WO2002031433A8 - Kombination von zwei sensoren, z.b. von einem kapazitiven sensor und einem auf wirbelstrom- oder ultraschallbasis arbeitendem abstandssensor, in einem gehäuse - Google Patents

Kombination von zwei sensoren, z.b. von einem kapazitiven sensor und einem auf wirbelstrom- oder ultraschallbasis arbeitendem abstandssensor, in einem gehäuse

Info

Publication number
WO2002031433A8
WO2002031433A8 PCT/DE2001/003031 DE0103031W WO0231433A8 WO 2002031433 A8 WO2002031433 A8 WO 2002031433A8 DE 0103031 W DE0103031 W DE 0103031W WO 0231433 A8 WO0231433 A8 WO 0231433A8
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sensor
sensors
housing
functions
eddy current
Prior art date
Application number
PCT/DE2001/003031
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2002031433A1 (de
Inventor
Franz Hrubes
Norbert Reindl
Original Assignee
Micro Epsilon Messtechnik
Franz Hrubes
Norbert Reindl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micro Epsilon Messtechnik, Franz Hrubes, Norbert Reindl filed Critical Micro Epsilon Messtechnik
Priority to JP2002534772A priority Critical patent/JP4059766B2/ja
Priority to EP01960157A priority patent/EP1342048A1/de
Publication of WO2002031433A1 publication Critical patent/WO2002031433A1/de
Publication of WO2002031433A8 publication Critical patent/WO2002031433A8/de
Priority to US10/408,989 priority patent/US6822442B2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/08Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
    • G01B7/085Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means for measuring thickness of coating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/08Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Eine Sensoranordnung mit einem ersten Sensor (1), der vorzugsweise eine insbesondere nach dem Wirbelstromprinzip arbeitende Messspule (2) aufweist, und den Abstand zu einem Target (6) detektiert, und mit einem zweiten Sensor (3), wobei die beiden Sensoren (1, 3) in einem Gehäuse (4) angeordnet sind, ist im Hinblick auf eine Verminderung der Beeinflussung der Sensoren untereinander derart ausgestaltet und weitergebildet, dass auf der Messseite des Gehäuses (4) eine Schicht (7) ausgebildet ist, die ein aktives Bauteil des zweiten Sensors (3) ist. Bei dem zweiten Sensor handelt es sich bevorzugt um einen kapazitiven Sensor, wobei die besagte Schicht (7) die aktive Messfläche des kapazitiven Sensors ist.
PCT/DE2001/003031 2000-10-09 2001-08-08 Kombination von zwei sensoren, z.b. von einem kapazitiven sensor und einem auf wirbelstrom- oder ultraschallbasis arbeitendem abstandssensor, in einem gehäuse WO2002031433A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002534772A JP4059766B2 (ja) 2000-10-09 2001-08-08 センサ装置
EP01960157A EP1342048A1 (de) 2000-10-09 2001-08-08 Kombination von zwei sensoren, z.b. von einem kapazitiven sensor und einem auf wirbelstrom- oder ultraschallbasis arbeitendem abstandssensor, in einem gehäuse
US10/408,989 US6822442B2 (en) 2000-10-09 2003-04-08 Sensor arrangement for detecting properties of a target

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10050193A DE10050193A1 (de) 2000-10-09 2000-10-09 Sensoranordnung
DE10050193.1 2000-10-09

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US10/408,989 Continuation US6822442B2 (en) 2000-10-09 2003-04-08 Sensor arrangement for detecting properties of a target

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2002031433A1 WO2002031433A1 (de) 2002-04-18
WO2002031433A8 true WO2002031433A8 (de) 2002-07-25

Family

ID=7659301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2001/003031 WO2002031433A1 (de) 2000-10-09 2001-08-08 Kombination von zwei sensoren, z.b. von einem kapazitiven sensor und einem auf wirbelstrom- oder ultraschallbasis arbeitendem abstandssensor, in einem gehäuse

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6822442B2 (de)
EP (1) EP1342048A1 (de)
JP (1) JP4059766B2 (de)
DE (1) DE10050193A1 (de)
WO (1) WO2002031433A1 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004007314A1 (de) * 2004-02-14 2005-08-25 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Messgerät zur Ortung von in einem Medium eingeschlossenen Objekten
DE102005039152A1 (de) * 2005-08-17 2007-02-22 Robert Bosch Gmbh Mechanische Trägereinrichtung sowie Messgerät mit einer mechanischen Trägereinrichtung
PL2409114T3 (pl) * 2009-03-17 2013-08-30 Abb Schweiz Ag Sposób i urządzenie do pomiaru grubości metalowej warstwy umieszczonej na metalowym przedmiocie
JP5403524B2 (ja) * 2010-12-08 2014-01-29 レーザーテック株式会社 電池用電極材の厚さ測定装置、及び厚さ測定方法
US20140002069A1 (en) * 2012-06-27 2014-01-02 Kenneth Stoddard Eddy current probe
US10669088B2 (en) 2015-12-28 2020-06-02 Eaton Intelligent Power Limited Eddy current joint sensor
CN107014896B (zh) * 2017-03-28 2020-04-03 中国人民解放军国防科学技术大学 一种集成式电磁电容平面阵列传感器及其制备方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3077858A (en) * 1960-03-17 1963-02-19 Gen Electric Canada Apparatus for controlling and measuring the thickness of thin electrically conductive films
FR1318027A (fr) * 1962-01-29 1963-02-15 Wayne Kerr Lab Ltd Appareil pour mesurer l'épaisseur d'une couche d'un matériau, par exemple une pellicule ou une feuille
US4168464A (en) * 1978-05-04 1979-09-18 General Dynamics Corporation Set point sensing system for numerically controlled machine tools
DE2829851A1 (de) * 1978-07-07 1980-01-24 Precitec Gmbh Anordnung zur messung des abstands zwischen einem metallischen werkstueck und einem bearbeitungswerkzeug
DE3134342A1 (de) * 1981-08-31 1983-03-10 Ingenieure Block + Seichter, 3000 Hannover Elektronischer kapazitiver messkopf fuer distanzmessungen
US4686454A (en) * 1984-08-22 1987-08-11 Pasar, Inc. Conductor tracer with improved open circuit detection, close-range discrimination and directionality
GB8607747D0 (en) * 1986-03-27 1986-04-30 Duracell Int Device
JPH071313B2 (ja) * 1986-12-23 1995-01-11 松下電工株式会社 壁の背後部材検知装置
DE3910297A1 (de) * 1989-03-30 1990-10-04 Micro Epsilon Messtechnik Beruehrungslos arbeitendes wegmesssystem
EP0556682B1 (de) * 1992-02-10 1997-12-03 SYEL di FRANCHI A.- MARTOLINI A. & C. s.n.c. Elektronische kapazitive Sensorstangeneinrichtung
US5337353A (en) * 1992-04-01 1994-08-09 At&T Bell Laboratories Capacitive proximity sensors
US5717332A (en) * 1993-05-03 1998-02-10 General Electric Company System and method using eddy currents to acquire positional data relating to fibers in a composite
FR2705145B1 (fr) * 1993-05-10 1995-08-04 Exa Ingenierie Dispositif de mesure de rectitude.
DE4327712C2 (de) 1993-08-18 1997-07-10 Micro Epsilon Messtechnik Sensoranordnung und Verfahren zum Erfassen von Eigenschaften der Oberflächenschicht eines metallischen Targets
DE19511939C2 (de) * 1995-03-31 2000-05-18 Micro Epsilon Messtechnik Sensor zur berührungslosen Dickenmessung an Folien
AT408580B (de) * 1997-11-21 2002-01-25 Bierbaumer Hans Peter Dr Messvorrichtung zumindest zur ermittlung der dicke einer bahn sowie verfahren hierfür
DE19757575C1 (de) * 1997-12-23 1999-07-15 Siemens Ag Elektromagnetische Untersuchungseinrichtung, geeignet für Materialuntersuchung, mit Wirbelstrommeßkopf sowie Verfahren zum Betrieb derselben

Also Published As

Publication number Publication date
DE10050193A1 (de) 2002-04-18
WO2002031433A1 (de) 2002-04-18
EP1342048A1 (de) 2003-09-10
US20030169036A1 (en) 2003-09-11
JP2004510997A (ja) 2004-04-08
JP4059766B2 (ja) 2008-03-12
US6822442B2 (en) 2004-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007071383A3 (de) Magnetfeldsensoranordnung und verfahren zur berührungslosen messung eines magnetfeldes
WO2004066194A8 (en) Improved sensing arrangement
AU2002305257A1 (en) Capacitive sensor system with improved capacitance measuring sensitivity
JP2002195984A5 (de)
WO2003007227A3 (en) Touch screen with selective touch sources
WO2004112448A3 (en) Sensor for capacitive touch pad pointing device
WO2006105763A3 (de) Fahrzeug mit distanzkontrollsystem
EP1205726A3 (de) Betätigungseinrichtung
CA2414608A1 (en) Piezoelectric sensor
WO2004073020A3 (en) Sensors and methods for detecting attachment to a surface
AU2001234959A1 (en) Oil-less differential pressure sensor
ATE247305T1 (de) Vorrichtung zur fingererkennung
HK1154865A1 (en) Detection of analytes in aqueous environments
EP0678727A3 (de) Magnetischer Wegsensor zum berührungslosen Erfassen des Abstandes zwischen zwei Bauteilen.
EP1312683A3 (de) Mikroelektronischer Detektor auf einem Chip
WO1999006788A3 (de) Abstandsmessvorrichtung und verfahren zur bestimmung eines abstands
ATE440283T1 (de) Sensor zur lumineszenz-optischen bestimmung eines analyten
AU2001239948A1 (en) Integrated probe and sensor system
WO2002031433A8 (de) Kombination von zwei sensoren, z.b. von einem kapazitiven sensor und einem auf wirbelstrom- oder ultraschallbasis arbeitendem abstandssensor, in einem gehäuse
SG125944A1 (en) Shaped non-contact capacitive displacement sensorsfor measuring shaped targets
WO2002054492A3 (de) Schaltungsanordnung
TW200512437A (en) Vibration detector
WO2003006977A3 (de) Schichtverbund und mikromechanisches sensorelement, insbesondere gassensorelement, mit diesem schichtverbund
AU2001231718A1 (en) Measuring applications for an electronic reading device
WO2003051258A8 (de) Absorbierende hygieneartikel mit einnäss-indikator

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2001960157

Country of ref document: EP

AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002534772

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10408989

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2001960157

Country of ref document: EP