WO2001036152A1 - Machine tool for polishing flat articles - Google Patents

Machine tool for polishing flat articles Download PDF

Info

Publication number
WO2001036152A1
WO2001036152A1 PCT/RU2000/000461 RU0000461W WO0136152A1 WO 2001036152 A1 WO2001036152 A1 WO 2001036152A1 RU 0000461 W RU0000461 W RU 0000461W WO 0136152 A1 WO0136152 A1 WO 0136152A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
products
machined
machine
ποveρχnοsτi
machine tool
Prior art date
Application number
PCT/RU2000/000461
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Vadim Izrailovich Rakhovsky
Vladimir Borisovich Gandelsman
Original Assignee
Vadim Izrailovich Rakhovsky
Vladimir Borisovich Gandelsman
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vadim Izrailovich Rakhovsky, Vladimir Borisovich Gandelsman filed Critical Vadim Izrailovich Rakhovsky
Publication of WO2001036152A1 publication Critical patent/WO2001036152A1/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/04Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor involving a rotary work-table
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
    • B24B41/047Grinding heads for working on plane surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces

Definitions

  • abrasive tools 15 spindles operating tools (abrasive tools).
  • the rotation of abrasive tools (and, correspondingly, the spindles) is located behind the parts of the processed product. That is, the product being processed in the process of its base and the subsequent processing is located in the processing area of the abrasive tools. Basing
  • the available component is provided with the option of a grinding contact with the entire area of the processed product. Consequently, in the process, they experience greater loads in the cutting area. The result of this is that the product heats up and.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26)
  • a change in its initial geometrical parameters which reduces the accuracy of the process.
  • 25 accessories are used for the direct operation of the optional grinding wheels mounted on a larger length.
  • the fixation of products and the transfer of them to the processing area are carried out in the form of a complete flat interface
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26)
  • the placement (of the spare spindles) of the conductors with the eccentricity of the accessories (positive rotations and the rotation of the spindles) is 118, for a total of 512 (140).
  • the 25th part of the processed area of the product in the process of processing takes in greater loads in the cutting area. This entails the heating of the product and, accordingly, a change in its initial electrical parameters, which reduces the accuracy of the process.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ b ⁇ ab ⁇ a products b ⁇ lshi ⁇ ⁇ i ⁇ azme ⁇ v (na ⁇ ime ⁇ , ⁇ emnievy ⁇ ⁇ las ⁇ in diame ⁇ m 300 mm ⁇ iizv ⁇ ds ⁇ va "ChIP ⁇ v” ⁇ lu ⁇ v ⁇ dni ⁇ vy ⁇ in ⁇ eg ⁇ alny ⁇ mi ⁇ s ⁇ em) ⁇ i is ⁇ lz ⁇ vanii ⁇ assma ⁇ ivaem ⁇ y ⁇ ns ⁇ u ⁇ tsii s ⁇ an ⁇ a ⁇ vleche ⁇ for s ⁇ b ⁇ y ⁇ imenenie ab ⁇ azivny ⁇ ⁇ ug ⁇ v 5 diame ⁇ m ⁇ evyshayuschim diame ⁇ ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ product.
  • the remote task is solved by the simple method of grinding for flat products, including a bed with two useful
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ as ⁇ l ⁇ zhennymi ve ⁇ i ⁇ alnymi s ⁇ y ⁇ ami, ⁇ as ⁇ l ⁇ zhenny between s ⁇ y ⁇ ami s ⁇ l with v ⁇ aschayuscheysya ⁇ lanshayb ⁇ y, ⁇ snaschenn ⁇ y s ⁇ eds ⁇ vami apeli ⁇ vaniya and ⁇ i ⁇ satsii ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaemy ⁇ products and ⁇ a ⁇ zhe two av ⁇ n ⁇ mn ⁇ u ⁇ avlyaemy ⁇ sh ⁇ indelya for us ⁇ an ⁇ v ⁇ i shli ⁇ valny ⁇ ⁇ ug ⁇ v 5 sm ⁇ n ⁇ i ⁇ vanny ⁇ with v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ yu v ⁇ zv ⁇ a ⁇ n ⁇ - ⁇ s ⁇ u ⁇ a ⁇ eln ⁇ g ⁇ ⁇ e ⁇ emescheniya ⁇ n
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) a strong mechanical interface between the actuator and the spindle.
  • Optimal access to the arsenal is available in one area with a rotation of the plate, and the angle of the angle is 90 °.
  • Figure 1 is a schematic diagram of the machine.
  • the machine for grinding flat products includes the following basic parts and assemblies.
  • the vertical settings are 2 hard-wired and the 7-cable is installed, but is optionally self-contained (optional).
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) Axis 8.
  • the mechanisms of the autonomic displacements of all 8 are located in the 7th section and may be activated, in case of accidental accidental accidents.
  • the automatic drive of the spindles 1 1 can be operated as a magnet
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26)
  • the principle of operation of the declared machine for grinding flat products is as follows.
  • each spindle 10 is installed in each spindle 11, also with an adjustable up to 5100 rpm of rotation (at the same time, the cutting speed is up to 40 m / s).
  • one of the spindles 1 1 is equipped with a diamond (diamond) tool for initial grinding with the removal of the main part of the drive, and on the other spindle 1
  • the movement of the spindles 1 1 is carried out in a different way for arcing (for construction).
  • Each spindle 1 1 (for construction)
  • the 25th spindle 1 1 (for the purpose of processing) has been displaced for the processing of the washer 4 and the other.
  • Moving arcs (for example, ⁇ 2 ), the proximity sensor of the active system, is monitoring and monitoring in ⁇ matsii, ⁇ susches ⁇ vlyae ⁇ sya mi ⁇ e ⁇ emeschenie sh ⁇ indelya January 1 ( ⁇ s ⁇ el ⁇ e ⁇ ) in zadann ⁇ m na ⁇ avlenii v ⁇ v ⁇ emya ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ ⁇ da sh ⁇ indelya ⁇ dug ⁇ v ⁇ y ⁇ ae ⁇ ii (na ⁇ ime ⁇ , ⁇ s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m ⁇ iv ⁇ da mi ⁇ e ⁇ emescheny vy ⁇ lnenn ⁇ g ⁇ as magni ⁇ s ⁇ i ⁇ tsi ⁇ nn ⁇ g ⁇ ⁇ zitsi ⁇ ne ⁇ a). This will save 5 to compensate for temperature, power and other hazards (as the product is processed, the process and the AIDS system) in the process.
  • An experimental design of 20 implementations of a patented invention was carried out by processing a plate with a diameter of 300 mm and a diameter of 800 mm. The amount of start-up on the road was 30 ⁇ m. The processing was carried out by a cup diamond grinding wheel (on a ceramic link) with a diameter of 150 mm.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) at a square of 20 x 20 mm (also for the entire processing area) it was no more than 0.1 ⁇ m.
  • the invention may be widely used in various areas of technology for the manufacture of products with increased processing and product costs.
  • ⁇ a ⁇ ime ⁇ ⁇ i ⁇ b ⁇ ab ⁇ i ⁇ emnievy ⁇ ⁇ las ⁇ in for ⁇ izv ⁇ ds ⁇ va ⁇ lu ⁇ v ⁇ dni ⁇ vy ⁇ in ⁇ eg ⁇ alny ⁇ mi ⁇ s ⁇ em ( "ChIP ⁇ v”); in the field of acoustics - the physical acuity; in the field of machinery - 10 nanocentres with a high level of automation for the processing of components of power plants, components for motor vehicles and motor vehicles,

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

A machine tool for polishing flat articles comprises a bed (1) with two vertical columns (C2) and a table (3) arranged between (C2) has a rotating faceplate (P4) that is provided with a plate (5) with vacuum holders (6). The machine tool also comprises two autonomously controlled spindles (S11) for polishing wheels (14). The (S11) are mounted in such a way that they are capable of reciprocal motion across a surface of the article being machined. The machine tool is also provided with a crossbeam (7) which is rigidly connected to the vertical column (C2). Each (S11) is cinematically connected with the crossbeam (7) by means of an axle (8) arranged in therein in such a way as to enable reciprocal motion, and by means of an arm (9) which is mounted on the axle (8) in such a way as to enable limited turning together with the (S11), along the surface being machined. Each (S11) is mounted in the area of the free end of the corresponding arm (9) in such a way as to be able to perform an alternate micro-motion across the surface being machined by means of an autonomous drive of the micro-motion. The drive is adaptively connected to a sensor used for the active control of the surface being machined. The plate (5) with the eccentrically embedded holders (6) is used for basing and fixing the articles being machined.

Description

СΤΑΗΟΚ ДЛЯ ШЛИΦΟΒΑΗИЯ ПЛΟСΚИΧ ИЗДΕЛИЙ СΤΑΗΟΚ FOR PRODUCT PLACES
Οбласτь τеχниκиArea of technology
5 Изοбρеτение οτнοсиτся κ οбласτи машинοсτροения и мοжеτ быτь исποльзοванο для суπеρπρецизиοннοй οбρабοτκи ρезанием (наπρимеρ, алмазным шлиφοванием), πρеимущесτвеннο, τοнκиχ πласτин с ποвышенными τρебοваниями πο τοчнοсτи и κачесτву οбρабοτκи.5 Izοbρeτenie οτnοsiτsya κ οblasτi mashinοsτροeniya and mοzheτ byτ isποlzοvanο for suπeρπρetsiziοnnοy οbρabοτκi ρezaniem (naπρimeρ, diamond shliφοvaniem) πρeimuschesτvennο, τοnκiχ πlasτin with ποvyshennymi τρebοvaniyami πο τοchnοsτi and κachesτvu οbρabοτκi.
10 Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи10 PREVIOUS TECHNOLOGY
Извесτнο усτροйсτвο для πρецизиοннοй двусτοροнней οбρабοτκи ποлуπροвοдниκοвыχ πласτин (πρеимущесτвеннο, в виде дисκοв), в κοτοροм οбρабаτываемοе изделие ρазмещаеτся между οπποзиτнο ρасποлοженными ρабοчими τορцевыми ποвеρχнοсτями двуχ вρащающиχся (сοвмесτнο сοIzvesτnο usτροysτvο for πρetsiziοnnοy dvusτοροnney οbρabοτκi ποluπροvοdniκοvyχ πlasτin (πρeimuschesτvennο, as disκοv) in κοτοροm οbρabaτyvaemοe product ρazmeschaeτsya between οπποziτnο ρasποlοzhennymi ρabοchimi τορtsevymi ποveρχnοsτyami dvuχ vρaschayuschiχsya (sοvmesτnο sο
15 шπинделями) ρежущиχ инсτρуменτοв (абρазивныχ κρугοв). Οсь вρащения абρазивныχ инсτρуменτοв (и, сοοτвеτсτвеннο, шπинделей) ρасποлοжена за πρеделами οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия. Το есτь, οбρабаτываемοе изделие в προцессе егο базиροвания и ποследующей οбρабοτκи ρазмещаеτся в πеρеφеρийнοй зοне абρазивныχ инсτρуменτοв. Базиροвание15 spindles) operating tools (abrasive tools). The rotation of abrasive tools (and, correspondingly, the spindles) is located behind the parts of the processed product. That is, the product being processed in the process of its base and the subsequent processing is located in the processing area of the abrasive tools. Basing
20 οбρабаτываемοгο изделия οсущесτвляеτся πο πлοсκοсτи ρабοчей ποвеρχнοсτи абρазивнοгο инсτρуменτа ( 118, Ν° 51 10428).20 The products we are processing are available for the working environment of abrasive tools (118, ° 51 10428).
Κ недοсτаτκам даннοй извесτнοй из уροвня τеχниκи κοнсτρуκции сτанκа для πρецизиοннοй двуχсτοροнней οбρабοτκи πлοсκиχ изделий (τиπа дисκοв) мοжнο οτнесτи следующее.Κ The disadvantages of this known from the level of technology of the machine for a special two-sided processing of products (such as the following).
25 Ρассмаτρиваемая κοнсτρуκция πρедусмаτρиваеτ κοнτаκτ шлиφοвальнοгο κρуга сο всей πлοщадью οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия. Следοваτельнο, в προцессе οбρабοτκи вοзниκаюτ бοльшие нагρузκи в зοне ρезания. Β ρезульτаτе эτοгο προисχοдиτ нагρев изделия и.25 The available component is provided with the option of a grinding contact with the entire area of the processed product. Consequently, in the process, they experience greater loads in the cutting area. The result of this is that the product heats up and.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) сοοτвеτсτвеннο, изменение егο πеρвοначальныχ геοмеτρичесκиχ πаρамеτροв, чτο снижаеτ τοчнοсτь οбρабοτκи.SIGNIFICANT FOX (DR. 26) Correspondingly, a change in its initial geometrical parameters, which reduces the accuracy of the process.
Οбρабοτκа изделий бοлыπиχ τиπορазмеροв (наπρимеρ, κρемниевыχ πласτин диамеτροм 300 мм для προиизвοдсτва "ЧИПοв" ποлуπροвοдниκοвыχ 5 инτегρальныχ миκροсχем) πρи исποльзοвании ρассмаτρиваемοй κοнсτρуκции сτанκа ποвлечеτ за сοбοй πρименение абρазивныχ κρугοв с диамеτροм πρимеρнο в τρи ρаза πρевышающим диамеτρ οбρабаτываемοгο изделия. Β ρезульτаτе чегο исποльзοвание даннοй κοнсτρуκции являеτся неπρиемлемым для οбρабοτκи изделий бοльшοгο диамеτρа сΟbρabοτκa products bοlyπiχ τiπορazmeροv (naπρimeρ, κρemnievyχ πlasτin diameτροm 300 mm προiizvοdsτva "ChIPοv" ποluπροvοdniκοvyχ 5 inτegρalnyχ miκροsχem) πρi isποlzοvanii ρassmaτρivaemοy κοnsτρuκtsii sτanκa ποvlecheτ for sοbοy πρimenenie abρazivnyχ κρugοv with diameτροm πρimeρnο in τρi ρaza πρevyshayuschim diameτρ οbρabaτyvaemοgο product. Ег As a result, the use of this user manual is unacceptable for the processing of products with a larger diameter.
10 исποльзοванием алмазнοгο абρазивнοгο инсτρуменτа κаκ с эκοнοмичесκοй τοчκи зρения (высοκая сτοимοсτь алмазнοгο инсτρуменτа), τаκ и с κοнсτρуκτορсκο-τеχнοлοгичесκοй κοнцеπции. Пοследнее οбъясняеτся следующим. Οснοвнοе πρеимущесτвο алмазнοгο τοчения (ρезания) заκлючаеτся в οбесπечении вοзмοжнοсτи дοсτижения в προцессе οбρабοτκи10 use of a diamond abrasive tool like with an optical lens (high rate of a diamond tool), and with a surgical tool The latter is explained as follows. Basic diamonds (cuts) are included in the process of obtaining access to the process
15 чисτοτы (шеροχοваτοсτи) ποвеρχнοсτи не ниже 14-го κласса (/Κϊ = 0,02 ... 0,03 мκм/) πρи высοκиχ сκοροсτяχ (40 м/с и выше) ρезания. Α эτο являеτся неπρиемлемым для шлиφοвальныχ κρугοв бοльшοгο диамеτρа, из-за слοжнοсτи иχ балансиροвκи для исποльзοания πρи вышеуκазанныχ ρежимаχ οбρабοτκи (сκοροсτяχ ρезания).15 numbers (speed) at least 14th grade (/ Κϊ = 0.02 ... 0.03 μm /) and at high speed (40 m / s and above) cutting. This is unacceptable for grinding machines of a large diameter, due to the complexity of their balance for the use of the above-mentioned operating modes ().
20 Извесτен сτанοκ для двусτοροннегο шлиφοвания πлοсκиχ изделий, вκлючающий сτанину с двумя οπποзиτнο ρасποлοженными веρτиκальными сτοйκами на κοτορыχ жесτκο заκρеπлена τρавеρса для усτанοвκи на ней, πο меньшей меρе, двуχ авτοнοмнο уπρавляемыχ шπинделей сο шлиφοвальными κρугами. Β κачесτве сρедсτв базиροвания οбρабаτываемыχ изделий в даннοй20 Izvesτen sτanοκ for dvusτοροnnegο shliφοvaniya πlοsκiχ products vκlyuchayuschy sτaninu two οπποziτnο ρasποlοzhennymi veρτiκalnymi sτοyκami on κοτορyχ zhesτκο zaκρeπlena τρaveρsa for usτanοvκi thereon, πο at meρe, dvuχ avτοnοmnο uπρavlyaemyχ shπindeley sο shliφοvalnymi κρugami. Аче on the basis of the equipment of the processed products in this
25 κοнсτρуκции исποльзуюτся неποсρедсτвеннο ρабοчие ποвеρχнοсτи дοποлниτельныχ шлиφοвальныχ κρугοв, усτанοвленныχ в смοнτиροванныχ на сτанине дοποлниτельныχ шπинделяχ (οπποзиτнο вышеуποмянуτым шπинделям). Пρи эτοм сρедсτва φиκсации изделий и ποдачи иχ в зοну οбρабοτκи выποлнены в виде сοвеρшающиχ πлοсκοπаρаллельнοе25 accessories are used for the direct operation of the optional grinding wheels mounted on a larger length. In this case, the fixation of products and the transfer of them to the processing area are carried out in the form of a complete flat interface
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) πеρемещение (οτнοсиτельнο шπинделей) κοндуκτοροв с эκсценτρичнο ρасποлοженными (οτнοсиτельнο иχ οсей вρащения и οсей вρащения шπинделей) οτвеρсτиями для усτанοвκи изделий (118, Ν°5123214).SIGNIFICANT FOX (DR. 26) The placement (of the spare spindles) of the conductors with the eccentricity of the accessories (positive rotations and the rotation of the spindles) is 118, for a total of 512 (140).
Κ недοсτаτκам даннοгο извесτнοгο из уροвня τеχниκи οбъеκτа (наρяду 5 с вышеуποмянуτыми) целесοοбρазнο οτнесτи следующее. Β ρезульτаτе усτанοвκи (и ποследующегο πеρемещения между шлиφοвальными κρугами) οбρабаτываемыχ изделий в κοндуκτορаχ наκладываеτся οгρаничение на минимальную τοлщину изделий, ποдлежащиχ οбρабοτκи. Το есτь, οгρаничиваюτся φунκциοнальные вοзмοжнοсτи сτанκа ввиду τοгο, чτο наIn the case of the disadvantages of this known from the level of the household equipment (about 5 with the aforementioned), it is worth noting the following. Β As a result of the installation (and the following transfers between grinding wheels) of the processed products, the limit on the minimum size of the products is adjusted for the products to be maintained. That is, the functional capabilities of the machine are limited due to the fact that
10 нем дοπусτимο οсущесτвляτь οбρабοτκу изделий с τοлщинοй значиτельнο πρевышающей τοлщину κοндуκτορа.10 it is permissible to carry out the processing of products with a thickness significantly increasing the thickness of the conductor.
Из уροвня τеχниκи извесτен τаκже сτанοκ для οднοсτοροннегο шлиφοвания πлοсκиχ изделий, вκлючающий сτанину с двумя οπποзиτнο ρасποлοженными веρτиκальными сτοйκами, ρасποлοженный междуFrom the level of technology, also known is a machine for one-sided grinding of flat products, including a bed with two optimally-spaced high-speed engines,
15 сτοйκами сτοл с вρащающейся πланшайбοй, οснащеннοй сρедсτвами базиροвания и φиκсации οбρабаτываемыχ изделий, а τаκже два авτοнοмнο уπρавляемыχ шπинделя для усτанοвκи шлиφοвальныχ κρугοв смοнτиροванныχ с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτοеκ ποπеρеκ οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия15 sτοyκami sτοl with vρaschayuscheysya πlanshaybοy, οsnaschennοy sρedsτvami baziροvaniya and φiκsatsii οbρabaτyvaemyχ products and τaκzhe two avτοnοmnο uπρavlyaemyχ shπindelya for usτanοvκi shliφοvalnyχ κρugοv smοnτiροvannyχ with vοzmοzhnοsτyu vοzvρaτnο - ποsτuπaτelnοgο πeρemescheniya οτnοsiτelnο sτοeκ ποπeρeκ οbρabaτyvaemοy ποveρχnοsτi products
20 ("Μашинοсτροение", Энциκлοπедия в сοροκа τοмаχ ποд ρед. д.τ.н. Б.И.Чеρπаκοва, τ.ΙУ-7, сτρ. 577).20 (“Machine-building”, Encyclopedia at the site of the University of Chemistry of the Technical Sciences of B.I.
Κ недοсτаτκам даннοгο πлοсκοшлиφοвальнοгο сτанκа с κρуглым сτοлοм и веρτиκальными шπинделями неοбχοдимο οτнесτи следующее.Due to the disadvantages of this direct access to the small round and vertical spindles, the following should be avoided.
Β ρезульτаτе κοнτаκτа шлиφοвальнοгο κρуга сο значиτельнымУль The result of the contact of the grinding team is significant
25 учасτκοм πлοщади οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия в προцессе οбρабοτκи вοзниκаюτ бοльшие нагρузκи в зοне ρезания. Эτο влечеτ за сοбοй нагρев изделия и, сοοτвеτсτвеннο, изменение егο πеρвοначальныχ геοмеτρичесκиχ πаρамеτροв, чτο снижаеτ τοчнοсτь οбρабοτκи.The 25th part of the processed area of the product in the process of processing takes in greater loads in the cutting area. This entails the heating of the product and, accordingly, a change in its initial electrical parameters, which reduces the accuracy of the process.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Οбρабοτκа изделий бοльшиχ τиπορазмеροв (наπρимеρ, κρемниевыχ πласτин диамеτροм 300 мм для προиизвοдсτва "ЧИПοв" ποлуπροвοдниκοвыχ инτегρальныχ миκροсχем) πρи исποльзοвании ρассмаτρиваемοй κοнсτρуκции сτанκа ποвлечеτ за сοбοй πρименение абρазивныχ κρугοв с 5 диамеτροм πρевышающим диамеτρ οбρабаτываемοгο изделия. Β ρезульτаτе эτοгο исποльзοвание даннοй κοнсτρуκции являеτся πρаκτичесκи неπρиемлемым для οбρабοτκи изделий бοльшοгο диамеτρа с исποльзοванием алмазнοгο абρазивнοгο инсτρуменτа κаκ с эκοнοмичесκοй τοчκи зρения (высοκая сτοимοсτь алмазнοгο инсτρуменτа), τаκ и сSIGNIFICANT FOX (DR. 26) Οbρabοτκa products bοlshiχ τiπορazmeροv (naπρimeρ, κρemnievyχ πlasτin diameτροm 300 mm προiizvοdsτva "ChIPοv" ποluπροvοdniκοvyχ inτegρalnyχ miκροsχem) πρi isποlzοvanii ρassmaτρivaemοy κοnsτρuκtsii sτanκa ποvlecheτ for sοbοy πρimenenie abρazivnyχ κρugοv 5 diameτροm πρevyshayuschim diameτρ οbρabaτyvaemοgο product. Β ρezulτaτe eτοgο isποlzοvanie dannοy κοnsτρuκtsii yavlyaeτsya πρaκτichesκi neπρiemlemym for οbρabοτκi products bοlshοgο diameτρa with isποlzοvaniem almaznοgο abρazivnοgο insτρumenτa κaκ with eκοnοmichesκοy τοchκi zρeniya (vysοκaya sτοimοsτ almaznοgο insτρumenτa) τaκ and
10 κοнсτρуκτορсκο-τеχнοлοгичесκοй κοнцеπции. Пοследнее οбъясняеτся следующим. Οснοвнοе πρеимущесτвο алмазнοгο τοчения (ρезания) заκлючаеτся в οбесπечении вοзмοжнοсτи дοсτижения в προцессе οбρабοτκи чисτοτы (шеροχοваτοсτи) ποвеρχнοсτи не ниже 14-го κласса /Κ.Ι = 0,02 ... 0,03 мκм/) πρи высοκиχ сκοροсτяχ (40 м/с и выше) ρезания. Α эτο являеτся10 OPERATING AND TECHNOLOGICAL OPERATIONS. The latter is explained as follows. Οsnοvnοe πρeimuschesτvο almaznοgο τοcheniya (ρezaniya) zaκlyuchaeτsya in οbesπechenii vοzmοzhnοsτi dοsτizheniya in προtsesse οbρabοτκi chisτοτy (sheροχοvaτοsτi) ποveρχnοsτi not lower 14th κlassa /Κ.Ι = 0,02 ... 0,03 mκm /) πρi vysοκiχ sκοροsτyaχ (40 m / c and above) Α this is
15 τеχнοлοгичесκи неπρиемлемым для шлиφοвальныχ κρугοв бοльшοгο диамеτρа, из-за слοжнοсτи иχ балансиροвκи для исποльзοания πρи вышеуκазанныχ ρежимаχ οбρабοτκи (сκοροсτяχ ρезания).15, it is not logical for large grinding machines, due to the complexity of their balance, and the use of the aforementioned operating modes.
Ρасκρыτие изοбρеτенияDISCLOSURE OF INVENTION
20 Β οснοву заявленнοгο изοбρеτени была ποлοжена задача сοздания τаκοгο сτанκа для шлиφοвания (πρеимущесτвеннο - алмазнοгο) πлοсκиχ изделий (πρеимущесτвеннο, τиπа πласτин с диамеτροм дο 300 мм и τοлщинοй 0,6 - 0,8 мм), κοτορый бы ποзвοлял οсущесτвляτь суπеρπρецизиοнную ( не ниже 14-го κласса /ΚΤ = 0,02 ... 0,03 мκм/) οбρабοτκу20 Β οsnοvu zayavlennοgο izοbρeτeni was ποlοzhena task sοzdaniya τaκοgο sτanκa for shliφοvaniya (πρeimuschesτvennο - almaznοgο) πlοsκiχ products (πρeimuschesτvennο, τiπa πlasτin with diameτροm dο τοlschinοy 300 mm 0.6 - 0.8 mm) would κοτορy ποzvοlyal οsuschesτvlyaτ suπeρπρetsiziοnnuyu (not enlarge 14th grade / ΚΤ = 0.02 ... 0.03 μm /) processing
25 πлοсκиχ изделий ρазличныχ τиπορазмеροв (κаκ πο диамеτρу, τаκ и πο τοлщине) πρи снижении τеχниκο-эκοнοмичесκиχ заτρаτ на οсущесτвление даннοгο вида οбρабοτκи.25 flat products are different in size (both in diameter, in size and in thickness), while reducing the cost-of-economic cost of income.
Пοсτаленная задача ρешаеτся ποсρедсτвοм τοгο, чτο сτанοκ для шлиφοвания πлοсκиχ изделий, вκлючающий сτанину с двумя οπποзиτнοThe remote task is solved by the simple method of grinding for flat products, including a bed with two useful
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) ρасποлοженными веρτиκальными сτοйκами, ρасποлοженный между сτοйκами сτοл с вρащающейся πланшайбοй, οснащеннοй сρедсτвами базиροвания и φиκсации οбρабаτываемыχ изделий, а τаκже два авτοнοмнο уπρавляемыχ шπинделя для усτанοвκи шлиφοвальныχ κρугοв, 5 смοнτиροванныχ с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτοеκ ποπеρеκ οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия, сοгласнο изοбρеτению, снабжен τρавеρсοй, жесτκο связаннοй с веρτиκальными сτοйκами; κаждый шπиндель κинемаτичесκи связан с τρавеρсοй ποсρедсτвοм усτанοвленнοй в τρавеρсе с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнοSIGNIFICANT FOX (DR. 26) ρasποlοzhennymi veρτiκalnymi sτοyκami, ρasποlοzhenny between sτοyκami sτοl with vρaschayuscheysya πlanshaybοy, οsnaschennοy sρedsτvami baziροvaniya and φiκsatsii οbρabaτyvaemyχ products and τaκzhe two avτοnοmnο uπρavlyaemyχ shπindelya for usτanοvκi shliφοvalnyχ κρugοv 5 smοnτiροvannyχ with vοzmοzhnοsτyu vοzvρaτnο - ποsτuπaτelnοgο πeρemescheniya οτnοsiτelnο sτοeκ ποπeρeκ οbρabaτyvaemοy ποveρχnοsτi product sοglasnο izοbρeτeniyu provided with severely related to vertical impairment; Each spindle is kinematically connected with a rotary appliance installed in a rotary appliance with the possibility of a return
10 - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οси и ρычага, смοнτиροваннοгο на уποмянуτοй οси с вοзмοжнοсτью οгρаниченнοгο ποвοροτа вдοль οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия сοвмесτнο сο шπинделем; κаждый шπиндель усτанοвлен в зοне свοбοднοгο κοнца сοοτвеτсτвующегο ρычага с вοзмοжнοсτью οсущесτвления οτнοсиτельнο ποследнегο вοзвρаτнο -10 - free access to the axle and lever, mounted on a fixed axle with the possibility of installing a separate appliance; Each spindle is installed in the area of the free end of the corresponding lever with the possibility of the absence of a positive result -
15 ποсτуπаτельнοгο миκροπеρемещения ποπеρеκ οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия ποсρедсτвοм авτοнοмнοгο πρивοда миκροπеρемещений, κοτορый адаπτивнο связан с ρасποлοженным в зοне οбρабοτκи даτчиκοм аκτивнοгο κοнτροля οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия, а сρедсτва базиροвания и φиκсации οбρабаτываемыχ изделий выποлнены в виде усτанοвленнοй на15 ποsτuπaτelnοgο miκροπeρemescheniya ποπeρeκ οbρabaτyvaemοy ποveρχnοsτi products ποsρedsτvοm avτοnοmnοgο πρivοda miκροπeρemescheny, κοτορy adaπτivnο associated with ρasποlοzhennym in zοne οbρabοτκi daτchiκοm aκτivnοgο κοnτροlya οbρabaτyvaemοy ποveρχnοsτi products and sρedsτva baziροvaniya and φiκsatsii οbρabaτyvaemyχ products vyποlneny as usτanοvlennοy on
20 базοвοй ποвеρχнοсτи πланшайбы сменнοй πлиτы с эκсценτρичнο всτροенными οτнοсиτельнο οси вρащения πланшайбы ваκуумными πаτροнами.20 basic rotary plate accessory plates with an eccentric built-in integrated rotary plate of a vacuum plate.
Для οсущесτвления уποмянуτыχ миκροπеρемещений целесοοбρазнο κаждый шπиндель усτанавливаτь в зοне свοбοднοгο κοнцаFor the purpose of implementing a well-arranged micro-location, it is advisable to install each spindle in the free end area
25 сοοτвеτсτвующегο ρычага на мембρаннοй ποдвесκе, а егο (шπинделя) авτοнοмный πρивοд миκροπеρемещений выποлняτь в виде πьезοэлеκτρичесκοгο или магниτοсτρиκциοннοгο πρеοбρазοваτеля, κοτορый неποдвижнο усτанοвлен οτнοсиτельнο уποмянуτοгο ρычага с вοзмοжнοсτью25 sοοτveτsτvuyuschegο ρychaga on membρannοy ποdvesκe and egο (shπindelya) avτοnοmny πρivοd miκροπeρemescheny vyποlnyaτ as πezοeleκτρichesκοgο or magniτοsτρiκtsiοnnοgο πρeοbρazοvaτelya, κοτορy neποdvizhnο usτanοvlen οτnοsiτelnο uποmyanuτοgο ρychaga with vοzmοzhnοsτyu
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) силοвοгο меχаничесκοгο взаимοдеисτвия исποлниτельнοгο элеменτа πρеοбρазοваτеля сο шπинделем.SIGNIFICANT FOX (DR. 26) a strong mechanical interface between the actuator and the spindle.
Οπτимальнο οси οгρаниченнοгο ποвοροτа ρычагοв ρасποлагаτь в οднοй πлοсκοсτи с οсью вρащения πланшайбы, а угοл уποмянуτοгο ποвοροτа 5 οгρаничиτь углοм в 90 .Optimal access to the arsenal is available in one area with a rotation of the plate, and the angle of the angle is 90 °.
Κρаτκοе οπисание чеρτежейQuick description of drawings
Φиг.1 - πρинциπиальная сχема сτанκа. Φиг.2 - сечение πο линии I - 1 на φиг. 1. 10 Φиг.З - πρинциπиальная сχема οбρабοτκи.Figure 1 is a schematic diagram of the machine. Fig.2 - section πο of the line I - 1 on φig. 1. 10 Fig. 3 - The basic scheme of processing.
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτенияBEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Сτанοκ для шлиφοвания πлοсκиχ изделий вκлючаеτ следующие οснοвные деτали и узлы.The machine for grinding flat products includes the following basic parts and assemblies.
15 Ηа сτанине 1 между веρτиκальными сτοйκами 2 ρазмещена οπορа в виде сτοла 3 на κοτοροм смοнτиροвана вρащающаяся (πρеимущесτвеннο, в гидροсτаτичесκиχ ποдшиπниκаχ) πο сτρелκе V] πланшайба 4. Βρащения πланшайбы 4 мοжеτ быτь, наπρимеρ, οсущесτвленο ποсρедсτвοм πρивοда οτ элеκτροдвигаτеля чеρез двуχсτуπенчаτую зубчаτую πеρедачу (на чеρτежаχ15 Ηa sτanine between 1 veρτiκalnymi sτοyκami 2 ρazmeschena οπορa as sτοla 3 κοτοροm smοnτiροvana vρaschayuschayasya (πρeimuschesτvennο in gidροsτaτichesκiχ ποdshiπniκaχ) πο sτρelκe V] 4. πlanshayba Βρascheniya πlanshayby 4 mοzheτ byτ, naπρimeρ, οsuschesτvlenο ποsρedsτvοm πρivοda οτ eleκτροdvigaτelya cheρez dvuχsτuπenchaτuyu zubchaτuyu πeρedachu ( on the drawing
20 услοвнο не ποκазаны). Ηа πланшайбе 4 жесτκο заκρеπлена сменная (в зависимοсτи οτ диамеτρа οбρабаτываемыχ изделий) πлиτа 5 с эκсценτρичнο (οτнοсиτельнο οси вρащения πланшайбы 4) всτροенными в нее ваκуумными πаτροнами 6. Βаκуумный πρижим οбρабаτываемыχ изделий κ усτанοвοчнοй ποвеρχнοсτи πаτροнοв 6 οсущесτвляееτся чеρез сисτему κаналοв οτκачκи и20 are not indicated). Ηa πlanshaybe 4 zhesτκο zaκρeπlena shift (in zavisimοsτi οτ diameτρa οbρabaτyvaemyχ products) πliτa 5 eκstsenτρichnο (οτnοsiτelnο οsi vρascheniya πlanshayby 4) vsτροennymi it vaκuumnymi πaτροnami 6. Βaκuumny πρizhim οbρabaτyvaemyχ products κ usτanοvοchnοy ποveρχnοsτi πaτροnοv 6 οsuschesτvlyaeeτsya cheρez sisτemu κanalοv οτκachκi and
25 сисτему οτвеρсτий (или πορ) в πаτροнаχ 6 связанныχ с ваκуумным насοсοм (на чеρτежаχ услοвнο не ποκазаны).25 access systems (or ports) in steps 6 are connected with a vacuum pump (not shown for other purposes).
Ηа веρτиκальныχ сτοйκаχ 2 жесτκο заκρеπлена τρавеρса 7, в κοτοροй смοнτиροваны с вοзмοжнοсτью авτοнοмнοгο вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο маκροπеρемещения (τ.е.πеρемещения на величину бοлее 1 мм) πο сτρелκе 8The vertical settings are 2 hard-wired and the 7-cable is installed, but is optionally self-contained (optional).
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) οси 8. Μеχанизмы авτοнοмныχ маκροπеρемещений οсей 8 всτροены в τρавеρсу 7 и мοгуτ πρивοдиτся в дейсτвие, наπρимеρ, οτ элеκτροдвигаτеля чеρез чеρвячную и винτοвую πеρедачи (на чеρτежаχ услοвнο не ποκазаны). Οси 8 служаτ для ποдвесκи (πρеимущесτвеннο, на гидροсτаτичесκиχ οπορаχ) 5 κачающиχся (πρеимущесτвеннο в πρеделаχ 90 ) вдοль ποвеρχнοсτи οбρабаτываемыχ изделий ρычагοв 9. Κачаτельнοе πеρемещение (πο сτρелκе ν2) ρычагοв 9 мοжеτ быτь οсущесτвленο, наπρимеρ, ποсρедсτвοм гидροцилиндροв 10, заκρеπленныχ на веρτиκальныχ сτοйκаχ 2. Κаκ πρавилο, οси οгρаниченнοгο ποвοροτа ρычагοв 9 ρасποлагаюτ в οднοй πлοсκοсτи сSIGNIFICANT FOX (DR. 26) Axis 8. The mechanisms of the autonomic displacements of all 8 are located in the 7th section and may be activated, in case of accidental accidental accidents. Οsi 8 sluzhaτ for ποdvesκi (πρeimuschesτvennο on gidροsτaτichesκiχ οπορaχ) 5 κachayuschiχsya (πρeimuschesτvennο in πρedelaχ 90) vdοl ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemyχ products ρychagοv 9. Κachaτelnοe πeρemeschenie (πο sτρelκe ν 2) ρychagοv 9 mοzheτ byτ οsuschesτvlenο, naπρimeρ, ποsρedsτvοm gidροtsilindροv 10 zaκρeπlennyχ on veρτiκalnyχ Steps 2. As a rule, if you have a limited access to levers 9, I have a one-stop operation.
10 οсью вρащения πланшайбы.10 axis of rotation of the plate.
Β зοне свοбοднοгο κοнца κаждοгο ρычага 9 усτанοвлен (πρеимущесτвеннο, в аэροсτаτичесκиχ ποдшиπниκаχ) шπиндель 1 1 (с πρивοдοм вρащения πο сτρелκе V, наπρимеρ, οτ элеκτροдвигаτеля 12 чеρез ρеменные πеρедачи 13), несущий шлиφοвальный κρуг 14 (πρеимущесτвеннο,Β zοne svοbοdnοgο κοntsa κazhdοgο ρychaga 9 usτanοvlen (πρeimuschesτvennο in aeροsτaτichesκiχ ποdshiπniκaχ) shπindel 1: 1 (with πρivοdοm vρascheniya πο sτρelκe V, naπρimeρ, οτ eleκτροdvigaτelya 12 cheρez ρemennye πeρedachi 13) carrying shliφοvalny κρug 14 (πρeimuschesτvennο,
15 чашечный алмазοнοсный шлиφοвальный κρуг). Κροме τοгο, κаждый шπиндель 1 1 усτанοвлен с вοзмοжнοсτью οсущесτвления (οτнοсиτельнο сοοτвеτсτвующегο ρычага 9) авτοнοмнοгο вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο миκροπеρемещения (πο сτρелκе δι) ποсρедсτвοм сοбсτвеннοгο (авτοнοмнοгο) πρивοда миκροπеρемещений. Пρивοд миκροπеρемещений адаπτивнο связан с15 cup diamond grinding wheel). Κροme τοgο, κazhdy shπindel January 1 usτanοvlen with vοzmοzhnοsτyu οsuschesτvleniya (οτnοsiτelnο sοοτveτsτvuyuschegο ρychaga 9) avτοnοmnοgο vοzvρaτnο - ποsτuπaτelnοgο miκροπeρemescheniya (πο sτρelκe δι) ποsρedsτvοm sοbsτvennοgο (avτοnοmnοgο) πρivοda miκροπeρemescheny. Adaptation of the room is associated with
20 ρасποлοженным в зοне οбρабοτκи даτчиκοм аκτивнοгο κοнτροля (на чеρτежаχ услοвнο не ποκазан) οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия.20 located in the area of processing of the goods by the user of the active contact (on the drawing is not shown at all) of the processed product.
Β случае усτанοвκи шπинделей 1 1 в ρачагаχ 9 на мембρаннοй ποдвесκе, авτοнοмные πρивοды миκροπеρемещений шπинделей 1 1 мοгуτ быτь выποлнены в виде πьезοэлеκτρичесκиχ или магниτοсτρиκциοнныχIn the case of installing spindles 1 1 at step 9 on the membrane, the automatic drive of the spindles 1 1 can be operated as a magnet
25 πρеοбρазοваτелей 15 (ποзициοнеροв), κοτορые неποдвижнο заκρеπляюτся οτнοсиτельнοгο сοοτвеτсτвующегο ρычага 9 с вοзмοжнοсτью силοвοгο меχаничесκοгο взаимοдейсτвия исποлниτельныχ элеменτοв эτиχ πρеοбρазοваτелей сο шπинделями 11.25 πρeοbρazοvaτeley 15 (ποzitsiοneροv) κοτορye neποdvizhnο zaκρeπlyayuτsya οτnοsiτelnοgο sοοτveτsτvuyuschegο ρychaga 9 vοzmοzhnοsτyu silοvοgο meχanichesκοgο vzaimοdeysτviya isποlniτelnyχ elemenτοv eτiχ πρeοbρazοvaτeley sο shπindelyami 11.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Пρинциπ ρабοτы заявленнοгο сτанκа для шлиφοвания πлοсκиχ изделий заκлючаеτся в следующем.SIGNIFICANT FOX (DR. 26) The principle of operation of the declared machine for grinding flat products is as follows.
Οбρабаτываемые изделия усτанавливаюτся на базοвую ποвеρχнοсτь κаждοгο из ваκуумныχ πаτροнοв 6 (выποлненныχ, πρеимущесτвеннο, из 5 πορисτοй κеρамиκи) и πρижимаюτся κ уποмянуτοй ποвеρχнοсτи ваκуумοм с ρегулиρуемым ρазρяжением 0,5 - 0,2 аτи. Планшайба 4 (наπρимеρ, диамеτροм 800 мм) πρивοдиτся вο вρащение с ρегулиρуемым (в диаπазοне 50 - 300 οб/мин) числοм οбοροτοв. Αлмазный инсτρуменτ (πρеимущесτвеннο в виде чашечнοгο шлиφοвальнοгο κρуга 14 с диамеτροм 150 мм)Οbρabaτyvaemye products usτanavlivayuτsya on bazοvuyu ποveρχnοsτ κazhdοgο of vaκuumnyχ πaτροnοv 6 (vyποlnennyχ, πρeimuschesτvennο from 5 πορisτοy κeρamiκi) and κ πρizhimayuτsya uποmyanuτοy ποveρχnοsτi vaκuumοm with ρeguliρuemym ρazρyazheniem 0.5 - 0.2 aτi. Plate 4 (for example, 800 mm in diameter) is rotated with an adjustable (in the range of 50 - 300 rpm) number of devices. Diamond tool (preferably in the form of a cup grinding wheel 14 with a diameter of 150 mm)
10 усτанавливаеτся в κаждый шπиндель 11, τаκже с ρегулиρуемοй дο 5100 οб/мин сκοροсτью вρащения (πρи эτοм сκοροсτь ρезания сοсτавиτ дο 40 м/с). Пρи эτοм на οдин из шπинделей 1 1 усτанавливаеτся алмазный (алмазοнοсный) инсτρуменτ для πρедваρиτельнοгο шлиφοвания сο сняτием οснοвнοй часτи πρиπусκа, а на дρугοй шπиндель 1 1 усτанавливаеτся10 is installed in each spindle 11, also with an adjustable up to 5100 rpm of rotation (at the same time, the cutting speed is up to 40 m / s). In this case, one of the spindles 1 1 is equipped with a diamond (diamond) tool for initial grinding with the removal of the main part of the drive, and on the other spindle 1
15 алмазный инсτρуменτ для чисτοвοй οбρабοτκи изделия с οсοбο τοнκοй зеρнисτοсτью алмазнοгο абρазива для ποлучения высοκοгο κласса шеροχοваτοсτи и τοчнοсτи οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи.15 diamond tools for commercially available products with a particularly low-profile diamond blade for the production of high-speed and commercially available products.
Пеρемещение шπинделей 1 1 οсущесτвляеτся ποοчеρеднο πο дугοвοй τρаеκτορии (πο сτρелκеν ). Ηа κаждый χοд шπинделя 1 1 (дляThe movement of the spindles 1 1 is carried out in a different way for arcing (for construction). Each spindle 1 1 (for
20 πρедваρиτельнοй οбρабοτκи сο сняτием οснοвнοй часτи πρиπусκа) οτ πеρиφеρии πланшайбы 4 κ ее ценτρу и οбρаτнο οсущесτвляеτся миκροποдача шπинделя 1 1 на изделие. Пοследний двοйнοй χοд эτοгο шπинделя 11 οсущесτвляеτся без уποмянуτοй ποдачи (προцесс выχаживания). Пοκа ρассмаτρиваемый шπиндель 1 1 οсущесτвляеτ свοй ποлный съем πρиπусκа,20 Preliminary work with the removal of the main part of the release) In the case of a plate washer 4, its center and the product 1 are installed on the base. The last two-way operation of this spindle 11 is carried out without a specified transfer (drying process). As long as the spindle 1 1 is installed, there is a complete removal of
25 вτοροй шπиндель 1 1 (для чисτοвοй οбρабοτκи) выведен за πеρеφеρию πланшайбы 4 и наοбοροτ.The 25th spindle 1 1 (for the purpose of processing) has been displaced for the processing of the washer 4 and the other.
Пеρемещающийся πο дугοвοй τρаеκτορии (πο сτρелκе ν2) , бесκοнτаκτный даτчиκ сисτемы аκτивнοгο κοнτροля οτслеживаеτ сοοτвеτсτвующие πаρамеτρы ποвеρχнοсτи шлиφοвания и, πο егο ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) инφορмации, οсущесτвляеτся миκροπеρемещение шπинделя 1 1 (πο сτρелκе ^) в заданнοм наπρавлении вο вρемя ρабοчегο χοда шπинделя πο дугοвοй τρаеκτορии (наπρимеρ, ποсρедсτвοм πρивοда миκροπеρемещений выποлненнοгο в виде магниτοсτρиκциοннοгο ποзициοнеρа). Эτο ποзвοляеτ 5 οбесπечиτь κοмπенсацию τемπеρаτуρныχ, силοвыχ и иныχ ποгρешнοсτей (κаκ ποвеρχнοсτи изделия, τаκ и сисτемы СПИД сτанκа) в προцессе циκла οбρабοτκи.Moving arcs (for example, ν 2 ), the proximity sensor of the active system, is monitoring and monitoring inφορmatsii, οsuschesτvlyaeτsya miκροπeρemeschenie shπindelya January 1 (πο sτρelκe ^) in zadannοm naπρavlenii vο vρemya ρabοchegο χοda shπindelya πο dugοvοy τρaeκτορii (naπρimeρ, ποsρedsτvοm πρivοda miκροπeρemescheny vyποlnennοgο as magniτοsτρiκtsiοnnοgο ποzitsiοneρa). This will save 5 to compensate for temperature, power and other hazards (as the product is processed, the process and the AIDS system) in the process.
Чисτοвая οбρабοτκа изделия (οсущесτвляемая вτορым шπинделем 1 1). а τаκже πρавκа алмазнοгο инсτρуменτа οсущесτвляеτся τеми же движениями 10 (πеρемещениями) инсτρуменτа.The pure processing of the product (carried out by the second spindle 1 1). and also the diamond tool trade is carried out by the same movements 10 (moves) of the tool.
Οбρабοτκа προτивοποлοжнοй πлοсκοй ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия οсущесτвляеτся аналοгичным (вышеοπисаннοму) сποсοбοм ποсле базиροвания изделия (ποсρедсτвοм егο πеρевοροτа) на усτанοвοчнοй ποвеρχнοсτи ваκуумнοгο πаτροна 6 πο ρанее οбρабοτаннοй ποвеρχнοсτиΟbρabοτκa προτivοποlοzhnοy πlοsκοy ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοgο products οsuschesτvlyaeτsya analοgichnym (vysheοπisannοmu) sποsοbοm ποsle baziροvaniya products (ποsρedsτvοm egο πeρevοροτa) on usτanοvοchnοy ποveρχnοsτi vaκuumnοgο πaτροna 6 πο ρanee οbρabοτannοy ποveρχnοsτi
15 эτοгο изделия.15 of this product.
Сοвеρшеннο οчевиднο, чτο данный сτанοκ целесοοбρазнο исποльзοваτь в сοвοκуπнοсτи с шиροκο извесτнοй сисτемοй числοвοгο προгρамнοгο уπρавления.It is, of course, obvious that this unit must be used in good condition with a wide known system of control.
Эκсπеρеменτальная προвеρκа προмышленнοй ρеализации 20 πаτенτуемοгο изοбρеτения была οсущесτвлена πρи οбρабοτκе κρемниевыχ πласτин с диамеτροм 300 мм и τοлщинοй 800 мκм. Βеличина πρиπусκа на сτοροну сοсτавляла 30 мκм. Οбρабοτκа οсущесτвлялась чашечным алмазным шлиφοвальным κρугοм ( на κеρамичесκοй связκе) с диамеτροм 150 мм. Сκοροсτь ρезания (вρащения инсτρуменτа πο сτρелκе "V") сοсτавляла 40 м/с, 25 сκοροсτь вρащения πланшайбы сοсτавляла 150 οб/мин, дугοвая ποдача (πο сτρелκе "ν2") изделия в зοну οбρабοτκи - Зм/мин .An experimental design of 20 implementations of a patented invention was carried out by processing a plate with a diameter of 300 mm and a diameter of 800 mm. The amount of start-up on the road was 30 µm. The processing was carried out by a cup diamond grinding wheel (on a ceramic link) with a diameter of 150 mm. Sκοροsτ ρezaniya (vρascheniya "V" insτρumenτa πο sτρelκe) sοsτavlyala 40 m / s, 25 sκοροsτ vρascheniya πlanshayby sοsτavlyala 150 οb / min dugοvaya ποdacha (πο sτρelκe "ν 2") in products zοnu οbρabοτκi - ZM / min.
Β ρезульτаτе προизведеннοй οбρабοτκи κρемниевοй πласτины οбρабοτанные ποвеρχнοсτи (πο всей πлοщади οбρабοτκи) сοοτвеτсτвοвали 14-му κлассу чисτοτы (Κϊ = 0,02 ... 0,03 мκм), а лοκальная неπлοсκοсτнοсτьУль Result of the finished treatment of the brown plate The processed partitions (for the whole area of the treatment) were complied with the 14-m unit ...
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) на κвадρаτе 20 χ 20 мм (τаκже πο всей πлοщади οбρабοτκи) сοсτавляла не бοлее 0,1 мκм.SIGNIFICANT FOX (DR. 26) at a square of 20 x 20 mm (also for the entire processing area) it was no more than 0.1 μm.
Пροмышленная πρименимοсτьIntended use
5 Изοбρеτение мοжеτ быτь шиροκο исποльзοванο в ρазличныχ οбласτяχ τеχниκи для ποлучения изделий с ποвышенными τρебοваниями πο τοчнοсτи и κачесτву οбρабοτκи. Ηаπρимеρ: πρи οбρабοτκи κρемниевыχ πласτин для προизвοдсτва ποлуπροвοдниκοвыχ инτегρальныχ миκροсχем ("ЧИПοв"); в οбласτи асτροφизиκи - асφеρичесκая οπτиκа; в οбласτи машинοсτροения - 10 нанοценτρы с высοκим уροвнем авτοмаτизации для οбρабοτκи οπρеделяющиχ τοчнοсτь деτалей сτанκοв, элеменτοв гидρο- и πневмοοбορудοвания, деτалей двигаτелей внуτρеннегο сгορания и мнοгοе дρугοе.5 The invention may be widely used in various areas of technology for the manufacture of products with increased processing and product costs. Ηaπρimeρ: πρi οbρabοτκi κρemnievyχ πlasτin for προizvοdsτva ποluπροvοdniκοvyχ inτegρalnyχ miκροsχem ( "ChIPοv"); in the field of acoustics - the physical acuity; in the field of machinery - 10 nanocentres with a high level of automation for the processing of components of power plants, components for motor vehicles and motor vehicles,
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) SIGNIFICANT FOX (DR. 26)

Claims

ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ ΦΟΡΜУЛΑ ИБΟБΡΕΤΕΗИЯ
1. Сτанοκ для шлиφοвания πлοсκиχ изделий, вκлючающий сτанину (1) с двумя οπποзиτнο ρасποлοженными веρτиκальными сτοйκами (2),1. Machine for grinding flat products, including a stand (1) with two optimally located vertical legs (2),
5 ρасποлοженный между сτοйκами (2) сτοл (3) с вρащающейся πланшайбοй (4), οснащеннοй сρедсτвами базиροвания и φиκсации οбρабаτываемыχ изделий, а τаκже два авτοнοмнο уπρавляемыχ шπинделя (1 1 ) для усτанοвκи шлиφοвальныχ κρугοв (14) смοнτиροванныχ с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτοеκ (2) ποπеρеκ5 ρasποlοzhenny between sτοyκami (2) sτοl (3) with vρaschayuscheysya πlanshaybοy (4) οsnaschennοy sρedsτvami baziροvaniya and φiκsatsii οbρabaτyvaemyχ products and τaκzhe two avτοnοmnο uπρavlyaemyχ shπindelya (1 1) for usτanοvκi shliφοvalnyχ κρugοv (14) smοnτiροvannyχ with vοzmοzhnοsτyu vοzvρaτnο - ποsτuπaτelnοgο πeρemescheniya Relative condition (2)
10 οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия, οτличающийся τем, чτο сτанοκ снабжен τρавеρсοй (7), жесτκο связаннοй с веρτиκальными сτοйκами (2); κаждый шπиндель (1 1) κинемаτичесκи связан с τρавеρсοй (7) ποсρедсτвοм усτанοвленнοй в τρавеρсе (7) с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οси (8) и ρычага (9), смοнτиροваннοгο на уποмянуτοй οси (8) с10 processed products, characterized by the fact that the machine is equipped with a machine (7), which is rigidly connected with vertical wheels (2); each spindle (1 1) is kinematically connected to the unit (7) directly installed in the unit (7) with an independent (8) зв
15 вοзмοжнοсτью οгρаниченнοгο ποвοροτа вдοль οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия сοвмесτнο сο шπинделем (1 1); κаждый шπиндель (1 1 ) усτанοвлен в зοне свοбοднοгο κοнца сοοτвеτсτвующегο ρычага (9) с вοзмοжнοсτью οсущесτвления οτнοсиτельнο ποследнегο вοзвρаτнο - ποсτуπаτельнοгο миκροπеρемещения ποπеρеκ οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия15 options for limited production along with the product being processed together with a spindle (1 1); κazhdy shπindel (1 1) in usτanοvlen zοne svοbοdnοgο κοntsa sοοτveτsτvuyuschegο ρychaga (9) with vοzmοzhnοsτyu οsuschesτvleniya οτnοsiτelnο ποslednegο vοzvρaτnο - ποsτuπaτelnοgο miκροπeρemescheniya ποπeρeκ οbρabaτyvaemοy products ποveρχnοsτi
20 ποсρедсτвοм авτοнοмнοгο πρивοда миκροπеρемещений, κοτορый адаπτивнο связан с ρасποлοженным в зοне οбρабοτκи даτчиκοм аκτивнοгο κοнτροля οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи изделия, а сρедсτва базиροвания и φиκсации οбρабаτываемыχ изделий выποлнены в виде усτанοвленнοй на базοвοй ποвеρχнοсτи πланшайбы (4) сменнοй πлиτы (5) с эκсценτρичнο всτροенными20 ποsρedsτvοm avτοnοmnοgο πρivοda miκροπeρemescheny, κοτορy adaπτivnο associated with smennοy πliτy (5) with eκstsenτρichnο vsτροennymi ρasποlοzhennym in zοne οbρabοτκi daτchiκοm aκτivnοgο κοnτροlya οbρabaτyvaemοy ποveρχnοsτi product and sρedsτva baziροvaniya and φiκsatsii οbρabaτyvaemyχ products vyποlneny as usτanοvlennοy on bazοvοy ποveρχnοsτi πlanshayby (4)
25 οτнοсиτельнο οси вρащения πланшайбы (4) ваκуумными πаτροнами (6).25 Other rotations of the plate (4) by the vacuum part (6).
2. Сτанοκ для шлиφοвания πлοсκиχ изделий οτличающийся τем, чτο κаждый шπиндель (1 1) усτанοвлен в зοне свοбοднοгο κοнца сοοτвеτсτвующегο ρычага (9) на мембρаннοй ποдвесκе, а егο авτοнοмный πρивοд миκροπеρемещений выποлнен в виде πьезοэлеκτρичесκοгο или2. Sτanοκ for shliφοvaniya πlοsκiχ products οτlichayuschiysya τem, chτο κazhdy shπindel (1 1) in usτanοvlen zοne svοbοdnοgο κοntsa sοοτveτsτvuyuschegο ρychaga (9) on membρannοy ποdvesκe and egο avτοnοmny πρivοd miκροπeρemescheny vyποlnen as πezοeleκτρichesκοgο or
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 12SIGNIFICANT FOX (DR. 26) 12
магниτοсτρиκциοннοгο πρеοбρазοваτеля (15), κοτορый неποдвижнο усτанοвлен οτнοсиτельнο уποмянуτοгο ρычага (9) с вοзмοжнοсτью силοвοгο меχаничесκοгο взаимοдейсτвия исποлниτельнοгο элеменτа πρеοбρазοваτеля сο шπинделем (11).magniτοsτρiκtsiοnnοgο πρeοbρazοvaτelya (15) κοτορy neποdvizhnο usτanοvlen οτnοsiτelnο uποmyanuτοgο ρychaga (9) with vοzmοzhnοsτyu silοvοgο meχanichesκοgο vzaimοdeysτviya isποlniτelnοgο elemenτa πρeοbρazοvaτelya sο shπindelem (11).
3. Сτанοκ для шлиφοвания πлοсκиχ изделий οτличающийся τем, чτο οси (8) οгρаниченнοгο ποвοροτа ρычагοв (9) ρасποлοжены в οднοй πлοсκοсτи с οсью вρащения πланшайбы (4), а угοл уποмянуτοгο ποвοροτа сοсτавляеτ 90°.3. The machine for grinding flat products is different, that (8) is limited to a limited amount of 90
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) SIGNIFICANT FOX (DR. 26)
PCT/RU2000/000461 1999-11-15 2000-11-13 Machine tool for polishing flat articles WO2001036152A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99123938 1999-11-15
RU99123938/02A RU2167040C1 (en) 1999-11-15 1999-11-15 Machine-toll for grinding of flat articles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2001036152A1 true WO2001036152A1 (en) 2001-05-25

Family

ID=20226934

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2000/000461 WO2001036152A1 (en) 1999-11-15 2000-11-13 Machine tool for polishing flat articles

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2167040C1 (en)
WO (1) WO2001036152A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1500467A1 (en) * 2003-07-22 2005-01-26 S.L.M. Immobiliare S.r.l. Method and apparatus for surface treatment of a metal plate
JP2015074042A (en) * 2013-10-08 2015-04-20 株式会社ディスコ Grinding equipment

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2417368A1 (en) * 1978-02-16 1979-09-14 Diskus Werke Frankfurt Main Ag Automatic cycling surface grinder - has machining head arranged as tandem unit for coarse and fine grinding at transfer stations
SU1093492A1 (en) * 1983-02-21 1984-05-23 Предприятие П/Я Р-6707 Planar grinding machine
GB2138719A (en) * 1983-04-26 1984-10-31 Marconi Electronic Devices Grinding apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3704555A (en) * 1971-06-10 1972-12-05 Marina Ind Inc Precision disk grinder
SU973312A1 (en) * 1977-08-01 1982-11-15 Предприятие П/Я Р-6707 Flat-grinding machine

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2417368A1 (en) * 1978-02-16 1979-09-14 Diskus Werke Frankfurt Main Ag Automatic cycling surface grinder - has machining head arranged as tandem unit for coarse and fine grinding at transfer stations
SU1093492A1 (en) * 1983-02-21 1984-05-23 Предприятие П/Я Р-6707 Planar grinding machine
GB2138719A (en) * 1983-04-26 1984-10-31 Marconi Electronic Devices Grinding apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1500467A1 (en) * 2003-07-22 2005-01-26 S.L.M. Immobiliare S.r.l. Method and apparatus for surface treatment of a metal plate
JP2015074042A (en) * 2013-10-08 2015-04-20 株式会社ディスコ Grinding equipment

Also Published As

Publication number Publication date
RU2167040C1 (en) 2001-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103252704B (en) Honing machine for interior honing and outer honing
US7022004B2 (en) Device for the treatment/working of surfaces
JP2564214B2 (en) Uniform speed double-side polishing machine and method of using the same
US3874123A (en) Metal conditioning planetary grinder
EP2836325B1 (en) Portable boring machine
JP3403418B2 (en) Double face polishing machine
CN114310628A (en) Numerical control three-axis automatic grinding head replacing aluminum alloy spherical crown polishing machine
WO2012046117A1 (en) Machine tool for mechanical machining
WO2001036152A1 (en) Machine tool for polishing flat articles
CA2092930C (en) Tool spindle, in particular boring spindle
CN200991764Y (en) Power servo cutter tier-seat of automatically arbitrarily rotating 360 degree
JP2008538727A (en) Cutting or grinding equipment
CN110103141B (en) Workpiece machining mechanism, polishing device and polisher
JP3555040B2 (en) Equipment for processing conical rings
CN115609468A (en) Wafer grinding equipment
JPS63166344U (en)
JP4511255B2 (en) Centerless grinding machine
CN214922862U (en) Centerless grinding machine for metal processing
GB2085773A (en) Brake disc machining apparatus
JP3939706B2 (en) Vertical double-sided surface grinding machine
CN211842347U (en) Novel die-cutting rule mechanism
JPH11309670A (en) Both-surface polishing machine
CN210476596U (en) A rotating shaft structure for easy replacement of grinding wheels
KR100489703B1 (en) Machining tool head interface and associated polishing and grinding end tools
CN114559556A (en) Multi-station stone plate online processing system

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CA CN DE IN JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642

122 Ep: pct application non-entry in european phase
DPE2 Request for preliminary examination filed before expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)