WO1998019347A3 - Piezoelektrischer oder elektrostriktiver trägheitsantrieb zum verschieben oder positionieren von insbesondere schweren objekten - Google Patents

Piezoelektrischer oder elektrostriktiver trägheitsantrieb zum verschieben oder positionieren von insbesondere schweren objekten Download PDF

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Abstract

Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gemacht, Trägheitsantriebe zum Verschieben und Positionieren mit linear dehnenden piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktuatoren zu verbessern, sodass schwere Objekte, die mit hoher Haftreibung bis nahe an die Blockierkraft der Aktuatoren spielfrei eingeklemmt sind, über Verschiebelängen im cm-Bereich mit relativ grosser Verschiebegeschwindigkeit sehr gleichmässig und hysteresefrei bewegt und im nm-Bereich positioniert werden können. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das Objekt in Dehnungs- bzw. Krontraktionsrichtung des Aktuators mit diesem oder der Klemmeinrichtung, in der ein am Aktuator befestigtes nadelförmiges Kraftübertragungelement gelagert ist, fest verbunden ist. Die Trägheit der Objektmasse wirkt bei stossartiger Längenänderung des Aktuators durch geeignete elektrische Ansteuerung nicht der Verschiebung entgegen, was zu den oben erwähnten Vorteilen führt. Die Möglichkeit, schwere Objekte im cm-Bereich mit hoher Positioniergenauigkeit zu verschieben, eröffnet neue Anwendungsbereiche für piezoelektrische oder elektrostriktive Verschiebevorrichtungen.
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