WO1999016124A3 - Verfahren zur erzeugung von isolationsgräben in einem substrat - Google Patents

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Abstract

Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Erzeugung von Isolationen in einem Substrat bereitgestellt, das die folgenden Schritte umfaßt: a) auf das Substrat wird eine erste Maske aufgebracht; b) unter Verwendung der ersten Make werden in dem Substrat Gräben erzeugt und nachfolgend wird die erste Maske entfernt; c) die Gräben werden durch ein plasma-unterstütztes Abscheideverfahren aufgefüllt, wobei das Substrat gegenüber dem Plasma auf einem tieferen Potential gehalten wird; d) eine zweite Maske wird aufgebracht, welche im wesentlichen dadurch erhältlich ist, daß in der zweiten Maske an den Stellen Öffnungen vorgesehen sind, an denen die Breite der Öffnungen in der zu der ersten Maske inversen Maske einen vorgebenen Wert übersteigen; e) unter Verwendung der zweiten Maske wird eine Rückätzung durchgeführt und nachfolgend die zweite Maske entfernt, und f) die daraus resultierende Oberfläche wird zur Planarisierung poliert.
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