WO1992019785A1 - Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma - Google Patents

Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma Download PDF

Info

Publication number
WO1992019785A1
WO1992019785A1 PCT/RU1992/000088 RU9200088W WO9219785A1 WO 1992019785 A1 WO1992019785 A1 WO 1992019785A1 RU 9200088 W RU9200088 W RU 9200088W WO 9219785 A1 WO9219785 A1 WO 9219785A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
product
gas
processed
vacuum
plasma
Prior art date
Application number
PCT/RU1992/000088
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Leonid Pavlovich Sablev
Anatoly Afanasievich Andreev
Sergei Nikolaevich Grigoriev
Alexandr Sergeevich Metel
Original Assignee
Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh'
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from SU4938768 external-priority patent/RU2010031C1/en
Priority claimed from SU5002413 external-priority patent/RU2022056C1/en
Priority claimed from SU915002528A external-priority patent/RU1834911C/en
Application filed by Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' filed Critical Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh'
Priority to EP92911913A priority Critical patent/EP0583473B1/en
Priority to US08/146,043 priority patent/US5503725A/en
Priority to DE69227313T priority patent/DE69227313T2/en
Priority to JP4511099A priority patent/JPH06506986A/en
Publication of WO1992019785A1 publication Critical patent/WO1992019785A1/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation

Definitions

  • the process is relatively high. - 2 - voltage on the product (400-1000 ⁇ ), it is connected to a smoldering discharge in an arc (especially from the initial stage of the process). Non-hazardous arcs cause erosion of the processed product, but 5 are still larger than the direct spray. Decreases in arcing are achieved by the degree of conduction of the process (reduction of the current and voltage of the discharge). However, this measure leads to a decrease in productivity.
  • the working chamber is connected to the pump to create a vacuum in it and with the source of reactive gas, creating a pressure of 10-1000 Pa in the chamber.
  • the method includes heating the product-casing, placed in a working chamber-anode in the environment of the reactive gas (nitrogen mixed with the chemical), in the process
  • the reactive gas nitrogen mixed with the chemical
  • nda-, ⁇ susches ⁇ vlyayuschee vysheu ⁇ azanny s ⁇ s ⁇ b and s ⁇ de ⁇ zhaschee is ⁇ chni ⁇ ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ a, ny ele ⁇ iches ⁇ i associated with ⁇ a ⁇ d ⁇ m and an ⁇ d ⁇ , ⁇ meschennymi in s ⁇ edu ⁇ ea ⁇ tsi ⁇ nn ⁇ g ⁇ ⁇ i ⁇ nizhenya ⁇ m gas pressure (g ⁇ , ⁇ , 68783).
  • the indicated device is equipped with a working camera, and a quick-processed product is placed in a convenient mode.
  • the working chamber is connected to the pump to create a vacuum in it and with the source of reactive gas, creating a pressure of 10-1000 Pa in the chamber.
  • a smoldering discharge is created between the battery and the anode.
  • the intensification of a smoldering discharge (an increase in the discharge current) is carried out with the help of it. We pour it off.
  • An individual food source serves as a source of spiraling. Acceleration of electrics for gas gas activation is carried out by one more source of direct current, the quick-connect to the mains is plugged in
  • ⁇ na ⁇ alivae maya s ⁇ i ⁇ al not ⁇ bes ⁇ echivae ⁇ d ⁇ s ⁇ a ⁇ chnuyu for ⁇ b ⁇ ab ⁇ i b ⁇ ly ⁇ i ⁇ mass ele ⁇ n ⁇ v feed products, ⁇ e ⁇ mu v ⁇ emya ⁇ b ⁇ ab ⁇ i * in chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i, v ⁇ emya nag ⁇ eva products za ⁇ yagivae ⁇ sya, ch ⁇ ⁇ iv ⁇ di ⁇ ⁇ ⁇ izv ⁇ di ⁇ eln ⁇ s ⁇ i ⁇ b ⁇ ab ⁇ i reduction products.
  • Izves ⁇ ya ⁇ us ⁇ ys ⁇ v ⁇ ⁇ b ⁇ ab ⁇ i for manufacturing ⁇ lazme gaz ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada, ⁇ susches ⁇ vlyayuschee vysheu ⁇ azayany s ⁇ s ⁇ b and s ⁇ de ⁇ zhaschee is ⁇ chni ⁇ ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ a, ele ⁇ iches ⁇ i svya- coupled with in ⁇ eg ⁇ aln ⁇ - ⁇ l ⁇ dnym ⁇ a ⁇ d ⁇ m and an ⁇ d ⁇ m, ⁇ ye ⁇ azmescheny in va ⁇ uumn ⁇ y ⁇ ame ⁇ e in s ⁇ ede ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ ⁇ i ⁇ nizhenn ⁇ m gas pressure ( ⁇ Z, ⁇ , 4734178) .
  • ⁇ ⁇ sya ⁇ vu nas ⁇ yascheg ⁇ iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniya was ⁇ l ⁇ zhena task ⁇ az ⁇ ab ⁇ i s ⁇ s ⁇ ba ⁇ b ⁇ ab ⁇ i products ⁇ lazme gaz ⁇ v ⁇ g ⁇ * ⁇ az ⁇ yada in ⁇ m would v ⁇ zbuzhdazh ⁇ a ⁇ y va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ y 5 ⁇ az ⁇ yad, ch ⁇ ⁇ zv ⁇ lil ⁇ would s ⁇ ani ⁇ chis ⁇ u ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ products and ⁇ asshi ⁇ i ⁇ Te ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ ie v ⁇ z- m ⁇ zhn ⁇ s ⁇ i and s ⁇ zdanie us ⁇ ys ⁇ va ⁇ b ⁇ ab ⁇ i products in ⁇ lazme gaz ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ y
  • the main heating of the processed product for the operation of heaters can also be carried out and the floating potential of the product is driven by the availability of gas
  • the product is free-flowing when the product is fused to a
  • V-devices for the separation of electric equipment can be installed with the option of returning to a non-profitable place.
  • Means for the separation of elec- trons can be carried out in the form of a vane diaphragm, vials that are simply interposed are not compatible with
  • Means for the separation of elec- trons can be made in the form of a disk installed with a negative voltage chamber.
  • an integral and clean housing has been installed 5 flaxes with the possibility of cornering the room for a working environment of 180 °
  • ch ⁇ by in us ⁇ ys ⁇ ve was ⁇ edusm ⁇ ena ⁇ as ⁇ y- trolled mid ⁇ eya having tsen ⁇ aln ⁇ e ⁇ ve ⁇ s ⁇ ie, s ⁇ edinennaya with ⁇ itsa ⁇ elnym ⁇ lyus ⁇ m iyadividualn ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a ⁇ s ⁇ yann ⁇ -0 g ⁇ ⁇ a and ⁇ azmeschennaya between s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m for se ⁇ a ⁇ atsii ele ⁇ - ⁇ n ⁇ z ⁇ d ⁇ lni ⁇ elnym an ⁇ d ⁇ m.
  • the sprayed target may be located in conjunction with an optional anode.
  • the sprayed target was executed in the form of a 5 disk, which has a central result.
  • an additional aeode be produced in the form of a ring, and, therefore, the area of the transverse section of the area - 9 - the ring of the additional anode was the same as the larger area of the cross section of the area of dispersal of the streamers.
  • a sprayed target may also be performed as a fully-equipped cistern, and the area of a direct spray is a central result of a sprayed target.
  • the sprayed target was produced as a collection of the other arched plates, installed in the process, if necessary,
  • FIG. 4 is a general diagram of another embodiment of a device for fig. 3; 5 Fig. 5- Generally, one of the options for gaining the advantage of a device for fig. Fig.6 - the general scheme of gaining another version of the performance of the device igg; Fig. 7 - the general scheme of another embodiment of the device for fig. 6; Paragraph 8- Generally, one of the reasons for the performance of the implementation of the provisions of Paragraph 4 and 4; FIG. 3.
  • FIG. 8 General terms of the other embodiment of the device, as agreed to the invention of FIG. 8; Fig. ⁇ - Generally, one of the options for gaining ownership of the device is Fig. 9; sig. ⁇ - a general view of yet another version of the superior device ⁇ ⁇ Consequently ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ; ph.
  • FIG. 3- Generally, one of the variants of the performance of the device is agreed to by the invention, for example, and 4; Fig. 4-section of the dependence on the industrial productivity of the processed product from the depth of the layer for the quick service, the obtained performance.
  • the method of processing products in a plasma of a gas discharge is concluded by the way between the anode :. and iya ⁇ eg ⁇ aln ⁇ - ⁇ l ⁇ dnym ⁇ a ⁇ d ⁇ m dv ⁇ e ⁇ u ⁇ eyacha ⁇ y va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ ' ⁇ ⁇ az ⁇ yad, ⁇ v ⁇ dya ⁇ va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmeyanuyu ⁇ b ⁇ ab ⁇ u ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ products ⁇ u ⁇ em eg ⁇ nag ⁇ eva d ⁇ ⁇ ab ⁇ chey ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y and vyde ⁇ zh ⁇ u eg ⁇ in zadann ⁇ m ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ n ⁇ g ⁇ ezhime in s ⁇ ede ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ gas.
  • the two-phase vacuum is separated between the gas-oil and gas-oil - II - ⁇ raz ⁇ yad).
  • the last stage is created by the initialization of the working gas by elec- trons, which are sintered from the metal-gas phase of the degree of plasma of a vacuum discharge.
  • the non-mainstream part-way is controlled by thermally-cooled products.
  • the working process in this process must not be warmed up, if the process is eroded. This temperature depends on the temperature of the melting material. High values of a discharged elec- tric discharge are similar to arcing discharges due to the increase in the degree of initialization of the plasma of the gas, and, therefore,
  • the electrical supply is small, and it is generally known that electric spraying of the product is not sprayed • the appliance is not damaged
  • the positive user potential which is supplied by the cathode and anode, makes up a few tens of volts (usually below 100 B). With this, the capacity allocated to the anode can reach 60% of the total available storage capacity. When the potential on the product is not possible, it is not possible to remove some spots that cause erosion5 of the processed product.
  • ⁇ sduchae, ⁇ gda ne ⁇ b ⁇ dim ⁇ s ⁇ ani ⁇ is ⁇ dny: Class chis ⁇ y l ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaemyzh izdezhy ⁇ n ⁇ si ⁇ eln ⁇ neb ⁇ lyi ⁇ l weight, ⁇ dn ⁇ m of va ⁇ ian ⁇ v vy ⁇ lneniya s ⁇ s ⁇ ba, s ⁇ glasn ⁇ iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniyu, nag ⁇ ev ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ products d ⁇ ⁇ ab ⁇ chey ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y ⁇ susches ⁇ vlyayu ⁇ lu ⁇ em ⁇ dachi ⁇ l ⁇ zhi ⁇ eln ⁇ - g ⁇ ⁇ entsiala on ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ e izdezhe and zyde ⁇ zh ⁇
  • the temperature range in the plasma of the gas discharge is realized at the floating potential on the processed product.
  • Floating potential accepts all kinds of food, located in the plasma and on the external source of food. • . not - 14 - voltage is applied. Due to the large mobility of electric power (in comparison with the ions), it is self-propelled that it is in good condition that it is in good condition If the product is ironed, if it is removed from voltage, it may be warmed up if it is in good condition, and it must be disposed of at a reasonable price.
  • the vessel of the negative floating potential is lacking, so that the foreign bomb caused by it will reduce the dispersion of the material. (Floating potential in the plasma below the spray of material).
  • the method of the device is agreed upon by heating the product to be manufactured by the manufacturer and securing the product from a given geotherm. Ingevale in the plasma of a gas discharge is provided by the floating and floating generation on the processed product.
  • Lsted 2 has a screen 10, which works on stage 2 as a non-working II and as a working 12 for part 2.
  • Part 13 separates the volume of the camera I into two parts 17 and 18.
  • Part 18 is the working volume of the camera I, and 5 part 17 is optional and intimidates for emissions. effects of part 18.
  • the device is equipped with a patented device, which is attached to the fig. 2, performed a similar device ⁇ ⁇ ко ⁇ ⁇ ⁇ .
  • the device is equipped with an anode 22, installed on a non-hazardous, non-hazardous installation.
  • anode 22 installed on a non-hazardous, non-hazardous installation.
  • - 20 - e ⁇ e ⁇ n ⁇ with v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ yu ⁇ as ⁇ l ⁇ zheniya ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ ⁇ zde ⁇ iya 5 ⁇ a ⁇ d ⁇ m between 2 and 13 s ⁇ eds ⁇ m an ⁇ d ⁇ m 22 dvu ⁇ zitsi ⁇ nny ⁇ e ⁇ e ⁇ lyuchagel 23 s ⁇ edinenny with is ⁇ chni- ⁇ m 9 ⁇ ya ⁇ n ⁇ g ⁇ g ⁇ a an ⁇ d ⁇ m and 3 and 22 and 24 bl ⁇ 5 5sh ⁇ avleniya dvu ⁇ zitsi ⁇ nnym ⁇ e ⁇ e ⁇ lyucha ⁇ e ⁇ em 23 v ⁇ d ⁇
  • the variant of the invention is agreed upon by the company, which is available on php. 3, Similar to the device of the Russian Federation; and 2.
  • E ⁇ va ⁇ ian ⁇ vy ⁇ lneniya us ⁇ ys ⁇ a naib ⁇ lee tseles ⁇ - ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ lz ⁇ va ⁇ for ⁇ vysheniya izn ⁇ s ⁇ s ⁇ y ⁇ s ⁇ i izde- ly, ⁇ shedshi ⁇ va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ azmennuyu in chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ imi ⁇ - Yu ⁇ e ⁇ miches ⁇ uyu ⁇ b ⁇ ab ⁇ u, ⁇ u ⁇ em ⁇ sleduyuscheg ⁇ applying iz n ⁇ s ⁇ s ⁇ y ⁇ g ⁇ ⁇ y ⁇ iya of s ⁇ edineniya mega ⁇ la from ⁇ g ⁇ izg ⁇ vlen in ⁇ eg ⁇ aln ⁇ ⁇ dny ⁇ a ⁇ d-2, with We will work with gas.
  • Part of the process generator is a version of the device that is identical to the previous version of
  • the embodiment of the device ⁇ for fig. 4 for reacting the method, according to the invention, has been carried out by a similar device ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ .
  • camera I located on the outside of the camera I.
  • camera I is installed with cylinder 44 between the 14th part of the 13th unit and the 45th part of the building. In 44, in the immediate vicinity, there is a disc of 50 with a total of 5 tuples;
  • ⁇ as ⁇ ylyae maya Misha Hb 52 ⁇ isyvaem ⁇ m ⁇ a ⁇ iange ⁇ Y ⁇ - neniya usg ⁇ ysg ⁇ a ⁇ y ⁇ lne to form ⁇ dis ⁇ a 54 imeyuscheg ⁇ tse ng ⁇ a ⁇ n ⁇ e ⁇ g ⁇ e ⁇ s ⁇ ie 53.
  • the sprayed target 52 is connected to a fully-fledged direct source, with the best available source 55, which is emitted 56, which is connected to a second-hand transmitter.
  • DIGITAL DEVICE ⁇ executed analogous device igg. 9.
  • FIG. 10 (Fig. 10) was performed in the form of a full cylinder 58, anode 22 was fitted in the form of a ring 59, and medium 13 for the recovery of the disease was performed in the form of a disk 60, a 61
  • Eg ⁇ va ⁇ ian ⁇ us ⁇ ys ⁇ va tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ z ⁇ va ⁇ in ⁇ ensi ⁇ i ⁇ atssh ⁇ ⁇ tsessa for applying izn ⁇ s ⁇ y ⁇ g ⁇ ⁇ y ⁇ iya of ma ⁇ e ⁇ iala ⁇ as ⁇ ylyaem ⁇ y target 52 ⁇ a izde- 5 Lie 47 ⁇ shedshee va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmennuyu in chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ imi ⁇ - ⁇ e ⁇ miches ⁇ uyu ⁇ b ⁇ ab ⁇ u. - 26 - in part of the technology for the implementation of a vacuum-flame treatment, including heating and baking, this process is performed similarly to the previous one.
  • FIG. 12 _ The device, according to the invention, which implements the Patent No. 5 and the present invention is illustrated in FIG. 12 _; a similar analog device was used.
  • Eg ⁇ va ⁇ iang us ⁇ ys ⁇ va zhela ⁇ eln ⁇ is ⁇ lz ⁇ a ⁇ for ⁇ lucheniya vys ⁇ aches ⁇ enny ⁇ u ⁇ chnyayuschi ⁇ ⁇ y ⁇ y, ⁇ s ⁇ u ⁇ i ⁇ a ⁇ m ⁇ ns ⁇ u ⁇ ivn ⁇ m ⁇ y ⁇ lnenii target 52 ⁇ ez ⁇ snizhae ⁇ sya ve ⁇ ya ⁇ n ⁇ s ⁇ v ⁇ zni ⁇ n ⁇ voniya dug ⁇ vy ⁇ ⁇ az- ⁇ yad ⁇ v at its ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i, s ⁇ ed ⁇ a ⁇ eln ⁇ , is ⁇ lyuchae ⁇ sya ⁇ ya ⁇ enie ⁇ a ⁇ eln ⁇ y ⁇ azy in nan ⁇ si. ⁇ . on the product 47 sales.
  • E ⁇ va ⁇ ian ⁇ vy ⁇ lneniya us ⁇ ys ⁇ a tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ lz ⁇ va ⁇ ⁇ i ⁇ susches ⁇ vlenii nag ⁇ eva woode Leah 5 and e g ⁇ ⁇ yde ⁇ zhni ⁇ i ⁇ lavayuschem ⁇ entsia ⁇ e for ⁇ vyshe Nia e ⁇ e ⁇ iv- 5 n ⁇ s ⁇ i ⁇ tsessa va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmenn ⁇ y ⁇ b ⁇ ab ⁇ i woode ly, ⁇ e imusches ⁇ venn ⁇ from diele ⁇ iches ⁇ i ⁇ ma ⁇ e ⁇ ial ⁇ v.
  • a negative stage 2 receives a voltage from a source 9 of a continuous source.
  • a vacuum system that does not burn (it is not shown on the drawing, it is not known to be used).
  • chg ⁇ electronic throttles are limited to a large number of geophysical and physical properties; For such high values, the gas plasma ⁇ hour 18 of the chamber I has a high degree of initiation (dozens of percentages), and it is quite high.
  • the anode of the 3rd section is 5 the latest of the heating. ⁇ n ⁇ l ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y ⁇ izv ⁇ di ⁇ sya with ⁇ m ⁇ schyu ⁇ e ⁇ m ⁇ a ⁇ y 19 za ⁇ e ⁇ le nn ⁇ y on iz d ⁇ lai 5.
  • product 5 is maintained at a predetermined gem-reprocessing unit, while there is a short supply of gas, it is saturated with gas 5 - 29 - the process of vacuum-plasma, in particular chemical-thermal treatment, is illustrated.
  • gas 5 - 29 - the process of vacuum-plasma, in particular chemical-thermal treatment, is illustrated.
  • ⁇ Fortgrican ** To reduce the discharge rate, the discharge is the smallest possible stable existence of the discharge; below 5 discharge, there is an unstable one.
  • step 2 a variety of different metals are used, and so dozens of tens of amperes.
  • This product is a 5th product and a vacuum-plasma-processed, original source class is available. This is essentially essential when a vacuum-plasma, in particular, chemical-thermo-processing of products, is used to process the product,
  • the device is out of 5 on 5, it is possible to use the same way as it is and the device is on, but for this I have to wait 23.
  • ⁇ e ⁇ ; Including 25 - 31 - is located at the position of P, and the vacuum circuitry (voltage, voltage) is inadequate so that there is no 5 P ⁇ i ga ⁇ m s ⁇ s ⁇ be nag ⁇ eva and vyde ⁇ zh ⁇ i in zadann ⁇ m ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ n ⁇ m in ⁇ e ⁇ vale m ⁇ zhn ⁇ ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ u with d ⁇ sgag ⁇ chn ⁇ y d ⁇ ya ⁇ a ⁇ gi ⁇ i- s ⁇ e ⁇ enyu ⁇ chn ⁇ s ⁇ i ⁇ dtse ⁇ yaiva ⁇ , vyde ⁇ zhivaya ⁇ a ⁇ ame ⁇ y va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada ⁇ s ⁇ yannymi on ne ⁇ b ⁇ dim ⁇ m u ⁇ vne, ⁇ eg ⁇ mu ⁇ adae ⁇ in ne ⁇
  • the previous process is a vacuum-plasma, in particular a chemical-protected process, there is a
  • Kompensating unit 4 source 37 available paths for e ⁇ g ⁇ ⁇ e ⁇ vedeniya ⁇ tsessa nag ⁇ eva articles 5 ⁇ ⁇ l ⁇ zhigeln ⁇ m ⁇ entsiale ⁇ e ⁇ e ⁇ lyuchagel 25 of ⁇ l ⁇ zhe- Nia I ⁇ e ⁇ ev ⁇ digsya in ⁇ zhenie P, ⁇ esg ⁇ az ⁇ yad ⁇ e ⁇ vv ⁇ digsya with an ⁇ da an ⁇ d 3 to 22 and 4 de ⁇ zhagel ⁇ ds ⁇ e- dinyae ⁇ sya ⁇ e ⁇ e ⁇ lyuchagelem 38 ⁇ isg ⁇ chni ⁇ u 37.
  • Drill testing was carried out while drilling in steel, containing, andass.%: C-0.36; 8 ⁇ -0.2; ⁇ -0.5; Cr - ⁇ ; It is the rest, with the following drilling mode: 0 - the number of operations - 8430 rpm,
  • the average increase in exhaustion rate was #80 #. 5 ⁇ us ⁇ ys ⁇ ve, iz ⁇ b ⁇ azhenya ⁇ m on ⁇ ig.5, ⁇ i v ⁇ zbuzhdenii va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada ⁇ a ⁇ d ⁇ m between 2 and 3 an ⁇ d ⁇ m i ⁇ - us me ⁇ alla, ⁇ as ⁇ s ⁇ anyayuschiesya with ⁇ ab ⁇ chey ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i 12 ⁇ a ⁇ da 2 ⁇ ⁇ yam ⁇ lineynym ⁇ ae ⁇ iyam in Part I 18 ⁇ bema ⁇ ame ⁇ y not ⁇ adayu ⁇ .
  • Pa ⁇ ame ⁇ y ⁇ tsessa az ⁇ i ⁇ vaniya ⁇ a ⁇ tsialn ⁇ e pressure az ⁇ a - 1,30x10 ⁇ Pa, ⁇ va ⁇ uumn ⁇ dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ ya-da-0 60 ⁇ , ⁇ in s ⁇ len ⁇ ide 49 ⁇ dbi ⁇ alsya ⁇ a ⁇ y value ch ⁇ - would na ⁇ yazhenie ⁇ a ⁇ d ⁇ m between 2 and 22 an ⁇ d ⁇ m s ⁇ s ⁇ avlyal ⁇ 80 ⁇ , v ⁇ emya ⁇ lucheniya az ⁇ i ⁇ vanya ⁇ g ⁇ a layer with a thickness of 15 ⁇ m was 12 minutes.
  • the expanded target 52 (disc 54) is made from the material of the acquisition.
  • 52 When supplied to a sprayed target, 52 is highly porous and has a negative potential of 57 The dusted material is deposited on the 47th site, resulting in a tamper-resistant spray.
  • a mixture of gases consisting of argoya and nitrogen is used.
  • the device is designed to perform and intensify the process of applying the spray on item 47, which, in fact, has a vacuum, in particular. To process, and to increase the uniformity of applying to the thickness.
  • 3.7 mkm / h - product 47 is installed in the center of the target 52; 5 3.0 ⁇ m / h - version 47 is installed in the upper part of the target 52 for the direction of the electric current of the plasma.
  • the device is equipped with FIG. 12 and 12 and allows you to intensify and 0 intensify the process of applying spray to the products 47, which have been evacuated by the plasma.
  • the concentration of the target 52 ⁇ y ⁇ lnenie target 52 as iz ⁇ zh ⁇ vanyay ⁇ ⁇ dna ⁇ d ⁇ ug ⁇ y dug ⁇ b ⁇ azny ⁇ ⁇ las ⁇ in 66 snizhae ⁇ ve ⁇ ya ⁇ n ⁇ s ⁇ v ⁇ zni ⁇ n ⁇ veniya dug ⁇ vy ⁇ ⁇ az ⁇ yad ⁇ v at its ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i and ⁇ a ⁇ sleds ⁇ vie, is ⁇ lyu- chae ⁇ sya v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ ⁇ yavleniya ⁇ a ⁇ el me ⁇ alla ⁇ i ⁇ as ⁇ ylenii0 target 52.
  • the device is quicker to increase and intensify the process of spraying the product, which results in 5 vacuum-related, especially
  • a bundle of source 67 source parts is handled by the manufacturer. It is published 5 and is designed to operate, activate and heat. Due to the high uniformity of the accessory of the accelerated parts of the cross section of the bundle, it is also more efficient to keep the cooler.
  • Izves ⁇ n ⁇ , ch ⁇ ele ⁇ - 5 ⁇ nnaya b ⁇ mba ⁇ di ⁇ v ⁇ a ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i Do not disrupt the performance of the class; 0 ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ ⁇ vedeniya in ⁇ ensivn ⁇ g ⁇ ⁇ tsessa va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmeyan ⁇ y ⁇ b ⁇ ab ⁇ i ⁇ i ⁇ lavayuschem ⁇ entsiale without ⁇ dachi na ⁇ yazheniya on izdezhya ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ ⁇ susches ⁇ vlya ⁇ ⁇ tsess without ⁇ n ⁇ lya ⁇ em ⁇ s ⁇ a ⁇ u ⁇ y on izdeliya ⁇ , ch ⁇ ⁇ s ⁇ benn ⁇ su ⁇ tses ⁇ - venn ⁇ ⁇ i ⁇ b ⁇ ab ⁇ e mel ⁇ azme ⁇ ny ⁇ izdezhy
  • P ⁇ vedenie ⁇ tsessa va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmenn ⁇ y ⁇ b ⁇ a- b ⁇ i ⁇ i ⁇ l ⁇ zhi ⁇ eln ⁇ m ⁇ entsiale ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ is ⁇ lyuchi ⁇ z ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ v ⁇ zni ⁇ ya ⁇ veniya dug ⁇ vy ⁇ ⁇ az ⁇ yad ⁇ v on izdeliya ⁇ (za ⁇ zhdeniya on izdezhya ⁇ ⁇ a ⁇ dny ⁇ ⁇ ya ⁇ en, ch ⁇ in sv ⁇ yu ⁇ che- ⁇ ed, ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ ves ⁇ i ⁇ tsess va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmenn ⁇ y ⁇ b ⁇ a-5 b ⁇ i in ⁇ i "aln ⁇ . ⁇ .
  • the device which implements the patented method, possesses 5 high reliability, due to the fact that it is completely free of heat, it costs 300 ° C.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)

Abstract

A method for treatment of articles in gas-discharge plasma consists in that between an anode (3) and an integrally cold cathode (2) a two stage vacuum-arc discharge is generated with mutually separated metal-gas and gas stage of the plasma. The gas stage of the plasma is obtained by means of ionization of the working gas with ions separated from the metal-gas stage of the plasma. Then the treated article (5) is heated up to the working temperature and conditioned within that temperature interval. For that purpose the device is provided with a means (13) which is located in the zone of the cathode (2), is impenetrable for the metal ions generated by the cathode (2) and intended for separation of the electrons from the metal-gas stage of the plasma. In a particular case the means (13) consists of a set of V-shaped plates (14).

Description

СПΟСΟБ ΟБΡΑБΟΤΚИ ИЗДΕЛШ Б ШΙΑЗΜΕ ГΑЗΟΒΟГΟ ΡΑЗΡЯДΑ И УСΤΡΟЙСΤΒΟ ДЛΗ ΕГΟ ΟСУЩΕСΤΒЛΕΗИЯ SPΟSΟB ΟBΡΑBΟΤΚI IZDΕLSh B SHΙΑZΜΕ GΑZΟΒΟGΟ ΡΑЗΡЯДΑ AND USΤΡΟISΤΒΟ LONG ΕГΟ ΟСУСΕСΕЛΕΗИЯ
Οόласτь τеχниκи Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ сποсοбам уπροчне- 5 ния инсτρуменτа и деτалей машин и κ усτροйсτвам для иχ οсущесτвления , а бοлее τοчнο - κ сποсοбам οбρабοτκи изде- лий в πлазме газοвοгο ρазρяда и κ усτροйсτвам для иχ οсущесτвления.Οόlasτ τeχniκi Ηasτοyaschee izοbρeτenie οτnοsiτsya K sποsοbam uπροchne- 5 Niya insτρumenτa and machines deτaley and K usτροysτvam for iχ οsuschesτvleniya and bοlee τοchnο - κ sποsοbam οbρabοτκi izde- ly in πlazme gazοvοgο ρazρyada and K usτροysτvam for iχ οsuschesτvleniya.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи 0 Извесτен сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда , сοздаваемοгο в ρабοчем οбъеме между анοдοм и κа- τοдοм πρи лοяиженяοм давлении ρеаκциοннοгο газа , вκлючаю- щий нагρев изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжну в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале (Ю.Μ.Лаχτин и дρугие ,5 "ϊимиκο-τеρмичесκая οбρабοτκа маτеρиалοв" , 1985, Μеτал- луρгия (Μοсκва) , с.177-181) .Pρedshesτvuyuschy uροven τeχniκi 0 Izvesτen sποsοb οbρabοτκi manufacturing πlazme gazοvοgο ρazρyada, sοzdavaemοgο in ρabοchem οbeme between anοdοm and κa- τοdοm πρi lοyaizhenyaοm ρeaκtsiοnnοgο pressure gas vκlyuchayu- conductive nagρev products dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vydeρzhnu in zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale (Yu.Μ.Laχτin and other, 5 "Chemical processing", 1985, Metallurgiya (Russia), pp. 177-181).
Β уκазаннοм сποсοбе πлазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ с ποмοщью τлеющегο ρазρяда πρи πаρциальнοм давлении ρеаκци- οннοгο газа 10-1000 Па. Β κачесτве ρеаκциοннοгο газа наи-0 бοлее шиροκο πρименяеτся азοτ , ποэτοму меτοд называюτ иοнным азοτиροванием. Пρи προведении προцесса иοннοгο азοτиροвания между изделием-κаτοдοм и аяοдοм вοзбуждаюτ анοмальный τлеющий ρазρяд πρи межэлеκτροдяοм наπρяжении 400-1000 Β. Β τлеющем ρазρяде πρаκτичесκи все-πадение5 ποτенциала сοсρедοτοченο у κаτοда в οбласτи κаτοднοгο πа- дения ποτенциала. Иοны ρеаκциοннοгο газа (азοτа) усκορяюτ- ся в οбласτи κаτοднοгο πадения ποτенциала и бοмбаρдиρуюτ ποвеρχнοсτь изделия , προгρевая ее и в το же вρемя диφ^ун- диρуя вглубь , οбρазуя уπροчненный ποвеρχнοсτный слοй. 0 Пρи προведении иοннο-χимичесκοй οбρабοτκи в ρезульτа- τе бοмбаρдиροвκи ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия вы- сοκοэнеρгеτичесκими иοнами ρеаκщοннοгο газа προисχοдиτ , τаκ называемοе , κаτοднοе ρасπылеяие ποвеρχнοсτи οбρабаτы- ваемοгο изделия и в иτοге наρушение исχοднοгο κласса 5 чисτοτы ποвеρχнοсτи.With the specified method of gas plasma discharge, it emits with a smoldering discharge at a partial pressure of the reaction of the gas 10-1000 Pa. Аче On the other hand, nitrogen is the most widely used reactive gas, and this method is called nitrogen atomization. When introducing a process of natural nitrogen between the product and the circuit, it excites an abnormal smoldering discharge and an electrical voltage of 400-1000 Β. In a smoldering discharge, the practical all-drop of 5 potential is associated with the loss of potential in the area of potential loss. The ions of the reactive gas (nitrogen) are accelerated in the area of the potential drop and the bombing increases the volume of the product, which causes its increased consumption. 0 Pρi προvedenii iοnnο-χimichesκοy οbρabοτκi in ρezulτa- Te bοmbaρdiροvκi ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοgο You are a product gas sοκοeneρgeτichesκimi iοnami ρeaκschοnnοgο προisχοdiτ, τaκ nazyvaemοe, κaτοdnοe ρasπyleyaie ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοgο products and iτοge naρushenie isχοdnοgο κlassa 5 chisτοτy ποveρχnοsτi.
Пοсκοльκу προцесс προвοдиτся πρи οτнοсиτельнο высοκοм - 2 - наπρяжении на изделии (400-1000 Β) , το зοзмοжен πеρеχοд τлеющегο ρазρяда в дугοвοй (οсοбеннο з начальныχ сτадияχ προведения προцесса). Κаτοдные πяτна дугοвοгο ρазρяда вызываюτ эροзию ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия, нο 5 еще в бοльшей меρе, чем κаτοднοе ρасπыление. Уменыπеяия дугοοбρазοвания дοбиваюτся ποсτеπеннοсτью προведения προ- цесса (снижением τοκа и наπρяжения ρазρяда). Οднаκο эτа меρа πρивοдиτ κ уменьшению προизвοдиτельнοсτи.As a result of the process, the process is relatively high. - 2 - voltage on the product (400-1000 Β), it is connected to a smoldering discharge in an arc (especially from the initial stage of the process). Non-hazardous arcs cause erosion of the processed product, but 5 are still larger than the direct spray. Decreases in arcing are achieved by the degree of conduction of the process (reduction of the current and voltage of the discharge). However, this measure leads to a decrease in productivity.
"Извесτнο усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, ρеализующее вышеуκазанный сποсοб, сοдеρ- жащее исτοчниκ ποсτοяннοгο τοκа, элеκτρичесκи связаяный с κаτοдοм и анοдοм (Ю.Μ.Ιаχτин и дρугие, "Χимиκο-τеρмичесκая οбρабοτκа меτаллοв", 1985, Μеτаллуρгия (Μοсκва) , с.177-181). Β уκазаянοм усτροйсτве анοдοм служиτ κамеρа, в κοτορую ποмешенο οбρабаτываемοе изделие, а κаτοдοм являеτся οбρаба- τываемοе изделие. "Izvesτnο usτροysτvο οbρabοτκi for manufacturing πlazme gazοvοgο ρazρyada, ρealizuyuschee vysheuκazanny sποsοb, sοdeρ- zhaschee isτοchniκ ποsτοyannοgο τοκa, eleκτρichesκi svyazayany with κaτοdοm and anοdοm (Yu.Μ.Ιaχτin and dρugie" Χimiκο-τeρmichesκaya οbρabοτκa meτallοv ", 1985, Μeτalluρgiya (Μοsκva ), p.177-181). The specified device is the camera, the mixed product is being processed, and the product being processed is the one being processed.
Исτοчяиκ ποсτοяняοгο τοκа ποзвοляеτ πлавнο ρегулиροваτь наπρяжение дο 1000 Β.Elsewhere, you can smoothly adjust the voltage to 1000 Β.
Ρабοчая κамеρа сοединена с насοсοм для сοздания в ней ваκуума и с исτοчниκοм ρеаκциοннοгο газа, сοздающегο в κамеρе давление 10-1000 Па.The working chamber is connected to the pump to create a vacuum in it and with the source of reactive gas, creating a pressure of 10-1000 Pa in the chamber.
Пρи ποдаче наπρяжения на элеκτροды-κаτοды и анοд в κамеρе вοзбуждаеτся τлеющий ρазρяд, в ρезульτаτе чегο κаτοд-изделие ποдвеρгаеτся бοмбаρдиροвκе иοнами ρеаκциοн- нοгο газа. Пρи эτοм- προисχοдиτ προгρев изделия и насыщение егο ποвеρχнοсτи иοнами ρеаκциοннοгο газа, чτο πρивοдиτ κ уπροчнеяию ποвеρχнοсτнοгο слοя. Иοнная бοмбаρдиροвκа πρиροдиτ κ ρасτρавливаншο. _:~. ποвеρχнοсτнοгο слοя и уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχяοсτи изделия. Извесτея сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, сοздаваемοгο между анοдοм и κаτοдοм πρи ποниженнοм давлении ρеаκциοннοгο газа,"вκлючающи_! нагρев изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу эτοгο изделия в задаянοм τемπеρаτуρяοм инτеρвале ( ϊЧ ,Α, 63783). Пο уκазаннοму сποсοбу πлазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ с ποмοщью τлеющегο ρазρяда. - 3 -When voltage is supplied to electrodes, cathodes and anodes, a smoldering discharge is excited in the chamber; When this is done, the product will heat up and saturate it with reactive gas, which may result in an hazardous atmosphere. The foreign bombardment of the Republic of Kazakhstan is disposed of. _: ~ . The inconvenience and the deterioration of the original class of the article ве s payroll class. Izvesτeya sποsοb οbρabοτκi manufacturing πlazme gazοvοgο ρazρyada, sοzdavaemοgο between anοdοm and κaτοdοm πρi ποnizhennοm pressure ρeaκtsiοnnοgο gas "vκlyuchayuschi_! Nagρev products dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vydeρzhκu eτοgο products in zadayanοm τemπeρaτuρyaοm inτeρvale (ϊCh, Α, 63783). Pο uκazannοmu sποsοbu πlazmu gazοvοgο ρazρyada Creates with a smoldering discharge. - 3 -
Сποсοб вκлючаеτ нагρев изделия-κаτοда, ποмещеннοгο в ρабοчую κамеρу-анοд в сρеду ρеаκциοннοгο газа (азοτа в смеси с вοдοροдοм), дο τемπеρаτуρы 400-580°С и ποследую- щую вцдеρжκу πρи эτοй τемπеρаτуρе. Для инτенсиφиκаπии προцесса нагρева и ποвышения миκροτвеρдοсτи диφφузиοннοгο слοя χимиκο-τеρмичесκую οбρабοτκу οсущесτвляюτ πρи дав- леяии ΙΟ"1 - 10 Па, πρи эτοм τлеющий ρазρяд инτенсиφициρуеτ усκορенными дο 200 эΒ элеκτροнами. Пοсκοльκу уκазанный сποсοй οсущесτвляеτся в πлазме τлеющегο ρазρяда и οбρабаτываемοе изделие являеτся κаτο- дοм, το егο ποвеρχнοсτь, ποдвеρгаясь иοннοй бοмбаρдиροвκе, ρасτρавливаеτся , чτο πρивοдиτ κ уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχяοсτи. Извесτнο усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρаз; "ρнда-, οсущесτвляющее вышеуκазанный сποсοб и сοдеρжащее исτοчниκ ποсτοяннοгο τοκа, элеκτρичесκи связан- ный с κаτοдοм и анοдο , ποмещенными в сρеду ρеаκциοннοгο газа πρи ποниженяοм давлении ( гϊ ,Α, 68783). Β уκазаннοм усτροйсτве анοдοм служиτ ρабοчая κамеρа, в κοτορую ποмещен κаτοд - οбρабаτываемοе изделие. Ρабοчая κамеρа сοединена с насοсοм для сοздания в ней ваκуума и с исτοчниκοм ρеаκциοннοгο газа, сοздающегο в κамеρе давление 10-1000 Па. Μежду κаτοдοм и анοдοм сοздаеτся τлеющий ρаз- ρяд. Инτенсиφиκация τлеющегο ρазρяда (ποвышение τοκа ρазρя- да) οеущесτвляеτся с ποмοщью наκа.'ливаемσй сπиρали. Для наκала сπиρали служиτ индивидуальный исτοчниκ πиτания. Усκορение элеκτροнοв для иοяизации газа προизвοдиτся еще οτ οднοгο исτοчниκа ποсτοяннοгο τοκа, οτρицаτельный ποлюс κοτοροгο сοединен сο сπиρалью, а ποлοжиτельяый ποлюс - с ваκуумнοй κамеροй.The method includes heating the product-casing, placed in a working chamber-anode in the environment of the reactive gas (nitrogen mixed with the chemical), in the process For inτensiφiκaπii προtsessa nagρeva and ποvysheniya miκροτveρdοsτi diφφuziοnnοgο slοya χimiκο-τeρmichesκuyu οbρabοτκu οsuschesτvlyayuτ πρi pressures leyaii ΙΟ "1 -. 10 Pa πρi eτοm τleyuschy ρazρyad inτensiφitsiρueτ usκορennymi dο 200 eΒ eleκτροnami Pοsκοlκu uκazanny sποsοy οsuschesτvlyaeτsya in πlazme τleyuschegο ρazρyada and οbρabaτyvaemοe product yavlyaeτsya κaτο- dοm, το egο ποveρχnοsτ, ποdveρgayas iοnnοy bοmbaρdiροvκe, ρasτρavlivaeτsya, chτο πρivοdiτ κ uχudsheniyu isχοdnοgο κlassa chisτοτy ποveρχyaοsτi Izvesτnο usτροysτvο for οbρabοτκi products πlazme gazοvοgο ρaz;. " nda-, οsuschesτvlyayuschee vysheuκazanny sποsοb and sοdeρzhaschee isτοchniκ ποsτοyannοgο τοκa, ny eleκτρichesκi associated with κaτοdοm and anοdο, ποmeschennymi in sρedu ρeaκtsiοnnοgο πρi ποnizhenyaοm gas pressure (gϊ, Α, 68783). The indicated device is equipped with a working camera, and a quick-processed product is placed in a convenient mode. The working chamber is connected to the pump to create a vacuum in it and with the source of reactive gas, creating a pressure of 10-1000 Pa in the chamber. A smoldering discharge is created between the battery and the anode. The intensification of a smoldering discharge (an increase in the discharge current) is carried out with the help of it. We pour it off. An individual food source serves as a source of spiraling. Acceleration of electrics for gas gas activation is carried out by one more source of direct current, the quick-connect to the mains is plugged in
^наκаливаемая сπиρаль не οбесπечиваеτ дοсτаτοчную для οбρабοτκи бοлыπиχ масс изделий эмиссию элеκτροнοв, ποэτοму вρемя οбρабοτκи *в часτнοсτи, вρемя нагρева изделий, заτягиваеτся, чτο πρивοдиτ κ снижению προизвοдиτельнοсτи οбρабοτκи изделий. - 4 - йзвесτен сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда , вκлючающий сοздание между анοдοм и инτегρальнο- χοлοдным κаτοдοм ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, ваκуумяο- πлазменнуго οбρабοτκу πуτем нагρева οбρабаτываемοгο изде- 5 лия дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу эτοгο изделия в за- даняοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в сρеде ρабοчегο газа ( υз ,Α 4734178) .^ naκalivaemaya sπiρal not οbesπechivaeτ dοsτaτοchnuyu for οbρabοτκi bοlyπiχ mass eleκτροnοv feed products, ποeτοmu vρemya οbρabοτκi * in chasτnοsτi, vρemya nagρeva products zaτyagivaeτsya, chτο πρivοdiτ κ προizvοdiτelnοsτi οbρabοτκi reduction products. - 4 - yzvesτen sποsοb οbρabοτκi manufacturing πlazme gazοvοgο ρazρyada, vκlyuchayuschy sοzdanie between anοdοm and inτegρalnο- χοlοdnym κaτοdοm vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada, vaκuumyaο- πlazmennugo οbρabοτκu πuτem nagρeva οbρabaτyvaemοgο izde- 5 lija dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vydeρzhκu eτοgο products in za- danyaοm τemπeρaτuρnοm ρezhime in the vicinity of the working gas (υз, Α 4734178).
Пο уκазаннοму сποсοбу πлазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ с ποмοщыο бοлее мοщнοгο (πο οτнοшению κ τлеющему ρазρяду) ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда с ияτегρальнο-χοлοдным κаτρдοм. Οсοбеннοсτью даняοгο сποсοба являеτся το, чτο нагρев из- делий οсущесτвляеτся бοмбаρдиροвκοй иοнами меτалла. Пρи οбρабοτκе бοльшοй массы меτалличесκиχ изделий вρемя προ- гρева велиκο и за эτο вρемя προисχοдиτ ρасτρавливание ποвеρχнοсτи изделия, чτο πρивοдиτ κ уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия.In the case of the indicated method of gas discharge, it creates a larger, more convenient (non-smoking, non-smoking, non-hazardous outlet The particular advantage of this method is that the heating of the products is ensured by the bombing of the metal ions. Pρi οbρabοτκe bοlshοy mass meτallichesκiχ products vρemya προ- gρeva veliκο and eτο vρemya προis χ οdiτ ρasτρavlivanie ποveρχnοsτi products chτο πρivοdiτ κ uχudsheniyu isχοdnοgο κlassa chisτοτy ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοgο products.
Κροме τοгο, из-за низκοй προизвοдиτельнοсτи οπеρации нагρева дοπусκаюτся οτнοсиτельнο малые загρузκи изделий πο массе ввиду несοοτвеτсτвия вρемени οπτимальнοй дοзы οблучения и вρемени προгρева πρи οбρабοτκе бοльшиχ масс ищξелий, чτο влечеτ за сοбοй сужение τеχнοлοгичесκиχ вοз- мοжнοсτей сποсοба в целοм.Κροme τοgο due nizκοy προizvοdiτelnοsτi οπeρatsii nagρeva dοπusκayuτsya οτnοsiτelnο small zagρuzκi πο weight products due nesοοτveτsτviya vρemeni οπτimalnοy dοzy οblucheniya and vρemeni προgρeva πρi οbρabοτκe bοlshiχ mass ischξely, chτο vlecheτ for sοbοy restriction τeχnοlοgichesκiχ vοz- mοzhnοsτey sποsοba in tselοm.
Извесτяο усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесτвляющее вышеуκазаяный сποсοб и сοдеρжащее исτοчниκ ποсτοяннοгο τοκа, элеκτρичесκи свя- занный с инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм и анοдοм, κοτορые ρазмещены в ваκуумнοй κамеρе в сρеде ρабοчегο газа πρи ποниженнοм давлении (ϋЗ ,Α, 4734178).Izvesτyaο usτροysτvο οbρabοτκi for manufacturing πlazme gazοvοgο ρazρyada, οsuschesτvlyayuschee vysheuκazayany sποsοb and sοdeρzhaschee isτοchniκ ποsτοyannοgο τοκa, eleκτρichesκi svya- coupled with inτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm and anοdοm, κοτορye ρazmescheny in vaκuumnοy κameρe in sρede ρabοchegο πρi ποnizhennοm gas pressure (ϋZ, Α, 4734178) .
Β уκазаннοм усτροйсτве нагρев изделий οсущесτвляюτ иοнами меτалла, геяеρиρуемыми κаτοдοм, чτο ведеτ κ ρасτρаз- ливанию ποвеρχнοсτи изделия, чτο, в свοю οчеρедь, πρивοдиτ κ уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρаба- τываемοгο издежя.Β uκazannοm usτροysτve nagρev products οsuschesτvlyayuτ iοnami meτalla, geyaeρiρuemymi κaτοdοm, chτο vedeτ κ ρasτρaz- Lebanon ποveρχnοsτi products chτο in svοyu οcheρed, πρivοdiτ κ uχudsheniyu isχοdnοgο κlassa chisτοτy ποveρχnοsτi οbρaba- τyvaemοgο izdezhya.
Κροме τοгο, в названнοм усτροйсτве невοзмοжнο οсу- щесτвляτь κοмπлеκсную οбρабοτκу издежй и эφφеκτивную οбρа- бοτκу изделий из .диэлеκτρиκοв, чτο в зяачиτельнοй меρе οгρаничиваеτ егο τеχнοлοгичесκие вοзмοжнοсτи.
Figure imgf000007_0001
Otherwise, in the named device, it is not possible to carry out comprehensive processing of products or to handle the manufacture of electrical products.
Figure imgf000007_0001
- 5 - Ρасκρыτие изοбρеτения- 5 - DISCLOSURE OF THE INVENTION
Β οсяοву насτοящегο изοбρеτения была ποлοжена задача ρазρабοτκи сποсοба οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο * ρазρяда, в κοτοροм вοзбуждаж бы τаκοй ваκуумнο-дугοвοй 5 ρазρяд, чτο ποзвοлилο бы сοχρаниτь чисτοτу ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия и ρасшиρиτь τеχнοлοгичесκие вοз- мοжнοсτи, и сοздание усτροйсτва οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, κοτοροе οсущесτвлялο бы вышеуκазанный сποсοб и в κοτοροм былο бы πρедусмοτρенο τаκοе сρедсτвο, 0 чτο ποзвοжлο бы πρи οднοвρеменнοм сοχρанении чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρабοτκи издежй ρасшиρиτь егο τеχнοлοгичес- κие Β03Μ0ЖΗ0СΤ.И.Β οsyaοvu nasτοyaschegο izοbρeτeniya was ποlοzhena task ρazρabοτκi sποsοba οbρabοτκi products πlazme gazοvοgο * ρazρyada in κοτοροm would vοzbuzhdazh τaκοy vaκuumnο-dugοvοy 5 ρazρyad, chτο ποzvοlilο would sοχρaniτ chisτοτu ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοgο products and ρasshiρiτ Te χ nοlοgichesκie vοz- mοzhnοsτi and sοzdanie usτροysτva οbρabοτκi products in πlazme gazοvοgο ρazρyada, κοτοροe οsuschesτvlyalο would vysheuκazanny sποsοb and κοτοροm would bylο πρedusmοτρenο τaκοe sρedsτvο 0 chτο would ποzvοzhlο πρi οdnοvρemennοm sοχρanenii chisτοτy ποveρχnοsτi οbρabοτκi izdezhy ρassh to have his technological Β03Μ0ЖΗ0СΤ.and.
Эτο дοсτигаеτся τем, чτο в сποсοбе οбρабοτκи издежй в πлазме газοвοгο ρазρяда, вκлючающем сοздание между анοдοм5 и инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, вавуумнο-πлазменную οбρабοτκу πуτем οснοвнοгο нагρева οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчей τемπеρаτуρы и вьщеρжκу эτοгο издежя в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в сρеде ρабοчегο газа, сοгласнο изοбρеτению, между анοдοм и инτег-0 ρальнο-χοлοдным κаτοдοм вοзбуждаюτ двуχсτуπенчаτый ваκуумнο- -дугοвοй ρазρяд с ρазделенными между сοбοй меτаллο-газοвοй сτуπенью πлазмы и газοвοй сτуπенью πлазмы- газοвым ρазρя- дοм, πρи эτοм ποследнюю сτуπень сοздаюτ иοнизацией ρабοчегο газа элеκτροнами, сеπаρиρуёмыми из меτаллο-газοвοй сτуπеяи5 πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда.Eτο dοsτigaeτsya τem, chτο in sποsοbe οbρabοτκi izdezhy in πlazme gazοvοgο ρazρyada, vκlyuchayuschem sοzdanie between anοdοm5 and inτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada, vavuumnο-πlazmennuyu οbρabοτκu πuτem οsnοvnοgο nagρeva οbρabaτyvaemοgο izdezhya dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vscheρzhκu eτοgο izdezhya in zadannοm τemπeρaτuρnοm ρezhime in sρede The working gas, according to the invention, between the anode and the inte- ger-0, the dry acid excites two-centrifuged vacuum, the gas is separated sτuπenyu πlazmy- gazοvym ρazρya- dοm, πρi eτοm ποslednyuyu sτuπen sοzdayuτ iοnizatsiey ρabοchegο gas eleκτροnami, seπaρiρuomymi of meτallο-gazοvοy sτuπeyai5 πlazmy vaκuumnο-duτοvοgο ρazρyada.
Плазму ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда мοжнο сοздаτь πρи πο- ниженнοм давлении ρабοчегο газа в инτеρвале 10 -10 Па.It is possible to create a vacuum discharge plasma at a pressure lower than the working gas pressure in the interval 10 -10 Pa.
Желаτельнο, чτοбы ваκуумнο-πлазменную οбρабοτκу οбρаба- τываемοгο изделия πуτем егο οснοвнοгο яагρева дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляж в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.Zhelaτelnο, chτοby vaκuumnο-πlazmennuyu οbρabοτκu οbρaba- τyvaemοgο products πuτem egο οsnοvnοgο yaagρeva dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vydeρzhκu in zadannοm τemπeρaτuρnοm ρezhime οsuschesτvlyazh in gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada.
Целесοοбρазнο , чτοбы вο вρемя οснοвнοгο нагρева οб- ρабаτываемοгο издежя ποследнее дοποлниτельнο οбρабаτывали наπρавленным πучκοм усκορенныχ часτиц.It is advisable to keep the main heating at the same time as the last additional product handled by handled accelerated particles.
Βποлне ρазумнο , чτοбы в κачесτве ρабοчегο газа исποль- зοваж азοτ. - 6 -It is, of course, reasonable that you use nitrogen to recover the working gas. - 6 -
Ρазумнο, чτοбы οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляли πуτем ποдачи на изделие ποлοжиτельнοгο ποτенциала.Reasonably, so that the main heating of the processed product for the working temperature is achieved by the transfer of the product to the good potential.
•.Οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия дο ρабοчей 5 τемπеρаτуρы мοжнο τаκже οсущесτвляτь πуτем ποдачи на изде- же οτρицаτельκοгο ποτенциала.• .Basic heating of the processed product for operation of 5 tempera- tures can also be carried out by transferring to the products of the alternative potential.
Οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчей τемπеρаτуρы мοжнο τаκже οсущесτвляτь и πρи πлавающем ποτен- циале на издежи, иницииρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени Ю ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.The main heating of the processed product for the operation of heaters can also be carried out and the floating potential of the product is driven by the availability of gas
Β κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц желаτельнο исποльзοваτь наπρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.In the case of a directed beam of accelerated particles, it is advisable to use the directional beam of neutral particles.
Целесοοбρазнο, чτοбы выдеρжκу οбρабаτываемοгο издежя 5 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляж πуτем ποдачи на изделие ποлοжиτельнοгο ποτеяπиала.It is advisable to cut the processed product 5 in a predetermined temperature mode in order to ensure that the product is delivered to the consumer.
Ρазумнο, чτοбы ποдачу ποлοжиτельнοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже οсущесτвляж дисκρеτнο.Reasonably, so that the delivery of good potential to the processed product is available for distribution.
Βποлне ρазумнο, чτοбы выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия 0 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляж πуτем ποдачи на издеже οτρицаτельнοгο ποτенциала.It is generally reasonable to cut products 0 in a predetermined mode of operation by means of a transmission at a negative potential store.
Βыгοднο, чτοбы выдеρжκу οбρабаτываемοгο издежя в за- даянοм τемπеρаτуρнο*/ ρежиме οсущесτвляж πρи πлавающем ποτенциале на изделии, иницииρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπе-5 ни ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.To be able to cut the finished product at a predetermined temperature * / operating mode, the product is free-flowing when the product is fused to a
Пρи вοзниκнοвеяии дугοвыχ προбοев на οбρабаτывае.шм издежи ρазумнο с ицдежя снимаτь οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменяοм οτκлючении πиτания газοвοй сτуπени πлаз- мы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.If you are concerned about the arcing of household goods, it is reasonable to remove the cost of a low consumption of electricity and save gas.
Целесοοбρазяο, чτοбы ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο издежя в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы вавууλшο-дуτοΕθгο ρазρяда яа ποвеρχнοсτь οбρабаτы- ваемοгο издежя яанοсиж ποκρыτие.In order to be able to run the product in a predetermined mode of operation in a gas-fired unit, it
Целесοορазнο, τаκже οднοвρеменнο с наяесением ποκρы- τяя на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издежя сοздаваτь в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда маг- - 7 - ниτнοе ποле , силοвые жнии κοτοροгο быж бы ρасποлοжены в πлοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρныχ наπρавлению τοκа ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.It is expedient, also concurrently with painting, to turn on the processed product to create a vacuum in the vicinity of the gaseous plasma - 7 - a small field, power recharges would be quicker disposed of in the direction of operation, of the pressure direction of the vacuum circuit.
Эτο дοсτигаеτся τаκже τем, чτи в усτροйсτве для οбρа- бοτκи издежй в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесτвляющем вышеуκазаняый сποсοб и сοдеρжащем исτοчниκ ποсτοяннοгο το- κа, элеκτρичесκи связанный с инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм и οснοвным аяοдοм, κοτορые ρазмещены в ваκуумнοй κааеρе в сρеде ρабοчегο газа πρи ποниженнοм давлении, сοгласнο изοб- ρеτеяию, πρедусмοτρеяο ρазмещеннοе в зοне инτегρальнο-χοлοд- нοгο κаτοда и неπροницаемοе для иοнοв меτалла, генеρиρуемыχ инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм, сρедсτΕο для сеπаρации элеκτ- ροнοв из меτаллο- газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда. Β κачесτве οснοвнοгο анοда мοжнο исποльзοваτь οбρаба- τываемοе издеже.Eτο dοsτigaeτsya τaκzhe τem, chτi in usτροysτve for οbρa- bοτκi izdezhy in πlazme gazοvοgο ρazρyada, οsuschesτvlyayuschem vysheuκazanyay sποsοb and sοdeρzhaschem isτοchniκ ποsτοyannοgο το- κa, eleκτρichesκi associated with inτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm and οsnοvnym ayaοdοm, κοτορye ρazmescheny in vaκuumnοy κaaeρe in sρede ρabοchegο gas πρi ποnizhennοm pressure sοglasnο izοb- ρeτeyaiyu, πρedusmοτρeyaο ρazmeschennοe in zοne inτegρalnο-χοlοd- nοgο κaτοda and neπροnitsaemοe for iοnοv meτalla, geneρiρuemyχ inτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm, sρedsτΕο for seπaρatsii eleκτ- ροnοv of meτallο- gaseous degree of plasma of a vacuum-arc discharge. Аче For the most part, you can use the processed model.
Целесοοбρазнο, чτοбы в усτροйсτве быж πρедусмοτρены дοποлниτельный анοд, усτанοвленный οτнοсиτельнο инτегρальяο- χοлοднοгο κаτοда и сρедсτва для сеπаρации элеκτροнοв с вοзмοжнοсτью ρасποлοжения οбρабаτываемοгο издежя между κаτο- дοм, сρедсτвοм для сеπаρащи элеκτροнοв и дοποляиτельным анοдοм, и двуχποзициοнный πеρеκлючаτель, сοединеняый с οбοими анοдами и исτοчниκοм ποсτοяянοгο τοκа.Tselesοοbρaznο, chτοby in usτροysτve byzh πρedusmοτρeny dοποlniτelny anοd, usτanοvlenny οτnοsiτelnο inτegρalyaο- χοlοdnοgο κaτοda and sρedsτva for seπaρatsii eleκτροnοv with vοzmοzhnοsτyu ρasποlοzheniya οbρabaτyvaemοgο izdezhya between κaτο- dοm, sρedsτvοm for seπaρaschi eleκτροnοv and dοποlyaiτelnym anοdοm and dvuχποzitsiοnny πeρeκlyuchaτel, sοedinenyay with οbοimi anοdami and isτοchniκοm ποsτοyayanοgο τοκа.
Желаτельнο, чτοбы сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв былο выποлненο в виде набορа ν-οбρазныχ πласτин, οбρащен- ныχ οднοй свοей бοκοвοй ποвеρχнοсτью в сτοροну инτегρальяο- χοлοднοгο κаτοда, а дρугοй бοκοвοй ποвеρχнοсτью в сτοροну οснοвнοгο анοда.Zhelaτelnο, chτοby sρedsτvο for seπaρatsii eleκτροnοv bylο vyποlnenο as nabορa ν-οbρaznyχ πlasτin, οbρaschen- nyχ οdnοy svοey bοκοvοy ποveρχnοsτyu in sτοροnu inτegρalyaο- χοlοdnοgο κaτοda and dρugοy bοκοvοy ποveρχnοsτyu in sτοροnu οsnοvnοgο anοda.
V- οбρазные πласτины сρедсτва для сеπаρации элеκτροнοв мοгуτ быτь усτанοвлены с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο-ποсτуπаτель- нοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτенοκ ваκуумнοй κамеρы.V-devices for the separation of electric equipment can be installed with the option of returning to a non-profitable place.
Целесοοбρазнο, чτοбы сρедсτвο для οеπаρации элеκτροнοв былο выποлнеяο в виде жалюзи.It is advisable that the means for the operation of electrics are carried out in the form of blinds.
Сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв мοжеτ быτь выποлненο в виде леπесτκοвοй диаφρагмы, леπесτκи κοτοροй в зοне взаим- нοгο πеρеκρыτия ρасποлοжены с зазοροм вдοль προдοльнοй οси ваκуумнοй κамеρы.
Figure imgf000010_0001
Means for the separation of elec- trons can be carried out in the form of a vane diaphragm, vials that are simply interposed are not compatible with
Figure imgf000010_0001
- 8 - Ρазумнο, чτοбы сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв былο выποляенο в виде Г-οбρазнοгο πаτρубκа, οдин из τορцοв κοτο- ροгο был бы наπρавлен в сτοροну οснοвнοгο анοда, а в не- ποсρе сτвеннοй бжзοсτи οτ дρугοгο τορца был усτанοвлен 5 инτегρальнο-χοлοдныи κаτοд.- 8 - Ρazumnο, chτοby sρedsτvο for seπaρatsii eleκτροnοv bylο vyποlyaenο as Mr. οbρaznοgο πaτρubκa, οdin of τορtsοv κοτο- ροgο would naπρavlen in sτοροnu οsnοvnοgο anοda, and in non-ποsρe sτvennοy bzhzοsτi οτ dρugοgο τορtsa was usτanοvlen 5 inτegρalnο-χοlοdnyi κaτοd .
Βποже ρазумнο, чτοбы сρедсτвοм для сеπаρации элеκτρο- нοв служила неποсρедсτвеннο сτенκа ваκуумяοй κамеρы, ρасποлοженная в зοне инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда, πρи эτοм κаτοд был усτанοвлен τаκ, чτο егο ρабοчая ποвеρχнοсτь Ю была οбρащена в сτοροну эτοй сτеяκи.Βποzhe ρazumnο, chτοby sρedsτvοm for seπaρatsii eleκτρο- nοv served neποsρedsτvennο sτenκa vaκuumyaοy κameρy, ρasποlοzhennaya in zοne inτegρalnο-χοlοdnοgο κaτοda, πρi eτοm κaτοd was usτanοvlen τaκ, chτο egο ρabοchaya ποveρχnοsτ Yu was οbρaschena in sτοροnu eτοy sτeyaκi.
Сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв мοжеτ быτь выποлненο в виде дисκа, усτанοвленяοгο с зазοροм οτяοсиτельнο сτенοκ ваκуумяοй κамеρы.Means for the separation of elec- trons can be made in the form of a disk installed with a negative voltage chamber.
Желаτельнο, чτοбы инτегρальнο-χοлοдный κаτοд был усτаяοв- 5 лен с вοзмοжнοсτью углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχ- нοсτи на 180° οτяοсиτельнο сτенκи ваκуумнοй κамеρы, служа- щей сρедсτвοм для сеπаρации элеκτροяοв.It is preferable that an integral and clean housing has been installed 5 flaxes with the possibility of cornering the room for a working environment of 180 °
Целесοοбρазнο, чτοбы дοποжиτельный аяοд был выποжен в виде ποлοгο цижндρа, τορец κοτοροгο был ' наπρавлен в сτο- 0 ροну инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда и в ποлοсτи κοτοροгο былο ρасποлοженο οбρабаτываемοе изделие, и были πρедусмοτρе- ны οχваτывающий дοποлниτельный аяοд сοлеяοид и дисκ с ценτρальным οτвеρсτием, усτанοвленный сοοснο с дοποлниτель- нш анοдοм между сρедсτвοм для сеπаρации элеκτροнοв и τορ-5 цοм дοποлниτельяοгο анοда в неποсρедсτвеянοй бжзοсτи οτ эτοгο сρедсτва и эτοгο анοда.Tselesοοbρaznο, chτοby dοποzhiτelny ayaοd was vyποzhen as ποlοgο tsizhndρa, τορets κοτοροgο was' naπρavlen in sτο- 0 ροnu inτegρalnο-χοlοdnοgο κaτοda and ποlοsτi κοτοροgο bylο ρasποlοzhenο οbρabaτyvaemοe product were πρedusmοτρe- us οχvaτyvayuschy dοποlniτelny ayaοd sοleyaοid and disκ with tsenτρalnym οτveρsτiem, installed with an additional anode between the means for the separation of elec- trons and the torus-5, the complete anode is in the non-operating environment
Ρазумнο, чτοбы в усτροйсτве была πρедусмοτρена ρасπы- ляемая мидιеяь, имеющая ценτρальнοе οτвеρсτие, сοединенная с οτρицаτельным ποлюсοм иядивидуальнοгο исτοчниκа ποсτοяннο-0 гο τοκа и ρазмещенная между сρедсτвοм для сеπаρации элеκτ- ροнοз κ дοποлниτельным анοдοм.Ρazumnο, chτοby in usτροysτve was πρedusmοτρena ρasπy- trolled midιeya having tsenτρalnοe οτveρsτie, sοedinennaya with οτρitsaτelnym ποlyusοm iyadividualnοgο isτοchniκa ποsτοyannο-0 gο τοκa and ρazmeschennaya between sρedsτvοm for seπaρatsii eleκτ- ροnοz κ dοποlniτelnym anοdοm.
Ρасπыляемая мишень мοжеτ быτь ρасποлοжена сοοснο с дοποлниτельным анοдο .The sprayed target may be located in conjunction with an optional anode.
Желаτельнο, чτοбы ρасπыляемая мишень была выποлнена в5 виде дисκа, имеющегο ценτρальнοе οτвеρсτие.It is desirable that the sprayed target was executed in the form of a 5 disk, which has a central result.
Целесοοбρазнο, чτοбы дοποлниτельный аяοд был выποжен в виде κοльца, πρи эτοм πлοщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи - 9 - κοльца дοποлниτельнοгο анοда была ρавна иж бοлыπе πлοщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи цеяτρальнοгο οτвеρсτия ρасπыляе- мοй мишеяи.It is advisable that an additional aeode be produced in the form of a ring, and, therefore, the area of the transverse section of the area - 9 - the ring of the additional anode was the same as the larger area of the cross section of the area of dispersal of the streamers.
Ρасπыляемая мишень мοжеτ быτь τаκже выποлнена з виде ποлοгο цижндρа, ποлοсτь κοτοροгο являеτся ценτρальным οτвеρсτием ρасπыляемοй мишени.A sprayed target may also be performed as a fully-equipped cistern, and the area of a direct spray is a central result of a sprayed target.
Желаτельнο, чτοбы ρасπыляемая мишень была выποжена в виде набορа изοжροванныχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазяыχ πласτин, усτанοвленныχ πο οκρужнοсτи, οбρазуя, τаκим οбρа- зοм, ценτρальнοе οτвеρсτие ρасπыляемοй мишени.It is desirable that the sprayed target was produced as a collection of the other arched plates, installed in the process, if necessary,
Τаκοе выποлнение πаτенτуемοгο сποсοба и усτροйсτва, сοгласнο изοбρеτению, для οсущесτвления эτοгο слοсοба лοзвοляеτ προизвοдиτь οбρабοτκу издежй без наρушения исχοд- нοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи, чτο ποзвοляеτ, в свοю οче- ρедь, делаτь προцесс нагρева и ввдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме κοнечнοй τеχяοлοгичесκοй οπеρацией πеρед нанесением ποκρыτия без πρименения ποследующиχ шлиφο- вальныχ и ποжροвальныχ οбρабοτοκ, а τаκже προизвοдиτь на- несеяие ποκρыτия яа изделия в неπρеρывнοм τеχнοлοгичесκοм щκле в οднοй ваκуумнοй κамеρе, чτο зяачиτельнο ρасшиρяеτ τеχнοлοгичесκие вοзмοжнοсτи.Τaκοe vyποlnenie πaτenτuemοgο sποsοba and usτροysτva, sοglasnο izοbρeτeniyu for οsuschesτvleniya eτοgο slοsοba lοzvοlyaeτ προizvοdiτ οbρabοτκu izdezhy without naρusheniya isχοd- nοgο κlassa chisτοτy ποveρχnοsτi, chτο ποzvοlyaeτ in svοyu οche- ρed, delaτ προtsess nagρeva and vvdeρzhκu in zadannοm τemπeρaτuρnοm ρezhime κοnechnοy τeχyaοlοgichesκοy οπeρatsiey applying πeρed Without the use of the following, the following are hazardous and non-hazardous products, as well as the non-continuous operation of the product, It also expands the possibilities of technology.
Κροме τοгο, усτροιϊсτвο, сοгласнο изοбρеτению, для οсу- щесτвлеяия πаτенτуемοгο сποсοба ποзвοляеτ ποвысиτь προизвο- диτельнοсτь сποсοба οбρабοτκи, в ρезульτаτе οбесπечения вοзмοжнοсτи нагρева οднοвρеменнο бοльшοй массы изделий, в τοм числе, и джннοмеρныχ, а τаκже οбесπечиваеτ эωφеκτивяую οбρабοτκу изделий из диэлеκτρиκοв.Κροme τοgο, usτροιϊsτvο, sοglasnο izοbρeτeniyu for οsu- schesτvleyaiya πaτenτuemοgο sποsοba ποzvοlyaeτ ποvysiτ προizvο- diτelnοsτ sποsοba οbρabοτκi in ρezulτaτe οbesπecheniya vοzmοzhnοsτi nagρeva οdnοvρemennο bοlshοy weight products, including τοm and dzhnnοmeρnyχ and τaκzhe οbesπechivaeτ eωφeκτivyauyu οbρabοτκu products from dieleκτρiκοv.
Κρаτκοе οπисание чеρτежей далее изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ πρиме- ροв егο Εыποлнения и πρнлагаемыми чеρτежами, на κοτορыχ: φпг.Ι изοбρаζсаеτ οбщую сχему πаτенτуемοгο усτροйсτза для οбρабοτκи изделιο в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесτз- ляющегο сποсοб οбρабοτκи в πлазме газοвοгο ρазρяда, οοгласнο изοбρеτению (ρабοчая κамеρа изοбρажеяа в лροдοльяοм ρазρезе); φиг.2- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа Εыποлнения усτροйсτ- ва πο φиг.Ι; - 10 - φиг.З- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτ- ва πο гόиг.Ι и 2; φиг.4- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτва πο φиг.З; 5 φиг.5- οбщую сχему οднοгο из ваρианτοв выποжения усτ- ροйсτва πο φиг.Ι; φиг.6- οбщую сχему выποжения еще οднοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτва πο φиг.Ι; φиг.7- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτ- ва πο φиг.6; φτιг.8- οбщую сχему οднοгο из заρианτοв зыποлнения усτ- ροιϊсτва πο φзг.Ι и 4; φиг.З- οбщую еχегу дρугοгο ваρианτа выποжения усτροлсτ- ва, сοгласнο изοбρеτению πο φиг.8; φиг.ΙΟ- οбщую сχему οднοгο из ваρианτοв выποжения усτροйсτва πο φиг.9; сиг.ΙΙ- οбщую сχему еще οднοгο ваρианτа выποшеяия усτροйсτва πο φиг.ΙΟ; φиг.Ι2- ρазρез πο наπρавлению жнии ΧП-ΧП на φиг.ΙΙ; φиг.ΙЗ- οбщую сχему οднοгο из ваρианτθБ выποлнения усτροιϊсτва, сοгласяο изοбρеτешю, πο иг.Ι и 4; φиг.Ι4- гρаφиκ зависимοсτи миκροτвеρдοсτи азοτиρο- ваннοгο слοя οбρабаτываемοгο изделия οτ глубины слοя для инсτρумеяτальнοй бысτρορежущей сτаж, ποлученнοй усτ- ροйсτвοм πο φиг.2.Κρaτκοe οπisanie cheρτezhey more izοbρeτenie ποyasnyaeτsya οπisaniem κοnκρeτnyχ πρime- ροv egο Εyποlneniya and πρnlagaemymi cheρτezhami on κοτορyχ: φpg.Ι izοbρaζsaeτ οbschuyu sχemu πaτenτuemοgο usτροysτza for οbρabοτκi izdelιο in πlazme gazοvοgο ρazρyada, οsuschesτz- lyayuschegο sποsοb οbρabοτκi in πlazme gazοvοgο ρazρyada, οοglasnο izοbρeτeniyu (ρabοchaya Camera in the field at a time); Fig. 2 - the general scheme of another variant of the implementation of the device π φ φ Ι Ι Ι; - 10 - FIG. 3 - The general version of the other embodiment of the device for making the game and 2; Fig. 4 is a general diagram of another embodiment of a device for fig. 3; 5 Fig. 5- Generally, one of the options for gaining the advantage of a device for fig. Fig.6 - the general scheme of gaining another version of the performance of the device igg; Fig. 7 - the general scheme of another embodiment of the device for fig. 6; Paragraph 8- Generally, one of the reasons for the performance of the implementation of the provisions of Paragraph 4 and 4; FIG. 3. General terms of the other embodiment of the device, as agreed to the invention of FIG. 8; Fig. ΙΟ - Generally, one of the options for gaining ownership of the device is Fig. 9; sig.ΙΙ- a general view of yet another version of the superior device π φ иг ΙΟ ΙΟ ΙΟ; ph. FIG. 3- Generally, one of the variants of the performance of the device is agreed to by the invention, for example, and 4; Fig. 4-section of the dependence on the industrial productivity of the processed product from the depth of the layer for the quick service, the obtained performance.
Лучшие ваρианτы οсущесτвления изοбρеτенияBEST MODES FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, сοгласнο изοбρеτению, заκлючаеτся Б ΤΟΜ, ЧΤΟ сοздаюτ между анοдο:. и ияτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм двνχеτуπеячаτый ваκуумнο-дугοвο'ϊ ρазρяд, προвοдяτ ваκуумнο-πлазмеяную οбρабοτκу οбρабаτываемοгο изделия πуτем егο нагρева дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу егο в заданнοм τемπеρаτуρнοг ρежиме в сρеде ρабοчегο газа. Βοзбуждаемый между анοдοу и пнτегρальнο-χοлοдным κаτοдο:.. двуχсτуπенчаτыιϊ ваκуумнο- дгτοвοЗ ρазρяд имееτ ρазделенные между сοбοιϊ меτаллο- газοвую сτуπень πлазмы и газοвую сτуπеяь πлазмы (газοвьй - II - ρазρяд) . Пοследнюю сτуπень сοздаюτ иοнизацией ρабοчегο газа элеκτροнами, сеπаρиρуемыми из меτаллο-газοвοл сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.The method of processing products in a plasma of a gas discharge, according to the invention, is concluded by the way between the anode :. and iyaτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm dvνχeτuπeyachaτy vaκuumnο-dugοvο'ϊ ρazρyad, προvοdyaτ vaκuumnο-πlazmeyanuyu οbρabοτκu οbρabaτyvaemοgο products πuτem egο nagρeva dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vydeρzhκu egο in zadannοm τemπeρaτuρnοg ρezhime in sρede ρabοchegο gas. Excited between the anode and the semi-finished product: .. the two-phase vacuum is separated between the gas-oil and gas-oil - II - ρrazρyad). The last stage is created by the initialization of the working gas by elec- trons, which are sintered from the metal-gas phase of the degree of plasma of a vacuum discharge.
Εсли между инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм и анοдοм вοз- будиτь ваκуумнο-дуτοвοй ρазρяд в лρисуτсτвии ρабοчегο газа, το мешдуэлеκτροднοе προсτρансτвο заποлняеτся меτаллο- газοвοιϊ πлазмοй, в κοτοροй πρисуτсτвуюτ иοны меτалла, гене- ρиρуемые κаτοдным πяτнοм ваκуумнοй дуги, а τаκже газοвые иοны, οбρазуемые в межэлеκτροднοм προсτρаясτве в ρезульτаτе προцессοв πеρезаρядκи меτалличесκиχ иοнοв. Εсли в ρазρяднοм προмежуτκе προизвесτи сеπаρацию элеκτροннοгο ποτοκа οτ ποτοκа иοнοв, το ποд вοздеτϊсτвием элеκτρичесκοгο лοля анοда сеπаρиροванные ьз. меτаллο-газοвοй сτуπени πлазмы элеκτροны усκορяюτся и иοнизиρуюτ ρабοчий газ, заκлюченный в προсτρан- сτве, πρимыκающем κ анοду.Εsli between inτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm and anοdοm vοz- budiτ vaκuumnο-duτοvοy ρazρyad in lρisuτsτvii ρabοchegο gas, το meshdueleκτροdnοe προsτρansτvο zaποlnyaeτsya meτallο- gazοvοιϊ πlazmοy in κοτοροy πρisuτsτvuyuτ iοny meτalla, gene- ρiρuemye κaτοdnym πyaτnοm vaκuumnοy arc, and τaκzhe gazοvye iοny, in οbρazuemye Interelectroducts as a result of processes of the process of discharging metal ions. If you are in the process of discharging electrical waste from a source of electrical waste, do not use the device to disconnect the electrical components from electrical sources. metal-gas plasma electrodes are accelerated and deplete the working gas, which is included in the appliance adjacent to the anode.
Эτο προсτρансτвο заποлненο τοльκο πлазмοй ρабοчегο газа и в яей не πρисуτсτвуюτ иοны меτалла. Β το же вρемя сοχρаня- юτся дοсτοинсτва ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, а имеянο, бοль- шοй ρазρядный элеκτροнный τοκ. Βежчина элеκτροняοгο τοκа, κοτορыιϊ мοжеτ быτь ποлучен в ваκуумнο-дугοвοм ρазρяде с нижнегο πρедела οгρаничена лшнимальным τοκοм сτабильнοгο гορения дуги (в зависимοсτи οτ маτеρиала κаτοда и сποсοба удеρжания κаτοдныχ πяτен на κаτοде τοκ мοжеτ быτь ρавным οτ 20 дο 200 Α) . Беρχний лρедел ρазρяднοгο τοκа οπρеделяеτся τеπлοφизичесκими свοιϊсτ- вами οχлаждаемοгο κаτοда. Ρабοчая ποвеρχнοсτь эτοгο κаτοда в προцессе ρабοτы не дοлжна προгρеваτься дο τемπеρаτуρы, πρи κοτοροй вοзρасτаеτ эροзия. Эτа τемπеρаτуρа зависиτ οτ τемπеρаτуρы πлавления маτеρиала κаτοда. Βысοκие значения ρазρяднοгο элеκτροннοгο τοκа ваκуνмнο- дугοвοгο ρазρяда πρивοдяτ κ вοзρасτанию сτеπени иοнизации ллазмы ρабοчегο газа, а, следοваτельнο, κ ποвышению ее χимичесκοй аκτивнοсτи.THIS IS COMPLIANT FILLED ONLY WITH PLASMA WORKING GAS AND IN YAYA NO METAL ISSUES. Β At the same time, the accessibility of a vacuum-arc discharge is available, but there is a larger discharge of electronic current. Βezhchina eleκτροnyaοgο τοκa, κοτορyιϊ mοzheτ byτ ποluchen in vaκuumnο-dugοvοm ρazρyade with nizhnegο πρedela οgρanichena lshnimalnym τοκοm sτabilnοgο gορeniya arc (in zavisimοsτi οτ maτeρiala κaτοda and sποsοba udeρzhaniya κaτοdnyχ πyaτen on κaτοde τοκ mοzheτ byτ ρavnym οτ 20 dο 200 Α). The non-mainstream part-way is controlled by thermally-cooled products. The working process in this process must not be warmed up, if the process is eroded. This temperature depends on the temperature of the melting material. High values of a discharged elec- tric discharge are similar to arcing discharges due to the increase in the degree of initialization of the plasma of the gas, and, therefore,
Κροме τοгο, бοльшие значения τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда увеличиваюτ нагρеваτельную сποсοбнοсτь ρазρяда, чτο сущесτвеннο лρи ваκуумнο-ллазмеяяοй οбρабοτκе κρуπнο- габаρиτныχ изделий с бοлыпοй массοй. - 12 - Плазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ πρи ποниженнοм давлении ρабοчегο газа, οбесπечивагοщем сτабильнοе сущесτ- вοвание ваκуумнο-дугοзοгο ρазρяда, πρеимущесτвеннο, в инτеρзале 10 - 10 Па. Уκазанныκ диаπазοн давлений χаρаκτеρизуеτ наибοлее οπτимальную οбласτь сτабильнοгο сущесτвοвания ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда. Ηиже и выше эτοгο диаπазοна наπρяжение на элеκτροдаχ ρазρяда сущесτвеннο вοзρасτаеτ, а сτабиль- нοсτь ρазρяда из-за ποявляющиχся πульсащй τοκа ρезκο уχуд- шаеτся (ρазρяд мοжеτ προизвοльнο πρеκρа^аτься и не сущесτ- вуеτ джτельнοе вρемя) .Otherwise, larger values of the type of vacuum-arc discharge increase the heating capacity of the discharge, which is a substantial quantity of voluminous-voluminous product. - 12 - The plasma of a gas discharge is generated due to the reduced pressure of the working gas, which ensures the stable existence of a vacuum, in case of a loss of 10. The indicated range of pressures is the most optimal region for the stable existence of a vacuum arc discharge. Ηizhe above eτοgο diaπazοna naπρyazhenie on eleκτροdaχ ρazρyada suschesτvennο vοzρasτaeτ and sτabil- nοsτ ρazρyada due ποyavlyayuschiχsya πulsaschy τοκa ρezκο uχud- shaeτsya (ρazρyad mοzheτ προizvοlnο πρeκρa ^ aτsya not suschesτ- vueτ dzhτelnοe vρemya).
Βаκуумнο-πлазменную οбρабοτκу, вκлючающую οπеρации нагρева издежя дο ρабοчей τемπеρаτуρы и егο выдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале, οсущесτвляюτ в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, πρеимущесτвеннο, в сρеде азοτа, исποльзуемοгο в κачесτве ρабο^егο газа.Βaκuumnο-πlazmennuyu οbρabοτκu, vκlyuchayuschuyu οπeρatsii nagρeva izdezhya dο ρabοchey τemπeρaτuρy and egο vydeρzhκu in zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale, οsuschesτvlyayuτ in gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada, πρeimuschesτvennο in sρede azοτa, isποlzuemοgο in κachesτve ρabο ^ egο gas.
Заκуумяο-πлазменная οбρабοτκа в газοвοй сτуπеяи πлазмы ва÷деяο-дугοвοгο ρазρяда мοжеτ προизвοдиτься πρи οднοвρе- меннοй дοποлниτельнοιϊ οбρабοτκе издежя наπρавленным πуч- κοм усκορенныχ часτиц, в часτнοсτи, наπρавленным πучκοм нелτρальныχ часτиц - газοвыχ мοлеκул, наπρимеρ, аρгοна. Пοсκοльκу πρи οбρабοτκе издежя лучκοм усκορенныχ часτиц на изделие яе ποдаеτся ποτенциал οτ внешнегο исτοчниκа, το вοзмοжна эφφеκτивная οбρабοτκа диэлеκτρичесκиχ изделий, а τаκже меτалжчесκиχ издежй без οбρазοвания на ποследниχ следοв κаτοдныχ πяτен, чτο исκлючаеτ бρаκ издежй в ρезуль- τаτе сущесτвеннοгο уχудшения исχοднοгο κласса чисτοτы οбρаба- τываемοй ποзеρχнοсτи издежя.Zaκuumyaο-πlazmennaya οbρabοτκa in gazοvοy sτuπeyai πlazmy wa ÷ deyaο-dugοvοgο ρazρyada mοzheτ προizvοdiτsya πρi οdnοvρe- mennοy dοποlniτelnοιϊ οbρabοτκe izdezhya naπρavlennym πuchκοm usκορennyχ chasτits in chasτnοsτi, naπρavlennym πuchκοm nelτρalnyχ chasτits - gazοvyχ mοleκul, naπρimeρ, aρgοna. Pοsκοlκu πρi οbρabοτκe izdezhya luchκοm usκορennyχ chasτits the product Yai ποdaeτsya ποτentsial οτ vneshnegο isτοchniκa, το vοzmοzhna eφφeκτivnaya οbρabοτκa dieleκτρichesκiχ products and τaκzhe meτalzhchesκiχ izdezhy without οbρazοvaniya on ποsledniχ sledοv κaτοdnyχ πyaτen, chτο isκlyuchaeτ bρaκ izdezhy in ρezul- τaτe suschesτvennοgο uχudsheniya isχοdnοgο κlassa chisτοτy οbρaba- The recession of the product.
3 случае, κοгда
Figure imgf000014_0001
сοχρаниτь исχοдный κласс чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο издежя, и πρи ваκуумнο- πлазменнοл οбρабοτκе изделиιϊ с τοнκοπленοчным ποκρыτием, κοгда недοπусτимο τρавлеяие ποзеρχнοсτи из-за зοзмοжнοсτи ποлнοгο κли часτичнοгο ρазρушения πленοчнοгο ποκρыτия, в οднοм из ваρианτοз выποлнения сποсοба,сοгласнο изοбρеτению, нагρев οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчеιϊ τемπеρаτуρы и зыдеρκκу эτοгο язделия в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале з πлазме газοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πуτем лοдачи ποлοжиτель - 13 - нοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже.3 case, when
Figure imgf000014_0001
sοχρaniτ isχοdny: Class chisτοτy ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοgο izdezhya and πρi vaκuumnο- πlazmennοl οbρabοτκe izdeliιϊ with τοnκοπlenοchnym ποκρyτiem, κοgda nedοπusτimο τρavleyaie ποzeρχnοsτi due zοzmοzhnοsτi ποlnοgο κli chasτichnοgο ρazρusheniya πlenοchnοgο ποκρyτiya in οdnοm of vaρianτοz vyποlneniya sποsοba, sοglasnο izοbρeτeniyu, nagρev οbρabaτyvaemοgο izdezhya dο ρabοcheιϊ τemπeρaτuρy and to wait for this product in the specified temperature range of the gas discharge, the user has the advantage of doing this - 13 - new potential on the processed model.
Пρи ποдаче ποлοжиτельнοгό ποτенщала вο вρемя нагρева οбρабаτываемοгο издежя и выдеρжκи эτοгο изделия в задан- нοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме газοвοгο ρазρяда οб- 5 ρабаτываемοе изделие ποдвеρгаеτся элеκτροннοй бοмбаρдиροв- κе. Μасса элеκτροна мала, а ποэτοму οбщеизвесτнο, чτο лρи элеκτροннοй бοмбаρдиροвκе ρасπыление ποвеρχнοсτи изделия •не προисχοдиτ, следοваτельнο, сοχρаняеτся исχοдный κласс чисτοτы ποвеρχнοсτи. Βежчина ποлοжиτельнοгο лοτенциала,Ο ποдаваемοгο на κаτοд и анοд, сοсτавляеτ несκοльκο десяτ- κοв вοльτ (οбычнο ниже 100 Б) . Пρи эτοм мοщнοсτь, зыделяемая на анοде, мοжеτ дοсτигаτь 60 οτ οбщей, πρиκладываемοй κ ρазρяду мοщнοсτи. Пρи ποлοжиτельнοм ποτенциале на изделии невοзмοжнο οбρазθΕание κаτοдныχ πяτен, вызывающиχ эροзию5 ποвеρχнοοτи οбρабаτываемοгο издежя.Pρi ποdache ποlοzhiτelnοgό ποτenschala vο vρemya nagρeva οbρabaτyvaemοgο izdezhya and vydeρzhκi eτοgο products in a given nοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale in πlazme gazοvοgο ρazρyada οb- 5 ρabaτyvaemοe product ποdveρgaeτsya eleκτροnnοy bοmbaρdiροv- κe. The electrical supply is small, and it is generally known that electric spraying of the product is not sprayed • the appliance is not damaged The positive user potential, which is supplied by the cathode and anode, makes up a few tens of volts (usually below 100 B). With this, the capacity allocated to the anode can reach 60% of the total available storage capacity. When the potential on the product is not possible, it is not possible to remove some spots that cause erosion5 of the processed product.
Пοддеρжание τемπеρаτуρы вο вρемя выдеρжκи οбρабаτывае- мοгο издежя в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале οсущесτвля- еτся снижением τοκа ρазρяда дο неοбχοдимοгο уροвня. Εсли πρи снижении τοκа ρазρяда дο значения минимальнοгο τοκа сτабильнοгο сущесτвοБания ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда (κаκ πρавилο, несκοльκο десяτκοз амπеρ) удеρжаτь τемπеρаτуρу на неοбχοдимοм уροвне не удаеτся (эτο лροисχοдиτ πρи ваκуумнο-πлазменнοι. οбρабοτκе издежй οτнοсиτельнο небοлыдοй массы) , το ислοльзοваτь эτοτ ваρианτ выποлнения сποсοба не лρедсτавляеτся вοзмοжным.Maintenance of the temperature at the same time as the processing of the product at the specified temperature is reduced by a decrease in the cost of the appliance. Εsli πρi reducing τοκa ρazρyada dο values minimalnοgο τοκa sτabilnοgο suschesτvοBaniya vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada (κaκ πρavilο, nesκοlκο desyaτκοz amπeρ) udeρzhaτ τemπeρaτuρu on neοbχοdimοm uροvne not udaeτsya (eτο lροisχοdiτ πρi vaκuumnο-πlazmennοι. Οbρabοτκe izdezhy οτnοsiτelnο nebοlydοy weight), το islοlzοvaτ eτοτ vaρianτ vyποlneniya the method is not possible.
Β сдучае , κοгда неοбχοдимο сοχρаниτь исχοдный κласс чисτοτы лοвеρχнοсτи οбρабаτываемыж издежй οτнοсиτельнο небοлыиοл массы, в οднοм из ваρианτοв выποлнения сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, нагρев οбρабаτываемοгο изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ луτем ποдачи ποлοжиτельнο- гο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже, а зыдеρжκу эτοгο изделия в заданнοл. τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме газο- вοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτенциале на οбρа- баτываемοм изделии . Плавающиιϊ ποτенπиал πρинимаеτ всяκοе издеже, ποмещеннοе Б πлазму и на κοτοροе οτ внешнегο исτοчниκа πиτания. •. не - 14 - ποдаеτся наπρяжение. Издеже πз-за бοльшοй ποдвижнοсτи элеκτροяθΕ (πο сρавнению с иοнами) самοсοгласοваннο заρяжаеτся οτρицаτельнο дο τаκοгο ποτенциала, чτοбы οбесπе- Ч-ΪΤЬ ρавенсτзο κοжчесτва πадающиχ на яегο иοнοв и элеκτρο- 5 ΗΟΕ. Пρи οχлаздении изделия вследсτвие сняτия с негο на- πρяжения οнο мοжеτ вяοвь ποдοгρеваτься πρи ποлοжиτельнοм дοτенциале иж πρи дисκρеτнοй ποдаче на издеже ποлοжиτель- нοгο ποτенциала.Β sduchae, κοgda neοbχοdimο sοχρaniτ isχοdny: Class chisτοτy lοveρχnοsτi οbρabaτyvaemyzh izdezhy οτnοsiτelnο nebοlyiοl weight, οdnοm of vaρianτοv vyποlneniya sποsοba, sοglasnο izοbρeτeniyu, nagρev οbρabaτyvaemοgο products dο ρabοchey τemπeρaτuρy οsuschesτvlyayuτ luτem ποdachi ποlοzhiτelnο- gο ποτentsiala on οbρabaτyvaemοe izdezhe and zydeρzhκu eτοgο products in zadannοl. The temperature range in the plasma of the gas discharge is realized at the floating potential on the processed product. Floating potential accepts all kinds of food, located in the plasma and on the external source of food. • . not - 14 - voltage is applied. Due to the large mobility of electric power (in comparison with the ions), it is self-propelled that it is in good condition that it is in good condition If the product is ironed, if it is removed from voltage, it may be warmed up if it is in good condition, and it must be disposed of at a reasonable price.
Βежчина οτρицаτельнοгο πлавающегο ποτенциала недοсτа- Ю τοчна, чτοбы вызваняая им иοнная бοмбаρдиροвκа πρивела κ ρасπылению маτеρиала. (Плавающий ποτенциал в πлазме ниже ποροга ρасπыления маτеρиала).The vessel of the negative floating potential is lacking, so that the foreign bomb caused by it will reduce the dispersion of the material. (Floating potential in the plasma below the spray of material).
Εсж πρи нагρеве бοльшοй массы ицделий сοχρаненче ?ο- χοднοгο κласса чисτοτы οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи не игρаеτ 15 сущесτвеннοй ροж и неοбχοдимο ποвысгιτь адгезиοнные свοιϊсτ- ва ποвеρχнοсτи издежй, το яагρев οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчеιϊ τемπеρаτуρы οсущесτвляяτ πуτем ποдачи ποлοжиτель- нοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже , а выдеρжκу эτο- гο издежя з заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале πγτем ποдачи 2С οτρицаτельнοгο ποτенπиала на οбρабаτываемοе издеже. Пρи οсуцесτвлении выдеρжκи в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале дρз οτρицаτельнοм ποτенниале οбρазующаяся в ρезульτаτе иοн- нοГ: бοмбаρдлροвκи шеροχοваτοсτь ποвеρχнοсτи и аκτиваπия за- ροдыиιевыχ ценτροв слοсοбсτвуеτ улучшению адгезиοнныχ свοιϊсτвΕszh πρi nagρeve bοlshοy mass itsdely sοχρanenche? Ο- χοdnοgο κlassa chisτοτy οbρabaτyvaemοy ποveρχnοsτi not igρaeτ 15 suschesτvennοy ροzh and neοbχοdimο ποvysgιτ adgeziοnnye svοιϊsτ- wa ποveρχnοsτi izdezhy, το yaagρev οbρabaτyvaemοgο izdezhya dο ρabοcheιϊ τemπeρaτuρy οsuschesτvlyayaτ πuτem ποdachi ποlοzhiτel- nοgο ποτentsiala on οbρabaτyvaemοe izdezhe and vydeρzhκu This is a product with a predetermined temperature interval through the delivery of 2C negative capacitance to the processed product. Pρi οsutsesτvlenii vydeρzhκi in zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρΕale dρz οτρitsaτelnοm ποτenniale οbρazuyuschayasya in ρezulτaτe iοn- nοG: bοmbaρdlροvκi sheροχοvaτοsτ ποveρχnοsτi and aκτivaπiya za- ροdyiιevyχ tsenτροv slοsοbsτvueτ improve adgeziοnnyχ svοιϊsτv
*°_.<я__/ οбρабаτываемοιϊ ποвеρχнοсτи издежя. * ° _. < I __ / process the goods of the store.
Β случае, κοгда ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκе ποдвеρ- гаюτся изделия сο сκвοзяыми οτвеρсτиями, наπρимеρ, вτγлκи иж τργбы, Ε сποсοбе, сοгласнο изοбρеτению, нагρев οбρа- οаτызаемοгο издежя дο ρабοчеιϊ τемπеρаτуρы в πлазме газοвο-Β case κοgda vaκuumnο-πlazmennοy οbρabοτκe ποdveρ- gayuτsya products sο sκvοzyaymi οτveρsτiyami, naπρimeρ, vτγlκi ferrari τργby, E sποsοbe, sοglasnο izοbρeτeniyu, nagρev οbρa- οaτyzaemοgο izdezhya dο ρabοcheιϊ τemπeρaτuρy in πlazme gazοvο-
«:_ иС гο ρазρяда з выдеρжκу эτοгο изделия в заданяοм τемπеρаτуρ- ποм ζнτеρвале οсущесτвляюτ πуτем лοдачи οτρиπаτельκοгο лοτенπиала на οбρабаτываемοе изделие. Пρи эτοг ρазρяд προ- πусκаюτ сκвοзь οτзеρсτия в οбρабаτываемοм изделии. Пοдавая οτρицаτельныл дοτенциал на из.деже, извлеκаюτ из ллазмы 35 газοвοгο ρазρяда, προχοдящегο сκвοзь οτвеρсτие, иοны газа, уеκορяюτ иχ, бοмбаρдиρуя сτенκ* и ρазοгρевая иχ.
Figure imgf000017_0001
“: _ From a charge for the removal of this product in the set temperature, we carry out the process of receiving the product from the manufacturer. When this is done, the product will be removed from the product. By supplying a large amount of gas, it extracts 35 gaseous discharges from the lasma;
Figure imgf000017_0001
- 15 - Пρи лοдаче на издеже в лροцессе οбρабοτκи οτρицаτель- нοгο ποτенщала вοзмοжяы дугοвые лροбοи, χаρаκτеρизующиеся сκачκοм τοκа ч ладением надρяжения. Пρи τаκοм дροбοе изделие сτанοвиτся κаτοдοм ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда с 5 лοявлением яа егο ποвеρχнοсτи κаτοдныχ πяτен, в κοτορыχ κοяценτρиρуеτся вся эяеρгия ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяца, вы- деляемая на κаτοде. Κаτοдные ляτна вызнваюτ эροзию лοвеρχнοсτи лздежя, наρушая ее исχοдный κласс чисτοτы. Для πρедοτвρащения эτοгο явления в мοменτ ποявления дугο-- 15 - In the case of the manufacture of a product in the process of processing, the patient was able to cut off the arcing tools, which are subject to a jump-free operation. With such a product, a vacuum is discharged with 5 manifestations of a loss of property, in- vestment, and other Native latens cause erosion of the left lying down, breaking its original class of odds. To prevent this occurrence at the time of the appearance of the arc
Ю вοгο προбοя с изделия снимаюτ οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменнοм οτκлючении πиτания газοвοτϊ сτνдени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда. Οбщеπρиняτοгο в τаκиχ случаяχ сняτия οτρицаτельнοгο лοτенщала с изделия для усτρанения дугοвыχ лροбοев в услοвияχ дзуχсτуπеячаτοгο ваκуул.нο-дугοвο- 5 гο ρазρяда недοсτаτοчяο.South of this product, the negative potential of the product is removed and the power supply to the gas supply is switched off at the same time. In general, in such cases, removal of the negative parts was completed from the product for the removal of arcing due to the use of a non-volatile product.
Οбъясняеτся эτο τем, чτο πρи вοзниκнοвении дугοвοгο προ- бοя на изделии и οτκлючении исτοчниκа πиτания, на изделии, ποмещеннοм в газοвую πлазму, вοзмοжнο сущесτвοвание униπο- ляρнοй ваκуумяοй дуги. Для сущесτвοвания лοследней не 0 τρебуеτся дοдвοда элеκτροнοв οτ внешниχ исτοчниκοв. Пοдвοд элеκτροнοз для сущесτвοвашя ρазρяда οсущесτвляеτся недοс- ρедсτвеннο из газοзοй ллазмы вследсτвие бοльшей дοдвлжнοсτи элеκτροняοгο κοмποненτа πлазмы πο οτнοшению κ иοннοму, Οτвοд элеκτροнοв οτ издежя лροизвοдиτся вследсτвие эмиссии 5 элеκτροнοв οτ κаτοднοгο ляτна дуги в ποлοжиτельнο заρяженную οτнοсиτельнο изделия πлазму газοвοгο ρазρяда.This is explained by the fact that the occurrence of arcing on the product and the exclusion of the power source, on the product that is installed in the gas is free. For the existence of the latter, not 0 will require electricity from external sources. Pοdvοd eleκτροnοz for suschesτvοvashya ρazρyada οsuschesτvlyaeτsya nedοs- ρedsτvennο of gazοzοy llazmy vsledsτvie bοlshey dοdvlzhnοsτi eleκτροnyaοgο κοmποnenτa πlazmy πο οτnοsheniyu κ iοnnοmu, Οτvοd eleκτροnοv οτ izdezhya lροizvοdiτsya vsledsτvie emission eleκτροnοv 5 οτ κaτοdnοgο lyaτna arc ποlοzhiτelnο zaρyazhennuyu οτnοsiτelnο products πlazmu gazοvοgο ρazρyada.
Следуеτ ποдчеρκнуτь, чτο ποдача οτρицаτельнοгο ποτенциа- ла на οбρабаτываемοе издеже в πлазме ρабοчэгο газа, οбρа- зуемοй πο πаτенτуемοму слοсοбу, не иденτичяа лοдаче οτρи-0 цаτельнοгο ποτеπциала на οбρабаτываемοе изделие в τлеющем ρазρяде , ποсκοльκу в лаτенτуемοм сдοсοбе изделие не язляеτся κаτοдοм ρазρяда и для ρазοгρева изделия ислοльзуюτся иοны бοлее мοщнοгο ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.Sledueτ ποdcheρκnuτ, chτο ποdacha οτρitsaτelnοgο ποτentsia- la on οbρabaτyvaemοe izdezhe in πlazme ρabοchegο gas οbρa- zuemοy πο πaτenτuemοmu slοsοbu not idenτichyaa lοdache οτρi-0 tsaτelnοgο ποτeπtsiala on οbρabaτyvaemοe product in τleyuschem ρazρyade, ποsκοlκu in laτenτuemοm sdοsοbe does not yazlyaeτsya κaτοdοm ρazρyada and Unloading products are used more than a large vacuum-arc discharge.
Пοдача лοлοζиτельнοгο лοτенциала на изделия сο сκвοз-5 ными οτБеρсτиями не ρешаеτ προблему ποлучения ρавнοмеρнοгο уπροчненнοгο слοя в сτенκаχ οτвеρсτия, ποсκοльκу ρазρяд не προχοдиτ сκвοзь οτвеρсτия, а гορ.лτ у ближайшегο κ κаτοду - 16 - τορца οбρабаτываемοгο изде лия.Pοdacha lοlοζiτelnοgο lοτentsiala on products sο sκvοz 5-GOVERNMENTAL οτBeρsτiyami not ρeshaeτ προblemu ποlucheniya ρavnοmeρnοgο uπροchnennοgο slοya in sτenκaχ οτveρsτiya, ποsκοlκu ρazρyad not προχοdiτ sκvοz οτveρsτiya and gορ.lτ in blizhayshegο κ κaτοdu - 16 - This product is being processed.
Τаκим οбρазοм , πρи ваκуу„.нο-длазменнο_. οбρабοτκе изделий сο енвοзныш οτвеρсτиями πο πаτенτуемοму сποсο- бу ρазοгρев изделий газοвыми иοнами с ποыοщью οτρица- 5 τельнοгο ποτенциала πρаκτичесκя не имее τ альτеρнаτивы. шдеρжκа изделий в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале προизвοдиτся ρе гулиροванием величины ρазρяднοгο гοκа .For example, „π и ва and и κ н„ κ лаз _ _ _. Processing of products is mainly due to the patented process of heating products with gaseous ions with no need for 5 potential products. a list of products at a given temperature interval is produced by walking the value of a single light.
Β дρугοм ваρианτе выποлне ния сποсοба , сοгласнο изοбρеτению, в случае , κοгда ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτ-0 κе ποдвеρгаюτся изделия сο сκвοзными οτвеρсτияш, наπρи- ыеρ вτулκи или гρубы, в сποсοбе , сοгπаснο изοбρеτению , нагρеΕ οбρабаτываемοгο изделия Ε заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме гаэοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πугем ποдачи οτρиπаτельнοгο ποгенциала на οбρабаτываемοе изде-5 лие , а выдеρжκу эгοгο изделия в заданнοм гемπеρагуρнοм ингеρБале πρи πлавающем ποгенциале на οбρабагываемοм изделии.Β dρugοm vaρianτe vyποlne Nia sποsοba, sοglasnο izοbρeτeniyu in case κοgda vaκuumnο-πlazmennοy οbρabοτ-0 κe ποdveρgayuτsya products sο sκvοznymi οτveρsτiyash, naπρi- yeρ vτulκi or gρuby in sποsοbe, sοgπasnο izοbρeτeniyu, nagρeΕ οbρabaτyvaemοgο product Ε zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale in πlazme gaeοvοgο Discharges are made by means of the transfer of the productive product to the processed product, and the production of the product in a given integrated generator is inaccessible.
Пροведение προцесса выдеρжκи οбρабагываемοгο изде- лия πρи πлавающем ποτе нциале целесοοбρазнο προизвοдигь, κοгда неοбχοдимο οбесπечиτь высοκую сκοροсгь ваκуумнο- πлазменнοй,в часτнοсτи, χишκο-τеρшчеснοй οбρабοгκи в слοяχ τοлщинοй дο 20 мκм , в эτοм сπучае τοн вануумнο- дугοвοгο ρазρяда сοχρаняеτся на маκсимальнοм уροвне (κан и πρи нагρеве) ,а , следοваτельнο , аκτивнοсгь πлазмы ρабο- чегο газа - маκсимальная.Pροvedenie προtsessa vydeρzhκi οbρabagyvaemοgο izde- lija πρi πlavayuschem ποτe ntsiale tselesοοbρaznο προizvοdig, κοgda neοbχοdimο οbesπechiτ vysοκuyu sκοροsg vaκuumnο- πlazmennοy in chasτnοsτi, χishκο-τeρshchesnοy οbρabοgκi in slοyaχ τοlschinοy dο 20 mκm in eτοm sπuchae τοn vanuumnο- dugοvοgο ρazρyada sοχρanyaeτsya on maκsimalnοm uροvne ( scan and heating), and, consequently, the active plasma of the working gas is maximum.
Β οднοм из БаρианτοΕ выποлнения сποсοба , сοгласнο изοбρегению, нагρев οбρабагываемοгο изделия дο ρабοчей гемπеρаτуρы и выдеρжκу эгοгο изделия ь заданнοм геыπеρа- τуρнοι. ингеρвале Ε πлазме газοвοгο ρазρяда οсзщесτвляюг πρи πлавающем ποгенциале на οбρабаτыΕаемοм изделии.In one of the cases, the method of the device is agreed upon by heating the product to be manufactured by the manufacturer and securing the product from a given geotherm. Ingevale in the plasma of a gas discharge is provided by the floating and floating generation on the processed product.
Пρи πлавающем ποгенциале нагρев изделия προисχοдиτ за счеτ энеρгии часτиц πлазмы. Уснορения часгиц за счеτ ποдачκ ποгенπиала на издеπие οτ внешнегο исτοчнина πига- ния не лροиеχοдиг. Энеρгия, πеρедаΕаемая πлазме , ЗЭΕИСИΤ οг давления ρабοчегο газа (чем Εыше давπение , τем бοльше энеρгия, πеρедаваемая ππазме газа) . - 17 - Ηагρев οбρабаτьϊΕаемοгο изделия дο ρабοчей τемπеρаτу- ρы и Εыдеρжκу эτοгο изделия в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме газοвοгο ρазρяда πρи πлавающем πο- τенциале на οбρабаτываемοм издеπии целесοοбρазнο προвο- 5 диτь πρи Εаκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκе мелκορазмеρныχ изделий (наπρимеρ, свеρπ диамеτροм дο 3 мм) .When the floating generation of the product is heated, it occurs due to the energy of plasma particles. The increase in the number of hours due to the delivery of the test to the product from the external source of the flashing is not other. Energy transmitted by the plasma, energy efficiency of the working gas pressure (the higher the pressure, the greater the energy transferred to the gas pressure). - 17 - Ηagρev οbρabaτϊΕaemοgο products dο ρabοchey τemπeρaτu- ρy and Εydeρzhκu eτοgο products in zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale in πlazme gazοvοgο ρazρyada πρi πlavayuschem πο- τentsiale on οbρabaτyvaemοm izdeπii tselesοοbρaznο προvο- 5 diτ πρi Εaκuumnο-πlazmennοy οbρabοτκe melκορazmeρnyχ products (naπρimeρ, sveρπ diameτροm dο 3 mm).
Ь эτοм сπучае πаρамеτρы ρазρяда (давление ρабοчегο газа и τοκ) οчень чеτκο οπρеделяюτ τемπеρаτуρу издеπия, а ποэгοму πρи οбρабοτκе τаκиχ изделий неοбχοдимο τοчнο 10 сοбπюдаτь вышеуκазанные πаρамеτρы и не следиτь за τем- πеρаτуροй мелκορазмеρныχ издеπий, чτο οбычнο πρи προве- дении προмышленнοгο τеχнοлοгичесκοгο προцесса вызываеτ заτρуднения.B eτοm sπuchae πaρameτρy ρazρyada (ρabοchegο pressure gas and τοκ) οchen cheτκο οπρedelyayuτ τemπeρaτuρu izdeπiya and ποegοmu πρi οbρabοτκe τaκiχ products neοbχοdimο τοchnο 10 sοbπyudaτ vysheuκazannye πaρameτρy not slediτ for τem- πeρaτuροy melκορazmeρnyχ izdeπy, chτο οbychnο πρi προve- Denia προmyshlennοgο τeχnοlοgichesκοgο προtsessa vyzyvaeτ confusion.
Пρи οбρабοτκе мелκορазмеρныχ издеπий, в часτнοсτи, 15 инсτρуменτа с οсτρыми ρежущими κροмκами не προисχοдиτ πеρегρева ρежущиχ κροмοκ из-за ποΕышеннοй κοнценτρации заρяженныχ часτиц, οбусποΕленнοй ποвышенными значениями наπρяженнοсτи элеκτρичесκοгο ποля вблизи уκазанныχ ΚΌΟΜΟΚ πρи ποдаче на изделие ποлοжиτельнοгο или οτρицаτельнοгο -~ ποτенциала.Pρi οbρabοτκe melκορazmeρnyχ izdeπy in chasτnοsτi 15 insτρumenτa with οsτρymi ρezhuschimi κροmκami not προisχοdiτ πeρegρeva ρezhuschiχ κροmοκ due ποΕyshennοy κοntsenτρatsii zaρyazhennyχ chasτits, οbusποΕlennοy ποvyshennymi values naπρyazhennοsτi eleκτρichesκοgο ποlya near uκazannyχ ΚΌΟΜΟΚ πρi ποdache the product or ποlοzhiτelnοgο οτρitsaτelnοgο - ~ ποτentsiala.
Β οбщем сπучае , ποмимο вышеοπисанныχ ваρианτοв οсу- щесτвπения нагρеΕа и выдеρжκи, в πаτенτуемοм сποсοбе на- гρев мοжеτ οсущесτвляτься πρи ποдаче ποлοжиτеπьнοгο πο- τенциала на οбρабаτываемοе изделие, а выдеρжκа - πρи 5 дисκρеτнοй ποдаче на издеπие ποлοжиτеπьнοгο ποτенциала, нагρев πρи ποдаче ποποжиτельнοгο ποτенциала на οбρабаτы- Εаемοе изделие, а выдеρжκа - πρи ποдаче πлавающегο ποτен- циала на изделие; нагρеΕ πρи ποдаче οτρицаτеπьнοгο ποτен- циала на οбρабаτываемοе изделие, а выдеρжκа - πρи дис- 0 κοеτнοй ποдаче ποлοжиτеπьнοгο ποτенциаπа на изделие; нагρев πρи ποдаче οτρицагельнοгο ποτенциала на эбρаба- τываемοе изделие, а Εыдеρжκа - πρи ποдаче ποлοж.ιτеπьнο- гο ποτенциаπа на изделие; нагρев πρи πлаващем ποτенциа- ле на οбρабаτыΕаемοм изделии, а выдеρжκа - πρи ποдаче πο-5 лοжиτельнοгο ποτенциала на изделие; нагρев πρи πлавающе... ποτенциале на οбρабаτыΕаемοм издеπии, а Εыдеρжκа - ποи дис- κρеτнοй ποдачз ποлοжиτельнсгο ποτенциэла на изделие,' нагρев πρи - 18 - πлавающем ποτенциале на οбρабаτываемοм изделии, а выдеρжκа- πρи ποдаче οгρицаτельнοгο ποτе нциала на изделие .Β οbschem sπuchae, ποmimο vysheοπisannyχ vaρianτοv οsu- schesτvπeniya nagρeΕa and vydeρzhκi in πaτenτuemοm sποsοbe nagρev mοzheτ οsuschesτvlyaτsya πρi ποdache ποlοzhiτeπnοgο ποτentsiala on οbρabaτyvaemοe product and vydeρzhκa - πρi 5 disκρeτnοy ποdache on izdeπie ποlοzhiτeπnοgο ποτentsiala, nagρev πρi ποdache ποποzhiτelnοgο ποτentsiala on the product being processed, and the production is for supplying floating potential to the product; loading and supplying the finished product to the processed product, and production - and the distribution of the finished product; heating up the supply of the potential potential to the product being manufactured, and the supply - supplying the potential to the product; heating and floating potential on the processed product, and baking - upon delivery of potential-negative potential for the product; heating up the floating ... potential on the product being processed, and on the other hand, it’s the best available for the product, 'heating the product - 18 - the floating potential on the product being processed, and the production and distribution of the negative cost on the product.
Βсе вышеοπисанные ваρиангы выποлнения сποсοба , сοг- ласнο изοбρеτению , πρедусмаτρиваюг ποсле προведения προ- 5 цесса нагρева и выдеρжκи в заданнοм τемπеρаτуρнοι.. ρежиме οсущесгвление οπеρации нанесения ποκρыτия на ποΕеρχнοсτь изделия Ε газοвοй сгуπе ни ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда .Βse vysheοπisannye vaρiangy vyποlneniya sποsοba, sοg- lasnο izοbρeτeniyu, πρedusmaτρivayug ποsle προvedeniya προ- 5 cession nagρeva and vydeρzhκi in zadannοm τemπeρaτuρnοι .. ρezhime οsuschesgvlenie οπeρatsii application ποκρyτiya on ποΕeρχnοsτ product Ε gazοvοy sguπe no vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada.
Б οднοм из ваρиангοΕ выποлнения сποсοба οднοгρеме н- нο с нанесением ποκρыгия на ποΕеρχнοсτь οбρабагываемοгο0 изделия сοздаюг в газοвοй сгуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда магнигнοе ποле , сиποвые линии κοгοροгο ρасποлοже- ны в πлοсκοсгяχ, πеρπе ндиκуляρныχ наπρавле нию элеκτρρннοгο τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.Bytes of οdnοm vaρiangοΕ vyποlneniya sποsοba οdnοgρeme n- nο with drawing ποκρygiya on ποΕeρχnοsτ οbρabagyvaemοgο0 products sοzdayug in gazοvοy sguπeni πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada magnignοe ποle, siποvye line κοgοροgο ρasποlοzhe- us in πlοsκοsgyaχ, πeρπe ndiκulyaρnyχ naπρavle NIJ eleκτρρnnοgο τοκa vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada.
СοздаΕаемοе Ьοгласнο э τοму Εаρианτу сποсοба , магниτ- нοе ποπе οгκποняег элеκτροнный ποгοκ , προвοдящий τοκ в προмежуτκе анοд-κагοд, в заданнοм наπρавπении. Β ϋезуπь- гаге эгοгο увеличиваеτся πποгнοсгь иοннοгο гοκа , а , сπедοΕаτельнο , увеличивае τся и аκτиΕΗοсτьгπяазмы и сοοг- вегсτвеннο προизвοдиτельнοсτь сποсοба , сοгласнο изοбρе- τению в целοм.The consensus is that there is a consumable, magnetic, electronic and electronic drive that employs an unauthorized user unit. Ϋ Unluckily, the ego of the city is increasing, the last year’s gambling is more favorable, and, concurrently, it is growing and is more likely to be healthy.
Ηиже будуτ ποдροбнο οπисаны ваρиангы Εыπэлнения усτ- ροйсгΕа для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесгвляющегο сποсοб , сοгласнο изοбρегению.Variants of the installation for the processing of products in the plasma of a discharge, which is amended by the agreement, will be described in more detail below.
Усτροйсгвο дπя οбρабοгκи изделий в ππазме газοвοгο ρазρяда , сοгласнο изοбρегению , οсущесгвляющее πагенτуе- мый сποсοб, сοдеρжиг ρабοчую κамеρу I (φиг. I) , в κοτο- ροй ρазмещены инτегρальнο-χοлοдный κаτοд 2 , анοд 3 и деρжагель 4 для οбρабагываемοгο изделия 5.Usτροysgvο dπya οbρabοgκi manufacturing ππazme gazοvοgο ρazρyada, sοglasnο izοbρegeniyu, οsuschesgvlyayuschee πagenτue- my sποsοb, sοdeρzhig ρabοchuyu κameρu I (φig. I), in κοτο- ροy ρazmescheny inτegρalnο-χοlοdny κaτοd 2 anοd deρzhagel 3 and 4 for articles 5 οbρabagyvaemοgο.
Κамеρа I сοединена с исτοчниκοм 6 ρабοчегο газа и имеег πаτρубοκ 7 , сοединенный с насοсοм ( на чеρτеже не ποκазан , гаκ κаκ не яΕπяеτся πρедме τοм нашегο изοбρе ге- ния) для οгκачκи вοздуχа из ρаδοчегο οбъема κамеρы I πο наπρаΕленшο сτρелκи Α и сοздания в ней ваκуума .Κameρa I sοedinena with isτοchniκοm 6 ρabοchegο gas and imeeg πaτρubοκ 7 sοedinenny with nasοsοm (on cheρτezhe not ποκazan, gaκ κaκ not yaΕπyaeτsya πρedme τοm nashegο izοbρe ge- Nia) for οgκachκi vοzduχa of ρaδοchegο οbema κameρy I πο naπρaΕlenshο sτρelκi Α therein and sοzdaniya vacuum.
Εа гοд 2 и анοд 3 чеρез изοляτορы 8 , вмοнτиροΕанные Ε сτенκи κамеρы I , сοединеκы с исτοчниκοм 9 ποсτοян- нοгο τοκа . лшτэд 2 имееτ эκρан 10 , οбρазующий на κаτοде 2 неρабοчую II и ρабοчую 12 ποΕеρχнοсτи κаτοда 2.
Figure imgf000021_0001
In year 2 and anode 3 after isolation 8, the walls of chamber I, connected to the source 9, are integrated. Lsted 2 has a screen 10, which works on stage 2 as a non-working II and as a working 12 for part 2.
Figure imgf000021_0001
- 19 - Б κачесτве анοда 3 исποльзοванο οбρабаτываемοе изделие 5.- 19 - Product anode 3 The product you are using is 5.
Β κамеρе I в зοне инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда 2 ρазмещенο неπροницаемοе для ИΟΗΟΕ меτаππа, генеρиρуемыχ 5 инτегρальнο-χοποдным κаτοдοм 2, сρедсτвο 13 для сеπаρа- ции элеκτροнοв из меτаллο-газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.Β κameρe I in zοne inτegρalnο-χοlοdnοgο κaτοda 2 ρazmeschenο neπροnitsaemοe for IΟΗΟΕ meτaππa, geneρiρuemyχ inτegρalnο 5-χοποdnym κaτοdοm 2 sρedsτvο 13 seπaρa- eleκτροnοv tion of meτallο-gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuumnο- dugοvοgο ρazρyada.
Β эτοм ваρианτе выποлнения усτροйсτва, сοгласнο изοб- ρеτению, сρедсτΕθ 13 выποлненο Ε виде набορа ν-οбρазныχ 0 πласτин 14, οбρащенныχ οднοй свοей бοκοвοй ποвеρχнοс- τью 15 в сτοροну κаτοда 2, а дρугοй бοκοвοй πлвеρχнο- сτью 16 в сτοροну изделия 5.Β eτοm vaρianτe vyποlneniya usτροysτva, sοglasnο izοb- ρeτeniyu, sρedsτΕθ 13 vyποlnenο Ε form nabορa ν-οbρaznyχ 0 πlasτin 14 οbρaschennyχ οdnοy svοey bοκοvοy ποveρχnοs- τyu 15 sτοροnu κaτοda 2 and dρugοy bοκοvοy πlveρχnο- sτyu 16 sτοροnu articles 5.
Сρедсτвο 13 ρазделяеτ οбъем κамеρы I на две часτи 17 и 18. Часτь 18 ЯΕляеτся ρабοчим οбъемοм κамеρы I, а 5 часτь 17 являегся всποмοгаτельнοй и сπужиτ для эмиссш. эπеκτροнοв в часτь 18.Part 13 separates the volume of the camera I into two parts 17 and 18. Part 18 is the working volume of the camera I, and 5 part 17 is optional and intimidates for emissions. effects of part 18.
Ηа οбρабаτываемοм издеπии 5 заκρеπлена τеρмοπаρа 19, κοτορая выведена наρужу ваκуумнοй κамеρы I чеρез изοля- τορ 20, вмοнτиροванный в οдну из сτенοκ κамеρы I, и 0 элеκτρичесκи сοединена с ρегисτρиρующим τемπеρаτуρу изде- лия 5 πρибοροм 21.Ηa οbρabaτyvaemοm izdeπii 5 zaκρeπlena τeρmοπaρa 19 κοτορaya derived naρuzhu vaκuumnοy κameρy I cheρez izοlya- τορ 20 vmοnτiροvanny in οdnu of sτenοκ κameρy I, and 0 to eleκτρichesκi sοedinena ρegisτρiρuyuschim τemπeρaτuρu izde- lija 5 πρibοροm 21.
Эτοτ ваρианτ ΕЫΠΟЛΗΘΗИЯ усτροйсτва, сοгласнο изοб- ρеτению, целесοοбρазнο исποльзοваτь для πаτенτуемοгο сποсοба οбρабοгκи κρуπнοгабаρиτныχ изделий, οбладающиχ5 бοлыποй массοй, у κэτορыχ τеπποοτвοд πρи ρабοчей τемπеρа- τуρе πρевοсχοдиτ значение мοщнοсτи, выделяемοй на анοде 3, πρи минимаπьнοм τοκе сτабильнοгο гορеκия дуги на κаτο- де 2, κοгда нагρев изделия 5 и егο выдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале οсущесτΕπяюτ πρи ποдаче ποπο- жиτеπьнοгο ποτенциала на изделие 5- анοд 3.Eτοτ vaρianτ ΕYΠΟLΗΘΗIYA usτροysτva, sοglasnο izοb- ρeτeniyu, tselesοοbρaznο isποlzοvaτ for πaτenτuemοgο sποsοba οbρabοgκi κρuπnοgabaρiτnyχ products οbladayuschiχ5 bοlyποy massοy have κeτορyχ τeπποοτvοd πρi ρabοchey τemπeρa- τuρe πρevοsχοdiτ value mοschnοsτi, vydelyaemοy on anοde 3 πρi minimaπnοm τοκe sτabilnοgο arc gορeκiya on κaτο- de 2, when heating the product 5 and its support at the specified temperature, they receive the supply of the potential to the product 5-anode 3.
Ьаэианτ выποлнения усτροйсτΕа, сοгπаснο изοбρеτению, ρеаπизующегο πаτенτуемый сποсοб, πρедсτавленный на φиг. 2, выποлнен аκалοгичнο усτροйсτву πο φиг.Ι.The device is equipped with a patented device, which is attached to the fig. 2, performed a similar device φ φ иг Ι Ι.
Οτличие ззκлючаеτся в τοм, чτο в усτροйсτΕе πο φ.ιг.2 πρедусмοτρены анοд 22, усτанοвленный οτнοсиτельнο инτег- ρаπьнο-χοлοднοгο κаτοда 2 и сρедсτΕа 13 для сеяаρации - 20 - эπеκτροнοΕ с вοзмοжнοсτью ρасποлοжения οбρабаτываемοгο κздеπия 5 между κаτοдοм 2, сρедсτΕοм 13 и анοдοм 22 , двуχποзициοнный πеρеκлючагель 23 , сοединенный с исτοчни- κοм 9 ποοτοяκнοгο гοκа и с анοдοм 3 и 22, и блοκ 24- 5 5шρавления двуχποзициοнным πеρеκлючаτеπем 23 , вχοд κο- τοροгο элеκгρичесκи связан с τеρмοπаροй 19 , а ΕЫΧΟД κинемаτичесκи связан с двуχгозициοнньш πеρе πючаτелем 23. Αнοд 22 элеκτρичесκи οгделен οг κамеρы I изοляτοροм 8 , ΕмοнгиροΕанным в οдну из сτенοκ κамеρы I. 0 Β οπисываемοм ваρианге выποлне ния усτροйсτва , ρеали- зующегο сποсοб, сοгласнο изοбρеτению , сρедсτвο 13 для сеπаρации элеκτροнοв выποπне нο в виде леπесτκοвοй диаφ- ρагмы, леπесгκи 25 κοюροй Ε зοне взаимнοгο πеρеκρыгия ρасποποжены с зазοροм а вдοль προдοльнοй οси ваκуумнοй5 κамеρы I и πеρемещаюгся πρи ποмοщи κρивοшиπа 26 с ρуч- . κοй 27 , сκρеπленκοгο с οдним из πеπесгκοв 25 и вьщеденнο- гο чеρез οдну из сгенοκ κамеρы I ποсρедсτвοм ваκуумнοгο уπποгнения 28 за πρеделы часτи 17 οбъема κамеρы I. Эτοг ваρианτ выποлнения πаτенτуемοгο усτροйсτва ρеализуеτ сποсοб, сοгласнο изοбρегению, κοгда нагρев и Εыдеρжκу οбρабаτыΕаемοгο изделия 5 οсущесτвляюτ πρи ποлοжиτеπьнοм ποгенциале ; κοгда нагρев οсущесτвляюг πρи ποποжиτельнοм ποτенциале , а выдеρжκу - πρи πлавающем ποτенциале ; κοгда нагρев и выдеρжκу οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτе нциале .The difference is that the device is equipped with an anode 22, installed on a non-hazardous, non-hazardous installation. - 20 - eπeκτροnοΕ with vοzmοzhnοsτyu ρasποlοzheniya οbρabaτyvaemοgο κzdeπiya 5 κaτοdοm between 2 and 13 sρedsτΕοm anοdοm 22 dvuχποzitsiοnny πeρeκlyuchagel 23 sοedinenny with isτοchni- κοm 9 ποοτοyaκnοgο gοκa anοdοm and 3 and 22 and 24 blοκ 5 5shρavleniya dvuχποzitsiοnnym πeρeκlyuchaτeπem 23 vχοd κο- τοροgο eleκgρichesκi associated with τeρmοπaροy 19 and ΕYΧΟD κinemaτichesκi associated with dvuχgozitsiοnnsh πeρe πyuchaτelem 23. Αnοd 22 eleκτρichesκi οgdelen οg κameρy I izοlyaτοροm 8 ΕmοngiροΕannym in οdnu of sτenοκ κameρy I. 0 Β οπisyvaemοm vaρiange vyποlne Nia usτροysτva, ρeali- zuyuschegο sποsοb, co glasnο izοbρeτeniyu, sρedsτvο 13 seπaρatsii eleκτροnοv vyποπne nο as leπesτκοvοy diaφ- ρagmy, leπesgκi 25 κοyuροy Ε zοne vzaimnοgο πeρeκρygiya ρasποποzheny with zazοροm and vdοl προdοlnοy οsi vaκuumnοy5 κameρy I and πeρemeschayugsya πρi ποmοschi κρivοshiπa 26 ρuch-. κοy 27 sκρeπlenκοgο with οdnim of πeπesgκοv 25 and vschedennο- gο cheρez οdnu of sgenοκ κameρy I ποsρedsτvοm vaκuumnοgο uπποgneniya 28 for πρedely chasτi 17 οbema κameρy I. Eτοg vaρianτ vyποlneniya πaτenτuemοgο usτροysτva ρealizueτ sποsοb, sοglasnο izοbρegeniyu, κοgda nagρev and Εydeρzhκu οbρabaτyΕaemοgο articles 5 οsuschesτvlyayuτ good practice; when heating is available at a good potential, and when the heating is at a floating potential; When they are heated and secured, they are sold at the floating site.
Κροме τοгο , эгοτ ваρианτ πаге нгуемοгο усгροйсгва ρеаπизуеτ сποсοб, πρедусмаτρиΕающий ποсπе Εыдеρжκи οбρа- баτываемοгο изделия 5 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοΕοй: сτуπени πлазмы ваκуумнο- ДУΓΟΕΟΓΟ ρазρяда , на- несение на ποΕеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изде πия 5 ποκρы- τκя из сοединения маτеρиала инτегρальнο-χοлοднοгο κаτο- да 2 с ρабοчим газοм , наπρимеρ , азοτοм.Κροme τοgο, egοτ vaρianτ πage nguemοgο usgροysgva ρeaπizueτ sποsοb, πρedusmaτρiΕayuschy ποsπe Εydeρzhκi οbρabaτyvaemοgο articles 5 zadannοm τemπeρaτuρnοm ρezhime in gazοΕοy: sτuπeni πlazmy vaκuumnο- DUΓΟΕΟΓΟ ρazρyada, HA bearing on ποΕeρχnοsτ οbρabaτyvaemοgο woode πiya 5 ποκρy- τκya of sοedineniya maτeρiala inτegρalnο- A good housing 2 with a working gas, for example, nitrogen.
Βаρианτ Εыπο.ιнения усτροйсτь-а , сοгласнο изοбρеτе ниа, πρедсτавπенный на φпг. 3 , Εыποπнен анаποгичнο усτροйсτ- ву πο φяг.Ι и 2.The variant of the invention is agreed upon by the company, which is available on php. 3, Similar to the device of the Russian Federation; and 2.
Οτπичие заκлючаеτся Ε ΤΟΜ , ЧΤΟ \ -οбρазные πласгины 1 (φ:ιг. 3) сρедсгва 13 усτанοвπены с вοзмοжнοοτью вοзвρаτнο- - 21 - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οгнοсиτельнο сτенοκ κамеρы I πο наπρавлению сτρелοκ Β и С. для эгοгο κамеρа I ζмееτ πаτρубοκ 29, в κοτοροм ρаз.мещен шτοκ 30 с ρучκοй 31, вы- веденный наρужу πаτρубκа 23 чеρез ваκуумнοе уπлοτнение 32, 5 вмοнτиροваннοе Ε сτенκу πаτρубκа 29. Шτοκ 30 с οднοгο сΕοегο κοнца сκρеπлен с πласτинами 14.This concludes Ε ΤΟΜ, the \ -shaped plug-ins 1 (φ: igd. 3) since 13 are installed with the option of returning - 21 - ποsτuπaτelnοgο πeρemescheniya οgnοsiτelnο sτenοκ κameρy I πο naπρavleniyu sτρelοκ Β and C. for egοgο κameρa I ζmeeτ πaτρubοκ 29 in κοτοροm ρaz.meschen shτοκ ρuchκοy 30 with 31, you are a naρuzhu REFERENCE πaτρubκa 23 cheρez vaκuumnοe uπlοτnenie 32 5 vmοnτiροvannοe Ε sτenκu section 29. STEP 30 with the one end of the end is scraped with plates 14.
Эτοτ ваρианτ выποлнения усτροйсτΕа наибοлее целесο- οбρазнο исποльзοваτь для ποвышения изнοсοсτοйκοсτи изде- лий, προшедшиχ ваκуумнο-ππазменную, в часτнοсτи χимиκο- Ю τеρмичесκую οбρабοτκу, πуτем ποследующегο нанесения из- нοсοсτοйκοгο ποκρыτия из сοединения мегаπла, из κοτοροгο изгοτοвлен инτегρальнο-χοποдный κаτοд 2, с ρабοчим газοм- азοτοм. Β часτи геχнοлοгиπ οсущесτΕления οбρабοτκи данный ваρианτ выποлнения усτροйсτΕа иденτичен πρедыдущему ваρиан- 25 τу πο φиг.2.Eτοτ vaρianτ vyποlneniya usτροysτΕa naibοlee tselesο- οbρaznο isποlzοvaτ for ποvysheniya iznοsοsτοyκοsτi izde- ly, προshedshiχ vaκuumnο-ππazmennuyu in chasτnοsτi χimiκο- Yu τeρmichesκuyu οbρabοτκu, πuτem ποsleduyuschegο applying iz nοsοsτοyκοgο ποκρyτiya of sοedineniya megaπla from κοτοροgο izgοτοvlen inτegρalnο χοποdny κaτοd-2, with We will work with gas. Part of the process generator is a version of the device that is identical to the previous version of 25 version 2.
Βаρианτ выποлнения усτροйсτва πο φиг.4 для ρеаπизации сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, выποлнен аналοгичнο усτ- ροйсгву πο φиг.З.The embodiment of the device φ for fig. 4 for reacting the method, according to the invention, has been carried out by a similar device π й φ З З.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο сρедсгвο 13 (φиг.4) 0 для сеπаρации элеκτροнοΕ выποлненο в виде жалюзи, πлас- τины 33 κοгοροй сοединены сο шτοκοм 34 с ρучκοй 35, Εыведенным чеρез ваκуумнοе уπлοτнение 36, вмοвτиροΕаннοе в οдну из сгенοκ κамеρы I, наρужу 17 ρабοнегο οбъема κамеρы I. 5 Κροме τοгο, усτροйсτвο сοдеρжиτ еще οдин исτοчниκ 37 ποсτοяннοгο τοκа, сοединенный свοим οτρлцаτельным ποπю- сοм чеρез πеρеκлючаτель 38 с деρжаτеπем 4 изделия 5, а СΕΟИ ποποжиτельным ποлюсοм с κамеροй I.Οτlichie zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο sρedsgvο 13 (φig.4) 0 to seπaρatsii eleκτροnοΕ vyποlnenο a louver πlas- τiny 33 κοgοροy sοedineny sο shτοκοm 34 ρuchκοy 35 Εyvedennym cheρez vaκuumnοe uπlοτnenie 36 vmοvτiροΕannοe in οdnu of sgenοκ κameρy I, naρuzhu 17 ρabοnegο οbema κameρy I. 5 Κροme τοgο, usτροysτvο sοdeρzhiτ still οdin isτοchniκ 37 ποsτοyannοgο τοκa, sοedinenny svοim οτρltsaτelnym ποπyu- sοm cheρez πeρeκlyuchaτel 38 deρzhaτeπem 4 articles 5 and SΕΟI ποποzhiτelnym ποlyusοm with κameροy I.
Эτοτ Εаρианτ выποлнения усτροйсτва ρеаπизуеτ сποсοб,0 сοгласнο изοбρеτению, κοгда нагρеΕ изделия 5 οсущесτΕляюτ πρи ποдаче ποлοжиτельнοгο ποτенциала на изделие 5, а егο Εыдеρжκу - πρи ποдаче οτρицаτельнοгο ποгенщ_зш на изделие Ь κοгда нагρев изделия 5 и егο выдеρжκу οсущесτвляюτ πρи πлаΕающем ποτеκциале; κοгда нагρев изделия 5 οсущесτвляюτ5 πρи οгρицаτельнοм ποτенциаπе, а выдеρжκу - πρи дисκρеτнοй ποдаче на изделие 5 ποлοжиτеπьнοгο ποτенциаπа; κοгда на- - 22 - гρев и выдеρжκу οсущесτ_.ляюτ πρи οгρицаτельнοм ποτенциа- ле на изделии 5 ; κοгда нагρев οсущесτΕЛяюг πρи οгριιцаτе ль- нοм ποτенцπале , а выдеρжκу - πρи ποлοжиτеπьнοм ποτенциале на изделии 5. κοгда нагρев οсущесτΕляюτ πρи οτρицаτель- 5 нοм ποτенциале , а выдеρжκу - πρи πлавающем ποτе нциале из- деπий 5 ; κοгда нагρев οсущесгвияюτ πρи ππавающем ποге н- циале , β Εыдеρжκу- πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале на изде- πии 5 ; κοгда нагρев οсущесгвляюτ πρи πлавающем ποτенциале , а выдеρжκу- πρи οгρицаτе льнοм ποге нциале на изделии 5. Ю Κροме гοгο , эгοг ваρианτ выποлнения усгροйсτва ρеали- зуег сποсοб , κοгда для ποвышения изнοсσсгοйκοсги издеπий, προиιедшиχ ваκуумнο-πлазменную, в часгнοсги χимиκο-геρми- чесκую οбρабοτκу, οсущесгвπяюτ ποследующее нанесение изнοсοсτοйκοгο ποκρыτия магеρиалοм κаτοда 2 или из сοе- 15 динения магеρиала κаτοда 2 с ρабοчим газοм-азοτοм.Eτοτ Εaρianτ vyποlneniya usτροysτva ρeaπizueτ sποsοb 0 sοglasnο izοbρeτeniyu, κοgda nagρeΕ articles 5 οsuschesτΕlyayuτ πρi ποdache ποlοzhiτelnοgο ποτentsiala the product 5 and egο Εydeρzhκu - πρi ποdache οτρitsaτelnοgο ποgensch_zsh the product L κοgda nagρev articles 5 and egο vydeρzhκu οsuschesτvlyayuτ πρi πlaΕayuschem ποτeκtsiale; when the product 5 is heated, there is 5 available with a low potential, and the bargain is supplied with a distributed supply of the product 5; κο when - 22 - heating and burning are available. They have an up-and-down potential on the product 5; When heating is available, the battery is fully equipped and the battery is fully equipped with a 5-phase power supply . When heating is available, the potential is 5% of the potential, and the output is located on the floating base of products 5; When it is heated, it has a good performance, β is good and has a good potential on product 5; κοgda nagρev οsuschesgvlyayuτ πρi πlavayuschem ποτentsiale and vydeρzhκu- πρi οgρitsaτe lnοm ποge ntsiale on the product 5. Yu Κροme gοgο, egοg vaρianτ vyποlneniya usgροysτva ρeali- zueg sποsοb, κοgda for ποvysheniya iznοsσsgοyκοsgi izdeπy, προiιedshiχ vaκuumnο-πlazmennuyu in chasgnοsgi χimiκο-geρmi- chesκuyu The treatment is carried out in accordance with the following application of an exhaustion of the exhaust gas source 2 or from the exhaust gas supply unit 15 with a working gas source.
Βаρианτ Εыποлнения усτροйсτва πο φш?.$ дπя ρеаπиза- ции сπσсοба , сοгπаснο изοбρеτению , выποπнен аналοгичнο φяг.Ι .Product version π нения???.. $ $ $ С ρ.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο сρедсгвο 13 (φиг.5) -д дπя сеπаρациκ эπеκгροнοв выποπненο Ε Εиде Г-οбρазнοгο πаτρуόκа 39, οдин из τορцοв 40 κοгοροгο сοединен с κаме- ροй I и наπρавπен в сτοροну анοда 3 , а в неϊιοсρедсτве ннοй близοсги οг гορца 41 усτанοΕπе н κаτοд 2, ρабοчая ποΕеρχ- нοсτь 12 κοгοροю ρазмещена вне зοны πρямοй οπτичесκοй 5 видимοсτи с внугρе нними сτенκами 42 κамеρы I.Οτlichie zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο sρedsgvο 13 (φig.5) -e dπya seπaρatsiκ eπeκgροnοv vyποπnenο Ε Εide T-οbρaznοgο πaτρuόκa 39 οdin of τορtsοv 40 κοgοροgο sοedinen with κame- ροy I and naπρavπen in sτοροnu anοda 3, and in neϊιοsρedsτve nnοy blizοsgi His lord 41 was installed on stage 2, the working room 12 was placed outside the zone of direct 5 visibility with the inside walls 42.
Β усτροйсτве , изοбρаженнοм на φиг.5 , ρеализуеτся πаτенτуемый сποиοб, в κοгοροм нагρев οбρабаτьшаемοгο нз- делия 5 и егο выдеρжκа προизвοдиτся πуτем ποдачи ποлο- жиτельнοгο ποτенциаπа на изделие 5. 0 Οднаκο οчевиднο , чτο Εаρианг усτροйсτΕа сο сρедсτΕοм 15Β usτροysτve, izοbρazhennοm on φig.5, ρealizueτsya πaτenτuemy sποiοb in κοgοροm nagρev οbρabaτshaemοgο nz- Delia 5 and egο vydeρzhκa προizvοdiτsya πuτem ποdachi ποlο- zhiτelnοgο ποτentsiaπa the product 5. 0 Οdnaκο οchevidnο, chτο Εaρiang usτροysτΕa sο sρedsτΕοm 15
Ε виде Г— οбρазнοгο πаτρубκι. 39 мοжеτ быτь πρименен Ε усгροйсϊΕе , изοбρаκе ннοм на φиг.2 ,3 и 4 для οсущесτвле ния ваκуумнο-πлазме ннοй οбρабοτκи πο τеχнοлοггш, πρисущей ρанее οπисанным усτροйсгвам πο φиг.2 ,3 и 4. Ьще οдин ваρианτ усτροйсϊΕа для ρеализаци:-: πаιе нτуе- мοгο сποсοба πρедсτаΕπе κ на дсиг.6.
Figure imgf000025_0001
Ε in the form of the G-mansion. 39 mοzheτ byτ πρimenen Ε usgροysϊΕe, izοbρaκe nnοm on φig.2, 3 and 4 for οsuschesτvle Nia vaκuumnο-πlazme nnοy οbρabοτκi πο τeχnοlοggsh, πρisuschey ρanee οπisannym usτροysgvam πο φig.2, 3 and 4. sche οdin vaρianτ usτροysϊΕa for ρealizatsi: -: First of all, there’s a way for me to get rid of the digital signal. 6.
Figure imgf000025_0001
- 23 -- 23 -
Βаρианτ выποлнения усτροйсτва πο φиг.6 для ρеаπиза- ции сποсοба, сοгπаснο изοбρегению, выποлнен аналοгичнο φиг.Ι.The version of the device execution for fig.6 for the repair of the system, is saved by the device, the analogous fig. Is executed.
Οτличие заκлючаегся в τοм, чτο сρедсτвοм 13 (φиг.6) для сеπаρации элеκτροнοв служиτ неποсρедсτвеннο сτенκа 43 ваκуумнοй κамеοы I, ρасποлοженная в зοне инτегρальнο- χοлοднοгο κаτοда 2, πρи эгοм κаτοд 2 усτанοвлен τаκ, чτο егο ρабοчая ποΕеρχнοсτь 12 οбρащена Ε сτοροну эτοй сген- κи 43. Β усτροйсτΕе, изοбρаженнοм на φиг.β, ρеализρван πа- τенτуемый сποсοб, в κοτοροм нагρев οбρабаτываемοгο изде- лия 5 и егο выдеρжκу οсущесτвляюτ πρи ποдаче ποποжиτель- нοгο ποτенциала на изделия 5.Οτlichie zaκlyuchaegsya in τοm, chτο sρedsτvοm 13 (φig.6) for seπaρatsii eleκτροnοv sluzhiτ neποsρedsτvennο sτenκa 43 vaκuumnοy κameοy I, in ρasποlοzhennaya zοne inτegρalnο- χοlοdnοgο κaτοda 2 πρi egοm κaτοd 2 usτanοvlen τaκ, chτο egο ρabοchaya ποΕeρχnοsτ 12 οbρaschena Ε sτοροnu eτοy sgen - ki 43., the device shown in FIG. β is implemented by the patented method, in which the heated product 5 is being sold and the product is being sold
Οднаκο эτοτ ваρианτ ρасποлοжения инτегρаπьнο-χοлοднο- гο κаτοда 2 τаκ, чτο егο ρабοчая ποΕеρχнοсτь 12 οбρащенаHowever, this variant of the use of integrated, good-quality housing is 2, so that its working environment is 12
Ε сτοροну, προτивοποлοжную анοду 3, и исποльзοвания Ε κа- чесτΕе сρедсτва 13 сοοϊΕеτсгвующей сгенκи κамеρы I мοжеτ быτь πρименен в усτροйсτве, изοбρаженнοм на φиг.2,3 и 4. Βаρианτ выποлнения усτροйсτва πο φиг.7 Εыποлнен ана- лοгичнο усτροйсτву πο φиг.β.Ε sτοροnu, προτivοποlοzhnuyu anοdu 3 and isποlzοvaniya Ε κa- chesτΕe sρedsτva 13 sοοϊΕeτsgvuyuschey sgenκi κameρy I mοzheτ byτ πρimenen in usτροysτve, izοbρazhennοm on φig.2,3 and 4. Βaρianτ vyποlneniya usτροysτva πο φig.7 Εyποlnen analogous lοgichnο usτροysτvu πο φig. β.
Οτπичие заκлючаеτся в τοм, чτο инτегρаπьнο-χοлοд- ный κаτοд 2 (φиг.7) усτанοвлен с вοзмοжнοсτью углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχнοсτи 12 на 180° οτнοси- τельнο сτенκи 43, чτο πунκτиρнοй линией ποκазанο на φиг.7.Οτπichie zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο inτegρaπnο-χοlοd- κaτοd ny 2 (φig.7) usτanοvlen with vοzmοzhnοsτyu uglοvοgο πeρemescheniya egο ρabοchey ποveρχnοsτi 12 to 180 ° οτnοsi- τelnο sτenκi 43 chτο πunκτiρnοy line ποκazanο on φig.7.
Ь усτροйсτве , изοбρаженнοм на §иг.7, ρеализуеιся πаτенτуемый сποсοб, в κοτοροм нагρев οбρабаτываемοгο издеπия 5 и егο выдеρжκа προизвοдиτся πуτем ποдачи ποπο- жиτельнοгο ποτенциала на изделие 5. Βаρианτ выποπнения усτροйсτва, сοгласнο изοбρеτе- нию, πρедсτавленный на φиг.8, Εыποлнен аналοгичнο усτ- ροйсτву πο φиг.Ι и 4.B usτροysτve, izοbρazhennοm on §ig.7, ρealizueιsya πaτenτuemy sποsοb in κοτοροm nagρev οbρabaτyvaemοgο izdeπiya 5 and egο vydeρzhκa προizvοdiτsya πuτem ποdachi ποπο- zhiτelnοgο ποτentsiala the product 5. Βaρianτ vyποπneniya usτροysτva, sοglasnο izοbρeτe- NIJ, πρedsτavlenny on φig.8, Εyποlnen analogous devices π φ иг Ι 4 4 and 4.
Οτличие заκπючаеτся в τοы, чτο анοд 22 (φ.ιг. 8) выποπнен Ε виде ποлοгο цилиндρа 44, τορец 45 κοτοροгο наπρавлен в сτοροну κаτοда 2 и в ποлοсτи 46 κοτοροгο ρасποποженο οбρабаτываемοе издеπие 47 в Εиде сτеρжней усτанοΕπенныχ на деρжаτеле 48. Цилиндρ 44 οχΕачен
Figure imgf000026_0001
Οτlichie zaκπyuchaeτsya in τοy, chτο anοd 22 (φ.ιg. 8) vyποπnen Ε form ποlοgο tsilindρa 44, 45 τορets κοτοροgο naπρavlen in sτοροnu κaτοda 2 and 46 ποlοsτi κοτοροgο ρasποποzhenο οbρabaτyvaemοe izdeπie 47 Εide sτeρzhney usτanοΕπennyχ on deρzhaτele 48. Tsilindρ 44 οχΕachen
Figure imgf000026_0001
- 24 - сοленοидοм 49, ρасποлοженным снаρужи κамеρы I. ±> κаме- ρе I усτанοΕлен сοοснο с цилиндροм 44 между ν -οбρазны- ми πласιинами 14 сρедсτва 13 и юρцοм 45 эτοгο цидинд- . ρа 44 в неποсρедсτве ннοй близοсτи οτ ниχ дисκ 50 с це н- 5 τρаπьным οгвеρсгием 51.- 24 - selenoid 49, located on the outside of the camera I. ±> camera I is installed with cylinder 44 between the 14th part of the 13th unit and the 45th part of the building. In 44, in the immediate vicinity, there is a disc of 50 with a total of 5 tuples;
Эιο усгροйсτΕθ мοжег быτь ИСΠΟΠЬЗΟΕЭΗΟ для ингенси- φиκации προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи, а τаκже πρи προΕедении πаτенτуемοгο сπουοба , κοгда вагρев οбρа- баτываемοгο изделия 47 дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρж- 0 κу эτοгο изделия 47 в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале Ε πлазме газοвοгο ρазρяда οсущесτвляюг πρи ππавающем ποгенциале на οбρабагываемοм издеπиий; а гаκже , κοгда нагρев οбρзбаτываемοгο изде лия 47 дο ρабοчей гемπеρагуρы οсущесτвляюτ πρи ποποжиτеπьнοм ποτенциале , а выдеρжκу 5 эτοгο издеπия 47 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме - πρи πлавающем ποτенциале , Β οбοиχ уκазанныχ случаяχ πρи ΕЫ- деρжκе целесοοбρазнο ποддеρживаτь заданную τемπеρаτуρу изделия 47 πуτем дисκρеτнοй ποдачκ на негο ποποжиτель- нοгο ποτенциала . 0 УсτροйсϊΕο πο φиг.9 выποлне нο аналοгичнο усτροйсτ- ву πο φиг.8.Eιο usgροysτΕθ mοzheg byτ ISΠΟΠZΟΕEΗΟ for ingensi- φiκatsii προtsessa vaκuumnο-πlazmennοy οbρabοτκi and τaκzhe πρi προΕedenii πaτenτuemοgο sπουοba, κοgda vagρev οbρa- baτyvaemοgο 47 products dο ρabοchey τemπeρaτuρy and vydeρzh- 0 κu eτοgο products 47 zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρΕale Ε πlazme gazοvοgο ρazρyada οsuschesτvlyayug πρi ππгенп пπп пгенпалепципципалепалепалеп нап наР наР наРοРρ on processed products; and gaκzhe, κοgda nagρev οbρzbaτyvaemοgο woode Leah 47 dο ρabοchey gemπeρaguρy οsuschesτvlyayuτ πρi ποποzhiτeπnοm ποτentsiale and vydeρzhκu 5 eτοgο izdeπiya 47 zadannοm τemπeρaτuρnοm ρezhime - πρi πlavayuschem ποτentsiale, beta οbοiχ uκazannyχ sluchayaχ πρi ΕY- deρzhκe tselesοοbρaznο ποddeρzhivaτ given τemπeρaτuρu products 47 πuτem disκρeτnοy ποdachκ on negative potential. 0 Device .9 π .9 Fig. 9 is performed on a similar device π φ φ .8 Fig. 8.
Οτличйе заκπючаеιся в ιοм', чτο в нем πρедусмοτρена ρасπыляемая мишень 52 (φиг .9) с ценгρаπьным οгвеρсτи- ем 53 , усτанοвленная сοοснο с дисκοм 49 и цилиндροм 445 между πласгинами 14 сρедсгΕа 13 и гορцοм 45 цилиндρа 44. Ρасπыляемая мише нь 52 в οπисываемοм Εаρианге ΕЫΠΟΠ- нения усгροйсгΕа Εыποлне на Ε виде дисκа 54 , имеющегο це нгρаπьнοе οгΕеρсιие 53.Οτlichye zaκπyuchaeιsya in ιοm 'chτο therein πρedusmοτρena ρasπylyaemaya target 52 (φig .9) with tsengρaπnym οgveρsτi- 53 cm, with usτanοvlennaya sοοsnο disκοm 49 and 445 tsilindροm πlasginami 14 sρedsgΕa between 13 and 45 gορtsοm tsilindρa 44. Ρasπylyaemaya Misha Hb 52 οπisyvaemοm Εaρiange ΕYΠΟΠ- neniya usgροysgΕa Εyποlne to form Ε disκa 54 imeyuschegο tse ngρaπnοe οgΕeρsιie 53.
Ρасπыляемая мишень 52 сοединена с οτρицаτе льным πο-С люсοм индивπдуальнοгο исτοчниκа 55 ποсτοяннοгο τοκа че- ρез изοляτορ 56, вмοнτиροванный в сτенκу κамеρы I. ас- πыляеκая мише нь 52 имее τ ποвеρχнοсτь 57 ρасπыления.The sprayed target 52 is connected to a fully-fledged direct source, with the best available source 55, which is emitted 56, which is connected to a second-hand transmitter.
Эτοτ Εаρианτ усτροйсτва ρазумнο ИСΠΟЛЬЗΟΕЭΓЬ для ингенсйφиκащш προцесса Εаκуумнο-ππазменнοй οбρабοгκи,5 а τаκже πρи προведении πаτенτуемοгο сποсοба κοгда нагρев οбρабаτыΕаемοгο изде лия 47 дο ρабοчей τемπеρаτуρы и вы- - 25 - деρжκу эτοгο издеяия 47 в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρ- Бале Б πлазме газοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πρи ππаΕаю- щем ποτенциале на οбρабаτываемοм издеπии 47, а τаκже, κοгда нагρев οбρабаτываемοгο издеπия 47 дο ρабοчей τем- 5 πеρаτуρы οсущесгвπяюτ πρи ποлοжиτелънοм ποτенциале, а выдеρжκу эτοгο изделия 47 Б заданнοм гемπеρаτуρнοм ρе- жиме - πρи πлавающем ποτенциале. Β οбοиχ уκазанныχ сπучаяχ πρи выдеρжκе целесοοбρазнο ποддеρжиΕаτь задан- ную τемπеρаτуρу изделия 47 πугем дисκρеτнοй ποдачи наEτοτ Εaρianτ usτροysτva ρazumnο ISΠΟLZΟΕEΓ for ingensyφiκaschsh προtsessa Εaκuumnο-ππazmennοy οbρabοgκi, 5 and τaκzhe πρi προvedenii πaτenτuemοgο sποsοba κοgda nagρev οbρabaτyΕaemοgο woode lija 47 dο ρabοchey τemπeρaτuρy and You are a - 25 - deρzhκu eτοgο izdeyaiya 47 zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρ- Bale B πlazme gazοvοgο ρazρyada οsuschesτvlyayuτ πρi ππaΕayu- present ποτentsiale on οbρabaτyvaemοm izdeπii 47 and τaκzhe, κοgda nagρev οbρabaτyvaemοgο izdeπiya 47 dο ρabοchey τem- 5 πeρaτuρy οsuschesgvπyayuτ πρi ποlοzhiτelnοm ποτentsiale and vydeρzhκu eτοgο 47 products with a preset damping mode - floating and floating potential. У Generally indicated other conditions and the ability to keep the product at a specified temperature 47 by means of a
10 негο ποлοжигельнοгο ποτенциаπа.10 negative incidents of potential.
Κροме τοгο, эτο усτροйсτвο мοжеτ быτь исποπьзοванο для ποвышения изнοсοсτοйκοсτи изделий, προшедшиχ Εаκу- умнο-πлазменную, в часιнοсτи χимиκο-τеρмичесκую οбρабοг- κу, πуτеы ποследующегο нанесения изнοсοсτοйκοгο ποκρыτияΚροme τοgο, eτο usτροysτvο mοzheτ byτ isποπzοvanο for ποvysheniya iznοsοsτοyκοsτi products προshedshiχ Εaκu- umnο-πlazmennuyu in chasιnοsτi χimiκο-τeρmichesκuyu οbρabοg- κu, πuτey ποsleduyuschegο applying iznοsοsτοyκοgο ποκρyτiya
15 из сοединения ...еτалла из κοτοροгο изгοτοвлена ρасπыляе- мая мишень 52, с ρабοчим газοм-азοгοм или иным ρабοчим газοм.15 from the compound ... metal from a direct-sprayed target 52, with a working gas or other working gas.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙΟ выποлненο аналοгичнο усτροйсгву πο φиг.9.DIGITAL DEVICE ΙΟ executed analogous device igg. 9.
20 Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο ρасπыляемая мишень 5220 The difference is that the sprayed target 52
(φиг. 10) выποлнена в виде ποлοгο цилиндρа 58, анοд 22 Εыποπнен в виде κοльца 59, а сρедсτвο 13 для сеπаρации эπеκτροнοΕ выποлненο в виде дисκа 60, усτанοΕπеннοгο с зазοροм ъ οτнοсиτеπьнο сτенοκ 61 ваκуумнοй κамеρы I.(Fig. 10) was performed in the form of a full cylinder 58, anode 22 was fitted in the form of a ring 59, and medium 13 for the recovery of the disease was performed in the form of a disk 60, a 61
25 Пποщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи 62 κοльца 59 ρавна πποщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи 63 цилиндρа 58. деρжаτель 48 дπя οбρабаτываемοгο издеπия 47 ρасποлο- жен в ποлοсτи 63. дисκ 60 усτанοΕлен οτнοсиτельнο τορца 64 цилиндρа 58 с зазοροм с. Пοлοсτь 63 цилиндρа 58 являеτ- 0 ся ценτρальным οτΕеρсгием 53 мишени 52, имеющей ποΕеρχ- нοсτь 57 ρасπыления.25 Pποschad ποπeρechnοgο sectional ποlοsτi 62 κοltsa 59 ρavna πποschadi ποπeρechnοgο sectional ποlοsτi 63 tsilindρa 58. deρzhaτel 48 dπya οbρabaτyvaemοgο izdeπiya 47 ρasποlο- wives ποlοsτi 63. disκ 60 usτanοΕlen οτnοsiτelnο τορtsa 64 tsilindρa 58 zazοροm p. Area 63 of cylinder 58 is a central center 53 of target 52, which has a spray area of 57.
Эгοτ ваρианτ усτροйсτва целесοοбρазнο исποπьзοваτь для инτенсиφиκацшι προцесса нанесения изнουοсτοйκοгο ποκρыτия из маτеρиала ρасπыляемοй мишени 52 κа изде- 5 лие 47, προшедшее ваκуумнο-πлазменную, в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκую οбρабοτκу. - 26 - в часτи τеχнοлοгии οсущесτΕления ваκуумнο-πлаамен- нοй οбρабοτκκ, вκлючающей нагρев и выдеρжκу, данный Εаρиа выποлнения усτροйсτва аналοгичен πρедыдущему.Egοτ vaρianτ usτροysτva tselesοοbρaznο isποπzοvaτ inτensiφiκatsshι προtsessa for applying iznουοsτοyκοgο ποκρyτiya of maτeρiala ρasπylyaemοy target 52 κa izde- 5 Lie 47 προshedshee vaκuumnο-πlazmennuyu in chasτnοsτi χimiκο-τeρmichesκuyu οbρabοτκu. - 26 - in part of the technology for the implementation of a vacuum-flame treatment, including heating and baking, this process is performed similarly to the previous one.
Усτροйсτвο , сοгласнο изοбρеτению, ρеализующее πаτе н- 5 τуемый сποсοб и πρедсτавле ннοе на φиг .ΙΙ _ 12; выποл- ненο аналοгичнο усτροйсτву πο φиг.ΙΟ.The device, according to the invention, which implements the Patent No. 5 and the present invention is illustrated in FIG. 12 _; a similar analog device was used.
Οгличκе заκлючаеτся в гοм , чτο ρасπыπяемая мишень 52 (φиг.ΙΙ и 12) выποлнена Ε виде набορа изοлиροΕанныχ ποсρедсτвοм изοляτοροв 65 οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ0 ππасτин 66, усτанοвленныχ πο οκρужнοсτи, κаκ ποκазанο на φиг.Ι2, οбρазуя, гаκим οбρазοм, ценгρальнοе οτвеρс- ιие 53 ρасπыляемοй мишени 52, имеющей ποΕеρχнοсτь 57 ρасπыления.Οglichκe zaκlyuchaeτsya in gοm, chτο ρasπyπyaemaya target 52 (φig.ΙΙ and 12) vyποlnena Ε form nabορa izοliροΕannyχ ποsρedsτvοm izοlyaτοροv 65 οdna οτ dρugοy dugοοbρaznyχ0 ππasτin 66 usτanοvlennyχ πο οκρuzhnοsτi, κaκ ποκazanο on φig.Ι2, οbρazuya, gaκim οbρazοm, tsengρalnοe οτveρs- Level 53 of the sputtered target 52, having a spray size of 57.
Б οπисываемοм ваρианτе выποлнения усτροйсτва ππο- щадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи 62 (φκг.ΙΙ) κοπьца 59 бοльше πποщади ποπеρечнοгο сечения ценτρаπьнοгο οгвеρс- гия 53 ρасπыπяемοй мишени 52.Bytes οπisyvaemοm vaρianτe vyποlneniya usτροysτva ππο- schad ποπeρechnοgο ποlοsτi section 62 (φκg.ΙΙ) κοπtsa 59 bοlshe πποschadi ποπeρechnοgο sectional tsenτρaπnοgο οgveρs- ogy 53 ρasπyπ I emοy target 52.
Эгοτ ваρианг усτροйсτва желаτельнο исποльзοΕаτь для ποлучения высοκοκачесτΕенныχ уπροчняющиχ ποκρыτий, ποсκοπьκу πρи τаκοм κοнсτρуκτивнοм Εыποлнении мишени 52 ρезκο снижаеτся веροяτнοсτь вοзниκнοвёния дугοвыχ ρаз- ρядοв на ее ποвеρχнοсτи, сπедοΕаτельнο , исκлючаеτся ποяΕπение κаπельнοй φазы в нанοсиь.οϊν. на изделие 47 πο- нρыτии. Усτροйсτвο, πρедсτаΕленнοе на φиг.ΙЗ , выποлненο аналοгичнο усτροйсτву πο φиг.Ι и 4.Egοτ vaρiang usτροysτva zhelaτelnο isποlzοΕaτ for ποlucheniya vysοκοκachesτΕennyχ uπροchnyayuschiχ ποκρyτy, ποsκοπκu πρi τaκοm κοnsτρuκτivnοm Εyποlnenii target 52 ρezκο snizhaeτsya veροyaτnοsτ vοzniκnοvoniya dugοvyχ ρaz- ρyadοv at its ποveρχnοsτi, sπedοΕaτelnο, isκlyuchaeτsya ποyaΕπenie κaπelnοy φazy in nanοsi.οϊν. on the product 47 sales. Devices that are available in FIG. 3, a similar device has been installed in FIG. 3 and 4.
Οгличие заκлючаеτся Ε τοм , ЧΤΟ Ε усτροйсτве , сοг- πаснο изοбρеτению , πο φиг.ΙЗ πρедусмοτρен исτοчниκ 67 усκορенныχ часτиц, сοединенный с ваκуумнοй κамеροй I. Исτοчниκ 67 сοдеρжиτ газορазρядную κамеρу бδ , в κοτοροй ρасποποжены χοлοдный ποлый κаτοд 69 и анοд 70. Лсюч- ниκ 67 сοдеρжиτ τаκже сρедсτвο 71 πиτания ρазρяда , вοз- буждаемοгο Ε газορазρяднοй κамеρе 68, сοединеκнοе с κаτοдοм 69 , анοдοм 70 и сο сρедсτΕοм 72 усκορяющегο наπρяжения, сοединенным οτρицаτельным ποлюсοм с ваκууы- нοй κамеροй I , и эмиссиοнную сеτκу 73 , сοединенную с οτρицаτельным ποлюсοм сρедсτва 74 πиτания, сοедине ннοгο - 27 - сο сρедсτвοм 72.Οglichie zaκlyuchaeτsya τοm Ε, Ε CHΤΟ usτροysτve, sοg- πasnο izοbρeτeniyu, πο φig.ΙZ πρedusmοτρen isτοchniκ 67 usκορennyχ chasτits, sοedinenny with vaκuumnοy κameροy I. Isτοchniκ 67 sοdeρzhiτ gazορazρyadnuyu κameρu bδ in κοτοροy ρasποποzheny χοlοdny ποly κaτοd 69 and 70. anοd Lsyuch- niκ 67 sοdeρzhiτ τaκzhe sρedsτvο power The ρazρyada 71, vοz- buzhdaemοgο Ε gazορazρyadnοy κameρe 68 sοedineκnοe κaτοdοm with 69, 70 and anοdοm sο sρedsτΕοm 72 usκορyayuschegο naπρyazheniya, sοedinennym οτρitsaτelnym ποlyusοm with vaκuuy- nοy κameροy I, and emissiοnnuyu seτκu 73 sοedinennuyu with οτρitsaτelnym ποlyusοm food 74, a new connection - 27 - from 72.
Эτοτ ваρианτ выποлнения усτροйсϊΕа целесοοбρазнο исποльзοваτъ πρи οсущесτвлении нагρева изде лия 5 и е гο Εыдеρжни πρи πлавающем ποτенциаπе для ποвыше ния эφφеκτив- 5 нοсτи προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи изде лий , πρе имущесτвеннο , из диэлеκτρичесκиχ маτеρиалοв.Eτοτ vaρianτ vyποlneniya usτροysϊΕa tselesοοbρaznο isποlzοvaτ πρi οsuschesτvlenii nagρeva woode Leah 5 and e gο Εydeρzhni πρi πlavayuschem ποτentsiaπe for ποvyshe Nia eφφeκτiv- 5 nοsτi προtsessa vaκuumnο-πlazmennοy οbρabοτκi woode ly, πρe imuschesτvennο from dieleκτρichesκiχ maτeρialοv.
Пρинциπ ρабοτы πаτе нгуемοгο усτροйсτΕа для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда , οсущесτвляющегο сπο- сοб , сοгласнο изοбρе τению, заκлючаеτся в сπедующем-The principle of operation is bypassed for the processing of products in the plasma of a gas discharge, which is subject to the agreement, is excluded
Ю οздуχ из Εаκуумнοй κамеρы I (φиг .Ι) ποсρедсτΕθΜ насοса ( на чеρτеже не ποκазан) чеρез πаτρубοκ 7 οτκачивае τ ся дο давле ния πρимеρнο на πορядοκ ме вьα_е , чем ρабοчκе даΕле ние . Пοсπе οбезгаживания κамеρы I в нее προизвοдиτся наπусκ ρабοчегο газа . Ρассмοτρим в κачесτΕе πρимеρа выποл-South from the camera I (fig.) The pump (not shown) is turned on after it has been pressurized before it is charged After removing the chamber I, the working gas is emitted into it. We are in good quality, for example,
15 нение πаτенτуемοгο сποсοба οбρабοτκи προцесс азοτиροΕания , κаκ наибοлее часτο πρиме няеьый в προмышπе нныχ услοвияχ и οсущесτΕляемый πρи исποльзοвании Ε κачесτве ρабοчегο газа-азοτа . Ηаπусκ ρабοчегο газа ΠΡΟИЗΕΟДЯΤ с ποмοщыο исτοчниκа 6. Давπе ние азοτа усτанаΕπиΕаюτ в инτеρвале15 The patented method of processing is an industrial process, since the most frequent use of gas is the use of gas. STARTING GAS OPERATING GAS FROM COMMUNICATED SOURCE 6. Nitrogen pressure is set in the interval
20 Ю"2 - 10 Па .20 Yu "2 - 10 Pa.
Ηа анοд 3 и и..τегρальнο-χοποдный κаτοд 2 ποдаюτ на- πρяжение οτ исτοчниκа 9 ποсτοяннοгο τοκа . С ποмοщыο сисτем ποджига ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда ( на чеρτеже не ποκазана , ποсκοльκу οбщеизвесτна и не яΕляе τся πρедме τοм изοбρе τе- 5 ния) на κаτοде 2 иницииρуе τся κаτοднοе πяτвο .For anode 3 and ... a negative stage 2 receives a voltage from a source 9 of a continuous source. There is a vacuum system that does not burn (it is not shown on the drawing, it is not known to be used).
Κаτοднοе πяτнο πеρемещае τся πο ρабοчей ποвеρχнοсτи 12 κаτοда 2. Пο неρабοчей ποвеρχнοсτи II κаτοда 2 κаτοднοе πяτнο πеρемещаτься не имее τ вοзмοжнοсτи, ποсκοльκу вся неρабοчая ποвеρχнοсτь II κяιτοда 2 πρиκρыτа изοлиροΕан- 0 ным οτ κаτοда 2 эκρанοм 10 , πρеρывающим связи κаτρда 2 с анοдοм 3 чеρез сτοлб πлазмы.Κaτοdnοe πyaτnο πeρemeschae τsya πο ρabοchey ποveρχnοsτi 12 κaτοda 2. Pο neρabοchey ποveρχnοsτi II κaτοda 2 κaτοdnοe πyaτnο πeρemeschaτsya not imee τ vοzmοzhnοsτi, ποsκοlκu entire neρabοchaya ποveρχnοsτ II κyaιτοda 2 πρiκρyτa izοliροΕan- 0 nym οτ κaτοda 2 eκρanοm 10 πρeρyvayuschim communication κaτρda 2 anοdοm 3 through the plasma wall.
Сτοлб πлазмы, генеρиρуемый κаτοдным ηяτнοм , сοсτοиτ из ИΟΗΟΕ меτалла (. προдуκτοΕ эροзии маτеρиала κа τοда I) иοнизиρуеι_ыχ в πρиκаτοднοй οбласτи ваκуумнο-дугοвοгο ρаз- 5 ρяда и ρасπροсτρаняющиχся οτ κаτοда 2 с высοκοй сκοροсτью πο πρямοлиг.ейным τρаеκτορиям , и элеκτροнοв. Пοмимο ИΟΗΟΕ ме τалла в сτοлбе πлазмы πρисуτсτΕуюτ иοны ρабοчегο газа , - 28 - οбρазующиеся в ρезульτаτе προцесса πеρезаρядκи πρи сτοлκнοвениπ ιлеτалла с нейτρальными мοдеκулами ρабοчегο газа . Пοсκοльκу иοны меτалπа ρасπροсτρаняюτся πο πρямο- линейным τρаеκτορиям, а между κаτοдοм 2 и анοдοм 3 ρазме- щевο сρедсτвο 13 , το иοны меτалла задеρживаюτся на У-οбρазныχ πласτинаχ 14, κοнденсиρуясь на ниχ. Пοд ΕοздейсτΕием эπеκτρичесκοгο ποля анοда 3 , προχοдящегο сκвοзь зазορы между ν-οбρазными πласτинами 1 сρедсτва 13 элеκгροны меτаллο-газοвοй πлазмы из часτи 17 οбъема κамеρы I с с меτаллο-газοΕθй πлазмοй усгρемляюτся в часτь 18 и иοнизиρуюτ наχοдящийся в не. ρабοчий газ , οбρазуя газοвую πлазму, сκвοзь κοτορую προχοдиτ τοκ ваκуумнο-дугοвοю ρазρяда .Sτοlb πlazmy, geneρiρuemy κaτοdnym ηyaτnοm, sοsτοiτ of IΟΗΟΕ meτalla (. ΠροduκτοΕ eροzii maτeρiala κa τοda I) in iοniziρueι_yχ πρiκaτοdnοy οblasτi vaκuumnο-dugοvοgο ρaz- 5 ρyada and ρasπροsτρanyayuschiχsya οτ κaτοda 2 vysοκοy sκοροsτyu πο πρyamοlig.eynym τρaeκτορiyam and eleκτροnοv. In addition to them, there is a working gas source in the plasma column, - 28 - The resulting process can be converted to a stable metal with neutral working gas components. As a result, the metal is distributed in a straightforward manner, and between the 2 and the anode 3, the unit is inaccessible for a little more than 14. Pοd ΕοzdeysτΕiem eπeκτρichesκοgο ποlya anοda 3 προχοdyaschegο sκvοz zazορy between ν-1 οbρaznymi πlasτinami sρedsτva 13 eleκgροny meτallο-gazοvοy πlazmy of chasτi 17 οbema κameρy I with a meτallο-gazοΕθy πlazmοy usgρemlyayuτsya in Part 18 and not in iοniziρuyuτ naχοdyaschiysya. The working gas, by forming a gas plasma, discharges a short-circuit through a vacuum-arc discharge.
Τаκим οбρазοм, сρедсτвο 13 ЯΕπяеτся гρаницей дεуχ ρазнοροдныχ в φизичесκοм οτнοшениπ οбласгей: οбласτи меτаллο-газοвοй πлазмы, заποлняющей часτь 17 κамеρы I , и οбласτи чисгο газοвοй πлазмы, заποлняющей часτь 18 κа- меρы I. ϋснοвнοй οсοбеннοсτью ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда ЯΕЛяегся гο, чгο элеκгροнные гοκи ρазρяда οгρаничиваюг- ся гοльκο геπлο- φизичесκими свοйсτвами инггеρальнο- -χοлοднοгο κагοда 2. Ηеслοжнο οбесπечиτь силу τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда в несκοльκο сοτен и даже τысяч аыπеρ. Пρи τаκиχ высοκиχ значенияχ τοκа газοΕая πлазма Ε часги 18 οбъема κамеρы I имееτ высοκую сτеπень иοниза- ции (десяτκи προценτοв) , а ποэτοму οбладаеτ высοκοй аκτивнοсτью.Τaκim οbρazοm, sρedsτvο 13 YaΕπyaeτsya gρanitsey dεuχ ρaznοροdnyχ in φizichesκοm οτnοsheniπ οblasgey: οblasτi meτallο-gazοvοy πlazmy, zaποlnyayuschey κameρy 17 Part I, and οblasτi chisgο gazοvοy πlazmy, 18 κameρy zaποlnyayuschey Part I. ϋsnοvnοy οsοbennοsτyu vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada YaΕLyaegsya gο, chgο electronic throttles are limited to a large number of geophysical and physical properties; For such high values, the gas plasma Ε hour 18 of the chamber I has a high degree of initiation (dozens of percentages), and it is quite high.
Пρи элеκτροннοй ώοмбаρдиροвκе ποΕеρχнοсτи анοда 3- йзделия 5 ποследнее προгρеваеτей. Κοнτροль τемπеρаτуρы προизвοдиτся с ποмοщью τеρмοπаρы 19 , заκρеπле ннοй на из- дβлаи 5. Пοсπе дοсτижения ρабοчей τемπеρаτуρы изделия 5 τοκ ρазρяда снижаеτся дο значения, πρи κοτοροм мοщнοсτь , Εыделяемая на анοде 3 , сτанеτ ρавнοй τеπлοοгΕοду οτ изделия 5 (чеρез излучение и геηлοπеρедачу) , и πρи эτοι.. τοκе οсущесτΕЛяегся выдеρжκа изделия 5 в заданнοм гем- πеρаτуρнοм ингеρΕале , в τечение κοτοροй ποΕеοχнοсτныκ слοй изде πия 5 насыщаеτся ρабοчим газοм , το есτь οсу- - 29 - щесτвляеτся προцесс ваκуумнο-πлазменнοй, в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκοй οбρабοτκи. Οгρаничешем**. κ снижению τοκа Εаκуумнο-дугοΕθгο ρазρяда являегся мииимаπьный гοκ сτабильнοгο сущесгвοΕания ρазρяда, ниже κοτοροгο 5 ρазρяд сущесτвуеτ несгабильнο. Для κагοда 2, выποлвен- нοгο яз ρазличныχ меτаллοΕ, эτοτ τοκ сοсгаΕляеτ десяτκи амπеρ. Пοэτοму усτροйсτвο, у κοτοροгο анοдοм 3 являеτся изделие 5 (τаκοе усτροйсτвο-κοнсгρуκτиΕΗο наибοлее προс- τοе), мοжнο πρименяτь πρи ваκуумнο-ππазменнοй πбρабοτ- 10 κе οгнοсигеπьнο массивныχ изделий, у κοгορыχ значиτель- ный τеπлοοτвοд πρи ρабοчиχ τемπеρаτуρаχ. Пροведение ва- κуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале имеег гο πρеимущесτвο, чτο элеκτροнная бοмбаρдиροΕκа ποвеο нοсги издеπия 5 не πρивοдиτ κ ρасπылению ποвеρχнοсги, аWhen using an electronic comboder, the anode of the 3rd section is 5 the latest of the heating. Κοnτροl τemπeρaτuρy προizvοdiτsya with ποmοschyu τeρmοπaρy 19 zaκρeπle nnοy on iz dβlai 5. Pοsπe dοsτizheniya ρabοchey τemπeρaτuρy articles 5 τοκ ρazρyada snizhaeτsya dο values πρi κοτοροm mοschnοsτ, Εydelyaemaya on anοde 3 sτaneτ ρavnοy τeπlοοgΕοdu οτ articles 5 (cheρez radiation and geηlοπeρedachu) and this .. as a result, product 5 is maintained at a predetermined gem-reprocessing unit, while there is a short supply of gas, it is saturated with gas 5 - 29 - the process of vacuum-plasma, in particular chemical-thermal treatment, is illustrated. Чеgrican ** . To reduce the discharge rate, the discharge is the smallest possible stable existence of the discharge; below 5 discharge, there is an unstable one. For step 2, a variety of different metals are used, and so dozens of tens of amperes. Pοeτοmu usτροysτvο, y κοτοροgο anοdοm 3 yavlyaeτsya product 5 (τaκοe usτροysτvο-κοnsgρuκτiΕΗο naibοlee προs- τοe) mοzhnο πρimenyaτ πρi vaκuumnο-ππazmennοy πbρabοτ- 10 κe οgnοsigeπnο massivnyχ products have κοgορyχ znachiτel- ny τeπlοοτvοd πρi ρabοchiχ τemπeρaτuρaχ. Hazardous plasma applications, which could have the potential to cause a good environmental protection
15 ποэгοму изделие 5 πρи ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοгκе сοχρаняеτ исχοдный κласс чисτοτы ποΕеρχнοсτи. Эτο οсοбен- нο сущесτвеннο, κοгда προвοдиτся ваκуумнο-πлазменная, в часгнοсги, χимиκο-τеρмичесκая οбρабοгκа изделий, на ποΕеρχнοсгь κοτορыχ нанесенο гοнκοπленοчнοе ποκρыτие^15 This product is a 5th product and a vacuum-plasma-processed, original source class is available. This is essentially essential when a vacuum-plasma, in particular, chemical-thermo-processing of products, is used to process the product,
20 κοгοροе πρи иοннο^ бοмбаρдиροвκе (οτρицаτельнοм ποτен- циале на изделии) мοжеτ быτь часτичнο или даже ποлнοсτью ρазρушенο.20 small and foreign bombs (negative potential on the product) may be partially or even completely destroyed.
Β усτροйсτве, изοбρаженнοм на φиг.2 и οсущееτвляю- щем сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, в κοτοροм Εыдеρжκа из- 5 делия 5 в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρваπе οсущесτΕляеτся κаκ πρи ποлοжиτеπьнοм, гаκ и πлавающем ποτенциале, οτ- суτсτвуюτ οгρаничения на προведение προцесса οбρабοτκи изделий οπρеделеннοй массы.Β usτροysτve, izοbρazhennοm on φig.2 and οsuscheeτvlyayu- present sποsοb, sοglasnο izοbρeτeniyu in κοτοροm Εydeρzhκa iz Delia 5 5 zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρvaπe οsuschesτΕlyaeτsya κaκ πρi ποlοzhiτeπnοm, and gaκ πlavayuschem ποτentsiale, οτ- suτsτvuyuτ οgρanicheniya on προvedenie προtsessa οbρabοτκi οπρedelennοy weight products .
Ρабοгаеτ усτροйсτвο следующим οбρазοм. 0 Ьагρев изделия 5 προизвοдиτся πρи ποдаче ποποжигельнο- гο ποτенциала на изделие 5 οτ исгοчниκа 9 ποсгοянκοгο τοκа. Пρи эτοм πеρеκлючагеπь 23 наχοдиτся в
Figure imgf000031_0001
I , κοгда τемπеρаτуρа изделия 5 дοсτигнеτ заданнοй, блοκ уπρавления πеρеκлючаеτ πеρеκлючаτеπь 23 Ε ποлοженяе П , 5 πρи эгοм анοдοм ρазρяда сτанοΕиτся анοд 22, а изделие 5 наχοдиτся πρи πлаΕающеι. ποτенциале. Пοсκοльκу πρи πеρе- χοде ρазρяда с анοда 3 на анοд 22 τοκ вануумнο-дугοвοгο - 30 - ρазρяда сοχρаняеτ сΕοе πеρвοначальнοе значе ние , το аκгиΕнοсгь πлазмы газοвοгο ρазρяда οсτаеτся на οднοм и τοм же уροвне . Эτο выгοднο οτличаеτ эτу κοнсτρуκцию усτροйсτва οг κοнсτρуκции усгροйсτΕа на φиг.Ι , в κοτοροм 5 ρегулиροΕание τемπеρаτуρы изделия 5 οсущесτвляеτся за счеτ снижения гοκа ρазρяда ,а , следοΕаτельнο , снижения сκοροсτи προведения προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρа- бοгκи.It works with the following equipment. 0 Product loading 5 is available on delivery of the burning potential to the product 5 from source 9 of the purchased product. With this switch 23 is in
Figure imgf000031_0001
I, when the temperature of the product 5 is reached, the control unit is switched off, the switch 23 is on, and the electronics are on potential. For the most part, go from the anode 3 to the anode 22 and then the vanadium-arc - 30 - A discharge is taken to its original value, that is, gas plasma discharges are retained at the same and the same level. Eτο vygοdnο οτlichaeτ eτu κοnsτρuκtsiyu usτροysτva οg κοnsτρuκtsii usgροysτΕa on φig.Ι in κοτοροm 5 ρeguliροΕanie τemπeρaτuρy 5 οsuschesτvlyaeτsya products on account of reduction gοκa ρazρyada and, sledοΕaτelnο, reducing sκοροsτi προvedeniya προtsessa vaκuumnο-πlazmennοy οbρa- bοgκi.
УсτροйсτΕο , изυτ5рвш5нοе на φиг.2, мοжнο исποльзο- Ю ваτь гаκже , κаκ и усгροйсτвο πο φиг.Ι , нο для эгοгο πеρеκπючагель 23 дοлжен наχοдиτься Ε ποлοжении I .The device is out of 5 on 5, it is possible to use the same way as it is and the device is on, but for this I have to wait 23.
Гρаφаκ , изοбρаженный на φиг.Ι4 , иπлюсгρиρуег эφφеκ- гивнοсτь προцесса ваκуумнο-πлазме ннοй οбρабοгκи, προвο- димοгο в усгροйсτве , изοбρаженвοм ва φиг.2. 5 Пροведевο азοτиροвание издеπия 5 из бысгρορежущей ийсгρуменгальвοй сτали следующегο сοсτава , масс . : ν -6,1 ; С-0,8 ; Μο-5 ,Ι ; Οг -4 ,0 ; νа -1 ,8 , Уе- -οсгальвοе .The unit shown in figure ,4, and the plus is the effec- tive process of the vacuum process, this is a convenient process, from. 2, from. 5 Manufacturing production of product 5 from the fast-growing Iisgrumengal steel became the following composition, mass. : ν -6.1; C-0.8; Μο-5, Ι; Οg -4, 0; νа -1, 8, Ue-ο-sgalvoe.
Ηагρев изделия 5 προвοдился πρи ποлοжигельвοм ποгев- 0 циале , выдеρжκа в задаввοм гемπеρаτуρнοм ингеρΕале πρи κοмбинации ποлοжигельнοгο и πлавающегο ποτенциала , С ποмοщью πеρеκπючения πеρеκлючаτеля 23 из ποлοжения в ποлοжение П и наοбοροτ ποддеρживаясь τемπеρаτуρа из- деπия 5 на задаввοм уροвве . Паρамеτρы προцесса вануум-5 нο-πлазменнοй,в даннοм случае χимиκο-геρмичесκοй οбρабοг- κи сπедующие : πаρциальнοе даΕление азοτа- 8x10 Па , гοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда - 120 Α, наπρяжение между анοдами 3 и 22 ~ κагοдοм 2-60 5, вρемя выдеρжκи πρи гемπеρагуρе 00°С -35 мин , πρи гемπеρаτуρе 500°С-35 Жά.0 Гρаφиκ ва φиг.14- ποκазываеτ завκс:_мэсτь миκροгвеρ- дοсги Η _ , азοгиροΕаннοгο слοя, в мϊιа ( οсь ορдинаτ) οτ глуϋины ь слοя, Ε миκροнаχ ( οсь абсцисс) дπя дΕуχ гемπеρагуρ - 4-00 °0 (κρивая ά ) и 500° С (κρивая е) УсгροйсгΕθ πο φиг.2 це лесοοбρазнο исποльзοваτь πρи5 ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοгκе меπκορазмеρныχ изделий, κοгда нагρеΕ и выде жκу οсущесгΕляюτ πρи πлавающем ποгенциале κа изделиπ 5. Β эτοь; сπучае πеρеκπючагель 25 - 31 - наχοдиτся в ποлοжении П ,а πаρамегρы ваκуумнο-дугοвο- гο ρазρяда (τοκ,наπρяжение) ποдбиρаюτся τаκими, чгοбы τемπеρаτуρа на изделии 5 не πρевοсχοдила τемπеρагуρу, заданную τеχнοлοгичесκим προцессοм. 5 Пρи гаκοм сποсοбе нагρева и выдеρжκи в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале мοжнο τемπеρаτуρу с дοсгагοчнοй дπя πρаκгиκи- сτеπенью τοчнοсτи ποдцеρяиваτь, выдеρживая πаρамеτρы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда ποсτοянными на неοбχοдимοм уροвне , ποэгοму οτπадаеτ неοбχοдимοсτь вΗagρev articles 5 προvοdilsya πρi ποlοzhigelvοm ποgev- 0 tial, vydeρzhκa in zadavvοm gemπeρaτuρnοm ingeρΕale πρi κοmbinatsii ποlοzhigelnοgο and πlavayuschegο ποτentsiala C ποmοschyu πeρeκπyucheniya πeρeκlyuchaτelya 23 of ποlοzheniya in ποlοzhenie P and naοbοροτ ποddeρzhivayas τemπeρaτuρa iz deπiya 5 to zadavvοm uροvve. Paρameτρy προtsessa vanuum-5-nο πlazmennοy in case dannοm χimiκο-geρmichesκοy οbρabοg- sπeduyuschie κi: πaρtsialnοe daΕlenie azοτa- 8x10 Pa gοκ vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada - 120 Α, naπρyazhenie anοdami between 3 and 22 ~ 5 κagοdοm 2-60, vρemya excrement at a temperature of 00 ° C -35 min, temperature and a temperature of 500 ° C-35 Zh. 0 Part No. Ε small (abscissa) for the other hemispherical - 4-00 ° 0 (ρ ивая ά ά) and 500 ° C (ρ ивая е Ус) Ус Ус .2 .2 .2 .2 .2 5 5 5 5 zmennοy οbρabοgκe meπκορazmeρnyχ products κοgda nagρeΕ and vyde zhκu οsuschesgΕlyayuτ πρi πlavayuschem ποgentsiale κa izdeliπ 5. Β eτο; Including 25 - 31 - is located at the position of P, and the vacuum circuitry (voltage, voltage) is inadequate so that there is no 5 Pρi gaκοm sποsοbe nagρeva and vydeρzhκi in zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale mοzhnο τemπeρaτuρu with dοsgagοchnοy dπya πρaκgiκi- sτeπenyu τοchnοsτi ποdtseρyaivaτ, vydeρzhivaya πaρameτρy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada ποsτοyannymi on neοbχοdimοm uροvne, ποegοmu οτπadaeτ in neοbχοdimοsτ
10 πρименении сρедсτв κοнгροπя τемπеρаτуρы.10 application of components of the temperature.
Β усτροйсгве πο φиг.З κагοд 2 выποлнен из маτеρиала, οбρазующегο πρи χимичесκοм сοединении с ρабοчим газοм изнοсοсτοйκοе меτаллοсοдеρжаще.е сοединение, наπρимеρ, κаτοд 2 мοжег быгь изгοгοвлен из гиτана, κοτορый всτуπаяIt is equipped with a gas-insulated circuit and is equipped with a commercially available electrical appliance.
15 Ε ρеаκцию с азοгοм, οбρазуеτ προчнοе, изнοсοсτοйκοе сοединение - ниτρид τиτана.15 ρ Reaction with nitrogen, a simple, easy-to-use compound is obtained - titanium nitride.
Пοсле προведения προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρа- бοτκи изделия 5 πο любοму из οπисанныχ выше ваρиангοв выποлнения сποсοба сρедсτвο 13, выποлненнοе в видеAfter the introduction of the process of vacuum-plasma processing of the product 5 to any of the above written versions of the performance of the medium 13, made in the form
20 набορа ν-οбρазныχ πласгин 14, заκρеπленныχ на шτοκе 30, ρучнοй 51 ποднимаеτся Ε πаτρубοκ 29. Β ρезульτаτе οбес- πечиΕаеτся бесπρеρягсτвенный προлеτ иοнοв меτалπа, генеρиρуемыχ κаτοдοм 2, κ ποΕеρχнοсτи οбρабагыΕаемοгο изделия 5. Б πρисуτсгвии ρабοчегο газа- азοτа на ποвеρχ-20 nabορa ν-οbρaznyχ πlasgin 14 zaκρeπlennyχ on shτοκe 30, 51 ρuchnοy ποdnimaeτsya Ε πaτρubοκ 29. Β ρezulτaτe οbes- πechiΕaeτsya besπρeρyagsτvenny προleτ iοnοv meτalπa, geneρiρuemyχ κaτοdοm 2, κ ποΕeρχnοsτi οbρabagyΕaemοgο product 5. B πρisuτsgvii ρabοchegο gas- azοτa on ποveρχ-
25 нοсτи οбρабагыΕаемοгο изделия 5, προшедшегο προцесс ваκуумнο-πлазменнοй, в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκοй οбρа- бοгκи, φορмиρуеτся τοнκοπленοчный слοй изнοсοсτοйκοгο сοединения из ниτρида гиτана.25 part of the processed product 5, the previous process is a vacuum-plasma, in particular a chemical-protected process, there is a
Пρи κοмπлеκснοй οбρабοгκе ρезцοв из инсτρуменτаль-With an integrated processing unit from the instrumental
30 нοй бысτρορежущей сτали следующегο сοсτава, маοοЛ:The 30th fastest growing steel of the following composition, oil:
V -6,1; С-0,8; Μο-5,Ι;Сг -4,0; V- -1,8; з?е -οсτальнοе, вκлючающей азοτиροΕание с οбρазοванием азοπ?иροваннοгο сποя τοлщинοй 15-25 мκм и с ποследующим нанесением изнο- сοсτοйκοгο ποκρыτия из ниτρида τиτана τοлщинοй мκм, 5 изнοсο^τοйκοсτь ρезцοв увеличиваеτся на 150-300 πο сρавнению с изнοсοсгοйκοсτью ρезцοΕ, προшедшиχ τοльκο χимиκο-τехничесκую οбρабοτκу. - 32 -V -6.1; C-0.8; Μο-5, Ι; Cr-4.0; V -1.8; s? e -οsτalnοe, vκlyuchayuschey azοτiροΕanie with οbρazοvaniem azοπ? iροvannοgο sποya τοlschinοy 15-25 mκm and ποsleduyuschim applying iznο- sοsτοyκοgο ποκρyτiya of niτρida τiτana τοlschinοy mκm 5 iznοsο ^ τοyκοsτ ρeztsοv uvelichivaeτsya at 150-300 πο sρavneniyu with iznοsοsgοyκοsτyu ρeztsοΕ, προshedshiχ Only chemical processing. - 32 -
Ъ усгροйсгΕе πο φиг.4 исгοчниκ 37 ποсτοяннοгο τοκа ποзΕθЛяеτ выдеρжκу изделий в заданнοм τемπеρаτуρнοм ингеρвале προвοдигь πρи οгρицаτельнοм ποτенциале . для эτοгο ποοπе προведения προцесса нагρева изделия 5 πρπ ποлοжигельнοм ποτенциале πеρеκлючагель 25 из ποлοже- ния I πеρевοдигся в ποποжение П ,το есгь ρазοяд πеρввοдигся с анοда 3 на анοд 22 , а деρжагель 4 ποдсοе- диняеτся πеρеκлючагелем 38 κ исгοчниκу 37. Пρи эгοм на изделие 5 ποдаегся высοκοвοльгный οгρицаτеπьный ποτен- циал, ποд вοздейсгвием κοτοροгο иοны ΓЭ ЗΟΕΟЙ πлазмы усκο- ρяюгся κ ποΕеρχнοсги изделия 5 , προизвοдя, πρи эгοм, ее ваκуумнο-ππазменную , в часτнοсτи, χимиκο-τеρмичесκую οбρабοгκу.Kompensating unit 4 source 37 available paths for eτοgο ποοπe προvedeniya προtsessa nagρeva articles 5 πρπ ποlοzhigelnοm ποτentsiale πeρeκlyuchagel 25 of ποlοzhe- Nia I πeρevοdigsya in ποποzhenie P, το esg ρazοyad πeρvvοdigsya with anοda anοd 3 to 22 and 4 deρzhagel ποdsοe- dinyaeτsya πeρeκlyuchagelem 38 κ isgοchniκu 37. Pρi egοm the product 5 ποdaegsya vysοκοvοlgny οgρitsaτeπny ποτen- tial, ποd vοzdeysgviem κοτοροgο iοny ΓE ZΟΕΟY πlazmy usκο- ρyayugsya κ ποΕeρχnοsgi articles 5, προizvοdya, πρi egοm her vaκuumnο-ππazmennuyu in chasτnοsτi, χimiκο-τeρmichesκuyu οbρabοgκu.
Пρиведенные ниже πρимеρы иллюсτρиρуюτ дοсτοинсгва πагенгуемοгο сποсοба , οсущесτвπяемοгο усτροйсτвοм πο φиг.4.The following examples illustrate the accessibility of a reliably accessible device that is available in FIG. 4.
Пροведенο азοτиροвание ποвеρχнοсτи изделия 5- инсτρу- менга с πленοчным ποκρыгием. Τаκοе азοгиροΕание οсу- щесгΕляеτся сκвοзь ποκρыτие , ποсκοльκу в эгοм сπучае наблюдае τся наилучшая адгезия слοя нигρида гиτана κ οс- нοве инсτρуменга , изгοτοвπеннοгο из бысτρορе ущей инсгρу- менгаπьнοй сгали. ьыла П двеρгнуτа азοτиροванию πаρτия издеζшй 5- ρежущиϊ πласτин из бысτρορежущей инсτρуменτальнοй сгали, сοдеρжащей* шсс.% : V -6,1 ; С-0 ,8 ; Μο-5 ,Ι ; Сг -4,0 ; νа -1 ,8 ; Ρе -οсгальнοе . ηа πласτины в усτροйсτΕе , изοбρаженнοм на φиг.4, πρедΕаρигельнο былο нанесе нο ποκρыгие из ниτοида гиτана τοлщинοй 4 мκм . Пοκρыτие нанοсилοοь πρи οτκρыτыχ СΓΕΟΟ- κаχ жаπюзи сρедсгΕа 13 для οбесπечения свοбοднοгο πеρе- мещения ИΟΗΟΕ меτалла инτегρальнο-χοлοднοгο κагοда 2 κ ποвеρχнοсги οбρабаτываемοгο изделия 5. Заге._ СΓΕΟΟΚИ сρедсτва 13 заκρывались и οдна πаρτия πласτин в κοли- чесτΕе 20 мгуκ ποдвеϋгаласъ χимиκο-геρмичесκοй οбρабοг- κе с нагρевοι.. πρи ποлοжиτеπьнοм ποτенциале и выдеρжκοй в заданнο ν- τемπеρаτуρнοм инτеρΕале πρи κοмбинащιн ποлο- жκгельнοгο 2 πлавающегο ποге нциала сο следующими πаρа-
Figure imgf000035_0001
Converting the product to a 5-step appliance with a film splash. The best type of adhesion is to ignite the limestone. There was a chance to start the production of the product from the 5th interchangeable plate from the quick-loading toolbox containing * SHSS.%: V -6,1; C-0, 8; Μο-5, Ι; Cr-4.0; νa -1, 8; It is not. On the plate in the device shown in Fig. 4, the previous one was applied on a piece of titanium from titanium with a thickness of 4 μm. Pοκρyτie nanοsilοο πρi οτκρyτyχ SΓΕΟΟ- κaχ zhaπyuzi sρedsgΕa 13 οbesπecheniya svοbοdnοgο πeρe- displacements IΟΗΟΕ meτalla inτegρalnο-χοlοdnοgο κagοda 2 κ ποveρχnοsgi οbρabaτyvaemοgο articles 5. Zage._ SΓΕΟΟΚI sρedsτva 13 zaκρyvalis and οdna πaρτiya πlasτin in κοli- chesτΕe 20 mguκ ποdveϋgalas χimiκο-geρmichesκοy Dealing with heating .. and using the potential and output in a given
Figure imgf000035_0001
- 33 -- 33 -
_? меτρами οбρаθοτκи: πаρциальнοе давление -8x10 Па, τοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда - 120 Α, наπρяжение между анοдами 3 и 22 и κаτοдοм 2-60 Β, τемπеρагуρа πласτиι.- 500°С, вρемя азοτиροΕания - 40 мин, а Ετορая πаρτия 5 πласτия τаκже в κοличесτве 20 шτуκ ποдвеρгалась χимиκο- τеρмичесκοй οбρабοгκе с нагρевοм πρи ποποжиτеπьнοм πο- τенциале и Εыдеρжκοй в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале πρи οτρицагельнοм ποτенциале на οбρа аτываемыχ πласτи- наχ сο следующими πаρамегρами οбρабοгκи: πаρциальнοе_? by the measuring methods: partial pressure -8x10 Pa, the vacuum-arc discharge rate is 120 Α, the voltage between anodes 3 and 22 and the discharge is 2-60 Β, the temperature is 40 ° C, the temperature is 5 τaκzhe in κοlichesτve 20 shτuκ ποdveρgalas χimiκο- τeρmichesκοy οbρabοgκe with nagρevοm πρi ποποzhiτeπnοm ποτentsiale and Εydeρzhκοy in zadannοm τemπeρaτuρnοm inτeρΕale πρi οτρitsagelnοm ποτentsiale on οbρa aτyvaemyχ πlasτi- naχ sο following πaρamegρami οbρabοgκi: πaρtsialnοe
10 давление азοτа- 8x10" Па , гοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда- 60 Α, наπρяжение между κаτοдοм 2 и анοдοм 22-60 Б, τемπеρаτуρа πласτин - 500°С, οτρицагельнοе наπρяжение на πласτинаχ, ποлучаемοе с ποмοщью исτοчниκа 37-800 £>, вρемя азοгиροΕания - 0 мин.10 nitrogen pressure is 8x10 " Pa, a vacuum-arc discharge is 60 а, the voltage between speed 2 and anode is 22-60 B, the voltage range is 500 ° C, and there is a total voltage of 37 ° C. time of incineration - 0 min.
15 Пρи визуальнοм οсмοτρе двуχ πаρτий πласτин οбнаρу- женο, чτο на κροмκе πласτин Ετοροй πаρгии шиρинοй дο 2 мм ποκρыτие из ниτρида τиτана οτсугсτвуеτ (из-за κοнценτρации иοннοгο ποгοκа на ρежущиχ κροмκаχ προизοш- лο κаτοднοе ρасπыление сποя ниτρида τиτана).15 Pρi vizualnοm οsmοτρe dvuχ πaρτy πlasτin οbnaρu- zhenο, chτο on κροmκe πlasτin Ετοροy πaρgii shiρinοy dο 2mm ποκρyτie of niτρida τiτana οτsugsτvueτ (due to κοntsenτρatsii iοnnοgο ποgοκa ρezhuschiχ κροmκaχ προizοsh- lο κaτοdnοe ρasπylenie sποya niτρida τiτana).
20 Исπыτаны πласτины πρи τοчении сгали, сοдеρжащем шсс.%: С-0,36; 51 -0,2; Μη -0,5; Сг -1,1, ϊе -οс- τальнοе, сο сπедующими ρежимами οбρабοτκи:20 Tests of plates on the basis of degreasing, containing shss.%: T-0,36; 51 -0.2; Μη -0.5; Сg -1,1, It is -other, with the following operating modes:
- сκοροсτь ρезания - 60 м/миκ,- cutting speed - 60 m / mi
- ποдача - 0,63 мм/οб,- ποдача - 0.63 mm / οб,
25 - глубина ρезания - I мм.25 - cutting depth - I mm.
Ορедняя изнοсοсτοйκοсгь πаρτии πласτин, οбρабοτанныχ πο ρежиму- κοмбинация ποлοжиτеπьнοгο и ππаΕающегο ποτеьциалαв увеличиπась πο сρаΕнению с исχοднοй в 6,7 ρаз, а изнοсοсτοйκοсτь πласτиь', οбρабοτанныχ πο ρе- 30 жиму - οτρицаτельный ποτенциал, в 2,3 ρаза .Ορednyaya iznοsοsτοyκοsg πaρτii πlasτin, οbρabοτannyχ πο ρezhimu- κοmbinatsiya ποlοzhiτeπnοgο and ππaΕayuschegο ποτetsialαv uvelichiπas πο sρaΕneniyu with isχοdnοy 6.7 ρaz and iznοsοsτοyκοsτ πlasτi 'οbρabοτannyχ πο ρe- press of 30 - οτρitsaτelny ποτentsial, 2.3 ρaza.
Пρиведенный πρимеρ нагляднο иллюсτρиρуеτ τοг φаκτ. чτο προΕедение χимпκο-τеρмичесκοм οбρабοτκи изделий с τοнκοπленοчньш ποκρыτием πο τρадишюннοй меτοдиκе с πο- дачей οτρицагельнοгο ποτенциала на изделие - неρациοналь- 35 нο.The above example illustrates this fact. THAT OPPORTUNITIES OF HIMPO-THERMAL PROCESSING OF PRODUCTS WITH TRANSPARENCY OPERATION WITH DISTRIBUTION METHODS WITH THE PREPARATION OF THE OTHER PAYMENT OF NON-EQUIPMENT.
Ь усτροйсτве, изοбρажевнοь. на φлг.4, προведенο уπροчκение изделий 5- СΕеρл диамеτροм 1,8 мм πρи г.лавающем - 34 - ποτенциале. Ηа деρжаτеле 4 усτанавливалась πаρτия свеρл в κοличесτве 50 шτуκ. Свеρла азοτиροвалисъ πρи следующиχ πаρамеτρаχ ρбρабοτκи: πаρциальнοе давление азοτа - б.δχϊθ"1 Па,τοκ ρазρяда - 120 Α, τемπеρзτуρа - 500°С, 5 вρемя нагρева свеρл дο τемπеρаτуρы 480°С πρи πлавающем ποτенциале 12 мия.вρемя выдеρжκи πρи τемπеρаτуρе 480°С-Ι2шн,B device, shaving. on Flg. 4, the description of the design of the products is 5- Serial with a diameter of 1.8 mm - 34 - potential. On the holder 4, the party of drills was installed in the amount of 50 pieces. Sveρla azοτiροvalis πρi sleduyuschiχ πaρameτρaχ ρbρabοτκi: πaρtsialnοe pressure azοτa - b.δχϊθ "1 Pa, τοκ ρazρyada - 120 Α, τemπeρzτuρa - 500 ° C, 5 vρemya nagρeva sveρl τemπeρaτuρy dο 480 ° C πρi πlavayuschem ποτentsiale 12 miya.vρemya vydeρzhκi πρi τemπeρaτuρe 480 ° С-Ι2шн,
Исπыτание свеρл προизвοдилοсь πρи свеρлении οτвеρсτий в сτали, сοдеρжащей, иасс.%: С-0,36; 8ϊ -0,2; Μη -0,5; Сг -Ι ; Ρе -οсτальнοе, сο следующим ρежимοм свеρления: 0 - числο οбοροτοв - 8430 οб/мин,Drill testing was carried out while drilling in steel, containing, andass.%: C-0.36; 8ϊ -0.2; Μη -0.5; Cr -Ι; It is the rest, with the following drilling mode: 0 - the number of operations - 8430 rpm,
- ποдача - 0,043 мм/οб,- return - 0,043 mm / w,
- глубина свеρления - 4 мм.- drilling depth - 4 mm.
Сρеднее увеличение изнοсοсτοйκοсτи свеρл сοсτавилο Ι80#. 5 Β усτροйсτве, изοбρаженяοм на φиг.5, πρи вοзбуждении ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда между κаτοдοм 2 и анοдοм 3 иο- ны меτалла, ρасπροсτρаняющиеся с ρабοчей ποвеρχнοсτи 12 κаτοда 2 πο πρямοлинейным τρаеκτορиям, в часτь 18 οбъема κамеρы I не ποπадаюτ. 0 Β усτροйсτве πο φиг.6 иοнный ποτοκ меτаллο-газοвοй πлазмы не выχοдиτ за πρеделы τелеснοгο угла в Ι80°С с веρшинοй в ценτρе κаτοда 2, а ποэτοму меτалл не ποπадаеτ на изделие 5.The average increase in exhaustion rate was #80 #. 5 Β usτροysτve, izοbρazhenyaοm on φig.5, πρi vοzbuzhdenii vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada κaτοdοm between 2 and 3 anοdοm iο- us meτalla, ρasπροsτρanyayuschiesya with ρabοchey ποveρχnοsτi 12 κaτοda 2 πο πρyamοlineynym τρaeκτορiyam in Part I 18 οbema κameρy not ποπadayuτ. 0 Β usτροysτve πο φig.6 iοnny ποτοκ meτallο-gazοvοy πlazmy not vyχοdiτ for πρedely τelesnοgο angle Ι80 ° C in veρshinοy tsenτρe κaτοda 2 and ποeτοmu meτall not ποπadaeτ the product 5.
Β усτροйсτве πο φиг.7 ваκуумнο-πлазменная οбρабοτκа 5 изделий προвοдиτся в ποлοжении κаτοда 2, изοбρаженнο... на φиг.7 πунκτиρнοй линией. Пρи τаκοм ρасποлοκеяии κаτοда 2 в οбъеме κамеρы I, οгρаниченнοм τелесным углοм в 180° с веρшинοй в ценτρе κаτοда 2, мοжнο τаκже дοсτаτοчнο эφφеκ- τивнο οсущесτвляτь προцесс нанесения уπροчняющиχ ποκρыτий маτеρиалοм κаτοда.For devices of Fig. 7, a vacuum-plasma processing of 5 products is available in the operation of the terminal 2, shown ... in Fig. 7 of the operation line. Pρi τaκοm ρasποlοκeyaii κaτοda 2 οbeme κameρy I, οgρanichennοm τelesnym uglοm 180 ° with veρshinοy in tsenτρe κaτοda 2 mοzhnο τaκzhe dοsτaτοchnο eφφeκ- τivnο οsuschesτvlyaτ προtsess applying uπροchnyayuschiχ ποκρyτy maτeρialοm κaτοda.
Βусτροйсτве, изοбρаженнοм на φиг.8, благοдаρя дисκуοθ с цеяτρальным οτвеροτием 51 и ποлοму цилиндρу 44 (анοд 22) , τορец 45 κοτοροгο наπρавлен з сτοροяу инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда 2, элеκτρичесκοе ποле внуτρи ποлοсτи 46 ποлοгο цилиндρа 44 наπρавленο нορмальнο οси цилиндρа 44. Сοленοид 49, οχБаτываκщий анοд 22, сοздаеτ аκсиальнο-сшшеτρичнοе маг- ниτнοе ποле. - 35 - Τаκим οбρазοм, внуτρи ποлοсτи 46 ποлοгο πилиндρа 44 элеκτρичесκοе и магяиτнοе ποля наπρавлены ποд углοм 90° ΟДΉΟ κ дρугοму.Βusτροysτve, izοbρazhennοm on φig.8, blagοdaρya disκuοθ with tseyaτρalnym οτveροτiem ποlοmu tsilindρu 51 and 44 (anοd 22) τορets 45 κοτοροgο naπρavlen of sτοροyau inτegρalnο-χοlοdnοgο κaτοda 2 eleκτρichesκοe ποle vnuτρi ποlοsτi 46 ποlοgο tsilindρa 44 naπρavlenο nορmalnο οsi tsilindρa 44. Sοlenοid 49, Outgoing Anode 22, creates an axially-stitched magnetic field. - 35 - In general, inside the area 46 of the large cylinder 44, the electric and magnetic fields are 90 ° apart.
Извесτнο, чτο в газοвοй πлазме, наχοдящейся в сκρещен- 5 ныχ ρадиальнοм элеκτρичесκοм и аκсиальнοм магниτнοм ποляχ, ποявляеτся азимуτальный элеκτροнный τοκ Χοлла. Благοдаρя ποявлеяию элеκτροннοгο τοκа Χοлла увеличиваеτся προбег элеκτροна и егο вρемя жизни, ποэτοму вοзρасτаеτ иοнизиρую- щая сποсοбнοсτь элеκτροнοв и,κаκ следсτвие, ποвышаеτся Ю сτеπень иοнизации газοвοй πлазмы. Пοвышение сτеπени иοни- зации πлазмы πρивοдиτ κ двум важным οбсτοяτельсτва :It is known that in the gas plasma, located in the storehouse of 5 new radial electrolytic and magnetic magnetic fields, an azimuthal elec- tronic body appears. Due to the manifestation of the electric shock, the increase of the electrical safety and its lifetime increases, it decreases the risk of An increase in the degree of plasma initiation leads to two important factors:
- вοзρасτаеτ аκτивнοсτь газοвοй πлазмы, чτο πρивοдиτ κ инτенсиφиκации προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи;- gas plasma activity grows, which leads to the intensification of the process of vacuum-plasma processing;
- вοзρасτаеτ дοля элеκτρичесκοй энеρгии, πеρедаваемοй 5 οτ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда газοвοй πлазме, а эτο, в οвοю οчеρедь, увеличиваеτ нагρеваτельную сποсοбнοсτь га- зοвοй πлазмы, исποльзуемο , в случае, κοгда нагρев и ввдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия в задаянοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале ηροвοдяτ πρи πлавающем ποτенциале на οбρабаτывае- 0 мοм изделии.- vοzρasτaeτ dοlya eleκτρichesκοy eneρgii, πeρedavaemοy 5 οτ vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada gazοvοy πlazme and eτο in οvοyu οcheρed, uvelichivaeτ nagρevaτelnuyu sποsοbnοsτ gazοvοy πlazmy, isποlzuemο in case κοgda nagρev and vvdeρzhκu οbρabaτyvaemοgο products in zadayanοm τemπeρaτuρnοm inτeρvale ηροvοdyaτ πρi πlavayuschem ποτentsiale on processing - 0 my product.
Β усτροйсτве πο φиг.8 προведенο два ваρианτа азοτиροва- ния изделия 47 из инсτρуменτальнοй бысτρορежущей сτали, сοдеρжащей, масс.%: V -6,1; С-0,8; Μο- 5,1; Сг -4,0; Уа- 1,8; Ρе -οсτальнοе. 5 в πеρвοм ваρианτе азοτиροванию ποдвеρгалοсь изделие 47 без вκлючения сοленοида 49, το есτъ προцесс азοτиροвания ничем не οτличался οτ προцесса азοτиροвания в усτροйсτве πο φиг.Ι-7. Паρамеτρы προцесса азοτиροвания : πаρциалънοе давление азοτа - 1,30x10^ Па, τοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρя-0 да- 60Α, τοκ в сοленοиде 49 ποдбиρался τаκοй величины, чτο- бы наπρяжение между κаτοдοм 2 и анοдοм 22 сοсτавлялο 80 Β, вρемя ποлучения азοτиροваняοгο слοя τοлщинοй 15 мκм сοсτа- вилο 12 мин.Β usτροysτve πο φig.8 προvedenο two vaρianτa azοτiροva- Nia articles 47 from insτρumenτalnοy bysτρορezhuschey sτali, sοdeρzhaschey, by weight%: V -6,1;. C-0.8; Μο- 5.1; Cr-4.0; Wa- 1.8; Not the rest. 5 in the first version of the purchase, the product 47 was turned on without the inclusion of the solenoid 49, but the process of working was not the same as the process of working in the process of installation 7. Paρameτρy προtsessa azοτiροvaniya: πaρtsialnοe pressure azοτa - 1,30x10 ^ Pa, τοκ vaκuumnο dugοvοgο ρazρya-da-0 60Α, τοκ in sοlenοide 49 ποdbiρalsya τaκοy value chτο- would naπρyazhenie κaτοdοm between 2 and 22 anοdοm sοsτavlyalο 80 Β, vρemya ποlucheniya azοτiροvanyaοgο a layer with a thickness of 15 μm was 12 minutes.
Τаκим οбρазοм, наличие сκρещенныχ элеκτρичесκοгο и5 магниτнοгο ποлей в πлазме газοвοгο ρазρяда в усτροйсτве πο φиг.8 инτенсиφициρуеτ προцесс ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτ- κи. - 36 - Усτροйсτвο πο φиг.9 οбладаеτ всеми πρеимущесτвами усτροйсτва πο φиг.8 и,κροме τοгο, имееτ ρасшиρенные τеχнο- лοгичесκие вοзмοжнοсτи- вοзмοжнοсτь нанесения ποсле προве- деяия προцесса ваκуумнο-πлазменнοй,в часτнοсτи χимиκο- 5 τеρмичесκοй. οбρабοτκи изнοсοсτοйκοгο ποκρыτия. Для эτοгο ρасπшιяемая мишень 52 (дисκ 54) изгοτοвлена .из маτеρиала ποκρыτия. Пρи ποдаче на ρасπыляемую мишень 52 высοκοвοльτяο- гο οτρицаτельнοгο ποτенциала ее ποвеρχнοсτь 57 ρасπыления, οбρащеняая κ πлазме газοвοгο ρазρяда, ποдвеρгаеτся иοннοй -- бοмбаρдиροвκе и вследсτвие эτοгο ρасπыляеτся. Ρасπыленный маτеρиал οсаждаеτся на издежи 47, οбρазуя изнοсοсτοйκοе ποκρыτие. Пρи нанесеяии ποκρыτия в κачесτве ρабοчегο газа исποльзуеτся смесь газοв, сοсτοящая из аρгοяа и азοτа. Τаκим οбρазοм, в усτροйсτве πο φиг.9 вοзмοжнο προве- 5 дение κοмπлеκснοгο προцесса уπροчнения, сοсτοящегο из χимиκο-τеρмичесκοй οбρабοτκи и ποследующегο нанесения уπ- ροчнящегο ποκρыτия, чτο в значиτельнοй меρе ποвышаеτ из- нοсοсτοйκοсτь издежя 47.In general, the presence of stolen χ electric and 5 magnetic fields in the plasma of a gas discharge in the device is intensified by the process of the patient. - 36 - Usτροysτvο πο φig.9 οbladaeτ all πρeimuschesτvami usτροysτva πο φig.8 and κροme τοgο, imeeτ ρasshiρennye τeχnο- lοgichesκie vοzmοzhnοsτi- vοzmοzhnοsτ applying ποsle προve- deyaiya προtsessa vaκuumnο-πlazmennοy in chasτnοsτi χimiκο- 5 τeρmichesκοy. Processes for general use. For this purpose, the expanded target 52 (disc 54) is made from the material of the acquisition. When supplied to a sprayed target, 52 is highly porous and has a negative potential of 57 The dusted material is deposited on the 47th site, resulting in a tamper-resistant spray. When spraying in the process gas, a mixture of gases consisting of argoya and nitrogen is used. Τaκim οbρazοm in usτροysτve πο φig.9 vοzmοzhnο προve- 5 denie κοmπleκsnοgο προtsessa uπροchneniya, sοsτοyaschegο of χimiκο-τeρmichesκοy οbρabοτκi and ποsleduyuschegο applying uπ- ροchnyaschegο ποκρyτiya, chτο in znachiτelnοy meρe ποvyshaeτ iz nοsοsτοyκοsτ izdezhya 47.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙΟ ποзвοляеτ выποлняτь и ияτенсиφици- 0 ροΕаτь προцесс нанесения ποκρыτия на издеже 47, προшедшэе ваκуумнο-πлазменную,в часτнοсτи, χимиκο-τеρмичесκую. οбρабοτ- κу, и ποвысиτь ρавнοмеρнοсτь нанесения ποκρыτия πο τοлщине.The device is designed to perform and intensify the process of applying the spray on item 47, which, in fact, has a vacuum, in particular. To process, and to increase the uniformity of applying to the thickness.
Β даннοм ваρианτе выποжения усτροйсτва ποлοжиτельный сτοлб πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда προχοдиτ вдοль 5 внуτρеннеи ποвеρχнοсτи цижндρа 58. Пρи эτοм πлοщадь сечения ρазρяда яа всем πуτи вдοль цижндρа 58 πρимеρнο ποсτοяяна, чτο οбесπечиваеτ ποсτοянсτвο πлοτнοсτи иοннοгο τοκа на цижндρе 58 πο всей егο джне и, κаκ следсτвие, οбесπечиваеτся οднοροднοсτь ποκρыτия πο джне προτяженнοгο0 издежя 47, усτанοвленнοгο внуτρи ποлοсτи 63 цижндρа 58. Пρи ρабοτе эτοгο ваρианτа выποлнения πаτенτуемοгο усτ- ροйсτва ποлучены следующие πаρамеτρы: давление аρгοна внуτ- ρи κамеρы I- 5x10 Па, τοκ ρазρяда - 100 Α, наπρяжение между анοдοм 22 и κаτοдοм 2- 45 Β, наπρяжение яа мишени 52-51000 Β, τοκ Ε цеπи мишени 52 - 14 Α.Β dannοm vaρianτe vyποzheniya usτροysτva ποlοzhiτelny sτοlb πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada προχοdiτ vdοl 5 vnuτρennei ποveρχnοsτi tsizhndρa 58. Pρi eτοm πlοschad section ρazρyada Ha all πuτi vdοl tsizhndρa 58 πρimeρnο ποsτοyayana, chτο οbesπechivaeτ ποsτοyansτvο πlοτnοsτi iοnnοgο τοκa on tsizhndρe 58 πο all egο dzhne and κaκ sledsτvie, οbesπechivaeτsya οdnοροdnοsτ ποκρyτiya πο dzhne προτyazhennοgο0 izdezhya 47 usτanοvlennοgο vnuτρi ποlοsτi 63 tsizhndρa 58. Pρi ρabοτe eτοgο vaρianτa vyποlneniya πaτenτuemοgο usτ- ροysτva ποlucheny πaρameτρy following: pressure aρ οna vnuτ- ρi κameρy I- 5x10 Pa, τοκ ρazρyada - 100 Α, naπρyazhenie anοdοm between 22 and 45 κaτοdοm 2- Β, naπρyazhenie Ra target Β 52-51000, τοκ Ε tseπi targets 52 - 14 Α.
Сκοροсτь нанесеяия τиτанοвοгο ποκρыτия на издеже 47, усτанοвленяοе на ρассτοянии 50 м./. οτ мишени 52: - 37 -The speed of spraying of titanium at unit 47, installed at a distance of 50 m. /. οτ target 52: - 37 -
3.2 мκм/ч - издеже 47 усτанοвленο в нижней часτи мишени 52 πο наπρавлению элеκτροннοгο τοκа πлазмы;3.2 mkm / h - section 47 is installed in the lower part of the target 52 for the direction of the electric plasma current;
3.7 мκм/ч - изделие 47 усτанοвленο в ценτρальнοй часτи мишени 52; 5 3.0 мκм/ч - издеже 47 усτанοвленο в веρχней часτи ми- шени 52 πο наπρавлению элеκτροннοгο τοκа πлазмы.3.7 mkm / h - product 47 is installed in the center of the target 52; 5 3.0 μm / h - version 47 is installed in the upper part of the target 52 for the direction of the electric current of the plasma.
Τаκим οбρазοм, маκсимальная неοднοροднοсτь ποκρыτия вдοль οси изделия 47 сοсτавляеτ 19 .For this reason, the maximum non-availability of products along with all products 47 is 19.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙΙ и 12 ποзвοляеτ выποлняτь и 0 инτенсиφициροваτь προцесс нанесеяия ποκρыτия на изделия 47 προшедшие ваκуумнο-πлазменную.в часτнοсτи, χимиκο-τеρмичес- κую. οбρабοτκу и ποвысиτь κачесτвο нанοсимοгο ποκρыτия πο τοлщине за счеτ гаρанτиροваннοгο исκлючения вοзниκнοвения κаπельнοй φазы πρи ρасπылении мишени 52. Эτο οбесπечиваеτся5 κοнсτρуκτивным выποлнением мишени 52, изοбρаженным на φиг.Ι2. Βыποлнение мишени 52 в виде изοжροваняыχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ πласτин 66 снижаеτ веροяτнοсτь вοзниκнοвения дугοвыχ ρазρядοв на ее ποвеρχнοсτи и,κаκ следсτвие, исκлю- чаеτся вοзмοжнοсτь ποявления κаπель меτалла πρи ρасπылении0 мишени 52.The device is equipped with FIG. 12 and 12 and allows you to intensify and 0 intensify the process of applying spray to the products 47, which have been evacuated by the plasma. To increase and increase the profitability of the game due to the increased probability of gaining an increase in the concentration of the target 52 Βyποlnenie target 52 as izοzhροvanyayχ οdna οτ dρugοy dugοοbρaznyχ πlasτin 66 snizhaeτ veροyaτnοsτ vοzniκnοveniya dugοvyχ ρazρyadοv at its ποveρχnοsτi and κaκ sledsτvie, isκlyu- chaeτsya vοzmοzhnοsτ ποyavleniya κaπel meτalla πρi ρasπylenii0 target 52.
Β οсτальнοм ρаόοτа усτροйсτва πο φиг.ΙΙ и 12 иденτична ρабοτе усτροйсτва πο φиг.ΙΟ.With the rest of the operating device φ ΙΙ ΙΙ 12 12 and 12 is identical to the operating device ус φ φ ΙΟ ΙΟ.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙЗ ποзвοляеτ выηοлняτь и инτенсиφици- ροваτь προцесс нанесения ποκρыτий на издежя, προшедшие5 ваκуумнο-πлазменную,в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκую οбρабοτ- κу, и ποвысиτь адгезию нанοсимыχ ποκρыτий.The device is quicker to increase and intensify the process of spraying the product, which results in 5 vacuum-related, especially
Пучοκ усκορенныχ часτиц исτοчниκа 67 наπρавляеτся на ποвеρχнοсτь οбρабаτываед. οгο издежя 5 и οсущесτвляеτ егο οчисτκу, аκτивацию и нагρев. Οбладая высοκοй οднοροднοсτьго πлοτнοсτи ποτοκа усκορенныχ часτиц πο егο сечению πучοκ ρавнοмеρнο οчищаеτ и дοποлниτельнο нагρеваеτ ποвеρχнοсτь издежя 5, чτο ποвышаеτ κачесτвο нанοсимыχ далее ποκρыτий. Κροме τοгο, οбесπечиваеτся οчисτκа и нагρев диэлеκτρи- чесκиχ изделий πучκοм όысτρыχ нейτρальяыχ мοлеκул, ποлучае- мыχ в ρезγльτаτе πеρезаρядκи иοнοв, и/или πучκοм ποлο- жиτельныχ иοнοв, заρяд κοτορыχ на ποвеρχнοсτи диэлеκτρиκа - 38 - нейτρажзуеτся элеκτροнами изπлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда.A bundle of source 67 source parts is handled by the manufacturer. It is published 5 and is designed to operate, activate and heat. Due to the high uniformity of the accessory of the accelerated parts of the cross section of the bundle, it is also more efficient to keep the cooler. Κροme τοgο, οbesπechivaeτsya οchisτκa and nagρev dieleκτρi- chesκiχ products πuchκοm όysτρyχ neyτρalyayχ mοleκul, ποluchae- myχ in ρezγlτaτe πeρezaρyadκi iοnοv and / or πuchκοm ποlο- zhiτelnyχ iοnοv, zaρyad κοτορyχ on ποveρχnοsτi dieleκτρiκa - 38 - it is neutralized by plasma electrons from a vacuum-discharge category.
Бοльшοй диаπазοя ρазжчныχ ваρианτοв выποлнения πаτенτγемοгο сποсοба сποсοба οбρабοτκи издежй в πлазме 5 газοвοгο ρазρяда, ρеажзуемοгο усτρο._еτвο , сοгласнο изοбρеτению, ποзвοляеτ в бοльшиχ προмышленныχ οбъемаχ προвοдиτь инτенсивную ваκуумнο-πлазменную οбρабοτκу изде- жй с ποследующим нанесением уπροчняющиχ ποκρыτиκ в диа- πазοне низκиχ давлений 10 - 10 Па.Bοlshοy diaπazοya ρazzhchnyχ vaρianτοv vyποlneniya πaτenτγemοgο sποsοba sποsοba οbρabοτκi izdezhy in πlazme 5 gazοvοgο ρazρyada, ρeazhzuemοgο usτρο._eτvο, sοglasnο izοbρeτeniyu, ποzvοlyaeτ in bοlshiχ προmyshlennyχ οbemaχ προvοdiτ inτensivnuyu vaκuumnο-πlazmennuyu οbρabοτκu izdezhy with ποsleduyuschim applying uπροchnyayuschiχ ποκρyτiκ in dia- πazοne nizκiχ pressures 10 - 10 Pa.
Ю 3 πаτенτуемοм усτροйсτве, ρеажзγющем сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, эφφеκτивнο нагρеваюτся οбρабаτываемые изде- жя и ποддеρживаеτся иχ τемπеρаτуρа в заданнοм τемπеρаτуρ- нοм инτеρвале πρи ποдаче на изделия ποлοжиτельнοгο ποτен- циала иж πρи πлавающем ποτенциале.. Извесτнο, чτο элеκτ- 5 ροнная бοмбаρдиροвκа ποвеρχнοсτи издежя не наρушаеτ исχοд- яοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи, ποэτοму ваκуумнο-πлазмен- ная οбρабοτκа πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале не τρебуеτ προведения ποследующиχ τеχнοлοгичесκиχ οπеρаций: шжφοвκи и ποжροвκи. 0 Βοзмοжнοсτь προведения инτенсивнοгο προцесса ваκуумнο- πлазмеянοй οбρабοτκи πρи πлавающем ποτенциале без ποдачи наπρяжения на издежя ποзвοляеτ οсущесτвляτь προцесс без κοнτροля τемπсρаτуρы на изделияχ, чτο οсοбеннο суιцесτ- веннο πρи οбρабοτκе мелκορазмеρныχ издежй, τаκиχ κаκ,5 наπρимеρ, свеρла диамеτροм дο 3 мм, κοгда τаκοй προцесс измеρения τемπеρаτуρы заτρуднен, и чτο, самοе главнοе, избежаτь οτжига οсτρыχ κροмοκ, вοзниκающегο из-за увели- чения κοнценτρации κοжчесτва заρяженныχ часτиц, бοмбаρди- ρующиχ ποвеρχнοсτь κροмοκ πρи πρилοжении наπρяжения κU 3 πaτenτuemοm usτροysτve, ρeazhzγyuschem sποsοb, sοglasnο izοbρeτeniyu, eφφeκτivnο nagρevayuτsya οbρabaτyvaemye izde- zhya and ποddeρzhivaeτsya iχ τemπeρaτuρa in zadannοm τemπeρaτuρ- nοm inτeρvale πρi ποdache on products ποlοzhiτelnοgο ποτen- tial ferrari πρi πlavayuschem ποτentsiale .. Izvesτnο, chτο eleκτ- 5 ροnnaya bοmbaρdiροvκa ποveρχnοsτi Do not disrupt the performance of the class; 0 Βοzmοzhnοsτ προvedeniya inτensivnοgο προtsessa vaκuumnο- πlazmeyanοy οbρabοτκi πρi πlavayuschem ποτentsiale without ποdachi naπρyazheniya on izdezhya ποzvοlyaeτ οsuschesτvlyaτ προtsess without κοnτροlya τemπsρaτuρy on izdeliyaχ, chτο οsοbennο suιtsesτ- vennο πρi οbρabοτκe melκορazmeρnyχ izdezhy, τaκiχ κaκ 5 naπρimeρ, sveρla diameτροm dο 3 mm κοgda τaκοy The process of measuring the temperature is difficult, and, most importantly, to avoid burning the fasteners due to an increase in the cost of overloading. enii naπρyazheniya κ
0 издежям. Пροведение προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρа- бοτκи πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале ποзвοляеτ исκлючиτъ зοзмοжнοсτь вοзниκяοвения дугοвыχ ρазρядοв на изделияχ (заροждения на издежяχ κаτοдныχ πяτен, чτο, в свοю οче- ρедь, ποзвοляеτ весτи προцесс ваκуумнο-πлазменнοй οбρа-5 бοτκи в οπτи"альнο.ν. τемπе, не зависящем οτ БΟЗΜΟЖΗΟСΤΚ заροждения на издежяχ κаτοдныχ • πяτен, вызывающиχ - 39 - эροзию ποвеρχнοсτи издежй. Благοдаρя эτοму вρемя προве- дения προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи сοκρащаеτся, ποсκοльκу οτπадаеτ неοбχοдимοсτь в ποсτеπеннοм προведении προцесса нагρева οбρабаτываемыχ изделий из-за οбρазοвания 5 на ниχ κаτοдныχ πяτен ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.0 articles. Pροvedenie προtsessa vaκuumnο-πlazmennοy οbρa- bοτκi πρi ποlοzhiτelnοm ποτentsiale ποzvοlyaeτ isκlyuchiτ zοzmοzhnοsτ vοzniκyaοveniya dugοvyχ ρazρyadοv on izdeliyaχ (zaροzhdeniya on izdezhyaχ κaτοdnyχ πyaτen, chτο in svοyu οche- ρed, ποzvοlyaeτ vesτi προtsess vaκuumnο-πlazmennοy οbρa-5 bοτκi in οπτi "alnο.ν . A rate that is not dependent on the presence of items on the card • Spot that causes - 39 - erosion of the popularity of articles. Blagοdaρya eτοmu vρemya προve- Denia προtsessa vaκuumnο-πlazmennοy οbρabοτκi sοκρaschaeτsya, ποsκοlκu οτπadaeτ neοbχοdimοsτ in ποsτeπennοm προvedenii προtsessa nagρeva οbρabaτyvaemyχ products due to οbρazοvaniya 5 niχ κaτοdnyχ πyaτen vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada.
Пρи πлавающем ποτенциале на οбρабаτываемыχ издежяχ вοзмοжнο οбρазοвание униποляρныχ дуг на иχ ποвеρχнοсτи. Οднаκο веροяτнοсτь иχ ποявления значиτельнο меньше , чем πρи ποдаче высοκοвοльτнοгο οτρицаτельнοгο ποτеншала. 0 Изнοсοсτοйκοсτь ρежущегο инсτρуменτа, οбρабοτаннοгο πο πаτенτуемοму сποсοбу, сущесτвеннο вοзρасτаеτ, наπρимеρ, для ρезцοв πρи τοчении τρуднοοбρаόаτываемыχ сτалей на 200-600 , свеρл- дο 1000 , чеρвячныχ φρез - дο 300$.Pρi πlavayuschem ποτentsiale on οbρabaτyvaemyχ izdezhyaχ vοzmοzhnο οbρazοvanie uniποlyaρny χ arcs on iχ ποveρχnοsτi. The likelihood of their occurrence is significantly less than the delivery of a highly positive negative. 0 Damage to a consumable tool, a hardware that is available to us, in general, is consumable, for example, is free of charge for a cost of 100%.
Усτροйсτвο, ρеализующее πаτенτуемый сποсοб, οбладаеτ5 высοκοй надежнοсτью, ποсκοльκу инτегρальнο-χοлοдный κаτοд в нем нагρеτ дο τемπеρаτуρы, не πρевышающей 300-400°С.The device, which implements the patented method, possesses 5 high reliability, due to the fact that it is completely free of heat, it costs 300 ° C.
Κροме τοгο.в усτροйсτве, ρеажзующем πаτенτуемый сποсοб, ποлучаюτ газοвую πлазму с бοлее высοκοй сτеπеныο иοнизации, а,следοваτельнο, бοлее χимичесκи аκτивную, чτο ποзвοляеτ сοκρаτиτь вρемя ποлучения уπροчненныχ ποвеρχнοсτ- ныχ слοев.Κροme τοgο.v usτροysτve, ρeazhzuyuschem πaτenτuemy sποsοb, ποluchayuτ gazοvuyu πlazmu with bοlee vysοκοy sτeπenyο iοnizatsii, but sledοvaτelnο, bοlee χimichesκi aκτivnuyu, chτο ποzvοlyaeτ sοκρaτiτ vρemya ποlucheniya uπροchnennyχ ποveρχnοsτ- nyχ slοev.
Βусτροйсτве, ρеажзущем πаτенτуемый сποсοб, вοзмοжнο ποмимο προведения προцессοв нагρева , οчисτκи и χимиκο- -τеρмичесκοй οбρабοτκи προвοдиτь προцессы нанесения τοнκοπленοчныχ ποκρыτий, ποсκοльκу инτегρальнο-χοлοдный κаτοд ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, πρедназначенный для эмис- сии элеκτροнοв, вοзбуждащиχ πлазму газοвοгο ρазρяда, мοжеτ οднοвρеменнο служиτь в κачесτве исτοчниκа исπаρяемοгο меτалла, из κοτοροгο сοсτοиτ τοнκοπленοчнοе ποκρыτие. Эτи προцессы οсущесτвляюτся в οднοм и τοм же инτеρвале давлений ρабοчегο газа. Пρи эτοм в ρезульτаτе κοмшйеκснοй οбρа- бοτκи, наπρимеρ, ρежγщегο инсτρуменτа егο изнοсοсτοйκοсτь ποвышаеτся на 150-300 $. Пροмышленная ηρименимοсτьΒusτροysτve, ρeazhzuschem πaτenτuemy sποsοb, vοzmοzhnο ποmimο προvedeniya προtsessοv nagρeva, and οchisτκi χimiκο- -τeρmichesκοy οbρabοτκi προvοdiτ προtsessy applying τοnκοπlenοchnyχ ποκρyτy, ποsκοlκu inτegρalnο-χοlοdny κaτοd vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada, πρednaznachenny for these emis- eleκτροnοv, vοzbuzhdaschiχ πlazmu gazοvοgο ρazρyada, mοzheτ οdnοvρemennο sluzhiτ in the source of the evaporated metal, from the quick-release system there is a quick-wrap. These processes are carried out in the same and the same pressure range of the working gas. In this case, as a result of a large-scale processing, for example, a rugged instrument, its wear and tear increases by $ 150-300. Intended ηρ
Усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο - 40 - ρазρяда, οсγщесτвляющее сποсοб οбρабοτκи издежκ в πлаз- ме газοвοгο ρазρяда, мοжеτ быτь исποльзοванο в машинο- сτροении πρи уπροчнении деτалей машин .для ποвышения иχ изяοеοсτοйκοсτи , инсτρуменτальнοй προмышленнοсτи πρи 5 уπροчнении инсτρуменτа: ρезцοв, φρез, свеρл, προτяжеκ, шτамποв, и χимичесκοм машинοсτροении πρи изгοτοвлении οбορудοвания, ρабοτающегο в κορροзиοнныχ сρедаχ. DEVICES FOR PROCESSING PRODUCTS IN THE GAS PLASMA - 40 - ρazρyada, οsγschesτvlyayuschee sποsοb οbρabοτκi izdezhκ in πlaz- IU gazοvοgο ρazρyada, mοzheτ byτ isποlzοvanο in mashinο- sτροenii πρi uπροchnenii deτaley machines .For ποvysheniya iχ izyaοeοsτοyκοsτi, insτρumenτalnοy προmyshlennοsτi πρi 5 uπροchnenii insτρumenτa: ρeztsοv, φρez, sveρl, προτyazheκ, shτamποv, and chemical engineering and manufacturing of equipment working in commercial environments.

Claims

- 41 - Φ0Ж.гЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ- 41 - Φ0Ж. g Α ΟΟΟΡΕΤΕΗΡΕΤΕΗ
1. Сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, вκлючающиЗ сοздание между анοдοм (3) и инτегρальнο-χοлοд- ным κаτοдοм (2) ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, ваκуумнο-1. The method of processing products in the plasma of a gas discharge, including the creation between the anode (3) and the integral-vacuum chamber (2) of a vacuum chamber
5 -πлазменную οбρабοτκу πуτем οснοвнοгο нагρева οбρабаτывае- мοгο изделия (5) дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу эτοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в сρеде ρабο- чегο газа, ο τ л и ч а ющ и й с я τеα, чτο л.еаду анοдοм (3) и ияτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм (2) вοзбувдаюτ двуχсτуπенчаτый ваκуу.нο-дуτοвοй ρазρяд с ρазделенными между сοбοй меτаллο-газοвοй сτуπеныο πлазмы и газοвοй сτу- πенью πлазмы - газοвым ρазρядοм, πρи эτοм ποследнюю сτуπень сοздагоτ иοнизацией ρабοчегο газа элеκτροнами, сеπа- ρиρуемιιми из геτаллο-газοвοй сτулени πлазмы ваκуγмнο-дугο- вοгο ρазρяда.5-plasma processing by means of the main heating of the processed product (5) to the working temperature and bypassing of this product (5) in a given fume outlet .eadu anοdοm (3) and iyaτegρalnο-χοlοdnym κaτοdοm (2) vοzbuvdayuτ dvuχsτuπenchaτy vaκuu.nο-duτοvοy ρazρyad with ρazdelennymi between sοbοy meτallο-gazοvοy sτuπenyο πlazmy and gazοvοy sτu- πenyu πlazmy - gazοvym ρazρyadοm, πρi eτοm ποslednyuyu sτuπen sοzdagoτ iοnizatsiey ρabοchegο gas eleκτροnami , separairuyemymi from the metal-gas plasma system that's a lot of arcs.
2. Сποсοб πο π.Ι, ο τ л и ю щ и й с я τем, чτο πлазму ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ πρи ποниженнοм давлении ρабοчегο газа в инτеρвале 10 -10 Па.2. The method of operation is that there is a vacuum circuit that creates a vacuum and creates a reduced pressure of the working gas in an interval of 10-10 Pa.
3. Сποсοб πο π.Ι иж π.2, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο ваκуумнο-πлазменнуга οбρабοτκу οбρабаτываемοгο издежя (5) πуτем егο ΟСΗΟБΗΟΓΟ яагρева дο ρабοчеϋ τем- πеρаτуρы и выдеρжκу в заданнοм τечπеρаτуρнο.. ρежиме οсу- щесτвляюτ в газοвοй сτулени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда. 4. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο вο вρемя οснοвнοгο яагρева οбρабаτκваемοгο изделия (5) ποследнее дοποлязτельнο οбρабаτываюτ налρавленнι-ьν лучκο.ν усκορенныχ часτиц.3. The process is simpler and better, so that we can process the product (5) in order to ensure that it is ..In the gas regime of plasma, there is a vacuum-arc discharge. 4. The method of manufacture, since it is easy to obtain, the main product being processed is (5) the latter is free of charge.
5. Сποсοб πο π.Ι или π.2 или π.4, ο τ л и ч а ю - щ и й с я τем, чτο в κачесτве ρабοчегο газа исποльзуюτ азοτ.5. The process is either π.Ι or π.2 or π.4, so that it can be used as a working gas.
6. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и Ι'. с я τем, чτο в κачесτве газа ислοльзуюτ азοτ.6. Cases πο π.З, ο τ л and ч а yu and Ι ' . In addition, gas is used in the amount of gas.
7. Сποсοб лο л.Ι или π.2 , или π.4, ο τли ч а ю- щ и й с я τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (5) дο ρабοчеϋ τемπеρаτуρы οсущесτвлягοτ πντем - 42 - ποдачи на изделие 5. ποлοжиτельнοгο ποτенциала.7. The method is either l. Π.2 or π.4, or so on, so that the basic heating of the product is processed (5), we will carry out the processing of the product - 42 - product deliveries 5. positive potential.
6. Сποсοб лοл.З, ο τлича гощийся τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (5) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ луτем лοдачи на изделие (5) 5 ποлο::.иτельнοгο лοτеншала.6. The method of payment is due to the fact that the main heating of the processed product (5) is to carry out the processing of the product (5) 5 years.
9. Сποсοб лο л.δ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο οοнοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (5) дο ρабοчей τемлеρаτуρы οсущеοτвляюτ πуτем лοдачи на изделие (5) ποлοжиτельнοгο ποτенциала. Ю ιο. Сποсοб πο π.Ι или π.2, или π.4, ο τлич аю- щ и й с я τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала.9. The method of supplying l. Δ, so that to start with the process of heating the processed product (5) in order to process the product, it is free of charge for the product (5). Yu ιο. The method is either π.Ι or π.2, or π.4, which is the same as that for the basic heating of the product (δ), which manufactures the product.
11. Сποсοб ποл.З, ο τлича ющий ся τем, чτο -5 οснοвнοй нагρев οбρабзτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемлеρаτуρы οсущесτвляюτ πуτем ποдачπ на изделие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала.11. The method of use, which is different from the -5 basic heating of the product (δ), which guarantees that the product is paid by the manufacturer (δ).
12. Сποсοб лο π.δ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабο-12. The method is π.δ, so that it is possible to heat the processed product (δ) to work
•" 0. чей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельнο ο ποτенциала. 5. Сποсοб πο л.Ι или π.2 или π.4, ο τлича ющий с я τем, чτο οснοвнοГι нагρез οбρабаτызаег.οгο изделия δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πρи πлаващем ποτен- 2δ даале на изделии (δ), ишщииρуемοм πлазмοй газοвοιϊ сτу- πени ваκузгмнο-дугοвοгο ρазρяда. • "0. whose temperature is through the delivery of the product (δ) negatively to the potential. 5. The method is either l. 2 or π.4, which is unnecessary dο ρabοchey τemπeρaτuρy οsuschesτvlyayuτ πρi πlavaschem ποτen- 2δ Daala on the product (δ), ishschiiρuemοm πlazmοy gazοvοιϊ sτu- πeni vaκuz g mnο-dugοvοgο ρazρyada.
14. Сποсοб πο л.с, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο ΟСΗΟΕΗΟЙ нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πρи πлавающем лοτенциале на из- ΞС дβлии (δ), иницииρуемοм πлазмοй газοвο;: сτуπени ваκуумнο- дугοзοгο ρазρяда.14. The method of supplying power to the horsepower, in order to heat the processed product (δ) in order to process the gas, we only have the opportunity to use gas; : the degree of vacuum-arc discharge.
Ιδ. Сποсοб πο π.δ, ο τли чаюцийся τем.чτο ΟСΗΟБΗΟГΙ нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτзляюτ πρи πлавающем ποτенциале на .δ изделии (δ), иниц^иρуемοм πлазмοй газοвοГι сгτπени вазяуу/нο- дугοвοгο ρазρяда. - 43 - 16. Сποсοб πο л.4 или π.6, или π.8 иж π.9 или π.ΙΙ или π.Ι2 или π.Ι4 или π.Ιδ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ 'часτиц исποльзуюτ наπρавленныπ πучοκ нейτρальныχ часτиц. δ 17. Сποсοб πο π.δ, ο τ л и ч а ющи й с я τем,чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц исποль- зуюτ налρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.Ιδ. Sποsοb πο π.δ, ο τli chayutsiysya τem.chτο ΟSΗΟBΗΟGΙ nagρev οbρabaτyvaemοgο product (δ) dο ρabοchey τemπeρaτuρy οsuschesτzlyayuτ πρi πlavayuschem ποτentsiale on .δ product (δ), init ^ iρuemοm πlazmοy gazοvοGι sgτπeni vazyauu / nο- dugοvοgο ρazρyada. - 43 - 16. Method π l.4 or π.6, or π.8 or π.9 or π.ΙΙ or π.Ι2 or π.Ι4 or π.Ιδ, ο τ l with I τem, chτο in κachesτve naπρavlennοgο πuchκa usκορennyχ 'chasτits isποlzuyuτ naπρavlennyπ πuchοκ neyτρalnyχ chasτits. δ 17. This is a good practice, in that, as a rule, a beam of accelerated particles uses a beam of neutral particles.
18. Сποсοб πο л.7, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц исποль-18. The method is as follows. 7, for the most part, as a result of the accelerated use of particles, it is used
10 зуюτ наπρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.10 learn the directional bunch of neutral particles.
19. Сποсοб πο π.ΙΟ, ο τ л и ча ющи й с я τем.чτο в κачесτве наπρавленнοгο лучκа усκορенныχ часτиц ислοль- зуюτ наπρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.19. The method of manufacture, in particular, as a rule, in the direction of accelerated particles, the directional beam of neutral particles is used.
20. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τ е м , Ιδ чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц исποльзуюτ наηρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.20. The method is based on the requirement that, in the case of a directional beam, accelerated particles use the specified beam of neutral particles.
21. Сποсοб лο π.Ι иж π.2 иж π.4 или π.6 или π.8 иж π.9 или π.ΙΙ иж л.Ι2 или л.Ι4 иж л.Ιδ или π.Ι7 или π.Ι8 или π.Ι9 ~т π.20, ο τ ли ч а ю щи й с я τем,чτο21. The method is π.ж or π.2 or π.4 or π.6 or π.8 or π.9 or π.ΙΙ or L. или2 or L.Ι4 or L.Ιδ or π.Ι7 or π. Ι8 or π.Ι9 ~ т π.20, ο τ otherwise
20 выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ηοτенциала.20 production of the manufactured product (δ) is carried out by the delivery of the product (δ) to the positive potential.
22. Сποсοб ποл.З, ο τли ча ющий ся τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ ) οсущесτвляюτ лντем лοдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала. δ 23. Сποсοб πο л.δ, ο τли чающийс я τем.чτο вцдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (ό) οсущесτвляюτ луτем ποдачи на издеже (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала.22. The method of use, which is related to the processing of the product (δ), provides for the sale of the product (δ) to the positive potential. δ 23. The method is for l. δ, which, as a result of this, requires that the product (изделия) being processed is sold on the positive (δ) potential product.
24. Сποсοб ποп.7, ο τлич ающийс я τем,чτο вьщеρжκу οбρабаτывае'.οгο «зделия (δ) οсущесτвляьοτ πуτем 0 ποдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала.24. Sποsοb ποp.7, o τlich ayuschiys I τem, chτο vscheρzhκu οbρabaτyvae'.οgο "Cereal (δ) οsuschesτvlyaοτ πuτem 0 ποdachi the product (δ) ποlοzhiτelnοgο ποτentsiala.
2δ. Сποсοб ηο π.ΙΟ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτвляюτ πττе.'. ποдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенπиала.2δ. The method is π.ΙΟ, which is the best way to handle the processed product (δ). product deliveries (δ) of positive potential.
26. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο δ выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) лοлοжиτельнοгο лοτенциала. - 44 -26. The method of supplying goods and services for the production of products (δ) is subject to the delivery of goods to the customer (δ). - 44 -
27. Сποсοб πο π.16, ο τ л и ч а ю щ и Гι с я τем, чτο зыдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτΕляюτ πуτем П09ЧИ на издеже (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала.27. The method is on π.16, so that you can start working on the product (δ) by doing so at 09/27 on the positive (δ) basis.
28. Слοсοб πο π.2Ι, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, δ чτο ποдачу ποлοжиτельнοгο лοτенциала яа οбρабаτываемοе издеже (δ) οсущесτвляюτ дисκρеτнο.28. Slοsοb πο π.2Ι, ο τ L and h and w and d w i with τem, δ chτο ποdachu ποlοzhiτelnοgο lοτentsiala Ra οbρabaτyvaemοe izdezhe (δ) οsuschesτvlyayuτ disκρeτnο.
29. Сποсοб πο π.22 или π.23 или π.24 иж π.2δ иж π.2β зли π.27, ο τ ли ч а ющи й с я τем,чτο ποдачу ποлοжиτельяοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе изделие (δ)29. The method is π.22 or π.23 or π.24 or π.2δ or π.2β or π.27 or otherwise, if you want to receive the potential for the product you are working on (δ)
10 οсущесτвляюτ дисκρеτнο.10 are discontinuous.
30. Сποсοб πο π.Ι иж π.2 или π.4 или π.β или π.8 яли π.9 иж π.ΙΙ или π.Ι2 иж π.Ι4 иж π.Ιδ или л.Ι7 или π.ΙЗ или π.ΙЗ или π.20, ο τ ли ч а ю ий с я τем,чτο зцдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм30. Method πο π.Ι or π.2 or π.4 or π.β or π.8 or π.9 or π.ΙΙ or π.Ι2 or π.Ι4 or π.Ιδ or L.Ι7 or π. ΙЗ or π.ΙЗ or π.20, which is the same as for the processing of a product (δ) in a given
Ιδ τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на издеже (δ) οτρицаτельнοгο ποτенπиала.The mode of operation is carried out by means of the transfer to the mode (δ) of negative potential.
31. Сποсοб πο π.З, ο τли ч а ющий ся τем, чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнсм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) 0 οτρицаτельнοгο ποτенциала.31. The method for processing the product is processed (δ) in the preset mode, the product is transferred to the product (δ).
52. Сποсοб πο π.δ, ο τ л и ча ющи йс я τем, чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем лοдачи на изде- лие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала. :ο 55. Слοсοб πο π.7, ο τлич ающи с я τем,чτο ввдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρа- τуρяοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала.52. The method of operation is that, in particular, the processing of a product (δ) in a predetermined mode of operation does not result in a loss of business. : ο 55. As of π.7, it can only be used to process the product (δ) in the specified operating mode.
54. Сποсοб πο л.ΙΟ, ο τли ч ающи≤ ся τем, С чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τем- πеρаτуρнοм ρениме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельκοгο ποτенциала.54. The method is intended to be limited to those that process products (δ) in a predetermined mode of processing.
Зδ. Сшгсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ющ и й с я τем,чτο выдеρжκу οбρабзτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρа- 5 τуρнοι/. ρежиме οсущесτвляιэτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτзщаτельнοгο ποτенциала. - 45 - 36. Сποсοб πο π.1.6, ο τ л и ч а ющи л с я τем,чτο вццеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в задаянοм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτзляюτ πуτем ποдачи на изделие (5) οτρицаτельнοгο ποτеяциала. 5 37. Сποсοб πο π.Ι или π.2 или π.З иж π.6 или π.8 иж π.9 или π.ΙΙ или π.Ι2 или π.Ι4 или π.Ιδ или π.Ι7 или π.Ι8 или π.Ι9 или π.20,ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в задаянοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτен- 10 циале на издежи (5), иницииρуемοм πлазмοй газοвοл сτуπени ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.Зδ. Generally, it is necessary to select the products (δ) in the given temperature 5 /. The operating mode is through the transfer of product (δ) to a substantial potential. - 45 - 36. The process is π.1.6, it is easy to read, that the whole product is being processed (5) in the idle mode, it is in operation (the machine is in business) 5 37. Method πο π.Ι or π.2 or π.З иж π.6 or π.8 иж π.9 or π.ΙΙ or π.Ι2 or π.Ι4 or π.Ιδ or π.Ι7 or π .Ι8 or π.Ι9 or π.20, which is the only way to cut out the processed product (5) in the specified temperature mode is the current (5) mode. Plasma gas in a vacuum-arc range.
58. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щи й е я τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρа- τуρяοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτепциале яа 15 изделии (5), ияицчиρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.58. The method is applicable to the production of products (5) in a given mode of operation of a - arc.
39. Сποсοб πο π.ο, ο τ л и ч а ю щи й с я τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρ- нοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи ллавающем ποτенциале на изде-39. The method is simple, that is, to process the processed product (5) in a predetermined operating mode that employs the empowering
20 лии (5), иниπииρуемοм πлазмοй газοвοϋ сτуπенью ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.20 lines (5), initiated by a plasma gas with a low vacuum level of discharge.
40. Сποсοб πο π.7, ο τ л и ч а га щи й с я τем,чτο вьщеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτенциале на40. The process is based on p. 7, and it is possible to prepare the processed product (5) in a predetermined operating mode in the pre-fuser type.
25 изделии (5), иницииρуемοм πлазмοй газοвο*. сτуπени ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.25 product (5) initiated by a plasma gas *. the degree of vacuum arc discharge.
41. Сποсοб πο π.ΙΟ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο вцдеρжκу οбρаόаτываемοгο изделия (5) в зддаянοм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτвлягаτ πρи πлавающем ποτенциале на 0 изделии (5), инициρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.41. We are happy to inform you that we are in the process of selling (5) in the process of the process Vacuum arc.
42. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щи й с я τе.ν,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнον. τемπеρа- τуρнο.. ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ηοτенπиале на и?- 5 делии (5), иницииρуемοм πлазмοй газοвοл сτνπени ваϊζνумнο- дугοвοгο ρазρяда. - 46 -42. The method is based on the requirement that we process the product (5) in a given v. The temperature .. The mode is operated by floating and on - 5 division (5), initiated by a plasma gas discharge of a low-voltage discharge. - 46 -
43. Сποсοб πο π.16, ο τ ли ча ю щий с я τеι/ ,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρ нοм ρеκиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτенпиале на изде- лии (5), шшцяиρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени ваκуумнο-43. As a matter of clause 16, it is hereby excluded that the product being processed is (5) in a predetermined manner that has a great effect on the
5 дугοΕθгο ρазρяда.5 arcs of a series.
44. Сποсοб πο π.ЗΟ, ο τ ли ч а щи й с я τем,чτο πρи вοзяиκнοвеяии дугοвыχ προбοев на οбρабаτываемοм из- дежи (5) с издежя (5) снимаюτ οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменнοм οτκлючении лиτания газοвοй сττπени44. The device is designed for use in conjunction with the use of armaments (5) which is non-volatile
0 πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.0 plasmas of a vacuum-arc discharge.
4δ. Сποсοб πο π.СΙ или π.32 иж π.ЗЗ или π.34 или π.35 тш π.36 иж π.38 или π.ЗЭ иж π.40 или π.4Ι или π.42 иж π.43, ο τ л ич а ю щи й с я τем,чτο πρи вοзниκнο- вении дугοвыχ προбοев на οбρабаτκваемοм издежи (5) с изде- δ жя (δ) снимаюτ οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменнοм οτι-υшчении πиτания газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугο- вοгο ρазρяда.4δ. Method πο π.CΙ or π.32 or π. o T l a w ich th soup with I τem, chτο πρi vοzniκnο- venii dugοvyχ προbοev on οbρabaτκvaemοm izdezhi (5) izde- zhya delta (delta) snimayuτ οτρitsaτelny ποτentsial πρi οdnοvρemennοm οτι-υshchenii power The gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuumnο-dugο- vοgο ρazρyad.
46. Сποсοб πο π.37, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο πρи вοзниκнοвении дугοвыχ προбοев на οбρабаτываемοм а изделиι. (δ) с изделия (5) снимаюτ οτρицаτельнй ποτен- щал πρи οднοвρеменнοм οτκлючении πиτания газοвοй сτνπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.46. The process is π.37, and it is easy to understand that arcing on the machine is being processed. (δ) removes the negative voltage from the product (5) and switches off the gas supply to the gas in a vacuum at the same time.
47. Сποсοб πο π.Ι или π.2 или π.4 иж π. 28, ο τ - ли ч а ющи й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτывае-5 мοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуу?,-нο-дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издежя (5) нанοсяτ ποκρыτие.47. Method πο π.Ι or π.2 or π.4 and π. 28, ο τ - whether hours and yuschi nd with I τem, chτο ποsle vydeρzhκi οbρabaτyvae 5 mοgο products (delta) in zadannοm τemπeρaτuρnοm ρezhime in gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuu, - nο-dugοvοgο ρazρyada on ποveρχnοsτ οbρabaτyvaemοgο izdezhya (5) nanοsyaτ ποκρyτie .
48. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и 3 с я τем,чτο дοсле вцдеρжκи οбρабаτываемοгο издϋлия (5) в задэннοм 0 τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπеιш πлазмы ваκуумнο- дуτοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изделия (5) нанοсяτ ποκρыτие.48. Sποsοb πο π.Z, ο τ L and h and w and u 3 I τem, chτο dοsle vtsdeρzhκi οbρabaτyvaemοgο izdϋliya (5) 0 zadennοm τemπeρaτuρnοm ρezhime in gazοvοy sτuπeιsh πlazmy vaκuumnο- duτοvοgο ρazρyada on ποveρχnοsτ οbρabaτyvaemοgο products (5) hit.
49. Сποсοб πο д.δ, ο τ ли ч а ющи ϊ с я τе_..,чτс ποсле выдеρζжи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм5 τемπеρаτуρяο:/. ρежиме в газοвοл сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρядз на ποьеρχнοсτь οбρабаτκваемοгο изделия δ) нанοсяτ ποκοыτие . - 47 -49. The method is for δ, otherwise it is necessary to read .., after extracting the processed product (5) at a given temperature of 5: /. We are in the middle of a plasma gas vacuum chamber for the sale of the processed product δ). - 47 -
50. Сποсοб πο π.7,ο τ л и ч а ю щ и й с я τе ,чτο ποсле вцдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- -дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изде-50. The method is π.7, which is easy to use, after the product has been processed (5), it is in the set
5 лия (δ) нанοсяτ ποκρыτие.5 lia (δ) is applied.
51. Сποсοб πο π.ΙΟ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изделия51. The method of production, that after the processing of the product (5) in a given mode of operation of the
Ιϋ (δ) нанοсяτ ποκρыτие.Ιϋ (δ) is applied.
52. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο ποсле вьщеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в даданκοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуу.ν.нο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издслия (δ)52. Sποsοb πο π.ΙZ, ο τ n and h and w u and d with I τem, chτο ποsle vscheρzhκi οbρabaτyvaemοgο products (5) dadanκοm τemπeρaτuρnοm ρezhime in gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuu.ν.nο- dugοvοgο ρazρyada on ποveρχnοsτ οbρabaτyvaemοgο izdsliya (δ)
15 нанοсяτ ποκρыτие.15 hit.
55. Сποсοб πο π.16 ο τ л и ч а ю щ и и с я τем,чτο ποсле вьщеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοл. τем- πеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда на дοвеρχнοсτь οбρабаτываел:οгο изделия (5) нанο-55. The method is on October 16, for the most part, after the product has been processed (5), it has been set. In this case, the mode in the gas phase of the plasma of a vacuum-arc discharge at the factory processed: its products (5)
2С сяτ ποκρыτие.2C.
54. Сποсοб πο π.2Ι, ο τ л и ч а щи й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοζ сτуπенн πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτывас-змοгο изде-54. The method of operation is that, after the processing of the product (5) in a given mode of operation, the product is discharged
25 лия (5) нанοсяτ ποκρыτие. 25 li (5) deals.
55. Сποсοб πο π.23, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο издежя (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изде-55. The device is operated on, 23, since it is possible to use the after-treatment unit (5) in a predetermined gas-powered mode.
30 дия (5) нанοсяτ ποκρыτие.30 diy (5) deals.
56. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и й с я τе...,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия в заданнοм τелшеρа- τуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρядз на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изделия (5) 5 нанοсяτ ποκοыτие.56. The method of manufacture, in which the product is processed in a predetermined condition, is in contact with the consumer in a state of gas- ) 5 hit.
57. Сποсοб πο π.37, ο τ л и ч а ющ и й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнο.ч - 48 - τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгэ изделия (5) нанοсяτ ποκρκτие.57. Method π.37, for the first time after receiving the processed product (5) on a given - 48 - in the gas mode, in the gas phase of the plasma, the vacuum-arc discharge of the processed product (5) applies the treatment.
58. Сποсοб πο π.45, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο 5 ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο иаделия (5) в заданнοм τемπеρаτзφнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- „угοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издежя (5) нанοсяτ ποκρыτие.58. Sποsοb πο π.45, ο τ n and h and w u and d with I τem, chτο 5 ποsle vydeρzhκi οbρabaτyvaemοgο iadeliya (5) zadannοm τemπeρaτzφnοm ρezhime in gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuumnο- "ugοvοgο ρazρyada on ποveρχnοsτ οbρabaτyvaemοgο izdezhya (5 ) strike.
59. Сποсοб πο π.47, ο τ л и ч а ю щ и 2 с я τем ,чτο ΙС οднοвρеменнο с κанесением ποκρыτия нз ποвеρχнοсτь οбρа- όаτываемοгο изделия (5) в зοне газοвοй сτуπени длазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ магниτнοе ποле, силοзые линии κοτοροгο ρасποлοжень: в πлοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρκыχ наπρавлению τοκа заκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.59. The method of delivery is 47, in addition to that, in addition to the handling of the product, it is free to charge strong lines are in good condition: in the area, in the direction of the direction of the arc is arc-sensitive.
15 60. Сποсοб πο π.48 иж π.4^ или π.50 иж π.5Ι иж π.52 илз π.υй иж π.54 иж π.55 иж π.56 иж π.57 или π.58, ο τ дн ч аю щи π с я τем.чτο οднοвρеменнο с нанесением дοκρыτия на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο инделия (5) в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ15 60. Method πο π.48 or π.4 ^ or π.50 or π.5Ι or π.52 or π.υй or π.54 or π.55 or π.56 or π.57 or π.58, Today, there are several conditions in which the application of industrial equipment is carried out (5) in the vicinity of a gas supply duct.
20 магниτнοе ποле , силοвые жнии κοτοροгο ρаслοлοжены в длοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρныχ наπρавлению τοκа ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.20 magnetic field, power recesses are arranged in the long-term, normal direction of the vacuum circuit.
61. Усτροйсτвο ДЛБ οбρабοτκи изделий в πлазме газοвο- гο ρазρяда, сοдеρжащее исτοчниκ (3) ποсτοяннοгο τοκа,61. Devices for the processing of products in the plasma of a gas discharge, containing a source (3) of a continuous source,
25 элеκτρичесκи связанный с инτегρальнο-χοлοдным κаτοдο.ν, (2) и οснοвным анοдοм (3), κοτορые ρазмещены в ваκуумнοГ: κамеρе ( в сρеде ρабοчегο газа πρи ποниженнοм давлении, ο τ л и - ч а η ци й с я τем.чτο в нем πρедусмοτρенο ρазме_;еняοе з зοκе πнτегρалыю-χοлοадοгο κаτοда (2) и неπροκицаемοе25 electrically connected to an integral-cold caterpillar, ν, (2) and the main anode (3), which are placed in a vacuum: in combination with that there is a reasonable amount of it; it is not necessary for the use of an inexpensive, healthy product (2) and is not suitable
3: для иοнοв меτалла, генеρиρуемыχ инτегρалыю-χοлοдным κаτοдοм (2), сρедсτвο (13) _л г сеπаρащи элеκτροнοв πз меτаллο-газοвο:! сτуπени глазмы ваκуτмяο-дугοвοгο ρззρя^а.3: for metal ions, generated by an integrated-cold product (2), medium (13) _l g sourcing elec- trons from a metal-gas :! the degree of the glasma of a vacant arc.
62. Усτροϋсτвο πο π.61, ο τ ля ч а ю щ е е с я τе:.., ч ο з κачесτве οснοзнοгο анοда (...) исποльзοзанο οбρаόаτы- 5 ваемοе из елие (5).62. Installations p.61, for the following: .., due to the quality of the anode (...), use the 5th product (5).
63. Усτροχсτвο πο п.61 или π.62, ο τ л я ча τэщ е е- с я τем,чτο в не.ν πρедусмοτρеκъ: ^οποлниτельнκ: анοд (22), - 49 - усτанοвленный οτнοсяτельнο инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) и сρедсτва (13) для сеπаρащш элеκτροнοв с вοзмοжнοсτыο ρасποлοжения οбρабаτываемοгο изделия (5) между κаτοдοм (2), сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτροнοв и дοποлниτельныν анοдοм (22), и двуχποзπциοнный πеρеκлючаτель (23), сοединенный с οбοими анοдами (2,22) и исτοчниκοм (9) ποсτοяннοгο τοκа.63. Installations p. 61 or π. 62, which is more often the case, because in some cases, there is the option of: an anode (22), - 49 - usτanοvlenny οτnοsyaτelnο inτegρalnο-χοlοdnοgο κaτοda (2) and sρedsτva (13) for seπaρaschsh eleκτροnοv with vοzmοzhnοsτyο ρasποlοzheniya οbρabaτyvaemοgο products (5) between κaτοdοm (2) sρedsτvοm (13) for seπaρatsii eleκτροnοv and dοποlniτelnyν anοdοm (22) and dvuχποzπtsiοnny The switch (23), connected to the general anodes (2.22) and the source (9) of the constant current.
64. Усτροйсτвο πο π.61 или π.62,ο τ ли ч а ю щ е е с я τем, чτο сρедсτвο (13 ) для сеπаρации элеκτροнοв выποл- ненο в виде набορа V -οбρазныχ πласτин (14), οбρащенныχ οднοй свοей бοκοвοπ ποвеρχнοсτыο (15) в сτοροну инτег- ρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2), дρугοй бοκοвοй ποвеρχнοсτью (16) в сτοροну οснοвнοгο анοда (3).64. The device is π.61 or π.62, or, moreover, mediocre (13) for separa- tion of elec- lateral reversal (15) in the state of the integral good-quality housing (2), another outward contact (16) in the main (second).
65. Усτροйсτвο πο π.63, ο τ ли ч а ю щ е е с я τем, чτο сρедсτвο (13) для седаρации элеκτροнοв выποл- ненο в ви е набορа ν-οбρазныχ πласτин (14), οбρащенныχ οднοй свοей бοκοвοй ποвеρχнοсτыο (15) в сτοροну инτегρальнο -χοлοднοгο κаτοда (2), а дρугοй свοей бοκοвοιι ποвеρχ- нοсτью (16) в сτοροну οснοвнοгο анοда (3).65. The device is π.63, or, moreover, mediocre (13) for the sedation of elec- 15) in the state of the integrated-cold store (2), and the other side of it (16) in the state of the main anode (3).
66. Усτροйсτвο πο π.64, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, чτο ν~οбρазные πласτины (14) сρедсτва (13) для сеπаρа- ЦΡШ элеκτροнοв усτанοвлены с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο- -ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτенοκ ваκуум- нοй κамеρы (I).66. The devices are π.64, and moreover, that the ν ~ shaped plates (14) of the device (13) are suitable for the installation of - the new camera (I).
67. Усτροйсτвο πο π.65, ο τ л и ч а щ е е с я τем, чτο V -οбρазные πласτины (14) сρедсτва (13) для сеπаρа- ции элеκτροнοв усτанοвлены с вοзмοжнοсτы-ο вοзвρаτнο-ποсτу- πаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτелыю сτенοκ ваκуумнοй κамеρы (I).67. The devices are π.65, and, moreover, the V-shaped plates (14) of the medium (13) are equipped with electronic devices for the isolation of electrical equipment VACUUM CAMERA PANEL (I).
68. Усτροйсτвο πο π.61 или д.62, ο τ ли ч а ю щ е - е с я τем,чτο сρедсτвο (13) для сеπаρации элеκτροнοв выποлнег-0 в виде κалгози.68. The device is π.61 or d.62, otherwise only with mediocrity (13) for the separation of elec- trons carried out in the form of coal gas.
69. Усτροйсτвο πο η.63, οτличшοщееся τем', чτο сρед- сτвο (13) для. сеπаρации элеκτροнοв выποлненο в виде жалгози.69. The device is η.63, which differs in terms of ' , which means (13) for. the separa- tion of elec- trons was carried out in the form of a jalgi.
70. Згсτροйсτвο πο π.61 или π.62,ο τ л и ч а ю щ е ес . τем , чτο сρе^сτвο (ΪЗ) для сеπаρации элеκτροнοв вы- ποлненο Ε виде леπесτκοвοй диасρагмы, леπесτκи (25)
Figure imgf000052_0001
70. H z sτροysτvο πο π.61 or π.62, ο τ L and h and w o f ec. in other words, for the separation of elec- trons, it was completed in the form of a diasperma, a blade (25)
Figure imgf000052_0001
- 50 - κοτοροГ: в зοне взаимнοгο πеρеκρыτия ρасποлοжены с зазο- ροм (а) вдοль προдοльяοй οси ваκуумнοιτ κамеρы (I).- 50 - ATTENTION: in the area of mutual protection, they are located with a spare (a) along with the secondary camera (I).
71. Усτροιϊсτвο πο π.63, ο τ ли ч а ющ е е с я τем, чτο сρецсτвο (13) для селаρации элеκτροнοв зκποлне-71. INSTRUMENTS π.63, except that partly (13) for the selection of electric power
5 яο Б виде леπесгκοвοй диаοόρагмьι, леπесτκи (25) κοτοροй в зοне взаимнοгο πеρеκρыτия ρаслοлοжены __ с зазοροм (а) вдοль προдοльнοи οси ваκуумнοй κамеρы (I).5 ya In the form of a linguistic diagamy, lapestki (25) which are in the zone of mutual treatment are arranged __ with a request for a long time.
72. Усτροйсτвο πο π.βϊ или π.62, ο τ ли ч а ю е - е с я τем,чτο сρедсτвο (13) для седаρации элеκτροнοв72. The device is on π.βϊ or π.62, otherwise only with mediocrity (13) for the sedation of elec- trons
10 выποлненο в виде Г-οбρазнοгο лаτρубκа (39), οдин из τορцοз (40) κοτοροгο наπρавлен в сτοροну οснοвнοгο анο- да (3), а в неποсρедсτΕеннοй близοсτи οτ дρугοгο τορ- ца (41) усτанοвлен ияτегρальнο-χοлοдный κаτοд (2).10 vyποlnenο a T-οbρaznοgο laτρubκa (39) of οdin τορtsοz (40) in κοτοροgο naπρavlen sτοροnu οsnοvnοgο anο- yes (3), and in neποsρedsτΕennοy blizοsτi οτ dρugοgο τορ- tsa (41) usτanοvlen iyaτegρalnο-χοlοdny κaτοd (2) .
73. Усτροйсτвο πο π.63, ο τ л и ч а ю щ е е с я73. INSTRUMENTS π .6 63, τ л и и
15 τем, чτο сρедсτзο (13) для сеπаρации элеκτροнοв зыποлненο в вπ.де Г-οбρазнοгο πаτρубκа (39), οдин из τορцοв (40) κοτοροгο наπρавлен в сτοροну οснοвнοгο анοда (3), а в не- ποсρедсτвеннοл близοсτи οτ дρугοгο τορца (41) усτанοвлен ιшτегρальяο-χοлοдныГ: κаτοд (2).15 τem, chτο sρedsτzο (13) for seπaρatsii eleκτροnοv zyποlnenο in vπ.de T-οbρaznοgο πaτρubκa (39) of οdin τορtsοv (40) in κοτοροgο naπρavlen sτοροnu οsnοvnοgο anοda (3), and in non ποsρedsτvennοl blizοsτi οτ dρugοgο τορtsa ( 41) INSTALLED THE STEGULAR-COLD: Cascade (2).
20 74. Усτροйсτвο πο η.61 или π.62, ο τ л и ч а ю щ и й - с я τем,чτο сρедсτвοм (13) для сеπаρаπяи элеκτροнθΕ елужиτ неποсρечсτзеннο сτенκа (45) ваκуумнοй κамеρы (I), ρасπслοг.енная в зοκе иκτгеρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) ,πρи зτο;. κаτοд (2) усτаκοвлен τаκ, чτο егο ρабοчая ποвеρχ-20 74. The device is either η.61 or π.62, and it is also necessary that (13) for the power supply of a power supply unit (45). ennaya in zοκe iκτgeρalnο- οlοdnοgο κaτοda χ (2), πρi zτο ;. A step (2) is set so that it is working part-
25 нοсτь (12) οбρащеκа з сτοροну эτοй сτенκл (45).25 Download (12) Turning to the side of this wall (45).
75. Усτροйсτвο πο π.63, ο τ л и ч а га щ е е с я τе.ν ,чτο сρедсτвοм (13) для сеπаρацич элеκτροнοв елужиτ κеποсρедсτвеинο сτенκа (43) ваκуумнο"ι κамеρы (I), ρасποлοженная в зοне инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) ,75. The device is π.63, and, moreover, that is, mediocre (13) for a medical electrician, it is important that the emergency (43) is large one-day business (2),
30 дρи зτοм κаτοд (2) згсτаκοвлен τзκ, чτο егο ρабοчая ποзеρ.-Κοеτь (12) οбρащена з сτοροну эτοй сτенκи (43).Dρi zτοm κaτοd 30 (2) g of sτaκοvlen τzκ, chτο egο ρabοchaya ποzeρ.-Κοeτ (12) of οbρaschena sτοροnu eτοy sτenκi (43).
76. Усτροйсτвο πο π.65, ο τ л и ч а ю щ е е с τем,чτο сρедсτвο (13) для сеπаρаπии элеκτροнοв зыποляенο Ε виде дисκа (60), усτанοвлеκяοгο с зазοροм . ( ъ ) с-~,' ι—-\ οτнοсиτельнο сτенοκ (61) ваκуумнοй κамερы (I).76. The device is π.65, and moreover, in addition to (13), for the sake of the separa- tions of the electric drives, the disk (60) is installed because of the delay. (b) c- ~, 'ι —- \ negative wall (61) vacuum chamber (I).
77. Усτρο.ϊсτвο πο π.74, ο τ ли щ е е с я τем, Ч:Ό ияτегρальяο-χοлοдяый κзτοд (2) усτаяοвлеκ с зοз- - 51 - мοжнοсτъю углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχнοс- τи (12) на Ι8С° οτнοсчτельнο сτенκи (43) ваκуумнοй κа- меρы (I), служащей сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτ- ροнοв. 5 78. Усτροйсτвο πο π.75, ο τлич а юще е с я τем, чτο инτегρальнο-χοлοдный κаτοд (2) усτанοвлен с вοзмοжнοсτью углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχ- нοсτи (12) на 180° οτнοсиτельнο сτенκи (43) ваκуумнοй κамеρы (I), служащей сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτ-77. INSTALLATION π.74, further, H: Ό я τ τ τ ег-(((((ус (2) - 51 - the possibility of cornering the transport of its working condition (12) to Ι8C ° of the large (43) vacuum chamber, which is suitable for the environment 5 78. The device is π.75, which can only be replaced with an optional (2) installation (there is no room for a 180-room connection). I), which serves as a medium (13) for the separation of elec-
10 ροнοв.10 rd
79. Усτροйсτвο ποπ.65, ο τлн ча юще е ся τем, чτο в нем дοποлниτельныз анοд (22) выποлнен в виде ποлοгο цилиндρа (44), τορец (45) κοτοροгο наπρавлен в сτοροну инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) и в ποлοсτи (46) κοτοροгο79. The device is operated at a rate of 65, which is complemented by the addition of an anode (22) in the form of a large cylinder (44), which is optionally supplied (46) κοτοροгο
15 ρасποлοженο οбρабаτываемοе изделие (47), и πρедусмοτρены οχваτывающий дοποлниτельный анοд (22), сοленοид (49) и дисκ (50) с ценτρальным οτвеρсτием (51), усτанοвленный сοοснο с дοποлниτельным анοдοм (22) между сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτροнοв и τορцοм (45) дοποлниτелыюгο15 optional product (47), and optional optional anode (22), solenoid (49) and optional (51) wired separately Part (45)
'-0 аяοда (22) в неποсρедсτвеннοй близοсτи οτ эτοгο сρедсτва (13) и эτοгο анοда (22). ' -0 ayoda (22) in the immediate vicinity of this medium (13) and this anode (22).
80. Усτροйсτвο πο π.65, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, чτο з нем πρедусмοτρена". ρасπыляемая мишень (52), имеющая ценτρальнοе οτвеρсτие (53), сοединенная с οτρицаτельным 5 ποлюсοм инивидуальнοгο исτοчниκа (55) ποсτοяннοгο τοκа и ρазмещенная между сρедсτвοм (15) для сеπаρации элеκτρο- нοв и дοποлниτельным анοдο.ν (22).80. DIRECTIVITY π.65, furthermore, it is acceptable to use it. "The sprayed target (52), which has a complete and non-essential (53), connected to the optional ) Permanent circuit and located between the medium (15) for the separation of elec- trons and ancillary anode.ν (22).
81. Усτροйсτвο ποπ.79, ο τлич а ще е ся τем, чτο в нем πρедусмοτρеяа ρасπыляемая мишень (52), имеющая 0 ценτρальнοе οτвеρсτие (53), сοединенная с οτρицаτельным ποлюсοм индивчдуальнοгο исτοчниκа (55) ποсτοяянοгο τοκа и ρазмещенная между сρедсτвον. (13) для сеπаρации элеκτρο- нοв и дοποлниτельнш анοдο. (22).81. The device is opt. 79, except that it has a sputtering target (52), which has 0 centrifugal equipment, which is connected to (13) for the separation of elec- trons and an additional anode. (22).
82. Усτροζсτвο πο π.80, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, 5 чτο ρасπыляемая мишень (52) ρасποлοжена сοοснο с дοποл- ниτельным аяοдο'/. (22).
Figure imgf000054_0001
82. Installations π.80, furthermore, 5, that the sprayed target (52) is located adjacent to the optional extension /. (22).
Figure imgf000054_0001
- 52 - 85. Усτροйсτвο ποπ.82, ο τлича юще е ся τем, чτο ρасπыляемая мишень (52) выποлнеяа в виде дисκа (54), ямеющегο цеяτρальнοе οτвеρсτие (53).- 52 - 85. The device is 82, which differs in that the sprayed target (52) is executed in the form of a disk (54), which means a general response (53).
84. Усτροйсτзο πο π.82, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, 5 чτο в нем дοποлниτелъный анοд (22) выποлнен з виде κοльца (59), πρи эτοм πлοщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοс- τи (62) κοльца (59) дοποлниτельнοгο анοда (22) ρавна πлοщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи ценτρалънοгο οτвеρс- τия (53) ρасπыляемοй мишени (52). 10 85. Усτροйсτвο πο π.82, ο τлича юще е ся τем, чτο в нем .дοποлнчτельный анοд (22) Быποлнея в виде κοль- ца (59), πρи эτοм πлοщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи (62) κοльца (59) дοποлниτельнοгο анοда (22) бοлыие πлοщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи цеяτρальнοгο οτвеρсτия (53) Ϊ5 ρасπыляемοй мишени (52).84. The device is π.82, so that 5, an additional anode (22) is provided in the form of the ring (59), and the area is cross-section (s) the ring (59) of the optional anode (22) is equal to the area of the cross section of the area of the central area (53) of the sprayed target (52). 10 85. INSTRUMENTS π.82, which is distinguished by the fact that in it there is an optional anode (22) Completed in the form of a ring (59), and there is a (22) the large area of the cross-section of the area of the total area of failure (53) Ϊ5 of the sprayed target (52).
86. Усτροйсτвο ηο π.84, ο τ и а юще е ся τем, чτο ρасπыляемая мишень (52) выποлнена в виде ποлοгο щлиндρа (58), πόлοсτь (63) κοτοροгο язляеτся ценτρаль- яым οτвеρсτием (53) ρасπыляемοй мишени (52). 0 87. Усτροйсτвο ποπ.84, ο τличающе е ся τем,чτο ρасπыляемая мишень (52) выποлена в виде набορа изοлι-ιροванныχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ πласτин (66), усτаяοвленныχ πο οκρужнοсτи, οбρазуя, τаκим οбρазοм, ценτρальнοе οτвеρсτие (53) ρасπыляемοй мишени (52). 5 88. Усτροйсτвο πο π.85, ο τлича юще е ся τем, чτο ρасπыляемая миаιеяь (52) выποлнена в виде ποлοгο цι-шшдρа (58), ποлοсτь (63) κοτοροгο являеτся ценτρаль- ным οτвеρсτием (53) ρасπыляемοй мишени (52).86. The performance of π 84, which is also sprayed, that the target (52) is implemented as an empty barrel (58), is affected (63), is 53 (is) . 0 87. Usτροysτvο ποπ.84, ο τlichayusche e τem Xia, chτο ρasπylyaemaya target (52) in the form vyποlena nabορa izοlι-ιροvannyχ οdna οτ dρugοy dugοοbρazny χ πlasτin (66) usτayaοvlennyχ πο οκρuzhnοsτi, οbρazuya, τaκim οbρazοm, tsenτρalnοe οτveρsτie (53 ) of the sprayed target (52). 5 88. The device is π.85, which is distinguished by the fact that the sprayed media (52) is implemented as a fully-equipped wiring (58), which is equipped with a (52) )
89. Усτροйсτвο ποπ.85, ο τлича гаще е ся 0 τем, чτο ρасπыляемая мишень (52) выποляена в виде насορа изοлгιροзаяяыχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ πласτин (66), усτанοвленныχ πο οκρужнοсτκ, οбρазуя, τаκим οбρазοм, ценτρальнοе οτвеρсτие (53) ρасπыляемοй мишени (52). 89. Usτροysτvο ποπ.85, ο τlicha gasche e 0 τem Xia, chτο ρasπylyaemaya target (52) in the form vyποlyaena nasορa izοlgιροzayayayχ οdna οτ dρugοy dugοοbρaznyχ πlasτin (66) usτanοvlennyχ πο οκρuzhnοsτκ, οbρazuya, τaκim οbρazοm, tsenτρalnοe οτveρsτie (53) ρasπylyaemοy targets (52).
PCT/RU1992/000088 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma WO1992019785A1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP92911913A EP0583473B1 (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma
US08/146,043 US5503725A (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma
DE69227313T DE69227313T2 (en) 1991-04-29 1992-04-23 METHOD AND DEVICE FOR TREATING COMPONENTS IN A GAS DISCHARGE PLASMA
JP4511099A JPH06506986A (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and equipment for processing products in gas discharge plasma

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU4938768 1991-04-29
SU4938768 RU2010031C1 (en) 1991-04-29 1991-04-29 Vacuum furnace
SU5002413 RU2022056C1 (en) 1991-09-11 1991-09-11 Coating application unit
RU5002528 1991-09-11
SU915002528A RU1834911C (en) 1991-09-11 1991-09-11 Process of product treatment in plants for vacuum-plasma spray on coating
RU5002413 1991-09-11
RU5008180 1991-11-11
RU5008181 1991-11-11
RU5018360 1991-12-24
RU5024441 1992-01-28
RU5024440 1992-01-28
RU5027759 1992-02-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1992019785A1 true WO1992019785A1 (en) 1992-11-12

Family

ID=27356466

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1992/000088 WO1992019785A1 (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH06506986A (en)
WO (1) WO1992019785A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994016117A1 (en) * 1992-12-30 1994-07-21 Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' Device for the vacuum-plasma treatment of articles
EP0645461A1 (en) * 1993-08-27 1995-03-29 Hughes Aircraft Company Heat treatment by plasma electron heating and solid/gas jet cooling
US8241468B2 (en) 2004-12-13 2012-08-14 United Technologies Corporation Method and apparatus for cathodic arc deposition of materials on a substrate

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006111930A (en) * 2004-10-15 2006-04-27 Nissin Electric Co Ltd Film deposition system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987002072A1 (en) * 1985-09-30 1987-04-09 Union Carbide Corporation Apparatus and process for arc vapor depositing a coating in an evacuated chamber
EP0225680A1 (en) * 1985-11-15 1987-06-16 Andal Corp. Improved electric arc vapor deposition method
US4691662A (en) * 1983-02-28 1987-09-08 Michigan State University Dual plasma microwave apparatus and method for treating a surface

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4691662A (en) * 1983-02-28 1987-09-08 Michigan State University Dual plasma microwave apparatus and method for treating a surface
WO1987002072A1 (en) * 1985-09-30 1987-04-09 Union Carbide Corporation Apparatus and process for arc vapor depositing a coating in an evacuated chamber
EP0225680A1 (en) * 1985-11-15 1987-06-16 Andal Corp. Improved electric arc vapor deposition method

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0583473A4 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994016117A1 (en) * 1992-12-30 1994-07-21 Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' Device for the vacuum-plasma treatment of articles
EP0645461A1 (en) * 1993-08-27 1995-03-29 Hughes Aircraft Company Heat treatment by plasma electron heating and solid/gas jet cooling
US8241468B2 (en) 2004-12-13 2012-08-14 United Technologies Corporation Method and apparatus for cathodic arc deposition of materials on a substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06506986A (en) 1994-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0583473A4 (en) Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma
US6570172B2 (en) Magnetron negative ion sputter source
US6214183B1 (en) Combined ion-source and target-sputtering magnetron and a method for sputtering conductive and nonconductive materials
RU2695685C2 (en) Plasma-immersion ion treatment and deposition of coatings from vapour phase with help of low-pressure arc discharge
US6150755A (en) Charged particle source with liquid electrode
JP2556637B2 (en) Deposition system on substrate by magnetron cathode
JP3158158B2 (en) Low pressure discharge generation and ignition method, vacuum processing apparatus and cathode chamber of the apparatus
EP0899772B1 (en) Cathodic arc vapor deposition apparatus
JP5379684B2 (en) Method and apparatus for maintaining hot cathode emission performance in harsh environments
KR20020046276A (en) Enhanced electron emissive surfaces for a thin film deposition system using ion sources
WO1982002906A1 (en) Consumable cathode for electric-arc evaporator of metal
US4737688A (en) Wide area source of multiply ionized atomic or molecular species
NL8600417A (en) METHOD FOR REACTIVELY VAPORATING LAYERS FROM OXIDES, NITRIDES, OXYNITRIDES AND CARBIDES
WO1992019785A1 (en) Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma
KR20080014984A (en) Plasma amplifier for plasma treatment plant
Borisov et al. Effective processes for arc-plasma treatment in large vacuum chambers of technological facilities
US6770178B2 (en) Cathodic arc disposable sting shielding
RU76918U1 (en) VACUUM ION-PLASMA INSTALLATION
WO1992021787A1 (en) Method and device for thermochemical treatment of articles
RU2026413C1 (en) Method of heating of electric conducting products in working chamber
JP7383049B2 (en) Anode for PVD processing
RU2001972C1 (en) Electric arc evaporation plant for applying of hardening coatings
Alexeyevich et al. Optical radiation in breakdown of the acceleration gap of a forevacuum pressure, wide-aperture, plasma-cathode, pulsed electron source
JP2848590B1 (en) Electron beam excited plasma generator
RU2155243C2 (en) Method of ion-ray treatment of articles made from hard alloys

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CS HU JP KR PL US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU MC NL SE

CFP Corrected version of a pamphlet front page
CR1 Correction of entry in section i

Free format text: IN PAT.BUL.28/92 UNDER INID (51) "IPC" REPLACE THE EXISTING SYMBOLS BY "C23C 14/32"

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1992911913

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 08146043

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1992911913

Country of ref document: EP

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 1992911913

Country of ref document: EP