Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer zweiten, von
erzeugten Strahlung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbe¬ griff des Patentanspruchs 1, eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 4 sowie eine Verwendung ge- maß Patentanspruch 9.
Aus der US-A 5 072 731 ist ein "Optical Scattering Analyzer" bekannt, bei dem eine erste Strahlung in das Auge unter einen Winkel zur optischen Achse fokussiert wurde. Die Strahlung wurde mit einem Lichtleiter von einer Strahlungs¬ quelle zugeführt. Die im Fokuspunkt im bzw. auf dem Auge er¬ zeugte zweite Strahlung wurde mit einer in der optischen Achse des Auges angeordneten Linse kollimiert, umgelenkt, dann in einen weiteren Lichtleiter eingekoppelt und zu einem Detektor geführt.
Aus der US-A 4 253 744 ist eine optische Meßeinrichtung bekannt, bei der die Strahlung einer Strahlungsquelle auf
einen kleinen Umlenker fokussiert und umgelenkt wurde. Diese umgelenkte Strahlung wurde dann mit einer Fokussierlinse auf die Oberfläche der Kronea des menschlichen Auges fokussiert und verbreiterte sich wieder kegelförmig im Inneren des Auges zur Beleuchtung des Augenhintergrundes. Die vom Augen¬ hintergrund reflektierte Strahlung wurde durch die Augenlin¬ se kollimiert, durch die Fokussierlinse auf einen Fokuspunkt vor dem Strahlumlenker derart fokussiert, daß wenigstens ein Teil dieser reflektierten Strahlung außen am Strahlumlenker vorbeistrahlte, der dann mit einer weiteren Fokussierlinse auf einen Detektor zur Messung fokussiert wurde.
Eine analoge Vorrichtung beschreibt die US-A 5 116 116, wobei hier die reflektierte Strahlung des Augenhintergrundes nicht mehr am U klenkspiegelrand außen vorbeigeführt wird, sondern durch eine Durchtrittsöffnung in dessen Zentrum. Die beleuchtende Strahlung wird im Randbereich des Uralenkspie- gels umgelenkt.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Messung einer zweiten, von einer ersten in einem Raumbereich eines Gegenstands erzeugten Strahlung (Streu- oder Lu ineszensstrahlung zu messen, wo¬ bei der Raumbereich nur durch einen räumlich stark be- schränkten Durchblicksquerschnitt zugänglich ist.
Die Erfindung löst zusätzlich die Aufgabe, innerhalb des auszumessenden Gegenstands eine hohe Intensität der ersten Strahlung am Meßort zu schaffen, welche dann außerhalb rasch abnimmt, wodurch umliegende Bereiche bzw. Wände des Gegen¬ stands durch die erste Strahlung keiner Schädigungsgefahr ausgesetzt werden.
Auch wird die zusätzliche Aufgabe gelöst, Streuung und Lumineszenz im Inneren eines Gegenstands zu bestimmen, wel¬ che nur über eine abdeckende Öffnung strahlungsmäßig zugäng¬ lich ist, wobei die Lage des die zweite Strahlung aussenden¬ den Raumbereichs sicher bestimmbar ist, um ihn von strah-
lungsempfindlichen Bereichen fernhalten zu können bzw. einen derartigen Aufbau zu wählen, der eine Messung mit einer Strahlungsintensität unter der Schädigungsschwelle zuläßt.
Die Lösung der Aufgabe wird dadurch erreicht, daß die anregende bzw. beleuchtende (erste) Strahlung und die re¬ flektierte, gestreute bzw. durch optische Anregung ausge¬ sandte (zweite) Strahlung als zueinander paralleles, zylin¬ drisch koaxiales Strahlenbündel geformt werden, wobei jedoch die beiden Strahlungen voneinander getrennt sind. Diese Art der Formung zweier Strahlen gestattet deren Durchtritt durch einen räumlich stark beschränkenden Durchblicksquerschnitt der ein- sowie auch der austretenden Strahlung getrennt von¬ einander in das ansonsten abgeschlossene Innere eines Rau- mes. Durch eine entsprechende Anpassung der Durchtrittsquer¬ schnitte bzw. der Strahlungen ist eine nahezu vollständige flächenmäßige Ausnützung des gesamten Durchblicksquer¬ schnitts gegeben. In der Regel wird man bei einem kreisför¬ migen Durchblicksquerschnitt einen zentrischen scheibenför- migen Strahlquerschnitt eines Strahls verwenden, der ring¬ förmig vom anderen umgeben wird. Hat der Durchblicksquer¬ schnitt eine hiervon abweichende Kontur (beispielsweise qua¬ dratisch) , wird man entsprechende Strahlque.rschnitte wählen (z. B. ein in einem viereckigen Ring liegendes Quadrat). Aufgrund der guten Flächenausnutzung ist auch eine optimale Intensitätseinstellung des beleuchtenden Strahls möglich, derart, daß beispielsweise keine Materialveränderungen ein¬ treten können. Auch kann mit Blick auf den zweiten Strahl mit hoher Empfindlichkeit gearbeitet werden. Eine Beschrän- kung bilden nur noch die fundamentalen optischen Gesetz¬ mäßigkeiten der Lichtausbreitung wie Beugungseffekte, Beu¬ gungsbegrenzung etc..
In bevorzugter Weise wird nun der die Streuung erzeugen- de Strahl als "Hohlstrahl" ausgebildet, in dessen "Hohlraum" dann die gestreute Strahlung zurückgeführt wird. Durch die bevorzugte Ausbildung des anregenden Strahls als Hohlstrahl ergibt er nach der Fokussierlinse außerhalb des Fokuspunktes
auf einem Auffänger einen Ring, aus dessen Durchmesser bei bekannter Fokuslänge der Abstand des Fokuspunkts vom Auffän¬ ger angegeben werden kann.
Durch das "Ineinanderschachteln" des die zweite Strah¬ lung erzeugenden ersten Strahls mit der erzeugten zweiten Strahlung ist eine optimale Strahlführung in das Innere ei¬ nes Gegenstands auch durch eine diesen bedeckende Öffnung möglich. Der Strahlquerschnitt des äußeren (ersten) Strahls wird in Verbindung mit dem Fokussierelement derart groß ge¬ wählt, daß er nach diesem gerade noch durch die Öffnung führbar ist, um eine möglichst starke Fokussierung zu errei¬ chen. Wird z. B. der Glaskörper des menschlichen Auges aus¬ gemessen, so wird der Strahlquerschnitt derart gewählt, daß er bei einem Fokuspunkt unmittelbar über der Retina gerade durch die Augenlinsenränder nicht begrenzt wird. Da nun durch ein- und dasselbe Element der eine Strahl fokussiert und der andere kollimiert wird, ist zudem eine eindeutige Zuordnung des ausgemessenen bzw. auszumessenden Orts mög- lieh. Hierzu wird der Strahlungsdetektor gegen eine zweite
Strahlungsquelle ausgetauscht. Aufgrund der "Strahlungsrich- tungsumkehr" ist nun sehr einfach zu überprüfen, ob die vom vorgegebenen Ort (Fokuspunkt) ausgesandte Strahlung auch in den Detektor kommen würde. Dies ist immer dann gegeben, so- bald die Strahlung der ersten und der zweiten Strahlung sich in einem Punkt vereinigen. Zur Vereinfachung der Justage kann hierzu verschiedenfarbiges Licht, insbesondere Laser¬ strahlung, verwendet werden. Eine Fokuspunktverschiebung in¬ folge der unterschiedlichen Wellenlängen kann in erster Nä- herung vernachlässigt werden.
Die Zuleitung der eingestrahlten sowie der gestreuten Strahlung erfolgt bevorzugt über Lichtleiter, an die der Strahlungsdetektor sowie die Strahlungsquelle ankoppelbar sind. Werden die beiden Lichtleiter als Monomodelichtleiter für den Grundmode ausgelegt, so kann die erste Strahlung aufgrund ihrer im Querschnitt gaußförmigen Intensitätsver¬ teilung gut in einen sehr kleinen Fokuspunkt fokussiert und
die zweite Strahlung selektiv mit hoher transversaler Kohä¬ renz detektiert werden, wie z. B. in J. RiCka, "Dynamic light scattering with single-mode and multimode receivers", Applied Optics, Vol. 32, No. 15, 20. Mai 1993, S. 2860 - 2875 ausgeführt ist. Mit der hier beschriebenen Vorrichtung kann selbst bei der hohen Selektivität z. B. mit einem anre¬ genden Strahl einer Leistung von lediglich 10 μW gearbeitet werden. Eine Vorrichtung, welche mit derart geringen Lei¬ stungen auskommt, bietet sich zur Messung am Glaskörper des menschlichen Auges geradezu an. Aufgrund einer unten be¬ schriebenen Ausführungsart der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann vermieden werden, daß auf die empfindliche Retina eine diese schädigende Strahlungsintensität auftreffen könnte.
Die Erfindung ist keineswegs auf das menschliche Auge beschränkt. Dieses Beispiel sollte nur in einer leicht ein¬ sehbaren Darstellung die hohe Empfindlichkeit der reflek¬ tierten, gestreuten oder erzeugten (zweiten) Strahlung sowie die Verwendung einer relative hohen Intensität der bestrah- lenden (ersten) Strahlung ohne Gefährdung des Auges bzw. deren Retina verdeutlichen.
Anstelle des Auges ist jeder Gegenstand, (Raum) vorstell¬ bar, der lediglich durch einen stark beschränkten Durch- blicksquerschnitt zugänglich ist. Man denke hier nur an Hochdruckfenster in Brennkammern (Flammanspektrosko- pie, ...), in denen Verbrennungsvorgänge optisch gemäß oben genannten Ausführungen mit einer ersten und einer zweiten Strahlung kontrolliert bzw. bestimmt werden müssen. Auch bei chemischen Anlagen, welche beispielsweise aus Kostengründen nur kleine Fenster (z. B. Diamantfenster) zulassen, ist die unten beschriebene Vorrichtung sowie das Verfahren einsetz¬ bar.
Im folgenden wird ein Beispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand einer schematischen Darstellung näher erläutert. Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus dem nachfolgenden
Beschreibungstext.
In der schematischen Darstellung wird beispielsweise die Lichtstreueigenschaft des Glaskörpers 1 des menschlichen Auges 3 gemessen, auf dessen Hornhaut 31 ein Kontaktglas 2 angelegt ist. Die die Streustrahlung in einem vorgegebenen Raumbereich 5 im Auge 3 erzeugende erste Strahlung 7 kommt von einer Lichtquelle 9, z. B. einem He-Ne-Laser oder einem Diodenlaser. Ausgehend von der Lichtquelle 9 wird die Strah- lung 7 über einen Lichtleiter 10 geführt und an dessen ande¬ rem Ende mit einem Kollimator 11 in einen kollimierten Strahl 12 mit dem Durchmesser d umgeformt. In der Strahlach¬ se des kollimierten Strahls 12 ist ein unter 45° geneigtes optisches Element 13 angeordnet, dessen dem Kollimator 11 zugewandte zentrische Oberfläche 14 absorbierend und dessen entgegengesetzte Oberfläche 15 verspiegelt ist. Der zur Strahlachse senkrecht projizierte Durchmesser e des optischen Elements 13 ist so groß gewählt, daß lediglich ein zentrischer Teil des kollimierten Strahls 12 abgeschattet wird, wodurch ein ringförmiger, "hohlzylindrischer"
Strahl 17 entsteht. Dieser Strahl 17 wird mit einem Umlenk¬ spiegel 19 um 45° umgelenkt und dann mit einer Fokussierlin¬ se 21 in den Glaskörper 1 des Auges 3 fokussiert, wobei die Divergenz des fokussierten Strahls so groß gewählt wird, wie es die durch den Durchmesser der Augenlinse 32 definierte Eintrittsöffnung gerade erlaubt.
Wurde nun als Lichtleiter 10 ein Monomodelichtleiter ausgewählt, so hat die Strahlung 7 eine im Querschnitt gauß- förmige Intensitätsverteilung und läßt sich somit im Fokus¬ punkt 5 auf einen minimalen Durchmesser fokussieren, der um¬ so kleiner ist, je größer der Strahldurchmesser des Strahls 12 und je kleiner die Brennweite der Fokussierlin¬ se 21 ist.
Nach dem Fokuspunkt 5 weitet sich der Strahl auf und es ist auf der Retina 22 dann ein Ring 23 erkennbar. Aus dem Durchmesser des Rings 23 ist, da die Brennweite der Fokus-
sierlinse 21 bekannt ist, auf den Abstand des Fokuspunktes 5 von der Retina 22 eindeutig zu schließen.
In allen Bereichen des "hohlen Strahls " 17, am stärk- sten in dessen Fokuspunkt 5 wird eine Streustrahlung 4 ent¬ sprechend der vorhandenen Streuzentren erzeugt. Auf eine spezielle räumliche Streucharakteristik wird hier nicht ein¬ gegangen. Ein Teil 4 dieser Streustrahlung wird durch die nun als Kollimator wirkende Fokussierlinse 21 in einen kol- limierten ("Voll-")Strahl 25 geformt, der mit dem Umlenk¬ spiegel 19 und durch die spiegelnde Oberfläche 15 des opti¬ schen Elements 13 in eine Einkoppeleinheit 27 zum Einkoppeln dieser Strahlung 25 in einen mit einem Detektor 29 verbunde¬ nen Lichtleiter 30 gelenkt wird. Als Detektor 29 wird bevor- zugt eine Single-Photon-Avalanche-Diode verwendet. Durch die Anordnung der Fokussierlinse 21, der spiegelnden Oberflä¬ che 15, der Einkoppeleinheit 27 sowie der Auswahl des ver¬ wendeten Lichtleitertyps - es wird hier aufgrund der gefor¬ derten hohen Selektivität (insbesondere Kohärenzselektivi- tat) ein Monomodelichtleiter verwendet - erfolgt eine selek¬ tive Auswahl der rückgestreuten Strahlung. In der Darstel¬ lung ist nur dieser Strahlengang gezeigt.
Wie nun unschwer aus der Darstellung ersichtlich ist, kann nur die gestreute Strahlung des Strahlengangs 25 aus dem Volumen des Fokuspunkts 5 in den Lichtleiter 30 und da¬ mit auf den Detektor 29 gelangen. Dies ergibt sich aus der Tatsache, daß eine Überlappung des ersten mit dem zweiten Strahl lediglich im Fokuspunkt 5 erfolgt. Z. B. von der Hornhaut 31 bzw. von der Augenlinse 32 gestreute Strahlung würde nicht in den Lichtleiter 30 gelangen und damit auch nicht vom Detektor 29 gemessen.
Eine Selektionierung der gestreuten Strahlung kann nun ebenfalls dadurch erfolgen, daß der Lichtleiter 30 als Mono- modefaser ausgewählt wird. Hierdurch wird aus der Streu¬ strahlung lediglich ein transversal kohärenter Strahlungs¬ mode ausgewählt, wodurch aufgrund der Streucharakteristik im
Fokuspunkt 5 die auf den Detektor 29 auffallende Strahlung große zeitliche Schwankungen aufweist. Ausgehend von diesen Schwankungen kann auf zeitliche Schwankungen der Dichte im untersuchten Ort 5 geschlossen werden. Es können so z. B. viskoelastische Eigenschaften des Glaskörpers des menschli¬ chen Auges gemessen werden. Die selektive Auswahl eines ein¬ zigen Strahlungsmodes ermöglicht zudem, Strahlungsanteile zu unterscheiden, welche von Gewebefluktuationen und welche von fixen Gewebeteilen herrühren.
Wird lediglich eine große Empfindlichkeit verlangt, so arbeitet man mit Multimodelichtleitern. Aufgrund der Aus¬ wechselbarkeit der Lichtleiter 10 und 30 kann der jeweils gewünschte optimale Lichtleitertyp problemlos eingesetzt werden.
Ferner kann in die kollimierte Strahlung 25 ein Polari¬ sator 33 eingebracht werden.
Damit auch nur gestreute Strahlung aus dem Volumen des
Fokuspunktes 5 ausgewertet wird, muß eine exakte Justage des Kollimators 11, des optischen Elements 12, des Umlenkspie¬ gels 19, der Fokussierlinse 21 und der Einkoppeleinheit 27 vorgenommen werden. Es wird nun etwa an der Stelle der Reti- na 22 ein nicht dargestellter Schirm aufgestellt. Die im be¬ leuchtenden Strahlengang 7, 12 und 17 befindlichen optischen Elemente 11, 13, 19 und 21 werden nun derart eingestellt, daß auf dem Schirm der Ring 23 erscheint. Der Detektor 29 wird gegen eine nicht dargestellte Lichtquelle ausgetauscht. Das Licht der neuen Strahlungsquelle an Stelle des Detek¬ tors 29 tritt nun über die Einkoppeleinheit 27 als kolli- mierter Strahl aus, wird durch die spiegelnde Fläche 13 und den Umlenker 19 umgelenkt und mit der Fokussierlinse 21 fo¬ kussiert. Die Auskoppeleinheit 27 wird solange verschwenkt und deren seitliche Position zur spiegelnden Fläche 13 der¬ art verstellt, bis die Strahlung der den Detektor 29 erset¬ zenden Lichtquelle in der Mitte des Rings 23 liegt. Auch bei einer Abstandsveränderung der Fokussierlinse 21 muß diese
zentrische Lage erhalten bleiben. Bei einer Veränderung des Abstands des Fokuspunkts vom Schirm ändert sich der Durch¬ messer des Strahlungsrings 23 der Lichtquelle 9 sowie der Durchmesser der kreisförmigen Scheibe der von der den Detek- tor ersetzenden Lichtquelle ausgehenden Strahlung.
Da die Zuführung der beleuchtenden, ersten Strahlung von der Lichtquelle 9 sowie die Rückführung der gestreuten Strahlung zum Detektor 29 jeweils über einen flexiblen Lichtleiter 10 bzw. 30 erfolgt, kann die eigentliche Meßap¬ paratur, bestehend aus den optischen Elementen 11, 13, 19, 21 und 27, kompakt und handlich, getrennt von der i. a. voluminösen Lichtquelle 9 und Auswerteeinheit - Detektor 29 mit nachgeschalteter Auswerteelektronik - ausgebildet wer- den.
Zum Ausmessen der Streueigenschaften des Glaskörpers 1 des Auges 3 wird nun der Abstand der einjustierten Linse 21 über dem Auge geändert.
Anstatt einen beleuchtenden "hohlen" Strahl mit zent¬ risch in ihm verlaufendem Streustrahl zu verwenden, können die beiden Strahlen auch nebeneinander liegend geführt wer¬ den, wobei dann die große Divergenz mit optimaler Fokussie- rung des anregenden Strahls sowie die oben beschriebene ein¬ fache Bestimmung der Lage des streuenden Orts nicht mehr ge¬ geben sind.
Eine Vertauschung von beleuchtendem und streuendem Strahlengang ist zwar möglich, es ist aber dann darauf zu achten, daß der Fokuspunkt beim Ausmessen des Glaskörpers nicht zu nahe an die Retina gelegt wird, um deren Beschädi¬ gung durch die auftreffende Strahlung zu vermeiden.
Zur Reduzierung des Signal-Rausch-Verhältnisses kann mit einer modulierten anregenden Strahlung gearbeitet werden.
Anstatt mit kollimierten Strahlen zu arbeiten, können
auch Strahlen mit ein- und demselben Divergenzwinkel verwen¬ det werden. Auch diese Strahlen sollten konzentrisch zuein¬ ander angeordnet werden. Eine Verwendung kollimierter Strah¬ len wird jedoch beim Einsatz von Lichtleitern vorteilhafter- weise vorgenommen.
Der Umlenkspiegel 19 ist nicht zwingend notwendig. Er wird jedoch in bevorzugter Weise derart ausgebildet, daß sein zentrischer Bereich 35, mit dem der zweite Strahl 25 umgelenkt wird, eine 100%-Verspiegelung für die Wellenlänge der zweiten Strahlung trägt. Der den Bereich 35 umgebende Bereich 37 ist teildurchlässig, damit der zur Abstandsbe¬ stimmung verwendete, leuchtende Ring 23 auf der Retina 22 mit einer Beobachtungsoptik 39 auswertbar ist.
In den meisten Meßverfahren ist die Wellenlänge der ein¬ gestrahlten Strahlung gleich der gestreuten Strahlung. Es kann jedoch auch eine optische Anregung des Materials im Fo¬ kus erfolgen, so daß dann eine zusätzliche Strahlungsfre- quenz erzeugt wird. Durch eine geeignete Auswahl insbesonde¬ re des Lichtleiters 30 und eines Filters anstelle des Pola¬ risators 33 oder zusätzlich zu diesem, kann dann nur diese Strahlung analog zum obigen Meßverfahren ausgewertet werden.
Anstatt den abschattenden Bereich 14 des optischen Ele¬ ments 13 absorbierend auszubilden, kann er auch reflektie¬ rend ausgebildet werden. Ein Teil dieser reflektierten er¬ sten Strahlung kann dann in einem zweiten Detektor zur Über¬ prüfung der Strahlungsintensität der ersten Strahlung 7 ver- wendet werden. Die restliche reflektierte erste Strahlung wird dann in einem Absorber aufgefangen.