WO2004040271A1 - Optisches messsystem - Google Patents

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WO2004040271A1
WO2004040271A1 PCT/DE2002/004010 DE0204010W WO2004040271A1 WO 2004040271 A1 WO2004040271 A1 WO 2004040271A1 DE 0204010 W DE0204010 W DE 0204010W WO 2004040271 A1 WO2004040271 A1 WO 2004040271A1
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WO
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measuring system
cuvette
flow measuring
shaped part
light
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PCT/DE2002/004010
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English (en)
French (fr)
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Matthias Lau
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Sentronic Gmbh
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Publication date
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    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6408Fluorescence; Phosphorescence with measurement of decay time, time resolved fluorescence

Definitions

  • the invention relates to an optical flow measuring system for determining components contained in gas mixtures or liquids, the respective gas mixture or the liquid being passed through a cuvette-shaped part during the measurement and the measurement being carried out in the cuvette-shaped part.
  • optical flow measurement system different elements or chemical compounds can be determined quantitatively and at least approximately in real time, so that it can be used advantageously, for example, in process measurement technology for controlling processes and in medical technology and here in particular in ventilation technology.
  • the concentrations or the partial pressures of oxygen and carbon dioxide, for example the concentration of hydrogen can also be determined optically and therefore also free of electrical potentials. The latter is particularly important for the detection of hydrogen, since there are very high requirements due to the high risk of explosion.
  • Seen in isolation there are some measuring methods and sensor types that are also suitable for determining the concentration of such elements or chemical compounds. As a rule, however, these are unsuitable for many applications, particularly because of their high costs or poor response time behavior.
  • optical flow measuring system which can determine at least almost synchronously at least two components, which can be contained in a gas mixture or in a liquid, quantitatively.
  • At least two optical sensor systems and / or sensitive elements for determining the concentration of at least one substance or the pH value are arranged within the cuvette-shaped part for this purpose.
  • the gas mixture or the liquid is guided through the cuvette-shaped part via connecting lines, which can generally and preferably also be designed as flexible hoses.
  • a light source and an optical detector can preferably be used to determine the concentration of carbon dioxide for such a sensor system, the light from the light source, which emits light in the wavelength range of the infrared light, being directed through the cuvette-shaped part onto the optical detector suitable for this wavelength range becomes.
  • the carbon dioxide concentration part of this infrared light is absorbed and the intensity of the light detected by the optical detector can be used as a measure of the carbon dioxide concentration, for example in the respiratory or respiratory air.
  • the cuvette-shaped part can consist entirely of a material that is transparent to this light. But there is also the possibility to design this from a corresponding light-absorbing material and only transparent windows for the Provide entry of light into the cuvette-shaped part and exit from the cuvette-shaped part. This can limit the influence of scattered light.
  • the cuvette-shaped part can be accommodated in a housing or can be an integral part of this housing. In the former case, it is advantageous to connect the cuvette-shaped part only temporarily to the housing part, so that the cuvette-shaped part can be easily removed and replaced.
  • the already mentioned light source and the optical detector as well as other optical and electronic components, which will be referred to later, can be accommodated in the housing.
  • a layer containing a fluorescent substance can be arranged as a sensitive element in the interior of the cuvette-shaped part.
  • the arrangement should be chosen so that it cannot be influenced by the light in the infrared wavelength range.
  • Such e.g. for oxygen-sensitive layers with correspondingly suitable fluorescent substances, such as the ruthenium complexes known for this purpose, include described in WO 96/37768 AI.
  • the layer containing the fluorescent substance, as a sensitive element, is then exposed to light from a light source which emits light at a wavelength suitable for exciting the fluorescence. radiates, the fluorescence intensity being influenced as a function of the respective oxygen concentration and weakened in the direction of higher concentrations. With the help of this phenomenon, the current one can be measured via the measured fluorescence intensity
  • Oxygen concentration can be determined. Not only the pure intensity can be determined, but also the temporal decay behavior, an occurring phase shift or angular shift can be used as a measure of the substance concentration.
  • the one or more light source (s) used for the fluorescence excitation can also be arranged within the cuvette-shaped part.
  • these light sources outside, in which case the fluorescence excitation light can advantageously be directed via optical fibers from the respective light source onto the layer containing the fluorescent substance.
  • Additional optical elements can be arranged between this layer and the light exit openings of the light sources or optical fibers, with which the light can be shaped, the images of which can be influenced accordingly and certain wavelength ranges can also be filtered out or polarization can be carried out.
  • Another sensitive element that can be used in a cuvette-shaped part of a flow system according to the invention is an optically transparent body, on the one end face of which is arranged inside the cuvette-shaped part, there are two partial surfaces inclined at an angle to one another.
  • a coating for example made of a noble metal (eg gold) is applied to at least one of the two inclined partial surfaces, so that surface plasmon resonance can be excited on the coated partial surface by the transparent body directed at the inclined partial surfaces, and this by the two inclined partial surfaces, back-reflected light can be directed onto an optical detector, the measured values also being able to be used as a measure of a substance concentration.
  • a sensitive element can be used, for example, for determining a hydrogen concentration.
  • a convex lens can be formed on the end face of such a transparent body, which is opposite the end face on which the inclined partial surfaces are formed, or a plano-convex lens can be arranged on this end face of the transparent body following a flat end face. with which the excitation light can be guided favorably into the transparent body and light reflected from partial areas can be directed onto a detector suitable for evaluation.
  • an intermediate layer made of a material with a refractive index different from the material of the transparent body can also be arranged or applied to such a transparent body, so that such a layer enables adaptation to a possible detectable refractive index range.
  • Sensitive elements such as the layer containing a fluorescent substance can be advantageous or a transparent body can also be applied to a carrier or connected to such a carrier.
  • a carrier should be able to be exchanged simply with the respective sensitive element, which may be necessary on the one hand when changing material components to be determined from the gas mixture or the liquid.
  • this is important since layers containing fluorescent substances in particular are subject to aging so that the useful life is limited with sufficient sensitivity and after a certain useful life of such a layer has been exceeded an exchange is necessary.
  • Such a carrier can be designed, for example, in a cap shape, which in this form can be placed on a measuring head and can be removed again as needed and required.
  • a measuring head contains, in particular, further optical elements, such as the optical elements, reflectors, filters or polarizers already mentioned, so that, in addition to being easy to replace, such a cap-shaped support also reduces the influence of scattered light.
  • a layer containing a fluorescent substance is provided as the sensitive element, it is advantageous to provide a temperature control device on the measuring head, which can be designed in the form of an electrical resistance heater. This can at least hinder the generally disruptive influence of condensed water on such a layer. This is of particular importance if the oxygen concentration in breathing or breathing air is to be determined.
  • a planar planar carrier can also be used as the carrier for such a layer. This should advantageously have profiles on the lateral edges, which can be inserted into correspondingly complementary profiles that are formed on the cuvette-shaped part of the flow measuring system according to the invention. As a result, such a carrier can be exchanged very simply by simply pushing it in and out of the cuvette-shaped part and, in addition to the small amount of time required for an exchange, this is also advantageous in terms of costs.
  • this number can of course be increased. With an increased number of such elements or systems, either the number of the respective components to be determined can then be increased, but at least one of these components can also be determined with two such systems or elements. In the latter case, the determination of this one component can be carried out simultaneously, but also alternately, with a sensor system or sensitive element in each case. This can be particularly advantageous in the case of a sensitive element which is a layer containing a fluorescent substance. Since in this case the time intervals in which an exchange of these sensitive elements is required can be increased accordingly.
  • the optical flow measuring system according to the invention can be used to determine the oxygen and at the same time determine the carbon dioxide concentration in breathing or breathing air. are set, the flow measuring system can be arranged directly in the main stream of air without an additional bypass line.
  • the path of the light guided through the gas mixture or the liquid (absorption path) before it reaches a suitable optical detector since the free cross-section of a cuvette-shaped part cannot be enlarged arbitrarily on the inside, it is expedient to design the inner surface in the cuvette-shaped part to be reflective for the light used. Such a reflective coating or the arrangement of reflectors can take place completely, but also only in areas inside the cuvette-shaped part, taking into account the alignment and arrangement of light sources and optical detectors.
  • a geometry of the free cross section of a cuvette-shaped part can be selected that is not completely rotationally symmetrical or concave, but that flat surface areas are formed on the inner surface of the cuvette-shaped part and that may also be at least almost over the entire length of the cuvette-shaped part
  • two such planar planar surface areas can be diametrically opposed to one another on the inner surface
  • Light source and an optical detector can be arranged.
  • Such a multi-reflection formation can advantageously be used, for example, for the determination of the carbon dioxide concentration already mentioned Determination of a methane gas concentration or a carbon monoxide concentration, which can be important when monitoring anesthetic gas.
  • the sensitivity of the measurement can be increased and thus smaller concentrations of components contained in a gas mixture or in a liquid can also be determined.
  • a simple, more cost-effective and short-term calibration can be carried out on the flow measuring system according to the invention by changing the internal pressure and thereby also the oxygen partial pressure in the cuvette-shaped part. This can be done by reducing the pressure, but advantageously by increasing the pressure, as a result of which the oxygen concentration in air, which can be used for this purpose, changes accordingly.
  • an element producing a pressure difference can be connected, it being possible to connect a correspondingly suitable pump on the suction or pressure side.
  • At least one of the connecting lines connected to the cuvette-shaped part should be closed during the calibration carried out in this way.
  • valves known per se can be used.
  • Particularly suitable valves are any form of pinch valve len, i.e. pneumatically or mechanically operated pinch valves.
  • flexible hoses, which form the connecting lines to the cuvette-shaped part can also be pressed together by mechanical means and the respective connecting line can be closed in this way.
  • the calibration of sensitive elements which are designed as a layer containing a fluorescent substance, can be carried out very easily, taking into account measurement signals and the respective pressure.
  • Figure 1 is a schematic sectional view through an example of a flow measuring system according to the invention.
  • FIG. 2 shows a schematic sectional illustration through an example of an optical flow measuring system with a sensitive element, which represents a layer containing a fluorescent substance;
  • FIG. 3 shows a planar carrier for a layer containing a fluorescent substance with lateral profiles and a cuvette-shaped part with a complementary one
  • FIG. 4 shows a schematic illustration of a measuring head which can be used on an optical flow measuring system according to the invention and has a cap-shaped carrier;
  • Figure 5 shows another example of such a measuring head with a transparent body which is attached to a cap-shaped carrier
  • FIG. 6 shows a third example of a measuring head with a transparent body attached to a cap-shaped carrier
  • FIG. 7 shows a fourth example of a measuring head
  • Figure 8 shows a fifth example of a measuring head
  • FIG. 9 shows an example of a design of a mechanically operated pinch valve for
  • Figure 10 shows the arrangement of a pump as a pressure difference generating element on a connection line to the cuvette-shaped part.
  • FIG. 1 The example of an optical flow measuring system according to the invention shown schematically in FIG. 1 is particularly suitable for determining the oxygen and simultaneous determination of the carbon dioxide concentration and can be used in particular in medical ventilation technology.
  • a cuvette-shaped part 1 with an inner channel 1 ' is temporarily connected to a housing 2. Can not be recognized by connecting lines here Breathing or respiratory air is guided through the inner channel 1 ".
  • the carbon dioxide concentration is used with a sensor system that uses a light source 4, which directs light through the inner channel 1 of the cuvette-shaped part 1 to an optical detector 4 V.
  • the entire inner free cross section of the cuvette-shaped part 1 is traversed and, depending on the carbon dioxide concentration present, more or less absorbed by the light in the wavelength range of the infrared light, so that a correspondingly higher or lower intensity can be detected with the 4 V optical detector ,
  • Both the housing 2 and a large part of the cuvette-shaped part 1 are made of a material that is not transparent to light in order to largely avoid stray light influences from the environment and also reflections in the interior of the cuvette-shaped part 1.
  • Transparent window areas 5 are formed on the cuvette-shaped part 1 diametrically opposite one another in the beam path of the light emerging from the light source 4 and openings in the housing 2 in relation to these window areas 5, the light source 4 and the optical detector.
  • the light source 4 is formed with a convexly curved light exit opening in order to achieve a corresponding bundling of the light, so that the majority of the light can also reach the optical detector 4 1 .
  • a layer 3 containing a fluorescent substance was used as the second sensitive element in the interior of the inner channel 1 in the cuvette-shaped part 1.
  • This layer 3 is arranged on a cap-shaped carrier 6, which is on a measuring heads up, has been easily replaced.
  • Embodiments for measuring heads 7 will be referred to below in further exemplary embodiments.
  • the line 8 can represent the connection for transmitting the measuring signals to an electronic evaluation unit.
  • further sensitive elements can be arranged in the inner channel 1 ⁇ of the cuvette-shaped part 1 in the form shown, but also in a different form, in order, for example, to be able to determine a third component.
  • a second sensitive element or sensor system has been dispensed with and only a layer 3 containing a fluorescent substance is shown schematically as a sensitive element and the fluorescence excitation light is not emitted from the back of the Layer 3 directed at this, but directed through the inner channel l 1 and the gas mixture to be detected or the liquid from a fluorescence excitation light source 19 to the layer 3. Furthermore, it is indicated schematically that the light emerging from the light source 19 is directed through an optical filter and an optical lens onto the layer 3 for fluorescence excitation.
  • the hardware electronics for the preparation and evaluation of the specific measurement signals can, as also indicated schematically in FIG. 2, be arranged in the cavity within the housing 2.
  • the arrangement of the light sources 19 and the light guidance of the respective light emerging from them should be chosen such that their apertures are only one another overlap in areas and larger areas are possible without overlap or no overlaps of the individual apertures.
  • FIGS. 4 to 8 show different designs of measuring heads 7 with and without cap-shaped carriers 6.
  • Appropriate suitable optical filters are arranged in the interior of the measuring head at the light inlets and outlets, via which the respective light can be guided selectively so that undesired wavelength ranges can be at least partially masked out.
  • Optical lenses for collimating the respective light are arranged in front of the light exit openings in order to direct the light emerging or entering from the optical fibers 10 in the desired shape onto the sensitive layer 3, which is attached to a cap-shaped carrier 6 and is designed for fluorescence excitation illuminate and optimally couple the fluorescent light into at least one of the optical fibers and direct it onto the corresponding optical detector.
  • temperature-regulating elements 9 enveloping the measuring head 7, preferably as electrical resistance heating elements, in order, for example, to at least hinder the formation of water condensate on the sensitive element.
  • FIG. 5 of a measuring head 7 that can be used in an optical flow measuring system according to the invention differs from the example according to FIG. 4 in that a transparent body 13 is attached to the cap-shaped carrier 6, with two partial surfaces in one from the cap-shaped carrier 6
  • the two partial surfaces inclined with respect to one another is provided with a coating suitable for this.
  • the dashed line is intended to indicate that it can be a transparent body 13 with a planar end face, to which a plano-convex lens can be arranged at a distance in order to be able to influence the light guidance in a targeted and advantageous manner.
  • this plano-convex lens is an integral part of the transparent body 13.
  • the example shown in FIG. 6 differs in the design of the measuring head 7 by the type of light guidance. Only two optical fibers 10 are shown here, the light inlet and outlet openings of which are inclined at a certain angle with respect to the horizontal, so that the light emerging from the optical fiber 10 shown here on the right strikes the reflecting element 11 after focusing with the optical lens 14 and emerges from the actual measuring head 7, enters the transparent body 13 via the convexly curved surface, reflects on both partial inclined surfaces and reflected light strikes the reflecting element 11 and the light reflected from there in turn via an optical filter 12 in the light entry opening, which enters the optical fiber 10 shown here on the left and strikes an optical detector (not shown) via it.
  • FIGS. 7 and 8 additional cap-shaped carriers 6 have been dispensed with, and these representations are only intended to provide examples of further possibilities for guiding the light via corresponding orientations of the light fibers 10 with light entry and exit openings and according to FIGS. gur 8 an optical prism 15 are indicated.
  • FIGS. 9 and 10 schematically indicate possibilities, such as for a calibration as has been explained in the general part of the description, with a mechanically operated pinch valve, a flexible connecting line 16 can be closed by pressing it together via an eccentric element in order to be able to use a pump 17 , as an element generating a pressure difference, e.g. to achieve a pressure increase in the interior of the cuvette-shaped part 1, the internal pressure in the interior of the cuvette-shaped part 1 being time-resolved during calibration in relation to the measurement signals which should be detected as the respective fluorescence intensity with an optical detector at the same time.
  • a pressure difference e.g. to achieve a pressure increase in the interior of the cuvette-shaped part 1
  • the internal pressure in the interior of the cuvette-shaped part 1 being time-resolved during calibration in relation to the measurement signals which should be detected as the respective fluorescence intensity with an optical detector at the same time.

Abstract

Die Erfindung betrifft ein optisches Messsystem zur Bestimmung von in Gasgemischen oder Flüssigkeiten enthaltenen Komponenten, wobei das jeweilige Gasgemisch oder die Flüssigkeit durch ein küvettenförmiges Teil während der Messung geführt und die Messung im küvettenförmigen Teil durchgeführt werden soll. Hierfür sind am und/oder im küvettenförmigen Teil mindestens zwei optische Sensorsysteme und/oder sensitive Elemente zur Bestimmung der Konzentration eines Stoffes oder des pH-Wertes angeordnet.

Description

OPTISCHES MESSSYSTEM
Die Erfindung betrifft ein optisches Durchflußmeßsystem zur Bestimmung von in Gasgemischen oder Flüssig- keiten enthaltenen Komponenten, wobei das jeweilige Gasgemisch oder die Flüssigkeit durch ein kuvettenformiges Teil während der Messung geführt und die Messung im kuvettenformigen Teil durchgeführt wird.
Mit dem erfindungsgemäßen optischen Durchflußmeßsystem können unterschiedliche Elemente oder chemische Verbindungen quantitativ und zumindest annähernd in Echtzeit bestimmt werden, so daß es beispielsweise in der Prozeßmeßtechnik zur Steuerung von Prozessen so- wie' in der Medizintechnik und hier insbesondere in der Beatmungstechnik vorteilhaft eingesetzt werden kann.
So können beispielsweise die Konzentrationen bzw. die Partialdrücke von Sauerstoff und Kohlendioxid aber auch die Konzentration von Wasserstoff optisch und demzufolge auch frei von elektrischen Potentialen bestimmt werden können. Letzteres ist insbesondere für die Detektion von Wasserstoff bedeutsam, da sehr hohe Anforderungen wegen der hohen Explosionsgefahr vorhanden sind.
Für sich gesehen gibt es einige Meßmethoden und Sensortypen, die zur Bestimmung auch der Konzentration von solchen Elementen oder chemischen Verbindungen geeignet sind. Diese sind in der Regel aber insbesondere wegen hoher Kosten oder schlechtem Ansprechzeit- Verhaltens für viele Einsatzfälle ungeeignet.
Des weiteren ist häufig eine aufwendige Kalibrierung erforderlich, die sowohl einen hohen Zeitaufwand bedingt und entsprechende Meßpausen erforderlich machen.
Werden mehrere solcher Komponenten in Gasgemischen oder Flüssigkeiten detektiert, treten auch Probleme mit der Zeitsynchronität auf, so daß nicht immer gesichert werden kann, daß die einzelnen Meßwerte für unterschiedliche Elemente bzw. Verbindungen auch dem jeweiligen Zeitpunkt zweifelsfrei zugeordnet werden können.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein optisches Durchflußmeßsystem vorzuschlagen, das zumindest nahe- zu zeitsynchron mindestens zwei Komponenten, die in einem Gasgemisch oder in einer Flüssigkeit enthalten sein können, quantitativ bestimmen kann.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem opti- sehen Durchflußmeßsystem, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestal- tungsformen und Weiterbildungen der Erfindung können mit den in den untergeordneten Ansprüchen genannten Merkmalen erreicht werden.
Bei dem erfindungsgemäßen optischen Durchflußmeßsystem sind hierzu mindestens zwei optische Sensorsysteme und/oder sensitive Elemente zur Bestimmung der Konzentration jeweils mindestens eines Stoffes oder des pH-Wertes innerhalb des kuvettenformigen Teils angeordnet. Dabei wird das Gasgemisch oder die Flüssigkeit über Anschlußleitungen, die in der Regel und auch bevorzugt als flexible Schläuche ausgebildet sein können, durch den kuvettenformigen Teil geführt.
Bevorzugt zur Bestimmung der Konzentration von Kohlendioxid können für ein solches Sensorsystem eine Lichtquelle und ein optischer Detektor eingesetzt werden, wobei das Licht der Lichtquelle, die Licht im Wellenlängenbereich des infraroten Lichts aussendet, durch den kuvettenformigen Teil auf den entsprechend für diesen Wellenlängenbereich geeigneten optischen Detektor gerichtet wird. Infolge der Kohlendioxidkonzentration wird ein Teil dieses infraroten Lichts absorbiert und die Intensität des vom optischen Detek- tor erfaßten Lichts kann als Maß für die Kohlendioxidkonzentration, beispielsweise in der Atem- bzw. Beatmungsluft genutzt werden.
Vorteilhaft sind sowohl die Lichtquelle, wie auch der optische Detektor eines solchen Sensorsystems außerhalb des kuvettenformigen Teils angeordnet. Dabei kann das küvettenförmige Teil vollständig aus einem für dieses Licht transparenten Material bestehen. Es besteht aber auch die Möglichkeit, dieses aus einem entsprechenden das Licht absorbierenden Material zu gestalten und lediglich transparente Fenster für den Eintritt des Lichts in das küvettenförmige Teil und den Austritt aus dem kuvettenformigen Teil vorzusehen. Dadurch kann ein Streulichteinfluß begrenzt werden.
Das küvettenförmige Teil kann in einem Gehäuse aufgenommen oder integraler Bestandteil dieses Gehäuses sein. Im erstgenannten Fall ist es vorteilhaft, das küvettenförmige Teil lediglich temporär mit dem Ge- häuseteil zu verbinden, so daß eine leichte Entfernung des kuvettenformigen Teils und ein Wiedereinsetzen möglich sind.
Im Gehäuse können die bereits erwähnte Lichtquelle und der optische Detektor sowie andere optische und elektronische Komponenten, auf die später noch zurückzukommen sein wird, aufgenommen sein.
Beispielsweise zur Bestimmung einer Sauerstoffkonzen- tration kann als ein sensitives Element eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht im Inneren des kuvettenformigen Teils angeordnet sein. Dabei sollte die Anordnung so gewählt sein, daß eine Beeinflussung durch das Licht im infraroten Wellenlängen- bereich nicht möglich ist.
Solche z.B. für sauerstoffsensitive Schichten mit entsprechend geeigneten fluoreszierenden Stoffen, wie dies beispielsweise die hierfür bekannten Ruthenium- Komplexe sind, sind u.a. in WO 96/37768 AI beschrieben.
Die den fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht, als sensitives Element wird dann mit Licht einer Lichtquelle, das Licht mit einer zur Anregung der Fluoreszenz geeigneten Wellenlänge aussendet, be- strahlt, wobei die Fluoreszenzintensität in Abhängigkeit der jeweiligen Sauerstoffkonzentration beeinflußt und in Richtung höherer Konzentrationen abgeschwächt wird. Mit Hilfe dieses Phänomens kann über die gemessene Fluoreszenzintensität die momentane
Sauerstoffkonzentration bestimmt werden. Dabei kann nicht nur die reine Intensität bestimmt, sondern auch das zeitliche Abklingverhalten, eine auftretende Phasenverschiebung oder Winkelverschiebung als Maß für die Stoffkonzentration genutzt werden.
Die für die Fluoreszenzanregung eingesetzte eine aber auch mehrere Lichtquelle (n) kann/können ebenfalls innerhalb des kuvettenformigen Teils angeordnet werden. Es besteht aber auch die Möglichkeit, diese Lichtquellen außerhalb anzuordnen, wobei in diesen Fällen das Fluoreszenzanregungslicht vorteilhaft über Lichtleitfasern von der jeweiligen Lichtquelle auf die den fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht gerichtet werden kann. Zwischen dieser Schicht und den Licht- austrittsoffnungen der Lichtquellen bzw. Lichtleitfasern können zusätzliche optische Elemente angeordnet werden, mit denen das Licht geformt, dessen Abbildungen dementsprechend beeinflußt und auch bestimmte Wellenlängenbereiche herausgefiltert oder eine Polarisation vorgenommen werden können.
Ein weiters sensitives Element, das in einem kuvettenformigen Teil eines erfindungsgemäßen Durchflußsy- stems eingesetzt werden kann, ist ein optisch transparenter Körper, an dessen einer Stirnseite, die im Inneren des kuvettenformigen Teils angeordnet ist, zwei in einem Winkel gegeneinander geneigte Teilflächen vorhanden sind. Ein solches sensitives Element ist in WO 96/02822 AI bereits beschrieben und es wird hiermit vollumfänglich auf deren Offenbarungsgehalt zurückgegriffen. An zumindest einer der beiden geneigten Teilflächen ist eine Beschichtung, beispielsweise aus einem Edelmetall (z.B. Gold) aufgebracht, so daß mit durch den transparenten Körper auf die ge- neigten Teilflächen gerichtetem Licht, an der beschichteten Teilfläche Oberflächenplasmonenresonanz angeregt werden kann und das von den beiden geneigten Teilflächen rückreflektierte Licht auf einen optischen Detektor gerichtet werden kann, wobei die Meß- werte ebenfalls als Maß für eine Stoffkonzentration genutzt werden können. Ein solches sensitives Element kann beispielsweise für die Bestimmung einer Wasserstoffkonzentration genutzt werden.
Zur Verbesserung der Lichtführung, kann an der Stirnseite eines solchen transparenten Körpers, die der Stirnseite gegenüberliegt, an der die geneigten Teilflächen ausgebildet sind, eine konvexe Linse ausgebildet oder eine plankonvexe Linse im Anschluß an eine plane Stirnfläche an dieser Stirnseite des transparenten Körpers angeordnet sein, mit der das Anregungslicht günstig in den transparenten Körper geführt und von Teilflächen reflektiertes Licht auf einen zur Auswertung geeigneten Detektor gerichtet werden kann.
An einem solchen transparenten Körper kann aber auch eine Zwischenschicht, aus einem Material mit einer vom Material des transparenten Körpers abweichenden Brechzahl angeordnet oder aufgebracht sein, so daß mittels einer solchen Schicht eine Anpassung an einen möglichen erfaßbaren Brechzahlbereich ermöglicht wird.
Vorteilhaft können solche sensitiven Elemente, wie die einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht oder ein transparenter Körper auch auf einen Träger aufgebracht bzw. mit einem solchen Träger verbunden sein. Dabei sollte ein solcher Träger einfach mit dem jeweiligen sensitiven Element ausgetauscht werden können, was zum einen beim Wechsel von jeweils zu bestimmenden stofflichen Komponenten aus dem Gasgemisch oder der Flüssigkeit erforderlich sein kann. Zum anderen ist dies von Bedeutung, da insbesondere fluoreszierende Stoffe enthaltende Schichten einer Alte- rung unterzogen sind, so daß die nutzbare Lebensdauer mit ausreichender Meßempfindlichkeit begrenzt ist und nach Überschreiten einer gewissen Nutzungsdauer einer solchen Schicht ein Austausch erforderlich ist.
Ein solcher Träger kann beispielsweise kappenförmig ausgebildet sein, der in dieser Form auf einen Meßkopf aufgesetzt und bei Bedarf und Erfordernis wieder abgenommen werden kann. In einem solchen Meßkopf sind insbesondere weitere optische Elemente, wie die be- reits erwähnten optischen Elemente, Reflektoren, Filter oder Polarisatoren aufgenommen, so daß auch ein solcher kappenförmiger Träger neben der einfachen Austauschbarkeit auch eine Verringerung des Streulichteinflusses bewirkt.
Ist als sensitives Element eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht vorgesehen, ist es vorteilhaft, am Meßkopf eine Temperiereinrichtung, die in Form einer elektrischen Widerstandsheizung ausge- bildet sein kann, vorzusehen. Dadurch kann der in der Regel störende Einfluß von kondensiertem Wasser auf einer solchen Schicht zumindest behindert werden. Dies ist von besonderer Bedeutung, wenn die Sauerstoffkonzentration in Atmungs- bzw. Beatmungsluft be- stimmt werden soll. Neben einem kappenformigen Träger kann als Träger für eine solche Schicht auch ein planarer ebener Träger eingesetzt werden. Dieser sollte vorteilhaft an seitlichen Rändern Profilierungen aufweisen, die in ent- sprechend komplementär ausgebildete Profilierungen, die am kuvettenformigen Teil des erfindungsgemäßen Durchflußmeßsystems ausgebildet sind, eingeführt werden können. Dadurch kann ein solcher Träger sehr einfach durch einfaches Herein- bzw. Herausschieben aus dem kuvettenformigen Teil ausgetauscht werden und dies ist neben dem geringen Zeitaufwand, der für einen Austausch erforderlich ist, auch unter dem Kostenaspekt vorteilhaft.
Neben der bereits erwähnten gleichzeitigen Nutzung von mindestens zwei sensitiven Elementen oder Sensorsystemen, kann diese Zahl selbstverständlich erhöht werden. Mit einer erhöhten Anzahl solcher Elemente bzw. Systeme können dann entweder die Anzahl der je- weiligen zu bestimmenden Komponenten erhöht, aber auch mindestens eine dieser Komponenten mit zwei solcher Systeme bzw. Elemente bestimmt werden. Im letztgenannten Fall kann die Bestimmung dieser einen Komponente gleichzeitig, aber auch alternierend mit je- weils einem Sensorsystem bzw. sensitiven Element durchgeführt werden. Dies kann besonders vorteilhaft bei einem sensitiven Element, das einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht darstellt, sein. Da in diesem Fall die Zeitintervalle, in denen ein Aus- tausch dieser sensitiven Elemente erforderlich ist, entsprechend vergrößert werden können.
Wie bereits erwähnt, kann das erfindungsgemäße optische Durchflußmeßsystem zur Bestimmung der Sauer- stoff- und gleichzeitigen Bestimmung der Kohlendioxidkonzentration in Atem- oder Beatmungsluft einge- setzt werden, wobei das Durchflußmeßsystem ohne zusätzliche Bypaßleitung unmittelbar im Hauptstrom der Luft angeordnet sein kann.
Für bestimmte Anwendungen kann es vorteilhaft sein, den Weg, des durch das Gasgemisch oder die Flüssigkeit geführten Lichts zu verlängern (Absorptionsweg) , bevor es auf einen hierfür geeigneten optischen Detektor gelangt. Da der freie Querschnitt eines küvet- tenförmigen Teils im Inneren nicht beliebig vergrößert werden kann, ist es zweckmäßig die innere Oberfläche im kuvettenformigen Teil für das eingesetzte Licht reflektierend auszubilden. Eine solche reflektierende Beschichtung bzw. die Anordnung von Reflek- toren kann vollständig aber auch lediglich in Bereichen im Inneren des kuvettenformigen Teils die Ausrichtung und Anordnung von Lichtquellen und optischen Detektoren berücksichtigend, erfolgen. So kann beispielsweise eine Geometrie des freien Querschnittes eines kuvettenformigen Teils gewählt werden, die nicht vollständig rotationssymmetrisch bzw. konkav gewölbt ist, sondern an der inneren Oberfläche des kuvettenformigen Teils ebene Flächenbereiche ausgebildet sind und die gegebenenfalls auch zumindest nahezu über die gesamte Länge des kuvettenformigen
Teils, durch das das Gasgemisch oder die Flüssigkeit während der Messung geführt wird, erreichen. Dabei können beispielsweise zwei solcher planarer ebener Flächenbereiche sich diametral gegenüberliegend an der inneren Oberfläche in Bezug zu jeweils einer
Lichtquelle und eines optischen Detektors angeordnet sein.
Eine solche Multireflexionsausbildung kann vorteil- haft neben der bereits erwähnten Bestimmung der Kohlendioxidkonzentration auch beispielsweise für die Bestimmung einer Methangaskonzentration oder einer Kohlenmonoxidkonzentration, was bei der Überwachung von Narkosegas bedeutsam sein kann, durchgeführt werden. Durch die Absorptionswegverlängerung des einge- setzten Lichts kann die Meßempfindlichkeit erhöht und dadurch auch kleinere Konzentrationen von in einem Gasgemisch oder in einer Flüssigkeit enthaltenen Komponenten bestimmt werden.
Neben den bereits erwähnten optischen Detektoren, mit denen die auftreffende Lichtintensität bestimmt werden kann, sind auch Anwendungen der Laserspektroskopie möglich.
Im Gegensatz zu üblicherweise durchgeführten Kalibrierungen mit Normgasen, kann am erfindungsgemäßen Durchflußmeßsystem eine einfache, kostengünstigere und kurzzeitige Kalibrierung dadurch vorgenommen werden, daß der Innendruck und dadurch auch der Sauer- stoffpartialdruck im kuvettenformigen Teil verändert wird. Dies kann durch eine Druckreduzierung, vorteilhaft jedoch durch eine Druckerhöhung erfolgen, wodurch sich entsprechend die Sauerstoffkonzentration von Luft, die hierfür eingesetzt werden kann, ent- sprechend verändert.
Zur Beeinflussung des Innendrucks im kuvettenformigen Teil kann ein eine Druckdifferenz erzeugendes Element angeschlossen werden, wobei eine entsprechend geeig- nete Pumpe saug- bzw. druckseitig angeschlossen werden kann. Während der so durchgeführten Kalibrierung sollten mindestens eine der an das küvettenförmige Teil angeschlossenen Anschlußleitungen geschlossen werden. Dabei können die unterschiedlichsten an sich bekannten Ventile eingesetzt werden. Besonders geeignete Ventile sind jegliche Formen von Quetschventi- len, also pneumatisch oder mechanisch betätigte Quetschventile. In einfachster Form können auch flexible Schläuche, die die Anschlußleitungen zum kuvettenformigen Teil bilden, mit mechanischen Mitteln zusammengedrückt und so die jeweilige Anschlußleitung geschlossen werden.
Selbstverständlich sind aber auch viele andere an sich bekannte Ventilformen geeignet.
Mit einer solchen Kalibrierungsform kann sehr einfach die Eichung von sensitiven Elementen, die als ein einen fluoreszierenden Stoff enthaltene Schicht ausgebildet sind, durchgeführt werden, wobei Meßsignale und der jeweilige Druck berücksichtigt werden.
Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Beispielen näher erläutert werden.
Dabei zeigen:
Figur 1 eine schematische Schnittdarstellung durch ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Durchflußmeßsystems;
Figur 2 eine schematische Schnittdarstellung durch ein Beispiels eines optischen Druchfluß eß- systems mit einem sensitiven Element, das eine einen fluoreszierenden Stoff enthal- tende Schicht darstellt;
Figur 3 einen planaren Träger für eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht mit seitlichen Profilierungen und einem küvet- tenformigen Teil mit einer komplementären
Profilierung; Figur 4 eine schematische Darstellung eines an einem erfindungsgemäßen optischen Durchflußmeßsystem einsetzbaren Meßkopfs mit einem kappenformigen Träger;
Figur 5 ein weiteres Beispiel eines solchen Meßkopfes mit einem transparenten Körper, der an einem kappenformigen Träger befestigt ist;
Figur 6 ein drittes Beispiel eines Meßkopfes mit einem an einem kappenformigen Träger befestigten transparenten Körper;
Figur 7 ein viertes Beispiel eines Meßkopfes;
Figur 8 ein fünftes Beispiel eines Meßkopfes;
Figur 9 ein Beispiel für eine Ausbildung eines me- chanisch betätigten Quetschventils zur
Durchführung einer Kalibrierung und
Figur 10 die Anordnung einer Pumpe, als ein Druckdifferenz erzeugendes Element an einer An- Schlußleitung zum kuvettenformigen Teil.
Das in Figur 1 schematisch gezeigte Beispiel eines erfindungsgemäßen optischen Durchflußmeßsystems ist insbesondere für die Bestimmung der Sauerstoff- und gleichzeitigen Bestimmung der Kohlendioxidkonzentration geeignet und kann insbesondere in der medizinischen Beatmungstechnik eingesetzt werden.
Dabei ist ein kuvettenformiges Teil 1 mit einem inne- ren Kanal 1' temporär mit einem Gehäuse 2 verbunden. Durch hier nicht erkennbare Anschlußleitungen kann Atem- bzw. Beatumungsluft durch den inneren Kanal 1 " geführt werden. Dabei wird die Kohlendioxidkonzentration mit einem Sensorsystem, das eine Lichtquelle 4, welche Licht durch den inneren Kanal 1 des küvetten- förmigen Teils 1 auf einen optischen Detektor 4V richtet, verwendet. Dabei wird der gesamte innere freie Querschnitt des kuvettenformigen Teils 1 durchschritten und je nach vorhandener Kohlendioxidkonzentration mehr oder weniger vom Licht, im Wellenlängen- bereich des infraroten Lichts absorbiert, so daß eine entsprechend höhere bzw. geringere Intensität mit dem optischen Detektor 4V erfaßt werden kann.
Sowohl das Gehäuse 2, wie auch ein großer Teil des kuvettenformigen Teils 1 bestehen aus einem für Licht nicht transparenten Material, um Streulichteinflüsse aus der Umwelt und auch Reflexionen im Inneren des kuvettenformigen Teils 1 weitestgehend zu vermeiden. Am kuvettenformigen Teil 1 sind hier sich diametral gegenüberliegend im Strahlengang des aus der Lichtquelle 4 austretenden Lichts transparente Fensterbereiche 5 und in Bezug zu diesen Fensterbereichen 5, der Lichtquelle 4 und dem optischen Detektor Öffnungen im Gehäuse 2 ausgebildet .
Wie schematisch angedeutet, ist die Lichtquelle 4 mit einer konvex gewölbten Lichtaustrittsöffnung ausgebildet, um eine entsprechende Bündelung des Lichts zu erzielen, so daß der größte Teil des Lichts auch auf den optischen Detektor 41 gelangen kann.
Als zweites sensitives Element ist eine in das Innere des inneren Kanals l im kuvettenformigen Teil 1, eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht 3 verwendet worden. Diese Schicht 3 ist an einem kappenformigen Träger 6 angeordnet, der auf einem Meß- köpf aufsitzt, einfach austauschbar aufgesetzt worden ist. Auf Ausführungsformen für Meßköpfe 7, soll nachfolgend bei weiteren Ausführungsbeispielen noch zurückgekommen werden.
Beim in Figur 1 gezeigten Beispiel ist schematisσh eine Zu- und Ableitung für Licht zur Fluoreszenzanregung und Fluoreszenzlicht zu nicht dargestellten Lichtquellen und optischen Detektoren angedeutet.
Prinzipiell besteht aber auch die Möglichkeit, diese Lichtquellen und optische Detektoren innerhalb des Meßkopfes 7 oder innerhalb des Gehäuses 2 anzuordnen, wobei in diesem Fall die Leitung 8 die Verbindung zur Übermittlung der Meßsignale an eine elektronische Auswerteeinheit darstellen kann.
Wie bereits im allgemeinen Teil der Beschreibung angesprochen, können im inneren Kanal lλ des küvetten- förmigen Teils 1 weitere sensitive Elemente in der gezeigten, aber auch in anderer Form angeordnet werden, um z.B. eine dritte Komponente bestimmen zu können.
Im Gegensatz zum Beispiel nach Figur 1, ist im Beispiel, wie in Figur 2 dargestellt, auf ein zweites sensitives Element oder Sensorsystem verzichtet worden und lediglich als sensitives Element schematisch eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht 3 eingezeichnet und das Fluoreszenzanregungslicht wird nicht von der Rückseite der Schicht 3 auf diese gerichtet, sondern durch den inneren Kanal l1 und das zu detektierende Gasgemisch oder die Flüssigkeit von einer Fluoreszenzanregungslichtquelle 19 auf die Schicht 3 gerichtet. Des weiteren ist schematisch angedeutet, daß das aus der Lichtquelle 19 austretende Licht durch ein optisches Filter und eine optische Linse auf die Schicht 3 zur Fluoreszenzanregung gerichtet wird.
Außerhalb des inneren Kanals l1 des kuvettenformigen Teils, das hier integraler Bestandteil des Gehäuses 2 zumindest teilweise ist, ist ein weiteres optisches Filter vor einem optischen Detektor 17, mit dem die Intensität des Fluoreszenzlichts, der den fluoreszierenden Stoff enthaltenden Schicht 3 bestimmt werden kann, angeordnet .
Die Hartwareelektronik für die Vorbereitung und Aus- wertung der bestimmten Meßsignale kann, wie in Figur 2 ebenfalls schematisch angedeutet, im Hohlraum innerhalb des Gehäuses 2 angeordnet sein.
Im Gegensatz zur Darstellung können aber auch mehr als eine Lichtquelle 19 zur Fluoreszenzanregung in der den fluoreszierenden Stoff enthaltenden Schicht 3 eingesetzt werden, wobei die Anordnung der Lichtquellen 19 und die Lichtführung des aus ihnen austretenden jeweiligen Lichts so gewählt werden sollte, daß ihre Aperturen sich lediglich bereichsweise überschneiden und möglichst größere Bereiche überschneidungsfrei oder gar keine Überschneidungen der einzelnen Aperturen zu verzeichnen sind.
In den Figuren 4 bis 8 sind unterschiedliche Ausbildungen von Meßköpfen 7 mit und ohne kappenförmige Trägern 6 dargestellt.
Bei dem mit Figur 4 schematisch dargestellten Meßkopf 7 sind drei Lichtleitfasern 10, die von bzw. zu
Lichtquellen für die Fluoreszenzanregung in einer Schicht oder mindestens einen optischen Detektor richten, angedeutet. Im Inneren des Meßkopfes sind an den Lichtein- und -austritten entsprechend geeignete optische Filter angeordnet, über die das jeweilige Licht selektiv geführt werden kann, so daß unerwünschte Wellenlängenbereiche zumindest teilweise ausgeblendet werden können. Vor Lichtaustrittsöffnungen sind optische Linsen für die Kollimierung des jeweiligen Lichts angeordnet, um das aus den Lichtleit- fasern 10 aus- bzw. eintretende Licht in der gewünschten Form einmal auf die an einem kappenformigen Träger 6 befestigte auf einem Träger ausgebildete sensitive Schicht 3 zur Fluoreszenzanregung zu beleuchten und das Fluoreszenzlicht optimal in zumin- dest eine der Lichtleitfasern einzukoppeln und dieses auf den entsprechenden optischen Detektor zu richten.
An allen in den Figuren 4 bis 8 gezeigten Meßköpfen 7 sind den Meßkopf 7 umhüllende Temperierelemente 9, bevorzugt als elektrische Widerstandsheizelemente vorhanden, um beispielsweise die Bildung von Wasserkondensat am sensitiven Element zumindest zu behindern.
Das in Figur 5 gezeigte Beispiel eines in einem erfindungsgemäßen optischen Durchflußmeßsystem einsetzbaren Meßkopf 7 unterscheidet sich vom Beispiel nach Figur 4 dadurch, daß ein transparenter Körper 13 am kappenformigen Träger 6 befestigt ist, wobei aus dem kappenformigen Träger 6 zwei Teilflächen in einem
Winkel zueinander geneigt sind, so daß Messungen unter Ausnutzung des Phänomens der Oberflächenplasmo- nenresonanz durchgeführt werden können. Dabei ist in nicht dargestellter Form zumindest eine der beiden gegeneinander geneigten Teilflächen mit einer hierfür geeigneten Beschichtung versehen. Mit der gestrichelten Linie soll angedeutet werden, daß es sich um einen transparenten Körper 13 mit planarer Stirnfläche handeln kann, zu der in einem Abstand eine plankonvexe Linse angeordnet werden kann, um die Lichtführung gezielt und vorteilhaft beeinflussen zu können.
Beim in Figur 6 gezeigten Beispiel ist diese plankon- vexe Linse integraler Bestandteil des transparenten Körpers 13. Das in Figur 6 gezeigte Beispiel unterscheidet sich in der Ausführung des Meßkopfes 7 durch die Art der Lichtführung. Dabei sind hier lediglich zwei Lichtleitfasern 10 gezeigt, deren Lichtein- und -austrittsöffnungen in einem bestimmten Winkel gegenüber der Horizontalen geneigt sind, so daß das aus der hier rechts gezeigten Lichtleitfaser 10 austretende Licht nach Fokussierung mit der optischen Linse 14 auf das reflektierende Element 11 auftrifft und aus dem eigentlichen Meßkopf 7 austritt, über die konvex gewölbte Fläche in den transparenten Körper 13 eintritt, an beiden zueinander geneigten Teilflächen reflektiert und reflektiertes Licht auf das reflektierende Element 11 auftrifft und das von dort re- flektierte Licht wiederum über ein optisches Filter 12 in die Lichteintrittsöffnung, der hier links dargestellten Lichtleitfaser 10 eintritt und über diese auf einen nicht dargestellten optischen Detektor auf- trifft.
Bei den in den Figuren 7 und 8 gezeigten Beispielen wurde auf zusätzliche kappenförmige Trgäer 6 verzichtet und es sollen mit diesen Darstellungen lediglich Beispiele für weitere Möglichkeiten der Lichtführung über entsprechende Ausrichtungen der Lichtfasern 10 mit Lichtein- und -austrittsöffnungen sowie gemäß Fi- gur 8 einen optischen Prisma 15 angedeutet werden.
In den Figuren 9 und 10 sind schematisch Möglichkeiten angedeutet, wie für eine Kalibrierung wie sie im allgemeinen Teil der Beschreibung erläutert worden ist, mit einem mechanisch betätigten Quetschventil, eine flexible Anschlußleitung 16 durch Zusammenpressen über ein Exenterelement verschlossen werden kann, um mit einer Pumpe 17, als ein eine Druckdifferenz erzeugendes Element, z.B. einen Druckanstieg im Inneren des kuvettenformigen Teils 1 zu erzielen, wobei bei der Kalibrierung der Innendruck im Inneren des kuvettenformigen Teils 1 zeitaufgelöst in Bezug zu den Meßsignalen, die als jeweilige Fluoreszenzinten- sität mit einem optischen Detektor zu gleichen Zeitpunkten erfaßt werden sollten.

Claims

Patentansprüche
1. Optisches Durchflußmeßsystem zur Bestimmung von in Gasgemischen oder Flüssigkeiten enthaltenen
Komponenten, bei dem das Gasgemisch oder die Flüssigkeit durch ein kuvettenformiges Teil während der Messung geführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß am und/oder im kü- vettenförmigen Teil (1) mindestens zwei optische
Sensorsystem und/oder sensitive Elemente (3, 4, 4 , 13) zur Bestimmung der Konzentration eines Stoffes oder des pH-Wertes angeordnet sind.
2. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sensorsystem aus einer Lichtquelle (4) und einem optischen Detektor (4') gebildet ist.
3. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (4) Licht im Wellenlängenbereich des infraroten
Lichtes durch das kuvettenformigen Teil (1) auf den optischen Detektor (4λ) richtet.
. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß im küvetten- förmigen Teil (1) optisch transparente Fensterbereiche (5) für das aus der Lichtquelle (4) auf den optischen Detektor
(4 ) gerichtete Licht vorhanden sind.
5. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein sensitives Element, eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltene Schicht (3) , die im Inneren des kuvettenformigen Teils (1) angeordnet ist, ist.
6. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein sensitives Elemente ein optischer transparenter Körper
(13) mit zwei in einem Winkel gegeneinander ge- neigten Teilflächen, bei der an einer dieser
Teilflächen, die an einer Stirnfläche des transparenten Körpers (13) angeordnet ist, eine Beschichtung, die zur Anregung von Oberflachen- plasmonenresonanz geeignet ist, aufgebracht und dieser Teil des transparenten Körpers (13) im
Inneren des kuvettenformigen Teiles (1) angeordnet ist.
7. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht (3) und/oder ein optisch transparenter Körper (13) als sensitive Elemente auf einem austauschbaren Träger (6, 6 ) angeordnet an diesem befestigt sind.
8. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Träger (6) auf einem optischen Meßkopf (7) aufsetzbar sind.
9. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß im Meßkopf (7) jeweils mindestens eine Lichtquelle, die zur Fluoreszenz- oder Oberflächenplasmonenresonanz- Anregung geeignet und ein optischer Detektor aufgenommen sind.
10. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß im Meßkopf (7) kol- limierende optische Elemente, optische Filter, Polarisatoren, reflektierende Elemente und/oder optische Fenster (11, 12, 14) in Bezug zur jeweiligen Lichtquelle und Detektoren angeordnet sind.
11. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des kuvettenformigen Teils (1) eine der einen fluoreszierenden Stoff enthaltenden Schicht (3) gegenüberliegend angeordnete Lichtquelle (19) zur Fluoreszenzanregung angeordnet ist.
12. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwei solcher Lichtquellen (9) im kuvettenformigen Teil (1) angeordnet sind, wobei diese unterschiedliche Bereiche, der den fluoreszierenden Stoff (3) enthal- tenden Schicht, beleuchten.
13. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß am optisch transparenten Körper (13) , an der zur Anregung von Oberflächenplasmonenresonanz geeigneten Be- Schichtung gegenüberliegenden Stirnseite eine konvexe Linse ausgebildet oder dort angeordnet ist.
14. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß am Meßkopf (3) eine Temperiereinrichtung (9) vorhanden ist.
15. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß am transparenten Körper (13) eine Zwischenschicht mit vom Material des transparenten Körpers (13) abweichenden Brechungsindex angebracht ist.
16. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (6) ein auf einen Meßkopf aufsetzbares kappen- förmiges Element ist.
17. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (6λ) für eine einen fluoreszierenden Stoff enthaltende Schicht planar ausgebildet ist und an seitlichen Rändern Profilierungen für einen formschlüssigen Eingriff in eine komplementäre Kontur im kuvettenformigen Teil (1) ausgebildet sind.
18. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß an das küvettenförmige Teil (1) ein eine Druckdifferenz innerhalb des kuvettenformigen Teils erzeugendes Element (17) angeschlossen und mindestens eine
Anschlußleitung (16) von/zum kuvettenformigen Teil verschließbar ist.
19. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Anschlußleitung (16) mittels eines Ventils verschließbar ist.
20. Durchflußmeßsystem nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckdifferenz erzeugende Element (17) eine Pumpe ist.
21. Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die innere Oberfläche des kuvettenformigen Teils (1) zumindest bereichsweise lichtreflektierend ausgebildet ist und Licht einer Lichtquelle nach mehrfa- eher Reflexion auf einen optischen Detektor auftrifft.
22. Verfahren zur Bestimmung von in Gasgemischen oder Flüssigkeiten enthaltenen Komponenten, unter Verwendung eines Durchflußmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß im kuvettenformigen
Teil (1) beim Durchströmen des Gasgemisches oder der Flüssigkeit gleichzeitig die Konzentration von mindestens zwei Stoffen, deren Partialdrücke mit mindestens zwei optischen Sensorsystemen und/oder sensitiven Elementen (3, 4, 4 13) bestimmt wird.
23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Intensität von durch das Gasgemisch oder die Flüssigkeit von einer Lichtquelle (4) auf einen optischen Detektor (4 λ ) gerichteten Lichtes, die Fluoreszenzintensität einer einen fluoreszierenden Stoff enthaltenden Schicht (3) , das zeitliche Abklingverhalten der Fluoreszenz in einer solchen Schicht (3) , die Phasenverschiebung oder die Winkelverschiebung des Fluoreszenzlichtes und/oder die sich infolge auftretender Oberflächenplasmonen- resonanz ändernde Brechzahl bestimmt werden.
24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß zu Kalibrierungs- zwecken ein vorgebbarer Druck eines Gasgemisches im kuvettenformigen Teil (1) eingestellt und dabei die Fluoreszenzintensität, das zeitliche Abklingverhalten oder die Phasenverschiebung des Fluoreszenzlichtes einer einen fluoreszierenden
Stoff enthaltenden Schicht (3) , als sensitives Element gemessen wird.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 22 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Gasgemisch gleichzeitig die Sauerstoff- und die Kohlendioxidkonzentration bestimmt werden.
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