WO1991019216A1 - Vorrichtung zum einkoppeln von lichtstrahlen in eine lichtleitfaser - Google Patents
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Definitions
- the invention relates to a device for coupling at least one light beam into an optical fiber with focusing optics that focus the light beam in the area of the light entry surface of the optical fiber and a displacement device that uses moving elements to position the focusing optics or the optical fiber end relative to one another in a plane parallel to the light entry area moves.
- Devices of this type are required if laser radiation is to be transmitted to a location which is inaccessible for linear light propagation. Areas of application are, for example, optical information transmission or medical technology, where intensive laser radiation is used to treat tissue in the human body.
- optical fibers with a diameter of less than 50 ⁇ m are used. In order to keep the power losses during transmission low, it is necessary to focus the laser beam centrally on the light entry opening of the optical fiber.
- either the focusing optics or the end of the optical fiber are shifted in the plane of the light entry opening of the fiber. Because of the small fiber diameter, the shift in order to achieve an optimal coupling must take place with an accuracy in the um range. Therefore, high demands have to be made of a displacement device.
- each movement element consists of a cone
- US Pat. No. 4,265,511 the accuracy required for the required precise relative positioning of the focusing optics and light guide is achieved by using the finest-thread ⁇ m screws.
- Such devices are complex and expensive and therefore unsuitable for production in large numbers.
- DE 31 37 602 has proposed, for example, to shift the focal point of the focusing optics laterally with the aid of an imaging system.
- the focal point can be adjusted by a relatively rough shift of the imaging system onto the fiber.
- the use of an additional imaging system with additional optical surfaces in the beam path requires one increased equipment expenditure and higher manufacturing costs.
- the invention is based on the object of providing a device for coupling at least one light beam into an optical fiber which, with simple design, permits highly precise adjustment and which can be inexpensively manufactured in large numbers.
- each movement element of the displacement device consists of a cone which is punctiform on a convex contact surface, and that the cone and the convex contact surface are relative to one another are slidably arranged.
- the shifting of the focusing optics or the end of the optical fiber is achieved in that the cone is moved along its figure axis. This movement changes the distance between the point of contact of the contact surface with the cone and the figure axis of the cone. When the figure axis is fixed, the contact surface is moved perpendicular to the figure axis of the cone.
- the displacement device of the device according to the invention has a fixed frame and a displaceable slide.
- the focusing optics or the optical fiber end are attached to the sliding carriage. So that the contact between the cone and the convex contact surface is always guaranteed, a restoring force is exerted on the slide with the aid of restoring elements.
- the cone is formed as part of an adjusting screw. This causes the cone to move in the direction of its figure axis by simply turning the adjusting screw in a thread. No high demands are placed on the precision of the thread.
- the convex contact surface is attached to the slidable slide according to claim 4.
- the thread for the adjusting screw is cut with the cone in the fixed frame.
- the convex contact surface can also be connected to the fixed frame, in which case the adjusting screw is attached to the movable slide.
- the convex contact surface is designed as a cylinder.
- the cylinder axis lies in the plane of displacement and is perpendicular to the figure axis of the cone.
- the cylindrical shape ensures that the cone fits securely against the convex surface entire length of the cylinder.
- the displacement device according to claim 6 has two movement elements whose directions of movement are perpendicular to each other. Decoupling of the movement in the plane of the beam entry surface is thus achieved. The movement of the displaceable carriage in one direction in the plane does not influence the position with respect to the other direction. This further training allows fast adjustment with just a few adjustment steps.
- the focusing optics or the optical fiber end cannot be shifted only in the plane of the beam entry surface.
- the device characterized in claim 7 additionally allows a shift in the direction of the light beam.
- the entry surface of the optical fiber can thus be precisely adjusted into the focus of the light beam.
- a laser is provided as the source of the light beam to be coupled in, with a powerful argon laser or a neodymium-YAG laser being preferred depending on the application.
- the focusing optics and the displacement device are aligned along the optical axis and firmly connected to the laser. In this way, the rough adjustment of the device is always maintained; all that is required is a fine adjustment.
- a device in the device characterized in claim 9 is a bull laser provided.
- the light beam from this laser is faded into the beam path of the powerful laser with the aid of a frequency-selective mirror. While the light beam of this laser penetrates the frequency-selective mirror almost unattenuated, the beam of the alignment laser is reflected on the surface of the mirror placed obliquely in the beam path, so that it simulates the beam path of the powerful laser.
- a HeNe laser is preferably used as the alignment laser.
- the advantages achieved by the invention are, in particular, that the adjustment when a light beam is coupled into an optical fiber instead of using a complex and expensive displacement device using um screws or an additional optical device with the aid of an easily produced mechani ⁇ set up.
- the production costs of the device are significantly reduced without loss of quality.
- the cone used in the device can be easily replaced. This allows the device to be adapted to the respective application. If less stringent requirements are placed on the accuracy of the adjustment, the use of a cone with a large angle is recommended, as a result of which the speed of the adjustment process is increased.
- the device according to the invention is robust and allows a safe, stable adjustment, which is why it is particularly suitable for practical use even by inexperienced personnel.
- FIG. 1 shows a plan view of a device according to the invention in a schematic illustration
- Fig. 2 is a side view of the displacement device.
- a light beam 1 from the laser 2 is coupled into the optical fiber 3.
- the filter 5 which is adjustably mounted on a holder 6
- light of a predefinable wavelength can be filtered out of the laser beam 1.
- the green line is selected from the lines emitted by an argon laser using a green filter.
- the light beam 1 can be interrupted with the rotatably mounted plate 7.
- the light beam 1 is focused on the beam entry surface of the optical fiber 3 with the aid of the focusing lens 4.
- the focusing lens 4 is held in the displaceable carriage 8 of the displacement device 9.
- the cylinder 10 represents the convex contact surface for the cone 11, which is designed as part of the adjusting screw 12.
- the cone 11 is moved longitudinally to its figure axis.
- the focusing lens 4 is displaced relative to the optical fiber 3 parallel to the beam entry surface with the movement described.
- the light beam 1 of the laser 2 is simulated with the help of the light beam 15 of an adjustment laser 16.
- the light beam 15 of the alignment laser 16 is coupled into the beam path of the laser 2 by means of two adjustable mirrors 17 and 18, of which the mirror 18 acts frequency-selectively.
- the green filter 5, the mirror 18, the plate 7 and the displacement device 9 with the focusing lens 4 and the optical fiber 3 are mounted along the optical axis 19 of the laser 2 on a common frame 20 which is firmly connected to the laser 2.
- FIG. 2 A side view of the displacement device 9 is shown in FIG. 2.
- the optical fiber 3 is fixed in the central region of the displacement device 9 by the holder 13.
- Two movement elements each consisting of a cylinder 10 and a cone not visible in the figure, are arranged perpendicular to each other in the plane of the light entry surface of the optical fiber.
- the cone of the other movement element is displaced along the associated cylinder.
- the adjusting screws 12, each of which has a conical area, are shown in this figure as slotted screws.
- the displacement device is fastened to the frame 20 by means of screws 21.
- suitable biasing elements such as springs or the like are provided, which hold the cone in contact with the convex contact surface, so that the play is minimized.
Abstract
Beschrieben wird eine Vorrichtung zum Einkoppeln wenigstens eines Lichtstrahles in eine Lichtleitfaser mit einer Verschiebeeinrichtung und einer Fokussieroptik. Bekannte Vorrichtung weisen entweder eine aufwendige Verschiebeeinrichtung unter Verwendung von νm-Schrauben oder zusätzliche optische Komponenten auf, mit deren Hilfe die Anforderungen an die Präzision der Verschiebeeinrichtung reduziert werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist Bewegungselemente auf, die aus einem an einer konvexen Anlagefläche (10) punktförmig anliegenden Konus (11) bestehen. Die Verschiebeeinrichtung der erfindungsgemäße Vorrichtung ist einfach und preiswert herstellbar und ermöglicht eine Justierung im νm-Bereich.
Description
Vorrichtung zum Einkoppeln von Lichtstrahlen in eine
Lichtleitfaser
B e s c h r e i b u n g
Technisches Gebiet
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Einkoppeln wenigstens eines Lichtstrahles in eine Lichtleitfaser mit einer Fokussieroptik, die den Lichtstrahl im Bereich der Lichteintrittsfläche der Lichtleitfaser fokussiert und einer Verschiebevorrichtung, die mittels Bewegungselemen- ten die Fokussieroptik oder das Lichtleitfaserende relativ zueinander in einer Ebene parallel zur Lichteintritts¬ fläche bewegt.
Stand der Technik
Derartige Vorrichtungen werden benötigt, wenn Laserstrah¬ lung an einen Ort übertragen werden soll, der für eine geradlinige Lichtausbreitung unzugänglich ist. Einsatz¬ gebiete sind beispielsweise die optische Informations¬ übertragung oder die Medizintechnik, wo intensive Laser¬ strahlung zur Behandlung von Gewebe in menschlichen Körper eingesetzt wird.
Wenn bei der Übertragung die optischen Eigenschaften der Strahlung erhalten bleiben sollen, insbesondere bei moden¬ reiner Übertragung, werden einzelne Lichtleitfasern mit einem Durchmesser von weniger als 50 um eingesetzt. Um die Leistungsverluste bei der Übertragung gering zu halten,
ist es erforderlich, den Laserstrahl zentral auf die Lichteintrittsöffnung der Lichtleitfaser zu fokussieren.
Hierzu werden entweder die Fokussieroptik oder das Ende der Lichtleitfaser in der Ebene der Lichteintrittsöffnung der Faser verschoben. Wegen des geringen Faserdurchmessers muß die Verschiebung zum Erreichen einer optimalen Ein- koppelung mit einer Genauigkeit im um-Bereich erfolgen. Deshalb müssen an eine Verschiebeeinrichtung hohe An¬ forderungen gestellt werden.
Eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, bei der jedes Bewegungselement aus einem Konus besteht, ist aus der US-PS 4 265 511 bekannt. Bei dieser bekannten Verschiebeeinrichtung wird die für die erforderliche prä¬ zise Relativpositionierung von Fokussieroptik und Licht¬ leiter benötigte Genauigkeit durch den Einsatz von fein- stgewindigen μm-Schrauben erreicht. Solche Einrichtungen sind aufwendig und teuer und deshalb für die Herstellung in größeren Stückzahlen ungeeignet.
Um die Anforderungen an eine Verschiebeeinrichtung zu reduzieren ist beispielsweise in der DE 31 37 602 vorge¬ schlagen worden, den Brennpunkt der Fokussieroptik mit Hilfe eines Abbildungssystems lateral zu verschieben. Auf diese Weise kann man durch die Auswahl eines geeigneten Brennweiten-Verhältnisses der Fokussieroptik und des Ab¬ bildungssystems den Brennpunkt durch eine relativ grobe Verschiebung des AbbildungsSystems auf die Faser justie¬ ren. Allerdings bedingt der Einsatz eines zusätzlichen AbbildungsSystems mit zusätzlichen optischen Flächen im Strahlengang einen erhöhten apparativen Aufwand und höhere Herstellungskosten.
Darstellung der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Einkoppeln wenigstens eines Lichtstrahles in eine Lichtleitfaser bereitzustellen, die bei einfacher Aus¬ bildung eine hochpräzise Justierung erlaubt, und die in großer Stückzahl preiswert hergestellt werden kann.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung mit einer Fokus¬ sieroptik und einer Verschiebeeinrichtung mit Bewegungs¬ elementen dadurch gelöst, daß jedes Bewegungselement der Verschiebeeinrichtung aus einem an einer konvexen Anlage¬ fläche punktformige anliegenden Konus besteht, und daß-der Konus und die konvexe Anlagefläche relativ zueinander verschiebbar angeordnet sind.
Die Verschiebung der Fokussieroptik oder des Lichtleitfa¬ serendes wird dadurch erreicht, daß der Konus entlang seiner Figurenachse bewegt wird. Durch diese Bewegung ändert sich der Abstand zwischen dem Berührungspunkt der Anlagefläche mit dem Konus und der Figurenachse des Konus. Bei feststehender Figurenachse wird die Anlagefläche senk¬ recht zur Figurenachse des Konus bewegt.
Wenn die Fokussieroptik oder das Lichtleitfaserende starr mit der konvexen Anlagefläche verbunden sind, ändert sich auch deren Abstand von der Figurenachse des Konus. Durch Vorgabe eines bestimmten Konuswinkel wird das Unterset¬ zungsverhältnis der Bewegung des Konus in Richtung seiner Figurenachse in die Bewegung senkrecht zur Figurenachse gewählt. Durch die Wahl eines kleinen Konuswinkels mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine äußerst prä¬ zise Justierung im um-Bereich erreicht.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Nach Anspruch 2 weist die Verschiebeeinrichtung der er¬ findungsgemäßen Vorrichtung einen feststehenden Rahmen und einen verschiebbaren Schlitten auf. An dem verschiebbaren Schlitten werden je nach Ausgestaltung der Vorrichtung die Fokussieroptik oder das Lichtleitfaserende angebracht. Damit der Kontakt zwischen dem Konus und der konvexen Anlagefläche stets gewährleistet ist, wird mit Hilfe von Rückstellelementen eine rückstellende Kraft auf den Schlitten ausgeübt.
Gemäß Anspruch 3 ist der Konus als Teil einer Justier¬ schraube ausgebildet. Dadurch erfolgt die Bewegung des Konus in Richtung seiner Figurenachse durch einfaches Drehen der Justierschraube in einem Gewinde. An die Prä¬ zision des Gewindeganges sind dabei keine hohen Anforde¬ rungen gestellt.
Die konvexe Anlagefläche ist nach Anspruch 4 an dem ver¬ schiebbaren Schlitten angebracht. Bei dieser Ausgestaltung ist das Gewinde für die Justierschraube mit dem Konus in den feststehenden Rahmen geschnitten. Für bestimmte An¬ wendungsfälle kann ebenso gut die konvexe Anlagefläche mit dem festen Rahmen verbunden sein, dann ist die Justier¬ schraube an dem beweglichen Schlitten angebracht.
Bei der im Anspruch 5 gekennzeichneten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die konvexe Anlagefläche als Zylinder ausgebildet. Die Zylinderachse liegt in der Verschiebungsebene und steht senkrecht auf der Figurenach¬ se des Konus. Die Zylinderform gewährleistet ein sicheres Anliegen des Konus an der konvexen Oberfläche über die
gesamte Länge des Zylinders.
Die Verschiebeeinrichtung gemäß Anspruch 6 weist zwei Bewegungselemente auf, deren Bewegungsrichtungen senkrecht aufeinander stehen. Damit wird eine Entkoppelung der Be¬ wegung in der Ebene der Strahleintrittsfläche erreicht. Die Bewegung des verschiebbaren Schlittens in einer Rich¬ tung in der Ebene beeinflußt die Lage bezüglich der ande¬ ren Richtung nicht. Diese Weiterbildung erlaubt ein schnelles Justieren mit nur wenigen Justierschritten.
Für bestimmte Anwendungen ist es vorteilhaft, wenn die Verschiebung der Fokussieroptik oder des Lichtleitfaser¬ endes nicht nur in der Ebene der Strahleintrittsfläche erfolgen kann. Die im Anspruch 7 gekennzeichnete Vor¬ richtung erlaubt zusätzlich eine Verschiebung in Richtung des Lichtstrahles. Damit kann die Eintrittsfläche der Lichtleitfaser exakt in den Fokus des Lichtstrahles ju¬ stiert werden.
Als Quelle des einzukoppelnden Lichtstrahles ist nach Anspruch 8 ein Laser vorgesehen, wobei gemäß Anspruch 10, je nach Anwendungsfall, ein leistungsfähiger Argon-Laser oder ein Neodym-YAG-Laser vorgezogen werden. Die Fokus¬ sieroptik und die Verschiebeeinrichtung sind entlang der optischen Achse ausgerichtet und fest mit dem Laser ver¬ bunden. Die GrobJustierung der Vorrichtung bleibt so immer erhalten, es braucht lediglich eine Feinjustierung vorge¬ nommen werden.
Um die Justierung nicht mit dem leistungstarken Laser vornehmen zu müssen, insbesondere bei der Verwendung des im nahen Infrarot arbeitenden Neodym-YAG-Lasers, ist bei der im Anspruch 9 gekennzeichneten Vorrichtung ein Ju-
stierlaser vorgesehen. Der Lichtstrahl dieses Lasers wird mit Hilfe eines frequenzselektiven Spiegels in den Strah¬ lengang des leistungsstarken Lasers eingeblendet. Während der Lichtstrahl dieses Lasers den frequenzselektiven Spie¬ gel annähernd ungeschwächt durchdringt, wird der Strahl des Justierlasers an der Oberfläche des schräg in den Strahlengang gestellten Spiegels reflektiert, so daß er den Strahlengang des leistungsstarken Lasers simuliert.
Nach Anspruch 10 wird als Justierlaser vorzugsweise ein HeNe-Laser verwendet.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbe¬ sondere darin, daß die Justierung bei der Einkoppelung eines Lichtstrahles in eine Lichtleitfaser statt mit einer aufwendigen und teueren Verschiebeeinrichtung unter Ver¬ wendung von um-Schrauben oder einer zusätzlichen optischen Einrichtung mit Hilfe einer einfach herstellbaren mechani¬ schen Einrichtung erfolgt. Dadurch werden die Produktions¬ kosten der Vorrichtung ohne Qualitätseinbuße wesentlich verringert. Der in der Vorrichtung verwendete Konus kann leicht ausgewechselt werden. Dadurch kann die Vorrichtung dem-jeweiligen Anwendungszweck angepaßt werden. Wenn weni¬ ger hohe Anforderungen an die Genauigkeit der Justierung gestellt werden, empfiehlt sich der Einsatz eines Konus mit großem Winkel, wodurch die Schnelligkeit des Justier¬ vorganges erhöht wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist robust und erlaubt eine sichere, stabile Justierung, weshalb sie sich besonders für den praktischen Einsatz auch durch ungeübtes Personal eignet.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnun¬ gen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen :
Fig. 1 eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vor¬ richtung in schematischer Darstellung,
Fig. 2 eine Seitenansicht der Verschiebeeinrichtung.
Darstellung eines Ausführungsbeispiels
Bei dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel wird ein Lichtstrahl 1 des Lasers 2 in die Lichtleitfaser 3 eingekoppelt. Mit Hilfe des Filters 5, der justierbar auf einer Halterung 6 montiert ist, kann aus dem Laserstrahl 1 Licht einer vorgebbaren Wellenlänge herausgefiltert wer¬ den. Beispielsweise wird mit Hilfe eines Grünfilters die grüne Linie aus den von einem Argon-Laser emittierten Linien ausgewählt. Mit der drehbar angebrachten Platte 7 kann der Lichtstrahl 1 unterbrochen werden.
Der Lichtstrahl 1 wird mit Hilfe der Fokussierlinse 4 auf die Strahleintrittsfläche der Lichtleitfaser 3 fokussiert. Die Fokussierlinse 4 wird im verschiebbaren Schlitten 8 der Verschiebeeinrichtung 9 gehalten. Der Zylinder 10 stellt die konvexe Anlagefläche für den Konus 11 dar, der als Teil der Justierschraube 12 ausgebildet ist.
Durch Drehen der Justierschraube 12 wird der Konus 11 längs zu seiner Figurenachse bewegt.
Da die Halterung 13 der Lichtleitfaser 3 fest mit dem Rahmen 14 der Verschiebeeinrichtung 9 verbunden ist, wird mit der beschriebenen Bewegung die Fokussierlinse 4 re¬ lativ zu der Lichtleitfaser 3 parallel zur Strahlein¬ trittsfläche verschoben.
Während des Justiervorganges wird der Lichtstrahl 1 des Lasers 2 mit Hilfe des Lichtstrahls 15 eines Justierlasers 16 simuliert. Die Einkoppelung des Lichtstrahles 15 des Justierlasers 16 in den Strahlengang des Lasers 2 erfolgt mittels zweier justierbar angeordneter Spiegel 17 und 18, von denen der Spiegel 18 frequenzselektiv wirkt.
Das Grünfilter 5, der Spiegel 18, die Platte 7 sowie die Verschiebeeinrichtung 9 mit der Fokussierlinse 4 und der Lichtleitfaser 3 sind entlang der optischen Achse 19 des Lasers 2 auf einem gemeinsamen Gestell 20 montiert, das fest mit dem Laser 2 verbunden ist.
Eine Seitenansicht der Verschiebeeinrichtung 9 ist in der Figur 2 dargestellt. Im zentralen Bereich der Verschiebe¬ einrichtung 9 wird die Lichtleitfaser 3 durch die Halte¬ rung 13 fixiert. Zwei Bewegungselemente, bestehend aus eweils einem Zylinder 10 und einem in der Figur nicht sichtbaren Konus sind senkrecht zueinander in der Ebene der Lichteintrittsfläche der Lichtleitfaser angeordnet. Bei Verschiebung des Schlittens durch ein Bewegungselement in eine Richtung wird der Konus des anderen Bewegungsele¬ mentes entlang des zugehörigen Zylinders verschoben.
Dadurch verschiebt sich der Kontaktpunkt des Zylinders mit dem Konus. Die Zylinderform bietet die Gewähr dafür, daß der Konus auch nach der Verschiebung punktförmig an der konvexen Anlagefläche anliegt.
Die Justierschrauben 12, die jeweils einen konusförmigen Bereich aufweisen, sind in dieser Figur als Schlitzschrau¬ ben dargestellt. Die Verschiebeeinrichtung ist mit Hilfe von Schrauben 21 an dem Gestell 20 befestigt. Ferner sind
bevorzugt geeignete Vorspannungselemente, wie Federn oder dgl. vorgesehen, die den Konus in Anlage an der konvexen Anlagefläche halten, so daß das Spiel minimiert ist.
Claims
1. Vorrichtung zum Einkoppeln wenigstens eines Licht¬ strahles in eine Lichtleitfaser mit einer Fokussieroptik, die den Lichtstrahl im Bereich der Lichteintrittsfläche der Lichtleitfaser fokussiert und einer Verschiebeein¬ richtung, die mittels Bewegungselementen die Fokussierop¬ tik oder das Lichtleitfaserende relativ zueinander in einer Ebene parallel zur Lichteintrittsfläche bewegt, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Bewegungselement der Verschiebeeinrichtung aus einem an einer konvexen Anlage¬ fläche punktförmig anliegenden Konus besteht und daß der Konus und die konvexe Anlagefläche relativ zueinander verschiebbar angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebeeinrichtung einen feststehenden Rahmen und einen verschiebbaren Schlitten aufweist, der mittels Rückstellelementen mit dem feststehenden Rahmen verbunden ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Konus als Teil einer Ju¬ stierschraube ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die konvexe Anlagefläche an dem verschiebbaren Schlitten angebracht ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die konvexe Anlagefläche ein Zylinder ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in der Verschiebeeinrichtung zwei Bewegungselemente derart angeordnet sind, daß die Bewegungsrichtungen aufeinander senkrecht stehen.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in der Verschiebeeinrichtung drei Bewegungselemente derart angeordnet sind, daß die Bewegungsrichtungen aufeinander senkrecht stehen.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Quelle eines einzu¬ koppelnden Lichtstrahles ein erster Laser ist, und daß die Fokussieroptik und die Verschiebeeinrichtung auf der opti¬ schen Achse des ersten Lasers liegen und fest mit dem Laser verbunden sind.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Laser vorgesehen ist und daß zum Einkoppeln des Laserstrahles des zweiten Lasers in den Strahlengang des ersten Lasers auf der opti¬ schen Achse des ersten Lasers ein frequenzselektiver Spie¬ gel angebracht ist.
10. Vorrichtung nach den Ansprüchen 8 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Laser ein leistungs¬ starker Argon-Laser oder ein Neodym-YAG-Laser und der zweite Laser ein HeNe-Laser mit geringer Leistung ist.
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