WO2001048834A3 - Piezoelektrisches element - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Element mit mindestens einer zwischen Elektroden (4,5,12,13,14,16,22,23) angeordneten piezokeramischen Schicht (1,10,21). Ein solches Element kann als Sensor, Stellelement, Aktor und dergleichen verwendet werden. Zur Erhöhung der Lebensdauer des piezoelektrischen Elements, insbesondere bei einem Einsatz in feuchter oder chemisch aggressiver Atmosphäre oder in Flüssigkeiten, ist das piezoelektrische Element mit einer äußeren Beschichtung (P) aus Parylene versehen.
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