WO2002018284A1 - Method for producing an sio2 preform - Google Patents

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WO2002018284A1
WO2002018284A1 PCT/EP2001/010022 EP0110022W WO0218284A1 WO 2002018284 A1 WO2002018284 A1 WO 2002018284A1 EP 0110022 W EP0110022 W EP 0110022W WO 0218284 A1 WO0218284 A1 WO 0218284A1
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WO
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burner
offset
blank
carrier
deposition
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PCT/EP2001/010022
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German (de)
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Inventor
Klaus Ruppert
Original Assignee
Heraeus Tenevo Ag
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Publication date
Application filed by Heraeus Tenevo Ag filed Critical Heraeus Tenevo Ag
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
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    • C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
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    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B2207/70—Control measures

Definitions

  • the present invention relates to a process for the production of a Si0 2 blank by supplying glass-forming starting material to a deposition burner, from which particles are formed in a burner flame associated with the deposition burner and which is directed towards a carrier rotating about its central axis in a predetermined direction of rotation, and these are deposited on the
  • the cylinder jacket surface of the carrier is deposited in layers to form the Si0 2 blank, in that the at least one deposition burner is moved back and forth between turning points in a predetermined movement sequence along the carrier.
  • the volume fraction of the light-guiding core in the preform is small. Due to the high demands on the optical properties of the core area and thus also on the purity of the glass raw materials used, this requires However, production takes a lot of time and material and therefore represents a significant cost factor in preform production. Homogeneity and efficiency of the deposition play an important role.
  • the invention has for its object to improve the known method with regard to the deposition efficiency and the homogeneity of the Si0 2 blank.
  • the burner flame is directed at the carrier in such a way that its main direction of propagation does not intersect the center axis of the carrier and is shifted relative to the direction of rotation in relation to the center axis of the carrier.
  • the burner flame is not on the
  • the burner flame is characterized in that its main direction of propagation is offset with respect to the center axis of the carrier, with the proviso that the offset against the direction of rotation of the carrier is set to a predetermined value.
  • This offset is kept constant during the deposition process or it is varied in a predetermined manner.
  • an offset of the burner flame with respect to the center axis of the carrier influences essential product properties of the blank, such as the density, the homogeneity of the deposition and in particular also the deposition rate.
  • An offset opposite to the direction of rotation results in a significantly higher separation efficiency. Without being bound by this explanation, this is attributed to the fact that the offset against the direction of rotation results in a longer contact time for the particles formed in the burner flame, during which adhesion to the surface of the blank being formed is made possible.
  • the method according to the invention also improves the axial homogeneity of the blank with regard to its material properties and its optical properties compared to a method in which the burner flame is directed directly onto the center axis of the carrier.
  • the point of impact of the burner flame on the surface of the blank being formed is decisive for the stability of the deposition process and the material homogeneity of the blank. Because the point of impact of the burner flame has a significant influence on the temperature distribution over the blank surface. The temperature distribution in turn affects the
  • Material properties of the Si0 2 blank For example, the incorporation of dopants, hydroxyl groups or hydrogen depends on the maximum temperature in the area of the blank surface and the time course of the cooling. The temperature distribution on the blank surface thus influences the radial and axial chemical composition and thus also the optical properties of the blank. The temperature also determines the density distribution.
  • the main direction of propagation of the burner flame and its point of impact on the surface of the rotating blank is decisive.
  • the shape and position of the burner flame can be varied by a variety of measures, for example by gas flows through the separating burner or outside it, by mechanical guide bodies or by applying electrical fields, without the separating burner itself having to be moved for this purpose.
  • Such measures are fundamentally suitable for the positioning of the burner flame and the setting of its main direction of propagation in the sense of the method according to the invention and should be included in the following explanations, even if for the sake of simplicity it is assumed that a burner flame is present in terms of its shape and position during the deposition process is kept constant insofar as a local displacement of the burner flame always goes hand in hand with a corresponding displacement of the deposition burner.
  • the "main direction of propagation" of the burner flame generally coincides with the central axis of the deposition burner.
  • the offset corresponds to the shortest distance between the main direction of propagation and the longitudinal axis of the carrier.
  • the main direction of propagation of the burner flame and the longitudinal axis of the carrier can be perpendicular to one another , or enclose an angle deviating from 90 °. In the latter case, the burner flame is thus tilted in the direction of the longitudinal axis of the carrier.
  • An Si0 2 blank (also simply referred to as a "blank”) is understood here to mean a cylindrical, porous body made of pure Si0 2 or Si0 2 containing dopants.
  • the blank is used to produce preforms for optical fibers or parts thereof.
  • the size of the offset to be set also depends on the outside diameter of the blank being formed. Since this increases continuously during the deposition process, it has proven to be advantageous to keep the offset at a value in the range between 10% and 80% of the outside diameter, preferably between 20% and 40% of the outside diameter of the blank being formed. Depending on the outside diameter of the carrier and the final diameter of the blank, a constant offset can be kept within these preferred ranges. Otherwise, according to a preferred method variant, the offset is increased during the formation of the blank. The offset can be increased continuously or step by step. This ensures that the
  • Offset always lies in the "stable working range" mentioned.
  • the offset is increased, for example, by means of a time-dependent regulation or control or regulation or control based on a control variable which can be detected on the blank being formed, such as the outside diameter, the wall thickness or the weight of the blank being formed.
  • a control variable which can be detected on the blank being formed, such as the outside diameter, the wall thickness or the weight of the blank being formed.
  • the offset in the range between 10% and 80%, preferably between 20% and 40%, of the outside diameter of the blank in turn ensures work in the “stable working range” mentioned above, even with large-volume blanks.
  • the change in the offset can be achieved by lateral displacement of the deposition burner or by tilting the deposition burner against the longitudinal axis of the support and a concomitant change in the main direction of propagation of the burner flame.
  • the distance between the deposition burner and the surface of the SiO 2 blank being formed is kept constant.
  • the distance between the deposition burner and the blank surface has a significant influence on the Surface temperature. This in turn affects the density of the blank being formed and the separation efficiency.
  • a constant distance during the deposition process makes it easier to maintain and adjust the radially homogeneous material properties of the Si0 2 blank.
  • a regulation can be provided to keep the distance constant, which is combined with the above-mentioned regulation or control of the offset between the burner flame and the center axis of the carrier.
  • the direction of movement of the deposition burner expediently runs perpendicular to the direction of movement when the offset is set.
  • the main direction of propagation is perpendicular to the central axis of the carrier.
  • the burner flame or its direction of propagation is particularly easy to align and regulate.
  • the deposition burner prefferably be arranged below the center axis of the carrier.
  • the burner flame is directed upwards, preferably vertically upwards.
  • the flow supported by the thermals contributes to a high separation rate.
  • a plurality of deposition burners which are arranged along the center axis of the carrier and are coupled to one another are expediently used to form the SiO 2 blank.
  • the deposition burners are mechanically or electrically coupled so that they perform the same oscillating sequence of movements between turning points along the blank being formed.
  • Two turning points of the burner movement can be provided in the area of the front ends of the blank being formed, the separating burner being moved essentially over the entire length of the blank.
  • the deposition burner is oscillated between several turning points distributed over the length of the blank.
  • the separation burners can have the same offset.
  • a method has proven particularly useful in which the deposition burners are alternately arranged in at least a first row with a first offset and a second row with a second offset, as seen along the center axis of the carrier, the first offset and the second offset differing from one another.
  • the deposition burners are arranged in a zigzag pattern along the central axis of the carrier.
  • the process according to the invention is particularly suitable for the production of SiO 2 blanks by external deposition using the so-called OVD process (Outside Vapor Deposition).
  • OVD process Outside Vapor Deposition
  • FIG. 1 an arrangement of separating burner and carrier when carrying out the method according to the invention in a view in the direction of the carrier
  • FIG. 2 shows a zigzag arrangement of a plurality of deposition burners along a carrier when carrying out the method according to the invention in a view in the direction of the longitudinal axis of the carrier
  • Figure 3 a diagram of the performance and separation efficiency depending on the lateral offset of the separation burner
  • Figure 4 a diagram of Ge0 2 dopant concentration and relative soot density as a function of the lateral offset.
  • FIG. 1 shows a carrier tube 1 made of aluminum oxide, which rotates about its longitudinal axis 2.
  • the direction of rotation of the carrier tube 1 is indicated by the direction arrow 3.
  • a flame hydrolysis burner 4 made of quartz glass with a vertically oriented central axis, Si0 2 and Ge0 2 particles are deposited in layers on the carrier tube 1 to form a porous blank 5 doped with Ge0, the flame hydrolysis burner 4 oscillating between the ends along the longitudinal axis 2 of the carrier of the forming blank 5 is moved back and forth.
  • the glass base materials and fuels are fed to the flame hydrolysis burner 4, as is shown schematically by the directional arrows 6, converted in a burner flame 7 to the SiO 2 and GeO 2 particles.
  • the burner flame 7 is directed at the carrier 1 and the blank 5 already formed thereon.
  • the main direction of propagation of the burner flame 7 runs coaxially to the central axis of the separating burner 4. Its extension via the point of impact 9 on the surface
  • the main direction of propagation 8 thus also runs vertically and at the same time perpendicularly to the longitudinal axis 2 of the carrier.
  • the separating burner 4 is oriented such that the main direction of propagation 8 of the burner flame 7 is laterally offset with respect to the longitudinal axis 2 of the carrier and counter to the direction of rotation 3. The offset
  • 11 corresponds to the shortest distance between the main direction of propagation 8 (dotted line 8) and the longitudinal axis 2 of the carrier.
  • the separating burner 4 can be moved back and forth in the direction of the directional arrow 12.
  • the separating burner 4 can also be moved in the vertical direction in the direction of the arrow 13, so that the distance between the separating burner 4 or the burner flame 7 and the surface of the blank 5 can be kept at a predetermined value.
  • glass source materials in the form of GeCI 4 , SiCI 4 , oxygen and fuel gases are fed to the flame hydrolysis burner 4 (directional arrows 6) and 7 Si0 2 and Ge0 2 particles are formed therefrom in the burner flame , and these are deposited on the surface 10 of the blank rotating about the longitudinal axis 2 by means of a conventional soot external deposition method (OVD method).
  • ODD method soot external deposition method
  • An aluminum oxide tube with a diameter of 5 mm is used as the carrier tube 1.
  • the flame hydrolysis burner 4 is continuously moved back and forth along the longitudinal axis 2 in a predetermined movement sequence between two fixed turning points during the deposition, one SiO 2 layer after the other being deposited on the carrier 1 or on the surface 10 of the blank 5 which is being formed becomes.
  • An essential characteristic of the method according to the invention is that the burner flame 7 strikes the surface 10 of the blank 5 laterally offset from the central axis 2, the offset 11 being kept at a value which is 50 by means of a control (not shown in FIG. 1) % corresponds to the wall thickness of the blank 5 being formed.
  • the flame hydrolysis burner 4 is displaced further outward in the direction of the directional arrow 12 with increasing thickness of the blank 5 that is being formed.
  • FIG. 2 schematically shows an arrangement of a plurality of flame hydrolysis burners along the longitudinal axis 2 of the carrier tube 1. If the same reference numerals as in FIG. 1 are used in FIG. 2, the same or equivalent components or functions of the arrangement are referred to as those described above with reference to these reference numerals are explained.
  • a plurality of flame hydrolysis burners (4, 14) are used in the arrangement according to FIG. 2, which oscillate back and forth along the support tube 1 rotating about its longitudinal axis 2 between fixed turning points (not shown in FIG. 1) be moved.
  • the flame hydrolysis burners (4, 14) are alternately arranged in an upper and a lower row, the upper row of the flame hydrolysis burner being represented by the flame hydrolysis burner 4 and the lower row of the flame hydrolysis burner being represented by the flame hydrolysis burner 14.
  • the flame hydrolysis burners of the upper row are mounted on a common burner block (not shown in the figure), which - as by the
  • Directional arrows 12 and 13 shown - is movable. This applies equally to flame hydrolysis burners in the lower row.
  • the burner blocks of the upper and lower rows are connected by means of a common control, by means of which the movement of the respective flame hydrolysis burner can be synchronized.
  • the flame hydrolysis burner 4 (and thus all flame hydrolysis burners in the upper row) is directed onto the carrier tube 1 in such a way that its burner flame 7 runs with a main direction of propagation 8 which runs obliquely to the vertical and with an offset 15 to the central axis 2 of the carrier tube 1.
  • the main direction of propagation 8 thus runs obliquely and simultaneously perpendicular to the longitudinal axis 2 of the carrier.
  • the flame hydrolysis burner 4 is oriented such that the main direction of propagation 8 of the burner flame 7 is laterally offset with respect to the longitudinal axis 2 of the carrier and counter to the direction of rotation 3.
  • the offset 15 corresponds to the shortest distance between the main direction of propagation 8 (dotted line 8) and the longitudinal axis 2 of the carrier.
  • the flame hydrolysis burner 14 (and thus all separating burners in the upper row) is directed towards the carrier tube 1 in such a way that its burner flame 7 has a main direction of propagation (symbolized by the dashed line 16) which runs perpendicular to the central axis 2 of the carrier tube 1 and cuts it.
  • the flame hydrolysis burner 14 is thus oriented such that the
  • the main direction of propagation 16 of the burner flame 7 has no offset with respect to the longitudinal axis 2 of the carrier.
  • the distance between the points of impact (9; 19) of the respective burner flames 7 on the surface of the blank 5 is greater compared to a linear arrangement of the flame hydrolysis burners, so that the flame hydrolysis burners (4; 14) have little influence on one another. This increases the efficiency of the deposition compared to a linear burner arrangement.
  • the flame hydrolysis burner 4 is continuously moved back and forth along the longitudinal axis 2 in a predetermined movement sequence between two fixed turning points during the deposition, one SiO 2 layer after the other being deposited on the carrier 1 or on the surface 10 of the blank 5 which is being formed becomes.
  • An essential characteristic of the method according to the invention is that the burner flame 7 is laterally offset from the central axis 2 on the surface 10 of the blank 5 strikes, the offset 11 being kept to a value on the basis of a control (not shown in FIG. 1) which corresponds to 50% of the wall thickness of the blank 5 being formed.
  • the flame hydrolysis burner 4 is displaced further outward in the direction of the directional arrow 12 with increasing thickness of the blank 5 that is being formed.
  • the lateral offset “V” of the flame hydrolysis burner 4 is plotted in millimeters on the x-axis in FIG. 3.
  • the negative sign symbolizes an offset “V” against the direction of rotation 3.
  • the build-up power “A” in g is on the y-axis / h and on the other hand the efficiency “E” of the deposition in%. It can be seen from the illustration in FIG. 3 that both the build-up power “A” (curve 20) and the efficiency “E” (curve 21) initially increase significantly as the offset “V” increases, a maximum at an offset “V "of approx. 2 mm and then fall off again.
  • the lateral offset “V” is also plotted in millimeters on the x-axis and the mean germanium dioxide content “C” of the blank 5 in% by weight on the y-axis. It can be seen from this that the germanium dioxide content “C” increases significantly with increasing lateral offset “V” up to a maximum at approximately -3 mm (curve 30). An optimal, stable working range results with regard to the germanium dioxide content “C” with an offset “V” in the range of approximately -1 mm and approximately - 4 mm.
  • the average relative density “d” in FIG. 4 is dependent on the lateral offset “V” plotted, it being evident that the density “d” decreases approximately linearly with increasing offset “V” (curve 31).

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Abstract

The invention relates to a known method for producing an SiO2 preform, according to which a glass-forming starting material is fed to at least one deposition burner and particles are formed from said starting material in the deposition burner flame, which is directed towards a support that rotates around its central axis in a predetermined rotational direction. Said particles are deposited in layers on the cylindrical outer surface of the support to form the SiO2 preform, whilst the deposition burner is displaced back and forth on a predetermined course along the support between reversal points. The aim of the invention is to improve the known method with regard to its deposition efficiency and the homogeneity of the SiO2 preform. To achieve this, the burner flame (7) is directed towards the support (1), in such a way that the principal diffusion direction (8) does not intersect the central axis (2) of the support and runs at a predefined offset (11) contrary to the rotational direction (3) and offset in relation to the central axis of the support (2).

Description

Patentanmeldung Patent application
Verfahren zur Herstellung eines SiO2-RohlingsProcess for the production of a SiO 2 blank
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren für die Herstellung eines Si02- Rohlings, indem einem Abscheidebrenner glasbildendes Ausgangsmaterial zugeführt, daraus in einer dem Abscheidebrenner zugeordneten Brennerflamme, die auf einen um seine Mittelachse in vorgegebener Drehrichtung rotierenden Träger gerichtet ist, Partikel gebildet und diese auf der Zylindermantelfläche des Trägers unter Bildung des Si02-Rohlings schichtweise abgeschieden werden, indem der mindestens eine Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des Trägers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt wird.The present invention relates to a process for the production of a Si0 2 blank by supplying glass-forming starting material to a deposition burner, from which particles are formed in a burner flame associated with the deposition burner and which is directed towards a carrier rotating about its central axis in a predetermined direction of rotation, and these are deposited on the The cylinder jacket surface of the carrier is deposited in layers to form the Si0 2 blank, in that the at least one deposition burner is moved back and forth between turning points in a predetermined movement sequence along the carrier.
Ein derartiges Verfahren ist aus der US-A 4,784,465 bekannt. Darin wird zur Herstellung eines sogenannten Kernstabs einer Vorform für eine Single-Mode-Faser mit geringer Dämpfung vorgeschlagen, einem Flammhydrolysebrenner Glasausgangsstoffe in Form von SiCI4 und GeCI zuzuführen, daraus in der Knallgasflamme des Brenners durch Hydrolyse Si02- bzw. Geθ2-Partikel zu erzeugen und diese auf einem waagerecht orientierten, um seine Längsachse rotierenden Trägerrohr schichtweise abzuscheiden. Der Brenner wird dabei parallel zur Längsachse des Tägerrohrs hin- und herbewegt, wobei er waagerecht orientiert und auf die Trägerrohr-Längsachse gerichtet ist. Der so hergestellte Sootkörper wird zur Herstellung einer Vorform für die Single-Mode-Faser eingesetzt, wobei er in der Vorform bzw. in der Faser den Bereich des lichtführenden Kerns oder einen Teil davon bildet.Such a method is known from US-A 4,784,465. In order to produce a so-called core rod of a preform for a single-mode fiber with low attenuation, it is proposed to supply glass raw materials in the form of SiCI 4 and GeCI to a flame hydrolysis burner, from this in the oxyhydrogen flame of the burner by hydrolysis of SiO 2 or GeO 2 particles to be generated and deposited in layers on a horizontally oriented carrier tube rotating around its longitudinal axis. The burner is moved back and forth parallel to the longitudinal axis of the carrier tube, whereby it is oriented horizontally and directed towards the carrier tube longitudinal axis. The soot body produced in this way is used to produce a preform for the single-mode fiber, it forming in the preform or in the fiber the region of the light-guiding core or a part thereof.
Der Volumenanteil des lichtführenden Kerns an der Vorform ist zwar gering. Aufgrund der hohen Anforderungen an die optischen Eigenschaften des Kernbereichs und damit auch an die Reinheiten der eingesetzten Glasausgangsstoffe erfordert dessen Herstellung jedoch einen hohen Zeit- und Materialaufwand und stellt daher einen wesentlichen Kostenfaktor bei der Vorformherstellung dar. Dabei spielen Homogenität und Effizienz der Abscheidung eine wesentliche Rolle.The volume fraction of the light-guiding core in the preform is small. Due to the high demands on the optical properties of the core area and thus also on the purity of the glass raw materials used, this requires However, production takes a lot of time and material and therefore represents a significant cost factor in preform production. Homogeneity and efficiency of the deposition play an important role.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das bekannte Verfahren hinsichtlich der Abscheide-Effizienz und der Homogenität des Si02-Rohlings zu verbessern.The invention has for its object to improve the known method with regard to the deposition efficiency and the homogeneity of the Si0 2 blank.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Brennerflamme auf den Träger gerichtet ist, derart, dass ihre Hauptausbreitungsrichtung die Träger- Mittelachse nicht schneidet und um einen vorgegebenen Versatz entgegen der Drehrichtung verschoben zur Träger-Mittelachse verläuft.This object is achieved according to the invention in that the burner flame is directed at the carrier in such a way that its main direction of propagation does not intersect the center axis of the carrier and is shifted relative to the direction of rotation in relation to the center axis of the carrier.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist die Brennerflamme nicht auf dieIn the method according to the invention, the burner flame is not on the
Mittelachse des Trägers gerichtet, sondern daneben. Die Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme verläuft daher außerhalb der Ebenen, die die Träger-Mittelachse enthalten; sie schneidet diese Ebene, oder sie läuft parallel zu einer davon.Center axis of the beam directed, but next to it. The main direction of propagation of the burner flame is therefore outside the planes containing the central axis of the carrier; it intersects this plane or it runs parallel to one of them.
Weiterhin ist die Brennerflamme dadurch gekennzeichnet, dass ihre Hauptausbreitungsrichtung versetzt zur Träger-Mittelachse verläuft, mit der Maßgabe, dass der Versatz entgegen der Drehrichtung des Trägers auf einem vorgegebenen Wert eingestellt ist.Furthermore, the burner flame is characterized in that its main direction of propagation is offset with respect to the center axis of the carrier, with the proviso that the offset against the direction of rotation of the carrier is set to a predetermined value.
Dieser Versatz wird während des Abscheideprozesses konstant gehalten oder er wird in vorgegebener Art und Weise variiert.This offset is kept constant during the deposition process or it is varied in a predetermined manner.
Es hat sich gezeigt, dass durch einen Versatz der Brennerflamme in Bezug auf die Träger-Mittelachse wesentliche Produkteigenschaften des Rohlings, wie die Dichte, die Homogenität der Abscheidung und insbesondere auch die Abscheiderate beeinflußt werden. Durch einen Versatz entgegen der Drehrichtung wird eine deutlich höhere Abscheide-Effizienz erhalten. Ohne an diese Erklärung dafür gebunden zu sein, wird dies darauf zurückgeführt, dass sich aufgrund des Versatzes entgegen der Drehrichtung eine längere Kontaktdauer für die in der Brennerflamme gebildeten Partikel ergibt, während der ein Anhaften an der Oberfläche des sich bildenden Rohlings ermöglicht wird. Weiterhin wurde überraschend gefunden, dass durch das erfindungsgemäße Verfahren auch eine Verbesserung der axialen Homogenität des Rohlings hinsichtlich seiner Materialeigenschaften und seiner optischen Eigenschaften im Vergleich zu einem Verfahren, bei dem die Brennerflamme direkt auf die Träger-Mittelachse gerichtet ist, erreicht wird.It has been shown that an offset of the burner flame with respect to the center axis of the carrier influences essential product properties of the blank, such as the density, the homogeneity of the deposition and in particular also the deposition rate. An offset opposite to the direction of rotation results in a significantly higher separation efficiency. Without being bound by this explanation, this is attributed to the fact that the offset against the direction of rotation results in a longer contact time for the particles formed in the burner flame, during which adhesion to the surface of the blank being formed is made possible. Furthermore, it was surprisingly found that the method according to the invention also improves the axial homogeneity of the blank with regard to its material properties and its optical properties compared to a method in which the burner flame is directed directly onto the center axis of the carrier.
Dies läßt sich dadurch erklären, dass bei der Hin- und Herbewegung des Abscheidebrenners entlang des Trägers infolge mechanischer Bauteiltoleranzen, Maßänderungen während des Abscheideprozesses und aufgrund von Justagefehler Abweichungen von der vorgegebenen Ausrichtung auftreten können. Diese Abweichungen wirken sich auf den Auftreffpunkt der Brennerflamme auf dieThis can be explained by the fact that during the reciprocating movement of the deposition burner along the carrier due to mechanical component tolerances, dimensional changes during the deposition process and due to adjustment errors, deviations from the specified orientation can occur. These deviations affect the point of impact of the burner flame
Rohlingoberfläche aus. Der Auftreffpunkt der Brennerflamme auf der Oberfläche des sich bildenden Rohlings ist für die Stabilität des Abscheideprozesses und die Materialhomogenität des Rohlings jedoch entscheidend. Denn der Auftreffpunkt der Brennerflamme hat wesentlichen Einfluss auf die Temperaturverteilung über der Rohlingoberfläche. Die Temperaturverteilung wirkt sich wiederum auf dieBlank surface. However, the point of impact of the burner flame on the surface of the blank being formed is decisive for the stability of the deposition process and the material homogeneity of the blank. Because the point of impact of the burner flame has a significant influence on the temperature distribution over the blank surface. The temperature distribution in turn affects the
Materialeigenschaften des Si02-Rohlings aus. Beispielsweise hängt der Einbau von Dotierstoffen, von Hydroxylgruppen oder von Wasserstoff von der Maximaltemperatur im Bereich der Rohlingoberfläche und dem zeitlichen Verlauf der Abkühlung ab. Damit beeinflusst die Temperaturverteilung auf der Rohlingoberfläche die radiale und axiale chemische Zusammensetzung und damit auch die optischen Eigenschaften des Rohlings. Darüberhinaus bestimmt die Temperatur auch die Dichteverteilung.Material properties of the Si0 2 blank. For example, the incorporation of dopants, hydroxyl groups or hydrogen depends on the maximum temperature in the area of the blank surface and the time course of the cooling. The temperature distribution on the blank surface thus influences the radial and axial chemical composition and thus also the optical properties of the blank. The temperature also determines the density distribution.
Bei einer Ausrichtung des Brenners auf die Träger-Mittelachse machen sich bereits geringe Auslenkungen in einer deutlichen Änderung des Auftreffpunktes der Brennerflamme und damit in Schwankungen in den axialen Materialeigenschaften, wie der Dichte und der Dotierstoffhomogenität bemerkbar. Bei einem vorgegebenen Versatz des Abscheidebrenners in Bezug auf die Träger-Mittelachse haben Abweichungen von der vorgegebenen Ausrichtung jedoch eine deutlich geringere Auswirkung auf den Auftreffpunkt der Brennerflamme. Es hat sich gezeigt, dass in Abhängigkeit vom eingestellten Versatz ein „stabiler Arbeitsbereich" existiert, in dem eine Auslenkung von der vorgegebenen Position des Abscheidebrenners und Lage des Auftreffpunkts der Brennerflamme auf dem Si02-Rohling nur geringe Änderungen der Produkteigenschaften bewirkt. Solange der Versatz innerhalb des erwähnten Arbeitsbereichs liegt, wirken sich Abweichungen von der idealen Bewegungslinie des Abscheidebrenners daher nur wenig auf die Produkteigenschaften des Siθ2-Rohlings aus. Die Einstellung eines auf die jeweiligen Prozessbedingungen optimierten Versatzes ist für einen Fachmann anhand weniger Versuche auffindbar.When the burner is aligned with the center axis of the carrier, even slight deflections are noticeable in a significant change in the point of impact of the burner flame and thus in fluctuations in the axial material properties, such as the density and the dopant homogeneity. With a predetermined offset of the deposition burner with respect to the center axis of the carrier, however, deviations from the predetermined orientation have a significantly smaller effect on the point of impact of the burner flame. It has been shown that, depending on the set offset, there is a “stable working range” in which there is only a slight deflection from the predetermined position of the deposition burner and the position of the point of impact of the burner flame on the SiO 2 blank Changes in product properties causes. As long as the offset is within the working range mentioned, deviations from the ideal movement line of the deposition burner therefore have little effect on the product properties of the SiO 2 blank. The setting of an offset optimized for the respective process conditions can be found by a person skilled in the art on the basis of a few experiments.
Wie oben bereits dargelegt, ist die Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme und deren Auftreffpunkt auf der Oberfläche des rotierenden Rohlings entscheidend. Die Form und Lage der Brennerflamme kann durch vielerlei Maßnahmen, etwa durch Gasströme durch den Abscheidebrenner oder außerhalb davon, durch mechanische Leitkörper oder durch Anlegen von elektrischen Feldern variiert werden, ohne dass hierzu der Abscheidebrenner selbst bewegt werden muß. Derartige Maßnahmen sind für die Positionierung der Brennerflamme und der Einstellung ihrer Hauptausbreitungsrichtung im Sinne des erfindungsgemäßen Verfahrens grundsätzlich geeignet und sollen von den folgenden Erläuterungen umfaßt sein, auch wenn dabei der Einfachheit halber von einer Brennerflamme ausgegangen wird, die während des Abscheideprozesses hinsichtlich ihrer Form und Lage insoweit konstant gehalten wird, als das eine örtliche Verschiebung der Brennerflamme stets mit einer entsprechenden Verschiebung des Abscheidebrenners einhergeht.As already explained above, the main direction of propagation of the burner flame and its point of impact on the surface of the rotating blank is decisive. The shape and position of the burner flame can be varied by a variety of measures, for example by gas flows through the separating burner or outside it, by mechanical guide bodies or by applying electrical fields, without the separating burner itself having to be moved for this purpose. Such measures are fundamentally suitable for the positioning of the burner flame and the setting of its main direction of propagation in the sense of the method according to the invention and should be included in the following explanations, even if for the sake of simplicity it is assumed that a burner flame is present in terms of its shape and position during the deposition process is kept constant insofar as a local displacement of the burner flame always goes hand in hand with a corresponding displacement of the deposition burner.
Die „Hauptausbreitungsrichtung" der Brennerflamme stimmt in der Regel mit der Mittelachse des Abscheidebrenners überein. Der Versatz entspricht dem kürzesten Abstand zwischen der Hauptausbreitungsrichtung und der Längsachse des Trägers. In einer Projektion auf eine gemeinsame Ebene können Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme und Träger-Längsachse senkrecht zueinander stehen, oder einen von 90° abweichenden Winkel einschließen. Im letztgenannten Fall ist die Brennerflamme somit in Richtung der Träger-Längsachse verkippt.The "main direction of propagation" of the burner flame generally coincides with the central axis of the deposition burner. The offset corresponds to the shortest distance between the main direction of propagation and the longitudinal axis of the carrier. In a projection onto a common plane, the main direction of propagation of the burner flame and the longitudinal axis of the carrier can be perpendicular to one another , or enclose an angle deviating from 90 °. In the latter case, the burner flame is thus tilted in the direction of the longitudinal axis of the carrier.
Unter einem Si02-Rohling (auch einfach als „Rohling" bezeichnet) wird hier ein zylinderförmiger, poröser Körper aus reinem Si02 oder aus Dotierstoffe enthaltendem Si02 verstanden. Der Rohling dient zur Herstellung von Vorformen für optische Fasern oder von Teilen davon. Die Größe des einzustellenden Versatzes hängt auch vom Außendurchmesser des sich bildenden Rohlings ab. Da dieser während des Abscheideprozesses kontinuierlich zunimmt, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, den Versatz auf einem Wert im Bereich zwischen 10% und 80% des Außendurchmessers, vorzugsweise zwischen 20% und 40 % des Außendurchmessers des sich bildenden Rohlings zu halten. Je nach Außendurchmesser des Trägers und Enddurchmesser des Rohlings kann ein konstanter Versatz innerhalb dieser bevorzugten Bereiche gehalten werden. Andernfalls wird der Versatz gemäß einer bevorzugten Verfahrensvariante während der Bildung des Rohlings vergrößert. Die Vergrößerung des Versatzes kann kontinuierlich oder schrittweise erfolgen. Dadurch wird sichergestellt, dass derAn Si0 2 blank (also simply referred to as a "blank") is understood here to mean a cylindrical, porous body made of pure Si0 2 or Si0 2 containing dopants. The blank is used to produce preforms for optical fibers or parts thereof. The size of the offset to be set also depends on the outside diameter of the blank being formed. Since this increases continuously during the deposition process, it has proven to be advantageous to keep the offset at a value in the range between 10% and 80% of the outside diameter, preferably between 20% and 40% of the outside diameter of the blank being formed. Depending on the outside diameter of the carrier and the final diameter of the blank, a constant offset can be kept within these preferred ranges. Otherwise, according to a preferred method variant, the offset is increased during the formation of the blank. The offset can be increased continuously or step by step. This ensures that the
Versatz stets in dem erwähnten „stabilen Arbeitsbereich" liegt. Die Vergrößerung des Versatzes erfolgt beispielsweise mittels einer zeitabhängigen Regelung oder Steuerung oder eine Regelung oder Steuerung anhand einer am sich bildenden Rohling erfassbaren Regelgröße, wie dem Außendurchmesser, der Wandstärke oder dem Gewicht des sich bildenden Rohlings. Der Versatz im Bereich zwischen 10% und 80%, vorzugsweise zwischen 20% und 40 %, des Außendurchmessers des Rohlings gewährleistet wiederum ein Arbeiten in dem oben erwähnten „stabilen Arbeitsbereich", auch bei großvolumigen Rohlingen. Die Änderung des Versatzes kann durch seitliche Verschiebung des Abscheidebrenners erreicht werden, oder durch eine Verkippung des Abscheidebrenners entgegen die Träger-Längsachse und einer damit einhergehenden Änderung der Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme.Offset always lies in the "stable working range" mentioned. The offset is increased, for example, by means of a time-dependent regulation or control or regulation or control based on a control variable which can be detected on the blank being formed, such as the outside diameter, the wall thickness or the weight of the blank being formed The offset in the range between 10% and 80%, preferably between 20% and 40%, of the outside diameter of the blank in turn ensures work in the “stable working range” mentioned above, even with large-volume blanks. The change in the offset can be achieved by lateral displacement of the deposition burner or by tilting the deposition burner against the longitudinal axis of the support and a concomitant change in the main direction of propagation of the burner flame.
Es hat sich als günstig erwiesen, den Versatz zwischen Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme und Träger-Mittelachse auf einen Wert zwischen 1 mm und 4 mm einzustellen, da bei einem derartigen Versatz entgegen der Drehrichtung der oben erwähnte „stabile Arbeitsbereich" bei den meisten Abscheidebedingungen erreicht wird.It has proven to be advantageous to set the offset between the main direction of propagation of the burner flame and the center axis of the support to a value between 1 mm and 4 mm, since with such an offset the “stable working range” mentioned above is achieved in most deposition conditions against the direction of rotation.
Bei einer bevorzugten Verfahrensvariante wird der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner und der Oberfläche des sich bildenden Si02-Rohlings konstant gehalten. Wie bereits weiter oben erläutert, hat der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner und der Rohlingoberfläche wesentlichen Einfluß auf die Oberflächentemperatur. Diese wiederum wirkt sich auf die Dichte des sich bildenden Rohlings und auf die Abscheide-Effizienz aus. Ein konstanter Abstand während des Abscheideprozesses erleichtert die Einhaltung und Einstellung radial homogener Materialeigenschaften des Si02-Rohlings. Für die Konstanthaltung des Abstands kann eine Regelung vorgesehen sein, die mit der oben erwähnten Regelung oder Steuerung des Versatzes zwischen Brennerflamme und Träger-Mittelachse kombiniert ist. Um den Abstand des Abscheidebrenners von der Rohlingoberfläche unabhängig von dem voreingestellten Versatz zwischen Brennerflamme und Träger- Mittelachse einstellen zu können, verläuft die Bewegungsrichtung des Abscheidebrenners beim Einstellen des Abstands zweckmäßigerweise senkrecht zu der Bewegungsrichtung bei der Einstellung des Versatzes.In a preferred method variant, the distance between the deposition burner and the surface of the SiO 2 blank being formed is kept constant. As already explained above, the distance between the deposition burner and the blank surface has a significant influence on the Surface temperature. This in turn affects the density of the blank being formed and the separation efficiency. A constant distance during the deposition process makes it easier to maintain and adjust the radially homogeneous material properties of the Si0 2 blank. A regulation can be provided to keep the distance constant, which is combined with the above-mentioned regulation or control of the offset between the burner flame and the center axis of the carrier. In order to be able to set the distance of the deposition burner from the blank surface independently of the preset offset between the burner flame and the center axis of the support, the direction of movement of the deposition burner expediently runs perpendicular to the direction of movement when the offset is set.
Bei einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens verläuft die Hauptausbreitungsrichtung senkrecht zur Träger-Mittelachse. Die Brennerflamme bzw. deren Ausbreitungsrichtung läßt sich hierbei besonders einfach ausrichten und regeln.In a preferred embodiment of the method according to the invention, the main direction of propagation is perpendicular to the central axis of the carrier. The burner flame or its direction of propagation is particularly easy to align and regulate.
Als günstig hat es sich erwiesen, dass der Abscheidebrenner unterhalb der Träger- Mittelachse angeordnet ist. Die Brennerflamme ist hierbei nach oben, vorzugsweise senkrecht nach oben, gerichtet. Die durch die Thermik unterstützte Strömung trägt dabei zu einer hohen Abscheiderate bei.It has proven to be advantageous for the deposition burner to be arranged below the center axis of the carrier. The burner flame is directed upwards, preferably vertically upwards. The flow supported by the thermals contributes to a high separation rate.
Zur Erhöhung der Abscheideleistung werden zur Bildung des Siθ2-Rohlings zweckmäßigerweise mehrere, entlang der Träger-Mittelachse angeordnete und miteinander gekoppelte Abscheidebrenner eingesetzt. Die Abscheidebrenner sind mechanisch oder elektrisch gekoppelt, so dass sie den gleichen oszillierenden Bewegungsablauf zwischen Wendepunkten entlang des sich bildenden Rohlings ausführen. Es können zwei Wendepunkte der Brennerbewegung im Bereich der stirnseitigen Enden des sich bildenden Rohlings vorgesehen sein, wobei die Abscheidebrenner im wesentlichen über die gesamte Länge des Rohlings bewegt werden. Alternativ werden die Abscheidebrenner zwischen mehreren, über die Rohling-Länge verteilten Wendepunkten oszillierend hin- und herbewegt. Die Abscheidebrenner können den gleichen Versatz aufweisen. Es hat sich aber gezeigt, dass benachbarte Abscheidebrenner sich gegenseitig beeinflussen, so dass die Effizienz der Abscheidung benachbarter Abscheidebrenner geringer ist als die Effizienz jedes einzelnen Abscheidebrenners. Daher wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei der sich die Versätze benachbarter Abscheidebrenner unterscheiden. Dadurch wird eine Vergrößerung des Abstandes zwischen den benachbarten Abscheidebrennern erreicht. Dabei wird mindestens einer der Versätze entgegen der Drehrichtung des Trägers eingestellt. Bei einer Optimierung der Abscheide-Effizienz durch den Versatz entgegen der Träger-Drehrichtung einerseits und durch die Vergrößerung des Brennerabstands andererseits kann sich aber auch ein Versatz von Null oder sogar in Drehrichtung des Trägers als günstig erweisen.In order to increase the deposition capacity, a plurality of deposition burners which are arranged along the center axis of the carrier and are coupled to one another are expediently used to form the SiO 2 blank. The deposition burners are mechanically or electrically coupled so that they perform the same oscillating sequence of movements between turning points along the blank being formed. Two turning points of the burner movement can be provided in the area of the front ends of the blank being formed, the separating burner being moved essentially over the entire length of the blank. Alternatively, the deposition burner is oscillated between several turning points distributed over the length of the blank. The separation burners can have the same offset. However, it has been shown that adjacent deposition burners influence one another, so that the efficiency of the deposition of adjacent deposition burners is less than the efficiency of each individual deposition burner. Therefore, a procedure is preferred in which the offsets of adjacent deposition burners differ. This increases the distance between the adjacent separating burners. At least one of the offsets is set against the direction of rotation of the carrier. When the separation efficiency is optimized by the offset against the direction of rotation of the carrier on the one hand and by increasing the burner spacing on the other hand, an offset of zero or even in the direction of rotation of the carrier can also prove to be favorable.
Besonders bewährt hat sich eine Verfahrensweise, bei der die Abscheidebrenner entlang der Träger-Mittelachse gesehen wechselweise in mindestens einer ersten Reihe mit einem ersten Versatz und einer zweiten Reihe mit einem zweiten Versatz angeordnet sind, wobei sich der erste Versatz und der zweite Versätze voneinander unterscheiden. Die Abscheidebrenner sind entlang der Träger-Mittelachse zick- zackförmig angeordnet.A method has proven particularly useful in which the deposition burners are alternately arranged in at least a first row with a first offset and a second row with a second offset, as seen along the center axis of the carrier, the first offset and the second offset differing from one another. The deposition burners are arranged in a zigzag pattern along the central axis of the carrier.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere für die Herstellung von SιO2- Rohlingen durch Außenabscheidung nach dem sogenannten OVD-Verfahren (Outside Vapor Deposition) geeignet.The process according to the invention is particularly suitable for the production of SiO 2 blanks by external deposition using the so-called OVD process (Outside Vapor Deposition).
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und einer Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen in schematischer Darstellung im einzelnen:The invention is explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments and a drawing. In the drawing, a schematic representation shows in detail:
Figur 1 : eine Anordnung von Abscheidebrenner und Träger bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer Ansicht in Richtung der Träger-FIG. 1: an arrangement of separating burner and carrier when carrying out the method according to the invention in a view in the direction of the carrier
Längsachse,longitudinal axis,
Figur 2: eine zick-zackförmige Anordnung mehrerer Abscheidebrenner entlang einem Träger bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer Ansicht in Richtung der Träger-Längsachse, Figur 3: ein Diagramm zu Aufbauleistung und Abscheideeffizienz in Abhängigkeit vom Seitenversatz des Abscheidebrenners, undFIG. 2 shows a zigzag arrangement of a plurality of deposition burners along a carrier when carrying out the method according to the invention in a view in the direction of the longitudinal axis of the carrier, Figure 3: a diagram of the performance and separation efficiency depending on the lateral offset of the separation burner, and
Figur 4: ein Diagramm zu Ge02-Dotierstoffkonzentration und relativer Sootdichte in Abhängigkeit vom Seitenversatz.Figure 4: a diagram of Ge0 2 dopant concentration and relative soot density as a function of the lateral offset.
Die Anordnung gemäß Figur 1 zeigt ein Trägerrohr 1 aus Aluminiumoxid, das um seine Längsachse 2 rotiert. Die Rotationsrichtung des Trägerrohrs 1 wird durch den Richtungspfeil 3 angegeben. Mittels eines Flammhydrolysebrenners 4 aus Quarzglas mit vertikal orientierter Mittelachse werden auf dem Trägerrohr 1 unter Bildung eines porösen, mit Ge0 dotierten Rohlings 5 schichtweise Si02- und Ge02-Partikel abgeschieden, wobei der Flammhydrolysebrenner 4 entlang der Träger-Längsachse 2 oszillierend zwischen den Enden des sich bildenden Rohlings 5 hin- und herbewegt wird.The arrangement according to FIG. 1 shows a carrier tube 1 made of aluminum oxide, which rotates about its longitudinal axis 2. The direction of rotation of the carrier tube 1 is indicated by the direction arrow 3. By means of a flame hydrolysis burner 4 made of quartz glass with a vertically oriented central axis, Si0 2 and Ge0 2 particles are deposited in layers on the carrier tube 1 to form a porous blank 5 doped with Ge0, the flame hydrolysis burner 4 oscillating between the ends along the longitudinal axis 2 of the carrier of the forming blank 5 is moved back and forth.
Dem Flammhydrolysebrenner 4 werden Glasausgangsstoffe und Brennstoffe zugeführt, wie dies schematisch anhand der Richtungspfeile 6 dargestellt ist, in einer Brennerflamme 7 zu den Siθ2- und Geθ2-Partikeln umgesetzt. Die Brennerflamme 7 ist auf den Träger 1 und den darauf bereits gebildeten Rohling 5 gerichtet. Die Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme 7 verläuft koaxial zur Mittelachse des Abscheidebrenners 4. Ihre Verlängerung über den Auftreffpunkt 9 auf der OberflächeThe glass base materials and fuels are fed to the flame hydrolysis burner 4, as is shown schematically by the directional arrows 6, converted in a burner flame 7 to the SiO 2 and GeO 2 particles. The burner flame 7 is directed at the carrier 1 and the blank 5 already formed thereon. The main direction of propagation of the burner flame 7 runs coaxially to the central axis of the separating burner 4. Its extension via the point of impact 9 on the surface
10 des Rohlings 5 hinaus ist durch die punktierte Linie 8 dargestellt. Die Hauptausbreitungsrichtung 8 verläuft somit auch vertikal und gleichzeitig senkrecht zur Träger-Längsachse 2. Der Abscheidebrenner 4 ist derart ausgerichtet, dass die Hauptausbreitungsrichtung 8 der Brennerflamme 7 in Bezug auf die Träger- Längsachse 2 und entgegen der Rotationsrichtung 3 seitlich versetzt ist. Der Versatz10 of the blank 5 is shown by the dotted line 8. The main direction of propagation 8 thus also runs vertically and at the same time perpendicularly to the longitudinal axis 2 of the carrier. The separating burner 4 is oriented such that the main direction of propagation 8 of the burner flame 7 is laterally offset with respect to the longitudinal axis 2 of the carrier and counter to the direction of rotation 3. The offset
11 entspricht dem kürzesten Abstand zwischen der Hauptausbreitungsrichtung 8 (punktierte Linie 8) und der Träger-Längsachse 2.11 corresponds to the shortest distance between the main direction of propagation 8 (dotted line 8) and the longitudinal axis 2 of the carrier.
Zur Veränderung des Versatzes 11 (durch den Abstandspfeil 11 angedeutet), ist der Abscheidebrenner 4 in Richtung des Richtungspfeils 12 hin- und herbewegbar. Außerdem ist der Abscheidebrenner 4 in Richtung des Richtungspfeils 13 auch in vertikaler Richtung bewegbar, damit der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner 4 bzw. der Brennerflamme 7 und der Oberfläche des Rohlings 5 auf einem vorgegebenen Wert gehalten werden kann.To change the offset 11 (indicated by the distance arrow 11), the separating burner 4 can be moved back and forth in the direction of the directional arrow 12. In addition, the separating burner 4 can also be moved in the vertical direction in the direction of the arrow 13, so that the distance between the separating burner 4 or the burner flame 7 and the surface of the blank 5 can be kept at a predetermined value.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand der in Figur 1 gezeigten Anordnung beispielhaft beschrieben:The method according to the invention is described below by way of example using the arrangement shown in FIG. 1:
Zur Herstellung des mit Ge02 dotierten Rohlings 5 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden dem Flammhydrolysebrenner 4 Glasausgangsstoffe in Form von GeCI4, SiCI4, Sauerstoff und Brenngase zugeführt (Richtungspfeile 6) und daraus in der Brennerflamme 7 Si02- und Ge02-Partikel gebildet, und diese auf der Oberfläche 10 des um die Längsachse 2 rotierenden Rohlings mittels eines üblichen Soot- Außenabscheideverfahrens (OVD-Verfahren) abgeschieden. Als Trägerrohr 1 wird ein Aluminiumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Der Flammhydrolysebrenner 4 wird während des Abscheidens kontinuierlich entlang der Längsachse 2 in einem vorgegebenen Bewegungsablauf zwischen zwei ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt, wobei eine Si02-Schicht nach der anderen auf dem Träger 1 bzw. auf der Oberfläche 10 des sich bildenden Rohlings 5 abgeschieden wird.To produce the blank 5 doped with Ge0 2 by the process according to the invention, glass source materials in the form of GeCI 4 , SiCI 4 , oxygen and fuel gases are fed to the flame hydrolysis burner 4 (directional arrows 6) and 7 Si0 2 and Ge0 2 particles are formed therefrom in the burner flame , and these are deposited on the surface 10 of the blank rotating about the longitudinal axis 2 by means of a conventional soot external deposition method (OVD method). An aluminum oxide tube with a diameter of 5 mm is used as the carrier tube 1. The flame hydrolysis burner 4 is continuously moved back and forth along the longitudinal axis 2 in a predetermined movement sequence between two fixed turning points during the deposition, one SiO 2 layer after the other being deposited on the carrier 1 or on the surface 10 of the blank 5 which is being formed becomes.
Ein wesentliches Kennzeichen des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass die Brennerflamme 7 seitlich versetzt zur Mittelachse 2 auf die Oberfläche 10 des Rohlings 5 auftrifft, wobei der Versatz 11 anhand einer (in der Figur 1 nicht dargestellten) Regelung auf einem Wert gehalten wird, der 50% der Wandstärke des sich bildenden Rohlings 5 entspricht. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4 mit zunehmender Dicke des sich bildenden Rohlings 5 in Richtung des Richtungspfeils 12 weiter nach außen verschoben.An essential characteristic of the method according to the invention is that the burner flame 7 strikes the surface 10 of the blank 5 laterally offset from the central axis 2, the offset 11 being kept at a value which is 50 by means of a control (not shown in FIG. 1) % corresponds to the wall thickness of the blank 5 being formed. For this purpose, the flame hydrolysis burner 4 is displaced further outward in the direction of the directional arrow 12 with increasing thickness of the blank 5 that is being formed.
Weiterhin ist eine Regelung vorgesehen, um den Abstand zwischen dem Flammhydrolysebrenner 4 und der Oberfläche 10 des sich bildenden Rohlings 5 konstant zu halten. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4 mit zunehmender Dicke des Rohlings 5 nach unten verschoben, wie dies schematisch der Richtungspfeil 13 anzeigt. Figur 2 zeigt schematisch eine Anordnung mehrerer Flammhydrolysebrenner entlang der Längsachse 2 des Trägerrohrs 1. Sofern in Figur 2 die gleichen Bezugsziffem wie in Figur 1 verwendet sind, so sind damit gleich oder äquivalente Bestandteile oder Funktionen der Anordnung bezeichnet, wie sie oben anhand dieser Bezugsziffern näher erläutert sind.Furthermore, regulation is provided in order to keep the distance between the flame hydrolysis burner 4 and the surface 10 of the blank 5 which is being formed constant. For this purpose, the flame hydrolysis burner 4 is shifted downward with increasing thickness of the blank 5, as is indicated schematically by the directional arrow 13. FIG. 2 schematically shows an arrangement of a plurality of flame hydrolysis burners along the longitudinal axis 2 of the carrier tube 1. If the same reference numerals as in FIG. 1 are used in FIG. 2, the same or equivalent components or functions of the arrangement are referred to as those described above with reference to these reference numerals are explained.
Im Unterschied zu der Anordnung gemäß Figur 1 werden bei der Anordnung gemäß Figur 2 eine Vielzahl von Flammhydrolysebrennern (4, 14) eingesetzt, die entlang des um seine Längsachse 2 rotierenden Trägerrohrs 1 oszillierend zwischen ortsfesten Wendepunkten (in Figur 1 nicht dargestellt) hin- und herbewegt werden. Die Flammhydrolysebrenner (4, 14) sind wechselweise in einer oberen und in einer unteren Reihe angeordnet, wobei die obere Reihe der Flammhydrolysebrenner durch den Flammhydrolysebrenner 4 und die untere Reihe der Flammhydrolysebrenner durch den Flammhydrolysebrenner 14 repräsentiert wird. Die Flammhydrolysebrenner der oberen Reihe sind auf einem gemeinsamen Brennerblock (in der Figur nicht dargestellt) montiert, der - wie durch dieIn contrast to the arrangement according to FIG. 1, a plurality of flame hydrolysis burners (4, 14) are used in the arrangement according to FIG. 2, which oscillate back and forth along the support tube 1 rotating about its longitudinal axis 2 between fixed turning points (not shown in FIG. 1) be moved. The flame hydrolysis burners (4, 14) are alternately arranged in an upper and a lower row, the upper row of the flame hydrolysis burner being represented by the flame hydrolysis burner 4 and the lower row of the flame hydrolysis burner being represented by the flame hydrolysis burner 14. The flame hydrolysis burners of the upper row are mounted on a common burner block (not shown in the figure), which - as by the
Richtungspfeile 12 und 13 dargestellt - bewegbar ist. Dies gilt gleichermaßen für Flammhydrolysebrenner der unteren Reihe. Zudem sind die Brennerblöcke der oberen und der unteren Reihe mittels einer gemeinsamen Regelung verbunden, mittels der die Bewegung der jeweiligen Flammhydrolysebrenner synchronisierbar ist.Directional arrows 12 and 13 shown - is movable. This applies equally to flame hydrolysis burners in the lower row. In addition, the burner blocks of the upper and lower rows are connected by means of a common control, by means of which the movement of the respective flame hydrolysis burner can be synchronized.
Der Flammhydrolysebrenner 4 (und damit aller Flammhydrolysebrenner in der oberen Reihe) ist so auf das Trägerrohr 1 gerichtet, dass dessen Brennerflamme 7 mit einer schräg zur Vertikalen verlaufenden Hauptausbreitungsrichtung 8 und mit einem Versatz 15 zur Mittelachse 2 des Trägerohrs 1 verläuft. Die Hauptausbreitungsrichtung 8 verläuft somit schräg und gleichzeitig senkrecht zur Träger-Längsachse 2. Der Flammhydrolysebrenner 4 ist derart ausgerichtet, dass die Hauptausbreitungsrichtung 8 der Brennerflamme 7 in Bezug auf die Träger- Längsachse 2 und entgegen der Rotationsrichtung 3 seitlich versetzt ist. Der Versatz 15 entspricht dem kürzesten Abstand zwischen der Hauptausbreitungsrichtung 8 (punktierte Linie 8) und der Träger-Längsachse 2. Der Flammhydrolysebrenner 14 (und damit aller Abscheidebrenner in der oberen Reihe) ist so auf das Trägerrohr 1 gerichtet, dass dessen Brennerflamme 7 eine Hauptausbreitungsrichtung (durch die gestrichelte Linie 16 symbolisiert) aufweist, die senkrecht zur Mittelachse 2 des Trägerohrs 1 verläuft und diese schneidet. Der Flammhydrolysebrenner 14 ist somit derart ausgerichtet, dass dieThe flame hydrolysis burner 4 (and thus all flame hydrolysis burners in the upper row) is directed onto the carrier tube 1 in such a way that its burner flame 7 runs with a main direction of propagation 8 which runs obliquely to the vertical and with an offset 15 to the central axis 2 of the carrier tube 1. The main direction of propagation 8 thus runs obliquely and simultaneously perpendicular to the longitudinal axis 2 of the carrier. The flame hydrolysis burner 4 is oriented such that the main direction of propagation 8 of the burner flame 7 is laterally offset with respect to the longitudinal axis 2 of the carrier and counter to the direction of rotation 3. The offset 15 corresponds to the shortest distance between the main direction of propagation 8 (dotted line 8) and the longitudinal axis 2 of the carrier. The flame hydrolysis burner 14 (and thus all separating burners in the upper row) is directed towards the carrier tube 1 in such a way that its burner flame 7 has a main direction of propagation (symbolized by the dashed line 16) which runs perpendicular to the central axis 2 of the carrier tube 1 and cuts it. The flame hydrolysis burner 14 is thus oriented such that the
Hauptausbreitungsrichtung 16 der Brennerflamme 7 in Bezug auf die Träger- Längsachse 2 keinen Versatz aufweist.The main direction of propagation 16 of the burner flame 7 has no offset with respect to the longitudinal axis 2 of the carrier.
Durch die wechselweise Anordnung der Flammhydrolysebrenner (4; 14) in der oberen und der unteren Reihe ist der Abstand zwischen den Auftreffpunkten (9; 19) der jeweiligen Brennerflammen 7 auf der Oberfläche des Rohlings 5 im Vergleich zu einer linearen Anordnung der Flammhydrolysebrenner größer, so dass sich die Flammhydrolysebrenner (4; 14) gegenseitig wenig beeinflussen. Dies erhöht die Effizienz der Abscheidung im Vergleich zu einer linearen Brenneranordnung.Due to the alternate arrangement of the flame hydrolysis burners (4; 14) in the upper and lower rows, the distance between the points of impact (9; 19) of the respective burner flames 7 on the surface of the blank 5 is greater compared to a linear arrangement of the flame hydrolysis burners, so that the flame hydrolysis burners (4; 14) have little influence on one another. This increases the efficiency of the deposition compared to a linear burner arrangement.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand der in Figur 1 gezeigten Anordnung beispielhaft beschrieben:The method according to the invention is described below by way of example using the arrangement shown in FIG. 1:
Zur Herstellung des mit Ge02 dotierten Rohlings 5 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden dem Flammhydrolysebrenner 4 Glasausgangsstoffe in Form von GeCI , SiCI , Sauerstoff und Brenngase zugeführt (Richtungspfeile 6) und daraus in der Brennerflamme 7 Si02- und Ge02-Partikel gebildet, und diese auf der Oberfläche 10 des um die Längsachse 2 rotierenden Rohlings mittels eines üblichen Soot- Außenabscheideverfahrens (OVD-Verfahren) abgeschieden. Als Trägerrohr 1 wird ein Aluminiumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Der Flammhydrolysebrenner 4 wird während des Abscheidens kontinuierlich entlang der Längsachse 2 in einem vorgegebenen Bewegungsablauf zwischen zwei ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt, wobei eine Si02-Schicht nach der anderen auf dem Träger 1 bzw. auf der Oberfläche 10 des sich bildenden Rohlings 5 abgeschieden wird.To produce the blank 5 doped with Ge0 2 according to the method according to the invention, 4 glass raw materials in the form of GeCI, SiCI, oxygen and fuel gases are fed to the flame hydrolysis burner (directional arrows 6) and 7 Si0 2 and Ge0 2 particles are formed therefrom in the burner flame, and these are deposited on the surface 10 of the blank rotating about the longitudinal axis 2 by means of a conventional soot outer deposition method (OVD method). An aluminum oxide tube with a diameter of 5 mm is used as the carrier tube 1. The flame hydrolysis burner 4 is continuously moved back and forth along the longitudinal axis 2 in a predetermined movement sequence between two fixed turning points during the deposition, one SiO 2 layer after the other being deposited on the carrier 1 or on the surface 10 of the blank 5 which is being formed becomes.
Ein wesentliches Kennzeichen des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass die Brennerflamme 7 seitlich versetzt zur Mittelachse 2 auf die Oberfläche 10 des Rohlings 5 auftrifft, wobei der Versatz 11 anhand einer (in der Figur 1 nicht dargestellten) Regelung auf einem Wert gehalten wird, der 50% der Wandstärke des sich bildenden Rohlings 5 entspricht. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4 mit zunehmender Dicke des sich bildenden Rohlings 5 in Richtung des Richtungspfeils 12 weiter nach außen verschoben.An essential characteristic of the method according to the invention is that the burner flame 7 is laterally offset from the central axis 2 on the surface 10 of the blank 5 strikes, the offset 11 being kept to a value on the basis of a control (not shown in FIG. 1) which corresponds to 50% of the wall thickness of the blank 5 being formed. For this purpose, the flame hydrolysis burner 4 is displaced further outward in the direction of the directional arrow 12 with increasing thickness of the blank 5 that is being formed.
Weiterhin ist eine Regelung vorgesehen, um den Abstand zwischen dem Flammhydrolysebrenner 4 und der Oberfläche 10 des sich bildenden Rohlings 5 konstant zu halten. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4 mit zunehmender Dicke des Rohlings 5 nach unten verschoben, wie dies schematisch der Richtungspfeil 13 anzeigt.Furthermore, regulation is provided in order to keep the distance between the flame hydrolysis burner 4 and the surface 10 of the blank 5 which is being formed constant. For this purpose, the flame hydrolysis burner 4 is shifted downward with increasing thickness of the blank 5, as is indicated schematically by the directional arrow 13.
Die Wirkung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nachfolgend anhand der Figuren 1, 3 und 4 näher erläutert.The effect of the method according to the invention is explained in more detail below with reference to FIGS. 1, 3 and 4.
In Figur 3 ist auf der x-Achse der seitliche Versatz „V" des Flammhydrolysebrenner 4 in Millimetern aufgetragen. Das negative Vorzeichen symbolisiert einen Versatz „V" entgegen der Rotationsrichtung 3. Auf der y-Achse ist einerseits die Aufbauleistung „A" in g/h und andererseits die Effizienz „E" der Abscheidung in % aufgetragen. Aus der Darstellung von Figur 3 ist ersichtlich, dass sowohl die Aufbauleistung „A" (Kurve 20), als auch die Effizienz „E" (Kurve 21) mit größer werdendem Versatz „V" zunächst deutlich zunehmen, ein Maximum bei einem Versatz „V" von ca. 2 mm erreichen und danach wieder abfallen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ergibt sich ein optimaler und stabiler Arbeitsbereich bei einem Versatz „V" im Bereich zwischen etwa -1 mm und etwa -3 mm entgegen der Rotationsrichtung 3.The lateral offset “V” of the flame hydrolysis burner 4 is plotted in millimeters on the x-axis in FIG. 3. The negative sign symbolizes an offset “V” against the direction of rotation 3. On the one hand, the build-up power “A” in g is on the y-axis / h and on the other hand the efficiency "E" of the deposition in%. It can be seen from the illustration in FIG. 3 that both the build-up power “A” (curve 20) and the efficiency “E” (curve 21) initially increase significantly as the offset “V” increases, a maximum at an offset “V "of approx. 2 mm and then fall off again. In this exemplary embodiment, there is an optimal and stable working range with an offset “V” in the range between approximately -1 mm and approximately -3 mm against the direction of rotation 3.
Im Diagramm gemäß der Figur 4 ist ebenfalls auf der x-Achse der seitliche Versatz „V" in Millimetern aufgetragen und auf der y-Achse der mittlere Germaniumdioxidgehalt „C" des Rohlings 5 in Gew.-%. Daraus ist ersichtlich, dass der Germaniumdioxidgehalt „C" mit zunehmendem seitlichen Versatz „V" bis zu einem Maximum bei etwa -3 mm deutlich zunimmt (Kurve 30). Ein optimaler, stabiler Arbeitsbereich ergibt sich im Hinblick auf den Germaniumdioxidgehalt „C" bei einem Versatz „V" im Bereich von etwa -1 mm und etwa - 4 mm. Ergänzend ist in Figur 4 noch die mittlere relative Dichte „d" in Abhängigkeit vom seitlichen Versatz „V" aufgetragen, wobei ersichtlich ist, dass die Dichte „d" mit zunehmendem Versatz „V" in etwa linear abnimmt (Kurve 31). In the diagram according to FIG. 4, the lateral offset "V" is also plotted in millimeters on the x-axis and the mean germanium dioxide content "C" of the blank 5 in% by weight on the y-axis. It can be seen from this that the germanium dioxide content “C” increases significantly with increasing lateral offset “V” up to a maximum at approximately -3 mm (curve 30). An optimal, stable working range results with regard to the germanium dioxide content “C” with an offset “V” in the range of approximately -1 mm and approximately - 4 mm. In addition, the average relative density “d” in FIG. 4 is dependent on the lateral offset “V” plotted, it being evident that the density “d” decreases approximately linearly with increasing offset “V” (curve 31).

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren für die Herstellung eines Siθ2-Rohlings, indem mindestens einem Abscheidebrenner glasbildendes Ausgangsmaterial zugeführt, daraus in einer dem Abscheidebrenner zugeordneten Brennerflamme, die auf einen um seine Mittelachse in vorgegebener Drehrichtung rotierenden Träger gerichtet ist,1. Process for the production of a SiO 2 blank by feeding glass-forming starting material to at least one deposition burner, from it in a burner flame assigned to the deposition burner, which is directed onto a carrier rotating about its central axis in the predetermined direction of rotation,
Partikel gebildet und diese auf der Zylindermantelfläche des Trägers unter Bildung des Siθ2-Rohlings schichtweise abgeschieden werden, indem der Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des Trägers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennerflamme (7) auf den Träger (1) gerichtet ist, derart, dass ihre Hauptausbreitungsrichtung (8) die Träger-Mittelachse (2) nicht schneidet und um einen vorgegebenen Versatz (11; 15) entgegen der Drehrichtung (3) verschoben zur Träger-Mittelachse (2) verläuft.Particles are formed and these are deposited in layers on the cylindrical surface of the carrier, forming the SiO 2 blank, by moving the deposition burner back and forth between turning points in a predetermined movement sequence, characterized in that the burner flame (7) is placed on the carrier (1) is directed in such a way that its main direction of propagation (8) does not intersect the carrier center axis (2) and is shifted to the carrier center axis (2) by a predetermined offset (11; 15) counter to the direction of rotation (3).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Versatz (11; 15) auf einen Wert im Bereich zwischen 10% und 80% des2. The method according to claim 1, characterized in that the offset (11; 15) to a value in the range between 10% and 80% of
Außendurchmessers des sich bildenden Si02-Rohlings (5) gehalten wird.Outside diameter of the Si0 2 blank (5) being formed is kept.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Versatz (11; 15) auf einen Wert im Bereich zwischen 20% und 40% des Außendurchmessers des sich bildenden Siθ2-Rohlings (5) gehalten wird.3. The method according to claim 2, characterized in that the offset (11; 15) is kept at a value in the range between 20% and 40% of the outer diameter of the SiO 2 blank (5) which is formed.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Versatz (11; 15) auf einen Wert zwischen 1 mm und 4 mm eingestellt wird.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the offset (11; 15) is set to a value between 1 mm and 4 mm.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Versatz (11 ; 15) während der Bildung des Si02- Rohlings (5) vergrößert wird.5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the offset (11; 15) is increased during the formation of the Si0 2 blank (5).
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner (4) und der Oberfläche (10) des sich bildenden Siθ2-Rohlings (1) konstant gehalten wird. 6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the distance between the deposition burner (4) and the surface (10) of the SiO 2 blank (1) being formed is kept constant.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptausbreitungsrichtung (8) senkrecht zur Träger- Mittelachse (2) verläuft.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the main direction of propagation (8) is perpendicular to the carrier central axis (2).
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abscheidebrenner (4) unterhalb der Träger-8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the deposition burner (4) below the carrier
Mittelachse (2) angeordnet ist.Central axis (2) is arranged.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für die Bildung des Siθ2-Rohlings (5) mehrere, entlang der Träger-Mittelachse (2) angeordnete und miteinander gekoppelte Abscheidebrenner (4; 14) eingesetzt werden.9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that for the formation of the SiO 2 blank (5) a plurality of, along the carrier center axis (2) arranged and coupled separator burners (4; 14) are used.
10.Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Versätze benachbarter Abscheidebrenner (4; 14) unterscheiden.10.The method according to claim 9, characterized in that the offsets of adjacent separating burners (4; 14) differ.
11.Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Abscheidebrenner (4; 14) entlang der Träger-Mittelachse (2) gesehen wechselweise in mindestens einer ersten Reihe mit einem ersten Versatz11. The method according to claim 10, characterized in that the separating burner (4; 14) seen along the center axis of the support (2) alternately in at least a first row with a first offset
(15)und einer zweiten Reihe mit einem zweiten Versatz angeordnet sind, wobei sich der erste Versatz (15) und der zweite Versätze voneinander unterscheiden. (15) and a second row are arranged with a second offset, the first offset (15) and the second offset differing from one another.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10158439C2 (en) * 2001-11-29 2003-10-30 Heraeus Tenevo Ag Process for producing a quartz glass blank
JP4926164B2 (en) * 2008-12-26 2012-05-09 信越化学工業株式会社 Optical fiber preform manufacturing method and apparatus using high frequency induction thermal plasma torch

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59121128A (en) * 1982-12-27 1984-07-13 Hitachi Cable Ltd Preparation of parent material for optical fiber
JPS61236627A (en) * 1985-04-10 1986-10-21 Furukawa Electric Co Ltd:The Accumulating method for fine glass grain
US4735644A (en) * 1984-09-18 1988-04-05 Siemens Aktiengesellschaft Method for manufacturing glass optical fiber preforms
JPH0393642A (en) * 1989-09-04 1991-04-18 Fujikura Ltd Production of porous glass preform for optical fiber
JPH03141133A (en) * 1989-10-25 1991-06-17 Fujikura Ltd Production of porous glass matrix for optical fiber
DE4203287A1 (en) * 1992-02-03 1993-08-05 Bql Burgauer Quarzglasschmelze Optical blank mfr. - using pulsed light beam bundle in opto=electronic system to maintain constant gap between burner and deposition surface
JPH08325029A (en) * 1995-05-26 1996-12-10 Shin Etsu Chem Co Ltd Production of porous glass preform for optical fiber

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4784465A (en) * 1982-07-26 1988-11-15 Corning Glass Works Method of making glass optical fiber
JP3053320B2 (en) * 1993-08-26 2000-06-19 信越化学工業株式会社 Method for producing porous glass preform for optical fiber
DE19827945C1 (en) * 1998-06-25 1999-06-24 Heraeus Quarzglas Method and apparatus for producing a porous preliminary article consisting of silicon dioxide

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59121128A (en) * 1982-12-27 1984-07-13 Hitachi Cable Ltd Preparation of parent material for optical fiber
US4735644A (en) * 1984-09-18 1988-04-05 Siemens Aktiengesellschaft Method for manufacturing glass optical fiber preforms
JPS61236627A (en) * 1985-04-10 1986-10-21 Furukawa Electric Co Ltd:The Accumulating method for fine glass grain
JPH0393642A (en) * 1989-09-04 1991-04-18 Fujikura Ltd Production of porous glass preform for optical fiber
JPH03141133A (en) * 1989-10-25 1991-06-17 Fujikura Ltd Production of porous glass matrix for optical fiber
DE4203287A1 (en) * 1992-02-03 1993-08-05 Bql Burgauer Quarzglasschmelze Optical blank mfr. - using pulsed light beam bundle in opto=electronic system to maintain constant gap between burner and deposition surface
JPH08325029A (en) * 1995-05-26 1996-12-10 Shin Etsu Chem Co Ltd Production of porous glass preform for optical fiber

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 11, no. 80 11 March 1987 (1987-03-11) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 15, no. 271 10 July 1991 (1991-07-10) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 15, no. 357 10 September 1991 (1991-09-10) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1997, no. 04 30 April 1997 (1997-04-30) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 8, no. 241 6 November 1984 (1984-11-06) *

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