WO2003004967A1 - Appareil de detection de la position, procede de detection de la position et appareil de transfert d'une partie electronique - Google Patents

Appareil de detection de la position, procede de detection de la position et appareil de transfert d'une partie electronique Download PDF

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WO2003004967A1
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Masayoshi Ichikawa
Takahiro Yamaguchi
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Advantest Corporation
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    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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Abstract

L'invention concerne un appareil de détection d'une position comprenant des moyens de sélection d'une aire de comparaison (34) permettant de sélectionner une aire de comparaison afin de la comparer à une image gabarit indiquant une partie électronique provenant d'une image saisie, des moyens de calcul de la différence de phase (42) permettant de calculer une différence de phase pour chaque fréquence entre un composant de phase lorsque l'image gabarit est transformée en un composant de fréquence avec une positon prédéterminée dans l'image gabarit comme référence et un composant de phase lorsqu'une image d'aire de comparaison est transformée en un composant de fréquence avec une position prédéterminée dans l'aire de comparaison comme référence, des moyens de détection de la position d'une partie (50) permettant de détecter la position d'une partie de l'image saisie selon une fonction de réponse d'impulsion de phase en laquelle la différence de composant de phase est convertie, des moyens de détection de la positon d'une partie relative (60) permettant de détecter des positions relatives d'une pluralité de parties dans l'image saisie, ainsi que des moyens de détection de la position d'une partie électronique (62) permettant de détecter la position d'une partie électronique dans l'image saisie.
PCT/JP2002/006494 2001-07-01 2002-06-27 Appareil de detection de la position, procede de detection de la position et appareil de transfert d'une partie electronique WO2003004967A1 (fr)

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