意の方向に水平移動させることができるようになっている。ダイシングソ一 2 0によりフィル夕部材 1 1を切断するには、まず、フィル夕部材 1 1をホヅトメルトワックスにより台ガラス 2 4に接着し、続いて真空吸着により台ガラス 2 4をステージ 2 3上に取り付ける。そして、回転軸 2 2を駆動してダイシングプレード 2 1をおよそ 3 0 0 0 0 r p m で回転させ（この回転数はダイシングブレード 2 1の材質やフィル夕部材 1 1の切断面の破断状況によって変化させる）、ステージ 2 3を送り速度約 1〜 5 m m/ s e cで移動させてフィル夕部材 1 1を切断する。

なおこのとき、図 7に示すように、ダイシングブレード 2 1の刃先が台ガラス 2 4の上面を約 0 . 1〜 0 . 3 m m程切り込むようにし（切り込み深さを図 7において dで示す）、ステージ 2 3すなわち台ガラス 2 4の送り方向をダイシングプレード 2 1の回転方向と同じにするダウンカヅトにより切断する。

なお、フィル夕部材 1 1に成膜された膜が光学多層膜 1 3である場合には、フィル夕部材 1 1を光学多層膜 1 3が上面側になるようにステージ 2 3上に載置する。ここで、光学多層膜 1 3が下面側（すなわち、台ガラス 2 4と接触する側）になるようにすると、ダイシングプレード 2 1を切り込ませたときに光学多層膜 1 3が剥離したり比較的大きなチッピングゃクラックが発生したりするが、フィル夕部材 1 1を光学多層膜 1 3が上面側になるようにステージ 2 3上に載置した上でダウンカツトするようにすれば、チッビングや剥離を減らすことができる。

また、透明基板材 1 2における光学多層膜 1 3が成膜された面とは反対側の面に反射防止膜 1 4が成膜されている場合には、この反射防止膜 1 4 が台ガラス 2 4と接触するようになるが、反射防止膜は一般に光学多層膜よりも膜厚が小さい。例えば、光通信に用いられる光学多層膜は、波長に対する透過（反射）特性がより高精度に要求されているので、そのような要求を達成するために必要な総膜数が百層を超えるものもある。一方、反 -10/9

11 射防止膜は数層あれば充分であるので、反射防止膜が膜剥がれを起こす可能性は、光学多層膜に比べて低い。したがって、反射防止膜 1 4が台ガラス 2 4と接触した状態で切断しても、反射防止膜 1 4にチッビングや膜剥がれ等が生じるおそれは少ない。

ダイシングソ一 2 0によりフィル夕部材 1 1を切断分割して、複数の光学多層膜フィル夕 1を得.るには、まず、図 4 ( b ) および図 8 ( a ) に示すように、フィルタ部材 1 1の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向に、フィル夕部材 1 1における切断位置 Pに隣接してダイシングブレード 2 1により所定深さの溝 1 6を形成し、続いて図 8 ( b ) に示すように、この溝 1 6に隣接した切断位置 Pでフィル夕部材 1 1を切断分割する。

そして図 8 ( c ) に示すように、このような工程を所定間隔で交互に繰り返すことにより、フィルタ部材 1 1が所要寸法に切断分割されて必要量のフィルタ部材細片 1 1 a， 1 1 a , …が得られる。このとき、溝 1 6がフィル夕部材 1 1の切断により段差部 1 6 aとなって、フィルタ部材細片 1 1 aの一方の側面が段付平面状に形成される。

次に、図 5に示すように、前記最初の切断工程における切断方向とは垂直な方向に、これらのフィル夕部材細片 1 1 a , 1 1 a , …を所要寸法に切断し、図 1に示すような、四角形板状に形成された透明基板 2と、透明基板 2の表面に成膜された光学多層膜 3と、透明基板 2の裏面に成膜された反射防止膜 4とを備え、透明基板 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面にマ一キング面 5が段付平面状に形成された複数の光学多層膜 1， 1 , …を得る。

すなわち、フィル夕部材 1 1における光学多層膜フィル夕 1のマーキング面 5が切断面となる切断位置に隣接して、ダイシングブレード 2 1により溝 1 6を形成し、この溝 1 6に隣接した前述のマ一キング面 5が切断面 -9/9

12 となる切断位置で、ダイシングブレード 2 1によりフィル夕部材 1 1を切断分割することにより、溝 1 6がマーキング面 5における段差部 6 (フィル夕部材細片 1 1 aにおける段差部 1 6 a ) となって、マーキング面 5が段付平面状に形成される。

この結果、段差部 6を有するマーキング面 5を、フィル夕部材 1 1を切断分割するためのダイシングソ一 2 0に構成されるダイシングプレード 2 1のみを用いて形成することが可能であるため、別途マ一キング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィル夕をより低コストで製造することができる。

なお、本実施例において、フィル夕部材 1 1の切断分割時に、溝 1 6を溝深さが互いに異なるように形成し、マーキング面（段差部）の形状が互いに異なる複数の光学多層膜フィル夕が形成されるようにしてもよい。このようにすれば、複数の光学多層膜フィル夕を個々に判別することができる。

次に、光学多層膜フィル夕の第二実施形態について図 9を参照して説明する。本実施形態における光学多層膜フィルタ 5 1は、第一実施形態における光学多層膜フィル夕 1と同様に、ガラス基板等の透明基板 5 2と、透明基板 5 2の表面に成膜された光学多層膜 5 3と、透明基板 5 2の裏面に成膜された反射防止膜 5 4とを備えて構成される。

透明基板 5 2は四角形板状に形成され、透明基板 5 2の表面に光学多層膜 5 3が成膜されるとともに、透明基板 5 2の裏面に反射防止膜 5 4が成膜されている。また、第一実施形態における光学多層膜フィル夕 1と同様に、透明基板 5 2の表面と裏面との間に傾きが設けられており、透明基板 5 2における光学多層膜 5 3が成膜される面と、反射防止膜 5 4が成膜される面とが平行にならないようになっている。 -8/9

13 そして、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができるように、図

9における光学多層膜フィル夕 5 1の前側面、すなわち、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面には、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面 5 5が設けられている。マーキング面 5 5は、加工による複数の条線を認識可能な表面粗さの粗い平面状に形成されている。一方、図 9における光学多層膜フィル夕 5 1 の左右および後側面、すなわち、透明基板 5 2における表面および裏面を除く他の側面は、鏡面（平面）状に形成されている。すなわち、マ一キング面 5 5は、透明基板 5 2における他の側面とは異なる加工模様を有する平面状に形成されており、光学多層膜フィル夕 5 1の向きを判別することができるようになつている。これにより、光学多層膜フィル夕 5 1に設けられたマーキング面 5 5を基に、光学多層膜フィル夕 5 1におけるフィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができる。

また、透明基板 5 2における他の側面とは異なる加工模様を有するマ一キング面 5 5は、前記他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィル夕をより低コストで提供することができる。

なお、マ一キング面 5 5は、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図 1における光学多層膜フィル夕 5 1の前側面）に設けられているため、第一実施形態における光学多層膜フィルタ 1と同様に、光学多層膜フィル夕 5 1を通過する光に影響を及ぼすことは皆無である。

このような構成の光学多層膜フィル夕 5 1において、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図 9における光学多層膜フィル夕 5 1の前側面）には、透明基板 5 2における他の側面とは異な -7/9

14 る加工模様を有するマ一キング面 5 5が設けられている。そのため、光学多層膜フィル夕 5 1におけるフィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができ、光学多層膜フィル夕 5 1を所定方向に容易に配設することができる。そして、光学多層膜フィル夕 5 1に入射した光は光学多層膜 5 3を通過し、光学多層膜 5 3を通過した光は、透明基板 5 2を通過したのち反射防止膜 5 4を通過する。すなわち、光学多層膜フィルタ 5 1による光信号のフィル夕処理が行われる。

この結果、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図 9における光学多層膜フィル夕 5 1の前側面）には、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面 5 5が設けられているため、光学多層膜フィル夕 5 1におけるフィル夕表面の傾く方向を容易に知ることができる。また、透明基板 5 2における他の側面とは異なる加工模様を有するマ一キング面 5 5は、前記他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マ一キング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィル夕をより低コス卜で提供することができる。

次に、上述のような光学多層膜フィル夕 5 1の製造方法について説明する。なお、本実施形態における光学多層膜フィル夕 5 1の製造方法は、第 —実施形態における光学多層膜フィル夕 1の製造方法とほぼ同じであるので、異なる点のみ説明する。

本実施形態の製造方法で用いられるダイシングブレードは、光学多層膜 6 3および反射防止膜 6 4が透明基板材 6 2に成膜されたフィル夕部材 6 1の表面に垂直でフィル夕部材表面の傾く方向と平行な方向にフィル夕部材 6 1を切断分割する第 1ダイシングブレード 7 1 と、第 1ダイシングブレード 7 1によるフィル夕部材 6 1の切断方向とは垂直な方向にフィル夕 -6/9

15 部材 6 1を切断分割する第 2ダイシングブレード 7 2とがある。第 1ダイシングブレード 7 1の周部両側面は目の細かい切削面となっており、図 1 0に示すように、第 1ダイシングブレード 7 1により切断分割されたフィル夕部材 6 1の両切断面は、鏡面（平面）状に形成されるようになっている。

第 2ダイシングブレード 7 2の一方の周部側面は、第 1ダイシングブレ —ドア 1の周部側面と同様に目の細かい切削面であるのに対し、第 2ダイシングブレード 7 2の他方の周部側面は、一方の側面と比べて目の粗い切削面となっている。そして、図 1 1に示すように、第 2ダイシングブレード 7 2により切断分割されたフィル夕部材 6 1の一方（図 1 1における右方）の切断面は、第 1ダイシングブレード 7 1による切断面と同様に鏡面 (平面）状に形成されるとともに、他方（図 1 1における左方）の切断面は、加工による複数の条線を認識可能な表面粗さの粗い平面状に形成されるようになっている。なお、比較説明のため、図 1 0および図 1 1において、第 1ダイシングブレード 7 1および第 2ダイシングブレード 7 2の周部側面の表面粗さを誇張して記載している。

ダイシングソ一によりフィル夕部材 6 1を切断分割して、複数の光学多層膜フィル夕 5 1を得るには、まず、図 1 0に示すように、フィル夕部材 6 1の表面に垂直でフィル夕部材表面の傾く方向と平行な方向に、第 1ダイシングブレード 7 1によりフィルタ部材 6 1を所要寸法に切断分割し、必要量のフィル夕部材細片 6 1 a， 6 1 a , …を得る。このとき、フィル夕部材 6 1の切断面となるフィル夕部材細片 6 1 aの両側面は、鏡面（平面）状に形成される。

次に、図 1 1に示すように、第 1ダイシングプレード 7 1による切断方向とは垂直な方向に、第 2ダイシングプレード 7 2によりフィル夕部材細片 6 1 a， 6 1 a , …を所要寸法に切断し、図 9に示すような、四角形板 -5/9

16 状に形成された透明基板 5 2と、透明基板 5 2の表面に成膜された光学多層膜 5 3と、透明基板 5 2の裏面に成膜された反射防止膜 5 4とを備え、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面 5 5が形成された複数の光学多層膜フィル夕 5 1， 5 1， …を得る。

すなわち、フィル夕部材 6 1の切断面の加工模様が、マーキング面 5 5 が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異なり、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィル夕部材 6 1を切断分割することで、この側面にマ一キング面 5 5が形成される。

この結果、透明基板 5 2における他の側面とは異なる加工模様を有するマ一キング面 5 5を、フィル夕部材 6 1を切断分割するためのダイシングソ一に構成される第 1ダイシングブレード 7 1および第 2ダイシングブレ —ド 7 2のみを用いて形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマ一キングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィル夕をより低コストで製造することができる。

なお、上述の第二実施形態において、第 1ダイシングブレード 7 1および第 2ダイシングブレード 7 2により、透明基板 5 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィル夕部材 6 1を切断分割することで、この側面にマーキング面 5 5が形成されているが、これに限られるものではなく、フィルタ部材の切断速度を、マーキング面が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異ならせ、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィル夕部材を切断分割することで、この側面にマーキング面が形成されるようにしてもよい。 -4/9

17 例えば、図 1 2に示すように、まず、透明基板材 1 1 2の表面および裏面に光学多層膜 1 1 3および反射防止膜 1 1 4が成膜されたフィルタ部材 1 1 1を、ダイシングブレード 1 2 1により所定の回転速度で所要寸法に切断分割し、フィル夕部材 1 1 1の切断面となる側面が鏡面（平面）状に形成される複数のフィル夕部材細片 1 1 1 a , 1 1 l a， …を得る。

次に、図 1 3に示すように、前記最初の切断工程における切断方向とは垂直な方向に、ダイシングブレード .1 2 1により、前記最初の切断工程における回転速度と、前記最初の切断工程における回転速度よりも遅い回転速度とで交互に繰り返すようにして、フィルタ部材細片 1 1 1 a， 1 1 1 a , …を所要寸法に切断し、四角形板状に形成された透明基板 1 0 2と、透明基板 1 0 2の表面に成膜された光学多層膜 1 0 3と、透明基板 1 0 2 の裏面に成膜された反射防止膜 1 0 4とを備え、透明基板 1 0 2における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面 1 0 5が形成された複数の光学多層膜 1 0 1， 1 0 1 , …を得る。

このようにすれば、第二実施形態における光学多層膜フィル夕 5 1の製造方法と同様に、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィル夕をより低コス卜で製造することができる。なお、図 1 3に示すように、フィル夕部材細片 1 1 1 aにおいて互いに隣接する光学多層膜フィル夕のマ一キング面の位置は、互いに異なった位置（反対側の位置）となる。また、上述の各実施形態において、透明基板における表面および裏面を除く一つの側面に、フィル夕表面の傾く方向を判別するマークとしてのマ —キング面が設けられているが、これに限られるものではなく、透明基板の複数の側面にフィル夕表面の傾く方向を判別可能なマーク（マーキング面）が設けられてもよい。 -3/9

18 さらに、上述の各実施形態において、透明基板（光学多層膜フィル夕）が四角形板状に形成されているが、これに限られるものではなく、例えば、三角形や五角形等、複数の板側面を有する多角形板状に形成されていればよい。

以上説明したように、本発明によれば、フィル夕表面の傾く方向を容易に知ることが可能な光学多層膜フィルタを提供することができる。また、本発明に係る製造方法によれば、フィル夕表面の傾く方向を容易に知ることが可能な光学多層膜フィル夕をより低コストで製造することができる。

Claims

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19 言青求の範囲

1 . 透明基板と、前記透明基板の互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に成膜された光学多層膜とを備えて構成された光学多層膜フィル夕において、

前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面に、マークが設けられていることを特徴とする光学多層膜フィルタ。 2 . 前記光学多層膜が高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に多数積層して形成され、前記透明基板の表面に前記光学多層膜が形成されるとともに裏面に反射防止膜が形成されていることを特徴とする請求項 1に記載の光学多層膜フィル夕。 3 . 前記透明基板は四角形板状に形成され、前記マークが前記透明基板のいずれかの側面に設けられていることを特徴とする請求項 1に記載の光学多層膜フィル夕。

4 . 前記マークは、前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面を段付平面状に形成して設けられていることを特徴とする請求項 1に記載の光学多層膜フィル夕。

5 . 前記マークは、前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面を他の側面と加工模様が異なるように形成することにより、前記側面にマ一キング面を形成して設けられていることを特徴とする請求項 1に記載の光学多層膜フィル夕。 -1/9

20 . 前記透明基板の表面に対して裏面が傾いており、前記マークがこの傾きを識別するために設けられることを特徴とする請求項 1〜 5のいずれかに記載の光学多層膜フィルタ。 . 板状の透明基板材における互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に光学多層膜を成膜してフィル夕部材を形成し、前記フィル夕部材を切断分割する工程を有する光学多層膜フィルタを製造する方法であって、

複数種の切断分割方法を用いて前記フィル夕部材の切断分割を行い、前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面の切断面形態を他の側面の切断面形態と異ならせ、

前記少なくとも一つの側面の切断面形態によりマーキング面を形成することを特徴とする光学多層膜フィル夕の製造方法。 . 前記フィル夕部材の切断分割時に所定の切断位置に隣接して溝を形成し、次に前記所定の切断位置で前記フィル夕部材を切断分割することにより、前記マーキング面が段付平面状に形成されることを特徴とする請求項 7に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法。 . 前記フィル夕部材の切断面の加工模様が、前記マーキング面と、前記他の側面とで異なるように前記フィル夕部材を切断分割し、前記側面に前記マーキング面が形成されることを特徴とする請求項 7に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法。 0 . 前記フィルタ部材を表面と裏面とで切削面粗さの異なるダイシング 0/9

21 ソ一により切断分割して、切断面の加工模様を前記マーキング面と前記他の側面とで異ならせることを特徴とする請求項 9に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法。 1 . 前記フィル夕部材の切断速度を前記マ一キング面が切断面となる場合と前記他の側面が切断面となる場合とで異ならせて前記フィル夕部材を切断分割し、切断面の加工模様を前記マーキング面と前記他の側面とで異ならせることを特徴とする請求項 9に記載の光学多層膜フィル夕の製造方法。