明 細 書 Specification
. 特に 薄膜間等の微小な 、 区画構造物 と そ の製造方法 技 術 分 野 In particular, micro-compartmental structures, such as between thin films, and their manufacturing methods
本発明は、 薄膜間の多数かつ微小な 区画構造に関 し、 特に液晶 を 使用 し た表示装置や そ の部品 と して のパネ ルやカ ラ 一 フ ィ ルタ 一等 に関す る 。 背 景 技 術 The present invention relates to a large number of minute partitioned structures between thin films, and more particularly to a display device using liquid crystal, a panel as a component thereof, a color filter, and the like. Background technology
各種の液晶表示装置 (含む、 プラ ズマ ア ド レ ス液晶表示装置 ( P A L C ) 等) において は、 数; m角や一辺の辺が数 / の三角あ る いは複数の帯状かつ幅が こ れま た数 // m と い う よ う な微小 な区画が 多数それ も縦横 に 3 2 0 x 2 4 0 、 1 0 2 4 x 7 6 8 、 1 2 8 0 x 1 0 2 4 等幾行、 幾列 に も 並んだ、 更 には多段に も な つ た構造物が 使用 さ れる 。 具体的 に は、 液晶表示装置におけ る 各画素やその液晶 層あ る い はカ ラ 一 フ ィ ルタ 一、 P A L C におけ る 液晶層、 更 には ゲ ス ト ホス ト セ ルを使用 し た カ ラ 一液晶表示装置の画素部等で あ る 。 In various types of liquid crystal display devices (including plasma address liquid crystal display devices (PALC), etc.), the number is m; Also, there are many minute sections such as // m, which are also rows and columns such as 32 0 x 24 0, 10 24 x 76 8, 1 280 0 x 104 In addition, multi-tiered structures are used, which are arranged in rows. Specifically, each pixel in a liquid crystal display device and its liquid crystal layer or color filter, the liquid crystal layer in PALC, and a guest host cell were used. This is the pixel portion of a liquid crystal display device.
と こ ろ で、こ れ ら の多数かつ微小な 区画に つ い て は、従来 よ り 種 々 の 内容、 方式の物があ り 、 そ の用途に応 じて様々 の問題があ り 、 そ のため解決策 と して種々 の技術が開発 さ れて い る 。 以下、 順に そ の 内容につ いて 説明す る 。 However, these large and small compartments have various contents and methods than before, and there are various problems depending on the application. Therefore, various technologies have been developed as solutions. The contents will be described below in order.
ま ず、 第 1 に、 液晶パネ ル にお け る 基板間隔があ る 。 First, there is the substrate spacing in the liquid crystal panel.
通常、 液晶パ ネ ルは、 基板間隔 を 一定に保持す る た め画素部はボ —ル状の スぺーサ一を散布 し、 周辺部は シール樹脂中 に ポール状 ま た は フ ァ イ バ一状のスぺ一サ一を混練 して、 接着 して い る 。 と こ ろ
で、 液晶表示装置の場合、 基板の 間隙 ( = ほぼ液晶層の厚み) は高 度の精密性が要求 さ れ る 。 すな わ ち 、 例 え ば、 S T N液晶で は 0 · 0 5 ミ ク ロ ン の厚みむ ら が表示む ら と な っ て し ま う 。 そ の対策 と し て、 特許公報 2 5 0 4 1 1 1 号は 図 1 に 示す よ う に、 一方の基板 2 0 上に フ ォ ト レ ジ ス ト で作成 し た線状のス ぺ一サー 4 0 上に対向基 板 3 0 を押 しつ け た状態で加熱す る こ と に よ り 、 フ ォ ト レ ジ ス ト の スぺ一サを溶融さ せて 基板 を接着 し つつ併せて セ ル厚 (基板間隙) を 出す方法 を 閧示 して い る 。 しか し こ の方法で は、 レ ジ ス ト 層がス ぺ一サ一 を兼ねて お り 、 熱圧着 に よ り 溶融 さ せて接着 し た と き に、 レ ジス ト 層が押 しつぶ さ れて、 厚みが変化 して し ま い、 基板 と 部材 の間隙を均一 に、 正確に制御す る こ と が困難で あ る 。 Normally, the liquid crystal panel sprays a ball-shaped spacer on the pixel part to keep the distance between the substrates constant, and the peripheral part is a pole or fiber in a sealing resin. One state of the mixer is kneaded and adhered. Where In the case of a liquid crystal display device, a high degree of precision is required for the gap between the substrates (= substantially the thickness of the liquid crystal layer). That is, for example, in the case of STN liquid crystal, the thickness unevenness of 0,05 micron is uneven in display. As a countermeasure, Japanese Patent Publication No. 25050411, as shown in FIG. 1, discloses a linear stripe formed on a substrate 20 by a photo-resist. By heating while pressing the opposing substrate 30 on the substrate 40, the spacer of the photoresist is melted and the substrates are bonded together. It shows how to obtain the cell thickness (substrate gap). However, in this method, the resist layer also serves as a spacer, and when melted and bonded by thermocompression bonding, the resist layer is crushed. As a result, the thickness changes, and it is difficult to uniformly and accurately control the gap between the substrate and the member.
次に、 液晶ノ ネ ル等で用 い る カ ラ 一 フ ィ ルタ 一で あ る が、 こ れに は、 い く 通 り も の製作方法があ る 。 Next, there is a variety of manufacturing methods for color filters used in liquid crystal panels and the like.
現在、 最 も 一般的 に用 い ら れて い る 方法は、 着色顔料を分散さ せ た レ ジ ス ト を 、 赤、 緑、 青、 場合に よ っ て は更 に黒 ( ブラ ッ ク マ ト リ ク ス ) の順 に順次、 塗布、 露光、 現像、 そ して除去す る フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ ーを、 3 、 4 回繰 り 返す方法で あ る 。 しか し、 こ の 方法 は、 必要な工程が多い。 Currently, the most commonly used method is to disperse a colorant-dispersed resist in red, green, blue, and sometimes even black (black In this method, the coating, exposure, development, and removal of the photolithography are repeated three or four times in this order. However, this method requires many steps.
よ り 簡易な方法 と して 、 例 え ばイ ン ク ジ ェ ッ ト 法 に よ り 、 基板上 ブラ ッ ク マ ト リ ク ス に 囲 ま れた部分に着色樹脂液を 吐出式の印刷等 で塗布 して か ら 定盤で プ レ ス して レ ペ リ ン グ し た の ち硬化 さ せ る 、 イ ン ク ジ ェ ッ ト 方式があ る 。 しか し、 こ の イ ン ク ジ ェ ッ ト 方式は、 工程は簡単で あ る が、 着色 し た樹脂が混ざ ら な い た め に は、 吐出 す る 樹脂液の量を極めて 正確に制御す る 必要があ り 、 ま た 、 イ ン ク ジ エ ツ ト の ノ ズルが詰 ま り やすい。 For a simpler method, for example, the ink jet method is used to discharge the colored resin liquid onto the area surrounded by the black matrix on the substrate. There is an ink jet method, in which the material is applied with a pressure plate, pressed with a surface plate, reppelled, and then cured. However, this ink jet method is simple in process, but controls the amount of resin liquid to be discharged very accurately because the colored resin is not mixed. And the nozzle of the ink jet is easily clogged.
ま た、 オ フ セ ッ ト 等の印刷技術に よ り 基板上 に着色イ ン ク を塗 り
分けて 、 硬化 さ せ る 方法 も あ る 。 しか し、 印刷法は、 表面の凹凸が 生 じや す く 、 平坦性 に 問題があ る 。 In addition, color ink is applied to the substrate by printing technology such as offset printing. There is also a method of curing separately. However, the printing method tends to have unevenness on the surface and has a problem in flatness.
そ の他特閧昭 6 2 — 3 2 2 4 号では、 ス ト ラ イ プ状のスぺ一サ一 で仕切 ら れた液晶セ ル に異 な る 色の色素 を含んだ液晶 を注入す る こ と に よ り 、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一の な い液晶ノヽ' ネ ル を 開示 して い る 。 し か し、 こ の方法では、 色素 と して ゲス ト ホ ス ト 液晶が上げ ら れて い る が、ゲス ト ホ ス ト 液晶は二色性色素 を用 い る と 電圧 を 印加す る と 、 色の彩度が変化 して し ま う 。 ま た、 仕切 り と な る ス ぺ一サ一 と 対向 基板 と の接着方法は記述 さ れて い な い。 In addition, in Japanese Patent No. 62-32224, liquid crystals containing pigments of different colors are injected into liquid crystal cells separated by stripe-shaped spacers. In this way, a liquid crystal cell without a color filter is disclosed. However, in this method, a guest-host liquid crystal is used as a dye, but when a dichroic dye is used in a guest-host liquid crystal, a voltage is applied. The color saturation changes. In addition, it does not describe a method of bonding a partition serving as a partition to an opposing substrate.
次に、 反射形カ ラ 一液晶表示装置であ る が、 こ れは反射板に よ り 外部光 を反射 して カ ラ ー表示 を行 う 。 こ の た め、 ノ、' ヅ ク ラ イ ト 用 の 電力消費がな く 、 ひ いて は ノ ー ト 型パ ソ コ ン 、 P D A等の携帯型機 器の表示装置 と して使用 さ れて い る 。 と こ ろ で、 こ の タ イ プの も の の輝度等の表示性能を 高め る ため には、 従来の ご と く 偏光板やカ ラ — フ ィ ル タ 一を用 い る と 光が減衰する ので 困難で あ る 。 Next, a reflection type color liquid crystal display device, which performs color display by reflecting external light from a reflection plate. For this reason, it is used as a display device for portable devices such as notebook computers, PDAs, etc., because it consumes no power for light and light. Yes. However, in order to improve the display performance such as the brightness of this type, light is attenuated by using a conventional polarizer or color filter. It is difficult.
すな わ ち 、偏光板 を使用 す る と 最大で も 1 / 2 し か光が透過せず、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 を 用 い る と 原則 と して 1 / 3 の 光 し か利用 し え ず 結局両方 を併せて全体で 1 / 6 し か光を利用 し え な い。 That is, when a polarizing plate is used, at most one-half of the light is transmitted, and when a color filter is used, in principle, only one-third of the light is transmitted. Unavailable After all, only 1/6 of the total light can be used.
そ こ で、 こ の解決策 と して 、 反射板上 に シ ア ン、 マゼ ン タ 、 イ エ 口 一か ら な る 3 層の ゲス ト ホス ト 液晶を積層 し、 減法混色に よ り 表 示す る 方式が考え ら れ る 。 し か し、 単に液晶パ ネル を 3 枚重ねた場 合に は、 画素が細か く な る と ガ ラ ス の厚みが相対的 に大 き く な る た め視差が生 じ、 こ の た め表示面を斜め方向か ら 見た と き に色ずれを 生 じ る 。 Therefore, as a solution to this problem, three layers of guest-host liquid crystal consisting of cyan, magenta, and eye are stacked on a reflector, and the display is performed by subtractive color mixing. The following method is conceivable. However, when three liquid crystal panels are simply stacked, parallax occurs because the thickness of the glass becomes relatively large as the size of the pixels becomes smaller. Color shift occurs when the display surface is viewed from an oblique direction.
こ の対策 と して 、 1 枚の基板上 に 3 層の液晶層 を重ね る構造の液 晶表示装置が特開平 8 — 3 2 8 0 3 1 号 に 開示 さ れて い る 。こ れは、
1 0 0 〜 3 0 0 〃 m程度の層間膜を 介 し て 液晶層 を形成 し、 層間膜 の上下 に電極 を形成 し た も ので あ る 。 そ し て 、 各層間膜はス ぺ一サ に よ っ て 支持 さ れ、 液晶層は ビーズス ぺ一サ に よ り 所定の間隙を保 持 して い る 。 更 に各間隙に シ ア ン 、 マ ゼ ン タ 、 イ エ ロ 一の ゲス ト ホ ス ト 液晶が分離 して 注入 さ れて い る 。 As a countermeasure, a liquid crystal display device having a structure in which three liquid crystal layers are stacked on a single substrate is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-32801. this is, The liquid crystal layer is formed through an interlayer film of about 100 to 300 μm, and electrodes are formed above and below the interlayer film. Each interlayer film is supported by a spacer, and the liquid crystal layer maintains a predetermined gap by the bead spacer. In addition, cyan, magenta, and yellow guest-host liquid crystals are separately injected into each gap.
な お、 こ の公報 に は、 各液晶層への液晶の具体的な注入の 方法は 開示 さ れて い な い が、 通常の液晶パ ネ ル と 同 じ く 、 真空室内で、 パ ネルの端部 に設け た各層每の注入 口 に そ れぞれの色のゲス ト ホス ト 液晶 を接触さ せ、 液晶面を 常圧 に戻 して 対応す る ゲス ト ホス ト 液晶 を注入す る も の と 考 え ら れ る 。 従 っ て 、 液晶の注入は各色毎に合計 3 度行われ る こ と と な る 。 Although this publication does not disclose a specific method of injecting liquid crystal into each liquid crystal layer, the same method as in a normal liquid crystal panel is used to disclose liquid crystal in a vacuum chamber. The guest host liquid crystal of each color is brought into contact with the injection port of each layer provided at the end, the liquid crystal surface is returned to normal pressure, and the corresponding guest host liquid crystal is injected. it is considered as . Therefore, the liquid crystal is injected three times in total for each color.
しか し なが ら 、 こ の よ う な従来の反射型そ して積層型の液晶表示 装置で は、 各液晶層の上下の境界の、 フ ィ ル ム の上下に透明電極を 形成す る た め、 各層毎に 2 枚、 フ ル カ ラ 一表示な ら ぱ原則合計 6 枚 の透明電極が必要 と な る 。 However, in such a conventional reflective type or stacked type liquid crystal display device, transparent electrodes are formed on the upper and lower boundaries of each liquid crystal layer and on the upper and lower sides of the film. Therefore, if two layers are used for each layer, and the full color is displayed, a total of six transparent electrodes are required in principle.
こ の た め、 反射形液晶表示装置で は、 1 枚の透明電極につ き光が 入射時 と 反射時の 2 回通過す る た め、 ど う して も電極で の光の減衰 が大 き く な り 表示が暗 く な る 。 For this reason, in a reflective liquid crystal display device, light passes through a single transparent electrode twice, at the time of incidence and at the time of reflection. The display becomes darker.
そ こ で、 各層間膜の電極を 1 枚ずっ と し、 上下の液晶層 に電圧 を 印加す る た めの電極 を兼ね さ せ る こ と で透明電極の枚数を減 ら し、 反射率 を 高め る こ と が考え ら れる 。 と こ ろ で こ の場合、 各液晶層 に は層間膜を 介 して電圧が印加さ れる こ と と な る ため、 層間膜で の電 圧 ロ ス が問題 と な る 。 そ して液晶層の厚みあ る いは ギ ャ ッ プは、 3 〜 5 〃 ιη程度で あ る ため、 層間膜で の電圧 ロ ス を低 く 抑 え る た め に は、 層間膜の厚みは ギ ャ ッ プに比べて相対的 に 小 さ い厚み (数; m 程度以下) に す る 必要があ る 。
しか し 、層間膜 と し て 1 m程度 の厚みの フ ィ ル ム を 用 い た 場合 今度は フ ィ ル ム が損傷 しや す く な る 。 例 え ば、 5 イ ンチ程度の大 き さ のパ ネ ルの場合に は、 ど う して も 数個程度の極微細な穴、 破れが 生 じ る 。 さ て 、 3 層 の液晶層 に は、 そ れそれ異な る 色の ゲス ト ホス ト 液晶 を 分離 して 注入す る 必要があ る が、 穴や破れがあ る と 、 こ こ か ら 本来の層 の液晶以外の液晶 が、す な わ ち 他の色の液晶 が広 が り 注入不良そ して 表示不良が生 じ る 。 ひいて は、 ノ ネ ルの歩留 ま り を 非常に悪化 さ せ る 。 Therefore, the number of transparent electrodes is reduced by reducing the number of transparent electrodes by reducing the number of electrodes in each interlayer film to serve as electrodes for applying voltage to the upper and lower liquid crystal layers. It can be raised. In this case, however, a voltage is applied to each liquid crystal layer through the interlayer film, so that the voltage loss in the interlayer film becomes a problem. Since the thickness or gap of the liquid crystal layer is about 3 to 5〃ιη, the thickness of the interlayer film must be reduced in order to suppress the voltage loss in the interlayer film to a low level. It is necessary to make the thickness relatively small (several meters or less) compared to the gap. However, when a film having a thickness of about 1 m is used as the interlayer film, the film is likely to be damaged this time. For example, in the case of a panel as large as about 5 inches, any number of extremely fine holes and tears are generated. It is necessary to separate and inject guest host liquid crystals of different colors into the three liquid crystal layers, but if there are holes or tears, the original The liquid crystal other than the liquid crystal in the layer, that is, the liquid crystal of another color spreads, resulting in poor injection and poor display. In turn, it greatly reduces the yield of nonel.
ま た、 た と え層間膜の厚み を l m程度 と し た場合で も 、 層間膜 にお け る 電圧 ロ ス は避け ら れな い。 液晶は、 配向方向 に よ っ て 誘電 率が異な り 、 一般的な誘電異方性が正の液晶では、 電極間 に電圧 を 印加す る と 分子が垂直 に配向 し、 比誘電率が高 く な る 。 特に 動作電 圧が小 さ い液晶で は、 比誘電率が 丄 = 4 程度に対 し、 ε / / = 1 1 程度 と な り 、 こ の差が大 き く な る 傾向があ る 。 一般的に は、 樹脂 フ イ ルム の比誘電率は 3 程度であ る た め、 電圧印加時、 層間膜に 比べ 液晶の比誘電率が高 く な り 、 層間膜で の電圧 ロ ス が非常に大 き く な る ο Further, even when the thickness of the interlayer film is set to about 1 m, voltage loss in the interlayer film cannot be avoided. Liquid crystals have different dielectric constants depending on the alignment direction.Generally, liquid crystals with a positive dielectric anisotropy are oriented vertically when a voltage is applied between the electrodes, and the relative dielectric constant is high. Become . In particular, in a liquid crystal having a small operating voltage, the relative permittivity is about ε // = 11 while the relative permittivity is about 、 = 4, and the difference tends to be large. In general, the relative dielectric constant of a resin film is about 3, so that when a voltage is applied, the relative dielectric constant of the liquid crystal becomes higher than that of an interlayer film, and the voltage loss in the interlayer film is extremely low. Ο
次 に 、こ れ ら 区画 を仕切 っ た り 上下の境界 を形成す る 膜で あ る が、 導電、 絶縁、 光透過、 光遮断、 偏光、 反射な ど多種多様の機能 を 有 す る 物があ る 。 更 に膜 と して の役割 も 、 外界 と の直接接触の遮断、 あ る 特定の物質分子のみの透過、 あ る いは電子デバイ ス の積層構成 要素な ど極めて 多岐にわ た っ て使用 さ れて い る 。 そ し て 、 電子デバ イ ス の構成要素 と して使用 さ れ る 膜は、 単な る 平坦な も の を積層す る 場合は少な く 、 ス テ ッ プ、 ホール、 ト レ ンチな ど様々 で複雑な形 状 を して い る 。 例 え ば、 薄膜 ト ラ ン ジ ス タ 等の よ う に 、 埋め込み層 を 有す る 膜を形成す る には、 製膜、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 、 エ ツ チ ン
グの プロ セ ス が繰 り 返 さ れ、 場合に よ っ て は、 あ る 深さ 領域のみに 特定の物性を持たせ る た め、 ィ オ ン注入や拡散な どの手法が併用 さ れ る 。 - こ こ で、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ プ ロ セ ス に よ っ て製造 さ れ る 積層構 造膜を 、 図 2 及び図 3 を参照 し な が ら 説明す る 。 図 2 は 1 層の構造 の膜の概念 を 示す一部破断斜視図で あ り 、 図 3 は 3 層の積層構造の 膜の概念を 示す一部破断斜視図で あ る 。 Next, the film that separates these compartments and forms the upper and lower boundaries, has a variety of functions such as conductivity, insulation, light transmission, light blocking, polarization, and reflection. is there . In addition, its role as a film is extremely wide-ranging, such as blocking direct contact with the outside world, transmitting only certain substance molecules, or stacking components of electronic devices. It is. In addition, films used as components of electronic devices are rarely used for laminating a single flat material, and various films such as steps, holes, and trenches are used. It has a complicated shape. For example, in order to form a film having a buried layer, such as a thin film transistor, a film formation, a photolithography, an etching method, and the like. The process is repeated, sometimes using ion implantation or diffusion techniques to provide specific properties only at certain depths . -Here, the laminated structure film manufactured by the photolithography process will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing the concept of a film having a one-layer structure, and FIG. 3 is a partially cutaway perspective view showing the concept of a film having a three-layer laminated structure.
図 2 に示す 1 層の構造膜は、 対向 して 配置 さ れた基板 2 0 と 天蓋 部 3 0 と が市松模様の ス ぺ一サ 4 0 を挟み、 こ れ ら に よ っ て 囲われ た領域に空隙 4 を形成 し た も ので あ る 。 一方、 図 3 に 示 し た 3 層の 積層構造膜は、対向 して 配置 さ れた基板 2 0 と 天蓋部 3 0 と の間 に、 間隔を あけて 第 1 , 第 2 の 中間仕切層 5 0 , 6 0 が介在 し、 基板部 1 と第 1 の 中 間仕切層 5 0 と の間、 両 中間仕切層 5 0 , 6 0 の間、 そ して第 2 の 中間仕切層 6 0 と 天蓋部 3 0 と の間に格子状のス ぺ一 サ 4 0 が挟 ま れ、 こ れに よ つ て 囲われた領域に空隙を形成 し た も の で あ る 。 In the single-layer structural film shown in FIG. 2, the substrate 20 and the canopy portion 30 which are arranged to face each other sandwich the checkerboard-shaped spacer 40 and are surrounded by these. A void 4 was formed in the region. On the other hand, the three-layer laminated film shown in FIG. 3 has a first and second intermediate partition layer 5 with a space between the substrate 20 and the canopy part 30 which are arranged to face each other. 0, 60 are interposed between the substrate part 1 and the first intermediate partition layer 50, between the two intermediate partition layers 50, 60, and the second intermediate partition layer 60 and the canopy part. A lattice-shaped spacer 40 is sandwiched between the substrate 30 and 30 to form a void in a region surrounded by the lattice-shaped spacer 40.
こ の 1 層 の構造膜が液晶表示素子の表示部用 画素部で あ る と き は 基板 2 0 の上表面 と 天蓋部 3 0 (対向基板) の下面等 に 、 そ して 3 層の積層構造膜の場合には 中間仕切層 5 0 , 6 0 の上面等 に それそ れ透明導電性薄膜 (図示せず) 等が形成さ れ、 空隙内 に は液晶が充 填さ れる 。 そ して 、 例 え ばス ぺーサ 4 0 の上面 に は液晶 を空隙内 に 注入す る た めの注入孔 4 9 が形成さ れ る 。 ま た、 3 層の積層 さ れた 構造膜が液晶表示素子の表示画素部で あ る と き に は、 各層毎に シ ァ ン、 マゼ ン タ お よ びイ エ ロ ーの色素の液晶が空隙内 に 充填 さ れ、 減 法混色 に よ っ て カ ラ 一表示 さ れる 。 When the one-layer structural film is a pixel part for a display part of a liquid crystal display element, a three-layer structure is formed on the upper surface of the substrate 20 and the lower surface of the canopy part 30 (opposite substrate). In the case of a structural film, a transparent conductive thin film (not shown) or the like is formed on the upper surfaces of the intermediate partition layers 50 and 60, respectively, and the liquid crystal is filled in the voids. Then, for example, an injection hole 49 for injecting liquid crystal into the gap is formed on the upper surface of the spacer 40. When the three-layer structure film is the display pixel part of the liquid crystal display element, the liquid crystal of the cyan, magenta and yellow dyes is provided for each layer. It is filled in the voids and is displayed in color by subtractive color mixing.
さ て 、 こ の よ う な空隙を有す る 積層構造膜は、 あ ら か じめ何 ら か
の材料 と 方法 に よ っ て 作製 さ れ た ス ぺ一サ 4 0 の上下両面に、 基板 2 0 や天蓋部 3 0 等 を貼 り 付け る こ と に よ っ て製造 さ れ る 。 こ の方 法に よ れば、 例 え ば フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ の技術を応用 す る こ と に よ り 、 空隙はかな り の程度、 形状 を 自 由 に設計 し、 ま た形成す る こ と がで き る 。 た だ し、 こ の空隙を 有 して い る 積層構造膜を フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ プロ セ ス に よ っ て製造 す る に は、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ、 ベ 一キ ン グ、 U V露光、 薬液に よ る 現像、 リ ン ス 、 乾燥、 接着層形成 等数多 く の工程が必要で あ る 。 By the way, such a laminated structure film having voids has been prepared in advance. It is manufactured by pasting the substrate 20 and the canopy 30 on the upper and lower surfaces of the spacer 40 produced by the above-mentioned material and method. According to this method, for example, by applying photolithography technology, the air gap is designed to a considerable extent and the shape is freely determined. Can be formed. However, in order to manufacture the laminated structure film having the voids by the photolithographic process, spin coating or base coating is required. A number of steps are required, such as king, UV exposure, development with chemicals, rinsing, drying, and formation of an adhesive layer.
しか も 各工程が複雑な う え、 ゥ ヱ ヅ 卜 プロ セ ス がたび重な っ て繰 り 返 さ れる た め、 各種の不良が発生 しやすい。 例 え ば、 後工程にお いて貼 り 合せ を伴 う と 、 硬質材料の場合に は密着性に難が生 じ、 軟 質材料の場合には平坦性に難が生 じ る 。 更 に、 複数層 に空隙を形成 す る に は、 一括 して形成す る の は困難であ る た め、 各層毎に 同 じェ 程を繰 り 返さ な ければな ら ず、 作業性が劣化 し、 そ の上積層 し た各 層の空隙のエ ッ ジがずれる こ と も あ る 。 そ して こ れは、 カ ラ ーの液 晶表示素子の画質の低下につ な が る 。 However, each process is complicated, and the test process is often repeated and repeated, so that various defects are likely to occur. For example, if lamination is performed in a later step, adhesion will be difficult for a hard material, and flatness will be difficult for a soft material. Furthermore, since it is difficult to form voids in multiple layers at once, it is difficult to form voids in multiple layers, so the same process must be repeated for each layer, and workability is increased. It may deteriorate, and the edge of the void of each layer laminated thereon may be shifted. This leads to a decrease in the image quality of the color liquid crystal display device.
次に、 特開平 1 1 — 3 0 7 8 1 号では、 基板 と 封止膜 と に挟 ま れ た 固形膜の所定部を気化さ せ、 基板、 封止膜そ して 固形膜に 囲 ま れ た領域 に空隙 を形成す る 液晶表示素子の製造方法が開示 さ れて い る なお、 こ の 固形膜の材料は、 エネ ルギー線等が照射さ れ る こ と に よ つ て液状 と な り 、 更 に加熱及び減圧 に よ っ て気化す る も のであ る 。 た だ し、 気化す る 際分子は封止膜を透過せ ず、 別途形成 さ れた排出 口 か ら排出 さ れ る 。 こ のた め、 排出 口 の形成等が必要で あ る だ けで な く 、周 囲を 減圧 しな ければな ら な い た め、作業が大変 面倒 で あ る 。 ま た、 積層 さ れた各多層のエ ッ ジ のずれは、 こ の製造方法にお いて も 生 じ る 。
6 Next, in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-30781, a predetermined portion of a solid film sandwiched between a substrate and a sealing film is vaporized and surrounded by the substrate, the sealing film, and the solid film. A method for manufacturing a liquid crystal display element in which a void is formed in a defined region is disclosed. The material of the solid film becomes liquid by being irradiated with an energy ray or the like. It is further vaporized by heating and decompression. However, when evaporating, the molecules do not pass through the sealing film and are discharged from a separately formed discharge port. For this reason, not only is it necessary to form a discharge port, but also the surrounding area must be depressurized, which makes the operation very troublesome. In addition, the deviation of the edge of each of the laminated layers also occurs in this manufacturing method. 6
(背景技術の課題) (Issues of background technology)
こ の た め、 薄膜間等の多数かつ微小そ し て積層 さ れ る こ と の多 い 区画構造に お い て 、 以下の課題の要望があ っ た。 For this reason, there have been requests for the following problems in a partitioned structure in which a large number of small and thin layers such as between thin films are stacked.
液晶表示装置等のパ ネ ル と し て 、 上下 (表裏) 2 枚、 あ る いは 多 層構造の場合に は何枚 も の基板間隔 を正確に保持す る こ と が可能、 しか も 工程等 も 簡単な技術の開発。 As a panel for a liquid crystal display device, etc., it is possible to accurately maintain the distance between two substrates (upper and lower), or in the case of a multi-layer structure, several substrates. Development of simple technology.
液晶表示装置用 の厚みが均一 そ して 平坦な カ ラ 一 フ ィ ル タ ー を簡 単な工程で形成す る 技術の開発。 Development of technology for forming flat and flat color filters for liquid crystal display devices by simple processes.
カ ラ ー フ ィ ル タ ー に限 ら ず、 微細な 区画構造物で各区間内 に性質 の異な る 物質が充 た さ れて い る 物 を簡単な工程で形成す る 技術の 開 発。 The development of technology to form not only color filters but also minute compartmental structures in which each section is filled with a substance with different properties by a simple process.
な お、かか る 物 と し て は、体温に応 じ て 所定の領域が発色 し た り 、 変色 し た り す る タ イ プの体温計、 酸素、 炭酸ガス 等特定の ガス の濃 度 に応 じて所定の領域が発色 し た り 、 変色 し た り す る タ イ プの ガス 検知器等があ る 。 なお、 こ れ ら に おいて は、 温度等に応 じて 発色す る しか も 発色温度が異な る 小 さ い液晶のセ ルやガス 濃度等 に応 じて 発色 し更 に発色濃度が異な る 小 さ い液晶のセ ル を板等 に一定の規則 で配置 し、更 に 必要 に応 じて 表面は ガス 透過性樹脂を使用 して い る , 多層構造の液晶表示装置 に おいて 、 各層の ずれ等が発生 し難 く 、 輝度が良好 しか も 液晶の注入工程 も 少な く 、 更 に消費電力 の優れ る こ と と な る 技術の開発。 In addition, as for such a substance, a predetermined area may be colored or discolored depending on the temperature of the body, depending on the concentration of a specific type of gas such as a thermometer, oxygen, and carbon dioxide. In response, there are gas detectors, etc., of the type in which the color of the specified area changes or the color changes. In these systems, the color development temperature varies depending on the temperature, etc., but the color development temperature differs. The color develops according to the cell or gas concentration of the small liquid crystal, and the color development density further varies. In a multi-layer liquid crystal display device, small liquid crystal cells are arranged on a plate or the like according to a certain rule, and the surface is made of a gas-permeable resin as needed. Development of technology that is less likely to cause displacement, has good brightness, has few liquid crystal injection steps, and has even higher power consumption.
同 じ く 、 多層構造の液晶表示装置において、 単純かつ簡単な工程 かつ基板等の密着性や平坦性に 問題が生 じ難 く 、 カ ラ 一表示特性等 が優れ る こ と と な る 技術の開発。 Similarly, in a multi-layered liquid crystal display device, there is a technology that is simple and easy, has no problem in the adhesion and flatness of a substrate or the like, and has excellent color display characteristics. development of.
光の照射等 に よ り 流動体化す る 、 特に気化す る 、 好 ま し く は直接 気化 (本来の意味で の昇華) す る 性質を有す る 、 更 に は その後の加
熱で硬化す る 樹脂 を 使用 す る 。 そ して 作業雰囲気 を減圧等す る こ と な く 多層 そ し て 複雑な形状の空隙 を形成可能な 技術の開発。 It has the property of becoming fluidized by light irradiation or the like, in particular, vaporizing, and preferably direct vaporization (sublimation in the original sense). Use a resin that cures with heat. Development of technology that can form multilayers and voids with complex shapes without reducing the working atmosphere.
層間絶縁膜が薄 く て も 、 液晶の注入不良 が発生 しない積層構造の 液晶表示装置の開発。 Development of a liquid crystal display device with a laminated structure that does not cause liquid crystal injection failure even if the interlayer insulating film is thin.
層間膜で の電圧降下が少な く 、 反射率ゃ コ ン ト ラ ス ト 比な どの優 れた液晶表示装置の 開発。 発 明 の 開 示 Development of a liquid crystal display device with low voltage drop in the interlayer film and excellent reflectivity / contrast ratio. Disclosure of the invention
本発明は、 以上の課題を解決す る こ と を 目 的 と して な さ れた も の であ り 、 以下の点に着 目 し た も ので あ る 。 The present invention has been made for the purpose of solving the above problems, and has been made on the following points.
第 1 に、 一定の物理的、 化学的条件で発色作用 を な す こ と と な る 所定の発色素、 発色作用物質 (色素、 染料、 カ イ ラ ル剤、 顔料、 侵 入 して き た所定の物質 と の反応で発色す る 物質等) を各微小な 区画 構造の所定の位置 に 配置 して お き、 その後 (通常は ) 無色の樹脂等 を充填 し、 更 に 一定の条件を加え て、 該樹脂を発色 さ せ併せて 必要 の応 じて硬化等 さ せ る 。 First, there are certain chromogenic and chromogenic substances (pigments, dyes, chiral agents, pigments, which have been infiltrated) that can produce chromogenic effects under certain physical and chemical conditions. A substance that develops a color by reacting with a predetermined substance) is placed at a predetermined position in each minute compartmentalized structure, and then (usually) filled with a colorless resin, etc. Then, the resin is colored and, if necessary, cured.
第 2 に、 フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ 用 の露光材で使われ る 近紫外線等の 電磁波の照射や更 に こ れに加え て 8 0 °C以上の温度で昇華 し た り (含む、 固体か ら 液体を経て 気化す る 場合) 、 逆に昇華 し な か っ た り す る 物質 に フ オ ッ ト (遮光用 ) マス ク を かけて の紫外線露光、 更 に はそ の後の加熱等で露光部や被露光部の物質 を昇華 さ せ る こ と に よ り セ ル を形成す る 。 Second, irradiation with electromagnetic waves such as near-ultraviolet rays used in photolithographic exposure materials and sublimation at temperatures of 80 ° C or more (including, In the case of vaporization from a solid to a liquid through a liquid), on the other hand, a substance that does not sublimate is exposed to UV light by applying a photomask (for light-shielding) to the substance, followed by heating. A cell is formed by sublimating a substance in an exposed portion or a portion to be exposed by the above method.
こ れに よ り 、 表示装置等は そ の規則や規格に従 っ て 一辺が数十〜 数百 Λί ΐη、 勿論大 き ければ数 m m程度の正方形の画素等の微小 な 区 画が縦横幾列、 更 に ケース に よ り 幾段に も 配列 さ れて い る が、 そ の 区画、 具体的 に は液晶セ ルや カ ラ ー フ ィ ル タ ーのセ ルの製造を 可能
と し て い る 。 勿論、 幅数十〜数百、 小 さ ければ 2 〜 3 z mの帯が幾 列 に も 並んだ ス ト ラ イ プ構造やデル 夕 に も 対応可能 と して い る 。 According to this, according to the rules and standards, a display device or the like has minute sections, such as square pixels of several tens to several hundreds of 辺 η on a side, or several mm if large, of course. It is arranged in rows and even in several stages depending on the case, but it is possible to manufacture cells in that section, specifically for liquid crystal cells and color filters. It is said that. Of course, it can be applied to a striped structure in which several tens to several hundreds of bands, or a few to two or three zms, are arranged in rows.
ま た 、 かか る 材料 を 上下 (基板に 直交す る ) 方 向 に何枚 も 重ねた 状態で 、 基板上方 よ り マ ス ク を 介 して 一度 に各層の材料 を露光す る こ と に よ り 、上下各層 の セ ル を ずれな く 形成す る こ と が可能 と な る c なお こ の際、 上下各セ ル間の色彩等の異な る 液晶分子が相互 に混 ざ り 合 う の を 防止 した り 、 天蓋 を形成 した り す る た め、 天蓋部や仕切 層 を設け る が、 こ の仕切層等 を形成す る 物質は、 単 に上述の紫外線 を透過 さ せ る だ けで な く 、 上述の昇華 し た物質の分子 (一旦液化後 の気化 を含む )を も 通過 さ せ る 性質 を 有 して い る 材料 に て形成す る 。 更 に こ の際、 導電性 を も 有す る 物質 と して 、 液晶装置の電極を 兼ね る よ う に して い る 。 Also, in a state in which a number of such materials are stacked in the vertical direction (perpendicular to the substrate), the material of each layer is exposed at once through a mask from above the substrate. Thus, cells in the upper and lower layers can be formed without displacement.c At this time, liquid crystal molecules with different colors etc. between the upper and lower cells may be mixed with each other. A canopy part and a partition layer are provided in order to prevent the formation of the canopy and to form the canopy.The substance that forms this partition layer and the like simply transmits the above-mentioned ultraviolet rays. Rather, it is formed of a material that has the property of passing through the molecules of the above-described sublimated substance (including vaporization once liquefied). Further, in this case, the material having conductivity also serves as an electrode of the liquid crystal device.
第 3 に、 間隙内 に充填さ れた物質が液晶層やカ ラ ー フ ィ ル タ 一 と して の役を担 う た め、 色素、 カ イ ラ ル剤等 を各セ ル (液晶等の満た さ れる 間隙内 ) に配置す る 手段 と して 、 特にいわ ゆ る モ ザイ ク ゃデ ル夕 の配列の場合に は、 上述の昇華性物質中 に色素等を 封入 し た マ イ ク 口 カ ブセ ル を あ ら か じめ混入 して お き 、 更 に後か ら セ ル内へ注 入す る 無色 の液晶 に マ イ ク ロ カ プセ ル を破壊す る 物質 を 入れて い る 第 4 に、 こ れ ら に併せて各セ ル内への液晶の注入は、 各画素毎に 各層 に共通の注入孔を設け、 更 に液晶注入後封 口 用樹脂 に て 共通の 注入孔を封止す る 際、 基板 と 液晶 と の熱膨張率の差 に注 目 し、 こ の た め高温時に液晶 を 注入後、 封口用樹脂 を塗布 し、 室温 に下げ る こ と を な して い る 。 Third, since the substance filled in the gap acts as a liquid crystal layer and a color filter, a dye, a curative agent, etc., is added to each cell (liquid crystal, etc.). In particular, in the case of a so-called mosaid array, a microphone in which a dye or the like is encapsulated in the above-described sublimable substance is used as a means for arranging a dye or the like. The mouth capsule is mixed in beforehand, and the colorless liquid crystal that is later injected into the cell is filled with a substance that destroys the microcapsule. Fourth, in conjunction with these, when injecting liquid crystal into each cell, a common injection hole is provided in each layer for each pixel, and after the liquid crystal is injected, a common injection is performed with the sealing resin. When sealing the holes, pay attention to the difference in the coefficient of thermal expansion between the substrate and the liquid crystal, and inject the liquid crystal at high temperature, apply a sealing resin, It is the name that you Ru lowered to temperature.
具体的 に は、 各発明は以下の よ う に して い る 。 Specifically, each invention is as follows.
1 の発明は、 液晶表示装置の カ ラ 一 フ ィ ルタ 一 に使用 す る た め、 各画素等の 区分け を な す仕切 り 壁の上 (反基板側) に、 更に上部に
突 き 出 た上部仕切 り 壁 を形成す る 。 こ の た め カ ラ 一 フ ィ ル タ 一上面 に感光性 レ ジ ス ト を 塗布 し 、 ガ ラ ス 側か ら ガ ラ ス に吸収 さ れ に く い 波長の長い紫外線 を仕切 り 壁 を マ ス ク と して照射 し、 こ の感光性 レ ジス ト を 露光 さ せ た り す る 。 こ の様 に して形成さ れた、 上部仕切 り 壁で 区分け さ れた 区画内 に液晶等が充填 さ れる 。 Since the invention of the first aspect is used for a color filter of a liquid crystal display device, it is placed on a partition wall (a side opposite to a substrate) which separates each pixel and the like, and further on the top. A protruding upper partition wall is formed. For this purpose, a photosensitive resist is applied to the upper surface of the color filter, and ultraviolet light with a long wavelength that is difficult to be absorbed by the glass from the glass side is used to separate the wall. The photosensitive resist is exposed by irradiating as a mask. Liquid crystal or the like is filled in the section formed by the upper partition wall formed in this manner.
ま た他の発明は、 基板上 に フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ゃ印刷で カ ラ 一 フ ィ ルタ ー等の配列、 寸法等の規格に の つ と て通常は等高の支持壁が 形成さ れ、 その上部 に樹脂 フ ィ ル ム層が形成さ れ、 更に上下の基板 と樹脂 フ ィ ル ム層、 側部の 支持壁で 区分け さ れた 区画内へ真空注入 等で発色作用 を成す こ と と な る 樹脂が充填 さ れ、 硬化 さ れる 。 こ の 際、 基板が橈んだ り し ない様 に 、 樹脂が着 き に く い処理 を し た ガ ラ ス板等で基板を 土台 に押 し付 け、 併せて ガラ ス板上等か ら 紫外線 を 照射 し た り 加熱 し た り して 、 樹脂を硬化 さ せた り する 。 Another invention is to provide a photolithographic printing method on a substrate, in which a support wall, which is usually at the same height as the standard of the arrangement and dimensions of the color filter, etc., is provided. A resin film layer is formed on top of it, and color development is performed by vacuum injection into a section separated by the upper and lower substrates, the resin film layer, and the side support walls. The resin to be formed is filled and cured. At this time, the substrate is pressed against the base with a glass plate or the like that has been treated so that the resin is difficult to reach, so that the substrate does not bend, and at the same time, from above the glass plate The resin is cured by irradiating it with ultraviolet light or heating it.
ま た他の発明に おいて は、 基板側か ら の仕切 り 壁 を マ ス ク と して の近紫外線 ( ガ ラ ス に吸収 さ れ難い ) 等を照射す る フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ に よ り 、 各区画の仕切 り 壁の上部 に のみ熱可塑性樹脂層 を形成 し、 こ の熱可塑性樹脂層 を接着剤 と して各区画の仕切 り 壁の上部 に 樹脂フ ィ ル ム膜等 を接着す る 。 な お こ の際、 樹脂 フ ィ ル ム膜が撓 ま ない よ う に す る に は、 金属 ロ ール等 を使用 す る 。 Further, in another invention, a photolithography system for irradiating near ultraviolet rays (which are hardly absorbed by glass) using a partition wall from the substrate side as a mask. Therefore, a thermoplastic resin layer is formed only on the upper part of the partition wall of each section, and this thermoplastic resin layer is used as an adhesive to form a resin film film on the upper part of the partition wall of each section. Glue etc. At this time, use metal rolls or the like to prevent the resin film from bending.
ま た他の発明 において は、 液晶表示装置 に使用 す る た め、 力 ラ フ ィ ルタ ーの各部材質や状態は そ の こ と を考慮 して な さ れて い る 。 ま た他の発明 にお い て は、 印刷等 に よ り ス ト ラ イ プ等の支持壁が 形成さ れ、 支持壁で 区分け さ れた 区画内 に、 一定の条件で所定の発 色作用 を な す発色素が印刷等で配置 さ れる 。 こ の際、 各区画は表示 面の画素や カ ラ 一 フ ィ ルタ ーの規格に対応 して い る 。 In other inventions, each material and state of the force filter is used in consideration of the fact that the filter is used for a liquid crystal display device. In another invention, a support wall such as a stripe is formed by printing or the like, and a predetermined coloring action is performed under a certain condition in a section divided by the support wall. The dye forming the color is arranged by printing or the like. At this time, each section corresponds to the standard of the pixel and the color filter on the display surface.
ま た他の発明は、 電極を有 す る 基板上に各画素 に対応 して の電極
を付着 す る かそ れ 自 身 が電極 を 兼ね た 透明な樹脂 フ ィ ル ム が基板及 び樹脂 フ ィ ル ム相互 に対 して所定の 間隙を 設けて (た だ し、 等間隔 と は限 ら な い ) 所定数積層 さ れ、 更 に基板 と樹脂 フ ィ ル ム及び樹脂 フ ィ ル ム相互の 間隙に 色素や カ イ ラ ル剤等の所定の発色素 を含む液 晶が充填 さ れて な る 画素が形成 さ れ た カ ラ 一表示用の液晶表示装置 におい て 、 上下 (基板 に 直交す る ) 方 向か ら 見て樹脂 フ ィ ル ム及び 中間の仕切 り 層 と して の樹脂 フ ィ ル ム の数だ け重な っ て 、 そ して基 板 と 樹脂 フ ィ ル ム及び樹脂 フ イ ル ム 相互の間隙 に それ ら の距離を一 定に保持す る と 共に個々 の 画素の周 囲 を 囲む よ う に支持部材が設け ら れ、 こ れ に よ り 各画素毎に 区分 して い る 。 ま た、 各画素の上下の 液晶層 は、 樹脂 フ ィ ル ム に よ り 区分け さ れて い る 。 Another invention is to provide an electrode corresponding to each pixel on a substrate having electrodes. A transparent resin film, which also serves as an electrode itself, is provided with a predetermined gap between the substrate and the resin film (however, it is not limited to equidistant). A predetermined number of layers are stacked, and a liquid crystal containing a predetermined coloring material such as a coloring agent or a coloring agent is filled in the gap between the substrate and the resin film and between the resin films. In a liquid crystal display device for displaying a character on which a new pixel is formed, as a resin film and an intermediate partition layer when viewed from above and below (perpendicular to the substrate). The number of resin films overlaps with each other, and the distance between the substrate and the resin films and the gap between the resin films is kept constant, and the individual A support member is provided so as to surround the periphery of the pixel, thereby dividing each pixel. There Ru. The liquid crystal layers above and below each pixel are separated by a resin film.
こ れに よ り 、 万一樹脂 フ ィ ルム に 穴や破れがあ る場合で も 、 その 画素のみ不良 に な る だ けで あ り 、 表示部全体に液晶の注入不良が発 生す る こ と を 防 ぎ、 製品の耐久性等歩留ま り を 向上 さ せて い る 。 ま た、 液晶表示装置 に おいて は、 支持部材が ブラ ッ ク マ ト リ ク ス を兼 ね る こ と も 可能 と な る 。 As a result, even if there is a hole or tear in the resin film, only the pixel is defective and liquid crystal injection failure may occur in the entire display. And improve yields such as product durability. Further, in the liquid crystal display device, the support member can also serve as black matrix.
ま た他の発明 において は、 樹脂 フ ィ ルム が透明な導電性樹脂か ら な る 。 こ の た め 、 樹脂 フ ィ ル ム が画素電極を 兼ね る こ と が で き 、 絶 縁体の樹脂 フ ィ ル ム上 に電極を形成 し た場合に 比べて樹脂 フ ィ ル ム での電圧降下 を抑 え、 高い表示性能 を得 る こ と がで き る 。 なお、 現 時点の導電性樹脂は、 厚 く する と 透明性が劣化す る た め、 そ の厚み は数 / z m程度以下 と す る こ と が望 ま し いが、 こ の場合で も 、 各画素 の液晶は機械的、 物理的に独立 し て い る (往来がな い ) た め製造で の歩留 ま り 低下、 耐久性の劣化 を抑 え る こ と がで き る 。 In another invention, the resin film is made of a transparent conductive resin. As a result, the resin film can also serve as the pixel electrode, and the voltage at the resin film is lower than when the electrode is formed on the insulating resin film. The descent can be suppressed and high display performance can be obtained. At this time, since the transparency of the conductive resin at this time deteriorates when it is made thicker, it is desirable that the thickness be about several zm or less, but even in this case, Since the liquid crystal of each pixel is mechanically and physically independent (no traffic), it is possible to suppress a reduction in production yield and deterioration in durability.
ま た他の発明は、 樹脂 フ ィ ル ム が各画素毎 に電気的 に 分割 さ れて い る た め、 各画素毎の駆動が可能 と な り 、 マ ト リ ク ス 表示が可能 と
な る 。 な お こ の場合に は、 必要 に応 じて の コ ン タ ク ト ホールが支持 部材内 に設 け ら れた り す る の は勿論で あ る 。 In another invention, since the resin film is electrically divided for each pixel, it is possible to drive each pixel, and it is possible to display a matrix. Become . In this case, of course, a contact hole is provided in the supporting member as needed.
ま た他の発明は、 各画素内 の液晶は他の 画素の液晶 と孤立 して い る が、 製造時 に限っ て は 同一画素内の上下 に積層 し た各発色用 の異 な る液晶層 と は共通の液晶注入孔 を 有 して い る 。 In other inventions, the liquid crystal in each pixel is isolated from the liquid crystal in other pixels, but only during manufacturing, different liquid crystal layers for each color are stacked on top and bottom in the same pixel. And have a common liquid crystal injection hole.
ま た他の 発明は、 各画素の各発色用 の液晶層は共通の液晶注入孔 を 有 し、 更 に各層毎に そ の入 口部 に上部 (注入側) の樹脂フ ィ ル ム よ り 下部へ入 り 込んだ放射線や紫外線硬化型、 二液混合硬化型、 多 少の加熱で硬化す る 型等の封止用樹脂を有 して い る 。 こ れに よ り 、 各層毎 に所定の色の ゲス ト ホス ト 液晶 に な る 無色の液晶等を共通の 孔か ら 充填す る と共 に 、 注入後発色性の異な る こ と と な っ た各液晶 がその共通の注入孔を 介 して往来す る の を硬化 した封止用樹脂が防 止す る 。 なお こ の場合、 封止用樹脂は最上 (天蓋) 部の樹脂フ ィ ル ム に塗布 さ れ、 硬化す る こ と に よ り 、 単 に注入孔を封止す る だ けで な く 、 該樹脂 フ ィ ル ム の機械的保護、 内部への水分の侵入の防止等 の作用 を 発揮す る 。 In another invention, the liquid crystal layer for each color of each pixel has a common liquid crystal injection hole, and each layer further includes an upper (injection side) resin film at an entrance thereof. It has a sealing resin such as a radiation or ultraviolet curing type penetrating into the lower part, a two-part mixed curing type, or a type that cures with a small amount of heating. As a result, each layer is filled with a colorless liquid crystal or the like that becomes a guest-host liquid crystal of a predetermined color from a common hole, and also has a different coloring property after injection. The cured sealing resin prevents each liquid crystal from flowing through the common injection hole. In this case, the sealing resin is applied to the uppermost (canopy) resin film and is cured, so that not only can the sealing hole be simply sealed, but also the sealing resin can be sealed. It exerts effects such as mechanical protection of the resin film and prevention of intrusion of moisture into the resin film.
ま た他の発明は、 電極を有す る 基板上 に電極 を付着す る か 自 身が 電極を兼ねた透明な樹脂フ ィ ル ム が基板及び樹脂フ ィ ル ム相互 に 対 して必要 な液晶層厚 さ 等か ら定ま る 所定の間隙を設けて 表示す る 色 彩やそ の原色か ら定 ま る所定数積層 さ れ、 更 に基板 と樹脂 フ ィ ル ム 及び樹脂 フ ィ ル ム相互の間隙に所定の発色素 を含む液晶が充填 さ れ て な る 画素が形成さ れた カ ラ 一表示用 の液晶表示装置の製造方法 に おいて 、 基板 と樹脂 フ ィ ル ム及び樹脂 フ ィ ル ム相互を 一定間隙に保 持す る と共に、 各画素の水平仕切 り 壁 と な り 他の画素か ら 区分け す る 支持部材を 、 基板上樹脂 フ ィ ル ム の重な っ て形成さ れた数だ け繰 り 返 して、 そ して露光等 を利用 し て 上下 (基板に 直交す る ) 方向 か
ら 見た場合重ねて 形成す る 。 Further, another invention requires that an electrode is attached to a substrate having an electrode or that a transparent resin film which also serves as an electrode is required for the substrate and the resin film to each other. A predetermined gap is determined by the thickness of the liquid crystal layer, etc., and a predetermined number of layers are determined based on the colors to be displayed and their primary colors. Further, the substrate, the resin film, and the resin film are further laminated. In a method of manufacturing a liquid crystal display device for displaying a color, in which a pixel formed by filling a liquid crystal containing a predetermined dye in a gap between the substrates, a substrate, a resin film, and a resin A support member that keeps the films at a constant gap and forms a horizontal partition wall for each pixel and separates it from other pixels is formed by overlapping the resin film on the substrate. It repeats for the specified number, and then uses exposure and the like to move it up and down ( Either direction When viewed from above, they are formed in layers.
ま た こ の た め、 各層 の 支持部材が形成 さ れ る 毎 に そ の上部 に 各液 晶層の上下方 向 の境界壁 と な る 樹脂 フ ィ ル ム を形成す る 。 ま た 、 基 板 と樹脂 フ ィ ル ム ま た は樹脂 フ ィ ル ム相互の間隙に液晶 を注入す る の に先立 っ て、 予め そ の 間隙内 に所定の色素等 を 配置 さ れて い る 。 ま た、 同一画素内 の上下の各層 に 各発色用 の液晶層が充填 さ れ る こ と と な る よ う 、各画素毎 に共通の液晶注入孔 を 開設 さ れ る 。そ して 、 その注入孔 よ り 原則 と し て無色の液晶が注入 さ れ る 。 更 に間隙内 に 注入さ れた液晶 に こ の色素等 を溶解 さ せ る 。 For this reason, each time a support member for each layer is formed, a resin film is formed on the upper portion of the support member so as to be an upper and lower boundary wall of each liquid crystal layer. Prior to injecting liquid crystal into the gap between the substrate and the resin film or between the resin films, a predetermined dye or the like is placed in the gap beforehand. Yes. Also, a common liquid crystal injection hole is opened for each pixel so that the upper and lower layers in the same pixel are filled with the liquid crystal layers for each color. Then, as a rule, colorless liquid crystal is injected from the injection hole. Further, the dye or the like is dissolved in the liquid crystal injected into the gap.
こ れに よ り 、 そ の各発色用 の各層 に各層毎に所定の色の ゲス ト ホ ス ト 液晶 と な る 液晶 を個 々 に充填す る ( た だ し、 充填時に発色性が 有 る と は限 ら な レ、 )こ と と な り 、樹脂 フ ィ ル ム の破れ に よ る 各画素、 各層の液晶の混合、 そ して製品の歩留 ま り 低下等 を抑 え る こ と が可 能 と な る 。 As a result, each layer for each color formation is filled with a liquid crystal to be a guest-host liquid crystal of a predetermined color for each layer (however, there is a coloring property at the time of filling). In other words, it is necessary to suppress the mixture of the liquid crystal of each pixel and each layer due to the breakage of the resin film, and the reduction of the yield of the product. Is possible.
ま た他の発明は、発色素は マ イ ク ロ カ プセ ル内 に 入れて 配置す る , 更に こ のマ イ ク ロ カ プセ ルは、 液晶内 に混入 さ れた化学物質 に よ り 液晶注入後あ る いは更 に そ の後の加熱や昇温時に破壊 さ れ、 発色素 は液晶内 に拡散す る 。 な お こ の際、 加熱、 振動等の処理 も な さ れ る 。 In another invention, the dye is arranged in a microcapsule, and the microcapsule is formed by a chemical substance mixed in the liquid crystal. It is destroyed after the liquid crystal is injected or further heated or heated, and the dye is diffused into the liquid crystal. At this time, treatments such as heating and vibration are also performed.
ま た他の発明は、 電極 を有 す る 基板上 に電極を付着す る か 自 身が 電極を兼ねた透明な樹脂 フ ィ ル ム が基板及び樹脂 フ ィ ル ム相互に対 して所定の間隙を 設けて所定数積層 さ れ、 更に基板 と 樹脂 フ ィ ル ム 及び樹脂 フ ィ ル ム相互の間隙に所定の二色性色素や カ イ ラ ル剤等の 発色素 を含む液晶が充填 さ れて な る 画素が形成さ れた カ ラ 一表示用 の液晶表示装置の製造方法に おいて 、 露光後の加熱に よ り 昇華性 と な る (現時点では、 こ ち ら が普通) か昇華性を失 う こ と と な る 感光 性材料の層 と樹脂 フ ィ ル ム と を 交互 に所定数積層 し た後、 フ ォ ト リ
ソ グ ラ フ ィ 一 と 画素部分の感光性材料の 昇華 に よ り 画素用 の 各発色 用 の液晶層 と な る 上下 に複数積層 し た 間隙 と そ の周辺の支持部材を 基板上に形成す る 。 In another invention, an electrode is adhered on a substrate having electrodes, or a transparent resin film which also serves as an electrode is provided in a predetermined manner with respect to the substrate and the resin film. A predetermined number of layers are laminated with a gap, and a liquid crystal containing a predetermined dichroic dye or a coloring agent such as a chiral agent is filled in the gap between the substrate and the resin film and between the resin films. In a method of manufacturing a liquid crystal display device for a color display in which a pixel to be formed is formed, sublimation may be caused by heating after exposure (this is normal at this time) or sublimation. After alternately laminating a predetermined number of layers of photosensitive material and resin film that will lose their properties, By sublimating the photosensitive material of the pixel and the pixel portion, a plurality of upper and lower gaps, which are liquid crystal layers for each color for pixels, and a support member around the gap are formed on the substrate. .
こ れ に よ り 、 わ ざわ ざ支持部材を形成す る ス テ ッ プがな く な り 、 製造工程が簡略化 さ れ る 。 ま た 、 上下 の各間隙に は液晶注入に先立 つ て 発色素が配置 さ れて い る た め、 こ の発色素は注入さ れた液晶 に 溶け、 発色作用 を な す。 ま た、 上下の間隙に共通の注入孔よ り 特別 な用途等 を除 き原則 は無色の液晶 を 充填す る こ と に よ り 、 容易 に発 色用 の液晶層 を 形成す る こ と が可能 と な る 。 This eliminates the step of forming the support member, and simplifies the manufacturing process. In addition, since a dye is arranged in each of the upper and lower gaps before injecting the liquid crystal, the dye dissolves in the injected liquid crystal and has a color forming effect. In addition, the liquid crystal layer for color formation can be easily formed by filling colorless liquid crystal in principle except for special uses, etc., except for a special injection hole in the upper and lower gaps. It becomes possible.
ま た他の発明 に お いて は、 感光性材料は露光後の加熱で昇華性を 有 して い る も の で あ り 、 こ の た め フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ 一の際、 画素 部が露光 さ れ る こ と と な る 。 In another invention, the photosensitive material has a sublimation property by heating after exposure, and therefore, when the photolithography is performed, the photosensitive material has a sublimation property. The part will be exposed.
ま た他の発明 に お いて は、 各層用 の感光性材料中 に予め所定の そ して 非昇華性、そ し て勿論非蒸発性の 2 色性色素等 を 混入 して お き、 画素部の液晶充填部を 昇華さ せ間隙 を形成す る に併せて、 こ の各間 隙内に発色素 を残置 さ せる 。 In another invention, a predetermined non-sublimable and, of course, a non-evaporable dichroic dye is mixed into the photosensitive material for each layer, and the pixel portion is formed. The liquid crystal filling portion is sublimated to form gaps, and at the same time, a dye is left in each of the gaps.
ま た他の発明 に お いて は、 各層共通の各画素毎の液晶注入孔は、 液晶が充填 さ れ る 空隙を形成す る た め感光性材料が昇華す る 際の分 子の通過孔を兼ねて い る 。 In another aspect of the invention, the liquid crystal injection hole for each pixel common to each layer forms a space filled with the liquid crystal, so that the hole through which the molecule passes when the photosensitive material sublimates is formed. Also serves as .
ま た他の発明 に おいて は、 各画素毎の各液晶層 に共通 し た注入孔 を各層毎 に樹脂で封止す る の に、 液晶 と 基板等 と の熱膨張率の差 を 利用 す る 。 すな わ ち 、 基板上画素部の 各間隙内への液晶の注入は一 定の加熱 さ れた温度下で行われ、 そ の後少 く も 注入孔部に封止用樹 脂が塗布 さ れ、 こ の後基板温度が室温へ下 げ ら れ る 。 そ して 、 液晶 の相対的な収縮の も と 封止用樹脂は注入孔内各層の入 口部 ま で吸引 さ れる 。 こ の状態で封止用樹脂の 固化がな さ れる 。 こ の た め、 各画
素内で相互 に作用 の異な る 発色素 を 含む各層 の液晶は相互に混 ざ り 合 う こ と がな レヽ 。 In another invention, the difference in thermal expansion coefficient between the liquid crystal and the substrate is used to seal the injection hole common to each liquid crystal layer of each pixel with resin for each layer. . That is, the liquid crystal is injected into each gap of the pixel portion on the substrate at a constant heated temperature, and at least thereafter, a sealing resin is applied to the injection hole portion. Then, the substrate temperature is lowered to room temperature. Then, due to the relative contraction of the liquid crystal, the sealing resin is sucked up to the entrance of each layer in the injection hole. In this state, the sealing resin is solidified. For this reason, The liquid crystals in each layer containing dyes having mutually different actions in the element cannot mix with each other.
対向 して 配置 さ れた基板部 と 天蓋部 と の 間の全面や周辺部 を除 く 全面等 に ス ぺーザが挟 ま れ、 そ の後、 画素形成部等の所定領域の ス ぺ一サ材料のみが除去 さ れ る こ と に よ り 、 基板部、 天蓋部及び除去 さ れな か っ た ス べ一ザに よ っ て 囲わ れ た空隙 を 有 す る こ と と な っ た 積層構造体に お いて 、 ス ぺ一サは、 紫外線等特定のエネルギーが与 え ら れ る こ と に よ り 分解 して 昇華す る (念の た め記すが、 液化後の 蒸発を 含む) 材料等であ り 、 天蓋部は、 こ の昇華 した気体分子 を透 過させ る 材料で あ る 。 A spacer is sandwiched between the substrate portion and the canopy portion, which are arranged to face each other, and over the entire surface except for the peripheral portion, and then, a spacer is provided in a predetermined region such as a pixel forming portion. A laminated structure that has a void surrounded by the substrate, canopy, and the unremoved cavities because only the material is removed In the body, a sponger is decomposed and sublimated by the application of specific energy such as ultraviolet rays (including, as a reminder, evaporation after liquefaction). The canopy is a material that allows the sublimated gas molecules to pass through.
こ の た め、 空隙はマ ス ク を介 して の紫外線照射等で特定のェネ ル ギ一 を与え る こ と に よ り 、 微細な寸法で も 精度 よ く かつ容易 に形成 さ れる 。 For this reason, the voids can be formed accurately and easily even with fine dimensions by giving a specific energy by irradiating ultraviolet rays or the like through a mask.
尚、 こ こ に 「特定のエネルギー」 は、 あ る 波長以下の紫外線や 1 0 0 °C等あ る 温度以上の熱あ る い は そ れ ら 両方等で あ り 、 製品が通 常使用 さ れ る 際の周辺環境か ら 晒さ れた り 使用時に晒 さ れる も ので はな いの が好 ま しい。 従 っ て 、 製品の使用後の こ のエネ ルギーの付 与で、 製造時に昇華せず除っ て い た ス ぺ一サ材料が昇華す る こ と が な い の は勿論で あ る 。な お ま た こ の材料は、一旦加熱硬化等すれば、 その後は昇華 し な く な る性質を有 して い る のが尚好 ま しい。 The term “specific energy” used herein refers to ultraviolet light below a certain wavelength, heat above a certain temperature such as 100 ° C, or both, and the like. It should not be exposed to the surrounding environment when exposed or exposed during use. Therefore, it is a matter of course that the application of this energy after the use of the product does not cause the sublimation of the material removed without sublimation at the time of manufacturing. In addition, it is more preferable that this material has such a property that once cured by heating, it does not subsequently sublime.
ま た他の発明 で は、対向 して 配置 さ れた基板部 と 天蓋部 と の 間 に、 少 く も 1 、 原則 と して 2 若 し く は 5 ( 3 原色層が 2 段) の 中間仕切 層 を介在 さ せ、 基板部、 中間仕切層、 天蓋部の各間 に紫外線の照射 等特定の エ ネ ル ギー に よ り 昇華す る 物質か ら な る ス ぺーザが挟 ま れ 更に こ の スぺ一サは紫外線に よ る 照射等で特定領域のみ昇華で除去 さ れて い る 。 こ の た め、 上下方 向は基板部、 天蓋部又は 中 間仕切層、
側部は昇華 し な か っ た 部分の ス ぺーサ と に よ っ て 囲われた空隙が積 み重な っ て形成 さ れた積層構造体で あ る 。 なお、 天蓋部及び中 間仕 切層は、 前記特定の エ ネ ル ギー を 通過 さ せ る と と も に、 昇華 し た ス ぺーサ材料の分子 を透過 さ せ る 材料 よ り な る 。 In another invention, at least one, in principle, two or five (three layers of three primary color layers) are provided between the substrate portion and the canopy portion which are arranged opposite to each other. A spacer made of a substance that sublimates by a specific energy such as ultraviolet irradiation is sandwiched between the substrate, the intermediate partition, and the canopy with an intervening partition layer. In this spacer, only a specific area is removed by sublimation by irradiation with ultraviolet rays or the like. For this reason, the upward and downward directions are the substrate part, canopy part or intermediate partition layer, The side portion is a laminated structure formed by stacking voids surrounded by spacers that have not sublimated. The canopy portion and the intermediate partition layer are made of a material that allows the passage of the specific energy and the permeation of sublimated molecules of the spacer material.
な お、 基板部は薄い板ガ ラ ス が基材で あ る の が普通で あ る が、 製 品の用途に よ っ て は天蓋部や 中間仕切層 と 同 じ材料であ っ て も 良い のは勿論であ る 。 こ の場合に は、 昇華促進兼空隙内への液晶充填用 細孔を設け な く て も 、 最下部 (基板側 ) の昇華 した 気体分子の外部 への脱出が速やか に な さ れ る こ と と な る 。 The substrate is usually made of a thin plate glass, but depending on the use of the product, it may be made of the same material as the canopy or the intermediate partition layer. Of course. In this case, the sublimated gas molecules at the lowermost portion (substrate side) can be quickly escaped to the outside without providing the sublimation promoting and liquid crystal filling pores in the voids. It becomes.
ま た、 他の発明 に よ れば、 特定のエネ ル ギーの付与は、 マス ク を 介 して の紫外線等の照射 と な る た め、 多層のス ぺ一サ材料が同一形 状で 重な っ た態様で露光す る こ と と な る 。積層方 向 に連続す る 形状 特にエ ッ ジの揃 っ た多数の空隙が一度 に形成さ れる 。 Further, according to the other invention, since the application of the specific energy is performed by irradiating ultraviolet rays or the like through the mask, the multilayer sensor material has the same shape and overlaps. Exposure is performed in a different manner. A shape continuous in the laminating direction, in particular, many voids with uniform edges are formed at once.
ま た他の発明 に よ れば、 積層構造体は、 ス ぺ一サ構成材料が露光 等で昇華 して形成さ れた空隙内 に色素 を含んだ透明樹脂液晶等ス ぺ 一ザの材料 と 異な る 材料が充填 さ れて い る 。 According to another invention, the laminated structure is made of a material such as a transparent resin liquid crystal containing a dye in a void formed by sublimation of a spacer constituent material by exposure or the like. Different materials are filled.
ま た他の発明 において は、 基板部上 に特定のエ ネ ル ギーの付与 に よ り 昇華す る 材料や こ れを 主材 と す る 材料か ら な る ス ぺーサ層 を形 成す る ス ぺ一サ層形成ス テ ッ プ と 、 ス ぺ一サ層上 に 、 上記特定のェ ネ ルギ一を通過 さ せ、 更に昇華 し た 分子 を透過 さ せ る材料の天蓋部 を積層す る 天蓋部形成ス テ ッ プ と 、 画素や カ ラ 一 フ ィ ル タ 一形成部 等の ス ぺーサ材料の所定領域に、 特定の エネ ルギー を与 え る こ と に よ り 、 当該部のス ぺーサ材料を昇華さ せ、 更 に そ の昇華 した気体分 子が天蓋部 を 透過 して外部へ排出 さ れる こ と に よ り 、 上下の基板部 と 、 天蓋部及び側部の昇華せず に除っ た ス ぺーサ材料に よ っ て 囲わ れた空隙を形成す る 空隙形成ス テ ッ プ と を 有 して い る 。 なお、 以上
の他必要 に応 じて 昇華 し た 気体の放散促進兼形成さ れた 空隙内への 液晶等の注入用 の細孔 を 設け る ス テ ッ プを 有 して い た り 、 天蓋部 と して 導電性樹脂 と 強度の 比較的高い樹脂 と を重ねた膜を 選定す る ス テ ツ ブを 有 して レヽ た り 、 昇華 し な か っ た ス ぺ一サ一層の材料 を硬化 さ せ る ス テ ッ プを 有 し て い た り も す る 。 In another aspect of the invention, a substrate that forms a spacer layer made of a material that sublimates by applying a specific energy or a material that is a main component thereof on the substrate portion. Steps for forming a spacer layer, and a canopy on the spacer layer, which is made of a material that allows the specific energy to pass therethrough and that allows the sublimated molecules to pass therethrough. A specific energy is imparted to a predetermined region of a spacer material such as a pixel or a color filter-forming portion, by forming a specific portion of the portion. The sublimated material is sublimated, and the sublimated gas molecules pass through the canopy and are discharged to the outside, so that the upper and lower substrates, the canopy and the sides are not sublimated. A void forming step for forming a void surrounded by the removed spacer material. Yes. The above In addition, if necessary, there is a step for promoting the diffusion of sublimated gas and providing a hole for injecting liquid crystal or the like into the formed void, or a canopy. Have a step of selecting a film in which a conductive resin and a resin having a relatively high strength are overlapped with each other to cure a layer of material that has not been sublimated or cured. May have steps.
ま た他の発明は、 基板部上面 に、 特定のエネ ルギー付与 に よ り 昇 華す る 材料の ス ぺーザ と 、 上記特定のエネ ルギー を通過 さ せ、 昇華 し た分子 を透過 さ せ る 材料の 中 間仕切層 と か ら な る 層 を 複数回形成 する ス テ ッ プ と 、 形成 さ れた最上層のス ぺ一ザの上面に 上記特定の エネ ルギー を 通過 さ せ、 昇華 し た気体分子 を透過 さ せ る 材料で 天蓋 部を形成す る 天蓋部形成ス テ ッ プ と 、 ス ぺ一ザの所定領域に、 上記 特定のエネ ルギー を 与 え て 当該部の、 スぺ一サ材料を昇華 さ せ、 更 にそ の昇華 した 気体分子が中間仕切層及び天蓋部か ら 透過 して外部 へ拂出 さ れる こ と に よ り 、 上下の基板部、 天蓋部、 中間仕切層 と 側 部の昇華 しな か っ た ス ぺ一サ材料 と で 囲われた空隙を積層 して形成 す る 空隙形成ス テ ッ プ と を有 して い る 。 以上の他、 必要 に応 じて ス ベ一サ材料中 に あ ら か じ め色素や カ イ ラ ル剤等 を極 く 少量混入す る 混入ス テ ッ プゃ形成 さ れた空隙内 に液晶を 真空注入方で注入す る 注 入ス テ ッ プ等 を有 して レ、 る 。 According to another aspect of the invention, a substrate of a material that sublimates by applying a specific energy to the upper surface of the substrate portion, and the specific energy is passed through to pass the sublimated molecules. A step of forming a layer consisting of an intermediate partition layer of the material a plurality of times, and a gas sublimated by passing the above specific energy on the upper surface of the formed uppermost layer A canopy-forming step for forming the canopy with a material that allows molecules to permeate; and applying the above specific energy to a predetermined region of the stirrer to form a canopy material. Is sublimated, and the sublimated gas molecules pass through the intermediate partition layer and the canopy and are discharged to the outside, so that the upper and lower substrates, the canopy, the intermediate partition layer and the sides are removed. The gap surrounded by the material that did not sublimate It is closed and the gap forming scan STEP you formed by layer. In addition to the above, if necessary, a very small amount of a dye, a chiral agent, etc. is preliminarily mixed into the sealing material. There is an injection step for injecting by vacuum injection method.
ま た他の発明 に よ れば、 天蓋部の上方若 し く は接 して の上部 に基 板上の カ ラ ー フ ィ ル タ ーや画素の形状、 寸法、 配置等 に 対応 して の 切 り 欠 き の有 る マ ス ク が設置 さ れ、 更 に その上方 よ り 紫外線等が照 射さ れ、 こ れに よ り ス ぺ一サ材料の所定部一露光 さ れ、 分解 し て 昇 華 した り 、 照射後の加熱で昇華 し た り す る 。 こ の際、 昇華 し た ス ぺ —サ材料の分子は 中 間仕切層及び天蓋部 を透過 す る 等 し て排出 さ れ 多層の空隙が正確 に重な っ た そ して特に エ ツ ジ が揃 っ た空隙が形成
さ れる 。 According to another invention, the shape, size, arrangement, etc. of a color filter or a pixel on the substrate are provided above or in contact with the canopy. A mask with a notch is installed, and ultraviolet light and the like are further radiated from above the mask, whereby a predetermined portion of the spacer material is exposed and decomposed. Sublimation or sublimation by heating after irradiation. At this time, the molecules of the sublimated spacer material are discharged by passing through the intermediate partition layer and the canopy, etc., and the multi-layered voids are precisely overlapped, and especially the edges are aligned. Voids formed Be done.
ま た他の発明 に よ れば、 積層等 さ れた 区画構造物の微小な空隙内 に スぺ一ザの材料 と は異な る 材料が充填 さ れて い る 。 具体的 に は、 例え ば液晶 を 充填す る こ と に よ り 、 液晶表示素子の構成要素 と し て の積層区画構造物 を 容易 に製造す る こ と がで き る 。 Further, according to another invention, a material different from the material of the spacer is filled in minute voids of the partitioned structural structures stacked or the like. Specifically, for example, by filling a liquid crystal, it is possible to easily manufacture a laminated partitioned structure as a component of a liquid crystal display element.
ま た他の発明 に よ れば、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一や液晶表示装置 ( のパ ネル) のみ な ら ず、 様々 の微細、 そ して 多数の 区画か ら な る 、 あ る いはそ れ ら を 有す る 構造物 (含む、 膜等) と して い る 。 図 面 の 簡 単 な 説 明 図 1 は、 従来の液晶素子の 断面図で あ る 。 According to another invention, not only a color filter and a liquid crystal display (panel), but also various fines and a large number of compartments. Are the structures (including membranes, etc.) having them. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional liquid crystal device.
図 2 は、 従来の液晶表示装置等 にお け る 1 層の 区画構造の膜の 一部破断斜視図であ る 。 FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of a film having a one-layer partitioned structure in a conventional liquid crystal display device or the like.
図 3 は、 従来の液晶表示装置等 にお け る 3 層の積層の区画構造 の膜の一部破断斜視図で あ る 。 FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of a film having a three-layer laminated partition structure in a conventional liquid crystal display device or the like.
図 4 は、 本発明の第 1 の実施の形態 と して の カ ラ 一表示用液晶 表示装置の製作手順 を 示す図で あ る 。 FIG. 4 is a view showing a procedure for manufacturing a color display liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.
図 5 は、 本発明の第 2 の実施の形態 と して の カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 の製作手順 を 示す図で あ る 。 FIG. 5 is a diagram showing a procedure for manufacturing a color filter as a second embodiment of the present invention.
図 6 は、 本発明の第 3 の実施の形態 と して の カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 の製作手順 を 示す図で あ る 。 FIG. 6 is a diagram showing a procedure for manufacturing a color filter as a third embodiment of the present invention.
図 7 は、 本発明の第 4 の実施の形態 と して の カ ラ 一表示用液晶 表示装置の 画素部の平面図で あ る 。 FIG. 7 is a plan view of a pixel section of a color display liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention.
図 8 は、 上記画素部の断面図で あ る 。 FIG. 8 is a cross-sectional view of the pixel section.
図 9 は 、上記画素部の C 一 C 断面の形成の手順 を 示 す図で あ る 図 1 0 は、 上記画素部の A — A 断面の形成の手順 を 示す図で あ
る FIG. 9 is a diagram showing a procedure for forming the C-C cross section of the pixel portion. FIG. 10 is a diagram showing a procedure for forming the A-A cross section of the pixel portion. To
図 1 1 は、 本発明の第 5 の実施の形態 と して の カ ラ 一表示用液 晶表示装置の製作手順 を 示 す図で あ る 。 FIG. 11 is a diagram showing a procedure for manufacturing a color display liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention.
図 1 2 は、 本発明の第 6 の実施の形態 と して の カ ラ 一表示用液 晶デ ィ ス プ レ イ の使用状態を 示す図で あ る 。 FIG. 12 is a diagram showing a use state of a color display liquid crystal display according to a sixth embodiment of the present invention.
図 1 3 は、 本発明の第 8 の実施の形態 と して の間隙を示す図で あ る 。 FIG. 13 is a diagram showing a gap according to the eighth embodiment of the present invention.
図 1 4 は 上記実施の形態の間隙の形成手順 を 示す図であ る 。 図 1 5 は 本発明の第 9 の実施の形態 と して の 3 層の間隙を 示 す図で あ る 。 FIG. 14 is a diagram showing a procedure for forming a gap according to the above embodiment. FIG. 15 is a diagram showing a gap of three layers as a ninth embodiment of the present invention.
図 1 6 は、 上記実施の形態の間隙の形成手順 を示す図で あ る 発 明 の 実 施 の 形 態 以下、 本発明 を そ の好ま しい実施の形態 に基づいて説明す る 。 (第 1 の実施の形態) FIG. 16 is a diagram showing a procedure for forming a gap according to the above embodiment. Embodiment of the Invention The present invention will be described below based on a preferred embodiment. (First Embodiment)
本実施の形態は、 単層型の カ ラ ー液晶表示装置に関 し、 フ ォ ッ ト ソ ン グ ラ フ ィ に よ り ス ト ラ イ プ型の画素の 区画を形成 し、 更 に 画素 内 に染料を 印刷塗布 し た後液晶 を 注入す る も のであ る 。 The present embodiment relates to a single-layer color liquid crystal display device, in which a strip-type pixel section is formed by a photo-song graph, and furthermore, a pixel is formed. Liquid crystal is injected after the dye is printed and applied inside.
本実施の形態を 、 図 を参照 しつ つ説明す る 。 The present embodiment will be described with reference to the drawings.
図 4 は、 本実施の形態の液晶表示素子の製造方法の概略を 示す図 であ る 。 以下、 本図 を基に そ の手順 を 説明す る 。 FIG. 4 is a diagram schematically illustrating a method for manufacturing the liquid crystal display element of the present embodiment. Hereinafter, the procedure will be described based on this figure.
( a ) 基板 2 0 上 に 、 ス ト ラ イ プ状 にノ 夕 一ニ ン グ し た透明電極 2 1 を形成 し、 更 に配向膜 (以下、 図示 し な い ) 2 2 を 塗布 して ラ ビ ン グす る 。 (a) A transparent electrode 21 formed in a stripe shape is formed on a substrate 20 and an alignment film (not shown) 22 is further applied thereon. Love it.
( b ) 東京応化工業 (株) の黒色顔料分散 レ ジ ス ト 4 1 を厚 さ 5 ミ ク ロ ン に塗布 し マ ス ク 2 3 で近紫外線 ( U V A ) に よ る 露光 を し
た。 (b) A black pigment dispersion register 41 of Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. is applied to a thickness of 5 micron and exposed to near ultraviolet (UVA) with a mask 23. Was.
( c ) 現像 して 電極 2 1 の隙間 に幅 1 5 ミ ク ロ ン 、 高 さ 5 ミ ク ロ ンの ス ト ラ イ プ状の 支持柱 4 2 を 電極の幅 と 同 じ 0 . 3 3 m m ピ ッ チで作成 し、 2 0 0 度 C の オー ブ ンで 1 時間硬化 さ せた。 (c) After development, a strip-like support column 42 of width 15 micron and height 5 micron is placed in the gap between the electrodes 21 with the same width as the electrode 0.33. It was made with mm pitch and cured for 1 hour in a 200 ° C oven.
( d ) J S R (株) の ア ク リ ル系ポ ジ型 レ ジ ス ト P C 4 0 3 か ら な る レ ジ ス ト 膜 4 3 を 全面 に塗布 し、 基板 2 0 の下面側か ら ガ ラ ス に吸収 さ れに く い長波長の紫外線で露光す る 。 (d) A resist film 43 consisting of an acrylic-based resist PC 403 of JSR Corporation is applied to the entire surface, and the resist film is applied from the lower surface side of the substrate 20. Exposure is performed with long-wavelength ultraviolet light that is hardly absorbed by the glass.
( e ) 支持柱 4 2 が遮光マ ス ク と して機能 し、 現像に よ り 支持柱 4 2 の頭頂部に の み レ ジ ス ト か ら な る接着層 4 4 が残る 。 なお、 こ の P C 4 0 3 は、 本来はマ イ ク ロ レ ン ズ作成用の、 熱溶融型 レ ジス ト で あ る が、 加熱 を持続す る と硬化、 微細加工が可能な接着材 と し て有効であ る こ と を本発明者 ら は発見 した も ので あ る 。 こ れに限 ら な いが、ポ ジ型 レ ジ ス ト は熱可塑性 を 有 す る ので接着層 に な り う る こ の場合、 ァ ク リ ル系やス チ レ ン 系の熱溶融型 レ ジス ト が接着層 と して は望 ま し い。 (e) The support pillars 42 function as a light-shielding mask, and an adhesive layer 44 consisting of a resist only remains on the top of the support pillars 42 due to the development. Note that this PC 403 is originally a hot-melt type resist for microlens production, but it can be cured and fine-processed with continued heating. The present inventors have found that the present invention is effective. Although not limited to this, in the case where the post-type resist has a thermoplastic property and can be used as an adhesive layer, an acrylic or styrene-based hot-melt type is used. The resist is not desirable as an adhesive layer.
そ れか ら 、 ィ匕学繊維の染色に用 い ら れる メ チ ン染料、 ベ ン ゾ キ ノ ン染料な どの う ち 、 分子構造が棒状で ない も の を選択 し、 ブ レ ン ド す る こ と に よ り 、 二色性の な い赤、 緑、 青の 3 種の色素 を得た。 こ れ ら の色素 を 、 ジエチ レ ン グ リ コ ール ジ メ チルェ一テ ル に 1 0 重 量%溶か し た の ち 、 ス ク リ ー ン印刷で支持柱の間 に塗布 して か ら 乾 燥さ せて 、 赤 ( R ) 色素 7 1 、 緑 ( G ) 色素 7 2 、 青 ( B ) 色素 7 3 を ス ト ラ イ ブ状 (図の奥行 き方 向 に伸びて い る ) に付着さ せた。 Then, select from among methine dyes and benzoquinone dyes used for dyeing textiles that do not have a rod-like molecular structure and blend them. As a result, three types of pigments without dichroism, namely red, green and blue, were obtained. After dissolving these dyes in 10% by weight of diethyl alcohol, dimethyl alcohol, apply it between the support columns by screen printing. After drying, red (R) dye 71, green (G) dye 72, and blue (B) dye 73 are striped (extending in the depth direction in the figure). Adhered.
( f ) 内 (下 ) 面側 に I T 0の列電極 3 1 及びラ ビ ン グ した配向 膜 3 2 を形成 し た対向基板 3 0 を 、 支持柱の上 に 載せ た状態で真空 ノ ッ ク 袋に いれて均一 に加圧 し、 1 5 0 度 Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上で 加熱す る と 、 数分で接着層 4 4は溶融 して つぶれ、 2 時間加熱す る
と接着層 4 4 は硬化 し た 。 こ の た め、 上下の基板 2 0 〜 3 0 は、 手 で は剥がれ難いほ ど強固 に接着 し た 。 ま た、 セ ル厚は、 6 ± 0 . 0 5 ミ ク ロ ン と 、 極めて 正確 に作製で き た 。 (f) Vacuum knock with the counter substrate 30 with the IT 0 column electrode 31 and the rubbed alignment film 32 formed on the inner (lower) surface side placed on the support pillar In a bag, pressurized uniformly and heated on a hot plate at 150 ° C. In a few minutes, the adhesive layer 44 melts and collapses, and is heated for 2 hours. And the adhesive layer 4 4 was cured. For this reason, the upper and lower substrates 20 to 30 adhered firmly so that they were not easily peeled off by hand. In addition, the cell thickness was 6 ± 0.05 micron, which was extremely accurate.
( g ) ノ ネ ル端 を切断 し た注入 口 か ら 通常の真空注入 に よ り 、 各 微細セ ル空間 に 同 じ カ イ ラ ルネ マ チ ッ ク 液晶 を注入 し た 。 そ の後、 ノ ネ ル を 1 0 0 °C に加熱 して 各色素 を液晶 に溶解 さ せた。 こ れに よ り 、 R G B に着色 し た液晶層 8 1 , 8 2 , 8 3 で各セ ル空間は満た さ れ、 更 に液晶は ラ ビ ン グに よ り ね じれネ マチ ッ ク に配向 し た。 更 に長時間経過 して も 、 各色の液晶が混 じ り 合 う こ と は な か っ た。 従来の よ う に ゲ ス ト ホ ス ト 液晶 を 入れ分け た場合は、 電圧 を 印加 して い く と 、 明 る さ だ けで な く 、 彩度が小 さ く な つ て し ま い、 表示 で き る 色 に 限 り があ っ た。 しか し な が ら 、 こ のパネ ルの上下 に偏光 板を添付 し た と こ ろ 、 電圧 に よ っ て 各セ ルの階調 を 変え て も 、 色彩 度に 変化は な く 、 フ ルカ ラ 一表示が可能で あ っ た。 (g) The same chiral nematic liquid crystal was injected into each microcell space by normal vacuum injection from the injection port whose edge was cut off. Then, the dye was heated to 100 ° C. to dissolve each dye in the liquid crystal. As a result, each cell space is filled with the liquid crystal layers 81, 82, and 83 colored in RGB, and the liquid crystal is twisted and nematically aligned by rubbing. did. Even after a long time, the liquid crystals of each color did not mix. As in the past, when the guest host liquid crystals are separated, if the voltage is not applied, not only the brightness but also the saturation becomes small. The colors that can be displayed were limited. However, when polarizing plates were attached above and below this panel, even if the gradation of each cell was changed by the voltage, the color saturation did not change, and the full color was not changed. One display was possible.
ま た、 フ ルカ ラ 一表示では R G B 3 色あ る ので、 従来例で は、 各 液晶 を入れ分け る た め に、パ ネ ル切断 を複数回行わ な ければな ら ず, 切断部を 大 き く しな い と い けな か っ た。 本実施例の よ う に、 基板 を 貼 り 合わせ る 前に、 色素 を あ ら か じ め基板上に塗布 して お く と 、 色 素の量はセ ル空間に比べ る 数% と 少量なの で 、 簡単な 印刷法で塗布 が可能で あ り 、 かつ注入時に 同 じ透明な液晶 を 一度 に注入すれば、 異な る 色 と な る 液晶 を 各セ ルに容易 に満た す こ と がで き 、 カ ラ ー フ ィ ルタ ー を 作成す る 場合 よ り も 工程が簡単であ り 、 し か も フ ィ ル 夕 —上の凹凸の問題な ど も な い。 In addition, since there are three RGB colors in a full-color display, in the conventional example, the panel must be cut several times to separate each liquid crystal, and the cut section is large. I had to do it. As in this embodiment, if the dye is previously applied to the substrate before the substrates are bonded, the amount of the color element is a small amount of several percent of the cell space. It is possible to apply by a simple printing method, and if the same transparent liquid crystal is injected at the same time at the time of injection, each cell can be easily filled with a liquid crystal having a different color. However, the process is simpler than when a color filter is created, and there is no problem of unevenness on the filter.
ィ ン ク ジ エ ツ ト の よ う な 方法で着色液晶 を直接入れ分け よ う と す る と、 極めて 正確に吐出量を制御 し な い と 液晶が混 ざ っ て し ま っ た り 、 足 り な く な っ て、 気泡が生 じ た り す る 。 本実施の形態では、 微
細セ ル空間が横 に並ん だ パ ネ ルで あ つ た が、 シ ア ン、 マセ ン タ 、 黄 色の液晶層 を 積層 し て 、減法混色 に よ る 表示 を 行 う 液晶パ ネ ル で も あ ら かじ め色素 を付着 さ せて か ら 、 同一の液晶 を 導入す る 本発明の 製造方法は 同様の効果 を 有 す る 。 ま た、 液晶パ ネ ル以外で も 、 微細 セル空間 に 異な る 色の溶液を入れる 構造物において 、 有効であ る 。 If you try to separate the colored liquid crystal directly by using a method such as an ink jet, the liquid crystal may be mixed unless the discharge amount is controlled very accurately, or the foot may be mixed. Bubbles and bubbles may be generated. In the present embodiment, The liquid crystal panel is a panel in which fine cell spaces are arranged side by side, but the cyan, macen- ter, and yellow liquid crystal layers are stacked to perform subtractive color mixing. The manufacturing method of the present invention in which the same liquid crystal is introduced after the dye has been previously attached has the same effect. In addition to liquid crystal panels, the present invention is also effective in a structure in which a solution of a different color is filled in a fine cell space.
ま た、 本実施の形態で は、 支持柱 を硬化 さ せて か ら 、 フ ォ ト レ ジ ス ト を接着層 と して裏面露光に よ り 支持柱の上 に のみ残 した ので、 セル厚 を正確に制御で き 、 かつ、 配向膜が露出 して均一な配向 を得 る こ と がで き た。 ま た、 微細な支持柱の上 に正確に接着層 を形成で き た た め、接着が確実 に な り 、各セ ル空間 同士で の漏れ を な く せ た 。 なお、 液晶の着色剤 と して色素以外に も カ イ ラ ル剤 を 用いて 円偏 光二色性に よ る 発色 を生 じ さ せて も 良い。 こ の場合、 R G B の各セ ルへ塗布す る カ イ ラ ル剤は 同 じ種類で も 良 く 、 その量を 変化 さ せ る こ と に よ り カ イ ラ ル剤がネ マチ ヅ ク 液晶に溶けた と きね じれ ピ ッ チ の様子が異な り 色を異な ら せ る こ と も で き る 。 Further, in the present embodiment, after the support pillars are cured, the photo resist is left only on the support pillars by backside exposure as an adhesive layer, so that the cell thickness is increased. Was able to be controlled accurately, and uniform alignment was obtained by exposing the alignment film. In addition, since the adhesive layer could be accurately formed on the fine support pillars, adhesion was ensured, and leakage between cell spaces was prevented. In addition, a coloring agent may be used as a liquid crystal coloring agent, in addition to a coloring agent, to generate color by circular dichroism. In this case, the same type of kyral agent may be applied to each of the RGB cells. By changing the amount, the kyal agent can be applied to the nematic liquid crystal. When melted, the appearance of the pitch is different and the color can be different.
なお、 上記 ( b ) と ( d ) のス テ ッ プで各感光材料の露光の波長 依存性に工夫を こ ら して も 良いの は勿論で あ る 。 Of course, in the steps (b) and (d), the wavelength dependency of exposure of each photosensitive material may be devised.
更に、 ブラ ッ ク マ ト リ ッ ク ス と して作用 す る 様、 可視光では黒だ が紫外線は透過す る 様に して いて も 良い。 Furthermore, it may be black in visible light but transmit ultraviolet light so as to act as a black matrix.
(第 2 の実施の形態) (Second embodiment)
本実施の形態は、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一の製造 に関す る 。 This embodiment relates to the manufacture of a color filter.
図 5 に、 本発明の カ ラ 一 フ ィ ル タ 一の製造方法の手順 を示す。 以 下、 本図 を基に そ の内容を説明す る 。 FIG. 5 shows a procedure of a method for manufacturing a color filter of the present invention. Hereinafter, the contents will be described with reference to this figure.
( a ) ガ ラ ス基板 2 0 上に、 黒色顔料 レ ジ ス ト で高 さ 1 . 5 ミ ク ロ ンで画素 を 囲む ブラ ッ ク マ ト リ ク ス で支持柱 4 2 を形成す る 。 (a) A support pillar 42 is formed on a glass substrate 20 with black pigment resist and a height of 1.5 micron and black matrices surrounding pixels.
( b ) R 、 G、 B の色素 7 1 、 7 2 、 7 3 を、 ジエチ レ ン グ リ コ
—ル ジ メ チ ルエーテ ル と 増粘剤 と し て 少量の ァ ク リ ルオ リ ゴマ ー に 溶か し、 ス ク リ ー ン 印刷で基板 2 0 上に塗布 し、 乾燥 して付着 さ せ た。 (b) R, G, and B dyes 71, 72, and 73 are -Dissolved in a small amount of acrylic acid ligomer as rudimethyl ether and thickener, applied on substrate 20 by screen printing, dried and adhered .
( c ) 基板 2 0 を 真空チ ャ ンパ一 に入れて 、 紫外線硬化型の ァ ク リ ル樹脂溶液 3 8 を 滴下 して か ら 、 研磨 し た厚み 5 ミ リ の ガ ラ ス の 定盤 2 3 の表面に、 分子が極性 を有 さ な い た め他の物質が付着 し難 ぃ フ ッ 素系単分子膜 3 9 を塗布 す る 離型処理 を施 し た定盤で ブ レ ス して、 支持部材 と 定盤の隙間がな く な る ま で加圧 し、 ア ク リ ル樹脂 溶液の厚み を 一定に し た。 なお、 こ の ア ク リ ル樹脂溶液は常温で は 色素の溶解速度が非常 に 小 さ く な る よ う に 分子量を大 き く し、 更 に 色素 と の相溶性を い く つ かのモ ノ マー と オ リ ゴマー を調合 して作成 し た。 そ の結果、 こ の段階で は色素は ア ク リ ル樹脂溶液にほ と ん ど 拡散 して い な い。 (c) The substrate 20 is placed in a vacuum chamber, the ultraviolet-curable acrylic resin solution 38 is dropped, and then the polished glass platen 5 mm thick 2 Since the molecules are not polar, it is difficult for other substances to adhere to the surface of 3.- Apply a fluorine-based monomolecular film 39. Then, pressure was applied until there was no gap between the support member and the surface plate, and the thickness of the acrylic resin solution was kept constant. In addition, this acrylic resin solution has a large molecular weight at room temperature so that the dissolution rate of the dye is extremely low, and further has some compatibility with the dye. It was created by blending normal and oligomers. As a result, at this stage, the dye has hardly diffused into the acrylic resin solution.
( e ) プ レ ス し た状態でパ ネ ル を 9 0 度 に加温 して、 色素 を ァ ク リ ル樹脂の溶液に よ く 溶解 して か ら 、 紫外線 を照射 して R G B 各色 の色素 に よ り 着色 し た ァ ク リ ル樹脂を硬化 さ せた 。 (e) The panel is heated to 90 ° C in the pressed state to dissolve the dye well in the acrylic resin solution, and then irradiated with ultraviolet light to expose the RGB color dyes. The acrylic resin colored by the curing was cured.
( f ) 定盤を剥が し て、 R G B の カ ラ 一 フ ィ ル 夕 一 9 1 、 9 2 、 9 3 を作製 し た。 なお カ ラ 一 フ ィ ルタ 一は、 研磨 ガ ラ ス で プ レ ス す る こ と で極めて 平坦性 に優れた表面にで き た。 (f) The surface plate was peeled off, and R, G and B color files 91, 92 and 93 were produced. In addition, the color filter was able to form a very flat surface by pressing with a polished glass.
なお、 支持柱を ス ト ラ イ プ状 に した場合は、 先の実施の形態 と 同 様に、 定盤で加圧 して か ら 、 ア ク リ ル樹脂液晶を 注入 して も よ い。 When the support pillars are formed in a stripe shape, the acrylic resin liquid crystal may be injected after pressurizing with a surface plate, as in the above embodiment.
ま た 、 支持壁 も 印刷で形成 し て も 良 い。 こ の場合には衣料に応用 さ れて い る が、 熱膨張剤 を 内包 し たマ イ ク ロ カ ブセ ルの利用等がな さ れて も 良い。 Also, the support wall may be formed by printing. In this case, it is applied to clothing, but a micro capsule containing a thermal expansion agent may be used.
本実施の形態では、 そ の実施の形態 と 同様に微細セ ル を形成後、 色素を 先 に付着 さ せて か ら 、 微細セ ル内 に樹脂を 充た し、 更 に こ の
充た し た樹脂に 色素 を 溶解 さ せ る た め、 従来の樹脂 を 直接吐出 す る イ ン ク ジ ヱ ッ 卜 法 に 比較 し て 、 工程が容易であ り 、 ま た 印刷法 に 比 較 して 平坦性に優れ る 。 In this embodiment, similarly to the embodiment, after forming fine cells, a dye is first attached thereto, and then the fine cells are filled with a resin, and then the fine cells are further filled. Since the dye is dissolved in the filled resin, the process is easier than in the conventional ink jet method, which directly discharges the resin, and compared to the printing method. And excellent flatness.
な お、 本実施の形態では、 ア ク リ ル樹脂溶液への色素の溶解 を 加 温に よ り 促進 し た が、 こ れは光、 超音波等の他の手段で あ っ て も よ い o In the present embodiment, the dissolution of the dye in the acrylic resin solution is promoted by heating, but this may be other means such as light and ultrasonic waves. o
ま た、 ア ク リ ル樹脂の調合で な く 、 色素は マ イ ク ロ カ プセ ル に 閉 じ こ めて お き、 所定の時期、 段階で カ プセ ル壁が溶け る か壊れて 内 部の色素が溶解す る よ う に して も よ い 。 In addition, rather than blending the acrylic resin, the dye is locked in the microcapsule, and the capsule wall melts or breaks at a predetermined time and stage. The internal dye may be allowed to dissolve.
そ して こ の こ と は、 先の実施の形態で も 同様で あ る 。 This is the same in the above embodiment.
(第 3 の実施の形態) (Third embodiment)
本実施の形態は、 カ ラ 一表示用 の液晶パ ネ ルの製作 に 関す る 。 図 6 は、 本実施の形態の カ ラ 一 フ ィ ル タ ーの製造手順 を示す図で あ る 。 以下、 本図 を参照 しつつそ の内容を説明す る 。 This embodiment relates to the production of a liquid crystal panel for displaying a character. FIG. 6 is a diagram showing a manufacturing procedure of the color filter of the present embodiment. Hereinafter, the contents will be described with reference to this figure.
( a ) ブラ ッ ク マ ト リ ク ス の支持柱 4 2 間 に R 、 B 、 G の色素 7 (a) R, B, and G dyes are placed between the support columns 42 of the black matrix.
1 、 7 2 、 7 3 を'塗布 し た。 1, 72 and 73 were applied.
( ) 紫外線硬化型ア ク リ ル樹脂溶液 3 8 を滴下 して か ら、 そ の 表面に、 粘着性の あ る 厚み 6 ミ ク ロ ン の ポ ジ型 フ ィ ル ム レ ジス ト 4 3 を金属 ロ ー ラ 3 0 1 に よ り 支持部材上 に ラ ミ ネ ー ト して接着 さ せ た 。な お こ こ に、ラ ミ ネ 一 ト を 金属の よ う な硬い ロ ールで行 う の は、 ゴム ロ ールで は フ ィ ルム レ ジ ス ト が支持柱の間で た わ んで厚みむ ら がひ ど く な る こ と に よ る 。 () After dripping the UV-curable acrylic resin solution 38, apply a sticky 6 micron thick film type resist 43 on the surface. It was laminated and adhered to the support member by the metal roller 301. Here, the reason why the laminating is performed with a hard roll such as a metal is that the film resist is thickened between the supporting columns in the case of the rubber roll. It is because the unevenness gets worse.
( c ) 9 0 度 C に加温 して色素 を ア ク リ ル樹脂溶液 に溶解さ せて か ら 、 裏面側か ら の紫外線に よ り 露光 して 、 着色 し た ア ク リ ル樹脂 溶液を硬化 さ せ、 かつ フ ィ ルム レ ジス ト を露光 さ せた 。 (c) After heating to 90 ° C. to dissolve the dye in the acrylic resin solution, the colored acrylic resin solution was exposed to ultraviolet light from the back side and colored. Was cured and the film resist was exposed.
( d ) 現像す る と ブラ ッ ク マ ト リ ク ス 上の レ ジス ト のみが高 さ 約
6 ミ ク ロ ン で残 り 、 各色用 の カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 9 1 、 9 2 、 9 3 と 同時に ス ぺ一サ 4 0 が形成 さ れた 。 (d) When developed, only the registers on the black matrix are approximately The spacer 40 was formed at the same time as the color filters 91, 92, and 93 for the respective colors, with 6 micron remaining.
( e ) こ の基板上 に電極 3 6 、 配向膜 2 2 を形成 し、 真空中で液 晶 を滴下 して か ら 、 対向基板 3 0 を貼 り 合わせ た 。 (e) An electrode 36 and an alignment film 22 were formed on this substrate, and a liquid crystal was dropped in a vacuum, and then the counter substrate 30 was attached.
以上の説明で判 る よ う に 、本実施の形態で は非常 に簡易な 工程で、 均一性の高い カ ラ 一表示用 の液晶パ ネ ル を製作す る こ と がで き た。 As can be seen from the above description, in the present embodiment, a highly uniform color liquid crystal display panel can be manufactured by a very simple process.
(第 4 の実施の形態) (Fourth embodiment)
本実施の形態は、 各画素が相互 に 孤立 し た そ して 3 層の液晶層か ら な る反射型の液晶表示装置 に 関す る 。 The present embodiment relates to a reflective liquid crystal display device in which each pixel is composed of three liquid crystal layers isolated from each other.
図 7 は、 本実施の形態の反射形液晶表示装置の 中央部の画素の平 面図であ る 。 本図 に 明 ら かな よ う に、 各画素はほぼ正方形で あ り 、 そ の一辺は約 3 0 0 m で あ る 。 ま た、 図 8 の ( a ) 、 ( b ) 、 ( c ) は、 それぞれ図 7 の A — A、 B — B 、 C 一 C の断面図であ る 。 FIG. 7 is a plan view of a central pixel of the reflective liquid crystal display device of the present embodiment. As is apparent from this figure, each pixel is substantially square, and one side is about 300 m. In addition, (a), (b), and (c) of FIG. 8 are cross-sectional views of A—A, B—B, and C—C of FIG. 7, respectively.
さ て、 こ の図 7 に示す画素 1 は、 図 8 を見ればわかる よ う に 、 3 つの液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 が重な っ て な る 。 そ して 、 こ れ ら 3 つ の液晶層は、 相互 に樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 で仕切 ら れ、 更 に基板 2 0 上の (図上) 最上部の液晶層 8 7 上 に は、 こ の上界面 を形成す る 樹脂 フ ィ ルム 3 3 が設け ら れて い る 。 なお、 こ の樹脂 フ ィ ル ム 3 3 は、 そ の下層の樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 と 同 じ材料で あ る 。 As can be seen from FIG. 8, the pixel 1 shown in FIG. 7 has three liquid crystal layers 85, 86, and 87 overlapping each other. These three liquid crystal layers are separated from each other by resin films 51 and 61, and furthermore, on the uppermost liquid crystal layer 87 (on the figure) on the substrate 20. Is provided with a resin film 33 that forms the upper interface. The resin film 33 is made of the same material as the resin films 51 and 61 in the lower layer.
ま た、 各画素の間に は、 そ の各液晶層の周囲 を取 り 囲んで そ の 内 部の液晶が他の画素内の液晶 と相互 に往来 しな い よ う 区分 し、 併せ て樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 を基板 2 0 上に支持す る 支持部材 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 が設け ら れて レヽ る 。 In addition, between the pixels, the surroundings of each liquid crystal layer are separated so that the liquid crystal inside the liquid crystal layer does not come and go with the liquid crystal in other pixels, and the resin is also added. Support members 401, 402, and 403 for supporting the films 51, 61, and 33 on the substrate 20 are provided.
ま た、 各画素内 には、 直径数 mの ド ッ ト 状の支持部材 4 1 1 、 4 1 2 、 4 1 3 が設け ら れ、 画素周辺の支持部材 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 と共に、 薄い樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 を 一定間隔 に保
持 して い る 。 In each pixel, a dot-shaped supporting member 411, 412, 413 having a diameter of several meters is provided, and supporting members 401, 402, 4 4 around the pixel are provided. Keep thin resin films 51, 61, and 33 at regular intervals along with 03. I have.
各樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 は、 導電性を 有 す る 透明な樹脂 か ら な り 、 こ れ 自 体が画素電極 を 兼ねて い る 。 ま た 、 樹脂フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 は、 支持部材 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 上で各画素 毎に分割 さ れて い る 。 なお、 図 1 では樹脂 フ ィ ル ム 8 のみを破線で 示 して い る 。 Each of the resin films 51, 61, and 33 is made of a transparent resin having conductivity, and the resin film itself also functions as a pixel electrode. The resin films 51, 61, and 33 are divided for each pixel on the support members 401, 402, and 403. In FIG. 1, only the resin film 8 is indicated by a broken line.
ま た 、 各画素 を 区分 け す る 支持部材 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 に は 、 各画素毎に コ ン タ ク ト ホール 4 2 1 、 4 2 2 、 4 2 3 が設け ら れて お り 、 電極 を兼ねた樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 は それそれコ ン タ ク ト ホール 4 2 1 、 4 2 2 、 4 2 3 内 に 充填 さ れた 導電性樹脂 ( 同 じ く 4 2 1 、 4 2 2 、 4 2 3 に て 示す) に よ り 基板 2 0 上の駆動素 子の端子 2 5 、 2 6 、 2 7 に電気的 に接続さ れて い る 。 In addition, contact holes 42 1, 42 2 and 42 3 are provided for the support members 40 1, 40 2 and 40 3 for dividing each pixel. The resin films 51, 61, and 33, which also serve as electrodes, have conductive holes filled in the contact holes 42, 42, 42, respectively. It is electrically connected to the drive element terminals 25, 26, and 27 on the board 20 by resin (also indicated by 42 1, 42 2, and 42 3). .
図 8 の ( c ) に示す よ う に、 樹脂 フ ィ ルム 5 1 は対応す る コ ン タ ク ト ホール 4 2 1 で端子 2 5 のみ に接続 し、 同様に樹脂 フ ィ ルム 6 1 、 3 3 は各々 コ ン タ ク ト ホール 4 2 2 、 4 2 3 で端子 2 6 、 2 7 のみに接続 して い る 。 As shown in FIG. 8 (c), the resin film 51 is connected to only the terminal 25 through the corresponding contact hole 421, and similarly, the resin films 61, 3 Reference numeral 3 denotes contact holes 42 2 and 42 3, respectively, which are connected to terminals 26 and 27 only.
こ の よ う に す る こ と で、 1 枚の基板 2 0 上 に形成さ れた駆動素子 (図示せず) で、 各画素の各色用 の電極を 兼ね る 各樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 に印加す る電圧 を制御 し、 各色用 の液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 それそれの表示動作 を制御する こ と がで き る 。 By doing so, each of the drive films (not shown) formed on one substrate 20 and each resin film 51 also serving as an electrode for each color of each pixel is formed. , 61, 33 can be controlled to control the liquid crystal layers 85, 86, 87 for each color and their respective display operations.
ま た、 各画素は、 図 8 に示す よ う に 3 つの液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 に共通の注入孔 4 8 を有 して い る 。 そ し て こ の注入孔 4 8 は、 各 画素の各液晶雇用間隙に真空下で液晶を 注入 し たの ち 、 封止用樹脂 4 5 に よ り 封止さ れる 。 そ して こ の封止用樹脂 4 5 は、 注入孔 4 8 内各液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 の入 口部に ま で充填さ れて あ り 、 こ れ に よ り 各層毎に色が異な る ゲス ト ホス ト 液晶が相互 に混 じ り 合わ な
い よ う に して い る 。 Further, as shown in FIG. 8, each pixel has a common injection hole 48 in the three liquid crystal layers 85, 86, and 87. Then, after injecting the liquid crystal under vacuum into each liquid crystal employment gap of each pixel, the injection hole 48 is sealed with the sealing resin 45. The sealing resin 45 is filled up to the inlets of the liquid crystal layers 85, 86, 87 in the injection hole 48, whereby each layer is filled. Guest host liquid crystals with different colors are not mixed with each other I am doing it.
ま た、 注入 口 4 8 の横に は、 図 7 に示す よ う に 支持部材 4 1 4 が 設け ら れて お り 、 封止用樹脂 4 5 で注入 口 4 8 を 封止す る 際に、 画 素 1 の 中央 に 封止用樹脂が広が ら な い よ う に し て い る 。 As shown in FIG. 7, a support member 414 is provided beside the injection port 48, and when the injection port 48 is sealed with the sealing resin 45. In addition, the sealing resin is prevented from spreading in the center of the pixel 1.
ま た、 図 8 に 示す よ う に、 封止用樹脂 4 5 上 に は、 蒸着に よ り ァ ル ミ ニ ゥ ム製の反射膜 3 4 が設け ら れて い る 。 In addition, as shown in FIG. 8, a reflective film 34 made of aluminum is provided on the sealing resin 45 by vapor deposition.
と こ ろ で 、 各液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 の ゲス ト ホ ス ト 液晶で あ る が、 こ れは、 各液晶層 を形成す る こ と と な る 樹脂 フ ィ ル ム相互等の 間隙の 内 に 、 あ ら か じめ所定の二色性色素 を 置 いて お き、 二色性色 素 を含 ま な い無色の液晶を 各画素 の各層共通の注入孔 4 8 か ら 注入 し、 封止用樹脂を 用 いて各層の注入孔を 封止 し た後、 こ の二色性色 素を注入 し た液晶 に溶解 さ せて形成す る も ので あ る 。 Here, the guest host liquid crystal of each of the liquid crystal layers 85, 86, and 87 is the same as that of the resin film that forms each liquid crystal layer. A predetermined dichroic dye is placed in advance in such a gap, and a colorless liquid crystal containing no dichroic dye is supplied from the injection hole 48 common to each layer of each pixel. It is formed by injecting, sealing an injection hole of each layer using a sealing resin, and then dissolving the dichroic colorant in the injected liquid crystal.
そ して 、 こ れに よ り 、 液晶注入時に色が異な る ゲス ト ホス ト 液晶 が混 じ り 合 う こ と を 防止す る だ けで な く 、 容易 に 3 層の液晶層 に各 色の ゲ ス ト ホ ス ト 液晶 を入れ分け る こ と を 可能 と して い る も ので あ る 。 This not only prevents the mixture of guest-host liquid crystals having different colors when the liquid crystal is injected, but also makes it easy for the three liquid crystal layers to be easily applied to the three liquid crystal layers. This makes it possible to separate the guest host liquid crystals.
こ の よ う に 各画素毎に液晶層 を 区分 し、 更 に 各層 に液晶 を充た し た後色素 を溶解 さ せ る こ と に よ り 、 樹脂 フ ィ ル ム の穴や破れに よ り ゲス ト ホス ト 液晶が他の画素の色彩の層 に ま で広が り 、 歩留 ま り を 下げる と い っ た こ と が防止で き る 。 In this way, the liquid crystal layer is divided for each pixel, and after each layer is filled with the liquid crystal, the dye is dissolved, thereby causing holes and tears in the resin film. The guest-host liquid crystal spreads to the color layers of other pixels, and lowering the yield can prevent this phenomenon.
次に、 こ の液晶表示装置の表示 に つ いて 説明す る 。 Next, the display of the liquid crystal display device will be described.
3 層の液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 に は そ れぞれ シ ア ン、 マゼ ン 夕 、 イ エ ロ 一の二色性色素 を含むゲス ト ホ ス ト 液晶が充填 さ れて い る こ と と な る 。 The three liquid crystal layers 85, 86, and 87 are filled with guest-host liquid crystals containing cyan, magenta, and yellow dichroic dyes, respectively. The Rukoto .
外部光は、 基板 2 0 側か ら 入射 し、 液晶層 8 5 、 8 6 、 8 7 の順 で透過 し た の ち 、 反射膜 3 4 で反射 し、 今度は逆に液晶層 8 7 、 8
6 、 8 5 の順 に 通過 し て 液晶表示装置 の観察者の 目 に 入 る 。こ の 際、 各液晶層 内の二色性色素 は液晶分子 と 共 に 配向 し、 こ の た め液晶分 子の配向方向 に よ っ て 光の吸収、 透過の程度 を 変化 さ せ る こ と がで き る 。 従 っ て 、 駆動素子 に よ っ て液晶 を 動作 さ せ る と 、 こ れに あ わ せて 、 光の着色、 透過が制御 さ れ、 減法混色に よ り フ ルカ ラ 一表示 を行 う こ と が可能 と な る 。 The external light enters from the substrate 20 side, passes through the liquid crystal layers 85, 86, and 87 in this order, is reflected by the reflective film 34, and then conversely, the liquid crystal layers 87, 8 The light passes through the order of 6 and 85 and enters the observer's eyes of the liquid crystal display device. At this time, the dichroic dye in each liquid crystal layer is aligned with the liquid crystal molecules, and therefore, the degree of light absorption and transmission is changed depending on the alignment direction of the liquid crystal molecules. I can do it. Therefore, when the liquid crystal is operated by the driving element, the coloring and transmission of light are controlled accordingly, and a full-color display is performed by subtractive color mixing. And are possible.
ま た、 樹脂 フ ィ ル ム を 導電性樹脂 と し た こ と に よ り 、 従来に 比較 して樹脂 フ ィ ル ム で の電圧降下 を低減 し、 低電圧で高反射率、 高コ ン ト ラ ス ト 比 を得 る こ と が可能 と な る 。 In addition, since the resin film is made of conductive resin, the voltage drop in the resin film is reduced as compared with the conventional one, and high reflectivity and high contrast are achieved at low voltage. It is possible to obtain the last ratio.
次に、 本実施の形態の液晶表示装置の製造方法 に つ いて 、 図 9 と 図 1 0 を 用 い て 説明 す る 。 Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device of the present embodiment will be described with reference to FIG. 9 and FIG.
図 9 は、 図 7 の C 一 C 断面におけ る 製造の進展に伴 う 構造の 変化 を示す も ので あ る 。 図 1 0 は、 同 じ く 図 7 の A — A断面 におけ る 製 造の進展に伴 う 構造の 変化を 示す も ので あ る 。 FIG. 9 shows the structural change in the C-C cross section of FIG. 7 as manufacturing progresses. Fig. 10 similarly shows the structural changes in the A-A section of Fig. 7 as the manufacturing progresses.
以下、 ま ず図 9 を基に C 一 C 断面の製造に伴 う 変化 を 説明す る 。 ( a ) 基板 2 0 上 に は、 予め 1 画素あ た り 3 個の駆動素子及びそ れ ら の端子 2 5 、 2 6 、 2 7 並び に電極 3 1 を形成す る 。 次に、 各 画素 を 区画す る 支持部材及び各画素内の ド ッ ト 状の支持部材を形成 す る 箇所 に、 そ れ ら の マス ク ノ タ ー ン に相 当 す る 裏面露光マ ス ク 2 3 を形成す る 。 こ の裏面露光マス ク は、 カ ーボ ン (黒色) を含有 す る レ ジ ス ト 材料又は ク ロ ム等の金属膜で あ る 。 そ して 、 基板上 に 支 持部材 と な る ポ ジ形 レ ジ ス ト を塗布 し、 こ の裏面露光マ ス ク を フ ォ ト マ ス ク と して 露光 し、 こ のマ ス ク と 同 じ位置に支持部材及び ド ッ ト 状の支持部材を形成す る 。 Hereinafter, the change accompanying the manufacture of the C-C cross section will be described with reference to FIG. (a) On a substrate 20, three drive elements per pixel and their terminals 25, 26, 27 are arranged in advance and electrodes 31 are formed. Next, a back-side exposure mask corresponding to the mask pattern is formed at the position where the support member for partitioning each pixel and the dot-shaped support member in each pixel are formed. Form 2 3. The backside exposure mask is a resist material containing carbon (black) or a metal film such as chrome. Then, a post-shaped resist serving as a support member is applied on the substrate, and the backside exposure mask is exposed as a photomask, and the mask is exposed. A support member and a dot-shaped support member are formed at the same position.
なお こ の際、 図 8 の ( b ) に 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 、 4 1 1 、 4 1 2 、 4 1 3 で示す よ う に、 積層 して形成 した際に 、 ひ と り で に
各層で 同 じ位置 に 支持部材が く る よ う に 形成 さ れ る の は 勿論で あ るAt this time, as shown in FIG. 8 (b) by reference numerals 401, 402, 403, 411, 412, and 413, when they are laminated and formed, At the end Needless to say, the supporting members are formed at the same position in each layer.
( b ) 最下層 の液晶層 を形成す る こ と と な る 間隙を作 り 、 併せて そ の上部 に電極 を 具備す る 樹脂 フ ィ ルム を形成 し、 こ れを各画素毎 に分割 す る た め、 基板 2 0 面の平坦化 を行 う 。 す な わ ち 、 ま ず基板 2 0 上 に、 加熱で昇華す る 物質 2 4 を 溶剤 に溶か し て ス ク リ ー ン 印 刷 に よ り 塗布 し、 余分な部分は取 り 去 っ て 、 基板 2 0 上面に 平坦 な 膜を形成す る 。 ま た こ の際、 こ の昇華性物質 2 4 中 には、 シ ア ン の 二色性色素 を 混入 して お く 。 (b) Create a gap to form the lowermost liquid crystal layer, and at the same time, form a resin film with electrodes on top of it, and divide it for each pixel Therefore, the surface of the substrate 20 is flattened. That is, first, a substance 24 which is sublimated by heating is dissolved in a solvent and applied on the substrate 20 by screen printing, and an excess portion is removed. Then, a flat film is formed on the upper surface of the substrate 20. At this time, a dichroic dye of cyanine is mixed in the sublimable substance 24.
( c ) 平坦な基板 2 0 上面 に透明な導電性樹脂を ス ピ ン コ ー ト に よ り 塗布 し、 樹脂 フ ィ ル ム 5 1 0 を形成す る 。 なお こ の際、 コ ン 夕 ク ト ホール 4 2 1 、 4 2 2 、 4 2 3 内 に も こ の導電性樹脂が充填 さ れ、 基板 2 0 上の端子 2 5 、 2 6 、 2 7 と樹脂 フ ィ ル ム 5 1 0 が導 通す る こ と と な る 。 (c) A transparent conductive resin is applied to the upper surface of the flat substrate 20 by spin coating to form a resin film 510. At this time, the conductive resin is also filled in the contact holes 42 1, 42 2, and 42 3, and the terminals 25, 26, 27 on the substrate 20 are connected to the conductive holes. The resin film 510 will pass through.
( d ) 樹脂 フ ィ ル ム 5 1 0 を 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一及びエ ッ チ ン グに よ り 支持部材 4 0 1 上で各画素毎に分割 す る と と も に、 1 層 目 の樹脂 フ ィ ル ム と は電気的 に接続 し な い コ ン タ ク ト ホ ール 4 2 2 4 2 3 周辺の樹脂 フ ィ ル ム を も 取 り 除 く 。 こ れに よ り 、 各画素毎に 下部の液晶層の電極 を兼ね る樹脂 フ ィ ルム 5 1 が形成で き る 。 (d) The resin film 510 is divided for each pixel on the support member 401 by photolithography and etching. Also, remove the resin film around the contact holes 4 2 4 4 3 that are not electrically connected to the first layer resin film. Thereby, a resin film 51 also serving as an electrode of a lower liquid crystal layer can be formed for each pixel.
次に、 基板 2 0 全体に紫外光 を照射 して露光後、 全体を昇華性物 質 2 4 が昇華す る 温度 に加熱 して 、 こ の物質 2 4 を昇華さ せ る 。 こ の際、 樹脂 フ ィ ル ム 5 1 は、 昇華性物質を透過す る 材料を使用 す る こ と に よ り 、 昇華 した物質は樹脂 フ ィ ル ム 5 1 を透過 して外部へ排 出 さ れ、 併せて樹脂 フ ィ ル ム 5 1 と基板 2 0 と の間 に液晶 を 充填す る ための間隙 8 5 を形成す る 。 こ の と き、 昇華性物質 に混入 し た二 色性色素 (図示せ ず) は昇華 し な い た め、 間隙の 内壁 に付着 し た ま ま と な る 。
( e ) 以上の工程 を 3 度繰 り 返 し て 、 基板面 に 直交す る 方向 に重 な っ た 3 つ の 支持部材 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 を形成 し、 各支持部 材上 に同様 に樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 を積層 し、 こ れ ら の間 に液晶層 を 形成す る た め の 間隙 8 5 、 8 6 、 8 7 を 同様 に形成す る 。 こ こ で 、 上、 中 2 つ の樹脂 フ ィ ル ム 6 1 、 3 3 は、 各々 コ ン タ ク ト ホール 4 2 2 、 4 2 3 を使用 し て 基板上の駆動素子の端子 2 6 、 2 7 に そ れそれ接続 さ れる 。 ま た 、 間隙 8 6 、 8 7 の 内部には、 上述 と 同様の 方法で、 各々 マゼ ン 夕 、 イ エ ロ ーの二色性色素が付着 して い る 。 Next, after irradiating the entire substrate 20 with ultraviolet light and exposing it, the entire substrate 20 is heated to a temperature at which the sublimable substance 24 sublimes, and the substance 24 is sublimated. At this time, the resin film 51 is made of a material that is permeable to the sublimable substance, so that the sublimated substance passes through the resin film 51 and is discharged to the outside. In addition, a gap 85 for filling the liquid crystal is formed between the resin film 51 and the substrate 20. At this time, the dichroic dye (not shown) mixed in the sublimable substance does not sublime, and thus remains attached to the inner wall of the gap. (e) The above process is repeated three times to form three support members 401, 402, and 4003 overlapping in a direction perpendicular to the substrate surface, and forming each support member. Similarly, resin films 51, 61, and 33 are laminated on a material, and gaps 85, 86, and 87 for forming a liquid crystal layer between them are similarly formed. You Here, the upper and middle two resin films 61, 33 are respectively connected to the terminals 26, of the drive element on the substrate by using the contact holes 42, 42, respectively. Each is connected to 27. Further, inside the gaps 86 and 87, dichroic dyes of yellow and yellow are attached in the same manner as described above, respectively.
以上の も と で基板上各画素相 当 部 に、 重 な っ て形成 さ れた各樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 5 1 、 3 3 に、 液晶 を注入す る ための共通の注入孔 (本図で は示 さ ず) を形成 し、 昇華性物質がな く な っ て形成さ れた 間隙内に液晶 を注入 し、 更に各液晶層 を孤立化 して 封止する こ と と な る 。 Based on the above, a common injection hole for injecting liquid crystal into each of the resin films 51, 51, and 33 formed to overlap each other on each pixel portion of the substrate. (Not shown in this figure), liquid crystal is injected into the gap formed without the sublimable substance, and each liquid crystal layer is isolated and sealed. .
以下、 こ れ につ いて 図 1 0 を参照 しつ つ 説明す る 。 本図の ( a ) は、 図 9 の ( e ) と 同 じ段階で の A — A 断面 を示す も のであ る 。 Hereinafter, this will be described with reference to FIG. (A) in this figure shows the A-A cross section at the same stage as (e) in FIG.
( ) こ の状態で、 表示面に直交す る 方 向か ら 、 各画素毎に各層 共通の注入孔を 設け る 位置の樹脂 フ イ ルム に ス ポ ッ ト 状の レ ーザ光 を照射 し、 3 つの樹脂 フ ィ ル ム層 を貫通す る 小 さ な径の注入孔 4 8 を 開設す る 。 なお、 こ の注入孔の開設は、 フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ 一 と ド ラ イ エ ッ チ ン グ (例 え ば酸素 プラ ズマ の リ ア ク テ ィ ブイ オ ン エ ツ チ ン グ)を 組み合わ せ る 等他の 方法 に よ っ て も よ い の は勿論で あ る c 次に、 真空下 にお いて、 色素を 全 く 含 ま な い液晶 を基板上 に滴下 して、 3 層 の ギ ャ ッ プ 8 5 、 8 6 、 8 7 内 に液晶 を 充填す る 。 なお こ の際、 基板は摂氏 6 0 度 に加熱 して お く 。 () In this state, spot-shaped laser light is applied to the resin film at the position where the injection hole common to each layer is provided for each pixel from the direction orthogonal to the display surface. Then, a small diameter injection hole 48 penetrating the three resin film layers is opened. This injection hole is opened by photolithography and drying (for example, reactive plasma etching of oxygen plasma). C) Then, under vacuum, a liquid crystal containing no dye is dropped on the substrate to form a three-layer structure. The liquid crystal is filled in the gaps 85, 86, 87. At this time, the substrate is heated to 60 degrees Celsius.
さ て 、 樹脂 フ ィ ル ム 5 1 、 6 1 、 3 3 は通気性 を 有 し て い る た め、
間隙内 の空気は樹脂 フ ィ ル ム を 透過 し て排出 さ れ、 間隙内 に空気 を 残 さ ず完全 に液晶 を 満た す こ と がで き る 。 こ こ で、 二色性色素は間 隙に充填 さ れた液晶 と接 し て そ の 内部へわ ずかに溶解す る が、 基板 温度が摂氏 6 0 度 と低いた め液晶 を 充填す る の に要す る 比較的短い 時間で は、 そ う 多 く は溶解 しな い。 ま た 、 液晶は注入孔か ら 各画素 の各層の 間隙で そ の 内部に 向か っ て 流れ る た め、 こ の二色性色素が わ ずか に 溶解 した 液晶が注入孔の方 向 か ら 外部へ流れ出 す と い う こ と も な い。 従 っ て 、 共通の注入孔 を通 じて 、 異な る 色のゲス ト ホ ス ト 液晶が混 じ り 合 う こ と はな い。 Since the resin films 51, 61, and 33 have air permeability, The air in the gap is discharged through the resin film, and the liquid crystal can be completely filled without leaving air in the gap. Here, the dichroic dye comes into contact with the liquid crystal filled in the gap and dissolves slightly inside it, but fills the liquid crystal because the substrate temperature is as low as 60 degrees Celsius. In the relatively short time required to do so, they do not often dissolve. In addition, since the liquid crystal flows from the injection hole toward the inside of the gap between the layers of each pixel, the liquid crystal in which the dichroic dye is slightly dissolved is directed toward the injection hole. They do not flow outside. Therefore, the guest host liquid crystals of different colors do not mix through the common injection hole.
以上の説明で判 る よ う に、 共通の注入孔を設け る こ と に よ り 、 混 色等生 じ る こ と な く 液晶 を 全て の層 に 同時に注入する こ と が可能 と な る 。 As can be seen from the above description, by providing a common injection hole, it is possible to inject the liquid crystal into all the layers simultaneously without causing color mixing or the like.
液晶が各間隙内 に完全に充填 し た と こ ろ で、 最上層の フ イ ル ム 3 3 上 に残 っ た 余分 な液晶 を ウ ェ ス に よ り 吸収 さ せて取 り 除い た の ち 基板全体に透明な封止用樹脂 4 5 を ス ピ ン コ ー ト に よ り 塗布す る 。 When the liquid crystal is completely filled in each gap, the excess liquid crystal remaining on the uppermost film 33 is absorbed by the waste and removed. Apply a transparent encapsulating resin 45 to the entire substrate by spin coating.
( c ) こ の状態で 、 基板温度 を 摂氏 6 0 度か ら 、 常温 に下げる と 、 間隙内 に充填 した液晶が基板よ り も 多少余計に収縮す る ため、 封止 用樹脂が液晶用 の共通の注入孔 4 8 か ら 間隙内入 口 部に僅かに浸入 した状態 と な る 。 こ の時点で、 封止用樹脂を硬化 さ せ る 。 こ れに よ り 、 本 ( c ) に示す よ う に各液晶層の そ れそれの注入口 に封止用樹 脂が入 り 込み、 各層間の液晶が混 じ り 合わ な い よ う に、 確実に封止 す る こ と が可能 と な る 。 (c) In this state, when the substrate temperature is lowered from 60 degrees Celsius to room temperature, the liquid crystal filled in the gap shrinks slightly more than the substrate, so the sealing resin is used for liquid crystal. The state is such that the liquid slightly penetrates from the common injection hole 48 to the entrance in the gap. At this point, the sealing resin is cured. As a result, as shown in the book (c), the sealing resin enters into each injection port of each liquid crystal layer so that the liquid crystal between the layers does not mix. Thus, it is possible to reliably seal.
次に、 こ の封止用樹脂の硬化で あ る が、 2 液混合硬化型の混合樹 脂を室温にて半 日 〜 1 日程度放置 して お いて も 良い し、 放射線や紫 外線の照射に よ り 短時間で硬化す る 樹脂を使用 して 、 供給孔内で紫 外線等の照射に よ り 固定 さ せて も 良い。
な お、 こ こ で封止用樹脂 を 注入 口 のみな ら ず、 基板全体に塗布す る のは、 液晶層 を保護す る 保護膜兼樹脂 フ ィ ル ム を 透過 して空気中 の酸素や水分が液晶 中 に 入 り 込むの を 防止す る 通気遮蔽膜 と す る た めで あ る 。 Next, regarding the curing of the encapsulating resin, the two-component mixed-curing mixed resin may be left at room temperature for about half a day to one day, or may be irradiated with radiation or ultraviolet light. Alternatively, a resin that cures in a shorter time may be used, and the resin may be fixed in the supply hole by irradiation with ultraviolet rays or the like. In this case, the sealing resin is applied not only to the injection port but also to the entire substrate, because the sealing resin penetrates the protective film and resin film that protects the liquid crystal layer. This is to provide a ventilation shielding film that prevents water from entering the liquid crystal.
次に、 液晶が等方相 と な る 温度 (摂氏 1 0 0 度程度) に基板 を加 熱す る 。 こ れに よ り 、 各間隙内壁 に あ ら か じめ残留 さ せて いた 二色 性色素がそ の間隙内の液晶 に完全に溶解す る こ と と な る 。 なお、 こ の二色性色素は、 液晶 に溶解 さ せた状態で 3 層積層時の色が適切 に な る よ う に、 昇華性物質に 混入す る 際に そ の量を あ ら か じめ調整 し て お く のは勿論で あ る 。 Next, the substrate is heated to a temperature at which the liquid crystal becomes an isotropic phase (about 100 degrees Celsius). As a result, the dichroic dye that has been left on the inner wall of each gap is completely dissolved in the liquid crystal in the gap. The amount of the dichroic dye when mixed with the sublimable substance is previously determined so that the color of the three-layered layer is appropriate when dissolved in the liquid crystal. Of course, it must be adjusted.
最後 に、 基板の反対側 に存在す る 固化 し た封止用樹脂 2 2 上 に 、 アル ミ ニ ウ ム を蒸着 さ せて反射膜 (本図で は示 さ ず ) を形成 し、 反 射形液晶表示装置 を完成さ せ る 。 Finally, aluminum is vapor-deposited on the solidified sealing resin 22 on the opposite side of the substrate to form a reflective film (not shown in this drawing), and the reflection is formed. A liquid crystal display device.
なお、 本実施の形態では、 1 、 2 、 3 層 目 の液晶層のゲス ト ホス ト 液晶 を そ れぞれ シ ア ン、 マゼ ン 夕 、 イ エ ロ 一 と し た が、 こ の色の 順序は異な っ て いて も よ い のは勿論であ る 。 In the present embodiment, the guest host liquid crystals of the first, second, and third liquid crystal layers are cyan, yellow, and yellow, respectively. The order can, of course, be different.
ま た、 各層の樹脂 フ ィ ル ム を 画素毎に分割す る の は、 昇華の後 に して も よ いの は勿論で あ る 。 In addition, the resin film of each layer may be divided for each pixel after the sublimation.
ま た、 P E T ( ポ リ エチ レ ンテ レ フ タ レ 一 ト ) 等の フ ィ ルム を 支 持部材上 に貼 り 合わせ た の ち 、フ イ ル ム上 に電極 を形成す る 方法で、 電極を 具備す る 樹脂 フ ィ ル ム を形成 して も よ いの も 勿論であ る 。 In addition, after a film such as PET (polyethylene terephthalate) is pasted on the support member, the electrode is formed on the film. It is a matter of course that a resin film having the following may be formed.
ま た、 二色性色素の各画素毎の各間隔への付着は、 次の よ う に し て も 良い。 Further, the attachment of the dichroic dye to each interval of each pixel may be performed as follows.
樹脂 フ ィ ル ム を積層後液晶注入前の状態で、 各層毎 に所定の二色 性色素 を封入 し た マ イ ク ロ カ プセ ル を 各画素毎の各間隙に配置 し て お く よ う に す る 。 こ の際、 液晶に は マ イ ク ロ カ ブセ ル の 隔壁 を 分解
す る 材料 を わ ずか に添加 して お く 。 こ の も と で、 先の実施の形態 と 同様の方法で液晶 を充填す る と 、 マ イ ク ロ カ プセ ルは液晶 に触れて 破裂 し中 の二色性色素がマ イ ク ロ カ プセ ル外へ出 る 。 液晶封入口 を 封止後、 基板 を 加熱 して 、 二色性色素 を液晶 に溶解 さ せ る 。 After laminating the resin film and before injecting the liquid crystal, place a microcapsule encapsulating a predetermined dichroic dye for each layer in each gap for each pixel. I'm sorry. In this case, the liquid crystal disassembles the micro-bubble partition walls. Add only a small amount of material. Based on this, when the liquid crystal is filled in the same manner as in the above embodiment, the microcapsule ruptures by touching the liquid crystal and the dichroic dye in the microcapsule is removed. Get out of the cell. After sealing the liquid crystal filling port, the substrate is heated to dissolve the dichroic dye in the liquid crystal.
な お、こ の マ イ ク ロ カ プセ ルや そ れ を 分解す る 材料等 に つ い て は 日 常 目 に す る 感圧複写紙 (圧で分解す る ) 、 医薬品 ( 胃酸等で分解 す る ) 等 に も 広 く 採用 さ れて い る 周知技術なので、 そ の説明は省略 す る 。 The microcapsules and materials that break them down, such as pressure-sensitive copying paper (which can be broken down by pressure), pharmaceuticals (such as stomach acid, etc.) Since it is a well-known technique widely used for (decomposition) etc., its explanation is omitted.
(第 5 の実施の形態) (Fifth embodiment)
本実施の形態は、 先の第 4 の実施の形態の工程 を簡略化 し た も の で あ る 。 This embodiment is a simplification of the steps of the fourth embodiment.
本実施の形態で は工程の簡略化の た め、 液晶 を 充填す る 間隙を形 成す る 昇華性物質 と して、 露光及びそ の後の加熱に よ り 昇華す る 材 料物質 (以下、 昇華性 フ ォ ト レ ジス ト ) を 用い、 更 に昇華 さ せな か つ た昇華性 フ ォ ト レ ジ ス ト を 支持部材及び ド ッ ト 状の支持部材 と し て 用 い る 。 そ の結果、 支持部材等の形成 と 、 液晶 を 注入す る た めの 間隙の形成を 一度 に 行 う こ と と な り 、 製造工程の簡略化が図れ る 。 In this embodiment, for the sake of simplification of the process, as a sublimable substance forming a gap for filling the liquid crystal, a material substance which sublimates by exposure and subsequent heating (hereinafter, referred to as a sublimation substance) A sublimable photoresist which is not further sublimated is used as a supporting member and a dot-shaped supporting member. As a result, the formation of the supporting member and the like and the formation of the gap for injecting the liquid crystal can be performed at one time, and the manufacturing process can be simplified.
以下、 本実施の形態の液晶表示装置の製造方法 に おいて 、 先の実 施の形態 と 異な る 部分につ い て 、 図 1 1 を 用 いて 説明す る 。 Hereinafter, in the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present embodiment, portions different from the above embodiment will be described with reference to FIGS.
( a ) 1 画素あ た り 3 個の駆動素子及びそ の端子 2 5 、 2 6 、 2 (a) Three driving elements per pixel and their terminals 25, 26, 2
7 並びに電極 3 1 を形成 し た基板 2 0 上 に 、 露光 そ して そ の後の加 熱 に よ り 昇華す る フ ォ ト レ ジ ス ト 2 4 0 を溶剤 に溶解 し、 ス ピ ン コ ― ト 法 を用 いて塗布す る 。 7 and a substrate 240 on which the electrodes 31 are formed, dissolve a photoresist 240, which is sublimated by exposure and subsequent heating, in a solvent. Apply using the coating method.
なお本実施の形態で は、 こ の昇華性 フ ォ ト レ ジ ス ト は、 例 え ば、 特願平 9 一 1 2 7 0 5 7 号に 開示 さ れて い る 、 ポ リ フ 夕 ル ア ルデ ヒ ド に ォニ ゥ ム塩で あ る ト リ フ エ ニルス ルホ ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ
ア ン チ モ ン を 1 重量%力卩 え て シ ク ロ へキサ ノ ン に 溶解 さ せた も の を 使用 し た。 こ の物質は、 露光 ( 2 5 4 n m、 5 m J / c m 2 ) の後 1 0 0 °C に加熱す る と 、 露光 し た箇所のみが昇華す る 。 従っ て、 塗 布後、 コ ン タ ク ト ホ ール を形成す る 箇所のみマ ス ク せずに露光 し、 そ の後加熱 して 、 本図 の ( a ) に 示す よ う な、 コ ン タ ク ト ホール 4 2 1 、 4 2 2 、 4 2 3 を形成す る 。 In the present embodiment, the sublimable photoresist is, for example, a polyfluoride resin disclosed in Japanese Patent Application No. 9-127057. Triphenylsulfonium hexafluoro, which is an aldehyde to aldehyde salt Antimony was prepared by dissolving in cyclohexanone a 1% by weight of antimony. When this material is heated to 100 ° C. after exposure (254 nm, 5 mJ / cm 2), only the exposed portions sublime. Therefore, after coating, only the portions where the contact holes are to be formed are exposed without masking, and then heated to form a contact hole as shown in (a) of this drawing. Form contact holes 42 1, 42 2 and 42 3.
( ) こ の状態の基板上に、 透明な 導電性樹脂をス ピ ン コ ー ト に よ り 塗布 し、 樹脂 フ ィ ル ム を形成す る 。 こ の際、 コ ン タ ク ト ホール 4 2 1 、 4 2 2 、 4 2 3 内 に も 導電性樹脂が充填 さ れ る こ と と な る 。 そ して 、 先の第 1 の実施の形態 と 同様に、 こ の樹脂フ ィ ル ム は各画 素毎に分割 し、 併せて 、 1 層 目 の樹脂 フ ィ ル ム と接続 しな い コ ン 夕 ク ト ホール 4 2 2 、 4 2 3 周辺部の樹脂フ ィ ル ム を も 取 り 除 く 。 こ れに よ り 、 第 1 層 目 の液晶層の画素電極を兼ね る 樹脂 フ ィ ルム 5 1 を形成す る 。 () A transparent conductive resin is applied by spin coating on the substrate in this state to form a resin film. At this time, the conductive holes are also filled in the contact holes 42 1, 42 2, and 42 3. Then, as in the first embodiment, the resin film is divided into pixels, and the resin film is not connected to the resin film of the first layer. Also remove the resin film around the holes 4 and 2. As a result, a resin film 51 also serving as a pixel electrode of the first liquid crystal layer is formed.
( c ) 以上の 工程 を 3 回繰 り 返 し て 、 本図の ( c ) に 示 す よ う な 、 昇華性 フ ォ ト レ ジス ト と樹脂 フ ィ ル ム が基板上 に 交互 に積層 さ れた 構造 を形成す る 。 こ こ に、 各樹脂 フ ィ ルム は、 コ ン タ ク ト ホール 4 2 2 、 4 2 3 内で そ れぞれ端子 2 6 、 2 7 に接続 さ れて い る 。 ま た 、 各層の昇華性 フ ォ ト レ ジ ス ト には、 先の実施の形態 と 同様 に、 予め 所定の二色性色素 を混入 して い る 。 (c) The above process is repeated three times, and the sublimable photo-resist and the resin film are alternately laminated on the substrate as shown in (c) of this drawing. To form a closed structure. Here, each resin film is connected to terminals 26 and 27 in contact holes 42 and 43 respectively. Further, a predetermined dichroic dye is previously mixed in the sublimable photoresist in each layer, as in the above embodiment.
( d ) 画素 を形成す る 部分の昇華性 フ ォ ト レ ジス ト に紫外線 を照 射 し、 そ の後加熱 して 画素部分の昇華性 フ ォ ト レ ジ ス ト のみ を昇華 さ せ、 画素 を取 り 囲む部分、 すな わ ち 支持部材 を形成す る 部分 と 画 素内の ド ッ ト 状の支持部材を形成す る 部分の昇華性 フ ォ ト レ ジス ト を残存 さ せ る 。 (d) irradiate the sublimable photoresist in the portion forming the pixel with ultraviolet rays, and then heat to sublimate only the sublimable photoresist in the pixel portion; The sublimable photo-resist of the portion surrounding the portion, that is, the portion forming the support member and the portion forming the dot-shaped support member in the pixel is left.
以上の よ う に して 、 一部の昇華性 レ ジ ス ト を残 して樹脂 フ ィ ル ム
を 支持す る 支持部材 4 0 1 、 4 0 2 、 4 0 3 と して 用 い、 併せて 液 晶層 を形成す る た めの 間隙 8 5 、 8 6 、 8 7 を 同時 に形成す る 。 こ の た め、 先の実施の形態の支持部材の形成工程が不必要 と な り 、 製 造工程が簡素化 さ れ る 。 As described above, the resin film is left, leaving a part of the sublimable resist. As the supporting members 401, 402, and 403 for supporting the liquid crystal layer, and simultaneously form the gaps 85, 86, and 87 for forming the liquid crystal layer. . For this reason, the step of forming the support member of the previous embodiment is not required, and the manufacturing process is simplified.
以上に よ り 、 先の実施の形態 と 同 じ く 、 フ ィ ル ム に局所的な穴や 破れが発生 し難 く 、 ま た た と え破れ等が生 じ た場合で も 、 穴等が生 じた 画素が不良 と な る のみで 、 他の画素は無関係で あ る 。 こ の た め 製造にお け る 歩留 ま り 低下 を 防止す る こ と が可能 と な る 。 As described above, as in the previous embodiment, local holes and tears are unlikely to occur in the film, and even if the film breaks, the holes and the like remain intact. Only the generated pixel becomes defective, and the other pixels are irrelevant. For this reason, it is possible to prevent a decrease in yield in manufacturing.
ま た、 先の実施の形態に 比較 して、 製造工程を簡略化す る こ と が で き る 。 Further, the manufacturing process can be simplified as compared with the previous embodiment.
(第 6 の実施の形態) (Sixth embodiment)
本実施の形態は、 反射型で な く 、 液晶表示装置 を いわば映画の フ イ ノレ ム の よ う に 、 すなわ ち投射型デ ィ ス プ レ イ に使用 す る も ので あ る σ The present embodiment, a reflective and rather than, Ni would Yo Rocky movie off Lee Norre-time of the liquid crystal display device, Ru Oh so also to use for Sunawa Chi projection type de office flops of Lee σ
図 1 2 に、 本実施の形態 と して の液晶表示装置の構成を示す。 本 図におい て 、 1 5 0 は液晶型表示装置本体で あ り 、 1 5 1 は液晶部 で あ り 、 1 5 2 は強力 な光源で あ り 、 1 5 3 は フ ィ ル ム であ る 。 FIG. 12 shows a configuration of a liquid crystal display device according to the present embodiment. In this figure, 150 is a liquid crystal display device main body, 1501 is a liquid crystal part, 152 is a powerful light source, and 1553 is a film. .
そ して 、 光源か ら の強力 な光は液晶部 1 5 1 を通過 して フ ィ ル ム に映像を 表示 する 。 ま た こ の た め、 液晶型映像表示装置は、 わ ざわ ざは図示 して い な いが、 制御部等 を有 して お り 、 こ の 一方、 先の 2 つの実施の形態 と 異な り 液晶部の反射板は有 して い な い。 Then, the strong light from the light source passes through the liquid crystal section 151 to display an image on the film. For this reason, the liquid crystal display device has a control unit and the like, although not specifically shown, and is different from the above two embodiments. There is no liquid crystal reflector.
(第 7 の実施の形態) (Seventh embodiment)
本実施の形態は、 液晶 と して 高分子分散型の も の を使用 す る も の で あ る 。 In the present embodiment, a polymer-dispersed liquid crystal is used as the liquid crystal.
こ こ に本実施の形態の高分子分散型の液晶 と は、 固体の樹脂マ ト リ ッ ク ス 中 に ほほ球状の液晶分子滴が存在 し、 こ の滴内の液晶分子
が電圧の有無 に よ り 基板の 方 向、 基板 に 直交す る 方 向 に 回転 し、 こ れ に よ り 光 を透過 し た り 、反射あ る い は 断 と し た り す る も の で あ る すな わ ち 、 各液晶分子が基板に 平行あ る いは直交す る い ずれかの 場合に は、 液晶分子 と 樹脂マ ト リ ッ ク ス と の屈折率が同 じで あ る た め光が通過 し、 他方の場合 に は異な る た め光が散乱 し、 透過 し な い も ので あ る 。 Here, the polymer-dispersed liquid crystal of the present embodiment refers to a liquid crystal molecule in which approximately spherical liquid crystal molecular droplets are present in a solid resin matrix. Rotates in the direction of the board and in the direction perpendicular to the board, depending on the presence or absence of voltage, thereby transmitting light, reflecting or cutting off. That is, when each liquid crystal molecule is parallel or orthogonal to the substrate, the refractive index of the liquid crystal molecule and the resin matrix are the same. In other words, the light is scattered and does not transmit because it is different in the other case.
以下、 こ のた めの手段に つ い て 説明 す る 。 Hereinafter, the means for this will be described.
各画素の各間隙層 に はあ ら か じ め所定の色素 を 内包 し た微小カ ブ セ ルが配置 して あ る 。 こ の 間隙内は、 高分子分散型液晶 と樹脂マ ト リ ッ ク ス 前駆体の混合物 と が真空下で注入さ れて く る が、 こ の際 こ の注入物質内 に は、 こ の微小 カ プセ ル を破壊す る 物質が混入さ れて い る た め、 微小 カ プセ ルが破壊 さ れて 、 注入物質内 に 色素が拡が つ て い く 。 In each gap layer of each pixel, a small capsule containing a predetermined dye is arranged in advance. In this gap, a polymer-dispersed liquid crystal and a mixture of a resin matrix precursor are injected under a vacuum. At this time, the injected material contains the fine particles. Because the substance that destroys the capsule is mixed in, the minute capsule is destroyed and the dye spreads in the injected substance.
各画素の各層 に高分子分散型液晶 と樹脂マ ト リ ッ ク ス 前駆体の混 合物を 充た し た後、 水銀ラ ン プで紫外線を 6 0 秒照射 し、 樹脂マ ト リ ッ ク ス 前駆体 を 固化 して樹脂マ ト リ ッ ク ス と し、 併せて そ の 内部 に球状の 高分子分散液晶滴 を形成す る 。 After filling each layer of each pixel with a mixture of a polymer dispersed liquid crystal and a resin matrix precursor, the resin matrix is irradiated with UV rays for 60 seconds with a mercury lamp. The precursor is solidified into a resin matrix, and spherical polymer-dispersed liquid crystal droplets are formed inside the resin matrix.
こ の後、 表示装置全体を 1 0 0 て に加熱 し、 液晶滴へ完全 に色素 を 分散さ せ る 。 Thereafter, the entire display device is heated to 100 ° C. to completely disperse the dye in the liquid crystal droplets.
さ て 、 本実施の形想の場合、 各液晶層は基本的 に は 固体で あ る た め、 ユーザ一の乱暴な取扱い のた め電極を兼ねた樹脂 フ イ ルム が 少々破れた り 、 細孔が生 じ た り し た と して も 、 内部の液晶が混 ざ り 合 う こ と は一切 な い。 In the case of the concept of the present embodiment, since each liquid crystal layer is basically solid, the resin film also serving as an electrode is slightly torn or thin in order to handle the user roughly. Even if a hole is formed, the liquid crystal inside does not mix at all.
こ の た め、 製造等に多少手間はかか る が極めて耐衝撃性や耐久性 の優れた液晶表示装置 と な る 。 For this reason, a liquid crystal display device having extremely excellent impact resistance and durability is obtained, although it takes a little time for manufacturing and the like.
(第 8 の実施の形態)
本実施の形態は、 昇 性物質 を利用 し て 液晶等の入 る 間隙 を 形成 す る も ので あ る 。 (Eighth embodiment) In the present embodiment, a gap into which a liquid crystal or the like enters is formed by using an ascending substance.
本実施の形態にお け る 構造膜お よ びそ の製造方法 を 図 1 3 及び図 1 4 を参照 し な が ら 説明す る 。 図 1 3 は、 こ の構造膜 (物、 体) の 概念 を 示す断面図で あ り 、 図 1 4 は、 こ の構造膜を製造する 工程 を 示す断面図であ る 。 The structure film and the method of manufacturing the structure film according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 13 and 14. FIG. FIG. 13 is a cross-sectional view showing the concept of this structural film (object, body), and FIG. 14 is a cross-sectional view showing a process of manufacturing this structural film.
こ の 1 層の構造膜は図 1 3 に 示す よ う に 対向 し て 配置 さ れた基板 部 2 0 と 天蓋部 3 0 と の間 に、 例 え ば市松模様の ス ぺ一サ 4 0 が挟 ま れ、 こ れ ら に よ っ て 囲 ま れた領域に空隙 8 0 を形成 し た も のであ る 。 こ の基板部 2 0 、 天蓋部 3 0 及びス ぺ一サ 4 0 は、 通常用 い ら れて い る フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ プロ セ ス を使用 し え 、 不良発生の危険 性 も 少な い材料か ら 構成さ れ る 。 し た が っ て 、 基板部 2 0 及び天蓋 部 3 0 の材料の種類及び厚 さ は、 使用 目 的 に応 じて 同一であ る 場合 ま たは異な る 場合があ り う る 。 As shown in FIG. 13, this one-layer structural film has a checkerboard-shaped spacer 40, for example, between a substrate portion 20 and a canopy portion 30 which are arranged to face each other. The air gap 80 is formed in the region sandwiched between and surrounded by these. The substrate section 20, the canopy section 30 and the spacer 40 can use a photolithography process commonly used, and there is also a risk of failure. It is composed of few materials. Therefore, the material type and thickness of the substrate part 20 and the canopy part 30 may be the same or different depending on the purpose of use.
た だ し、 ス ぺ一サ 4 0 は、 フ ォ ト レ ジ ス ト に類似す る 粘性液体が 凝固 した も ので あ り 、 そ の材料に は、 特定の波長の電磁波が与 え ら れる こ と に よ り 溶質 を 気体に 気化 さ せ る た めの物質が添加さ れて い る 。 なお、 こ の溶媒 と して は有機溶剤 を 主成分 と す る 液体が採用 さ れる 。 溶質は溶媒 と 反応せ ずに溶解 し、 酸に よ る 分解が可能な ポ リ マ一が採用 さ れる 。 However, the spacer 40 is a solidified viscous liquid similar to a photo resist, and the material is exposed to electromagnetic waves of a specific wavelength. As a result, substances for vaporizing solutes into gases have been added. As the solvent, a liquid containing an organic solvent as a main component is employed. The solute dissolves without reacting with the solvent, and a polymer that can be decomposed by acid is used.
そ して 、 特定の波長 と して は例 え ば化学的作用 の大 き い紫外線の よ う な短波長の電磁波 を使用 し、 電磁波 を 吸収す る 物質 と して は、 感光性の光酸発生剤 を採用 す る 。 こ の よ う な ス ぺ一サ材料は、 特定 の波長の電磁波に照射 さ れ る と 酸が発生 し 、 そ の酸に よ っ て ポ リ マ —が分解 して モ ノ マー と な り 、 分子の小 さ な 気体に気化する 。 な お こ こ で の昇華 と は、 液体が気体に な る 気化 を も 含めた意味 と す る 。
一方、 ス ぺーサ 4 0 上 に積層 さ れ る 天蓋部 3 0 は、 ス ベーサの材 料に与 え る 電磁波を 通過 し、 かつ前記気化 し た分子を透過 さ せ る と と も に、 気化 して い な い部分の ス ぺ一サ 4 0 を保持す る よ う な材料 で構成さ れて い る 。 例 え ば、 極めて 薄い樹脂 フ ィ ル ム で あ る 。 As a specific wavelength, for example, an electromagnetic wave having a short wavelength such as ultraviolet light having a large chemical effect is used, and as a substance absorbing the electromagnetic wave, a photosensitive photoacid is used. Use a generator. When irradiated with electromagnetic waves of a specific wavelength, such a sputtered material generates an acid, and the acid decomposes the polymer into a monomer. It evaporates into small gaseous molecules. In this context, sublimation includes the vaporization of a liquid into a gas. On the other hand, the canopy portion 30 laminated on the spacer 40 passes the electromagnetic wave given to the material of the spacer and transmits the vaporized molecules and vaporizes the molecules. It is made of a material that retains the spacer 40 that is not used. For example, it is a very thin resin film.
次に、 こ の構造の膜の製造方法に つ いて 図 1 4 を参照 し な が ら 説 明す る 。 Next, a method for manufacturing a film having this structure will be described with reference to FIG.
( a ) こ の構造膜を製造す る に は、 ス ぺ一サ 4 0 の材料に は光酸 発生剤が含 ま れて い る た め、 例 え ばい わゆ る イ エ ロ 一ルー ム や暗室 な ど必要な対策を 講 じ た部屋で作業す る 。 ま た、 基板部 2 0 の表面 はダス ト な どがな く 、 かつ付着性 に影響 を及ぼす よ う な汚れがな い よ う に 十分な 洗浄 と 乾燥 を 行 っ て お く 。 (a) In order to manufacture this structural film, since the material of the spacer 40 contains a photoacid generator, for example, a so-called yellow room Work in a room where necessary measures have been taken, such as a dark room. In addition, the surface of the substrate portion 20 should be sufficiently washed and dried so that there is no dust or the like and there is no dirt that may affect the adhesion.
そ して、 基板部 2 0 上の全面に ス ぺーザの材料層 2 4 0 を積層 す る 。 こ の材料層 は、 粘性液体で あ り 、 こ れ を基板部 2 0 上 に滴下 し、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グに よ り 基板上の全面に積層 し た。 なお、 基板端 部の壁は煩雑 と な り ま た 自 明で あ る た め図示 して いな い。 ス ピ ン コ 一テ ィ ン グは、 具体的 に はス ぺ一ザの材料層 2 4 0 を積層 し た基板 部 2 0 を低速で例 え ば 5 秒間回転 し た後、 高速で例 え ば 2 0 秒間回 転す る こ と に よ り 、 均一に積層 す る こ と がで き た。 そ して 、 ス ぺ一 ザの材料層 を積層 した基板部は、 ホ ッ ト プ レ ー ト (図示せず) 上 に 載せ ら れ、 ス ぺ一ザの材料層 を べ一 キ ン グ (前段) し た。 Then, a spacer material layer 240 is laminated on the entire surface of the substrate portion 20. This material layer is a viscous liquid, which was dropped on the substrate portion 20 and laminated on the entire surface of the substrate by spin coating. The wall at the end of the substrate is not shown because it is complicated and obvious. Specifically, spin coating is performed by rotating the substrate portion 20 on which the material layer 240 of the sputter is laminated at a low speed, for example, for 5 seconds, and then at a high speed. For example, by spinning for 20 seconds, uniform lamination could be achieved. Then, the substrate portion on which the material layers of the spacers are stacked is placed on a hot plate (not shown), and the material layers of the spacers are subjected to a base ring (not shown). (Before)
そ の後、 ス ぺ一ザの材料層 2 4 0 上 に天蓋部 3 0 を ラ ミ ネ ー ト 手 法な どに よ っ て 貼 り 付け る 。 なお、 積層構造膜の使用 目 的や所望の 特性な どに応 じて 、 ス ぺ一ザの材料層 2 4 0 表面 を処理 し、 薬液を 塗布 しあ る い は接着剤層 を設けて も 良い。 本 ( a ) は、 こ の状態で あ る 。 After that, the canopy part 30 is stuck on the material layer 240 of the stirrer by a laminating method or the like. The surface of the material layer 240 of the spreader may be treated and a chemical solution may be applied or an adhesive layer may be provided according to the purpose of use and the desired characteristics of the laminated structure film. good. Book (a) is in this state.
( b ) 天蓋部 3 0 の上面 に マ ス ク 2 3 を隙間 を あ け た状態 ま た は
接合 し た状態で 重ね合わせ る 。 マ ス ク 2 3 に は、 空隙 4 を形成す る 所定領域に対応 して 窓穴部 2 3 0 が形成 さ れて い る 。 そ して、 そ の 上方か ら 特定の紫外線を照射す る 。 特定の 光は マ ス ク 2 3 の窓穴部 2 3 0 か ら 露出 して い る 部分のス べ一ザ の材料層のみを照射す る 。 特定の光が照射 さ れた ス ぺ一ザの材料層 は 、エ ネ ル ギーが与え ら れ、 ポ リ マ ーが分解 さ れて モ ノ マ ー 2 4 1 と な り 、分子量 も 小 さ く な る 。 (b) A mask 23 is left on the top of the canopy 30 with a gap or Lay them together. Window holes 230 are formed in the mask 23 so as to correspond to predetermined regions where the gaps 4 are formed. Then, a specific ultraviolet ray is irradiated from above. The specific light irradiates only the material layer of the portion of the mask 23 that is exposed from the window portion 230 of the mask 23. When the specific material is irradiated, the material layer of the spur is given energy, the polymer is decomposed into a monomer 241, and the molecular weight is small. It gets worse.
( c ) マ ス ク を 取 り 除い た後、 こ の モ ノ マ 一 2 4 1 は、 ヒ ー タ 一、 ホ ッ ト プ レ ー ト 、 熱線照射若 し く はオー ブ ン な ど に よ っ て べ一キ ン グ (後段) さ れ る こ と に よ り 、 ま た は紫外線、 マ イ ク ロ 波 も し く は 放射線な どの電磁波が照射さ れる こ と に よ り 、 薄い樹脂 フ ィ ル製の 天蓋部 3 0 を 通過 して外部に排出 さ れる 。 (c) After removal of the mask, the monomer may be exposed to heaters, hotplates, heat-irradiation or ovens, etc. It is possible to use a thin resin film by being baked (later stage) or by being irradiated with electromagnetic waves such as ultraviolet rays, microwaves or radiation. It is discharged to the outside after passing through the canopy part 30 made of a resin.
( d ) こ の所定領域の ス ぺ一ザの材料層 が除去 さ れ、 基板部 2 0 、 天蓋部 3 0 及びス ぺ一サ 4 0 に よ っ て 囲 ま れた 空隙 8 0 が形成 さ れ 積層構造膜が完成す る 。 (d) The material layer of the spacer in the predetermined region is removed, and a void 80 surrounded by the substrate portion 20, the canopy portion 30, and the spacer 40 is formed. This completes the laminated structure film.
な お、ス ぺ一サ 4 0 は、特定の波長の電磁波が与 え ら れな い た め、 モ ノ マ 一 と な ら ず、 気化 しな い ど こ ろ か、 加熱等で硬化す る 。 こ の た め、 こ の積層構造膜は通常、 変形す る こ と がな い。 Since the electromagnetic wave of a specific wavelength is not given to the spacer 40, it does not become a monomer and does not vaporize, but is cured by heating or the like. . For this reason, this laminated structure film does not usually deform.
気化 し た気体を 天蓋部 3 0 か ら 通過さ せ る た め には、 直接、 間接 の加熱以外 に、 例え ば振動、 加圧若 し く は減圧 な どの物理的若 し く は機械的作用 を利用 して も 良い。 ま た、 条件 に よ っ て は紫外線 を ス ぺ一サ越 し に ポ リ マー に照射 して 気化 さ せ る と 同時に、 そ の気化 し た気体を 天蓋部か ら 透過 さ せて外部へ排出 し、 空隙を形成す る こ と も 可能で あ る 。 In order to allow the vaporized gas to pass through the canopy 30, besides direct or indirect heating, physical or mechanical action such as vibration, pressurization or depressurization, etc. May be used. Further, depending on the conditions, the polymer is irradiated with ultraviolet light through a space to be vaporized, and at the same time, the vaporized gas is transmitted through the canopy and discharged to the outside. However, it is also possible to form voids.
なお、 こ の よ う な構造膜を液晶表示素子の構成要素 と して使用 す る と き は、 基板部の表面 と 、 天蓋部の上面 に 導電性薄膜 (図示せず ) が形成さ れ、 注入孔か ら ス ぺ一サ内の空隙へ液晶が充填 さ れる 。 更
に、 こ の注入孔は空隙内の 気体 を 逃すの を兼ねて設け ら れて いて も 良い。 あ る いは、 そ れが普通で あ ろ う 。 When such a structural film is used as a component of a liquid crystal display element, a conductive thin film (not shown) is formed on the surface of the substrate and the upper surface of the canopy. Liquid crystal is filled from the injection hole into the gap in the spacer. Change In addition, this injection hole may be provided also to allow the gas in the gap to escape. Or that would be normal.
(第 9 の実施の形態) (Ninth embodiment)
本実施の形態は、 多層の積層構造膜に 関す る 。 The present embodiment relates to a multilayer laminated film.
そ の一例 と して 、 3 層の積層構造膜及びそ の製造方法 を 、 図 1 5 及び図 1 6 を参照 し な が ら 説明 す る 。 図 1 5 は、 こ の 3 層の構造膜 の断面 を概念的 に 示 す図で あ る 。 図 1 6 は、 こ の 3 層の構造膜を製 造す る 工程を 示す図 で あ る 。 As an example, a three-layer laminated structure film and a method of manufacturing the same will be described with reference to FIGS. 15 and 16. FIG. FIG. 15 is a diagram conceptually showing a cross section of the three-layer structure film. FIG. 16 is a view showing a process of manufacturing the three-layer structure film.
こ の 3 層の積層構造膜は、 対向 し て 配置 さ れた基板部 2 0 と 天蓋 部 3 0 と の間 に、 間隔を あ けて 第 1 , 第 2 の 中間仕切層 5 0 、 6 0 が介在 し、 基板部 2 0 と 第 1 の 中 間仕切層 5 0 と の間、 両中間仕切 層 5 0 、 6 0 の間、 そ して第 2 の 中 間仕切層 6 0 と 天蓋部 3 0 と の 間 に格子状のス ぺ一サ 4 0 が挟 ま れ、 こ れ ら に よ っ て 囲われた領域 に 3 層の空隙 8 0 を形成 し た も ので あ る 。 The three-layer laminated structure film is provided with a first and second intermediate partition layer 50, 60 between the substrate section 20 and the canopy section 30, which are arranged to face each other, with an interval. Interposed between the substrate portion 20 and the first intermediate partition layer 50, between the two intermediate partition layers 50 and 60, and between the second intermediate partition layer 60 and the canopy portion 30. A lattice-shaped spacer 40 is sandwiched between the two, and three layers of voids 80 are formed in the region surrounded by the lattice-shaped spacers 40.
と こ ろ で、 こ の第 1 、 第 2 の 中間仕切層 5 0 、 6 0 は、 スぺーサ 4 0 の材料 を 昇華 さ せ る た め与 え る 特定の波長の電磁波 を 通過 さ せ かつス ぺ一サ 4 0 を構成す る 材料が昇華 し た分子 を透過 さ せ る と 共 に、 気化 して い な い部分のス ぺ一サ 4 0 を 安定に保持す る 材料で構 成 さ れ、例 え ば極めて 薄い樹脂 フ ィ ル ム を 使用 す る こ と が好 ま し い 。 At this time, the first and second intermediate partition layers 50 and 60 allow passage of an electromagnetic wave of a specific wavelength given to sublimate the material of the spacer 40, and The material that constitutes the spacer 40 is made of a material that transmits the sublimated molecules and stably retains the spacer 40 that is not vaporized. For example, it is preferable to use an extremely thin resin film.
し た がっ て 、 第 1 、 第 2 の 中 間仕切層 5 0 、 6 0 は、 天蓋部 3 0 と 全 く 同一の物質かつ厚 さ であ る 場合 と 異な る 場合 と があ り う る 。 そ の他、 基板部 2 0 、 スぺ一サ 4 0 及び天蓋部 3 0 の材料の種類及 び厚 さ につ いて は、 先の第 8 の実施の形態 と 同 じで あ る た め、 そ の 説明は省略す る 。 Therefore, the first and second intermediate partition layers 50 and 60 may be different from the case where the material and the thickness of the canopy portion 30 are completely the same. In addition, since the types and thicknesses of the materials of the substrate portion 20, the spacer 40, and the canopy portion 30 are the same as those of the above-described eighth embodiment, Its description is omitted.
つ ぎ に、 こ の積層構造の製造方法につ い て 図 1 6 を参照 し な が ら 説明す る 。
先の第 8 の実施の形態 に て 説明 し た よ う に、 ス ぺ一サ 4 0 の材料 には光酸発生剤が含 ま れて い る た め、 こ の 3 層の積層構造膜は いわ ゆ る イ エ ロ 一ルー ム や暗室な ど必要 な 対策 を 講 じ た部屋で製造す る ま た、 基板部の表面は ダス ト な どがな く 、 かつ付着性に 影響 を及ぼ す よ う な汚れがな い よ う に 十分な洗浄 と 乾燥を行 っ て お く 。 Next, a method of manufacturing the laminated structure will be described with reference to FIG. As described in the eighth embodiment, since the material of the spacer 40 contains a photoacid generator, the three-layer laminated structure film is not used. It is manufactured in a room where necessary measures such as so-called yellow room and dark room are taken, and the surface of the substrate does not have dust, etc., and it has an effect on adhesion. Thoroughly wash and dry to prevent contamination.
そ して 、 基板部 2 0 上の全面 に下側のス ぺ一ザの材料層 2 4 1 を 積層す る 。 そ の た め、 粘性液体の ス ぺ一ザの材料を基板部 2 0 上 に 滴下 し、 先の実施の形態 と 同様 に ス ピ ン コ ーテ ィ ン グす る 。 下側の ス ぺーザ の材料層 を 積層 し た基板部は、 ホ ッ ト プ レ ー ト ( 図示せ ず ) 上に載せ ら れ、 下側 の ス ぺ一ザの材料層 を べ一 キ ン グ ( 前段) す る 。 Then, a lower-side spacer material layer 241 is laminated on the entire surface of the substrate portion 20. For this purpose, a viscous liquid sputter material is dropped onto the substrate portion 20 and spin-coated as in the previous embodiment. The substrate on which the lower-layer material layer is laminated is placed on a hot plate (not shown), and the lower-layer material layer is applied to the base plate. (Previous)
その後、 下側のス べ一サの材料層 2 4 1 上 に第 1 の 中間仕切層 5 0 を ラ ミ ネ一 ト 手法な どに よ っ て貼 り 付け る 。 積層構造膜の使用 目 的や所望の特性な どに応 じて 、 下側の ス ぺ一ザの材料層 の表面を処 理 し、 薬液を 塗布 しあ る いは接着剤層 を設け る 。 こ の よ う な方法 を 3 度繰 り 返す こ と に よ っ て 本 ( a ) に示す よ う に、 第 1 の 中間仕切 層 5 0 上 に 中 間の ス ぺ一ザの材料層 2 4 2 、第 2 の 中 間仕切層 6 0 、 上側の ス ぺ一ザの材料層 2 4 3 を積層す る 。 そ して、 上側のス ぺー ザの材料層 2 4 3 上 に 天蓋部 3 3 を ラ ミ ネー ト 手法な ど に よ っ て貼 り 付け る 。 After that, the first intermediate partition layer 50 is attached on the lower material layer 241 of the sensor by a laminating method or the like. The surface of the lower-side material layer is treated according to the purpose and desired characteristics of the laminated structure film, and a chemical solution is applied or an adhesive layer is provided. By repeating such a method three times, as shown in the book (a), the material layer of the intermediate spacer is formed on the first intermediate partition layer 50. 2. The second intermediate partition layer 60 and the upper-side material layer 243 are laminated. Then, the canopy part 33 is attached on the material layer 24 4 of the upper spacer by a laminating method or the like.
( b ) 空隙を形成す る 部位に対応 して 窓穴部 2 3 1 を形成 した露 光用 の マス ク 2 3 を 、 天蓋部 3 3 に間隔 を あけた状態 ま た は接合 し た状態で重ね合わせ る 。 そ して、 その上方か ら 紫外線の よ う な特定 の波長の電磁波 を 照射す る 。 (b) An exposure mask 23 with window holes 23 1 corresponding to the parts where the voids are to be formed is spaced or joined to the canopy 33. Overlap. Then, electromagnetic waves of a specific wavelength such as ultraviolet rays are irradiated from above.
紫外光は、 マ ス ク の窓穴部 2 3 1 か ら 天蓋部 3 3 と 第 2 、 第 1 の 中間仕切層 5 0 、 6 0 と は透過 し、 窓穴部 2 3 1 直下 の部分の ス ぺ —ザの材料層 2 4 1 、 2 4 2 、 2 4 3 を露光する 。 そ し て、 そ の部
分のス ぺ一サの材料層のポ リ マ 一は、 分解 さ れて モ ノ マ一 と な り 、 分子量が小 さ く な る 。 Ultraviolet light is transmitted from the mask window hole 231, through the canopy portion 33 and the second and first intermediate partition layers 50 and 60, to the portion immediately below the window hole 231. Expose the material layers 24 1, 24 2, 24 3 of the surface. And that part The polymer in the material layer of the minute spacer is decomposed into a monomer, and the molecular weight is reduced.
( c ) こ の部分の モ ノ マ一は、 マ ス ク 2 3 を取 り 除い た後、 ベ一 キ ン グ (後段 ) 電磁波の照射、 物理的若 し く は機械的作用 に よ っ て 、 第 1 、 第 2 の 中 間仕切層 5 0 、 6 0 及び天蓋部 3 3 を通過 して外部 へ排出 さ れ る 。 こ の た めの部分は積層方 向 に連続 し た 3 層の空隙 8 1 、 8 2 、 8 3 がエ ッ ジ を揃え て 一度 に形成さ れる 。 なお、 こ の 3 層の積層構造の ス ぺ一サ 4 0 は変形 し な い。 (c) After removing the mask 23, the monomer in this part may be exposed to a base (second stage) electromagnetic wave, or may be subjected to physical or mechanical action. After passing through the first and second intermediate partition layers 50, 60 and the canopy part 33, they are discharged outside. For this purpose, voids 81, 82, 83 of three layers continuous in the laminating direction are formed at once by aligning the edges. Note that the spacer 40 of the three-layer laminated structure is not deformed.
そ し て 、こ の 3 層の構造膜を 液晶表示素子 と し て 使用 す る と き は 基板部 2 0 の表面、 天蓋部 3 3 の上面、 そ し て第 1 と 第 2 の 中 間仕 切層 5 0 、 6 0 の上面 に 導電性薄膜 ( 図 示せ ず ) が形成 さ れて お り 、 注入孔 (図 6 参照) か ら 3 層の 各空隙 8 1 、 8 2 、 8 3 内 に シ ア ン 、 マゼ ン タ 及びイ ェ ロ ーの色素の液晶が充填さ れる 。 When the three-layer structure film is used as a liquid crystal display device, the surface of the substrate portion 20, the upper surface of the canopy portion 33, and the first and second intermediate portions are used. A conductive thin film (not shown) is formed on the upper surfaces of the cut layers 50 and 60, and each of the three layers of voids 81, 82 and 83 is formed from an injection hole (see FIG. 6). Liquid crystals of cyan, magenta and yellow dyes are filled.
ま た こ の た め、 別途導電膜の形成等 も 必要で あ り 、 更に こ の導電 膜は紫外線 を透過 さ せ る も ので あ る 。 更 に ま た、 液晶注入用 の孔 も 別途形成さ れ る こ と と な る 。 なお こ の た め、 導電膜は必ず し も 昇華 す る 分子 を透過す る 性質は必要な い。 For this reason, it is necessary to separately form a conductive film and the like, and this conductive film transmits ultraviolet light. In addition, a hole for injecting the liquid crystal is also separately formed. For this reason, the conductive film does not necessarily need to have a property of transmitting sublimable molecules.
(実施例 ) (Example )
先の第 8 及び第 9 の実施の形態の い ずれの場合で あ っ て も 、 ス ぺ —ザの材料や天蓋部の材料な どを 、 以下の実施例 1 か ら 実施例 1 3 に 示す様に、 多数の組合せで選定す る こ と がで き る 。 た だ し、 い ず れの実施例 に おい て も 、 天蓋部は材質が P E T であ り 、 その膜厚 さ は 0 . 9 z mで あ り 、 ま た露光は高圧水銀ラ ン プの紫外線で あ り 、 そ のエネル ギー密度は約 1 3 m wで あ る 。 こ の た め、 こ れ ら に つ い て の各実施例毎の記載は省略す る 。 な お、 光の照射時間は 当然 1 層 の場合 と 3 層の積層構造の場合 と で は異な る た め、 それ につ い て は
区別 して 記載す る 。 In any case of the above eighth and ninth embodiments, the materials of the spacer and the material of the canopy are shown in Examples 1 to 13 below. Thus, it is possible to select in many combinations. However, in any of the embodiments, the canopy is made of PET, has a thickness of 0.9 zm, and is exposed to ultraviolet light from a high-pressure mercury lamp. Yes, its energy density is about 13 mw. For this reason, the description of each of these embodiments is omitted. The irradiation time of light is naturally different between the case of one layer and the case of a three-layer structure. Write separately.
(実施例 1 ) (Example 1)
ス ぺ一ザの材料は、 ポ リ マ一 と し て ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒 に対 して約 5 w t (重 量) % ) 、 溶媒 と して シ ク ロ へキサ ン ( c y c l o h e x a n o n e ) で あ り 、 光酸発生剤 と して ト リ ァ リ ル ズルホニ ゥ ム へキサ フ ノレォ ロ ア ン チモ ン ( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o a n t i m o n a t e ) ( ポ リ マ一に対 して 約 1 0 w t % ) を採用 す る 。 The material of the stirrer is polyaldehyde (Polyphthalaldehyde) (about 5 wt% (weight)% with respect to the solvent) as a polymer and cyclohexane as a solvent. It is a cyclohexanone, and as a photoacid generator, triarylsulfoniumhexaf luoroantimonate (about 10 wt.% Per polymer) %).
ス ピ ン コ ーテ ィ ン グの条件は、 前半 を 3 0 0 r p m、 5 秒 ( s e c ) 、 後半を 6 0 0 r p m、 2 0 秒で あ る 。 ス ぺ一サの材料の塗布 層厚は、 約 2 0 0 0 Aで あ る 。 ベー キ ン グ ( 前段) は、 温度 1 0 0 °C のホ ヅ ト プ レ ー ト 上にて 3 〜 5 分で あ る 。 The spin coating conditions are 300 rpm for the first half, 5 seconds (sec), and 600 rpm for the second half, 20 seconds. The coating layer thickness of the spacer material is about 2000 A. The baking (previous stage) takes 3 to 5 minutes on a plate at a temperature of 100 ° C.
紫外線の照射時間は、 1 層の場合は 1 0 ~ 2 0秒であ り 、 3層の 積層構造の場合は 2 0 - 3 0 秒で あ る 。 な お、 エ ネ ルギー密度はい ずれの場合も 、 1 5 m W/ c m 2 であ る 。 The irradiation time of the ultraviolet light is 10 to 20 seconds for a single layer, and 20 to 30 seconds for a three-layer laminated structure. Note that the energy density is 15 mW / cm 2 in each case.
ベ一キ ン グ (後段) は、 温度 1 3 0 。Cの ホ ッ ト プレ ー ト 上に て約 3 0 秒で あ る 。 こ の 内容を 、 下記の よ う に ま と め る 。 The temperature of the baking (later stage) is 130. It is about 30 seconds on C's hot plate. This content is summarized as follows.
[ス ぺ一サの材料 ] ポ リ マ一…ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒 に対 して約 5 w t % ) /溶媒 … シ ク ロ へキ サ ン ( c y c l o h e x a n o n e ) /光酸発生剤… ト リ ア リ ルズルホ ニ ゥ ム へ キサ フ ルォ ロ ア ンチモ ン t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o a n t i m o n a t e (ポ リ マ一 に対 して約 1 0 w t % ) [Substrate materials] Polymer: Polyphthalaldehyde (about 5 wt% based on solvent) / Solvent: cyclohexanone / Light Acid generator: triarylsulfoniumhexaf luoroantimonate (approx. 10 wt% based on polymer)
[ス ピ ン コ 一テ ィ ン グの条件 ] 前半 ··· 3 0 0 r p m、 5 s e c /後 半 '" 6 0 0 111、 2 0 s e c
[ス ぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 2 0 0 O A [Conditions for spinning] First half ... 300 rpm, 5 sec / second half "" 600 111, 20 sec [Coating layer thickness of the material of the stirrer] About 200 OA
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 1 0 0 °Cのホ ッ ト プ レ ー ト 上 にて 3 〜 5 m 1 n [Baking (previous stage)] 3 to 5 m 1 n on a hot plate at a temperature of 100 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 1 0 〜 2 0 s e c / 3 層… 2 0 〜 3 0 s e c [Light irradiation time] 1 layer: 10 to 20 sec / 3 layers: 20 to 30 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W / c m 2 [Irradiation intensity of the light irradiation] 1 5 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 3 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて約 3 0 s e c [Backing (second stage)] Approx. 30 sec on a hot plate with a temperature of 130 ° C
(実施例 2 ) (Example 2)
本実施例 2 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して下記の も の を 用 い、 ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベ一 キ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以 下 に列挙す る 通 り と す る他は、 先の実施例 1 と 同様の方法にて製造 し た。 The laminated film structure of the second embodiment uses the following as a sputter material, spin-coating conditions, baking (previous stage) temperature, and light irradiation. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[スぺ一サの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 4 w t % ) /溶媒 … プロ ピ レ ン 力 一ポネ イ ト ( p r o p y l e n e c a r b o n a t e ) /光酸発生剤… ト リ ア リ ルスルホ ニ ゥ ム へ キサ フ ルォ ロ ア ンチモ ン ( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f 1 u o r o a n t i m o n a t e ) ( ポ リ マ一 に対 して約 8 w t % ) [Materials of spacers] Polyphthalaldehyde (approximately 4 wt% based on the solvent) / Solvent… propylenecarbonate / Photoacid generator: triarylsulfoniumhexaf 1 uoroantimonate (approx. 8 wt% based on polymer)
[ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件 ] 前半 ·'· 3 0 0 r p m、 5 s e c /後半 ••• 6 0 0 r p m、 2 0 s e c [Spin co-conditioning condition] First half · '· 300 rpm, 5 sec / Second half · •• 600 rpm, 20 sec
[スぺ一サの材料の塗布層厚 ] 約 3 0 O A [Coating layer thickness of spacer material] About 30 O A
[ベーキ ン グ (前段) ] 温度 1 0 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上 に て 3 ~ 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 100 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 1 0 〜 2 0 s e c / 3 層 … 2 0 〜 3 0
s e c [Light irradiation time] 1 layer: 10 to 20 sec / 3 layers: 20 to 30 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 3 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上 に て約 3 0 s e c [Baking (second stage)] Approx. 30 sec on a hot plate at a temperature of 130 ° C
以上の製造条件 に よ り 、 前記実施例 1 と 同様の構造 を 有 した積層 構造膜を製造する こ と がで き た 。 Under the above manufacturing conditions, a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 could be manufactured.
(実施例 3 ) (Example 3)
本実施例 3 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して 下記の も の を用 い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一 キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベ ーキ ン グ (後段) 温度等の製造条件を以 下に列挙す る 通 り と す る他は、 先の実施例 1 と 同様の 方法にて製造 し た。 The laminated film structure of the third embodiment uses the following as a sputter material, spin coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation, and the like. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[ス ベーサの材料 ] ポ リ マ——ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 4 w t % ) /溶媒 … プロ ピ レ ン 力 一ポネ イ ト ( p r o p y l e n e c a r b o n a t e ) /光酸発生剤… ジ フ ェ ニール ョ ー ド ニ ゥ ム へ キサ フ ルホ 口 フ ォ ス フ ェ イ ト ( d i p h e n y l i o d o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) ( ポ リ マ 一 に 対 し て 約 8 w t % ) [ ス ピ ン コ 一テ ィ ン グの条件 ] 前半••• S O O r p m 5 s e c /後 半••• 6 0 0 r p m、 2 0 0 s e c [Material for baser] Polymer—Polyphthalaldehyde (about 4 wt% based on solvent) / Solvent… Propylene carbonate / propylenecarbonate / Photoacid generator: diphenyliodoniumhexafluorophosphate (about 8 wt% based on polymer) [Spinco One tent condition] First half ••• SOO rpm 5 sec / Second half ••• 600 rpm, 200 sec
[ス ぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 2 0 0 0 A [Coating layer thickness of the material of the stirrer] About 200 A
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 1 0 0 °Cの ホ ヅ ト プ レ ー ト 上 に て 3 〜 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a plate with temperature of 100 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層…約 1 0 0 s e c / 3 層…約 1 5 0 s e c [Light irradiation time] 1 layer: approx. 100 sec / 3 layers: approx. 150 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2
[ベ一 キ ン グ (後段) ] 後温度 1 3 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上 に て約 6 0 s e c [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2 [Baking (second stage)] Approx. 60 sec on a hot plate with a rear temperature of 130 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造を有 した積層 構造膜を 製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having a structure similar to that of Example 1 above.
(実施例 4 ) (Example 4)
本実施例 4 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して以下の も の を用 い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一 キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベ一キ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以 下 に列挙す る 通 り と す る他は、 先の実施例 1 と 同様の方法にて製造 した。 The laminated film structure of the fourth embodiment uses the following as a sputter material, spin coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation, and the like. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[ ス ぺーサ の材料 ] ポ リ マ ー … ポ リ フ タ ル ア ルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して 約 4 w t % ) /溶媒 "' プ ロ ピ レ ン 力 一ポネ イ ト ( p r o p y l e n e c a r b o n a t e ) ノ光酸発生剤 … 8 ァ ニ リ ノ一 1 ナ フ タ リ ン エ ス ル フ ォ ニ ッ ク 酸マ グ ネ シ ウ ム ( 8 — a n i l i n o — 1 — n a p h t h a l e n e s u l f o n i c a c i d m a g n e s i u m ) ( 小 リ マ —に対 して約 8 w t % ) [Materials for spacers] Polymers: Polyphthalaldehyde (approximately 4 wt% based on the solvent) / solvent "" (Propylenecarbonate) photoacid generator… 8 anilino-1 Magnesium naphthalene sulfonic acid (8 — anilino — 1 — naphthalenesulfonicac idmagnesium) About 8 wt% with respect to
[ ス ビ ン コ 一テ ィ ン グ条件 ] 前半… 3 0 0 r p m、 5 s e c /後半 ••• 6 0 0 r p m、 2 0 s e c [Sbinco matching condition] First half ... 300 rpm, 5 sec / Second half • 600 rpm, 20 sec
[ス ぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 5 0 0 A [Coating layer thickness of the material of the stitch] Approx. 500 A
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 1 0 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 3〜 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 100 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 1 0 0〜 1 5 0 s e c / 3 層 "· 1 3 0 〜 1 6 0 s e c [Irradiation time of light irradiation] 1 layer: 100 to 150 sec / 3 layers "· 130 to 160 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 5 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 約 6
0 s e c [Baking (second stage)] Approx. 6 on a hot plate with a temperature of 150 ° C 0 sec
以上の製造条件 に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造 を 有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
(実施例 5 ) (Example 5)
本実施例 5 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して 下記の も の を用 い、 ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベ一キ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以 下 に列挙す る 通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法に て製造 した。 The laminated film structure of the fifth embodiment uses the following materials as the sputter material, the spin coating conditions, the baking (previous stage) temperature, and the light irradiation. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were listed below.
[ス ぺ一サの材質 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 6 w t % ) ノ溶媒 … ジエチ レ ン グ リ コ ール ジ メ チル エーテル ( d i e t h y 1 e n e g l y c o l d i m e t h y l e t h e r ) ,光酸発 生剤… ト リ ァ リ ルス ル フ ォ ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ ア ンチモ ン ( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o a n t ι m o n a t e ) (ポ リ マ 一 に対 して約 1 5 w t % ) [Material of the plaster] Polyphthalaldehyde (approximately 6 wt% based on the solvent) Solvent… Diethyl alcohol dimethyl ether 1 eneglycoldimethylether), photoacid generator ... triarylsulfoniumhexaf luoroant limonate (about 15 wt% based on polymer) )
[ ス ピ ン コ 一 テ ィ ン グ条件 ] 前半•·· 3 0 0 r p m、 5 s e c Z後半 — 6 0 0 r p m , 2 0 s e c [Spin co-conditioning condition] First half ··· 30 0 rpm, 5 se c Z Second half — 60 0 r p m, 20 se c
[ス ぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 3 0 0 0 A [Coating layer thickness of the material of the swirler] About 300 A
[ベーキ ン グ (前段) ] 温度 9 0 °Cのホ ッ ト プ レ ー ト 上 にて 3 ~ 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate at a temperature of 90 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 5 〜 1 0 s e c / 3 層… 1 0 〜 1 5 s e c [Light irradiation time] One layer: 5 to 10 sec / Three layers: 10 to 15 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W / c m 2 [Irradiation intensity of the light irradiation] 1 5 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 1 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上に て約 6 0 s e c
以上の製造条件 に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造を 有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 [Baking (second stage)] Approx. 60 sec on a hot plate with a temperature of 110 ° C Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
(実施例 6 ) (Example 6)
本実施例 6 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して 下記の も の を用 い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベーキ ン グ (後段) 温度等の製造条件 を 以 下 に列挙す る通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法に て製造 した 。 The laminated film structure of the sixth embodiment uses the following as a sputter material, spin coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation, and the like. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were listed below.
[ス ぺ一ザの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 し て約 1 5 w t %) Z溶 媒… ジエチ レ ン グ リ コ 一ル ジ メ チル ェ一テル ( d i e t h y 1 e n e g l c o l d i m e t h y l e t h e r ) ,光酸 発生剤… ト リ ア リ ルス ルホニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ ア ン チモ ン ( t r i a r y 丄 s u l f o n i u m h e x a i l u o r o a n t ι m o n a t e ) (ポ リ マ一に対 して約 5 w t % ) [Materials of the polyester] Polymer Polyphthalaldehyde (about 15 wt% based on the solvent) Z solvent: ethylene glycol dimethyl One ter (diethy 1 eneglcoldimethylether), photoacid generator ... triarylsulfoniumhexafluoroantimone (about 5 wt. %)
[ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件 ] 前半 '·· 4 0 θ Γ ρ ιη、 5 s e c /後半 — 7 5 0 r p m , 3 0 s e c [Spin Coating Condition] First Half '· 4 0 θ ρ ρ ιη, 5 sec / Second — 75 0 rpm, 30 sec
[ス ぺ一サの材料の塗布層厚 ] 約 1 . l // m [Coating material layer thickness] Approx. 1. l // m
[ベ一 キ ン グ (前段) ] 温度 1 2 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上 に て 3 〜 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 120 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層…約 6 0 s e c / 3 層…約 7 0 s e c [ 光照射の照射強度〗 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation time] 1 layer: approx. 60 sec / 3 layers: approx. 70 sec [Light irradiation intensity 015 mW / cm 2
[ベ一 キ ン グ (後段) ] 温度 8 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上 に て約 6 0 s e c [Backing (second stage)] Approximately 60 sec on a hot plate at a temperature of 80 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造 を 有 した積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。
(実施例 7 ) Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above. (Example 7)
本実施例 7 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して 下記の も の を用 い、 ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件、 ベ一 キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベーキ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以 下 に列挙す る 通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法にて製造 し た。 The laminated film structure of the seventh embodiment uses the following as a sputter material, spin-coating conditions, baking (previous stage) temperature, and light irradiation. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[スぺ一ザの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ 夕 ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 5 w t % ) /溶媒 … ジエチ レ ン グ リ コ ール ジ メ チル エーテ ル ( d i e t h y l e n e g l y c o l d i m e t h y l e t h e r ) / 光酸発 生剤… ダイ フ エ 二 リ オ ド ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ 燐 ( d i p h e n y l i o d o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) (ポ リ マ 一 に対 して約 1 0 w t % ) [Materials of Suppository] Polymer phthalide (Polyphthalaldehyde) (approximately 5 wt% based on solvent) / Solvent… Diethylene glycol dimethyl ether ( diethyleneglycoldimet hylether) / photoacid generator ... diphenyliodoniumhexaf luorophosphate (about 10 wt% based on polymer)
[ ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件 ] 前半… 3 0 0 r p m、 5 s e c /後半 — 6 0 0 r p m N 2 0 s e c [Spincoiling conditions] First half… 300 rpm, 5 sec / second half — 600 rpm N 20 sec
[スぺ一サの材料の塗布層厚 ] 約 2 0 0 0 A [Coating layer thickness of spacer material] About 200 A
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 9 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上に て 3 ~ 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 90 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 1 2 0 〜 1 8 0 s e c / 3 層 ·'· 1 5 0 〜 2 0 0 s e c [Irradiation time of light irradiation] 1 layer: 120-180 sec / 3 layers · '· 150-200 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 1 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて約 3 0 s e c [Backing (second stage)] Approx. 30 sec on a hot plate with a temperature of 110 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造 を 有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
(実施例 8 )
本実施例 8 の積層膜構造は、 ス ぺーサ材料 と して 下記の も の を 用 い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ 一 キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベ ーキ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以 下に列挙す る 通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法に て製造 した。 (Example 8) The laminated film structure of the eighth embodiment uses the following as a spacer material, spin coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that manufacturing conditions such as time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[スぺ一ザの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して 約 1 7 w t % ) /溶 媒… ジエチ レ ン グ リ コ 一ル ジ メ チル ェ一テノレ ( d i e t h y l e n e g l y c o l d i m e t h y l e t h e r ) ,光酸 発生剤…ダイ フ エ 二 リ オ ド ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ 燐 ( d i p h e n y l i o d o n i u m h e x a f 丄 u o r o p h o s p h a e ) (ポ リ マー に対 して約 9 w t % ) [Surgical material] Polymer Polyphthalaldehyde (approximately 17 wt% with respect to the solvent) / Solvent… Diethylene glycol dimethyl One tenore (diethyleneglycoldimet hylether), photoacid generator ... diphenyliodoniumhexaf 丄 uorophosphae (about 9 wt% based on the polymer)
[ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件 ] 前半… 4 0 0 r p m、 5 s e c /後半 ••• 1 0 0 0 r p m、 2 5 s e c [Spin co-conditioning condition] First half… 400 rpm, 5 sec / Second ••• 100 rpm, 25 sec
[スぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 6 0 0 0 A [Thickness of the coating material of the spacer] About 600 A
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 9 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上 にて 3 〜 5 m 1 n [Baking (previous stage)] 3 to 5 m 1 n on a hot plate at a temperature of 90 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 2 0 0 〜 2 5 0 s e c / 3 層… 2 2 0 〜 2 6 0 s e c [Irradiation time of light irradiation] 1 layer: 200 to 250 sec / 3 layers: 220 to 260 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 1 0 °Cのホ ッ ト プ レ ー ト 上にて約 1 5 〜 2 0 s e c [Baking (second stage)] Approx. 15 to 20 sec on a hot plate with a temperature of 110 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造を有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た 。 Under the above manufacturing conditions, a laminated structure film having a structure similar to that of Example 1 above could be manufactured.
(実施例 9 ) (Example 9)
本実施例 9 の積層膜構造は、 スぺ一サ材料 と して下記の も の を 用
い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射の 照射時間及び照射強度、 ベーキ ン グ (後段) 温度等の製造条件 を 以 下 に列挙す る 通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法に て製造 し た。 In the laminated film structure of the ninth embodiment, the following materials were used as the spacer material. The manufacturing conditions such as spin coating conditions, baking (first stage) temperature, irradiation time and intensity of light irradiation, and baking (second stage) temperature are listed below. Except for the above, it was produced in the same manner as in Example 1 above.
[ス ぺ一サの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ル アルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 1 7 w t % ) /溶 媒… ジ エチ レ ン グ リ コ ール ジ メ チル エーテル ( d i e t h y 1 e n e g l y c o l d i m e t h y l e t h e r ) Z光酸 発生剤 …ダイ フ エ 二 リ オ ド ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ 燐 ( d i p h e n y l i o d o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) ( ポ リ マ 一に対 して約 9 w t % ) [Material of the supplier] Polymer Polyphthalaldehyde (approximately 17 wt% based on the solvent) / Solvent: Diethylene glycol Tyl ether (diethy 1 eneglycoldimethylether) Z photoacid generator… diphenyliodoniumhexaf luorophosphate (about 9 wt% per polymer)
[ス ピ ン コ ー テ ィ ン グ条件 ] 前半… 3 0 0 r p m、 5 s e c /後半 ••• 6 0 0 r p m、 2 0 s e c [Spin coating condition] First half ... 300 rpm, 5 sec / Second half • 600 rpm, 20 sec
[スぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 1 . 5 m [Applied layer thickness of the material of the stirrer] About 1.5 m
[ベ一 キ ン グ (前段) ] 温度 9 0 °Cのホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 3 ~ 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 90 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 2 0 0 〜 2 5 0 s e c Z 3 層… 2 2 0 〜 2 5 0 s e c [Irradiation time of light irradiation] 1 layer: 200 to 250 sec Z 3 layer: 220 to 250 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一 キ ン グ (後段) ] 温度 1 1 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて約 6 0 s e c [Backing (second stage)] Approx. 60 sec on a hot plate with a temperature of 110 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造 を 有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
(実施例 1 0 ) (Example 10)
本実施例 1 0 の積層膜構造は、 ス ぺーサ材料 と して 下記の も の を 用 い、 ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射
の照射時間及び照射強度、 ベ一 キ ン グ (後段) 温度等の製造条件 を 以下 に列挙す る 通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法 に て製 造 し た。 The laminated film structure of this embodiment 10 uses the following as a spacer material, spin-coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation. It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[ス ぺ一サの材料 ] ポ リ マ一… ポ リ フ 夕 ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 5 w t % ) /溶媒 …サイ ク ロ へキサ ン ( c y c l o h e x a n o n e ) /光酸発生剤 … ト リ ア リ ルス ルホ ニ ゥ ム へ キサ フ ルォ ロ 燐 ( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) (ポ リ マーに対 して約 9 w t % ) [Substrate materials] Polymer: Polyphthalaldehyde (about 5 wt% based on solvent) / Solvent: cyclohexanone / photoacid Generating agent: triarylsulfoniumhexaf luorophosphate (about 9 wt% relative to polymer)
[ス ピ ン コ 一テ ィ ン グ条件 ] 前半 "· 3 0 0 Γ Ρ ΠΙ、 5 s e c 7後半 — 6 0 0 r p m , 2 0 s e c [Spin-coating condition] First half “· 3 0 0 Ρ Ρ ΠΙ, 5 sec 7 Second half — 60 0 rpm, 20 sec
[ス ぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 2 0 0 O A [Coating layer thickness of the material of the stirrer] Approx. 200 O A
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 1 0 0 °Cのホ ッ ト プ レ ー ト 上に て 3 〜 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 100 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層 ·'· 1 5 〜 3 θ 3 β ο / 3 層 ·'· 2 0 〜 3 0 s e c [Irradiation time of light irradiation] 1 layer · '15 to 3 θ 3 β ο / 3 layers ·' 20 to 30 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一 キ ン グ (後段) ] 温度 1 3 0 のホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 約 3 0 s e c [Baking (second stage)] Approx. 30 sec on a hot plate with a temperature of 130
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造を有 した積層 構造膜を製造す る こ と がで き た 。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having a structure similar to that of Example 1 above.
(実施例 1 1 ) (Example 11)
本実施例 1 1 の積層膜構造は、 スぺ一サ材料 と して下記の も の を 用 い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射 の照射時間及び照射強度、 ベ一 キ ン グ (後段) 温度等の製造条件 を 以下に列挙す る 通 り と する他は、 先の実施例 1 と 同様の方法 に て製
造 した。 The laminated film structure of this Example 11 uses the following as a sputter material, spin coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation Except that the manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature are listed below, they were manufactured in the same manner as in Example 1 above. Built.
[スぺ一ザの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ル アルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 4 w t % ) /溶媒 "' プロ ピ レ ン 力 一ボネ イ ト ( p r o p y l e n e c a r b o n a t e ) /光酸発生剤… ト リ ア リ ル フ ォ ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ 燐 [Materials for Slurry] Polyphthalide (approx. 4 wt% based on solvent) / Solvent "'Propylene Carbonate / Photoacid generator ... Triaryl phosporium hexafluorophosphorus
( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) (ポ リ マ一 に対 して 約 7 w t % ) (t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e) (approximately 7 w t% for the polymer)
[ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件 ] 前半 ·'· 3 0 θ Γ ρ ιη、 5 s e c /後半 ••• 6 0 0 r p m、 2 0 s e c [Spin coating condition] First half · '· 30 θ Γ ρ ιη, 5 sec / Second half ••• 600 rpm, 20 sec
[スぺーサの材料の塗布層厚 ] 約 4 0 0 A [Coating layer thickness of spacer material] About 400 A
[ベーキ ン グ (前段) ] 温度 1 0 0 の ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 3 ~ 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 100
[光照射の照射時間 ] 1 層… 2 0 〜 3 0 s e c / 3 層… 3 0 〜 4 0 s e c [Light irradiation time] 1 layer: 20 to 30 sec / 3 layers: 30 to 40 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 1 3 0 °Cのホ ッ ト プレ ー ト 上にて約 3 0 s e c [Baking (second stage)] Approx. 30 sec on a hot plate at a temperature of 130 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造 を有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
(実施例 1 2 ) (Example 12)
本実施例 1 2 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して下記の も の を 用い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一 キ ン グ (前段) 温度、 光照射 の照射時間及び照射強度、 ベーキ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以下に列挙する 通 り と す る 他は、 先の実施例 1 と 同様の方法 にて製 造 した。 The laminated film structure of the present Example 12 uses the following materials as the sputter material, and applies the spin coating conditions, the baking (previous stage) temperature, and the light irradiation. Manufacturing was performed in the same manner as in Example 1 except that manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[スぺーサの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ タ ルアルデ ヒ ド ( P o l y p
h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒 に対 し て 約 6 w t % ) /溶媒 … ジ エ チ レ ン グ リ コ ール ジ メ チ ル エ ー テ ル ( d i e t h y 1 e n e g l y c o l d i m e t h y l e t h e r ) /光酸発 生剤 … ト リ ア リ ルス フ ォ ニ ゥ ム へキサ フ ル ォ ロ 燐 ( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) ( ポ リ マ一 に対 して約 1 3 w t % ) [Materials for spacers] Poli map hthalaldehyde) (approximately 6 wt% based on the solvent) / Solvent… diethyl glycol dimethyl ether (diethy 1 eneglycoldimethylether) / photoacid generator… tria Triarylsulfoniumhexaf luorophosphate (about 13 wt% based on the polymer)
[ ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件 ] 前半… 3 0 0 r p m、 5 s e c /後半 — 6 0 0 r p m , 2 0 s e c [Spin Coating Condition] First half ... 3 0 rpm, 5 sec / 2nd — 6 0 rpm, 20 sec
[ス ぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 3 5 0 O A [Coating layer thickness of the material of the swirler] About 350 O A
[ベーキ ン グ (前段) ] 温度 9 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 3 〜 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate at a temperature of 90 ° C
[光照射の照射時間 ] 1 層… 1 0 〜 2 0 s e c / 3 層… 1 5 〜 2 5 s e c [Light irradiation time] 1 layer: 10 to 20 sec / 3 layers: 15 to 25 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 mWZ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 mWZ cm 2
[ベ一 キ ン グ (後段) ] 温度 1 3 0 °Cの ホ ッ ト プ レ ー ト 上にて 約 6 0 s e c [Backing (second stage)] Approx. 60 sec on a hot plate with a temperature of 130 ° C
以上の製造条件 に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造 を有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
(実施例 1 3 ) (Example 13)
本実施例 1 3 の積層膜構造は、 ス ぺ一サ材料 と して下記の も の を 用 い、 ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件、 ベ一キ ン グ (前段) 温度、 光照射 の照射時間及び照射強度、 ベ一キ ン グ (後段) 温度等の製造条件を 以下 に列挙す る 通 り と す る他は、 先の実施例 1 と 同様の方法 に て製 造 し た 。 The laminated film structure of the present Example 13 uses the following as a sputter material, spin coating conditions, baking (previous stage) temperature, light irradiation It was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the manufacturing conditions such as irradiation time, irradiation intensity, and baking (second stage) temperature were as listed below.
[ス ぺ一ザの材料 ] ポ リ マ ポ リ フ 夕 ルアルデ ヒ ド ( P o l y p h t h a l a l d e h y d e ) (溶媒に対 して約 1 5 w t % ) /溶
媒… ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル ジ メ チ ル ェ一テ ル ( d i e t h y 1 e n e g l y c o l d i m e t h y l e t h e r ) ,光酸 発生剤 … ト リ ア リ ルス ルホ ニ ゥ ム へキサ フ ルォ ロ 燐 ( t r i a r y l s u l f o n i u m h e x a f l u o r o p h o s p h a t e ) (ポ リ マ一に対 して約 5 w t % ) [Materials of polyester] Polymer Polyaldehyde (about 15 wt% based on solvent) / Solvent Medium: diethyrene eneglycoldimethylether, photoacid generator: triarylsulfoniumhexaf luorophosphate ) (About 5 wt% based on polymer)
[ ス ピ ン コ ーテ ィ ン グ条件 ] 前半… 4 0 0 r p m、 5 s e c /後半 ••• 7 5 0 r p m、 3 0 s e c [Spin Coating Condition] First half… 400 rpm, 5 sec / Second ••• 750 rpm, 30 sec
[スぺ一ザの材料の塗布層厚 ] 約 1 . 2 〃 m [Applied layer thickness of the material of the stirrer] Approximately 1.2 m
[ベ一キ ン グ (前段) ] 温度 1 2 0 の ホ ッ ト プ レ ー ト 上に て 3〜 5 m i n [Baking (previous stage)] 3 to 5 min on a hot plate with a temperature of 120
[光照射の照射時間 ] 1 層…約 6 0〜 7 0 s e c / 3 層… 6 0〜 8 0 s e c [Light irradiation time] 1 layer: approx. 60 to 70 sec / 3 layers: 60 to 80 sec
[光照射の照射強度 ] 1 5 m W/ c m 2 [Light irradiation intensity] 15 m W / cm 2
[ベ一キ ン グ (後段) ] 温度 8 0 °Cのホ ッ ト プ レ ー ト 上に て約 6 0 s e c [Baking (second stage)] Approx. 60 sec on a hot plate at a temperature of 80 ° C
以上の製造条件に よ り 、 先の実施例 1 と 同様の構造を 有 し た積層 構造膜を製造す る こ と がで き た。 Under the above manufacturing conditions, it was possible to manufacture a laminated structure film having the same structure as that of Example 1 above.
以上、 本発明を幾つかの実施の形態に基づいて 説明 して き た が、 本発明は何 も こ れ ら に限定さ れな いのは勿論で あ る 。 すなわ ち 、 例 え ば以下の よ う に して も よ い。 As described above, the present invention has been described based on some embodiments, but it is needless to say that the present invention is not limited to these embodiments. That is, for example, the following may be performed.
1 ) 液晶表示装置は、 光反射型で な く 表示側背面 にバ ッ ク ラ イ ト を有す る 型で あ り 、 室内で の ヮ 一 ド プロ セ ッ サーやパ ソ コ ンの表示 に使用 して い る 。 1) The liquid crystal display device is not of a light reflective type, but has a back light on the back side of the display side, which is suitable for indoor display of personal computers and personal computers. Used.
2 ) 各画素毎の各層共通の注入孔で な く 、 各層毎に 各画素共通の 注入孔 と し、 内部へ高分子分散型液晶を充たす毎に マ ト リ ッ ク ス を 固体化す る よ う に して い る 。
3 ) 反射板は、 高価ではあ る がアル ミ よ り も 反射特性 に優れ る銀 と して い る 。 2) Use a common injection hole for each pixel instead of a common injection hole for each layer for each pixel, and solidify the matrix every time polymer-dispersed liquid crystal is filled inside. I have to . 3) The reflector is silver, which is more expensive but has better reflection characteristics than aluminum.
4 ) ·画素の支持隔壁、 注晶封止用樹脂部が ブラ ッ ク マ ト リ ク ス を 兼ね る 。 こ の た め、 封止用樹脂 に は予め導電性が生 じない程度で炭 素粉末を 混入 して い る 。 こ の場合、 封止用樹脂は画素部には形成せ ず、 コ ン タ ク ト ホール及び支持隔壁の上 に のみ形成す る 。 4) · The pixel's support partition and the injection molding resin part also serve as black matrix. For this reason, carbon powder is mixed in the sealing resin in advance to such an extent that conductivity is not generated. In this case, the sealing resin is not formed on the pixel portion, but is formed only on the contact hole and the support partition.
5 ) 所要工程は増加する が、 コ ン タ ク ト ホール内 に は、 導電性の 良好な金属微粒子 を も 充填す る よ う に して い る 。 5) Although the number of required processes increases, the contact holes are also filled with fine metal particles with good conductivity.
6 ) 各画素の液晶層は、 3 色の フ ル カ ラ ー表示で な く 、 案内ゃ宣 伝広告等 に使用 す る た め 2 色表示 と して い る 。 6) The liquid crystal layer of each pixel is not displayed in full color in three colors, but is displayed in two colors to be used for advertisements and advertisements.
7 ) ス ぺ一サ材料 と して は、 紫外線があ た っ て いな い と こ ろ を 高 温で焼 く こ と に よ り 硬化 し、 硬化後は紫外線があた っ て も 分解 しな い材料を使用 したが、 他の原理の物質を使用 して い る 。 例えば、 現 時点で は価格等に問題があ る か も しれな い が、 将来の技術の発達の も と、 赤外線で加熱 さ れ、 加熱 さ れた部分はあ ら か じめ含有 して い る化学物質の作用で架橋 し、 硬化す る 。 所定のエネ ルギー と して 光 や近紫外線で な く 、 U V C や X線で架橋 し た り 、 分解 した り 、 添加 剤が活性化 して昇華 (含む、 液化後の気化) し た り 、 しな く な つ た り す る 物質を使用 す る 。 産 業 上 の 利 用 可 能 性 以上の説明で判 る よ う に、 本発明に よれば、 支持柱で仕切っ た複 数のス ト ラ イ プ状等のセル空間 に、 異な る 色の液晶を入れて カ ラ 一 化 した液晶パ ネル において、 液晶 に二色性 を生 じな い色素 を溶解さ せ る こ と で彩度の変化 を抑え て 、 フ ルカ ラ 一化を可能に す る 。 7) As a splicer material, it cures by baking at high temperatures when it is not exposed to ultraviolet light, and after curing it does not decompose even if exposed to ultraviolet light. Used a different material, but used a substance based on another principle. For example, there may be a problem with the price at the moment, but with the development of future technology, it is heated by infrared rays, and the heated part is already contained. Cross-links and cures under the action of chemicals. The prescribed energy is not light or near-ultraviolet light, but is cross-linked or decomposed by UVC or X-rays, the additive is activated, and sublimation (including vaporization after liquefaction) occurs. Use substances that are no longer needed. INDUSTRIAL APPLICABILITY As can be seen from the above description, according to the present invention, liquid crystals of different colors are provided in a plurality of strip-like cell spaces separated by support columns. In a liquid crystal panel that has been integrated into a liquid crystal, by dissolving a dye that does not produce dichroism in the liquid crystal, it is possible to suppress the change in chroma and achieve full colorization. .
こ の と き、 支持柱の上にのみ フ ォ ト レ ジ ス ト か ら な る 接着層 を 裏
面露光 に よ り 形成 して 、 微細セ ルのセ ル厚 を 正確 に制御 し、 かつ、 接着を確実に して セ ル間で の液晶の も れを 防げる 。 At this time, an adhesive layer consisting of a photo resist is placed only on the support columns. Formed by surface exposure, the cell thickness of fine cells can be accurately controlled, and adhesion can be ensured to prevent liquid crystal leakage between cells.
ま た、 仕切 り で 区切 っ た複数の微細なセ ル空間 に異な る 色の溶液 を充填す る と き 、 セ ル を形成す る 前 に異な る 色の色素等 を部材表面 に付着 さ せ、 各色素の共通溶媒を セ ル空間 に閉 じ こ めて か ら 、 色素 を共通溶媒に 溶解 さ せ る こ と に よ り 、 工程が容易に な る 。 特に、 力 ラ ー フ ィ ルタ 一で こ の方法を用 い る と、 表面の平滑性に優れ、 工程 が簡易 に な る 。 なお、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一で な く て も 微細な 区画構造 物であ れば、 そ して特に各区画内 に異な る 性質を有す る 物質が充た さ れて い る構造物な ら ば、 そ の種類 に よ ら ず工程が簡単 にな る 。 な お ま た、 かか る 物 と して は、 上述の体温計等の他に、 回折光学素子 も考え ら れる 。 Also, when filling a plurality of fine cell spaces separated by partitions with a solution of a different color, a different color dye or the like is attached to the surface of the member before the cell is formed. After the common solvent for each dye is confined in the cell space, the process is facilitated by dissolving the dye in the common solvent. In particular, when this method is used with a force filter, the surface is excellent in smoothness and the process is simplified. In addition, even if it is not a color filter, if it is a fine compartmental structure, the structure in which each compartment is filled with a substance having different properties, especially if it is a fine compartmental structure If it is a material, the process will be simple regardless of the type. In addition, as such an object, a diffractive optical element may be considered in addition to the above-mentioned thermometer and the like.
ま た、 樹脂 フ ィ ル ム に微小な穴や破れがあ る場合で も 、 破れがあ る 画素以外で は、 ゲス ト ホス ト 液晶が所定の層以外の層 に注入さ れ る こ と を 防 き 、 液晶層が積層 さ れた構造の液晶表示装置 において製 造の歩留 ま り を 向上 さ せる こ と がで き た。 Also, even if the resin film has minute holes or breaks, it is important to note that the guest-host liquid crystal is injected into layers other than the specified layer except for the broken pixels. As a result, it was possible to improve the production yield of a liquid crystal display device having a structure in which liquid crystal layers were stacked.
ま た、 樹脂 フ ィ ル ム で の電圧降下 を抑 え て 、 反射率や コ ン ト ラ ス ト 比な ど表示性能 を 向上さ せ る こ と がで き た 。 Also, by suppressing the voltage drop in the resin film, it was possible to improve the display performance such as the reflectivity and contrast ratio.
ま た、 製造 も 容易 と な る 。 In addition, manufacturing becomes easy.
ま た、 採用 す る 液晶の タ イ プに よ っ て は製品の耐衝撃性、 耐久性 も 向上す る 。 Also, depending on the type of liquid crystal used, the impact resistance and durability of the product can be improved.
ま た、 ビーズス ぺ一サ等が不必要 と な る た め、 その散布の工程 も 不必要 と な り 、 更 に そ の存在 に よ る 表示の不良、 画素内での移動等 に よ る他部への損傷 も な く な る 。 In addition, since a bead spacer is not required, a spraying step is not required, and furthermore, a display defect due to the presence of the bead, a movement in a pixel, etc. There is no damage to the parts.
ま た、 基板部 と 天蓋部 と の間 に挟ま れる ス ぺーサ材料が、 紫外光 の よ う な特定のエネ ルギー を与え ら れる こ と に よ っ て 気体に気化す
る 物質で あ り 、 天蓋部がそ の気体を透過す る 材料であ る た め、 紫外 光の照射のみで空隙を極めて 容易 に形成す る こ と がで き る 。 In addition, the spacer material sandwiched between the substrate and the canopy is vaporized by being given a specific energy such as ultraviolet light. Since the canopy is a material that allows the gas to pass through the canopy, it is possible to very easily form voids only by irradiation with ultraviolet light.
ま た、 多層の空隙は、 エ ッ ジ を揃 え て 一括 して形成さ れる た め、 生産性が向上す る だ けで な く 、 品質 も 向上す る 。 従っ て 、 本積層構 造膜が、 空隙内 に液晶な どを 充填す る 液晶表示素子の構成要素 と さ れる 場合は、 カ ラ 一表示の 画質な ど を 向上 さ せ る 。
In addition, since the multi-layered voids are formed collectively with the edges aligned, not only productivity is improved, but also quality is improved. Therefore, when the present laminated structure film is used as a constituent element of a liquid crystal display element that fills a space with a liquid crystal or the like, the image quality of a color display is improved.