WO2004040234B1 - Anordnung zur messung der geometrie bzw. struktur eines objektes - Google Patents

Anordnung zur messung der geometrie bzw. struktur eines objektes

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WO2004040234B1 PCT/EP2003/012228 EP0312228W WO2004040234B1 WO 2004040234 B1 WO2004040234 B1 WO 2004040234B1 EP 0312228 W EP0312228 W EP 0312228W WO 2004040234 B1 WO2004040234 B1 WO 2004040234B1
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Ralf Christoph
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Messung der Geometrie bzw. Struktur eines Objektes (38) mittels eines Koordinatenmessgerätes mit einem optischen System zur Erfassung und Abbildung eines Messpunktes auf wenigstens einen optischen Sensor (36), wobei das optische System zumindest eine Messlinsen (14, 18, 22) aufweisende verschiebbare Linsengruppe (10, 12) enthält und wobei zumindest einige der Messlinsen jeweils von einer Aufnahme (26, 28, 30) aufgenommen sind. Dabei ist vorgesehen, dass in zumindest einigen der die Messlinsen aufnehmenden Aufnahmen der zumindest einen verschiebbaren Linsengruppe zumindest eine weitere Linsen zum Abbilden eines Lichtstrahls auf das Objekt angeordnet ist.

Claims

GEÄNDERTE ANSPRUCHE
[beim Internationalen Büro am 18 August.2004 (18.08.04) eingegangen, ursprünglicher Anspruch 1-8 geändert,]
1. Anordnung zur Messung der Geometrie bzw. Struktur eines Objekts (3 §) mittels eines Koordinatenmessgerätes (100) umfassend eine Lichtquelle, von der ein auf einen Messpunkt des Objekts aufbreffender Beleuchtungsstrahlcngang ausgeht, sowie ein optisches System zur Erfassung und Abbildung des Messpunktes auf wenigstens einem optischen Sensor (36) wie CCD-Sensor, wobei das optische System zumindest eine Messlinsen (14. ] B, 22, 58, 60, 62, 64) aufweisende verschiebbare Lhisengruppe enthält und zumindest einige der Mcsslinsen jeweils von einer Aufnahme (26, 28, 30, 68, 70, 72, 74) aufgenommen sind, dad u rch gekennzeichnet, dass in zumindest einigen der die Messlinsen (14, 18, 22, 58, 60, 62, 64) aufnehmenden Aufnahmen (26, 28, 30, 68, 70, 72, 74) der zumindest einen verschiebbaren t-insengruppe zumindest eine weitere von dem Beleuchtungsstrahl durchsette Linse (16, 20, 24, 76, 78, 80, 88) angeordnet ist, wobei von Mcsslinsen ausgebender erster Sirahlengang objektseitig parallel zu dem von der zumindest einen weiteren Linse ausgehenden Bcleuchtungsstrahlengang verläuft-
2. Λnordnun g nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeich et, dass der erste Strahlengang ein Bildverarbeϊtungsstrahlengang und/oder der Beleuchtungsstrahlengang ein solcher eines Hellfeldauflichts oder ein Laserab- standssensorstrahlengang ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dad urch gekennzeichnet, dass der Eeleuchtungsstrablengang und der zweite Strahlengang und gegebenenfalls ein weiterer in den Aufnahmen {26, 28, 30, 68, 70, 72, 74) artgeordnete Linsen durchsetzender Strahlengang in oder in etwa in einem Punkt des Objektes (38) auftreffen.
. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, d adureh gekennzeichnet, dass in jeder Aufnahme (26, 28, 30, 6S, 70, 7274) der Messlinsen (14, ) 8, 20,
58, 60, 62, 64) der verschiebbaren Linsengruppe zumindest eine weitere Linse (16, 20, 24, 76? 78, 80, 88) wie AbbildungsJmse angeordnet ist.
- Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Anspr che, da durch gek ennzeichnet, dass vor oder hinter uoverschiebbar angeordneter objektsejtiger weilerer Messlinse (44) von den weiteren Linsen (16, 20.22) ausgehender zweiter Strahlengang in optische Achse (32) der Messlinsen (14, 18, 22) umlenkbar ist.
6. Anordnung insbesondere noch Anspruch 1 mit einer Abbildimgsoptik mit Zoom- Optik umfassend in Aufnahmen angeordnete von einem Strahlengang durchsetzte Linsen, die ÜUT Vergrößerungs- und/oder Arbeilsabslandsverändcruπg zueinander verstellbar sind, wobei der Strahlengang auf einen Messpunkt eines zu untersuchenden Objekts auftrifftj dad urch gekennzei chnet, dass von jeder Aufnahme Linsen für zwei oder mehrere parallel zueinander verlaufende Strahlengänge aufgenommen sind und dass die Strahleng-inge objektiv- seitig parallel zueinander verlaufen und im Messpunkt auf das zu messende Objekt aufireffen.
7. Anordnimg nach zumindest Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die von dem Bildverarbeitungsstrahlengang durchsetzten MessJ insen (14, 18, 22, 58, 60, 62, 64) und/oder die von dem Beleuchtungsstrahlcngang durchsetzten weiteren Linsen (16, 20, 4) und/oder die von dem Laserabstaidsstrah- lengang durchsetzten Linsen (76, 78, 80, 88) in Bezug auf diese durchsetzendes Licht optimiert sind.
8. Anordnung nach zumindest Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsen zur Erzielung einer Optimierung der diese durchsetzenden Strahlen beschichtet sind.
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