WO1996022515A1 - Appareil destine a la detection de la rupture du diaphragme d'un capteur de pression - Google Patents

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    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
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Abstract

Transducteur de pression de semi-conducteur qui comprend une puce de silicium ayant une face supérieure et une face inférieure. Ladite puce de silicium possède en outre sur sa face inférieure une cavité formant un diaphragme. Quatre éléments piézorésistifs sons disposés sur la face supérieure de la puce de silicium sur une périphérie du diaphragme et sont connectées via des conducteurs métallisés disposés sur la puce de silicium sous forme d'un pont de Wheatstone. Une pluralité de plots de connexion placés sur la face supérieure de la puce de silicium fournissent un accès externe au circuit à pont de Wheatstone. Un conducteur diagnostic est placé sur la partie supérieure de la puce de silicium de manière à traverser la périphérie du diaphragme, ledit conducteur étant connecté à des plots de connexions correspondants à chacune de ses extrémités. Par conséquent, lorsque le diaphragme se rompt, le conduteur diagnostic se rompt également, fournissant ainsi une indication claire de la rupture du diaphragme grâce au circuit externe dans lequel le conducteur diagnostic est utilisé.
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