WO2000008487A1 - Kapazitiver näherungsschalter zur auswertung kleiner kapazitätsänderungen und verfahren hierzu - Google Patents

Kapazitiver näherungsschalter zur auswertung kleiner kapazitätsänderungen und verfahren hierzu Download PDF

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WO2000008487A1
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Andreas Hildebrandt
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Pepperl & Fuchs Gmbh
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V3/00—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation
    • G01V3/08—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices
    • G01V3/088—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices operating with electric fields
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/945—Proximity switches
    • H03K17/955—Proximity switches using a capacitive detector

Definitions

  • Capacitive proximity switch for evaluating small changes in capacitance and procedure for this
  • the invention relates to a 'capacitive proximity switch with an electrical bridge circuit for detecting an approaching or moving away, electrically conductive surface, in particular a metal surface, which is part of a capacitor of the bridge circuit, for evaluating small changes in capacitance, the bridge branches of the bridge circuit appearing as there are further reactances at least one capacitor and possibly at least one resistor and the bridge is supplied with an alternating voltage as a bridge supply voltage, according to the preamble of claim 1 and a method for this according to claims 10 and 16.
  • Integrating circuits are also known for evaluating small changes in capacitance. These have the disadvantage that a floating capacity is usually necessary. In addition, such circuits generally require a digital evaluation unit (usually a counter), which means a great outlay on circuitry. Such concepts are therefore mainly used in microsystem technology.
  • the evaluation of the bridge diagonal voltage is often a problem according to the prior art, because - the amplitude of the AC voltage is very small due to the small change in capacitance, namely a few mV; the frequency of the AC voltage with which the bridge is operated, and thus also the frequency of the bridge diagonal voltage, is in the MHz range, so that the branch currents do not assume values that are too small given the small capacitance values; in many cases, the bridge diagonal voltage contains, in addition to the AC voltage component, a common mode component with a considerably larger amplitude than the AC component.
  • Capacitors as capacitive transducers within an AC measuring bridge, either in a bridge circuit with four capacitances or with two capacitances and two resistors, one capacitance being variable, are from the literature reference Heinz Schneider, capacitors as transducers, electronics application No. 14, 9. July 1985, known.
  • the invention has for its object to provide a capacitive proximity switch and a circuit arrangement and method that enables a safe evaluation of very small changes in capacitance, the circuit should have high immunity to interference and, due to the principle, high temperature stability. Furthermore, the proximity switch should be able to be implemented with comparatively little effort and thus inexpensively.
  • the proximity switch according to the invention consists of a flat multilayer board made of at least two electrically insulating layers, between which there is an electrically conductive intermediate layer as the first surface of a capacitor and a flat, electrically conductive layer applied as a probe on one of the two layers which forms the second surface of the capacitor, the electrically conductive surface being movably arranged relative to the probe and forming a second flat, changeable capacitor with it, and that the electrically conductive surface and probe are the one capacitance and the probe and the electrically conductive intermediate layer form the second capacitance of one of the two bridge halves and this structure represents one half of the bridge, and that to rectify the two bridge branch voltages, rectifiers are separated into the diagonal spa after the respective bridge half paths are arranged and the bridge diagonal voltage only after the rectification of the two bridge branches Voltages is evaluated as a DC voltage that changes according to the change in capacitance of the changeable capacitor.
  • the proximity switch and the method have the advantage that a reliable evaluation of very small changes in capacitance is possible, the circuit having high immunity to interference and temperature stability and being largely insensitive to coupled interference.
  • the proximity switch can also be implemented with comparatively little effort.
  • the advantages are in particular: - No AC voltage has to be evaluated, only a DC voltage.
  • a slow operational amplifier or comparator can be used to evaluate the bridge diagonal voltage.
  • the rectification of the bridge branch voltages can be done with diodes, which results in a very simple circuit with only a few components; So-called slow diodes can advantageously be used to suppress interference immunity. Or the rectification is carried out synchronously with controlled switches if particularly high interference suppression is required.
  • the rectifiers of the two branches have the same temperature behavior so that the rectified bridge diagonal voltage is independent of the temperature.
  • the circuit structure is symmetrical, since a disturbance which affects both bridge branches in the same way does not cause a differential voltage at the rectifier outputs.
  • the bridge branch voltages can be rectified either by diodes, preferably four, or by controlled switches, preferably four, wherein when switches are used, they are driven in opposite phases in pairs and are switched from one switching state to the other in synchronism with the bridge voltage.
  • injected interference can be effectively suppressed by switching a low-pass filter, TP filter, in front of the rectifier of the bridge branch voltages.
  • the capacitance of the TP filter can also be formed by parasitic capacitances of the rectifier elements, for example junction or diffusion capacitance of the PN junctions of rectifier diodes or the input capacitance of electronic switches, so that the capacitors can also be dispensed with.
  • the EMC behavior can also be improved by using relatively slow rectifying diodes. In this case, additional TP filtering may not be necessary.
  • the approaching or moving metal surface which is part of a capacitor of the capacitive proximity switch, can also be grounded.
  • the two bridge branch voltages are rectified separately in the diagonal voltage paths either by four diodes or by four controlled switches as rectifiers in the diagonal voltage paths, the bridge diagonal voltage only after the rectification of the Both bridge branch voltages are evaluated as DC voltage changing in accordance with the change in capacitance, and when switches are used, these are controlled in pairs in phase opposition synchronously with the bridge supply voltage and switched from one switching state to the other synchronously with the bridge voltage.
  • the frequency of the bridge supply voltage and thus also that of the changeover signal can be changed continuously.
  • the circuit or the proximity switch is expediently adjusted by changing the capacitance of one of the capacitors in one the bridge branches of the bridge. This can be done, for example, with the help of a so-called variable capacitor or a laser-immutable capacitor. It is advantageous to carry out the adjustment in such a way that the differential voltage at the switching point of the proximity switch is zero, since it is then sufficient to evaluate only the sign of the differential voltage.
  • the switchover point at which the sign of the differential voltage Ud changes from one state to the other only depends on the capacitance value of the variable capacitor, but not on the amplitude or frequency of the bridge voltage ubr or the magnitude of the forward voltage Uf of the rectifier diodes.
  • the zero point of the differential voltage can also be set by connecting two of the rectifying elements with their one connection not to the reference potential, for example ground, but rather to a reference voltage source, the value of which is so is set that the desired differential voltage Ud, namely usually zero, is set at the output. If the two reference voltages are derived from the bridge supply voltage ubr in such a way that there is a linear relationship between the respective reference voltage and the bridge supply voltage ubr, a change in the bridge supply voltage ubr does not affect the bridge diagonal voltage Ud - and thus the adjustment.
  • the method for evaluating small changes in capacitance is also independent of the use as a capacitive proximity switch, namely using an electrical bridge circuit for the detection of an approaching or moving away, electrically conductive surface, in particular metal surface, which is part of a capacitor of the bridge circuit, wherein in the bridge branches of the bridge circuit are at least one capacitor and possibly at least one resistor as further reactance resistors and the bridge is supplied with an alternating voltage as the bridge supply voltage, the two bridge branch voltages being separated after the respective bridge half either by four diodes or by four controlled switches as rectifiers in the Diagonal voltage paths are rectified and the bridge diagonal voltage only after the rectification of the two bridge branch voltages as corresponding to the change in capacitance t changing DC voltage is evaluated, whereby when using fertilizer switches are controlled in pairs in phase opposition synchronously with the bridge supply voltage and switched from one switching state to the other synchronously with the bridge voltage.
  • FIG. 1 shows a basic circuit diagram of a capacitive according to the invention
  • Bridge circuit with evaluation Figure 2 the basic circuit diagram of Figure 1 supplemented by a low-pass filter in front of the rectifiers Figure 3, a basic circuit diagram in which the rectifier diodes are replaced by switches Figure 4 a, b, c the replacement of two associated rectifier diodes by two associated rectifying switches or the replacement of two associated switches by one switch each
  • FIG. 5 shows a basic circuit diagram for setting the zero point of the bridge diagonal voltage by means of two reference voltage sources
  • FIG. 6 shows the use of diodes with the threshold voltage Uf as rectifying elements in FIG. 5
  • FIG. 7 shows a possibility for generating the reference voltage by rectifying the bridge supply voltage and two voltage dividers
  • FIG. 8 shows the circuit of FIG. 7 extended by N5, N6, R8, C10 and Uv to prove that the rectified voltage Ugl is independent of the forward voltage Uf of the rectifier diodes.
  • FIG. 9 shows another basic circuit diagram of a bridge circuit with one each
  • FIG. 10 shows a basic structure of a capacitive proximity switch with the formation of the capacitances of a bridge branch through different layers of a multilayer board in combination with its surroundings.
  • Bridge half means - in the figures - the left or right side or half of the bridge, with “bridge branch” the circuit part between two circuit nodes is designated, so that a bridge two “halves” and has four “branches” or “bridge branches”.
  • FIG. 1 shows a basic circuit diagram of a capacitive electrical bridge circuit according to the invention, as can be used to construct a capacitive proximity switch, consisting of a bridge with a capacitance C1, C2, C3 and C4 in each bridge branch; the capacitance C l can be changed.
  • the bridge is powered by the bridge supply voltage ubr, which is an AC voltage; the reference potential is ground GND.
  • the two bridge branch voltages ucl and uc3 from the two bridge halves are rectified separately after the respective bridge branch by means of diodes N2, Nl or N4, N3 in the diagonal voltage paths DSpl and DSp2 and smoothed to ground by means of capacitors C5, C6 and resistors Rl and R2 , after which the bridge diagonal voltage Ud is evaluated as a DC voltage which changes in accordance with the change in the capacitance Cl.
  • the bridge diagonal voltage of the diagonal voltage paths DSpl and DSp2 is only obtained as the differential voltage Ud after rectification of the two bridge branch voltages ucl and uc3, ie as rectified voltage Ud from udiff + - u ⁇ üff- according to FIG.
  • Figure 2 shows the basic circuit diagram of Figure 1 supplemented by a low-pass filter in each bridge branch in front of the rectifiers N2, Nl, N4, N3 for suppressing injected interference, formed by the resistors R3 and R4 arranged in the diagonal voltage paths DSpl and DSp2 for decoupling the two Bridge branch voltages ucl and uc3 as well as capacitors C7, C8.
  • the capacitances C7 and C8 of the low-pass filters R3-C8 and R4-C7 can also be formed by the parasitic capacitances of the elements of the rectifiers N1, N2, N3, N4.
  • FIG. 3 shows a further basic circuit diagram in which the rectifier diodes are replaced by electronic switches S2, S1 or S4, S3.
  • the two switches S2, S4 in the respective decoupling lines of the bridge branches are addressed and closed and opened by the control voltage Ust2, the two switches S1, S3 connected to ground by the control voltage Ustl.
  • the switches are controlled in pairs in opposite phases. Even when using switches and low-pass filters, the capacitances of the respective low-pass filters can be determined by the parasitic capacitances of the elements of the switches S1, S2; S3, S4 are formed.
  • FIG. 5 shows a basic circuit diagram for example for setting the zero point of the bridge diagonal voltage Ud by means of two reference voltage sources Urefl and Uref2.
  • two of the rectifying elements - diode or switch - are not connected with their one connection to ground, but rather to a reference voltage source Urefl, Uref2, the reference potential of which is GND.
  • the values of the reference voltage source Urefl, Uref2 are set so that the desired bridge diagonal voltage Ud is set at the output.
  • FIG. 6 shows the use of diodes as rectifying elements in FIG. 5, the diodes having the threshold voltage Uf. Then the following relationships arise:
  • the capacitive voltage dividers of the two bridge branches attenuate the signal by a factor of k and k ', respectively.
  • the peak-to-peak value of the bridge supply voltage is above that. If, on the other hand, the diodes are connected on the cathode side to a reference voltage other than zero, one obtains
  • the two reference voltages Urefl and Uref2 are derived from the bridge supply voltage ubr at node A, FIGS. 6 and 7, in such a way that there is a linear relationship between the amplitude of the bridge voltage and the respective reference voltage.
  • the differential voltage Ud becomes zero regardless of the amplitude of the bridge voltage.
  • a simple way of generating the reference voltage according to the above relationship is to rectify the bridge voltage ubr and to set it to the desired value with the aid of a voltage divider, which is just shown in FIG.
  • FIG. 8 shows a circuit in which the rectified voltage Ugl is also independent of the forward voltage Uf of the rectifier diodes. Due to the temperature dependence of the forward voltage Uf of the rectifier diodes, the rectified bridge voltage is also temperature dependent.
  • the rectified voltage is therefore independent of Uf.
  • the circuit according to the invention can also be constructed with a bridge which consists of two capacitors and two resistors Each bridge branch exists, which is shown in principle in FIG. 9.
  • a capacitive bridge circuit with a capacitance Cl and C2 and an ohmic resistor R9, RIO in each bridge branch.
  • the corresponding bridge branch voltage must be coupled out via a capacitor C11, otherwise the bridge corresponds to that described in FIG. 1.
  • FIG. 10 shows a basic structure of such a capacitive proximity switch, which represents one half of the bridge, with the formation of capacities of a bridge branch through different layers of a flat multilayer board 10 in combination with its surroundings.
  • the multilayer board 10 consists of at least two electrically insulating layers 13, 14, between which there is an electrically conductive intermediate layer 11, for example a metallic intermediate layer, as the first surface of a capacitor.
  • an electrically conductive intermediate layer 11 for example a metallic intermediate layer
  • the metal surface 15 can also be grounded by means of a line 17.
  • the metal surface 15 together with the probe 12 form the one capacitance of the one bridge half, the probe 12 and the metallic layer 11 form the second capacitance of the same bridge half; this structure represents half of the bridge.
  • Further electrical components 16 are applied to the side of the multilayer board 10 opposite the probe 12, and thus to the lower electrically insulating layer 14.
  • FIG. 10 results in a change in the bridge diagonal voltage Du of different sizes, depending on the side from which an electrically conductive surface, for example the metallic surface 15, approaches the multilayer board 10.
  • one side of the board can function as a probe, namely here the upper side with the electrically conductive probe 12, whereas the other side of the board, here the layer 14, opposite an approach to a conductive surface, for example the metallic surface 15, is insensitive even if it is grounded.
  • the capacitor surface, formed by the electrically conductive intermediate layer 11, can also be replaced by a discrete capacitor which is connected to the probe 12 with a connection. In this case, however, there is an almost equal change in the bridge diagonal voltage Ud, regardless of the side from which an electrically conductive surface approaches or moves away from the sensor 12.
  • An intermediate layer or shield, such as, for example, the electrically conductive intermediate layer 11, should therefore always be provided when the proximity switch is thinner in thickness than its area of influence.
  • the object of the invention is particularly suitable for use as a highly sensitive capacitive proximity switch.
  • the usefulness of the proximity switch according to the invention is in particular that it is highly sensitive on the one hand to the approach of a metallic object, but is practically insensitive to such an approach on the opposite side.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Näherungsschalter mit einer elektrischen Brückenschaltung zur Detektion einer sich nähernden oder entfernenden, elektrisch leitfähigen Fläche (15), welche Teil eines Kondensators (z.B. C1) der Brückenschaltung ist, wobei in den Brückenzweigen der Brückenschaltung sich als weitere Blindwiderstände wenigstens ein Kondensator (C1, C2, C3, C4) und gegebenenfalls wenigstens ein Widerstand (R9, R10) befindet und die Brücke mit einer Wechselspannung als Brückenspeisespannung (ubr) beaufschlagt ist. Der Näherungsschalter besteht aus einer flächigen Mehrlagenplatine (10) aus wenigstens zwei elektrisch isolierenden Schichten (13, 14), zwischen denen eine elektrisch leitfähige Zwischenlage (11) als erste Fläche eines Kondensators sich befindet; auf einer der beiden Schichten (13, 14) ist eine flächige, elektrisch leitfähige Auflage als Sonde (12) aufgebracht, die die zweite Fläche des Kondensators bildet. Die elektrisch leitfähige Fläche (15) ist relativ zur Sonde (12) beweglich und bildet mit dieser einen zweiten flächigen, veränderbaren Kondensator, so dass die elektrisch leitfähige Fläche (15) und die Sonde (12) die eine Kapazität und Sonde (12) und elektrisch leitfähige Zwischenlage (11) die zweite Kapazität einer der beiden Brückenhälften bilden und dieser Aufbau die eine Hälfte der Brücke repräsentiert. Zur Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen (uc1, uc3) getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte sind Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden (DSp1, DSp2) angeordnet, wobei die Brückendiagonalspannung (Ud) erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen (uc1, uc3) als entsprechend der Kapazitätsänderung des veränderbaren Kondensators sich ändernde Gleichspannung ausgewertet wird.

Description

Kapazitiver Näherungsschalter zur Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen und Verfahren hierzu
Technisches Gebiet: Die Erfindung betrifft einen' kapazitiven Näherungsschalter mit einer elektrischen Brückenschaltung zur Detektion einer sich nähernden oder entfernenden, elektrisch leitfähige Fläche, insbesondere Metallfläche, welche Teil eines Kondensators der Brückenschaltung ist, zur Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen, wobei in den Brückenzweigen der Brückenschaltung sich als weitere Blindwiderstände wenigstens ein Kondensator und gegebenenfalls wenigstens ein Widerstand befindet und die Brücke mit einer Wechselspannung als Brückenspeisespannung beaufschlagt ist, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie Verfahren hierzu gemäß der Ansprüche 10 und 16.
Stand der Technik:
Die Auswertung von kleinen bis sehr kleinen Kapazitätsänderungen ist eine immer wiederkehrende Aufgabe in der Sensortechnik. Insbesondere bei kapazitiven Näherungsschaltern müssen sehr kleine Kapazitätsänderungen, nämlich in einem Größenbereich < 10 fF, sicher ausgewertet werden, wobei hier vor allem der Störfestigkeit sowie der Temperaturstabilität der betreffenden Schaltung eine zentrale Bedeutung zukommt.
Zur Auswertung kleiner. Kapazitätsänderungen ist es bekannt, einen Oszillator einzusetzen, dessen Schwingungsamplitude sich in Abhängigkeit von der Sen- sorkapazität ändert. Die Größe der Schwingungsamplitude ist somit ein Maß für den Wert der Sensorkapazität. Eine derartige Schaltung besitzt den Nachteil, daß sie nicht prinzipbedingt temperaturstabil ist, weshalb bei einer derartigen Schaltung meist eine eventuell schwierig zu dimensionierende Temperaturkompensation notwendig ist. Des Weiteren ist die Oszillatorgüte gering, woraus eine breitbandige Schaltung mit schlechtem EMV- Verhalten resultiert.
Des Weiteren ist es zur Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen bekannt, einen Oszillator einzusetzen, dessen Frequenz sich in Abhängigkeit von der Sensorkapazität ändert. Damit ist ebenfalls der Nachteil verbunden, daß eine solche Schaltung nicht prinzipbedingt temperaturstabil ist, weshalb auch hier eine eventuell schwierig zu dimensionierende Temperaturkompensation nötig ist; auch eine solche Schaltung besitzt ein relativ schlechtes EMV- Verhalten.
BESTATIGUNGSKOPIE Des Weiteren ist zur Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen die sogenannte Switched-Capacitor-Technik bekannt, bei der ein kritisches Timing der Taktsignale nachteilig ist, weshalb ein äußerst stabiler Takt nötig ist, was je nach Verfahren eine aufwendige Schaltungstechnik erfordert.
Des Weiteren sind zur Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen auch integrierende Schaltungen bekannt. Diese haben den Nachteil, daß meist eine erdfreie Kapazität notwendig ist. Darüberhinaus benötigen derartige Schaltungen in der Regel eine digitale Auswerteeinheit (meist Zähler) was einen großen Schaltungstechnischen Aufwand bedeutet. Derartig Konzepte kommen daher vorwiegend in der Mikrosystemtechnik zur Anwendung.
Des Weiteren ist es bekannt, daß die Auswertung kleiner Änderungen einer elektrischen Größe vorteilhaft mit Brückenschaltungen realisiert werden kann. Hierbei wird die zu messende Größe mit Referenzen verglichen, wobei diese durch gleichartige Elemente erzeugt werden. Somit können Temperatureinflüsse wirkungsvoll unterdrückt werden, sofern beide Brückenzweige der Brücke jederzeit die gleiche Temperatur haben. Änderungen der betreffenden Größe stellen sich dann als Änderungen der Brückendiagonalspannung dar. Die Verwendung von Blindwiderständen als Brückenelemente bedingt, daß die Brücke mit Wechselspannung betrieben werden muß. Somit stellt auch die Brückendiagonalspannung eine Wechselspannung dar. Die Auswertung der Brückendiagonalspannung stellt dabei nach dem Stand der Technik oft ein Problem dar, da - die Amplitude der Wechselspannung aufgrund der geringen Kapazitätsänderung sehr klein ist, nämlich einige mV; die Frequenz der Wechselspannung, mit der die Brücke betrieben wird, und damit auch die Frequenz der Brückendiagonalspannung, im MHz- Bereich liegt, damit bei den gegebenen kleinen Kapazitätswerten die Zweigströme keine zu kleinen Werte annehmen; die Brückendiagonalspannung in vielen Fällen neben der Wechselspannungskomponente auch eine Gleichtaktkomponente mit erheblich größerer Amplitude als die Wechselkomponente enthält.
Derartige vorbekannte Lösungen sind zum Beispiel in den Druckschriften DE- C2-31 43 114, DE-Al-39 11 009, DE-Al-195 36 198, DE-Al-197 01 899, CH- 558 534 sowie der EP-A1-0 723 166 enthalten. Eine Schaltungsanordnung zum Eliminieren des Einflusses einer Phasenverschiebung zwischen den Spannungspotentialen der beiden Meßpunkte einer Wechselstrommeßbrücke mit komplexen Widerständen, wobei die Differenz der Spannungspotentiale das Meßsignal bildet. Zwischen den Meßpunkten und den Eingangseinschlüssen einer Schaltung zur Differenzbildung in jedem Spannungspfad ist ein Gleichrichterventil angeordnet, wobei jedem derselben ein zwischen seinem Ausgang und einem mit der Wechselstrommeßbrücke gemeinsamen Bezugspotential liegender Speicher nachgeschaltet ist.
Kondensatoren als kapazitive Meßwertaufnehmer innerhalb einer Wechselstrommeßbrücke, entweder in einer Brückenschaltung mit vier Kapazitäten oder mit zwei Kapazitäten und zwei Widerständen, wobei jeweils eine Kapazität veränderlich ist, sind aus der Literaturstelle Heinz Schneider, Kondensatoren als Meßwertaufnehmer, Elektronik-Applikation Nr. 14, 9. Juli 1985, bekannt.
Technische Aufgabe:
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiven Näherungsschalter sowie eine Schaltungsanordnung und Verfahren zu schaffen, der eine sichere Auswertung sehr kleiner Kapazitätsänderungen ermöglicht, wobei die Schaltung eine hohe Störfestigkeit sowie prinzipbedingt eine hohe Temperaturstabilität aufweisen soll. Des Weiteren soll der Näherungsschalter mit vergleichsweise geringem Aufwand und somit preiswert realisierbar sein.
Offenbarung der Erfindung und deren Vorteile: Der erfindungsgemäße Näherungsschalter besteht aus einer flächigen Mehrlagenplatine aus wenigstens zwei elektrisch isolierenden Schichten, zwischen denen eine elektrisch leitfähige Zwischenlage als erste Fläche eines Kondensators sich befindet und auf einer der beiden Schichten eine flächige, elektrisch leitfahige Auflage als Sonde aufgebracht ist, die die zweite Fläche des Kondensators bildet, wobei die elektrisch leitfähige Fläche relativ zu der Sonde beweglich angeordnet ist und mit dieser einen zweiten flächigen, veränderbaren Kondensator bildet, und daß elektrisch leitfahige Fläche und Sonde die eine Kapazität und Sonde und elektrisch leitfahige Zwischenlage die zweite Kapazität einer der beiden Brückenhälften bilden und dieser Aufbau die eine Hälfte der Brücke repräsentiert, und dass zur Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden angeordnet sind und die Brückendiagonalspannung erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweig- Spannungen als entsprechend der Kapazitätsänderung des veränderbaren Kondensators sich ändernde Gleichspannung ausgewertet wird.
Der Näherungsschalter und das Verfahren weisen den Vorteil auf, dass eine sichere Auswertung sehr kleiner Kapazitätsänderungen möglicht ist, wobei die Schaltung eine hohe Störfestigkeit und Temperaturstabilität aufweist und gegenüber eingekoppelten Störungen weitgehend unempfindlich ist. Ebenso ist der Näherungsschalter mit vergleichsweise geringem Aufwand realisierbar. Die Vorteile bestehen im Besonderen darin: - Es muß keine Wechselspannung ausgewertet werden, sondern nur eine Gleichspannung.
- Zur Auswertung der Brückendiagonalspannung kann ein langsamer Operationsverstärker bzw. Komparator verwendet werden.
- Die Gleichrichtung der Brückenzweigspannungen kann mit Dioden erfolgen, wodurch sich eine sehr einfache Schaltung mit nur wenigen Bauelementen ergibt; vorteilhaft können sog. langsame Dioden eingesetzt werden, um die Störfestigkeit zu unterdrücken. Oder die Gleichrichtung erfolgt synchron mit gesteuerten Schaltern, falls eine besonders hohe Störunterdrückung gefordert wird.
Wichtig ist, daß die Gleichrichter der beiden Zweige gleiches Temperaturverhalten aufweisen, damit die gleichgerichtete Brückendiagonalspannung unabhängig von der Temperatur ist. Für eine gute Störunterdrückung ist es vorteilhaft, wenn der Schaltungsaufbau symmetrisch erfolgt, da eine Störung, die in gleicher Weise auf beide Brückenzweige einwirkt, keine Differenzspannung an den Gleichrichterausgängen verursacht.
Die Gleichrichtung der Brückenzweigspannungen kann entweder durch Dioden, vorzugsweise vier, oder durch gesteuerte Schalter, vorzugsweise vier, erfolgen, wobei bei der Verwendung von Schaltern diese paarweise gegenphasig angesteuert werden und synchron mit der Brückenspannung von einem Schaltzustand in den anderen umgeschaltet werden.
Zusätzlich können eingekoppelte Störungen wirksam unterdrückt werden, indem vor die Gleichrichter der Brückenzweigspannungen je ein Tiefpaß-Filter, TP-Filter, geschaltet wird. Zu beachten ist, daß die Kapazität des TP-Filters auch durch parasitäre Kapazitäten der Gleichrichterelemente gebildet werden kann, zum Beispiel Sperrschicht- bzw. Diffusionskapazität der PN-Übergänge von Gleichrichterdioden oder der Eingangskapazität von elektronischen Schaltern, so daß auch auf die Kondensatoren verzichtet werden kann. Das EMV-Verhalten kann auch durch den Einsatz von relativ langsamen Gleichrichtdioden verbessert werden. In diesem Fall kann eventuell auf eine zusätzliche TP-Filterung verzichtet werden.
Anstelle von vier Dioden können auch vier Schalter mit paarweise gegen- phasiger Ansteuerung zur Gleichrichtung der Brückenzweigspannungen eingesetzt werden. Hierdurch ist es möglich, auch Wechselspannungen gleichzu- richten, deren Amplitude kleiner ist als die Schwellenspannung einer Gleichrichterdiode. Des weiteren werden Störspannungen besser unterdrückt, da nur solche Wechselspannungen vollständig gleichgerichtet werden, die mit dem Umschaltsignal der Schalter synchronisiert sind. Um die Wahrscheinlichkeit zu verringern, daß ein Störsignal die gleiche Frequenz aufweist wie das Um- schaltsignal der Schalter, ist es empfehlenswert, die Frequenz der Brückenspannung - und damit auch die des Umschaltsignals - laufend zu ändern.
Anstelle von vier einzelnen gesteuerten Schaltern mit paarweise gegenphasiger Ansteuerung können auch zwei Umschalter eingesetzt werden.
Die sich nähernde oder entfernende Metallfläche, welche Teil eines Kondensators des kapazitiver Näherungsschalters ist, kann auch geerdet sein.
Beim Verfahren zur Auswertung kleiner Änderungen einer Kapazität unter Verwendung eines kapazitiven Näherungsschalters werden die beiden Brük- kenzweigspannungen getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte entweder durch vier Dioden oder durch vier gesteuerte Schalter als Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden gleichgerichtet, wobei die Brückendiagonalspannung erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen als sich entsprechend der Änderung der Kapazität ändernde Gleichspannung ausgewertet wird, und bei der Verwendung von Schaltern diese synchron mit der Brückenspeisespannung paarweise gegenphasig angesteuert und synchron mit der Brückenspannung von einem Schaltzustand in den anderen umgeschaltet werden. Die Frequenz der Brückenspeisespannung und damit auch die des Umschaltsignals kann laufend geändert werden.
Ein Abgleich der Schaltung bzw. des Näherungsschalters geschieht zweckmäs- sigerweise durch Veränderung der Kapazität eines der Kondensatoren in einem der Brückenzweige der Brücke. Dies kann z.B. mit Hilfe eines sog. Drehkondensators oder eines lasertr immbaren Kondensators erfolgen. Es ist vorteilhaft, den Abgleich derart vorzunehmen, daß im Schaltpunkt des Näherungsschalters die Differenzspannung gleich Null ist, da es dann ausreicht, lediglich das Vorzeichen der Differenzspannung auszuwerten. Wird nur das Vorzeichen der Differenzspannung Ud ausgewertet, so ergibt sich ein Ausgangssignal mit zwei unterschiedlichen Zuständen, wobei der Umschaltpunkt, bei dem das Vorzeichen der Differenzspannung Ud von einem Zustand in den anderen wechselt, nur von dem Kapazitätswert des veränderlichen Kondensators abhängt, nicht jedoch von der Amplitude oder der Frequenz der Brückenspannung ubr oder der Größe der Flußspannung Uf der Gleichrichterdioden.
Soll auf einen Abgleich mit Hilfe eines veränderbaren Kondensators verzichtet werden, kann der Nullpunkt der Differenzspannung auch dadurch eingestellt werden, daß zwei der Gleichrichtelemente mit ihrem einen Anschluß nicht am Referenzpotential, zum Beispiel Masse, angeschlossen werden, sondern jeweils an eine Referenzspannungsquelle, deren Wert so eingestellt wird, daß sich am Ausgang die gewünschte Differenzspannung Ud, nämlich meist Null, einstellt. Werden die beiden Referenzspannungen derart von der Brückenversorgungs- Spannung ubr abgeleitet, dass zwischen der jeweiligen Referenzspannung und der Brückenversorgungsspannung ubr ein linearer Zusammenhang besteht, so wirkt sich eine Änderung der Brückenversorgungsspannung ubr nicht auf die Brückendiagonalspannung Ud - und damit auf den Abgleich - aus.
Das Verfahren zur Auswertung kleiner Änderungen einer Kapazität ist auch unabhängig von der Verwendung als kapazitiver Näherungsschalter, und zwar unter Verwendung einer elektrischen Brückenschaltung zur Detektion einer sich nähernden oder entfernenden, elektrisch leitfähige Fläche, insbesondere Metallfläche, welche Teil eines Kondensators der Brückenschaltung ist, wobei in den Brückenzweigen der Brückenschaltung sich als weitere Blindwiderstände wenigstens ein Kondensator und gegebenenfalls wenigstens ein Widerstand befindet und die Brücke mit einer Wechselspannung als Brückenspeisespannung beaufschlagt ist, wobei die beiden Brückenzweigspannungen getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte entweder durch vier Dioden oder durch vier gesteuerte Schalter als Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden gleichgerichtet werden und die Brückendiagonalspannung erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen als sich entsprechend der Änderung der Kapazität ändernde Gleichspannung ausgewertet wird, wobei bei der Verwen- düng von Schaltern diese synchron mit der Brückenspeisespannung paarweise gegenphasig angesteuert und synchron mit der Brückenspannung von einem Schaltzustand in den anderen umgeschaltet werden.
Kurzbeschreibung der Zeichnung, in der zeigen:
Figur 1 ein Prinzipschaltbild einer erfϊndungsgemäßen kapazitiven
Brückenschaltung mit Auswertung Figur 2 das Prinzipschaltbild der Figur 1 ergänzt um je einen Tiefpaß vor den Gleichrichtern Figur 3 ein Prinzipschaltbild, in welchem die Gleichrichterdioden durch Schalter ersetzt sind Figur 4 a, b, c das Ersetzen von zwei zusammengehörenden Gleichrichterdioden durch zwei zusammengehörende gleichrichtende Schalter bzw. das Ersetzen von zwei zusammengehörenden Schaltern durch jeweils einen Umschalter
Figur 5 ein Prinzipschaltbild zum Einstellen des Nullpunktes der Brückendiagonalspannung mittels zweier Referenzspannungsquellen Figur 6 der Einsatz von Dioden mit der Schwellenspannung Uf als Gleichrichtelemente in Figur 5 Figur 7 eine Möglichkeit zum Erzeugen der Referenzspannung durch Gleichrichtung der Brückenspeisespannung und zweier Spannungsteiler Figur 8 die Schaltung der Figur 7 erweitert um N5, N6, R8, C10 und Uv zum Nachweis dafür, dass die gleichgerichtete Spannung Ugl von der Flußspannung Uf der Gleichrichterdioden unabhängig ist Figur 9 ein weiteres Prinzipschaltbild einer Brückenschaltung mit je einer
Kapazität in der einen Brückenhälfte und je einem ohmschen Widerstand in der anderen Brückenhälfte und Figur 10 einen prinzipiellen Aufbau eines kapazitiven Näherungsschalters mit der Bildung der Kapazitäten eines Brückenzweiges durch verschiedene Lagen einer Mehrlagenplatine in Kombination mit ihrer Umgebung.
In den Figuren sind gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen. Zur Klarstellung werden die folgenden Begriffe verwendet: "Brückenhälfte" bedeutet - in den Figuren zeichnerisch - die linke bzw. rechte Seite bzw. Hälfte der Brücke, mit "Brückenzweig" ist der Schaltungsteil zwischen zwei Schaltungsknoten bezeichnet, so dass eine Brücke zwei "Hälften" und vier "Zweige" bzw. "Brückenzweige" besitzt. Wege zur Ausführung der Erfindung:
Die Figur 1 zeigt ein Prinzipschaltbild einer erfindungsgemäßen kapazitiven elektrischen Brückenschaltung, wie sie zum Aufbau eines kapazitiven Näherungsschalters verwendet werden kann, bestehend aus einer Brücke mit je einer Kapazität Cl, C2, C3 und C4 in jedem Brückenzweig; die Kapazität C l ist veränderbar. Die Brücke wird gespeist durch die Brückenspeisespannung ubr, welche eine Wechselspannung ist; das Bezugspotential ist Masse GND.
Die beiden Brückenzweigspannungen ucl und uc3 aus den beiden Brücken- hälften werden getrennt nach dem jeweiligen Brückenzweig mittels Dioden N2, Nl bzw. N4, N3 in den Diagonalspannungspfaden DSpl und DSp2 gleichgerichtet und mittels Kondensatoren C5, C6 sowie Widerständen Rl und R2 jeweils gegen Masse geglättet, wonach die Brückendiagonalspannung Ud als sich entsprechend der Änderung der Kapazität Cl ändernde Gleichspannung ausgewertet wird. Somit wird die Brückendiagonalspannung der Diagonal- spannungspfade DSpl und DSp2 erst nach Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen ucl und uc3 als Differenzspannung Ud gewonnen, d.i. nach Figur 1 als gleichgerichtete Spannung Ud aus udiff+- u<üff-.
Figur 2 zeigt das Prinzipschaltbild der Figur 1 ergänzt um je ein Tiefpaßfilter in jedem Brückenzweig vor den Gleichrichtern N2, Nl, N4, N3 zur Unterdrückung von eingekoppelten Störungen, gebildet durch die in den Diagonalspannungspfaden DSpl und DSp2 angeordneten Widerstände R3 und R4 zum Auskoppeln der beiden Brückenzweigspannungen ucl und uc3 sowie die Kondensatoren C7, C8. Die Kapazitäten C7 und C8 der Tiefpaß-Filter R3-C8 sowie R4-C7 können auch durch die parasitären Kapazitäten der Elemente der Gleichrichter N1,N2,N3,N4, gebildet werden.
Figur 3 zeigt ein weiteres Prinzipschaltbild, in welchem die Gleichrichterdioden durch elektronische Schalter S2, Sl bzw. S4, S3 ersetzt sind. Die beiden Schalter S2, S4 in den jeweiligen Auskopplungsleitungen der Brückenzweige werden durch die Steuerspannung Ust2, die beiden gegen Masse gelegten Schalter Sl, S3 durch die Steuerspannung Ustl angesprochen und geschlossen sowie geöffnet. Die Schalter werden paarweise gegenphasig angesteuert. Auch bei der Verwendung von Schaltern und Tiefpässen können die Kapazitäten der jeweiligen Tiefpaß-Filter durch die parasitären Kapazitäten der Elemente der Schalter Sl, S2; S3, S4 gebildet werden. Figur 5 zeigt ein Prinzipschaltbild zum beispielsweise Einstellen des Nullpunktes der Brückendiagonalspannung Ud mittels zweier Referenzspannungsquellen Urefl und Uref2. Zum Einstellen des Nullpunktes der Brückendiagonalspannung Ud sind zwei der Gleichrichtelemente - Diode oder Schalter - mit ihrem einen Anschluß nicht auf Masse, sondern jeweils an eine Referenzspannungsquelle Urefl, Uref2 angeschlossen, deren Bezugspotential Masse GND ist. Die Werte der Referenzspannungsquelle Urefl, Uref2 werden so eingestellt, daß sich am Ausgang die gewünschte Brückendiagonalspannung Ud einstellt.
Figur 6 zeigt den Einsatz von Dioden als Gleichrichtelemente in Figur 5, wobei die Dioden die Schwellenspannung Uf aufweisen. Dann ergeben sich die folgenden Zusammenhänge:
Ud = UI - U2
Die kapazitiven Spannungsteiler der beiden Brückenzweige schwächen das Signal ubr um den Faktor k bzw. k' ab. Sind die Kathoden zweier Gleichrichterdioden am Referenzpotential, Masse, angeschlossen, d.h. wenn Uref 1 = Uref 2 = 0 ist, erhält man nach dem Gleichrichten die Spannungen
Ul = k ubr - 2Uf bzw. U2 = k'uBr - 2 Uf
Dabei ist ubr der Spitze-Spitze-Wert der Brückenspeisespannung. Werden hingegen die Dioden kathodenseitig jeweils an eine von Null verschiedene Referenzspannung angeschlossen erhält man
UI = k ubr - 2Uf + Urefl bzw. U2 = k' ubr - 2Uf + Uref2
Man erhält dann für die Differenzspannung Ud:
Ud = UI - U2 = k ubr - 2Uf + Urefl - k' ubr + 2Uf - Uref2 = ubr (k - k') + Urefl - Uref2
Daraus ist erkennbar, daß für k' = k und Uref2 = Urefl die Spannung Ud zu Null wird und zwar unabhängig von der Größe der Brückenspeisespannung ubr. Sind k und k' jedoch betragsmäßig verschieden, ergibt sich eine von Null verschiedene Differenzspannung Ud. Durch geeignete Wahl von Urefl bzw. Uref2 kann die Differenzspannung Ud zwar zu Null gemacht werden. Ein Nachteil besteht jedoch noch darin, daß der beschriebene Nullabgleich von der Brückenspannung ubr abhängt. In diesem Fall wäre es daher nötig, die Amplitude der Spannung ubr stabil zu halten. Dies ist insbesondere im Hinblick auf Temperaturänderungen in der Regel nur mit erheblichem Aufwand möglich. Zur Herstellung des vorbeschriebenen Nullabgleichs unabhängig von der Brückenspannung ubr zeigen deshalb die Figuren 7 und 8 Weiterbildungen von Schaltungen zum Erzeugen der Referenzspannung durch Gleichrichtung der Brückenspeisespannung und zweier Spannungsteiler. Hierzu werden die beiden Referenzspannungen Urefl und Uref2 von der Brückenspeisespannung ubr am Schaltungspunkt A, Figuren 6 und 7, abgeleitet und zwar in der Form, daß zwischen der Amplitude der Brückenspannung und der jeweiligen Referenzspannung ein linearer Zusammenhang besteht. Für die beiden Referenzspannungen gilt dann: Urefl = p ubr bzw. Uref2 = p' ubr
Für die Differenzspannung Ud ergibt sich dann:
Ud = ubr (k' - k) + p' ubr - p ubr = ubr (k1 - k + p' - p)
Werden p' und p so gewählt, so daß gilt: k' - k = p - p'
so wird die Differenzspannung Ud unabhängig von der Amplitude der Brückenspannung ubr zu Null. Eine einfache Möglichkeit zum Erzeugen der Referenzspannung gemäß der vorstehenden Beziehung besteht darin, die Brückenspannung ubr gleichzurichten und mit Hilfe je eines Spannungsteilers auf den gewünschten Wert einzustellen, was eben in Figur 7 gezeigt ist.
Figur 8 zeigt eine Schaltung, in der die gleichgerichtete Spannung Ugl auch von der Flußspannung Uf der Gleichrichterdioden unabhängig ist. Aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Flußspannung Uf der Gleichrichterdioden ist die gleichgerichtete Brückenspannung ebenfalls temperaturabhängig.
Für die gleichgerichtete Spannung Ugl gilt: Ugl = ubr - 2Uf
Schließt man die Kathode der Gleichrichterdiode nicht am Referenzpotential, nämlich Masse, sondern an ein Potential der Höhe 2Uf an, so vereinfacht sich die Gleichung zu: Ugl = ubr
Die gleichgerichtete Spannung ist somit unabhängig von Uf.
Grundsätzlich kann die erfindungsgemäße Schaltung auch mit einer Brücke aufgebaut werden, welche aus zwei Kapazitäten und zwei Widerständen in jedem Brückenzweig besteht, was prinzipiell in Figur 9 gezeigt ist. Dort ist eine kapazitive Brückenschaltung mit je einer Kapazität Cl und C2 sowie je einem ohmschen Widerstand R9, RIO in jedem Brückenzweig dargestellt. In der mit den Widerständen R9, RIO aufgebauten Brückenhälfte muß die entsprechende Brückenzweigspannung über einen Kondensator Cll ausgekoppelt werden, ansonsten entspricht die Brücke der vorbeschriebenen Figur 1.
Die beschriebene Schaltungsandordnung ist in besonderer Weise zum Aufbau des kapazitiven Näherungsschalters geeignet zur Detektion einer sich nähernden oder entfernenden elektrisch leitenden Fläche 15, zum Beispiel eine Metallfläche. Figur 10 zeigt einen prinzipiellen Aufbau eines derartigen kapazitiven Näherungsschalters, welcher eine Hälfte der Brücke repräsentiert, mit der Bildung von Kapazitäten eines Brückenzweiges durch verschiedene Lagen einer flächigen Mehrlagenplatine 10 in Kombination mit ihrer Umgebung.
Die Mehrlagenplatine 10 besteht aus wenigstens zwei elektrisch isolierenden Schichten 13, 14, zwischen denen eine elektrisch leitfähige Zwischenlage 11, zum Beispiel eine metallische Zwischenlage, als erste Fläche eines Kondensators sich befindet. Auf einer der beiden Schichten 13 bzw. 14, nämlich hier auf der oberen Schicht 13, ist eine flächige, ebenfalls elektrisch leitfähige Auflage als Sonde 12 aufgebracht, die die zweite Fläche des Kondensators bildet, wobei die Metallfläche 15 relativ zur Sonde 12 beweglich angeordnet ist und mit dieser einen zweiten flächigen, veränderbaren Kondensator mit zum Beispiel Luft als Dielektrikum bildet. Die Metallfläche 15 kann mittels einer Leitung 17 auch geerdet sein. Die Metallfläche 15 zusammen mit der Sonde 12 bilden die eine Kapazität der einen Brückenhälfte, die Sonde 12 und die metallische Schicht 11 bilden die zweite Kapazität derselben Brückenhälfte; dieser Aufbau repräsentiert die eine Hälfte der Brücke. Auf der der Sonde 12 entgegengesetzten Seite der Mehrlagenplatine 10, somit auf der unteren elektrisch isolierenden Schicht 14, sind weitere elektrische Bauelemente 16 aufgebracht.
Durch den in Figur 10 dargestellten Aufbau ergibt sich eine unterschiedlich große Änderung der Brückendiagonalspannung Du, je nachdem, von welcher Seite sich eine elektrisch leitende Fläche, zum Beispiel die metallische Fläche 15, an die Mehrlagenplatine 10 annähert. Somit kann eine Platinenseite als Sonde fungieren, nämlich hier die obere Seite mit der elektrisch leitfähigen Sonde 12, wohingegen die andere Platinenseite, hier die Schicht 14, gegenüber einer Annäherung einer leitenden Fläche, zum Beispiel die metallische Fläche 15, unempfindlich ist, selbst dann, wenn diese geerdet ist.
Die Kondensatorfläche, gebildet durch die elektrisch leitfähige Zwischenlage 11, kann auch durch einen diskreten Kondensator ersetzt sein, welcher mit einem Anschluß an die Sonde 12 angeschlossen ist. In diesem Fall ergibt sich jedoch eine nahezu gleich große Änderung der Brückendiagonalspannung Ud, egal von welcher Seite sich eine elektrisch leitfahige Fläche dem Sensor 12 annähert oder entfernt. Eine Zwischenlage oder Abschirmung, wie zum Beispiel die elek- trisch leitfahige Zwischenlage 11, sollte daher immer dann vorgesehen werden, wenn der Näherungsschalter in seinem Dickenaufbau dünner als sein Beeinflussungsbereich ist.
Es ist damit auf einfache und kostengünstige Weise möglich, kapazitive Näherungsschalter in flacher Bauform zu fertigen, die auch auf ein geerdetes Metallteil montiert werden können.
Gewerbliche Anwendbarkeit:
Der Gegenstand der Erfindung ist insbesondere zum Einsatz als hochemp- findlicher kapazitiver Näherungsschalter geeignet. Die Nützlichkeit des erfindungsgemäßen Näherungsschalters liegt insbesondere darin, dass derselbe auf der einen Seite gegen die Annäherung eines metallischen Gegenstandes hochempfindlich, jedoch auf der gegenüberliegenden Seite gegen eine solche Annäherung praktisch unempfindlich ist.

Claims

Patentansprüche :
1. Kapazitiver Näherungsschalter mit einer elektrischen Brückenschaltung zur Detektion einer sich nähernden oder entfernenden, elektrisch leitfahige Fläche (15), insbesondere Metallfläche (15), welche Teil eines Kondensators (z.B. Cl) der Brückenschaltung ist, zur Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen, wobei in den Brückenzweigen der Brückenschaltung sich als weitere Blindwiderstände wenigstens ein Kondensator (Cl, C2, C3, C4) und gegebenenfalls wenigstens ein Widerstand (R9, RIO) befindet und die Brücke mit einer Wechselspannung als Brückenspeisespannung (ubr) beaufschlagt ist, dadurch gekennzeichnet, daß derselbe aus einer flächigen Mehrlagenplatine (10) aus wenigstens zwei elektrisch isolierenden Schichten (13, 14) besteht, zwischen denen eine elektrisch leitfähige Zwischenlage (11) als erste Fläche eines Kondensators sich befindet und auf einer der beiden Schichten (13, 14) eine flächige, elektrisch leitfahige Auflage als Sonde (12) aufgebracht ist, die die zweite Fläche des Kondensators bildet, wobei die elektrisch leitfähige Fläche (15) relativ zu der Sonde (12) beweglich angeordnet ist und mit dieser einen zweiten flächigen, veränderbaren Kondensator bildet, und daß elektrisch leitfahige Fläche (15) und Sonde (12) die eine Kapazität und Sonde (12) und elektrisch leitfähige Zwischenlage (11) die zweite Kapazität einer der beiden Brückenhälften bilden und dieser Aufbau die eine Hälfte der Brücke repräsentiert, und dass zur Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden (DSpl, DSρ2) angeordnet sind und die Brückendiagonalspannung (Ud) erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) als entsprechend der Kapazitätsänderung des veränderbaren Kondensators sich ändernde Gleichspannung ausgewertet wird.
2. Näherungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte entweder durch Dioden (Nl, N2, N3, N4) oder durch gesteuerte Schalter (Sl, S2, S3, S4), vorzugsweise jeweils vier, als Gleichrichter gleichgerichtet werden, wobei bei der Verwendung von Schaltern (Sl, S2, S3, S4) diese synchron mit der Brückenspeisespannung (ubr) paarweise gegenphasig angesteuert und synchron mit der Brückenspannung von einem Schaltzustand in den anderen umgeschaltet werden.
3. Näherungsschalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterdrückung von eingekoppelten Störungen vor die Gleichrichter (Nl, N2, N3, N4, bzw. Sl, S2, S3, S4) der Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) je ein Tiefpaß-Filter (R3, C8 und R4, C7) geschaltet ist.
4. Näherungsschalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitäten der Tiefpaß-Filter (C8. bzw. C7) durch die parasitären Kapazitäten der Gleichrichter-Elemente (Nl, N2, N3, N4 bzw. Sl, S2, S3, S4) gebildet sind.
5. Näherungsschalter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Schalter zur Gleichrichtung der Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) zwei Umschalter (Wl, W2) eingesetzt sind.
6. Näherungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der der Sonde (12) entgegengesetzten Seite der Mehrlagenplatine (10), auf der unteren elektrisch isolierenden Schicht (13, 14), weitere elektrische Bauelemente (16) aufgebracht sind.
7. Näherungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die elektrisch leitfahige Zwischenlage (11) gebildete Kondensatorfläche durch einen diskreten Kondensator ersetzt ist, welcher mit einem Anschluß an die Sonde (12) angeschlossen ist.
8. Näherungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die eine Hälfte der Brücke aus je einem Kondensator (Cl, C2) und die andere Hälfte der Brücke aus je einem Widerstand (R9, RIO) besteht.
9. Näherungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verbesserung der Störfestigkeit die Dioden (N1,N2,N3,N4) langsame Dioden sind.
10. Verfahren zur Auswertung kleiner Änderungen einer Kapazität unter Verwendung eines kapazitiven Näherungsschalters gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte entweder durch vier Dioden (Nl, N2, N3, N4) oder durch vier gesteuerte Schalter (Sl, S2, S3, S4) als Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden (DSpl, DSp2) gleichgerichtet werden und die Brückendiagonalspannung (Ud) erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) als sich entsprechend der Änderung der Kapazität ändernde Gleichspannung ausgewertet wird, wobei bei der Verwendung von Schaltern diese synchron mit der Brückenspeisespannung (ubr) paarweise gegenphasig angesteuert und synchron mit der Brückenspannung von einem Schaltzustand in den anderen umgeschaltet werden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenz der Brückenspeisespannung (ubr) und damit auch die des Umschaltsignals laufend geändert wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zum Abgleichen der Brücke und Einstellen des Nullpunktes der Brückendiagonalspannung (Ud) einer der Kondensatoren (C2,C3,C4) in einem der Brückenzweige im Schaltpunkt des Näherungsschalters so verändert wird, dass im Schaltpunkt des Näherungsschalters die Brückendiagonalspannung (Ud) gleich Null ist und lediglich das Vorzeichen der Brückendiagonalspannung (Ud) ausgewertet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zum Einstellen des Nullpunktes der Brückendiagonalspannung (Ud) zwei der Gleichrichtelemente (Nl, N2, N3, N4, bzw. Sl, S2, S3, S4) mit ihrem einen Anschluß jeweils an eine Referenzspannungsquelle (Urefl, Uref2) angeschlossen werden, deren jeweiliger Wert so eingestellt wird, daß sich am Ausgang die gewünschte Brückendiagonalspannung (Ud) von Null Volt (0V) einstellt.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass zum Abgleichen der Brücke die beiden Referenzspannungen (Urefl, Uref2) aus der Brückenspeisespannung (ubr) derart abgeleitet werden, dass zwischen der Amplitude der Brückenspeisespannung (ubr) und der jeweiligen Referenzspannung (Urefl, Uref2) ein linearer Zusammenhang besteht.
15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass zum Erzeugen der Referenzspannungen (Urefl, Uref2) die Brückenspeise- Spannung (ubr) gleichgerichtet und mit Hilfe je eines Spannungsteilers auf die gewünschten Werte eingestellt wird.
16. Verfahren zur Auswertung kleiner Änderungen einer Kapazität unter Verwendung einer elektrischen Brückenschaltung zur Detektion einer sich nähernden oder entfernenden, elektrisch leitfähige Fläche (15), insbesondere Metallfläche (15), welche Teil eines Kondensators (z.B. Cl) der Brücken- Schaltung ist, wobei in den Brückenzweigen der Brückenschaltung sich als weitere Blindwiderstände wenigstens ein Kondensator (Cl, C2, C3, C4) und gegebenenfalls wenigstens ein Widerstand (R9, RIO) befindet und die Brücke mit einer Wechselspannung als Brückenspeisespannung (ubr) beaufschlagt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) getrennt nach der jeweiligen Brückenhälfte entweder durch vier Dioden (Nl, N2, N3, N4) oder durch vier gesteuerte Schalter (Sl, S2, S3, S4) als Gleichrichter in den Diagonal-Spannungspfaden (DSpl, DSp2) gleichgerichtet werden und die Brückendiagonalspannung (Ud) erst nach der Gleichrichtung der beiden Brückenzweigspannungen (ucl, uc3) als sich entsprechend der Änderung der Kapazität ändernde Gleichspannung ausgewertet wird, wobei bei der Verwendung von Schaltern diese synchron mit der Brückenspeisespannung (ubr) paarweise gegenphasig angesteuert und synchron mit der Brückenspannung von einem Schaltzustand in den anderen umgeschaltet werden.
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