WO2002077596A1 - Verfahren zur herstellung eines korrosionsbeständigen trennkörpers - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines korrosionsbeständigen trennkörpers Download PDF

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WO2002077596A1
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base body
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separating
membrane
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Karl Flögel
Dietfried Burczyk
Thomas Velten
Bernd Kastner
Wolfgang Woest
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a corrosion-resistant separating body for pressure sensors.
  • a separating body In the case of pressure sensors, the actual pressure measuring cell, often a so-called separating body, is connected upstream in order to protect the measuring cell.
  • a separating body has a basic body and a separating membrane which is attached with its edge in a pressure-tight manner to the basic body via a membrane bed formed in the basic body.
  • the separating membrane In sensor operation, the separating membrane is subjected to the pressure to be measured, and the pressure is transferred hydraulically to the pressure measuring cell due to the pressure-induced deformation of the separating membrane.
  • the separating membrane often consists of a corrosion-resistant metal, for example tantalum, or a corrosion-resistant alloy which is to be fastened to the base body made of steel.
  • a corrosion-resistant metal for example tantalum
  • a corrosion-resistant alloy which is to be fastened to the base body made of steel.
  • the European patent EP 0594 778 B1 discloses a differential pressure sensor with two separating bodies and a method for its assembly, whereby initially a relatively solid support ring made of a corrosion-resistant material, for example made of tantalum or a material with a melting point similar to tantalum, on the base body with a braze joint is attached.
  • the support ring is preferably used in a correspondingly prepared groove in the base body, and the brazing alloy is placed in the groove, so that the solder connection extends not only over the underside of the support ring but also onto its inner lateral surface and its outer lateral surface.
  • the support ring is then machined, if necessary, to achieve the required dimensions. Finally, the tantalum separating membrane is welded onto the support ring.
  • the support ring must be so massive that the thermal energy introduced into the ring during welding does not lead to the melting of the braze joint.
  • the described method has various disadvantages:
  • the assembly of the massive support ring is very complex.
  • the groove in the surface of the base body for receiving the solder connection increases the manufacturing effort, since the surface of the base body must first be provided with a groove in a first manufacturing step and a second manufacturing step follows after soldering, in which the support ring is brought to the required dimensions becomes.
  • brazing alloy fills the groove evenly and completely. This can lead to residual volumes that require an increased amount of hydraulic fluid and thus impair sensor performance.
  • low-melting solder should be chosen. However, this is incompatible with the subsequent welding of the membrane.
  • various methods for producing a separating body in which a separating membrane is welded to an intermediate ring and the intermediate ring is fastened to a base body, with no consideration or less consideration of a solder connection having to be taken into account when welding the separating membrane.
  • solder connection between the base body and the intermediate layer is only produced after the separation membrane has been welded to the intermediate layer; in a second process variant in that the solder connection between the base body and the intermediate layer is formed flat on an end face of the base body, and the centering of the intermediate layer is preferably effected by a projection on the end face of the base body, which also forms a limitation for the solder, the Solder connection as a thin layer also has very low thermal resistance, which means that the heat that occurs when the separating membrane is welded on can be easily dissipated into the adjacent base body; and
  • connections between the base body and the intermediate layer are no longer achieved as a solder connection but by diffusion welding.
  • FIG. 1 shows a longitudinal section through a separating body in the sequence of the method steps of a first embodiment of the invention
  • FIG. 2 shows a longitudinal section through a separating body in the sequence of the method steps of a second embodiment of the invention.
  • FIG 3 shows a longitudinal section through a separating body in the sequence of the method steps of a third embodiment of the invention.
  • FIG. 1 A first embodiment of the method according to the invention will now be described with reference to FIG. 1. This embodiment differs from the procedure customary in the prior art of building the separating body on the base body by sequentially adding the individual components.
  • the separating body comprises a base body 10 made of stainless steel, a membrane 20, which is made of tantalum, and an annular one Intermediate layer 30 made of a material that can be welded with tantalum.
  • a base body 10 made of stainless steel
  • a membrane 20 which is made of tantalum
  • an annular one Intermediate layer 30 made of a material that can be welded with tantalum.
  • tantalum should be mentioned here.
  • selected nickel alloys are particularly suitable if at the same time a compensation of the thermal expansion differences between tantalum and stainless steel is desired.
  • the separating membrane 10 is first connected to the intermediate layer 30 by welding.
  • all welding techniques are suitable for the formation of the welded connection 25, because at this point no compromises need to be made because of the other materials and joints of the separating body.
  • the separating membrane, together with the intermediate layer which preferably has the same symmetry as the separating membrane and is arranged concentrically therewith, is still easy to handle, so that the welded connection can be centered exactly with respect to the separating membrane using suitable devices. This is advantageous in that an eccentric course of the weld with respect to the separating membrane would impair the sensor performance.
  • two membranes can be arranged simply eccentrically with respect to the base body.
  • the intermediate layer 30 is now fastened with its surface facing away from the separating membrane on the front side of the base body 10.
  • the attachment is particularly preferably carried out with a solder connection 15, which is designed in particular as a hard solder connection.
  • the solder connection 15 is produced over the entire area under vacuum.
  • the person skilled in the art is no longer subject to the restrictions of the methods according to the prior art, since the separating membrane has already been welded and no higher temperatures are to be expected. This means that solder can be used that melts even at lower temperatures.
  • the intermediate layer 30 no longer acts as a heat buffer to the solder connection 15 when the weld connection 25 is formed has to serve.
  • the intermediate layer 30 therefore no longer needs to be as solid as the support ring between the separating membrane and the base body described in the prior art.
  • the intermediate layer preferably has less than eight times, more preferably less than four times and particularly preferably one to two times the thickness of the separating membrane.
  • FIG. 2 A second embodiment of the invention will now be described with reference to FIG. 2. This embodiment is based on reducing the manufacturing outlay compared to the prior art.
  • the separating body comprises a base body 110 made of stainless steel, a separating membrane 120 made of tantalum and an annular intermediate layer 130 made of tantalum.
  • the base body 110 has a preferably cylindrical projection 112 on an end face 111, the outer edge of which forms a vertical step 113 on the end face 111.
  • the intermediate layer 130 is fastened on the end face 111 of the base body by means of a solder connection, the solder connection 115 preferably being formed over the entire area as a hard solder connection under vacuum.
  • the intermediate layer surrounds the protrusion 112, and preferably borders directly on the step 113, the step 113 forming a barrier for the solder on the one hand and centering the intermediate layer 130 when the solder connection 115 is formed on the other hand.
  • solder connection 115 is preferably formed as a thin layer, it has a very low thermal resistance, so that the heat occurring during the subsequent welding of the separating membrane can be dissipated into the base body without further ado.
  • the requirements for the soldering agent are less strict than is the case with the massive soldering point according to the prior art.
  • the base body 110 is machined, the protrusion 112 being removed and preferably a membrane bed 114 being formed for the separating membrane 120.
  • the Intermediate layer 130 processed in the same operation, and any excess solder that may be present can be removed if necessary.
  • the separating membrane 120 is welded onto the intermediate layer 130. This is preferably done with a beam welding process, i.e. using LASER or electron beam welding.
  • This procedure and construction method according to this embodiment is characterized in that no gaps, grooves or grooves are required to take up excess solder. This means that no undefined cavities can remain in the separating body volume, which would impair the sensor properties.
  • the separating body of this embodiment has a base body 210 made of stainless steel, a separating membrane 220 made of tantalum and an intermediate layer 230.
  • the intermediate layer comprises a metallic material which is suitable for compensating for differences in thermal expansion between the base body 210 and the separating membrane 220. Selected nickel alloys are particularly suitable for this.
  • the material should be able to be connected by diffusion welding on the one hand to tantalum and on the other hand to stainless steel; this condition is also met by said selected nickel alloys.
  • the base body 210, the annular intermediate layer 230 and the separating membrane 220 are stacked in the order mentioned and subjected to a diffusion welding process, whereby on the one hand a diffusion welding connection 225 between the separating membrane 220 and the intermediate layer 230 and on the other hand a diffusion welding connection 215 between the basic body 210 and of the intermediate layer 230 is formed.
  • the diffusion welding process is carried out under high pressure at temperatures which are significantly below the melting point of the materials involved, in particular between 0.7 and 0.8 times the melting temperature.
  • the selection of the suitable process parameters is familiar to a person skilled in the field of diffusion welding. LIST OF REFERENCE NUMBERS

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

Die Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung eines Trennkörpers für einen Drucksensor mit einem Grundkörper (10) aus einem ersten metallischen Material; einer Trennmembran (20) aus einem zweiten metallischen Material, das nicht durch mit dem zweiten Material verschweisst werden kann; und einer ringförmigen Zwischenschicht (30), aufweisend ein metallisches Material, das mit dem zweiten metallischen Material verschweissbar ist. In einer Ausgestaltung wird die Zwischenschicht zunächst mit der Trennmembran verschweißt, bevor die Zwischenschicht mit dem Grundkörper verbunden wird. In einer anderen Ausführungsform wird die Zwischenschicht auf dem Grundkörper um einen Vorsprung aufgelötet, der als Lotmittelbarriere dient; anschließend wird der Vorsprung abgetragen, um ein Membranbett zu formen. In einer weiteren Alternative werden Trennmembran, Zwischenschicht und Grundkörper in einem einzigen Diffusionsschweissschritt miteinander verbunden.

Description

Verfahren zur Herstellung eines Korrosionsbeständigen Trennkörpers
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Korrosionsbeständigen Trennkörpers für Drucksensoren.
Bei Drucksensoren wird der eigentlichen Druckmeßzelle, häufig ein sogenannter Trennkörper vorgeschaltet, um die Meßzelle zu schützen. Ein Trennkörper weist einen Grundkörper und eine Trennmembran auf, die mit ihrem Rand druckdicht am Grundkörper über einem im Grundkörper ausgebildeten Membranbett befestigt ist. Im Sensorbetrieb wird die Trennmembran mit dem zu messenden Druck beaufschlagt, und der Druck wird aufgrund der druckbedingten Verformung der Trennmembran hydraulisch zur Druckmeßzelle übertragen.
Die Trennmembran besteht häufig aus einem korrosionsbeständigen Metall, beispielsweise Tantal, oder einer korrosionsbeständigen Legierung, die an dem Grundkörper aus Stahl zu befestigen ist. Insofern als Schweißverbindungen zwischen Tantal und Stahl zu einer unerwünscht spröden intermetallischen Phase führen, muß die Befestigung der Trenmembran am Grundkörper auf anderem Wege erzielt werden.
Das Europäische Patent EP 0594 778 B1 offenbart einen Differenzdrucksensor mit zwei Trennkörpern und ein Verfahren zu dessen Montage, wobei zunächst ein relativ massiver Stützring aus einem korrosionsbeständigen Material, beispielsweise aus Tantal oder einem Material mit einem ähnlichen Schmelzpunkt wie Tantal, auf dem Grundkörper mit einer Hartlotverbindung befestigt wird. Hierzu wird der Stützring bevorzugt in einer entsprechend vorbereiteten Rille im Grundkörper eingesetzt, und das Hartlot wird in die Rinne gegeben, so daß sich die Lotverbindung nicht nur über die Unterseite des Stützrings sondern auch auf seine innere Mantelfläche und seine äußere Mantelfläche erstreckt.
Danach wird der Stützring bearbeitet, soweit dies erforderlich ist, um die benötigten Abmessungen zu erzielen. Schließlich wird die Trennmembran aus Tantal auf den Stützring geschweißt. Der Stützring muß dabei so massiv sein, daß die beim Schweißen in den Ring eingebrachte Wärmeenergie nicht zum Aufschmelzen der Hartlotverbindung führt. Das beschriebene Verfahren weist verscheidene Nachteile auf:
Die Montage des massiven Stützrings ist sehr aufwendig. Insbesondere die Rille in der Oberfläche des Grundkörpers zur Aufnahme der Lotverbindung vergrößert den Fertigungsaufwand, da zunächst in einem ersten Herstellungsschritt die Oberfläche des Grundkörpers mit einer Rille zu versehen ist und nach dem Löten ein zweiter Herstellungsschritt folgt, in dem der Stützring auf die erforderlichen Dimensionen gebracht wird.
Zudem ist es unsicher, ob das Hartlot die Rille gleichmäßig und vollständig ausfüllt. Dies kann zu Restvolumina führen, die eine erhöhte Menge an Hydraulikflüssigkeit erfordern und somit die Sensorleistungen beeinträchtigen. Um einen gleichmäßigen Lotfluß zu garantieren sollten daher niedrig schmelzende Lotmittel gewählt werden. Dies ist jedoch unvereinbar mit dem nachfolgenden Verschweißen der Membran.
Zudem erweist es sich insbesondere bei einem Differenzdrucksensor mit zwei bezüglich des Gehäuses exzentrisch angeordneten Trennmembranen als schwierig, die Schweißnaht der Trennmembran genau bezüglich der Trennmembran zu zentrieren.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Trennkörpers bereitzustellen, welches die beschriebenen Nachteile und Schwierigkeiten überwindet bzw. reduziert:
Die Erfindung wird gelöst durch das Verfahren der unabhängigen Patentansprüche 1 , 3 und 6.
Erfindungsgemäß werden verschiedene Verfahren zur Herstellung eines Trennkörpers bereitgestellt, bei denen eine Trennmembran mit einem Zwischenring verschweißt und der Zwischenring an einem Grundkörper befestigt wird, wobei beim Verschweißen der Trennmembran keine Rücksicht bzw weniger Rücksicht auf eine Lotverbindung genommen werden muß.
Dies wird in einer Verfahrensvariante dadurch erzielt, daß die Lotverbindung zwischen dem Grundkörper und der Zwischenschicht erst nach dem Verschweißen der Trennmembran mit der Zwischenschicht erzeugt wird; in einer zweiten Verfahrensvariante dadurch, daß die Lotverbindung zwischen Grundkörper und Zwischenschicht flächig auf einer Stirnfläche des Grundkörpers ausgebildet wird, und die Zentrierung der Zwischenschicht vorzugsweise durch einen Vorsprung auf der Stirnfläche des Grundkörpers bewirkt wird, der zugleich eine Begrenzung für das Lotmittel bildet, wobei die Lotverbindung als dünne Schicht zudem einen sehr geringen Wärmewiderstand aufweist, wodurch die beim nachträglichen Anschweißen der Trennmembran auftretende Wärme leicht in den angrenzenden Grundkörper abgeleitet werden kann; und
in einer dritten Verfahrensvariante dadurch, daß die Verbindungen zwischen dem Grundkörper und der Zwischenschicht nicht mehr als Lotverbindung sondern durch Diffusionsschweißen erzielt wird.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Gesichtspunkte ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 : einen Längsschnitt durch einen Trennkörper bei der Abfolge der Verfahrensschritte einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2: einen Längsschnitt durch einen Trennkörper bei der Abfolge der Verfahrensschritte einer zweiten Ausführungsform der Erfindung; und
Fig. 3: einen Längsschnitt durch einen Trennkörper bei der Abfolge der Verfahrensschritte einer dritten Ausführungsform der Erfindung.
Eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nun anhand von Fig. 1 beschrieben. Diese Ausführungsform weicht von der im Stand der Technik üblichen Vorgehensweise ab, den Trennkörper auf dem Grundkörper durch sequentielles Hinzufügen der einzelnen Komponenten aufzubauen.
Der Trennkörper umfaßt einen Grundkörper 10 aus rostfreiem Stahl, eine Tennmembran 20, die aus Tantal gefertigt ist, und eine ringförmige Zwischenschicht 30 aus einem Material das mit Tantal verschweißbar ist. Hier ist an erster Stelle Tantal selbst zu nennen. Andererseits sind insbesondere ausgewählte Nickellegierungen geeignet, wenn zugleich ein Ausgleich der Wärmeausdehnungsunterschiede zwischen Tantal und rostfreiem Stahl gewünscht ist.
Wie in Fig. 1 dargestellt, wird zunächst die Trennmembran 10 mit der Zwischenschicht 30 durch Verschweißen verbunden. Bei der Ausbildung der Schweißverbindung 25 sind grundsätzlich alle Schweißtechniken geeignet, denn zu diesem Zeitpunkt brauchen keinerlei Kompromisse aufgrund der anderen Materialien und Fügestellen des Trennkörpers eingegangen werden. Zudem ist die Trennmembran zusammen mit der Zwischenschicht, die vorzugsweise die gleiche Symmetrie wie die Trennmembran aufweist und konzentrisch mit dieser angeordnet ist, noch leicht zu handhaben, so daß die Schweißverbindung mit geeigneten Vorrichtungen exakt bezüglich der Trennmembran zentriert werden kann. Dies ist insofern von Vorteil, als ein exzentrischer Verlauf der Schweißnaht bezüglich der Trennmembran die Sensorleistung beeinträchtigen würde. Zudem können mit der beschriebenen Vorgehensweise zwei Membranen einfach exzentrisch bezüglich des Grundkörpers angeordnet werden.
Im nächsten Verfahrensschritt wird nun die Zwischenschicht 30 mit ihrer der Trennmembran abgewandten Fläche auf der Stirnseite des Grundkörpers 10 befestigt. Die Befestigung erfolgt besonders bevorzugt mit einer Lotverbindung 15, die insbesondere als Hartlotverbindung ausgestaltet ist. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird die Lotverbindung 15 vollflächig unter Vakuum erzeugt.
Hinsichtlich der Auswahl des Hartlotmittels unterliegt der Fachmann nicht mehr den Beschränkungen der Verfahren nach dem Stand der Technik, da die Trennmembran bereits verschweißt wurde, und keine höheren Temperaturen mehr zu erwarten sind. Somit kann auch auf Lotmittel zurückgegriffen werden, die bereits bei niedrigeren Temperaturen schmelzen.
Ein weiterer Vorteil dieser Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt sich daraus, daß die Zwischenschicht 30 bei der Ausbildung der Schweißverbindung 25 nicht mehr als Wärmepuffer zur Lotverbindung 15 zu dienen hat. Daher braucht die Zwischenschicht 30 nicht mehr so massiv zu sein, wie der im Stand der Technik beschriebene Stützring zwischen der Trennmembran und dem Grundkörper. Die Zwischenschicht weist vorzugsweise weniger als die achtfache, weiter vorzugsweise weniger als die vierfache und besonders bevorzugt die einfache bis die doppelte Dicke der Trennmembran auf.
Eine zweite Ausführungsform der Erfindung wird nun anhand von Fig. 2 beschrieben. Diese Ausführungsform stellt darauf ab, den Fertigungsaufwand gegenüber dem Stand der Technik zu reduzieren.
Wie zuvor umfaßt der Trennkörper einen Grundkörper 110 aus rostfreiem Stahl, eine Trennmembran 120 aus Tantal und eine ringförmige Zwischenschicht 130 aus Tantal. Der Grundkörper 110, weist auf einer Stirnfläche 111 einen vorzugsweise zylindrischen Vorsprung 112 auf, dessen äußerer Rand eine senkrechte Stufe 113 auf der Stirnfläche 111 bildet.
In einem ersten Verfahrensschritt wird die Zwischenschicht 130 auf der Stirnfläche 111 des Grundkörpers mittels einer Lotverbindung befestigt, wobei die Lotverbindung 115 vorzugsweise vollflächig als Hartlotverbindung unter Vakuum ausgebildet wird. Die Zwischenschicht umschließt den Vorsprung 112, und grenzt vorzugsweise unmittelbar an die Stufe 113, wobei die Stufe 113 einerseits eine Barriere für das Lotmittel bildet und andererseits die Zwischenschicht 130 bei der Ausbildung der Lotverbindung 115 zentriert.
Die einfache planare Geometrie der zu verbindenden Flächen gewährleistet eine gleichmäßige Verteilung des Lotmittels, die auch mit hochschmelzenden Lotmitteln noch hinreichend homogen ist. Insofern als die Lotverbindung 115 vorzugsweise als dünne Schicht ausgebildet wird, weist sie einen sehr geringen Wärmewiderstand auf, so daß die beim nachfolgenden Verschweißen der Trennmembran auftretende Wärme ohne weiteres in den Grundkörper abgeleitet werden kann. Im Ergebnis sind die Anforderungen an das Lotmittel hier weniger strikt als dies bei der massiven Lotstelle nach dem Stand der Technik der Fall ist.
In einem zweiten Verfahrensschritt wird der Grundkörper 110 mechanisch bearbeitet, wobei der Vorsprung 112 abgetragen und vorzugsweise ein Membranbett 114 für die Trennmembran 120 gebildet wird. Zudem kann ggf. die Zwischenschicht 130 im gleichen Arbeitsgang bearbeitet, und eventuell vorhandenes überschüssiges Lot kann ggf. abgetragen werden.
Schließlich wird in einem weiteren Verfahrensschritt die Trennmembran 120 auf der Zwischenschicht 130 aufgeschweißt. Dies erfolgt vorzugsweise mit einem Strahlschweißverfahren, d.h. mittels LASER- oder Elektronenstrahlschweißen.
Diese Vorgehensweise und Konstruktionsweise gemäß dieser Ausührungsform zeichnet sich dadurch aus, daß keine Spalte, Rillen oder Nuten erforderlich sind, um überschüssiges Lotmittel aufzunehmen. Somit können keine Undefinierten Kavitäten im Trennkörpervolumen verbleiben, welche die Sensoreigenschaften beeinträchtigen würden.
Anhand von Fig. 3 wird nun eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Der Trennkörper dieser Ausführungsform weist einen Grundkörper 210 aus rostfreiem Stahl, eine Trennmembran 220 aus Tantal und eine Zwischenschicht 230 auf. Die Zwischenschicht umfaßt ein metallisches Material, das geeignet ist, Wärmeausdehnungsunterschiede zwischen dem Grundkörper 210 und der Trennmembran 220 auszugleichen. Hierzu sind insbesondere ausgewählte Nickellegierungen geeignet. Zudem sollte das Material durch Diffusionsschweißen einerseits mit Tantal und andererseits mit rostfreiem Stahl verbindbar sein, auch diese Bedingung wird von besagten ausgewählten Nickellegierungen erfüllt.
Zur Montage des Trennkörpers werden der Grundkörper 210, die ringförmige Zwischenschicht 230 und die Trennmembran 220 in der genannten Reihenfolge gestapelt und einem Diffusionsschweißverfahren ausgesetzt, wodurch einerseits eine Diffusionsschweißverbindung 225 zwischen der Trennmembran 220 und der Zwischenschicht 230 und andererseits eine Diffusionsschweißverbindung 215 zwischen dem Grundkörper 210 und der Zwischenschicht 230 gebildet wird. Das Diffusionsschweißverfahren erfolgt unter hohem Druck bei Temperaturen die deutlich unter dem Schmelzpunkt der beteiligten Materialien liegen, insbesondere zwischen der 0,7- bis 0,8-fachen Schmelztemperatur. Die Auswahl der geeigneten Prozeßparameter sind einem Fachmann auf Gebiet des Diffusionsschweißens geläufig. Bezugszeichenliste
10 Grundkörper
15 Hartlotverbindung
20 Trennmembran
25 Schweißverbindung
30 Zwischenschicht
110 Grundkörper
111 Stirnfläche
112 Vorsprung
113 Stufe
114 Membranbett
115 Hartlotverbindung
120 Trennmembran
125 Schweißverbindung
130 Zwischenschicht
210 Grundkörper
215 Diffusionsschweißverbindung
220 Trennmembran
225 Diffusionsschweißverbindung
230 Zwischenschicht

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung eines Trennkörpers für einen Drucksensor mit einem Grundkörper (10) aus einem ersten metallischen Material; einer Trennmembran (20) aus einem zweiten metallischen Material, das nicht
^ durch direktes Verschweißen mit dem zweiten Material verbunden werden kann; und einer ringförmigen Zwischenschicht (30), aufweisend ein metallisches Material, das verschieden ist von dem erstenjτιetallisc.hen_Material und^r it dem zweiten metallischen Material verschweißbar ist;
umfassend die Schritte:
Verschweißen der Trennmembran mit der Zwischenschicht und Befestigen der Zwischenschicht an dem Grundkörper, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschweißen der Trennmembran mit der Zwischenschicht vor dem Befestigen der Zwischenschicht am Grundkörper erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , wobei die Zwischenschicht (30) am Grundkörper mit einer Lotverbindung (15) befestigt wird.
3. Verfahren zur Herstellung eines Trennkörpers für einen Drucksensor mit einem Grundkörper (210) aus einem ersten metallischen Material; einer Trennmembran (220) aus einem zweiten metallischen Material, das nicht durch direktes Verschweißen mit dem zweiten Material verbunden werden kann; und einer ringförmigen Zwischenschicht (230), aufweisend ein metallisches Material, das verschieden ist von dem ersten metallischen Material und mit dem zweiten metallischen Material verschweißbar ist;
umfassend die Schritte:
Befestigen der Trennmembran (220) an der Zwischenschicht (230) und Befestigen der Zwischenschicht (230) an dem Grundkörper (210), dadurch gekennzeichnet, daß das Befestigen der Trennmembran (220) an der Zwischenschicht (230) und das Befestigen der Zwischenschicht (230) am Grundkörper (210) durch Diffusionsschweißen erfolgt.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Befestigen der Zwischenschicht (230) am Grundkörper (210) gleichzeitig mit dem Befestigen der Trennmembran (220) an der Zwischenschicht (230) in einem Verfahrensschritt erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Zwischenschicht (230) eine Nickellegierung aufweist.
6. Verfahren zur Herstellung eines Trennkörpers für einen Drucksensor mit einem im Grundkörper (110) aus einem ersten metallischen Material; einer Trennmembran (120) aus einem zweiten metallischen Material, das nicht durch direktes Verschweißen mit dem zweiten Material verbunden werden kann; und einer ringförmigen Zwischenschicht (130), aufweisend ein metallisches Material, das verschieden ist von dem ersten metallischen Material und mit dem zweiten metallischen M terιäϊverschweißbar ist;
umfassend die Schritte:
Befestigen der Zwischenschicht (130) an einer Stirnfläche (111) des Grundkörpers (110) mit einer Hartlotverbindung (115) und Verbinden der Trennmembran (120) mit der Zwischenschicht, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (110) anfangs einen bezüglich der Stirnfläche (111) vorstehenden Bereich (112) aufweist, der von der Zwischenschicht (130) umschlossen wird, an die Zwischenschicht (130) grenzt und als Barriere für das Lotmittel beim Befestigen der Zwischenschicht (130) am Grundkörper (110) dient, wobei der vorstehende Bereich nach dem Befestigen der Zwischenschicht (130) am Grundkörper (110) und vor dem Befestigen der Trennmembran (120) an der Zwischenschicht (130) in einem Zwischenschritt entfernt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 5, wobei der Zwischenschritt eine mechanische Bearbeitung des hervorstehenden Bereiches umfaßt.
8. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Entfernen des vorstehenden Bereichs die Ausbildung eines Membranbetts für die Trennmembran (120) umfaßt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 7, wobei der
Zwischenschritt weiterhin die mechanische Bearbeitung der Zwischenschicht umfaßt.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei die Hartlotverbindung zum Befestigen der Zwischenschicht (130) am Grundkörper (110) vollflächig im Vakuum ausgebildet wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, wobei die Trennmembran (120) an der Zwischenschicht (130) mittels eines Strahlschweißverfahrens, insbesondere LASER- oder Elektronenstrahlschweißen befestigt wird.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trennmembran (120) aus Tantal hergestellt ist.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 12, wobei die Zwischenschicht (130) aus Tantal hergestellt ist.
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