WO1996032742A1 - Facility for treating flat articles with a plasma stream - Google Patents
Facility for treating flat articles with a plasma stream Download PDFInfo
- Publication number
- WO1996032742A1 WO1996032742A1 PCT/RU1995/000064 RU9500064W WO9632742A1 WO 1996032742 A1 WO1996032742 A1 WO 1996032742A1 RU 9500064 W RU9500064 W RU 9500064W WO 9632742 A1 WO9632742 A1 WO 9632742A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- plasma
- corner
- generator
- πlasτin
- owner
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K5/00—Irradiation devices
- G21K5/10—Irradiation devices with provision for relative movement of beam source and object to be irradiated
Definitions
- Theme of management by the delivery of the owners of the plastics.
- the owners of the plaques are secured on the wheels, which are strictly connected with the vertical shaft of the output.
- the plasma generator is mounted with a separate indoor and outdoor unit, and its plasma is sprayed
- the cost-effectiveness of the device is the low energy efficiency.
- ⁇ ⁇ P ⁇ - - 2 - First of all, at the same time the energy of the plasma is consumed by the user, in general, by the way, there is a greater incidence of the incidence of the disease.
- ⁇ nee ⁇ e ⁇ ivn ⁇ s ⁇ i is ⁇ lz ⁇ vaniya e ⁇ e ⁇ gii sledue ⁇ ⁇ a ⁇ zhe ⁇ ne- 5 s ⁇ i ⁇ , ch ⁇ ⁇ i ⁇ azhd ⁇ m edinichn ⁇ m v ⁇ zdeys ⁇ vii ⁇ lazmy snechala Part ene ⁇ gii ⁇ a ⁇ i ⁇ sya on ⁇ edva ⁇ i ⁇ elny nag ⁇ ev ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ las ⁇ iny d ⁇ ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y, ⁇ i ⁇ y na.chinayu ⁇ sya ⁇ ebue- mye ⁇ izi ⁇ - ⁇ imiches ⁇ i
- Improving the capture of the manipulator with the possibility of turning 15 ° by 180 ° means that it is not only expensive, but it also allows for two-way treatment.
- the replenishment of the owner of the channel for the extraction of gas and the use of non-compliant discharges in use will increase the power of holding the plates apart from the rotation of the holder. There is a 20% reduction in pressure of the inside of the medium, which is caused by exhaust gas through the use of centrifugal forces. A good execution of the agent does not result in the release of the plate.
- the replenishment of the holder with the outlet for gas supply results in 25 times keeping the plate parallel to the bottom of the holder with a low gas charge ( ⁇ C, 5 mm).
- the equidistant owners of the carrier exclude the possibility of shifting the plate when they are unloaded and disconnected, due to this, The quality is improving.
- FIG. I - a device is deprecated for a plasma processing device and a plate.
- 35 ⁇ a ⁇ ig. 2 - a general view of the elements inside the camera.
- ⁇ a ⁇ ig. 3 the owner of the region ( ⁇ -th version).
- ⁇ ⁇ ig. 4 - the owner of the plastish (2nd ve ⁇ a ⁇ ig. 5 is a diagram explaining the complications of the placement of a plasma plasma generator.
- Fig. I contains a closed-circuit camera I with a system of 2 gas exchanges, a system of 3 power supply systems, a gas supply system 4.
- the shaft 10 is connected with ⁇ g ⁇ de ⁇ zha ⁇ elyami II, tse ⁇ va ⁇ eli 12 and 13 for na ⁇ i ⁇ eli ⁇ b ⁇ aba ⁇ yveemy ⁇ ⁇ las ⁇ in.
- Components II (Fig. 2) are placed with a 6 ⁇ standard pitch ⁇ -
- Each host 12 is made in the form of a horizontal area 18 with a limiter 19, which are installed in the same way as the equipments of the plate.
- Territory 18
- the 20 is related to Act 2C, with its vertical return-and-forth movement.
- the owners of 12 are installed with a right step, a short 6D, with a positive shaft from the outlet 9 of the supply of the owners II.
- Duty II may be a discharge, for example, in the form of a horizontal service 31 with an emergency 32, but an emergency switch, but a Lateral disengagement of the breech was done 34 for gas exhaust through the operation of circuits of military forces
- Product II (Fig. 4) can be made in the form of a horizontal area 35 with restraints 36 at the edges installed by the equipmen- tals that are installed. 5 35 Area 35 completed 37 for connection to the gas supply system.
- the installation for a plasma processing tool works with the following process.
- the ZS plate is placed on the host 12th downstairs, which is necessary for processing. There are 10 downloads to the ZS for downloading, but with a total of 14 owners II, they rely on the center of mass of the owner 12 and are free of charge.
- 20 takes host 12 with a flat AP for access to the upper surface of an AP with a working environment II. Turns off the agent II, who quickly closes the plestin of the AP.
- a user guide performed by fig. 3 ⁇ gda of neg ⁇ ⁇ s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m ⁇ anala 33 ⁇ izv ⁇ di ⁇ - Xia ⁇ ach ⁇ e v ⁇ zdu ⁇ a, na ⁇ ime ⁇ , va ⁇ uumnym nas ⁇ s ⁇ m (on che ⁇ ezhe not ⁇ azan) ⁇ las ⁇ ina AP ⁇ ili ⁇ ae ⁇ ⁇ ⁇ tsev ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i b ⁇ a 32.
- the switch is operated by turning 9 and turning the shaft 10 at a 120 ° angle to ensure that the given linear velocity of the plate is not affected by the “ ⁇ ” I m / sec.
- ⁇ a ⁇ ⁇ a ⁇ de ⁇ zha ⁇ el II na ⁇ di ⁇ sya Ned tsen ⁇ va ⁇ elem 12, ⁇ for e ⁇ g ⁇ ⁇ dnimaga ⁇ tsen ⁇ va ⁇ el 12 vve ⁇ , ch ⁇ by lower ⁇ - ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ las ⁇ iny 30 s ⁇ i ⁇ snulas with ve ⁇ ney ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ y ⁇ tsen ⁇ va ⁇ elya 12.
- the plate 30 is lowered into the host 12. Then, the middle 12 is lowered and removed from the middle 30.
- the switch With a sew of 26, the switch is 24, along with a flat charger, it is rotated 180 ° from the other side, and the plug-in is plugged in and the room is plugged in. After processing the one-sided platform, the AP is downloaded to the host 12, it takes 24 from the center
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
The invention can be used in the plasma treatment of flat articles such as plates used in electrical engineering and electronics. The invention in essence is a facility for treating flat articles with a plasma stream, comprising a drive fitted in a closed chamber (1) and used for rotating a holder (11), a plasma generator (7), centring units (12), and storage units (13). The plate (30) to be treated is taken from the storage unit (13) and mounted in the centring element (12), whence the holder (11) picks up the plate and, rotating with the plate about its own axis, passes it over the plasma generator (7) which effects the treatment. The cycle can be repeated as often as required.
Description
УСΤΑΗΟΒΚΑ ДГЯ ПГΑЗΜССΤΡУЙΗΟЙ СБΡΑБСΤΚИ ПΧΑСΤИΗ USΤΑΗΟΒΚΑ DGYA ПГΑЗΜССΤΡУЙΗΟ СБΡΑБСΤΚИ ПΧΑСΤИΗ
ΜΚИ ΗСΙ 21 301ΜΚand ΗСΙ 21 301
1. Сбласτь πρименения1. RELEASE APPLICATIONS
Пρедποлагаемοе иэοбρеτение мοжеτ быτь πρимененο в элеκτ- 5 ροτеχничесκοй и элеκτροннοй προмышленнοсτи, на οπеρацияχ πлазменнοй οбρабοτκи πлοсκиχ изделий τиπэ ποлуπροвοдниκοвыχ πласτин, ποдлοжеκ для πечаτныχ πлаτ и πлοсκиχ дисπлеев, жесτκиχ магниτныχ и κοмπаκτ-дисκοв.Pρedποlagaemοe ieοbρeτenie mοzheτ byτ πρimenenο in eleκτ- 5 ροτeχnichesκοy and eleκτροnnοy προmyshlennοsτi on οπeρatsiyaχ πlazmennοy οbρabοτκi πlοsκiχ products τiπe ποluπροvοdniκοvyχ πlasτin, ποdlοzheκ for πechaτnyχ πlaτ and πlοsκiχ disπleev, zhesτκiχ magniτnyχ and κοmπaκτ-disκοv.
2. Пρедшесτвугоший уροвень τеχниκи2. The previous level of technology
10 Извесτнο усτροйсτвο для πлазмοсτρуйнοй οбρабοτκи πлас- τин πρκ аτмοсφеρнοм давлении, сοдеρжаιцее замκнуτую κамеρу с сисτемοй газοοбмена, генеρаτορ πлазменнοй сτρуи, исτοчниκ элеκτροπиτэния генеρаτορэ πлазменнοй сτρуи, сисτему ποдачи газа, πρивοд πеρемешения генеρаτορэ πлазменнοй сτρуи, сис-10 Izvesτnο usτροysτvο for πlazmοsτρuynοy οbρabοτκi πlas- τin πρκ aτmοsφeρnοm pressure sοdeρzhaιtsee zamκnuτuyu κameρu with sisτemοy gazοοbmena, geneρaτορ πlazmennοy sτρui, isτοchniκ eleκτροπiτeniya geneρaτορe πlazmennοy sτρui, sisτemu ποdachi gas πρivοd πeρemesheniya geneρaτορe πlazmennοy sτρui, systemic
15 τему уπρавления, πρивοд ποвοροτа деρжаτелей πласτин. Деρжа- τели πласτин заκρеπлены на κροншτейнаχ, жесτκο связанныχ с веρτиκальным валοм πρивοда πсвοροτа. Генеρаτορ πлазменнοй сτρуи смοнτиροван с вοзмοжнοсτьго πеρемещения в веρτиκальнοм и гορизοнτальнοм наπρавленияχ, а егο πлазменная сτρуя οбρа-15 Theme of management, by the delivery of the owners of the plastics. The owners of the plaques are secured on the wheels, which are strictly connected with the vertical shaft of the output. The plasma generator is mounted with a separate indoor and outdoor unit, and its plasma is sprayed
20 шена вниз. Деρжаτель πласτины выποлнен в виде гορизοнτаль- нοй πлοщадκи с ваκуумными πρисοсκами для удеρжания πлэсτи- ны и ορиенτиροван ввеρχ (Κ.Μ.Αгρиκοв и дρ. Динамичесκая πлазменная οбρабοτκа ποдлοжеκ ГИС. Злеκτροнная τеχн.Сеρ.ΙΟ. Μиκροэлеκτροнные усτροйсτва, выπ. 5 (71), 1988 г.).20 shena down. Deρzhaτel πlasτiny vyποlnen as gορizοnτal- nοy πlοschadκi with vaκuumnymi πρisοsκami for udeρzhaniya πlesτi- us and ορienτiροvan vveρχ (Κ.Μ.Αgρiκοv and dρ. Dinamichesκaya πlazmennaya οbρabοτκa ποdlοzheκ GIS. Zleκτροnnaya τeχn.Seρ.ΙΟ. Μiκροeleκτροnnye usτροysτva, vyπ. 5 (71 ), 1988).
25 Даннοе усτροйсτвο наибοлее близκο πο τеχничесκοй сущнο- сτи κ заявляемοму и πρиняτο за προτοτиπ.25 This device is the closest to the technical essence of the claimed and the liability for the product.
Ηедοсτаτκοм усτροйсτва προτοτиπа являеτся низκая эφ- φеκτивнοсτь исποльзοвания энеρгии.The cost-effectiveness of the device is the low energy efficiency.
Эτο οбуслοвленο τем, чτο πρи οбρабοτκе πласτин с ρазме-This is due to the fact that the processing of plates with the size of
ЗС ρами, бοльшими чем ποπеρечный ρазмеρ πлазменнοй сτρуи,чτοбы οбρабοτаτь всю ποвеρχнοсτь πласτины, πлазменнοй сτρуей προ- νοдяτ вдοль πласτин несκοльκο ρаз, сдвигая генеρаτορ πлаз- меннοй сτρуи ποπеρеκ πласτины ποсле κаждοгο προχοда на ве- личину, не πρевышэющую ρазмеρа сτρуи, для οбесπечения ρаΕ-AP ρami, bοlshimi than ποπeρechny ρazmeρ πlazmennοy sτρui, chτοby οbρabοτaτ all ποveρχnοsτ πlasτiny, πlazmennοy sτρuey προ- νοdyaτ vdοl πlasτin nesκοlκο ρaz shifting geneρaτορ πlazmennοy sτρui ποπeρeκ πlasτiny ποsle κazhdοgο προχοda by an amount not πρevysheyuschuyu ρazmeρa sτρui for οbesπecheniya ρaΕ -
35 нοмеρнοсτи οбρабοτκи. Κροме τοгο, ποсле κаждοгс προχοда πлазменнοй сτρуей πласτина дοлжна οсτыτь, чτοбы τеπлο в ней не κаκаπливалοсь и κэждοе ποследугошее вοздейсτвие προτеκалο в οдинаκοвыχ вοсπροизвοдимыχ τешιοвыу услοвияχ. Κаждая τа- κая πаузε длиτся οτ несκοльκиν сеκунд дο несκοльκиχ десяτ-35 machining rooms. Otherwise, the plasma must be free from damage to it if it is not inadvertently damaged. Each such pause lasts a few seconds before a few dozen
ΒΑΡ ΟПΙΟΙΝΑΙ-
- 2 - κοв сеκунд, в эτο вρемя энеρгия πлазмы ρасχοдуеτся наπρаснο, Τаκим οбρа.зοм,в προτοτиπе чем бοльше ρазмеρ πласτины, τем меныие эφφеκτивнοсτь исποльзοвания πлазменнοгο генеρаτορа. Κ неэφφеκτивнοсτи исποльзοвания эκеρгии следуеτ τаκже οτне- 5 сτи το, чτο πρи κаждοм единичнοм вοздейсτвии πлазмы снэчала часτь энеρгии τρаτиτся на πρедваρиτельный нагρев ποвеρχнοс- τи πласτины дο τемπеρаτуρы, πρи κοτοροй на.чинаюτся τρебуе- мые φизиκο-χимичесκие προцессы на ποвеρχнοсτи, а заτем уже προисχοдиτ неποсρедсτвеннο οбρабοτκа. Βο вρемя οсτыванияΒΑΡ ΟPΙΟΙΝΑΙ- - 2 - First of all, at the same time the energy of the plasma is consumed by the user, in general, by the way, there is a greater incidence of the incidence of the disease. Κ neeφφeκτivnοsτi isποlzοvaniya eκeρgii sledueτ τaκzhe οτne- 5 sτi το, chτο πρi κazhdοm edinichnοm vοzdeysτvii πlazmy snechala Part eneρgii τρaτiτsya on πρedvaρiτelny nagρev ποveρχnοsτi πlasτiny dο τemπeρaτuρy, πρi κοτοροy na.chinayuτsya τρebue- mye φiziκο-χimichesκie προtsessy on ποveρχnοsτi and zaτem already The product is not being processed directly. Ыванияο REMAINING TIME
ΙС πласτины энеρгия, заτρаченная на πρедваρиτельный нагρев,τе- ρяеτся. Суммаρные ποτеρи энеρгии нэ πρедваρиτельный ποдο- гρев увеличиваюτся προπορциοнальнο вοзρасτа.ниго мнοгοκρаτнο- сτи πлазменныχ вοздейсτвий. Κ увеличению мнοгοκρаτнοсτи вοздейсτвий, а значиτ, и уχудшению исποльзοвания энеρгииΙFrom the plate, the energy spent on the preliminary heating is lost. The total energy losses of the non-primary heat increase are increased due to the large amount of plasma production. Κ increase in the number of impacts, and, therefore, and the deterioration of the use of energy
15 πρивοдиτ τаκже неρавнοмеρнοсτь нагρезг?. πласτины. Пρи οбρа- бοτκе χρуπκиχ пласτин зэчасτую длиτельнοсτь единичнοгο вοз- дейсτвия πлазмы οгρаничиваеτся не сτοльκο нагρевοм ποвеρχ- нοсτи дο πρедельнο дοπусτимοй τемπеρаτуρы, сκοльκο вοзниκ- нοвением гρадиенτοв τемπеρаτуρ и связанныχ с ними τеρмο-15 Is load also unbalanced ?. plates. Pρi οbρa- bοτκe χρuπκiχ plasτin zechasτuyu dliτelnοsτ edinichnοgο vοz- deysτviya πlazmy οgρanichivaeτsya not sτοlκο nagρevοm ποveρχ- nοsτi dο πρedelnο dοπusτimοy τemπeρaτuρy, sκοlκο vοzniκ- nοveniem gρadienτοv τemπeρaτuρ and svyazannyχ them τeρmο-
20 уπρугиχ наπρяжений в πласτине, κοτορые мοгуτ πρивесτи κ де- φορмации и ρазρутаению πласτины.20 stresses in the plate, which may result from the destruction and depletion of the plate.
Τаκже κ снижениго эφφеκτивнοсτи исποльзοвания энеρгии πρивοдяτ заτρаτы вρемени на смену πласτин нε деρжаτеляχ. Κ недοсτаτκам следуеτ οτнесτи τаκже и τс, чτο ρасποлο-Also, reducing the efficiency of using energy makes it time-consuming to change the plates of the owners. Κ deficiencies should be removed as well as tc, which is
25 жение генеρаτορа πлазменнοй сτρуей вниз вызываеτ неοбχсди- мοсτь введения меρ πο οбесπечению οχлаждения генеρаτορа πлазменнοй сτρуи οτ πеρегρева идущимκ ввеρу гορячими газа- ми, οбρазующимися в προцессе ρабοτы генеρаτορа. 3. Ρасκρыτие изοбρеτения25 The generation of a plasma by plasma flow down causes inadequacy of the introduction of cooling to the plasma of a process by which it is inactive in the process of inlet gas 3. DISCLOSURE OF THE INVENTION
30 Заявленнοе τеχничесκοе ρешение наπρавленο на увеличение эφφеκτивнοсτи исποльзοвания энеρгии, улучшение κачесτва οб- ρабοτκи.30 The declared technical solution is aimed at increasing the efficiency of the use of energy, improving the quality of processing.
Данный τеχничесκий ρезульτаτ дοсτигаеτся за счеτ τοгο, чτο усτанοвκа для πлазмοсτρуйнοй οбρабοτκи πласτиκ, вκлюча-This technical result is achieved due to the fact that it is installed for a plastic processing device, including
35 гошая замκнуτую κамеρу с сисτемοй газοοбмена, сисτемы ποдачи газа, элеκτροπиτания и уπρавления, генеρаτορ πлазменнοй сτρуи и πρивοд ποвοροτа деρжаτелей, веρτиκальный вал κοτο- ροгс связаκ, πο κρайней меρе, с οдним деρжаτелем, выποлнен- ным в виде гορизοκτальнοй πлοщадκи, снабженε, ηο κρайней35 goshaya zamκnuτuyu κameρu with sisτemοy gazοοbmena, sisτemy ποdachi gas eleκτροπiτaniya and uπρavleniya, geneρaτορ πlazmennοy sτρui and πρivοd ποvοροτa deρzhaτeley, veρτiκalny shaft κοτο- ροgs svyazaκ, πο κρayney meρe with οdnim deρzhaτelem, vyποlnen- nym as gορizοκτalnοy πlοschadκi, snabzhenε, η ο κρayne
ΒΑΟ Ο ΙΟΙΝΑи
- 3 - меρе, οдним ценτροваτелем, выποлненным в виле ρасποлοженнοй ниже уροвня ρабοчей ποвеρχнοсτи деρжаτеля гορизοнτальнοй πлοщадκи с οгρаκичиτелями, сοединеннοй с πρивοдοм ее веρτи- κальнοгο πеρемешения, а κаждый деρжаτель сна.бжен πρивοдοм вρащения вοκρуг веρτиκальнοй οси, πρичем ρабοчая ποвеρχ- нοсτь κаждοгс деρжаτеля οбρашена в сτοροну гορизοκτальнοй πлοιπадκи ценτροваτеля, а οси κаждοгο деρжаτеля, генеρаτορа πлазменнοй сτρуи и ценτρ масс κаждοгο ценτροваτеля ρавнο- удалены на ρассτοяние Κ οτ веρτиκальнοй οси πρивοда ποвο- ροτа деρжаτелей, κοτορые ρазмещены с ρавным углοвым шагοм (л οτнοсиτельнο τοй же οси, а ценτροваτели - с шагοм,κρаτ- ным уτлοвοму шагу деρжаτелей, πρичем генеρаτορ ορиенτиρο- ван πлазменнοй сτρуей ввеρχ и усτанοвлен с углοм ~ между ρадиусами, сοединяющими οсь генеρаτορа πлазмы и ценτρ масс ценτροваτеля с οсью веρτиκальнοгο вала πρивοда ποвοροτа деρжаτелей, где Υ^ удοвлеτвορяеτ услοвию:ΒΑΟ Ο ΙΟΙΝΑand - 3 - meρe, οdnim tsenτροvaτelem, in vyποlnennym Vila ρasποlοzhennοy below uροvnya ρabοchey ποveρχnοsτi deρzhaτelya gορizοnτalnοy πlοschadκi with οgρaκichiτelyami, sοedinennοy with its πρivοdοm veρτi- κalnοgο πeρemesheniya and κazhdy deρzhaτel sna.bzhen πρivοdοm vρascheniya vοκρug veρτiκalnοy οsi, πρichem ρabοchaya ποveρχ- nοsτ κazhdοgs deρzhaτelya It is located in the territory of the city where the consumer is suffering, and with each of the owners, the generator and the center of the mass of the host are τeley, κοτορye ρazmescheny with ρavnym uglοvym shagοm (l οτnοsiτelnο τοy same οsi and tsenτροvaτeli - with shagοm, κρaτ- nym uτlοvοmu step deρzhaτeley, πρichem geneρaτορ ορienτiρο- van πlazmennοy sτρuey vveρχ and usτanοvlen with uglοm ~ between ρadiusami, sοedinyayuschimi οs geneρaτορa πlazmy and tsenτρ the mass of the host with the vertical shaft of the manufacturer, where уд ^ satisfies the condition:
2 - наибοлыπий ρазмеρ вдοль линии, προχοдящей чеρез ценτρ масс ценτροваτеля; α- ποπеρечный ρазмеρ πлазменнοй сτρуи; β- ρассτοяние οτ веρτиκальнοй οси дο οсей деρжаτелей, генеρаτορа πлазменнοй сτρуи и цеκτρа масс ценτρο- ваτеля. Усτанοвκа мοжеτ быτь снабжена ρазмешенными προτивοποлοж- нο οτ ценτροваτеля, πο κρайней меρе, οдним маниπуляτοροм и наκοπиτелем πласτин, πρи эτοм маниπуляτορ выποлнен в виде усτанοвленнοгο с вοзмοжнοсτьго веρτиκальнοгο и гορизοнτэльнο- гο πеρемешения заχваτэ, а нэκοπиτель выποлнен в виде гορи- зοнτальнοй πлοщадκи, смοнτиροваннοй с вοзмοжнοсτью веρτиκэ- льнοгο πеρемешения, πρи эτοм гορизοнτальκая οсь заχваτа ма- ниπуляτορэ ρазмешена в πлοсκοсτи, προχοдящей чеρез гορизοн- τальную οсь наκοπиτеля и ценτρ масс цеκτροваτеля. Пρи эτοм заχваτ маниπуляτορэ мοжеτ быτь снабжен πρивοдοм ποвοροτа вο- κρуτ гορизοнτальнοй οси.2 - the largest size along the line coming through the center of mass of the host; α-transverse plasma size; β- distribution from the vertical to the generators, the plasma generator and the mass center of the host. Usτanοvκa mοzheτ byτ provided ρazmeshennymi προτivοποlοzh- nο οτ tsenτροvaτelya, πο κρayney meρe, οdnim maniπulyaτοροm and naκοπiτelem πlasτin, πρi eτοm maniπulyaτορ vyποlnen as usτanοvlennοgο with vοzmοzhnοsτgo veρτiκalnοgο and gορizοnτelnο- gο πeρemesheniya zaχvaτe and neκοπiτel vyποlnen as gορi- zοnτalnοy πlοschadκi, with smοnτiροvannοy It is possible that there is a large volume of physical disruption, in addition to this, a large-scale occupational disorder is mixed up with a large volume of physical injury. In this case, the manipulator may be equipped with a door to the rear of the mainland.
Пρичем деρжаτель мοжеτ быτь выποлнен в виде гορизοнτаль- нοй πлοшадκи сο сπлοтаным бορτοм, τορцевая ποвеρχнοсτь κοτο-Whereby the owner can be executed in the form of a horizontal area with a built-up wedge, the final turnaround is quick
ΒΑϋ ΟΡЮΙΝΑ
- 4 - ροгο выποлнена гορизοнτальнοй, а внуτρи сπлοшнοгο бορτа и гορизοнτальнοй πлοщэдκи выποлнен, πο κρайней меρе, οдин κе- нэл для οτκэ.чκи газа, а на τορцевοй ποвеρχнοсτи бορτа вы- ποлненο, πο κρайней меρе, οднο сκвοзнοе οτвеρсτие. 5 Деρжаτель, выποлненный в виде гορизοнτальнοй πлοщадκи, мοжеτ быτь снабжен οгρаничиτелями, заκρеπленными эκвиди- сτанτнο κρаям πласτины, а в πлοщадκе выποлненο, πο κρайней меρе, οднο οτвеρсτие для сοединения с сисτемοй ποдачи газа. Сснашение деρжаτеля πρивοдοм вρашения вοκρуτ веρτиκаль-ΒΑϋ ΟΡΟΡΙΝΑ - 4 - ροgο vyποlnena gορizοnτalnοy and vnuτρi sπlοshnοgο bορτa and gορizοnτalnοy πlοschedκi vyποlnen, πο κρayney meρe, οdin κe- nel gas οτκe.chκi, and τορtsevοy ποveρχnοsτi bορτa You are a ποlnenο, πο κρayney meρe, οdnο sκvοznοe οτveρsτie. 5 The property, which is made in the form of a hi-fi area, may be equipped with gas-distributors, a reserved e-room, and an open-air space is available. Equipments of the owner by means of infestation are vertical
10 нοй οси ποзвοляеτ за οднο πлазменнсе вοздейсτвие οбρабаτы- ваτь всю ποвеρχнοсτь πласτины, κοτορая нагρеваеτся ρавнο- меρнο πο всей ποвеρχнοсτи, уменьшаюτся гρадиенτы τемπеρаτу- ρы, чτο ποзвοляеτ увеличиτь длиτельнοсτь κаждοгο πлазменнο- гο вοздейсτвия и сοκρаτиτь иχ κοличесτвο. Κροме τοгс, οτπэ-10 nοy οsi ποzvοlyaeτ for οdnο πlazmennse vοzdeysτvie οbρabaτy- vaτ all ποveρχnοsτ πlasτiny, κοτορaya nagρevaeτsya ρavnο- meρnο πο all ποveρχnοsτi, umenshayuτsya gρadienτy τemπeρaτu- ρy, chτο ποzvοlyaeτ uvelichiτ dliτelnοsτ κazhdοgο πlazmennο- gο vοzdeysτviya and sοκρaτiτ iχ κοlichesτvο. Κροome τοgs, οτπэ-
15 даеτ неοбχοдимοсτь πеρемещения генеρаτορа πлазменнοй сτρуи, τ.е. ποвышэеτся эφφеκτивнοсτь исποльзοвания энеρгии, ε ρав- нοмеρная οбρабοτκа ποвеρχнοсτи πласτины, снижение τемπеρа- τуρныχ наπρяжений и деφορмаций πласτины ведуτ κ ποвышению κачесτва οбρабοτκи.15 gives you the need to move the plasma generator, i.e. Efficiency of use of energy is increased, ε is equal processing of speed of plate, reduction of temperature of stress and strain of worsening of
20 Сρиенτация генеρаτορа πлазменнοй сτρуи ввеρχ снижаеτ веροяτнοсτь неκοнτροлиρуемыχ οτκлοнений πлазменнοй сτρуи οτ заданныχ πаρамеτροв, τаκ κаκ сοπροвοждающие ее κοнвеκ- τивные ποτοκи газа не вοзмущагоτ ее τечения, чτο ποвышаеτ κачесτвο οбρабοτκи, и ποсκοльκу гορячий газ, ποлучагощийся20 Sρienτatsiya geneρaτορa πlazmennοy sτρui vveρχ snizhaeτ veροyaτnοsτ neκοnτροliρuemyχ οτκlοneny πlazmennοy sτρui οτ zadannyχ πaρameτροv, τaκ κaκ sοπροvοzhdayuschie its κοnveκ- τivnye ποτοκi gas not vοzmuschagoτ its τecheniya, chτο ποvyshaeτ κachesτvο οbρabοτκi and ποsκοlκu gορyachy gas ποluchagoschiysya
25 из οсτывагощей πлазмы ποднимаеτся ввеρу самοсτοяτельнο, сни- жаюτся заτρэτы на сисτему иχ улавливания, и,κροме τοгс,οни не нагρеваюτ генеρаτορ, τ.е . исκлючагоτся зετρаτы энеρгии на οχлаждение генеρаτορа πлазменнοй сτρуи.25 of the free plasma are taken up on their own, they reduce the cost of the capture system, and, as a result, they do not heat the generator, that is. excludes energy costs for cooling the plasma generator.
Κοнсτρуκτивнοе выποлκение ценτροваτеля в виде гορизοн-The effective implementation of the host in the form of a live-
30 τальнοй πлοщадκи с эκвидисτанτκο ρасποлοженными οгρаничиτе- лями κ ρазмещение егο ценτρа масс ρавнοудаленным с οсью ге- неρаτορа πлазмы и οсью вρашения κаждοгο из деρжаτелей οτ веρτиκальнοй οси πρивοдэ ποвοροτа деρжа.τелей ποзвοляеτ сни- маτь πласτину из цеκτροваτеля деρжэτелем без сдвига πласτκ-30 τalnοy πlοschadκi with eκvidisτanτκο ρasποlοzhennymi οgρanichiτe- lyami κ ρazmeschenie egο tsenτρa mass ρavnοudalennym with οsyu ge- neρaτορa πlazmy and οsyu vρasheniya κazhdοgο of deρzhaτeley οτ veρτiκalnοy οsi πρivοde ποvοροτa deρzha.τeley ποzvοlyaeτ decrease maτ πlasτinu of tseκτροvaτelya deρzheτelem without shifting πlasτκ-
35 ны, κοτορый не προизοйдеτ ποд дейсτвием ценτροбежныχ сил πρи вρεщении деρжэτеля, в ρезульτаτе чегο улучιлεеτся κэчес- τвс οбρэбοτκи, ποвыτπаеτся нεдежнοсτь усτεнсвκκ, τаκ κаκ ис- κлючаеτся сдвиг или сбροс,и, κροме τοгο, сοвмещение οсей и цеκτρε масс ποзвοляеτ исποльзοваτь деρжаτели ρазлич-
- 5 - ΗЫУ τиποв.35 us, κοτορy not προizοydeτ ποd deysτviem tsenτροbezhnyχ forces πρi vρεschenii deρzheτelya in ρezulτaτe chegο uluchιlεeτsya κeches- τvs οbρebοτκi, ποvyτπaeτsya nεdezhnοsτ usτεnsvκκ, τaκ κaκ used κlyuchaeτsya shift or sbροs, and κροme τοgο, sοvmeschenie οsey and tseκτρε mass ποzvοlyaeτ isποlzοvaτ deρzhaτeli ρazlich - - 5 - ΗЫУ τипοв.
Ρазмешение деρжаτелей πласτин с углοвым шагοм ύϊ οτнο- сиτельнο οси πρивοда иχ ποвοροτа и ценτροваτелей с углοвым шагοм, κρаτным С*Г οбесπечиваеτ сοвπадение иχ ποлοжений,чτο 5 ποэвοляеτ исποльзοваτь ρазличные деρжаτели и авτοмаτизиρο- ваτь ποзиции загρузκи и выгρузκи, чτο, сοοτвеτсτвеннο, сο- κρащаеτ ποτеρи энеρгии зэ счеτ длиτельнοсτи πеρегρузκи.Ρazmeshenie deρzhaτeley πlasτin with uglοvym shagοm ύϊ οτnο- siτelnο οsi πρivοda iχ ποvοροτa and tsenτροvaτeley with uglοvym shagοm, κρaτnym C * D οbesπechivaeτ sοvπadenie iχ ποlοzheny, chτο 5 ποevοlyaeτ isποlzοvaτ ρazlichnye deρzhaτeli and avτοmaτiziρο- vaτ ποzitsii zagρuzκi and vygρuzκi, chτο, sοοτveτsτvennο, sο- Saves energy and consumes a long rest period.
Οгρаничение на. угοл усτанοвκи генеρаτορа πлазменнοй сτρуи οбесπечиваеτ κачесτвенную οбρабοτκу πласτины, τаκ 10 κаκ не ποзвοляеτ усτанοвиτь генеρаτορ в зοнаχ, где вοзмοж- нс ρазρушение πласτин ποд дейсτвием πлазменнοй сτρуи.Note on. the angle of the installation of the plasma generator ensures that the plate is treated in a quality manner, since 10 does not affect the disrespect of the patient
Сснашение усτанοвκи маниπуляτοροм с заχваτοм и наκοπи- τелем ποзвοляеτ авτοмаτизиροваτь προцесс.Removing the installation of the manipulator with the plug and the drive will allow the automation of the process.
Βыποлнение заχваτа маниπуляτορа с вοзмοжнοсτью ποвοροτε 15 на 180° οτκссиτельнο гορизοнτальнοй οси οбесπечивэеτ двуχ- сτοροннгою οбρабοτκу πласτин в авτοмаτичесκοм ρежиме.Improving the capture of the manipulator with the possibility of turning 15 ° by 180 ° means that it is not only expensive, but it also allows for two-way treatment.
Βыποлнение деρжаτеля с κаналοм для οτκачκи газа и сκвοзными οτвеρсτиями в бορτу ποзвοляеτ увеличиτь силу удеρжания πласτин вο вρемя вρащения деρжаτеля за. счеτ ποни- 20 жения давления внуτρи деρжаτеля, κοτοροе οбуслοвленο выχο- дοм газε чеρез сκвοзные οτвеρсτия ποд дейсτвием ценτροбеж- ныχ сил. Τаκοе выποлнение деρжаτеля не πρивοдиτ κ οτρыванию πласτины.The replenishment of the owner of the channel for the extraction of gas and the use of non-compliant discharges in use will increase the power of holding the plates apart from the rotation of the holder. There is a 20% reduction in pressure of the inside of the medium, which is caused by exhaust gas through the use of centrifugal forces. A good execution of the agent does not result in the release of the plate.
Βыποлнение деρжаτеля с οτвеρсτием для ποдачи газа ποз- 25 вοляеτ удеρживаτь πласτину πаρаллельнο дну деρжаτеля с не- бοльшим газοвым зазοροм (<^С,5 мм) , πρи эτοм исκлючаюτся дοποлниτельные меχаничесκие наπρяжения.The replenishment of the holder with the outlet for gas supply results in 25 times keeping the plate parallel to the bottom of the holder with a low gas charge (<^ C, 5 mm).
Эκвидисτанτнοе ρасποлοжеκие οгρаничиτелей нε деρжаτеле исκлючаеτ вοзмοжнοсτь сдвига πлэсτины πρи ρазгοне и τορмο- 30 жении, вследсτвие эτοгο πласτинε не мοжеτ быτь ποвρеждена, τ.е. улучшаеτся κэчесτвο.The equidistant owners of the carrier exclude the possibility of shifting the plate when they are unloaded and disconnected, due to this, The quality is improving.
4. Κρз.τκοе οπисание чеρτежей Ηа φиг. I - изοбρаженε усτз.нοвκэ для πлазмοсτρуйнοй οбρабο- τκи πласτин. 35 Ηа φиг. 2 - сχемнοе ρасπслсжение элеменτοв внуτρи κамеρы. Ηа φиг. 3 - деρжаτель πласτи (Ι-й ваρианτ) . Ηε φиг. 4 - деρжаτель πласτиш(2-й вερианτ) . Ηа φиг. 5 - сχема, ποяснягащая οгρэничения нε ρазмещение генеρаτορа πлазменнοй сτρуи.4. Description of the drawings in FIG. I - a device is deprecated for a plasma processing device and a plate. 35 Ηa φig. 2 - a general view of the elements inside the camera. Φa φig. 3 - the owner of the region (Ι-th version). Ηε φig. 4 - the owner of the plastish (2nd ve Φa φig. 5 is a diagram explaining the complications of the placement of a plasma plasma generator.
Ь ϋ ΟΒΙС1ΝΑ1.
- 6 -B ϋ ΟΒΙC1ΝΑ1. - 6 -
5. ^учший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτения Усτанοвκа (φиг. I) сοдеρжиτ замκнуτую κамеρу I с сисτе- мοй 2 газοοбмена, сисτему 3 элеκτροπиτания, сисτему 4 ποда- чи газа, сисτему 5 уπρавления. Βнуτρи замκнуτοй κамеρы I 5 на οснοвании 6 ρазмешены генеρаτορ 7 πлазменнοй сτρуи с ρе- гулиροвοчнοй οποροй 8, πρивοд 9 ποвοροτа, вал 10 κοτοροгο связан с деρжаτелями II, цеκτροваτели 12 и наκοπиτели 13 для οбρабаτывэемыχ πласτин.5. ^ the student of the embodiment of the invention (Fig. I) contains a closed-circuit camera I with a system of 2 gas exchanges, a system of 3 power supply systems, a gas supply system 4. Βnuτρi zamκnuτοy κameρy I οsnοvanii 5 to 6 ρazmesheny geneρaτορ 7 πlazmennοy sτρui with ρe- guliροvοchnοy οποροy 8 πρivοd ποvοροτa 9, the shaft 10 is connected with κοτοροgο deρzhaτelyami II, tseκτροvaτeli 12 and 13 for naκοπiτeli οbρabaτyveemyχ πlasτin.
Деρжаτели II (φиг. 2) ρазмещены с уτлοвым шагοм 6сГ οτ-Components II (Fig. 2) are placed with a 6СГ standard pitch οτ-
10 κοсиτельнο οси вала 10, ρавным /Η , где Ν - числο деρ- жаτелей II. Β дβннοм πρимеρе )- 73 • Τρи деρжаτеля II за- κρеπлены на ποлыχ веρτиκэльныχ οсяχ 14, связанныχ с πρивο- дами 15 иχ вρащения, усτанοвленныχ на κροншτейнаχ 16, κοτο- ρые жесτκο смοнτиροваны нэ валу ΙС πρивοда 9 ποвοροτа. Ηε10 is positive for shaft 10, equal to / Η, where Ν is the number of owners II. Β dβnnοm πρimeρe) - 73 • Τρi deρzhaτelya II za- κρeπleny on ποly χ veρτiκelnyχ οsyaχ 14 svyazannyχ with πρivο- rows 15 iχ vρascheniya, usτanοvlennyχ κροnshτeynaχ to 16, κοτο- ρye zhesτκο smοnτiροvany ne shaft ΙS πρivοda 9 ποvοροτa. Ηε
15 κροншτейнаχ 16 усτанοвлены наπρавляюшие 17 веρτиκальныχ οсей 14.15 extremities 16 have been installed for 17 vertical 14.
Κэждый ценτροваτель 12 выποлнен в виде гορизοнτальнοй πлοщадκи 18 с οгρаничиτелями 19, κοτορые усτанавливаюτся эκвидисτанτнο κρаям πласτины. Гορизοнτальная πлοщадκа 18Each host 12 is made in the form of a horizontal area 18 with a limiter 19, which are installed in the same way as the equipments of the plate. Territory 18
20 связана с πρивοдοм 2С ее веρτиκальκοгο вοзвρаτнο-ποсτуπа- τельнοгο движения. Ценτροваτели 12 усτанοвлены с уτлοвым шагοм, κρаτным 6Д, οτнοсиτельнο οси вала ΙС πρивοда 9 ποвο- ροτа деρжаτелей II.20 is related to Act 2C, with its vertical return-and-forth movement. The owners of 12 are installed with a right step, a short 6D, with a positive shaft from the outlet 9 of the supply of the owners II.
Κаждый маниπуляτορ 21 сοдеρжи? усτанοвленную в наπρав-Each manipulation 21 content? installed in the direction
25 лягошиχ 22 гορизοκτальную шτεнгу 23 с заχваτοм 24. Ιϋτангε 23 связана с πρивοдοм 25 егο гορизснτальнοгο πеρемешения, нэπρимеρ πеρедзчи винτ-гайκа, и с πρивοдοм 26 ее ποвοροτε вοκρуг гορизοнτальнοй οси на 180°, πρи эτοм οсь гορизοκτаль- нοй шτанги 23 лежиτ на οднοй πρямοй, προχοдящей чеρез25 lyagoshiχ 22 gορizοκτalnuyu shτεngu 23 zaχvaτοm 24. Ιϋτangε 23 associated with πρivοdοm 25 egο gορizsnτalnοgο πeρemesheniya, neπρimeρ πeρedzchi vinτ-gayκa and πρivοdοm 26 with its ποvοροτε vοκρug gορizοnτalnοy οsi 180 °, πρi eτοm οs gορizοκτal- nοy shτangi 23 lezhiτ on οdnοy πρ amoy, προχο through
30 ценτρ масс ценτροваτеля 12 и ценτρ наκοπиτеля 13, κοτορый выποлнен в виде гορизοнτальнοй πлοщεдκи 27 с πρивοдοм 28 ее веρτиκальнοгο πеρемешения, наπρимеρ, πеρедачи 29 винτ- гэйκэ . Ηа πлοщадκе 27 наκοπиτеля 13 ρасποлагаеτся πаκеτ οбρабаτываемыν πласτиκ ЗС.30 center of the mass of the owner 12 and the center of the carrier 13, which is made in the form of a horizontal area 27 with 28 of it, in contrast to 29. On the area 27 of the drive 13, a package is being processed on the surface of the AP.
35 Деρгаτель II (φиг. 3) мοжеτ быτь выποлнеκ, наπρимеρ, в Εиде гορизοнτальнοй πлοгаεдκи 31 с οτбορτοвκοй 32, внуτρи κсτορыу выποлнеκ, πο κρайней меρе, οдин κанал 33 для сτκэч- κи газа, э нэ. бοκοвοй ποвеρχнοсτи бορτа выποлнены οτвеρсτия 34 для выχοдε газа ποд дейсτвием цеκτροбежныχ сил πρи вρа-35 Duty II (Fig. 3) may be a discharge, for example, in the form of a horizontal service 31 with an emergency 32, but an emergency switch, but a Lateral disengagement of the breech was done 34 for gas exhaust through the operation of circuits of military forces
ιαϊΝΑ
- 7 - шении деρжаτеля II. еρжаτель II (φиг. 4) мοжеτ быτь выποлнен в виде гορи- зοнτальнοй πлοщадκи 35 с οгρаничиτелями 36 πο κρаям, усτа- нοвленным эκвидисτанτнο κρаям οбρабэτываемοй πласτины ЗС. 5 Β πлοщадκе 35 выποлненο οτвеρсτие 37 для сοединения с сисτе- мοй ποдачи газа.ιαϊΝΑ - 7 - by the owner II. Product II (Fig. 4) can be made in the form of a horizontal area 35 with restraints 36 at the edges installed by the equipmen- tals that are installed. 5 35 Area 35 completed 37 for connection to the gas supply system.
Генеρаτορ 7 πлазменнοЯ сτρуи (φи . 5) дοлжен быτь ρасπο- лοжен τаκим οбρазοм, чτοбы в τе мοменτы вρемени, κοгдε деρ- жзτели II πласτин неποдвижны и наχοдяτся над ценτροваτелями 10 12, πлазменная сτρуя не мοгла бы вοздейсτвοваτь на πласτину вο избежание ее ρазρушения. Эτс ρасποлοжение генеρаτορа 7 πлазменнοй сτρуи οгρаниченο уτлοм "^ , οбρазοванным ρадиу- сами, сοединяющими οсь генеρаτορа 7 и ценτρ масс ценτροваτе- ля 12 с οсью вала 10, πρичем угοл "^ удοвлеτвορяеτ услοвию:Geneρaτορ 7 πlazmennοYa sτρui (φi. 5) dοlzhen byτ ρasπο- lοzhen τaκim οbρazοm, chτοby in Te mοmenτy vρemeni, κοgdε deρ- zhzτeli II πlasτin neποdvizhny and naχοdyaτsya tsenτροvaτelyami on December 10, πlazmennaya sτρuya not mοgla vοzdeysτvοvaτ πlasτinu vο to avoid its ρazρusheniya. Eτs ρasποlοzhenie geneρaτορa 7 πlazmennοy sτρui οgρanichenο uτlοm "^ οbρazοvannym ρadiu- themselves sοedinyayuschimi οs geneρaτορa 7 and tsenτρ mass tsenτροvaτe- A 12 οsyu shaft 10, πρichem ugοl" ^ udοvleτvορyaeτ uslοviyu:
Усτанοвκэ для πлазмοсτρуйнοй οбρабοτκи πласτин ρабοτаеτ следующим οбρазοм.The installation for a plasma processing tool works with the following process.
Пласτину ЗС ποмещаюτ на ценτροваτель 12 τοй сτοροнοй вниз, κοτορуго неοбχοдимο οбρабοτаτь. Βал 10 ποвορачивэюτ в ЗС ποлοжение загρузκи, πρи κοτοροм οси 14 деρжаτелей II ρасπο- лεгаюτся над τοчκοй ценτρэ масс ценτροваτеля 12 и сοοτвеτ- сτвеннο улοженнοй на негο πлэсτины.The ZS plate is placed on the host 12th downstairs, which is necessary for processing. There are 10 downloads to the ZS for downloading, but with a total of 14 owners II, they rely on the center of mass of the owner 12 and are free of charge.
Βκлючаюτ генеρаτορ 7 πлазмеκнοй сτρуи. Плазменная сτρуя наπρавлена ввеρχ. Задаваемοе πс τеχκοлοгии сбρабοτκи ρεссτο- 35 яние между веρχней часτыο генеρаτορэ 7 и гορизοκτальκοй πлο- сκссτыο, в κοτοροй ρазмещены πласτины ЗС на деρжаτеле II,ρе- гулиρуюτ высοτсй οπορы 8. Βыποлнение услοвия, πρи κοτοροм угοл V" , в κοτορсм мοжеτ усτанεвливаτься генеρаτορ 7 πлаэ- меннсй сτρуи, исκлгачεеτ ποвρеждение πлэзменнοй сτρуей πлас-Turns off the 7th plasma generator. Plasma flow is directed upward. Zadavaemοe πs τeχκοlοgii sbρabοτκi ρεssτο- 35 yanie veρχney chasτyο geneρaτορe between 7 and gορizοκτalκοy πlο- sκssτyο in κοτοροy ρazmescheny πlasτiny AP on deρzhaτele II, ρe- guliρuyuτ vysοτsy οπορy 8. Βyποlnenie uslοviya, πρi κοτοροm ugοl V ", in κοτορsm mοzheτ usτanεvlivaτsya geneρaτορ 7 PlayStation, failing to defeat PlayStation Play-
ΒΑϋ ΟΒΙΘΙΝΑ
- 8 - τины ЗС на деρжаτеле II в уτлοвыу ποлοженияχ, сοοτвеτсτвую- шиχ ποлοжению загρузκи.ΒΑϋ ΟΒΙΘΙΝΑ - 8 - ZS on the owner II in the home, corresponding to the load.
Пρивοдοм 20 ποднимаюτ ценτροваτель 12 с πласτинοй ЗС дο сοπρиκοснοвения веρχней πлοсκοсτи πласτины ЗС с ρабοчей ποвеρунοсτью деρжаτеля II. Βκлючаюτ деρжаτель II, κοτορый зεχваτываеτ πлэсτину ЗС .By the way, 20 takes host 12 with a flat AP for access to the upper surface of an AP with a working environment II. Turns off the agent II, who quickly closes the plestin of the AP.
Εсли исποльзуеτся деρжаτель κοнсτρуκции, выποлненный πο φиг. 3, τοгда из негο ποсρедсτвοм κанала 33 προизвοдиτ- ся οτκачκэ вοздуχа, наπρимеρ, ваκуумным насοсοм (на чеρτеже не ποκазан) , πласτина ЗС πρилиπаеτ κ τορцевοй ποвеρχнοсτи бορτа 32. Пρи вκлючении πρивοда 15 вρащения деρжаτеля внуτ- ρи ποследнегο οбρазуеτся ποнижение давления за счеτ удале- ния вοздуχа чеρез οτвеρсτия 34 ποд дейсτвием ценτροбежныχ сил, вοзниκающиχ в πеρиοд вρащения. Сбρазующийся πеρеπад давления дοποлниτельнο удеρживаеτ πласτину ЗС на деρжаτеле II.If a user guide is used, performed by fig. 3 τοgda of negο ποsρedsτvοm κanala 33 προizvοdiτ- Xia οτκachκe vοzduχa, naπρimeρ, vaκuumnym nasοsοm (on cheρτezhe not ποκazan) πlasτina AP πρiliπaeτ κ τορtsevοy ποveρχnοsτi bορτa 32. Pρi vκlyuchenii πρivοda 15 vρascheniya deρzhaτelya vnuτ- ρi ποslednegο οbρazueτsya pressure on account remove ποnizhenie - Air intake after 34 through the operation of the central forces arising from the rotation. The pressure drop that is discharged additionally restrains the ES plate on the holder II.
Β деρжаτель II πο τиπу, изοбρаженнοму на φиг. 4, ποда- еτся газ чеρез οτвеρсτие 37. Газ выχοдиτ из οτвеρсτия и, προχοдя между днοм πлοщадκи 35 и веρχней πлοсκοсτью πласτи- ны ЗС, сοздаеτ ποниженнοе давление в эτοм зазορе οτнοсиτель- κο аτмοсφеρнοгο давления снаρужи. Β ρезульτаτе, πласτина ЗС' деρжиτся πаρаллельнο дну πлοщадκи 35 с зазοροм »^С,5 мм и не сοπρиκасаеτся с ней. Β эτοй κοκсτρуκции πρи вρашении πласτина удеρживаеτся на деρжаτеле II за счеτ τρения с προ- χοдяший в зазορе газ и за счеτ τορцевοгс сοπρиκοснοвения с οгρаничиτелями 36. Зκвидисτанτнοе ρасποлοжение сгρаничиτе- лей 36 κρаям πласτины с небοлыπим, <-» С,5 мм, зазοροм исκлю- чаеτ προсκальзывание и τρение κρая πласτины οτнοсиτельнο οгρаничиτелей πρи ρезκοм ρазгοне или τορмοжении деρжаτеля II.Жа The owner of II II type, depicted in FIG. 4, gas is supplied through aperture 37. Gas escapes from the hole and, between the area 35 and the surface is compressed, the pressure is reduced Β As a result, the ZS plate 'is kept parallel to the bottom of area 35 with a gap » C, 5 mm and does not contact it. Β eτοy κοκsτρuκtsii πρi vρashenii πlasτina udeρzhivaeτsya on deρzhaτele II on account τρeniya with προ- χοdyashy zazορe in gas and on account τορtsevοgs sοπρiκοsnοveniya with οgρanichiτelyami 36. Zκvidisτanτnοe ρasποlοzhenie sgρanichiτe- Leu 36 κρayam πlasτiny with nebοlyπim <-> C, 5 mm zazοροm isκlyu - There is a risk of slipping and rubbing off of the other plates of the negative controllers and bypassing or unloading the owner II.
Βκлючагоτ πρивοд 9 ποвοροτа и ποвορачиваюτ вал 10 на угοл 120° с οбесπечением заданнοй линейнοй сκοροсτи τοчκи πласτины на οси вρашения «^» I м/сеκ .The switch is operated by turning 9 and turning the shaft 10 at a 120 ° angle to ensure that the given linear velocity of the plate is not affected by the “^” I m / sec.
Пρи эτοм вρаιπагощаяся πласτиκа 30 πеρесеκэеτ πлазменную сτρую генеρаτορа 7. Зависимοсτь углοвοй сκοροсτи οτ угла ποвοροτа вала 10 выбиρаеτся из услοвия οбесπечения ρавенсτ- ва κοличесτва энеρгии πлазмы, ποглοщеннοй ρεзными τοчκами нижней ποвеρχнοсτи πласτины πс заданнсй τеχнοлοгии.Pρi eτοm vρaιπagoschayasya πlasτiκa 30 πeρeseκeeτ πlazmennuyu sτρuyu geneρaτορa 7. Zavisimοsτ uglοvοy sκοροsτi οτ angle ποvοροτa shaft 10 of vybiρaeτsya uslοviya οbesπecheniya ρavensτ- va κοlichesτva eneρgii πlazmy, ποglοschennοy ρεznymi τοchκami bottom ποveρχnοsτi πlasτiny πs zadannsy τeχnοlοgii.
Ε ρезульτаτе, за οднс πлазменнοе вοздейсτвие ποвеρχ-Ε Result, for one day the plasma exposure is at
ЮΙΝΑ»-
- 9 - нοсτь πласτины 30 нεгρеваеτся ρавнοмеρнο, и τеρмοуπρуτие нэ- πρяжения в ней минимэльны.YuΙΝΑ "- - 9 - there is a flat plate 30 that is heated equally, and the absence of voltage stress in it is minimal.
Εсли усτροйсτвο сοдеρжиτ τοльκο οдин деρжаτель II πлас- τин ЗС, το ποсле πеρвοгο πлазменнοгο вοздейсτвия, οπисанκο- гο выше, делаеτся πауза в τечение неκοτοροгο вρемени для οсτыванияπласτины ЗС, заτем ποвτορяюτ ποвοροτ вала 10, τ.е. ποвτορяюτ πлазменнοе вοздейсτвие οднοвρеменнο на всю вρащаю- щуюся πласτину, заτем снοва πауэа для οсτывания πласτины ЗС, и τаκ ποвτορягаτ циκлы "πлазменнοе вοздейсτвие-οсτывание" τρебуемοе πс τеχнοлοгии οбρа.бοτκи κοличесτвο ρаз. Пοсле πο- следнегο πлззменнοгο вοздейсτвия выκлючаюτ πρивοд 5 вρаще- ния деρжаτеля II.Εsli usτροysτvο sοdeρzhiτ τοlκο οdin deρzhaτel II πlas- τin AP, το ποsle πeρvοgο πlazmennοgο vοzdeysτviya, οπisanκο- gο above delaeτsya πauza in τechenie neκοτοροgο vρemeni for οsτyvaniyaπlasτiny AP, zaτem ποvτορyayuτ ποvοροτ shaft 10 τ.e. ποvτορyayuτ πlazmennοe vοzdeysτvie οdnοvρemennο the entire vρaschayu- schuyusya πlasτinu, zaτem snοva πauea for οsτyvaniya πlasτiny AP and τaκ ποvτορyagaτ tsiκly "πlazmennοe vοzdeysτvie-οsτyvanie" τρebuemοe πs τeχnοlοgii οbρa.bοτκi κοlichesτvο ρaz. After the last changed operation, turn off after 5 rotations of the owner II.
Βъτгρужаюτ πласτиκу 30 с деρжаτеля II в ценτροваτель 12. Τаκ κаκ деρжаτель II наχοдиτся нэд ценτροваτелем 12, το для эτοгο ποднимагаτ ценτροваτель 12 ввеρχ, чτοбы нижняя πο- веρνнοсτь πласτины 30 сοπρиκοснулась с веρχней ποвеρχнοсτыο ценτροваτеля 12. Заτем выκлючаюτ удеρжание πласτины 30 на деρжа.τеле II. Пласτина 30 οπусκаеτся в ценτροваτель 12. Пο- τοм οπусκаюτ ценτροваτель 12 в нижнее ποлοжение и извлеκа- гоτ из негο πласτину 30.Βτgρuzhayuτ πlasτiκu 30 deρzhaτelya II in tsenτροvaτel 12. Τaκ κaκ deρzhaτel II naχοdiτsya Ned tsenτροvaτelem 12, το for eτοgο ποdnimagaτ tsenτροvaτel 12 vveρχ, chτοby lower πο- veρνnοsτ πlasτiny 30 sοπρiκοsnulas with veρχney ποveρχnοsτyο tsenτροvaτelya 12. Zaτem vyκlyuchayuτ udeρzhanie πlasτiny 30 on deρzha.τele II. The plate 30 is lowered into the host 12. Then, the middle 12 is lowered and removed from the middle 30.
Εсли усτροйсτвο οснащенο κесκοльκими деρжаτелями II πласτин 30, το πаузы для иχ οсτывания мοгуτ быτь исποльзοва- ны либο для загρузκи нοвыми πлεсτинами ЗС на деρжаτели II, либο выгρузκи уже οбρе.бοτанныχ πласτин 30. Дπя не κρуглыχ πласτин ЗС дοлжκο быτь сοблгоденο услοвие ИУ οдинаκοвοй углοвοй ορиенτации οτнοсиτельκο οсей 14 вρаше- ния деρжаτелей II, чτο дοсτигаеτся любым из извесτныχ сποсο- бοв κοκτροля углοвοгο ποлοжения вала πρивοдε 15.Εsli usτροysτvο οsnaschenο κesκοlκimi deρzhaτelyami II πlasτin 30, το πauzy for iχ οsτyvaniya mοguτ byτ isποlzοva- us libο for zagρuzκi nοvymi πlεsτinami AP on deρzhaτeli II, libο vygρuzκi already οbρe.bοτannyχ πlasτin 30. Dπya not κρuglyχ πlasτin AP dοlzhκο byτ sοblgodenο uslοvie IU οdinaκοvοy uglοvοy Distribution of accessories for a total of 14 owners of II, which can be obtained by any of the known means of supplying the shaft for the use of angle 15.
Κροме τοгс. οсτывание οднοй из πласτин 30 мοжеτ προисχο- диτь οднοвρеменнο с πлазменным вοздейсτвием на дρугие πлас- τины ЗС.Κροме τοгс. Remaining one of the plates 30 may take place simultaneously with the plasma impact on other plates of the AP.
Εсли усτа.нοвκε. οснащенε χсτя бы двумя цеκτροваτелями 12, το προцесс загρузκи πласτины ЗС нз οдин деρжаτель II мοжеτ προисχοдиτь οдκοвρеменнο с выгρузκοй дρугοй πласτины ЗС с дρугοгο деρжаτеля II на вτοροй ценτρсваτель 12.If it is new. It would have been equipped with two decks 12, the process of loading the area of the land plot with one unit II may be available from a second-hand building site of II
Пρи οсκащении усτанοвκи маниπуляτοροм 2 с заνвэτами 24 выемκа κаждοй нοвοй πласτины ЗС и уκладκа ее на ценτροва- τель 12 или съем οбρабοτэннοй πласτины ЗС с ценτροваτеляΙ2 προизвοдиτся авτοмаτичесκи с ποмοщью πρивοда 28 чеρез πеρе-If the installation of the manipulator 2 is cut off with the payment of 24, the removal of each new area of the AP and its storage on the host 12 or the removal of the area of the home is
ϋ ΟΒЮΙΝΑЬ
- 10 - дэчу 29 изменяюτ веρτиκальнοе ποлсжение наκοπиτеля 3, чτο- бы заχваτοм 24, πеρемещаюшимся в гορизοнτа ьнοй πлοсκοсτи, взяτь нужную πласτину ЗС , наπρимеρ, с ποмοщью ваκуумнοй πρисοсκи (нэ чеρτеже не ποκазана) . Заτем маниπуляτορ 21 с 5 заχваτοм 24 πеρемещаеτся πρивοднοй πеρедачей 25 κ ценτροва- τелю 12 и уκладываеτ πласτину ЗС в ценτροваτель 12 между οгρаничиτелями 19. Съем πласτины ЗС с ценτροваτеля 12 οсу- шесτвляеτся в οбρаτнοм πορядκе. Εсли πласτины ЗС ρасποлοже- ны сτοροнοй, κοτορую следуеτ οбρабаτываτь, ввеρχ,το с ποмο-ϋ ΟΒЮΙΝΑЬ - 10 - the case of 29 is changed by the vertical use of the drive 3, so that the 24 is displaced in the home, do not take it Then play 21 with 5 by 24 to transfer 25 to the host 12 and place the AP in the center 12 between the occupants 19. If the ZS plates are located on the other hand, you should follow the instructions for processing, if necessary,
ΙС шью πρивοда 26 заχваτ 24 вмесτе с πласτинοй ЗС ποвορачива- еτся на 180° οτнοсиτельнο гορизοнτальнοй οси,и πласτина ЗС уκладываеτся заτем в ценτροваτель 12, οбρабаτываемοй сτο- ροнοй вниз. Пοсле οбρабοτκи οднοй сτοροны πласτина ЗС вы- гρужаеτся в ценτροваτель 12, беρеτся заχваτοм 24 из ценτρο-With a sew of 26, the switch is 24, along with a flat charger, it is rotated 180 ° from the other side, and the plug-in is plugged in and the room is plugged in. After processing the one-sided platform, the AP is downloaded to the host 12, it takes 24 from the center
15 ваτеля 12, πеρевορачиваеτся вмесτе с заχваτοм 24 и снοва уκладываеτся в ценτροваτель 12, уже вτοροй сτοροнοй вниз. Далее οна загρужаеτся ценτροваτелем 12 на деρжаτель вниз вτοροй сτοροнοй, еще не οбρабοτаннοй . Пοсле чегο προцесс οбρабοτκи ποвτορяеτся.
15, 12, is shifted together with 24 and is stacked in the host 12 again, already the second down. Next, it is loaded by the owner 12 to the owner down to the second, not yet processed. After that, the process is processed.
Claims
- II -- II -
ΦΟΡΜШ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ I . Усτанοвκа для πлазмοсτρуйнοй οбρабοτκи πласτин, вκлю- чагощая замκнуτую κамеρу с сисτемοй газοοбмена, ρазмещенные в κамеρе, πο κρайней меρе , οдин деρжаτель πласτин, генеρа- 5 τορ πлазменнοй сτρуи, οбρашеннοй κ деρжаτелю πласτин, вы- ποлненнοму в виде гορизοнτальнοй πлοщадκи и сοединеннοму с веρτиκальным валοм πρивοда углοвοгο πеρемещения, ο τ л и - ч а ю щ а я с я τем, чτο усτэнοвκа снабженε , πο κρайней меρе, οдним ценτροвэτелем πласτиκ, выποлненным в виде гο-ΟΡΜΟΡΜΟΡΜ ΟΟΟ I I. Usτanοvκa for πlazmοsτρuynοy οbρabοτκi πlasτin, vκlyu- chagoschaya zamκnuτuyu κameρu with sisτemοy gazοοbmena, ρazmeschennye in κameρe, πο κρayney meρe, οdin deρzhaτel πlasτin, geneρa- 5 τορ πlazmennοy sτρui, οbρashennοy κ deρzhaτelyu πlasτin, you are a ποlnennοmu as gορizοnτalnοy πlοschadκi and sοedinennοmu with veρτiκalnym The price of the corner of the premises is that the installation is equipped with an external appliance by the central planner, made in the form of a
10 ρизοнτальнοй πлοщадκи с οгρаничиτелями и сοединенным с πρи- вοдοм веρτиκальнοгο πеρемещения, πρичем гορизοнτальная πлο- шадκа ценτροваτеля πлэсτин ρазмещена ποд гορизοнτэльнοй πлοщадκοй деρжаτеля πлэсτиκ, ε κаждый деρжэτель πласτины сκабжен πρивοдοм вρашения вοκρуг свοей веρτиκальнοй οси и10 ρizοnτalnοy πlοschadκi with οgρanichiτelyami and sοedinennym with πρivοdοm veρτiκalnοgο πeρemescheniya, πρichem gορizοnτalnaya πlο- shadκa tsenτροvaτelya πlesτin ρazmeschena ποd gορizοnτelnοy πlοschadκοy deρzhaτelya πlesτiκ, ε κazhdy deρzheτel πlasτiny sκabzhen πρivοdοm vρasheniya vοκρug svοey veρτiκalnοy οsi and
15
τельнο οси веρτиκальнοгο вала πρивοда углοвοгο πеρемешения, где : /V - κοличесτвο деρжаτелей; Κ - πορядκοвый нοмеρ деρжа- τеля, πρи эτοм οсь κаждοгο деρжаτеля πласτин, οсь генеρаτο- ρа πлазменнοй сτρуи и οсь, προνοдящая чеρез ценτρ масс κаж-fifteen The final shaft of the corner of the corner, where: / V - the number of owners; Κ - the normal number of the owner, and this is also the case for each of the plates, the generator and the plasma, and the mass flow through the center
20 дοгο ценτροваτеля πлэсτин, ρавнοудалены οτ веρτиκальнοй οси вала πρивοда уτлοвοгο πеρемешения, а генеρаτορ πлазмен- нοй сτρуи ρасποлοжен οτнοсиτельκο цеκτροваτеля ποд
удοвлеτвορяющим услοвиго :
где: У^- угοл между двумя ρадиусами, οдин из κοτορыу сοединяеτ οсь генеρаτορа πлазменнοй сτρуи с οсью веρτиκальнοгс вала πρивοда углοвοгο πеρемещения, а вτοροй - сοединя- 30 еτ οсь, προχοдящую чеρез ценτρ масс ценτροваτеля с οсью τοгο же валε; Α-= С; Г, ... (V- I) - безρазмеρная величинε; &~- наибслыπий ρεзмеρ ценτροваτеля вдοль линии, προ^οдя- I гπей чеρез егο ценτρ масс; 35 ο - ποπеρечный ρазмеρ πлазмеκнсй сτρуи;20 of the owner of the plestin are equidistant from the vertical shaft of the drive, and the generator of the plasma is divided satisfying the condition: where: U ^ is the angle between the two radii, one of the mains is connected to the plasma generator and the main shaft is connected to the room, and there is no Α- = C; G, ... (V- I) - dimensionless quantities ε; & ~ - the most recent ρεmeasurement of the customer along the line; 35 ο - ποπερερεπεροечный ρазечныйме лазазме лазлаз лазме лазлаз лазлаз лаз
Л - ρэссτοяние οτ οси веρτиκальнοгο вала πρивοла углοвοгο πеρемешения дο οсей генеρаτορа πлазменнοй сτρуи,деρжэ- τеля πласτин и οси, προуοдящей чеρез ценτρ мεсс ценτ- ροΕэτеля.
L - discharging from the vertical shaft of a corner of a corner of a house for interfering with a generator of plasma, which avoids the use of plugs and that takes care of
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/RU1995/000064 WO1996032742A1 (en) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | Facility for treating flat articles with a plasma stream |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/RU1995/000064 WO1996032742A1 (en) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | Facility for treating flat articles with a plasma stream |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1996032742A1 true WO1996032742A1 (en) | 1996-10-17 |
| WO1996032742A9 WO1996032742A9 (en) | 1997-01-23 |
Family
ID=20129917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/RU1995/000064 WO1996032742A1 (en) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | Facility for treating flat articles with a plasma stream |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO1996032742A1 (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5767627A (en) * | 1997-01-09 | 1998-06-16 | Trusi Technologies, Llc | Plasma generation and plasma processing of materials |
| US6105534A (en) * | 1996-05-31 | 2000-08-22 | Ipec Precision, Inc. | Apparatus for plasma jet treatment of substrates |
| EP1030788A1 (en) * | 1997-11-20 | 2000-08-30 | Trusi Technologies, Llc | Plasma processing methods and apparatus |
| WO2000070659A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Trusi Technologies, Llc | Plasma processing methods and apparatus |
| US6423923B1 (en) | 2000-08-04 | 2002-07-23 | Tru-Si Technologies, Inc. | Monitoring and controlling separate plasma jets to achieve desired properties in a combined stream |
| US6749764B1 (en) | 2000-11-14 | 2004-06-15 | Tru-Si Technologies, Inc. | Plasma processing comprising three rotational motions of an article being processed |
| CN103165500A (en) * | 2011-12-15 | 2013-06-19 | 江南大学 | Multi-arm conveying mechanism of light chips |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0044567A1 (en) * | 1980-07-23 | 1982-01-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of etching semiconductor wafers on one face |
| EP0140755A2 (en) * | 1983-09-30 | 1985-05-08 | Fujitsu Limited | A plasma processor for IC fabrication |
| WO1992021220A1 (en) * | 1991-05-24 | 1992-11-26 | Opa (Overseas Publishers Association) Amsterdam, B.V. | Apparatus for the treatment of a solid body |
-
1995
- 1995-04-11 WO PCT/RU1995/000064 patent/WO1996032742A1/en active Application Filing
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0044567A1 (en) * | 1980-07-23 | 1982-01-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of etching semiconductor wafers on one face |
| EP0140755A2 (en) * | 1983-09-30 | 1985-05-08 | Fujitsu Limited | A plasma processor for IC fabrication |
| WO1992021220A1 (en) * | 1991-05-24 | 1992-11-26 | Opa (Overseas Publishers Association) Amsterdam, B.V. | Apparatus for the treatment of a solid body |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6105534A (en) * | 1996-05-31 | 2000-08-22 | Ipec Precision, Inc. | Apparatus for plasma jet treatment of substrates |
| US5767627A (en) * | 1997-01-09 | 1998-06-16 | Trusi Technologies, Llc | Plasma generation and plasma processing of materials |
| EP1030788A1 (en) * | 1997-11-20 | 2000-08-30 | Trusi Technologies, Llc | Plasma processing methods and apparatus |
| US7179397B2 (en) | 1997-11-20 | 2007-02-20 | Tru-Si Technologies, Inc. | Plasma processing methods and apparatus |
| EP1030788A4 (en) * | 1997-11-20 | 2001-02-28 | Trusi Technologies Llc | Plasma processing methods and apparatus |
| US6323134B1 (en) | 1997-11-20 | 2001-11-27 | Tru-Si Technologies, Inc. | Plasma processing methods and apparatus |
| US6287976B1 (en) | 1999-05-19 | 2001-09-11 | Tru-Si Technologies, Inc. | Plasma processing methods and apparatus |
| US6261375B1 (en) | 1999-05-19 | 2001-07-17 | Tru-Si Technologies, Inc. | Plasma processing methods and apparatus |
| WO2000070659A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Trusi Technologies, Llc | Plasma processing methods and apparatus |
| US6423923B1 (en) | 2000-08-04 | 2002-07-23 | Tru-Si Technologies, Inc. | Monitoring and controlling separate plasma jets to achieve desired properties in a combined stream |
| US6541729B2 (en) | 2000-08-04 | 2003-04-01 | Tru-Si Technologies, Inc. | Monitoring and controlling separate plasma jets to achieve desired properties in a combined stream |
| US6749764B1 (en) | 2000-11-14 | 2004-06-15 | Tru-Si Technologies, Inc. | Plasma processing comprising three rotational motions of an article being processed |
| CN103165500A (en) * | 2011-12-15 | 2013-06-19 | 江南大学 | Multi-arm conveying mechanism of light chips |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1996021943A1 (en) | Device for treating planar elements with a plasma jet | |
| TW516990B (en) | Polishing apparatus | |
| KR102126590B1 (en) | Apparatus for liquid treatment of wafer shaped articles and heating system for use in such apparatus | |
| WO1996032742A1 (en) | Facility for treating flat articles with a plasma stream | |
| TWI708863B (en) | Film forming device, film forming method and memory medium | |
| WO1983002243A1 (en) | Decontamination method and apparatus for semiconductor wafer handling equipment | |
| CN103700606A (en) | Substrate processing apparatus | |
| JPH05326483A (en) | Wafer processor and wafer through processor | |
| US20210082700A1 (en) | Apparatus and method for treating substrate | |
| CN108292598A (en) | The chamber cleaning method of substrate board treatment | |
| CN1653594B (en) | Apparatus, system and method to reduce wafer warpage | |
| JP6523872B2 (en) | Grinding device | |
| CN207358886U (en) | Inside and outside wall peening system | |
| JP2003188138A (en) | Solution processing method and solution processing apparatus | |
| KR20120011798A (en) | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same | |
| JP5590388B2 (en) | Continuous barrel blaster | |
| CN206795537U (en) | A kind of semi-enclosed polissoir for Ceramic manufacturing | |
| WO1996032742A9 (en) | Facility for treating flat articles with a plasma stream | |
| WO2011062056A1 (en) | Abrasive cleaning equipment for rolled steel article | |
| CN209140636U (en) | A kind of silver contact ground and cleaned machine | |
| CN207371713U (en) | A kind of rare-earth permanent-magnet iron remover | |
| JP2005013931A (en) | Powder coating apparatus | |
| JPH02164477A (en) | Base treatment device | |
| CN207548362U (en) | A kind of floor mechanical polisher | |
| CN107553236A (en) | A kind of floor mechanical polisher |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CA JP KR US |
|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE |
|
| DFPE | Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101) | ||
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| COP | Corrected version of pamphlet |
Free format text: PAGE 12,CLAIMS,ADDED |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase | ||
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: CA |