WO1992019877A1 - Process for starting a machine fitted with a rotor on magnetic bearings and circuit for implementing the process - Google Patents

Process for starting a machine fitted with a rotor on magnetic bearings and circuit for implementing the process Download PDF

Info

Publication number
WO1992019877A1
WO1992019877A1 PCT/EP1992/000298 EP9200298W WO9219877A1 WO 1992019877 A1 WO1992019877 A1 WO 1992019877A1 EP 9200298 W EP9200298 W EP 9200298W WO 9219877 A1 WO9219877 A1 WO 9219877A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
rotor
axial
assumed
current
stop
Prior art date
Application number
PCT/EP1992/000298
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Randolf Paul Rolff
Original Assignee
Leybold Aktiengesellschaft
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Aktiengesellschaft filed Critical Leybold Aktiengesellschaft
Publication of WO1992019877A1 publication Critical patent/WO1992019877A1/en

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0442Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0451Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2231/00Running-in; Initial operation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps

Definitions

  • The. invention relates to a method for starting up a machine equipped with a magnetically mounted rotor according to the preamble of claim 1. Furthermore, the invention relates to a circuit suitable for carrying out this start-up method.
  • DE-PS 34 09 047 discloses a magnetic bearing cell with permanent magnets, which support the rotor stably in the radial direction and unstably in the axial direction.
  • an axial sensor, a controller and two deflection coils are provided which keep the rotor in its equilibrium position which is unstable in the axial direction during operation of the machine.
  • the deflection coils are supplied with currents, the strength of which depends on the deviation of the rotor from its unstable equilibrium position.
  • Magnetic bearings of this type have been used in practice for mounting the rotor of turbomolecular vacuum pumps. They are also equipped with a control device which causes an automatic compensation of the currents flowing in the deflection coils in such a way that the current has the value zero in the unstable equilibrium position of the rotor ("current-to-zero" regulator).
  • a potentiometer is provided with which the target position of the rotor is specified in order to be able to compensate for tolerances of the pump and its converter (control, power supply, etc.) within the magnetic bearing control.
  • the tolerances of the pump include, above all, the relatively large offset error of the axial sensor and the target positions of the rotor, which are dependent on the installation position of the pump. Since the range that the "current to zero" controller can regulate is limited, the balancing potentiometer must be reset after each new installation of the system. Even after changing the connecting cable between the pump and the converter, a new adjustment often has to be carried out manually, since the offset error of the axial sensor also depends on the length of the connecting cable. Usually, the pump tolerances must first be manually adjusted in the manufacturer's test field. After installation of the pump at the customer, a new adjustment is already necessary. later in the event of changes to the installation and irregularities within the storage. Since the customer cannot usually carry out the manual adjustment of the magnetic bearings himself, the maintenance effort associated with the installation and operation of the pumps is very high.
  • the object of the present invention is to create a method of the type mentioned at the outset and a circuit suitable for carrying out this method, in which a manual adjustment procedure can be omitted.
  • the fact that the stationary rotor rests on an axial stop becomes the first Information used.
  • the target position of the rotor in operation - its unstable equilibrium position - is about half the possible total stroke of the rotor from the current rotor stop position.
  • the signal of the axial sensor which has an offset error, is initially compensated by an equally large signal with inverse polarity.
  • the voltage transmitter then supplies a voltage value corresponding to half the stroke with a specific polarity.
  • the voltage value has the wrong polarity, the current supplied to the deflection coils will rise, for example, because the rotor cannot assume its equilibrium position. If this current exceeds a maximum limit, this attempt is stopped. Thereafter, a half 'Rotorhub voltage value corresponding to the reversed polarity is supplied from the voltage generator. This voltage value causes the rotor to lift from its stop position so that the machine equipped with the rotor can be started up.
  • - Fig. 1 is a highly simplified block diagram
  • - Fig. 2 is a block diagram with a circuit example for the
  • the axial sensor is designated by 1. Its signals are fed via an amplifier 2 to a control device, which is generally designated 3. The output current signals of the control device 3 are amplified (amplifier 4) and fed to the deflection coil 5. Only one deflection coil 5 is shown. In practice, two or more deflection coils are usually present. In practice, two or more deflection coils are usually present.
  • control takes place in such a way that the axial sensor 1 generates signals the size of which corresponds to the deviation of the rotor from its desired position.
  • the currents flowing from the amplifier 4 into the deflection coil 5 cause the rotor to return to its desired position.
  • a "current to zero" controller is present, which is part of the control device 3.
  • the control device 3 is designed so that the steps according to the invention are carried out.
  • FIG. 2 shows a circuit diagram with an example of the design of the control device 3.
  • the signal emitted by the amplifier 2 is also fed to a so-called sample & hold element (block-dotted block 6, input 21) which is provided by the resistors 7, 8, the capacitor 9, the operational amplifier 10 and the field effect transistor 11 is formed.
  • a sample and hold element has the property that its output accepts and holds the voltage value of an input signal, here with inverse polarity.
  • the output 12 of the sample and hold element 6 is connected to an adder 13.
  • the adder 13 is connected to the amplifier 2 and a voltage transmitter 14. The sum signal is fed to a controller 15.
  • Logic 16 is also provided to control the sequence of the commissioning method according to the invention.
  • the logic 16 is supplied with signals via the line 17 which correspond to the currents flowing from the amplifier 4 to the deflection coil 5.
  • the logic 16 is also connected via the control lines 18, IS and 20 to the field effect transistor 11, the voltage generator 14 and the amplifier 4, so that an automatic control of these components is possible.
  • the line 22 is provided with the resistor 23, which the The commissioning of a magnetically levitated machine equipped with this circuit takes place as follows: after switching on, the transistor 11 is initially conductive. The transistor 11 then forms, together with the amplifier 10, the resistors 7, 8 and the capacitor 9, the sample & hold element 6.
  • the transistor 11 is then blocked, so that changes in the signal from the sensor 1 amplified in the amplifier 2 are no longer canceled, and at the same time the amplifier 4 is released via the line 20 and the adder 13 (and thus the controller 15) from the voltage generator 14 a voltage value supplied with a certain polarity, which corresponds to half a stroke of the rotor. Since it is not known at which of its two axial stops the stationary rotor rests, this voltage value can be correct or incorrect. This question is checked on the basis of voltage or current changes in the area of the axial active controlled system.
  • the logic 16 is connected to the output of the amplifier 4 via the line 17. After the feeding of the half stroke of the rotor corresponding Span ⁇ voltage value to the controller 15, the rotor either in Rich ⁇ tung its desired position move is' may or may not. If he cannot assume the desired target position, after the amplifier 4 is released by the logic 16, the current flowing to the deflection coil 5 will increase due to the axial active control without the rotor moving. If the logic 16 registers via line 17 that a set limit value has been exceeded, the experiment is stopped because it is now clear that the voltage supplied by the voltage generator 14 had the wrong polarity. The logic 16 will then reverse the voltage transmitter 14 such that it inverts its output.
  • the rotor will catch and assume approximately its desired position. Since the transistor 11 is blocked at the same time as the amplifier 4 is released, the amplifier 10, together with the capacitor 9 and the resistor 23, takes on the function of an integrator, ie the function of a “current-to-zero” control .
  • the current flowing to the deflection coil 5 is therefore regulated to zero in the long term. This regulation is able to compensate for any remaining deviations of the rotor from its target position, which for example does not correspond exactly to half the stroke when the rotor shaft is not horizontal.
  • the accuracy of the voltage supplied by the voltage generator 14 ⁇ value is detected from the current flowing from the amplifier 4 to the deflection coil. 5
  • Another possibility is, for example, to observe the signal supplied by the axial sensor - before or after amplification.
  • a line 24 connecting the output of the sensor 1 to the logic 16 is shown in dashed lines. If the voltage value supplied by the voltage transmitter is incorrect, the sensor signal will not change significantly since the rotor cannot move. If the voltage value supplied by the voltage sensor is correct, the rotor will catch. This will also change the signal of the axial sensor, so that the correctness of the voltage supplied by the voltage sensor can be seen from this change.
  • the entire control device 3, including the automatic offset adjustment, can also be implemented with a digital regulating and control unit.
  • the control of the capture attempts is then generally realized with the help of a program.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

The invention relates to a process for starting a machine fitted with a rotor on magnetic bearings and a circuit for implementing said process; in order to automate this process, the procedure is such that the fact that an axial stop bears on the rotor at rest and the correct position of the rotor when running -- its unstable equilibrium -- is about half a possible total travel of the rotor away from the momentary rotor stop position is used as information in order to apply electric power to the deflection coil in such a way that the rotor assumes its correct position virtually independently of the offset and that initially one of the two possible rotor stop positions is assumed to be given and an attempt is made to stabilise the rotor at about half of the possible total travel of the rotor from the assumed rotor stop position.

Description

Verfahren zur Inbetriebnahme einer mit einem magnetgelagerten Rotor ausgerüsteten Maschine sowie Schaltung zur Durchführung dieses Verfahrens.Process for commissioning a machine equipped with a magnetically mounted rotor and circuit for carrying out this process.
Die. Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Inbetriebnahme einer mit einem magnetgelagerten Rotor ausgerüsteten Maschine nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine für die Durchführung dieses Inbetriebnah¬ me-Verfahrens geeigneten Schaltung.The. The invention relates to a method for starting up a machine equipped with a magnetically mounted rotor according to the preamble of claim 1. Furthermore, the invention relates to a circuit suitable for carrying out this start-up method.
Die DE-PS 34 09 047 offenbart eine Magnetlagerzelle mit Perma¬ nentmagneten, die den Rotor in radialer Richtung stabil und in axialer Richtung labil lagern. Zusätzlich sind ein Axialsensor, ein Regler und zwei Ablenkspulen vorgesehen, welche den Rotor während des Betriebs der Maschine in seiner in axialer Richtung labilen Gleichgewichtslage halten. Dazu werden die Ablenkspulen mit Strömen versorgt, deren Stärke von der Abweichung des Rotors von seiner labilen Gleichgewichtslage abhängt.DE-PS 34 09 047 discloses a magnetic bearing cell with permanent magnets, which support the rotor stably in the radial direction and unstably in the axial direction. In addition, an axial sensor, a controller and two deflection coils are provided which keep the rotor in its equilibrium position which is unstable in the axial direction during operation of the machine. For this purpose, the deflection coils are supplied with currents, the strength of which depends on the deviation of the rotor from its unstable equilibrium position.
Magnetlagerungen dieser Art sind in der Praxis für die Lagerung des Rotors von Turbomolekularvakuumpumpen eingesetzt worden. Sie sind dabei zusätzlich mit einer Regeleinrichtung ausgerüstet worden, die einen automatischen Ausgleich der in den Ablenkspulen fließenden Ströme derart bewirkt, daß der Strom in der labilen Gleichgewichtslage des Rotors den Wert null hat ("Strom-auf-Null"- Regler). Außerdem ist ein Potentiometer vorgesehen, mit dem die Soll-Lage des Rotors vorgegeben wird, um Toleranzen der Pumpe und ihres Wandlers (Steuerung, Stromversorgung usw.) innerhalb der Magnetlagerregelung ausgleich zu können.Magnetic bearings of this type have been used in practice for mounting the rotor of turbomolecular vacuum pumps. They are also equipped with a control device which causes an automatic compensation of the currents flowing in the deflection coils in such a way that the current has the value zero in the unstable equilibrium position of the rotor ("current-to-zero" regulator). In addition, a potentiometer is provided with which the target position of the rotor is specified in order to be able to compensate for tolerances of the pump and its converter (control, power supply, etc.) within the magnetic bearing control.
Zu den Toleranzen der Pumpe gehören vor allem der relativ große Offsetfehler des Axialsensors sowie von der Einbaulage der Pumpe abhängige Sollagen des Rotors. Da der Bereich, den der "Strom¬ auf-null" -Regler ausregeln kann, begrenzt ist, muß das Abgleich¬ potentiometer nach jedem neuen Einbau des System neu eingestellt werden. Selbst nach einem Wechsel des Verbindungskabels zwischen Pumpe und Wandler muß häufig ein neuer Abgleich manuell vorge¬ nommen werden, da der Offsetfehler des Axialsensors auch von der Länge des Anschlußkabels abhängt. Üblicherweise muß der manuelle Abgleich der Toleranzen der Pumpe zunächst im Prüffeld des Herstellers erfolgen. Nach der Installation der Pumpe beim Kunden ist bereits ein erneuter Abgleich erforderlich, dsgl. später bei Veränderungen der Installation und Unregelmäßigkeiten innerhalb der Lagerung. Da der Kunde in der Regel den manuellen Abgleich der Magnetlagerungen nicht selbst vornehmen kann, ist der mit der Installation und dem Betrieb der Pumpen verbundene Wartungsauf¬ wand sehr hoch.The tolerances of the pump include, above all, the relatively large offset error of the axial sensor and the target positions of the rotor, which are dependent on the installation position of the pump. Since the range that the "current to zero" controller can regulate is limited, the balancing potentiometer must be reset after each new installation of the system. Even after changing the connecting cable between the pump and the converter, a new adjustment often has to be carried out manually, since the offset error of the axial sensor also depends on the length of the connecting cable. Usually, the pump tolerances must first be manually adjusted in the manufacturer's test field. After installation of the pump at the customer, a new adjustment is already necessary. later in the event of changes to the installation and irregularities within the storage. Since the customer cannot usually carry out the manual adjustment of the magnetic bearings himself, the maintenance effort associated with the installation and operation of the pumps is very high.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art sowie eine für die Durch¬ führung dieses Verfahrens geeignete Schaltung zu schaffen, bei denen eine von Hand erforderliche Abgleichprozedur entfallen kann.The object of the present invention is to create a method of the type mentioned at the outset and a circuit suitable for carrying out this method, in which a manual adjustment procedure can be omitted.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Maßnahmen der Patentansprüche gelöst.According to the invention, this object is achieved by the characterizing measures of the claims.
Bei dem erfindungsgemäßen, in besonders vorteilhafter Weise ohne manuellen Eingriff ablaufenden Abgleich wird die Tatsache, daß der ruhende Rotor an einen axialen Anschlag anliegt, als erste Information genutzt. Die Sollage des in Betrieb befindlichen Rotors - seine labile Gleichgewichtslage - liegt um etwa den halben möglichen Gesamthub des Rotors von der momentanen Rotor- Anschlagslage entfernt. Da jedoch zwei axiale Anschläge existie¬ ren und da nicht bekannt ist, welche Anschlagsläge der ruhende Rotor eingenommen hat, wird zunächst eine der beiden Rotor-An¬ schlagslagen als gegeben angenommen. Zur Inbetriebnahme wird zunächst das mit einem Offsetfehler behaftete Signal des Axial¬ sensors durch ein gleich großes Signal mit inverser Polarität kompensiert. Danach liefert der Spannungsgeber einen dem halben Hub entsprechenden Spannungswert mit einer bestimmten Polarität. Hat der Spannungswert die falsche Polarität, wird beispielsweise der den Ablenkspulen zugeführte Strom ansteigen, weil der Rotor seine Gleichgewichtslage nicht annehmen kann. Überschreitet dieser Strom einen maximalen Grenzwert, so wird dieser Versuch abgebrochen. Vom Spannungsgeber wird danach ein dem halben 'Rotorhub entsprechender Spannungswert umgekehrter Polarität geliefert. Dieser Spannungswert bewirkt ein Abheben des Rotors von seiner Anschlagslage, so-daß die mit dem Rotor ausgerüstete Maschine in Betrieb gesetzt werden kann.In the adjustment according to the invention, which proceeds in a particularly advantageous manner without manual intervention, the fact that the stationary rotor rests on an axial stop becomes the first Information used. The target position of the rotor in operation - its unstable equilibrium position - is about half the possible total stroke of the rotor from the current rotor stop position. However, since two axial stops exist and it is not known which stop positions the stationary rotor has assumed, one of the two rotor stop positions is initially assumed to be the case. For commissioning, the signal of the axial sensor, which has an offset error, is initially compensated by an equally large signal with inverse polarity. The voltage transmitter then supplies a voltage value corresponding to half the stroke with a specific polarity. If the voltage value has the wrong polarity, the current supplied to the deflection coils will rise, for example, because the rotor cannot assume its equilibrium position. If this current exceeds a maximum limit, this attempt is stopped. Thereafter, a half 'Rotorhub voltage value corresponding to the reversed polarity is supplied from the voltage generator. This voltage value causes the rotor to lift from its stop position so that the machine equipped with the rotor can be started up.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand der Figuren 1 und 2 erläutert werden. Es zeigenFurther advantages and details of the invention will be explained with reference to FIGS. 1 and 2. Show it
- Fig 1 ein stark vereinfachtes Blockschaltbild und- Fig. 1 is a highly simplified block diagram and
- Fig 2 ein Blockschaltbild mit einem Schaltbeispiel für die- Fig. 2 is a block diagram with a circuit example for the
Regeleinrichtung.Control device.
Bei dem in der Figur dargestellten Blockschaltbild für eine Schaltung, mit der das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann, ist der Axialsensor mit 1 bezeichnet. Seine Signale werden über einen Verstärker 2 einer Regeleinrichtung zugeführt, die allgemein mit 3 bezeichnet ist. Die Ausgangs-Strom-Signale der Regeleinrichtung 3 werden verstärkt (Verstärker 4 ) und der Ablenkspule 5 zugeführt. Nur eine Ablenkspule 5 ist dargestellt. In der Praxis sind meist zwei oder mehrere Ablenkspulen vorhan¬ den. In der Praxis sind meist zwei oder mehrere Ablenkspulen vorhan¬ den.In the block diagram shown in the figure for a circuit with which the method according to the invention can be carried out, the axial sensor is designated by 1. Its signals are fed via an amplifier 2 to a control device, which is generally designated 3. The output current signals of the control device 3 are amplified (amplifier 4) and fed to the deflection coil 5. Only one deflection coil 5 is shown. In practice, two or more deflection coils are usually present. In practice, two or more deflection coils are usually present.
In dieser an sich bekannten Axial-Aktivregelstrecke erfolgt die Regelung in der Weise, daß der Axialsensor 1 Signale erzeugt, deren Größe der Abweichung des Rotors von seiner Sollage ent¬ spricht. Die vom Verstärker 4 in die Ablenkspule 5 fließenden Ströme bewirken, daß der Rotor in seine Sollage zurückkehrt. Wie weiter unten noch erläutert wird, soll dann, wenn der Rotor seine labile Gleichgewichtslage eingenommen hat, der durch die Ablenk¬ spule 5 fließende Strom gleich null sein. Dazu ist ein "Strom¬ auf-Null" -Regler vorhanden, der Bestandteil der Regeleinrichtung 3 ist. Außerdem ist die Regeleinrichtung 3 so ausgebildet, daß die erfindungsgemäßen Schritte ausgeführt werden.In this axial active controlled system, which is known per se, control takes place in such a way that the axial sensor 1 generates signals the size of which corresponds to the deviation of the rotor from its desired position. The currents flowing from the amplifier 4 into the deflection coil 5 cause the rotor to return to its desired position. As will be explained further below, when the rotor has reached its unstable equilibrium position, the current flowing through the deflection coil 5 should be zero. For this purpose, a "current to zero" controller is present, which is part of the control device 3. In addition, the control device 3 is designed so that the steps according to the invention are carried out.
Figur 2 zeigt ein Schaltbild mit einem Beispiel für die Ausbil¬ dung der Regeleinrichtung 3. Bei dieser Schaltung wird das vom Verstärker 2 abgegebene Signal außerdem noch einem sogenannten Sample & Hold-Glied (strichpunktierter Block 6, Eingang 21) zugeführt, das von den Widerständen 7, 8, dem Kondensator 9, dem Operationsverstärker 10 und dem Feldeffekt-Transistor 11 gebildet wird. Ein Sample & Hold-Glied hat die Eigenschaft, daß sein Ausgang den Spannungswert eines Eingangssignaleε, hier mit inverser Polarität, annimmt und hält. Der Ausgang 12 des Sample & Hold-Gliedes 6 ist mit einer Addierstufe 13 verbunden. Außerdem steht die Addierstufe 13 mit dem Verstärker 2 und einem Span¬ nungsgeber 14 in Verbindung. Das Summensignal wird einem Regler 15 zugeführt.FIG. 2 shows a circuit diagram with an example of the design of the control device 3. With this circuit, the signal emitted by the amplifier 2 is also fed to a so-called sample & hold element (block-dotted block 6, input 21) which is provided by the resistors 7, 8, the capacitor 9, the operational amplifier 10 and the field effect transistor 11 is formed. A sample and hold element has the property that its output accepts and holds the voltage value of an input signal, here with inverse polarity. The output 12 of the sample and hold element 6 is connected to an adder 13. In addition, the adder 13 is connected to the amplifier 2 and a voltage transmitter 14. The sum signal is fed to a controller 15.
Zur Steuerung des Ablaufs des erfindungsgemäßen Inbetriebnahme- Verfahrens ist außerdem noch eine Logik 16 vorgesehen. Über die Leitung 17 werden der Logik 16 Signale zugeführt, die den vom Verstärker 4 zur Ablenkspule 5 fließenden Strömen entsprechen. Die Logik 16 steht außerdem über die Steuerleitungen 18, IS und 20 mit dem Feldeffekt-Transistor 11, dem Spannungsgeber 14 und dem Verstärker 4 in Verbindung, so daß eine automatisch ablau¬ fende Steuerung dieser Bauteile möglich ist. Schließlich ist noch die Leitung 22 mit dem Widerstand 23 vorgesehen, welche die Die Inbetriebnahme einer mit dieser Schaltung ausgerüsteten magnetgelagerten Maschine läuft folgendermaßen ab: Nach dem Einschalten ist der Transistor 11 zunächst leitend. Der Transi¬ stor 11 bildet dann zusammen mit dem Verstärker 10, den Wider¬ ständen 7, 8 und dem Kondensator 9 das Sample & Hold-Glied 6. Da der Eingang 21 dieses Gliedes 6 mit dem Ausgang des Verstärkers 2 verbunden ist, liefert sein Ausgang 12 einen Spannungswert gleicher Größe mit inverser Polarität. Das mit einem mehr oder weniger großen Fehler behaftete, im Verstärker 2 verstärkte Signal des Sensors 1 wird also zunächst durch das der Addierstufe 3 zugeführte Sample & Hold-Glied-Signal aufgehoben.Logic 16 is also provided to control the sequence of the commissioning method according to the invention. The logic 16 is supplied with signals via the line 17 which correspond to the currents flowing from the amplifier 4 to the deflection coil 5. The logic 16 is also connected via the control lines 18, IS and 20 to the field effect transistor 11, the voltage generator 14 and the amplifier 4, so that an automatic control of these components is possible. Finally, the line 22 is provided with the resistor 23, which the The commissioning of a magnetically levitated machine equipped with this circuit takes place as follows: after switching on, the transistor 11 is initially conductive. The transistor 11 then forms, together with the amplifier 10, the resistors 7, 8 and the capacitor 9, the sample & hold element 6. Since the input 21 of this element 6 is connected to the output of the amplifier 2, its supply is provided Output 12 a voltage value of the same size with inverse polarity. The signal from sensor 1, which has a more or less large error and is amplified in amplifier 2, is thus initially canceled by the sample and hold element signal supplied to adder 3.
Anschließend wird der Transistor 11 gesperrt, so daß Änderungen des im Verstärker 2 verstärkten Signals des Sensors 1 nicht mehr aufgehoben werden, und gleichzeitig der Verstärker 4 über die Leitung 20 freigegeben sowie der Addierstufe 13 (und damit dem Regler 15) vom Spannungsgeber 14 ein Spannungswert mit einer bestimmten Polarität zugeführt, der einem halben Hub des Rotors entspricht. Da nicht bekannt ist, an welchem seiner beiden axialen Anschläge der ruhende Rotor anliegt, kann dieser Span¬ nungswert richtig oder falsch sein. Die Überprüfung dieser Frage erfolgt anhand von Spannungs- oder Stromänderungen im Bereich der Axial-Aktivregelstrecke.The transistor 11 is then blocked, so that changes in the signal from the sensor 1 amplified in the amplifier 2 are no longer canceled, and at the same time the amplifier 4 is released via the line 20 and the adder 13 (and thus the controller 15) from the voltage generator 14 a voltage value supplied with a certain polarity, which corresponds to half a stroke of the rotor. Since it is not known at which of its two axial stops the stationary rotor rests, this voltage value can be correct or incorrect. This question is checked on the basis of voltage or current changes in the area of the axial active controlled system.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Logik 16 mit dem Ausgang des Verstärkers 4 über die Leitung 17 verbunden. Nach der Zuführung des einem halben Hub des Rotors entsprechenden Span¬ nungswertes zum Regler 15 wird sich der Rotor entweder in Rich¬ tung seiner Soll-Lage bewegen' können oder nicht. Kann er die gewünschte Soll-Lage nicht annehmen, wird nach der Freigabe des Verstärkers 4 durch die Logik 16 aufgrund der Axial-Aktivregelung der zur Ablenkspule 5 fließende Strom zunehmen, ohne daß sich der Rotor bewegt. Registriert die Logik 16 über die Leitung 17 das Überschreiten eines eingestellten Grenzwertes, wird der Versuch abgebrochen, da jetzt eindeutig ist, daß die vom Spannungsgeber 14 gelieferte Spannung die falsche Polarität hatte. Die Logik 16 wird danach den Spannungsgeber 14 derart umsteuern, daß dieser seinen Ausgang invertiert. Aufgrund dieser nun richtigen Spannung wird sich der Rotor bei einer erneuten Freigabe des Verstärkers 4 fangen und etwa seine gewünschte Soll-Lage einnehmen. Da gleich¬ zeitig mit der Freigabe des Verstärkers 4 der Transistor 11 gesperrt wird, übernimmt der Verstärker 10 zusammen mit dem Kondensator 9 und dem Widerstand 23 die Funktion eines Inte¬ grierers, d.h., die Funktion einer "Strom-auf-Null"-Regelung. Der zur Ablenkspule 5 fließende Strom wird deshalb längerfristig auf Null geregelt. Diese Regelung ist in der Lage, eventuell noch vorhandene Abweichungen des Rotors von seiner Sollage, die beispielsweise bei nicht horizontaler Rotorwelle nicht genau dem halben Hub entspricht, auszugleichen.In the exemplary embodiment shown, the logic 16 is connected to the output of the amplifier 4 via the line 17. After the feeding of the half stroke of the rotor corresponding Span¬ voltage value to the controller 15, the rotor either in Rich¬ tung its desired position move is' may or may not. If he cannot assume the desired target position, after the amplifier 4 is released by the logic 16, the current flowing to the deflection coil 5 will increase due to the axial active control without the rotor moving. If the logic 16 registers via line 17 that a set limit value has been exceeded, the experiment is stopped because it is now clear that the voltage supplied by the voltage generator 14 had the wrong polarity. The logic 16 will then reverse the voltage transmitter 14 such that it inverts its output. Because of this right tension now when the amplifier 4 is released again, the rotor will catch and assume approximately its desired position. Since the transistor 11 is blocked at the same time as the amplifier 4 is released, the amplifier 10, together with the capacitor 9 and the resistor 23, takes on the function of an integrator, ie the function of a “current-to-zero” control . The current flowing to the deflection coil 5 is therefore regulated to zero in the long term. This regulation is able to compensate for any remaining deviations of the rotor from its target position, which for example does not correspond exactly to half the stroke when the rotor shaft is not horizontal.
Bei dem dargeεtellen und beschriebenen Ausführungsbeispiel wird die Richtigkeit des vom Spannungsgeber 14 gelieferten Spannungs- wertes anhand des Stromes erkannt, der vom Verstärker 4 zur Ablenkspule 5 fließt. Eine andere Möglichkeit besteht beispiels¬ weise darin, das vom Axial-Sensor - vor oder nach Verstärkung - gelieferte Signal zu beobachten. Eine den Ausgang des Sensors 1 mit der Logik 16 verbindende Leitung 24 ist gestrichelt darge¬ stellt. Ist der vom Spannungsgeber gelieferte Spannungswert falsch, wird sich, da sich der Rotor nicht bewegen kann, das Sensorsignal nicht bedeutend verändern. Ist der vom Spannungsge¬ ber gelieferte Spannungswert richtig, wird sich der Rotor fangen. Damit wird sich auch das Signal des Axialsensors ändern, so daß auch an dieser Änderung die Richtigkeit der vom Spannungsgeber gelieferten Spannung erkennbar ist.In the dargeεtellen and described embodiment, the accuracy of the voltage supplied by the voltage generator 14 value is detected from the current flowing from the amplifier 4 to the deflection coil. 5 Another possibility is, for example, to observe the signal supplied by the axial sensor - before or after amplification. A line 24 connecting the output of the sensor 1 to the logic 16 is shown in dashed lines. If the voltage value supplied by the voltage transmitter is incorrect, the sensor signal will not change significantly since the rotor cannot move. If the voltage value supplied by the voltage sensor is correct, the rotor will catch. This will also change the signal of the axial sensor, so that the correctness of the voltage supplied by the voltage sensor can be seen from this change.
Die gesamte Regeleinrichtung 3, inclusive des automatischen Offsetabgleichs, läßt sich auch mit einer digitalen Regel- und Steuereinheit realisieren. Die Steuerung der Einfangversuche wird dann i.a. mit Hilfe eines Programms realisiert. The entire control device 3, including the automatic offset adjustment, can also be implemented with a digital regulating and control unit. The control of the capture attempts is then generally realized with the help of a program.

Claims

PATENTANSPRÜCHE PATENT CLAIMS
1. Verfahren zur Inbetriebnahme einer mit einem magnetgela¬ gerten Rotor ausgerüsteten Maschine, deren Magnetlagerung folgende Merkmale aufweist:1. Method for starting up a machine equipped with a magnet-bearing rotor, the magnetic bearing of which has the following features:
Permanentmagneten, die eine in radialer Richtung stabile und in axialer Richtung labile Lagerung des Rotors bewirken;Permanent magnets, which bring about a stable mounting in the radial direction and unstable in the axial direction of the rotor;
einen Axialsensor (1), einen Regler (3, 15) und mindestens eine Ablenkspule (5), welche den Rotor während des Betriebs der Maschine etwa in seiner in axialer Richtung labilen Gleichgewichtslage halten, indem die Ablenkspule (5) mit Strömen versorgt wird, die von der Abweichung des Rotors von seiner labilen Gleichgewichtslage abhängen (Axial-Aktivre- gelstrecke) ;an axial sensor (1), a controller (3, 15) and at least one deflection coil (5), which hold the rotor approximately in its axially unstable equilibrium position during operation of the machine by supplying the deflection coil (5) with currents, which depend on the deviation of the rotor from its unstable equilibrium position (active axial control system);
eine Regeleinrichtung (9, 10, 11), die einen automatischen Ausgleich der in der Ablenkspule (5) fließenden Ströme derart bewirkt, daß der Strom in der labilen Gleichge¬ wichtslage des Rotors den Wert Null hat ("Strom-auf-Null" -Regelung) ,a control device (9, 10, 11) which automatically compensates the currents flowing in the deflection coil (5) such that the current in the unstable equilibrium position of the rotor has the value zero ("current-to-zero" - Regulation) ,
- Mittel zu einem für die Inbetriebnahme der Maschine notwen¬ digen Abgleich von Offsetfehlern des Magnetlagersystems, insbesondere des Axialsensors dadurch gekennzeichnet, daß der Abgleich von Offsetfehlern automatisiert ist, -indem die Tatsache, daß der ruhende Rotor an einem axialen Anschlag anliegt und die Sollage des in Betrieb befindlichen Rotors - seine labile Gleichgewichts¬ lage - somit um etwa den halben möglichen Gesamthub des Rotors von der momentanen Rotor-Anschlagsläge entfernt liegt, als Information genutzt wird, um die Ablenkspule derart zu versorgen, daß der Rotor etwa seine Sollage nahezu unabhängig vom Offset einnimmt, und daß zunächst einer der beiden möglichen Rotor-Anschlagslagen als gegeben angenommen und versucht wird, den Rotor um etwa den halben möglichen Gesamthub des Rotors von der angenommenen Rotor-Anschlags- läge entfernt zu stabilisieren.- Means for an adjustment of offset errors of the magnetic bearing system, in particular of the axial sensor, necessary for the start-up of the machine characterized in that the adjustment of offset errors is automated, - by the fact that the stationary rotor rests on an axial stop and the target position of the rotor in operation - its unstable equilibrium position - thus by about half the possible total stroke of the rotor of the current rotor stop position is distant, as information is used to supply the deflection coil in such a way that the rotor assumes its nominal position almost independently of the offset, and that one of the two possible rotor stop positions is assumed and attempted as given Stabilize the rotor by about half the possible total stroke of the rotor away from the assumed rotor stop position.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Falle, daß man die nicht zutreffende Rotor-Anschlagsläge als gegeben angenommen hatte, anschließend die andere Rotor-Anschlagslage als gegeben annimmt und versucht, den Rotor um etwa den halben möglichen Gesamthub des Rotors von der jetzt angenommenen Rotor-Anschlagsläge entfernt zu stabilisiere .2. The method according to claim 1, characterized in that in the event that the rotor stop position not applicable had been assumed as given, then the other rotor stop position is assumed as given and attempts to the rotor by about half the possible total stroke of the rotor stabilize away from the now adopted rotor stop position.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Prüfung der Richtigkeit der als gegeben angenommenen Rotor-Anschlagsläge der in die Ablenkspule (5) fließende Strom registriert wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the current flowing into the deflection coil (5) is registered to check the correctness of the rotor stop positions assumed as given.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Prüfung der Richtigkeit der als gegeben angenommenen Rotor-Anschlagsläge das vom Axialsensor (1) abgegebene Signal verwendet wird.4. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the signal emitted by the axial sensor (1) is used to check the correctness of the rotor stop positions assumed to be given.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Regeleinrichtung (3) inclusive der Steuer¬ einheit für den automatischen Abgleich von Offsetfehlern mit Hilfe einer digitalen Regel- und Steuereinheit realisiert wird. 5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized gekenn¬ characterized in that the control device (3) including the Steuer¬ unit for the automatic adjustment of offset errors is realized with the aid of a digital control and regulation unit.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß mittels einer Steuerung (16) die folgenden Maßnahmen veranlaßt werden:6. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized gekenn¬ characterized in that the following measures are initiated by means of a controller (16):
dem Regler (15) werden bei ruhendem, an einem seiner beiden möglichen axialen Anschläge anliegenden Rotor das mit Offsetfehlern behaftete Signal des Axialsensors (1) und ein gleich großes, dazu inverses Signal zugeführt;When the rotor is at rest and is in contact with one of its two possible axial stops, the controller (15) is supplied with the signal from the axial sensor (1), which is subject to offset errors, and an equally large, inverse signal;
danach wird dem Regler (15) ein Spannungssignal von einem Spannungsgeber (14) zugeführt, dessen Größe und Richtung unter der Annahme, daß der Rotor an einem bestimmten (ersten) Anschlag anliegt, derart gewählt ist, daß der Rotor um etwa die halbe Strecke des Abstandes zwischen seinen Anschlägen vom ersten Anschlag entfernt wird,Thereafter, the controller (15) is supplied with a voltage signal from a voltage generator (14), the size and direction of which is selected on the assumption that the rotor abuts a specific (first) stop such that the rotor is moved by approximately half the distance Distance between its stops from the first stop,
anhand eines Spannungs- oder Stromverlaufs an einem Bauteil der Axial-Aktivregelstrecke wird geprüft, ob die angenommene Rotor-Anschlagslage richtig oder falsch war,Using a voltage or current profile on a component of the axial active controlled system, it is checked whether the assumed rotor stop position was correct or incorrect,
bei falsch angenommener Anschlagslage wird dem Regler (15) vom Spannungsgeber (14) ein inverses Signal zugeführt und danach die "Strom-auf-Null-"Regelung gestartet,if the stop position is incorrectly assumed, the regulator (15) is supplied with an inverse signal by the voltage transmitter (14) and then the "current-to-zero" control is started,
bei richtig angenommener Anschlagslage wird der Rotor seine ungefähre Soll-Lage annehmen und die "Strom-auf-Null"- Regelung (9, 10, 11) gestartet.If the stop position is correctly assumed, the rotor will assume its approximate target position and the "current-to-zero" control (9, 10, 11) will start.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Prüfung der Richtigkeit des vom Spannungsgeber (14) abgege¬ benen Spannungswertes der in die Ablenkspule (5) fließende Strom registriert wird.7. The method according to claim 6, characterized in that the current flowing into the deflection coil (5) is registered to check the correctness of the voltage value given by the voltage transmitter (14).
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Prüfung der Richtigkeit des vom Spannungsgeber (14) abgegebenen Spannungswertes das vom Axialsensor (1) abgege¬ bene Signal verwendet wird.8. The method according to claim 6, characterized in that for checking the accuracy of the voltage generator (14) emitted voltage value, the signal emitted by the axial sensor (1) is used.
9. Schaltung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, 6, 7 oder 8 mit einer axialen Aktivrege¬ lung (1, 2, 3) und einer "Strom-auf-Null"-Regelung (9, 10, 23), dadurch gekennzeichnet, daß sie mit einem Schaltkreis (6) zur Erzeugung eines zum Signal des Axialsensors (1) invertierten Signals ausgerüstet ist.9. Circuit for performing the method according to one of claims 1 to 4, 6, 7 or 8 with an axial Aktivrege¬ treatment (1, 2, 3) and a "current-to-zero" control (9, 10, 23rd ), characterized in that it is equipped with a circuit (6) for generating a signal inverted to the signal of the axial sensor (1).
10. Schaltung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Schaltkreis (6) ein Sample _• Hold-Glied ist.10. A circuit according to claim 9, characterized in that the circuit (6) is a sample _ • hold element.
11. Schaltung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Operationsverstärker (10) des Sample & Hold-Gliedes (6) nach dem Sperren des Transistors (11) Bestandteil der "Strom- auf-Null" -Regelung ist. 11. The circuit according to claim 10, characterized in that the operational amplifier (10) of the sample and hold element (6) after the blocking of the transistor (11) is part of the "current-to-zero" control.
PCT/EP1992/000298 1991-05-04 1992-02-12 Process for starting a machine fitted with a rotor on magnetic bearings and circuit for implementing the process WO1992019877A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEP4114566.6 1991-05-04
DE19914114566 DE4114566C2 (en) 1991-05-04 1991-05-04 Process for commissioning a machine equipped with a magnetically mounted rotor and circuit for carrying out this process

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1992019877A1 true WO1992019877A1 (en) 1992-11-12

Family

ID=6430962

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP1992/000298 WO1992019877A1 (en) 1991-05-04 1992-02-12 Process for starting a machine fitted with a rotor on magnetic bearings and circuit for implementing the process

Country Status (4)

Country Link
CN (1) CN1066493A (en)
DE (1) DE4114566C2 (en)
TW (1) TW287250B (en)
WO (1) WO1992019877A1 (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4427154A1 (en) * 1994-08-01 1996-02-08 Balzers Pfeiffer Gmbh Friction pump with magnetic bearings
EP1036951B1 (en) * 1997-12-02 2009-02-25 Ebara Corporation Magnetic bearing device and turbo-molecular pump device
JP2001074049A (en) 1999-09-07 2001-03-23 Ebara Corp Magnetic bearing system
DE102005032184A1 (en) * 2005-07-09 2007-01-18 Saurer Gmbh & Co. Kg Method for operating an electric motor drive
DE102007028935B4 (en) * 2007-06-22 2018-12-27 Saurer Spinning Solutions Gmbh & Co. Kg Method and device for starting an electric machine with a magnetically mounted rotor
CN105202023B (en) * 2014-05-26 2017-10-10 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 Magnetic levitation bearing system and its control method and device
CN105317837B (en) * 2014-06-24 2017-10-10 致扬科技股份有限公司 Magnetic suspension bearing system and its control circuit
DE102015016055A1 (en) * 2015-12-11 2017-06-14 Saurer Germany Gmbh & Co. Kg Electric drive and open-end spinning device with the electric drive
CN110345082B (en) * 2019-07-11 2024-04-05 浙江理工大学 Impeller timing sequence angle and span adjustable two-stage centrifugal pump device and method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0155624A1 (en) * 1984-03-13 1985-09-25 Forschungszentrum Jülich Gmbh Magnetic bearing with a three-axle stabilisation
JPH02286910A (en) * 1989-04-27 1990-11-27 Toshiba Corp Magnetic bearing device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2417797A1 (en) * 1978-02-20 1979-09-14 Europ Propulsion GRAIN COMPENSATION DEVICE OF A CURRENT FEEDBACK SLAVE CIRCUIT
DE3130974A1 (en) * 1981-08-05 1983-02-24 Teldix Gmbh, 6900 Heidelberg Magnetic bearing
DE3204750C2 (en) * 1982-02-11 1984-04-26 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Magnetically mounted turbo molecular pump
DE3420371C2 (en) * 1984-01-02 1993-10-07 Bosch Gmbh Robert Arrangement for starting a synchronous motor
DE3723466A1 (en) * 1987-07-16 1989-01-26 Barry Controls Gmbh ADJUSTMENT DEVICE FOR CORRECTING THE POSITION OF A MACHINE
SU1613724A1 (en) * 1988-12-20 1990-12-15 Московский энергетический институт Method of controlling radial magnetic bearings of rotor
DE4029633A1 (en) * 1989-10-06 1991-04-11 Bosch Gmbh Robert TRAVEL MEASURING SYSTEM

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0155624A1 (en) * 1984-03-13 1985-09-25 Forschungszentrum Jülich Gmbh Magnetic bearing with a three-axle stabilisation
JPH02286910A (en) * 1989-04-27 1990-11-27 Toshiba Corp Magnetic bearing device

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS Bd. 37, Nr. 1, Februar 1990, NEW YORK (US) Seiten 19 - 27; WILLIAMS ET AL: 'Digital Control of Active Magnetic Bearings' *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 015, no. 057 (M-1080)12. Februar 1991 & JP,A,2 286 910 ( TOSHIBA ) 27. November 1990 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 13, no. 289 (M-845)(3637) 5. Juli 1989 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE4114566A1 (en) 1993-01-21
DE4114566C2 (en) 1999-07-08
CN1066493A (en) 1992-11-25
TW287250B (en) 1996-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0132487B1 (en) Process for controlling at least two turbo compressors mounted in parallel
EP0845084A1 (en) Radial active magnetic bearing device and process for operating it
DE4114566C2 (en) Process for commissioning a machine equipped with a magnetically mounted rotor and circuit for carrying out this process
DE1673566A1 (en) Method and device for setting several selected parameters of a controller for industrial process sequences
WO1997007340A1 (en) Magnetic bearing and process for operating it
DE2856572A1 (en) MAGNETIC STORAGE EQUIPMENT
DE2905583A1 (en) DEVICE FOR COMPENSATING THE REINFORCEMENT OF A CIRCUIT ARRANGEMENT WITH A CURRENT COUNTER-LOOP
DE3015135C2 (en)
DE3230873C2 (en)
EP2003342A2 (en) Method for operating an assembly with vacuum pump and assembly with a vacuum pump
DE3130099A1 (en) DEVICE FOR ELECTRICALLY REGULATING THE SPEED OF A MOTOR VEHICLE
DE3037780A1 (en) METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING THE OPERATION OF A TAP STEAM TURBINE
EP1593006A2 (en) Non-redundant safety monitoring for an electric drive mechanism (with a sensor)
DE2166021A1 (en) ELECTRONIC PROXIMITY SWITCH
DE3879051T2 (en) CONTROL CIRCUIT FOR IGNITION.
DE102009039485A1 (en) Control system and method for controlling a magnetic bearing
DE2215015B2 (en) Voltage regulator
DE9419788U1 (en) Fan or pump speed control
DE3139557C2 (en) Control device for stopping the shaft of a DC motor in a preselected position
DE1448686C3 (en) Device for correcting the cardan error of an electrical course signal
EP0407654A2 (en) Indicator device and method of determining the absolute position of a pointer in the same
DE102015109095A1 (en) Current output stage for providing a regulated output current
CH267203A (en) Electrical control device.
DE3148944A1 (en) Device for supporting a body magnetically
DE3105572A1 (en) CONTROL ARRANGEMENT

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR RU US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU MC NL SE

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
EX32 Extension under rule 32 effected after completion of technical preparation for international publication

Ref country code: UA

LE32 Later election for international application filed prior to expiration of 19th month from priority date or according to rule 32.2 (b)

Ref country code: UA

LE32 Later election for international application filed prior to expiration of 19th month from priority date or according to rule 32.2 (b)

Ref country code: UA

122 Ep: pct application non-entry in european phase