WO2003046618A1 - Spiegel, optisches abbildungssystem und deren verwendung - Google Patents
Spiegel, optisches abbildungssystem und deren verwendung Download PDFInfo
- Publication number
- WO2003046618A1 WO2003046618A1 PCT/EP2002/013401 EP0213401W WO03046618A1 WO 2003046618 A1 WO2003046618 A1 WO 2003046618A1 EP 0213401 W EP0213401 W EP 0213401W WO 03046618 A1 WO03046618 A1 WO 03046618A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- mirror
- imaging system
- optical imaging
- optical
- positioning means
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
Abstract
Description
Claims
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/496,935 US7322708B2 (en) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | Mirror, optical imaging system and use thereof |
JP2003548002A JP4313675B2 (ja) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | ミラー、光学結像システム、およびそれらの使用 |
EP02803805A EP1451617B1 (de) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | Spiegel, optisches abbildungssystem und deren verwendung |
CA2473275A CA2473275C (en) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | Mirror, optical imaging system and use thereof |
DE50210291T DE50210291D1 (de) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | Spiegel, optisches abbildungssystem und deren verwendung |
AU2002356743A AU2002356743A1 (en) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | Mirror, optical imaging system and use thereof |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10158216A DE10158216A1 (de) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | Spiegel, optisches Abbildungssystem und deren Verwendung |
DE10158216.1 | 2001-11-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2003046618A1 true WO2003046618A1 (de) | 2003-06-05 |
Family
ID=7707172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/EP2002/013401 WO2003046618A1 (de) | 2001-11-28 | 2002-11-27 | Spiegel, optisches abbildungssystem und deren verwendung |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7322708B2 (de) |
EP (1) | EP1451617B1 (de) |
JP (1) | JP4313675B2 (de) |
AT (1) | ATE364190T1 (de) |
AU (1) | AU2002356743A1 (de) |
CA (1) | CA2473275C (de) |
DE (2) | DE10158216A1 (de) |
WO (1) | WO2003046618A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1873570A1 (de) * | 2006-06-30 | 2008-01-02 | Media Lario S.r.L. | Reflektives optisches System und dessen Herstellung |
CN107144935A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种微变形高谐振频率的主次镜支架 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2083327B1 (de) * | 2008-01-28 | 2017-11-29 | Media Lario s.r.l. | Optische Systeme mit verbessertem Kollektor mit streifendem Einfall für EUV- und Röntgenstrahlungsanwendungen |
EP2083328B1 (de) * | 2008-01-28 | 2013-06-19 | Media Lario s.r.l. | Kollektor für streifenden Strahlungseinfall geeignet für lasererzeugte Plasmaquellen |
US8587768B2 (en) | 2010-04-05 | 2013-11-19 | Media Lario S.R.L. | EUV collector system with enhanced EUV radiation collection |
US8895946B2 (en) | 2012-02-11 | 2014-11-25 | Media Lario S.R.L. | Source-collector modules for EUV lithography employing a GIC mirror and a LPP source |
FR3010536B1 (fr) * | 2013-09-12 | 2016-12-23 | Sagem Defense Securite | Support de miroir secondaire pour telescope |
EP3477354A1 (de) * | 2017-10-27 | 2019-05-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Optische anordnung mit hochgenauer stabiler ausrichtung zwischen optischen oberflächen |
DE102019108994B4 (de) * | 2019-04-05 | 2023-11-23 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Spiegeleinheit für ein Head-Up Display für ein Fahrzeug, Head-Up-Display mit einer Spiegeleinheit und Verfahren zum Herstellen einer Spiegeleinheit |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5117606A (en) * | 1990-01-24 | 1992-06-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Structural member |
US5181145A (en) * | 1990-03-14 | 1993-01-19 | State Of Israel - Ministry Of Defence Armament Development Authority | Optical imaging system made from a single piece of material |
DE19506765A1 (de) * | 1994-02-28 | 1995-08-31 | Canon Kk | Optischer Reflektor |
JPH07239431A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Canon Inc | 光学素子保持装置 |
US5500520A (en) * | 1994-09-15 | 1996-03-19 | Northrop Grumman Corporation | Compact large aperture optical transmitter/receiver for lidars employing a plurality of cassegrain optics and optical fibers |
US5854713A (en) * | 1992-11-30 | 1998-12-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Reflection type angle of view transforming optical apparatus |
US6060702A (en) * | 1997-09-22 | 2000-05-09 | Microcosm, Inc. | Low-cost light-weight star tracking telescope |
US20010030820A1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-10-18 | Scrivens Walter A. | Compositions having optically smooth surfaces |
EP1152555A1 (de) * | 2000-05-03 | 2001-11-07 | Media Lario S.r.L. | Teleskopspiegel für die Übertragung optischer Daten hoher Bandbreite im freien Raum |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5047788A (en) * | 1989-10-05 | 1991-09-10 | Lockheed Missiles & Space Company, Inc. | Figure control system for a flexible antenna |
DE19735831A1 (de) * | 1997-08-18 | 1999-02-25 | Zeiss Carl Fa | Galvanoplastische Optik-Fassung |
-
2001
- 2001-11-28 DE DE10158216A patent/DE10158216A1/de not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-11-27 US US10/496,935 patent/US7322708B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-27 WO PCT/EP2002/013401 patent/WO2003046618A1/de active IP Right Grant
- 2002-11-27 DE DE50210291T patent/DE50210291D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-27 JP JP2003548002A patent/JP4313675B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-27 AU AU2002356743A patent/AU2002356743A1/en not_active Abandoned
- 2002-11-27 AT AT02803805T patent/ATE364190T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-11-27 EP EP02803805A patent/EP1451617B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-27 CA CA2473275A patent/CA2473275C/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5117606A (en) * | 1990-01-24 | 1992-06-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Structural member |
US5181145A (en) * | 1990-03-14 | 1993-01-19 | State Of Israel - Ministry Of Defence Armament Development Authority | Optical imaging system made from a single piece of material |
US5854713A (en) * | 1992-11-30 | 1998-12-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Reflection type angle of view transforming optical apparatus |
DE19506765A1 (de) * | 1994-02-28 | 1995-08-31 | Canon Kk | Optischer Reflektor |
JPH07239431A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Canon Inc | 光学素子保持装置 |
US5500520A (en) * | 1994-09-15 | 1996-03-19 | Northrop Grumman Corporation | Compact large aperture optical transmitter/receiver for lidars employing a plurality of cassegrain optics and optical fibers |
US6060702A (en) * | 1997-09-22 | 2000-05-09 | Microcosm, Inc. | Low-cost light-weight star tracking telescope |
US20010030820A1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-10-18 | Scrivens Walter A. | Compositions having optically smooth surfaces |
EP1152555A1 (de) * | 2000-05-03 | 2001-11-07 | Media Lario S.r.L. | Teleskopspiegel für die Übertragung optischer Daten hoher Bandbreite im freien Raum |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
DATABASE WPI Week 199545, Derwent World Patents Index; AN 1995-349201, XP002231785 * |
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1996, no. 01 31 January 1996 (1996-01-31) * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1873570A1 (de) * | 2006-06-30 | 2008-01-02 | Media Lario S.r.L. | Reflektives optisches System und dessen Herstellung |
WO2008000520A1 (en) * | 2006-06-30 | 2008-01-03 | Media Lario S.R.L. | Reflective optical systems and their fabrication |
CN107144935A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种微变形高谐振频率的主次镜支架 |
CN107144935B (zh) * | 2017-06-16 | 2022-12-23 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种微变形高谐振频率的主次镜支架 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4313675B2 (ja) | 2009-08-12 |
US20050141112A1 (en) | 2005-06-30 |
DE10158216A1 (de) | 2003-06-18 |
AU2002356743A1 (en) | 2003-06-10 |
EP1451617B1 (de) | 2007-06-06 |
US7322708B2 (en) | 2008-01-29 |
DE50210291D1 (de) | 2007-07-19 |
CA2473275C (en) | 2011-06-14 |
EP1451617A1 (de) | 2004-09-01 |
CA2473275A1 (en) | 2003-06-05 |
JP2005510752A (ja) | 2005-04-21 |
ATE364190T1 (de) | 2007-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0964281B1 (de) | Baugruppe aus optischem Element und Fassung | |
DE19610881B4 (de) | Mikrosystembaustein | |
DE19506765C2 (de) | Optischer Reflektor | |
DE19644758A1 (de) | Zentrieranordnung zum Positionieren von mikrostrukturierten Körpern | |
DE19932430A1 (de) | Opto-elektronische Baugruppe, Bauteile für diese Baugruppe sowie Verfahren zur Herstellung der Baugruppe | |
EP0898189A1 (de) | Galvanoplastische Optik-Fassung | |
EP0739494A1 (de) | Mechanisches befestigungssystem für ein modular gefasstes mikrooptisches element | |
EP1451617B1 (de) | Spiegel, optisches abbildungssystem und deren verwendung | |
DE3433717C2 (de) | ||
EP0388642A2 (de) | Mikromechanisches Bauteil | |
EP1852401A1 (de) | Formkörper aus Glas oder Glaskeramik und Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO2005111687A1 (de) | Halterung für optische elemente und verfahren zur herstellung eines optischen systems mit einer solchen halterung | |
EP0625272A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines deckels für eine integriert optische schaltung | |
DE4117449C1 (de) | ||
DE102021102096B4 (de) | Adaptiver Spiegel mit in zwei orthogonalen Achsen unterschiedlichen Krümmungsradien | |
WO1999041813A1 (de) | Verfahren zum aufbauen und verbinden von optischen komponenten, insbesondere von optischen komponenten in einem laserresonator und laserresonator | |
DE102006038294A1 (de) | Fassung für ein optisches Element | |
EP1395859B1 (de) | Laserjustierbarer Aktor, optisches Bauelement und Justierverfahren | |
DE10228053B4 (de) | Element und Verfahren zu seiner Herstellung, bei dem zwei in Bezug zu mindestens einer Justierachse positionierte Körper stoffschlüssig miteinander verbunden sind | |
EP0171664A1 (de) | Koppelanordnung für Lichtwellenleiter | |
DE3903196A1 (de) | Anordnung zum befestigen mindestens eines mikrooptischen bauelementes | |
DE3443322C1 (de) | Freitragende Zielmarke, insbesondere für optische Zieleinrichtungen | |
EP0875009B1 (de) | Verfahren zum herstellen eines reflexionsgitters für mikrospektrometer | |
DE102008005801B3 (de) | Optisches Koppelelement für zweidimensionale Wellenleiter-Arrays und Verfahren zu dessen Herstellung | |
EP1368676B1 (de) | Optisches bauteil und herstellung eines solchen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SC SD SE SG SI SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW |
|
AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG |
|
DFPE | Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101) | ||
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2003548002 Country of ref document: JP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2002803805 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2473275 Country of ref document: CA |
|
WWP | Wipo information: published in national office |
Ref document number: 2002803805 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 10496935 Country of ref document: US |
|
WWG | Wipo information: grant in national office |
Ref document number: 2002803805 Country of ref document: EP |