WO1991007527A1 - Device for reducing the concentration of field lines in an electroplating plant - Google Patents

Device for reducing the concentration of field lines in an electroplating plant Download PDF

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WO1991007527A1
WO1991007527A1 PCT/DE1990/000884 DE9000884W WO9107527A1 WO 1991007527 A1 WO1991007527 A1 WO 1991007527A1 DE 9000884 W DE9000884 W DE 9000884W WO 9107527 A1 WO9107527 A1 WO 9107527A1
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workpiece
anode
field lines
diaphragm
shape
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PCT/DE1990/000884
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Inventor
Manfred Kallweit
Walter Meyer
Rolf Schröder
Original Assignee
Schering Aktiengesellschaft
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/008Current shielding devices
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus

Definitions

  • the invention relates to a device for stopping field lines in a galvanic system for treating essentially plate-shaped workpieces, which is provided with a diaphragm.
  • a circuit board as a workpiece to be treated in a diving galvam system is assigned a shielding and positioning frame, with a roof-shaped base that is guided so as to be displaceable in a vertical direction.
  • the screen is in a basic position on the bath surface and is carried along by it when the workpiece is immersed.
  • the known diaphragm which is assigned to a workpiece, can only be used in vertical galvanizing systems. Their effectiveness is further limited by the fact that a workpiece is to be electroplated, regardless of its size and / or shape, a single aperture of unchangeable size and shape. To achieve a uniform layer thickness distribution in the
  • the invention has for its object to develop a generic device so that a substantially uniform field line density between an anode and the workpiece is achieved in a simple manner and adapted to the respective size and shape of a workpiece, while avoiding places high Feldli ⁇ ien Concentration, is achieved.
  • one or more electrically non-conductive screen devices with a shape and size that is independent of the respective workpiece size and workpiece shape are assigned to a side of the anode facing the workpiece.
  • the assignment takes place depending on the respective workpiece size and the respective workpiece shape in such a way that field lines between the anode and the workpiece are completely or partially dimmed.
  • the device according to the invention can thus be used very flexibly and can also be retrofitted in a simple manner even in the case of existing galvanic systems.
  • one or more of the plate devices are arranged movably and can be locked in at least one dimming and at least one open position.
  • a single diaphragm device can thus be moved into a dimming position determined by the workpiece size and workpiece shape and can be fixed there.
  • anode devices are assigned to the anode, then for an essentially homogeneous field line distribution with respect to a surface of a workpiece to be electroplated, and in order to avoid the occurrence of a high field line density at least in one edge area of the workpiece, individual of the plate devices in the passage position and others can be used diaphragm devices adjoining an edge region of the workpiece are moved into a dimming position and are fixed there for the duration of the treatment of the workpiece.
  • Baffles of this type can be inserted into a cover in a particularly simple manner. dazzle position, in which they are arranged substantially parallel to the anode and in a passage position, in which they are arranged essentially at a right angle to the anode.
  • the axis is arranged essentially in a central region of the or each diaphragm.
  • a plurality of adjacent screens are designed and arranged in such a way that adjacent areas of adjacent screens overlap in a low position. This prevents in a simple and reliable manner that in areas of diaphragms arranged in a dimming position, field lines can run from the anode towards the workpiece.
  • a band-like diaphragm device which can be moved via at least one transport roller.
  • a screen can be easily wound onto or from the transport roller in accordance with the size and shape of a workpiece to be treated.
  • the band-like diaphragm device By winding or unwinding the band-like diaphragm device, the latter can be brought substantially continuously into a respectively dimmable or pass-through position in which it can then be fixed.
  • the band-like diaphragm device can be formed from a flexible film and / or interconnected thin plate segments.
  • one or more aperture devices can be moved via a controllable drive.
  • the controllable drive can be used with one axis connected diaphragms for pivoting the axis cooperate with this.
  • the controllable drive can interact with the transport roller.
  • the drive can also act on one end of the band-like diaphragm, for example via a rope as a tension element; in this case, the sports roll can be set in rotation over the wound-up part of the band-like screen.
  • controllable drive instead of the controllable drive or as an alternative to this, the possibility can also be created for manual movement of the lead devices.
  • a control circuit with a device for detecting the workpiece size or shape and an actuating device for a movement dependent on the detected workpiece size or shape one or more diaphragm devices are arranged in a Abble ⁇ d- or passage position.
  • screens connected to an axis and movable via them can be assigned to an anode in both a vertical and a horizontal arrangement.
  • screens can be assigned to an anode in both a vertical and a horizontal arrangement.
  • screens are arranged both in the vertical and in the horizontal direction.
  • diaphragms which are connected to an axis and can be moved via these, together with a band-like diaphragm which can be moved via a transport roller.
  • FIG. 2 a plan view of an anode and a workpiece corresponding to FIG. 1 with a first exemplary embodiment of a device according to the invention for stopping field lines,
  • Fig. 4 shown second exemplary embodiment.
  • the device according to the invention for stopping field lines can be used, for example, in vertical or horizontal electroplating systems and in automatically operating electroplating systems, regardless of the particular type.
  • the device according to the invention can, for example, also be installed in a simple manner in already existing electroplating systems and can be used advantageously in these.
  • an anode 1 is at a distance from an essentially plate-shaped workpiece to be provided with a metallic coating
  • the high exposure of the areas 5 to the field lines 4 results from the fact that the workpiece 2 is smaller than the anode 1, so that an upper and lower edge area 2 'or 2 "of the workpiece 2 has a larger anode area which is essentially extending from the upper and lower end regions 2 ', 2 "to the upper and lower ends of the anode 1, respectively.
  • a correspondingly large area of the anode 1 lies opposite a central area of the workpiece 2, so that there sets up an essentially homogeneous field line distribution.
  • each assigned to a workpiece 2 a high field line concentration can be achieved in the area of one of the ends 2 ', 2 "in vertical electroplating systems In vertical electroplating systems, a reduction in quality as a result of high field line concentrations occurring can be avoided if an end of the workpiece 2 opposite the screen is arranged congruently with one end of the anode 1.
  • the formation of essentially homogeneously distributed field lines is without restriction with regard to use in vertical or horizontal galvanizing systems and without the need for a special arrangement of the workpiece 2 enables.
  • the arrangement of the anode 1, the workpiece 2 and a circuit 3 corresponds to that of FIG. 1, so that corresponding reference numerals are used.
  • a diaphragm device generally designated 6, for stopping field lines, which consists of a plurality of diaphragms 7 spaced apart and adjacent to one another.
  • the arrangement of the screens 7 is independent of the shape or size of the workpiece 2 such that screens 7 are arranged essentially over the entire length of the anode 1.
  • Each of the diaphragms 7 can be made electrically non-conductive, for example from an insulating material, or can be provided with an insulating coating and has an essentially rectangular shape with a longitudinal direction running in the direction of the axis 8.
  • Each of the diaphragms 7 can be moved about the associated axis 8, which in the present case is arranged vertically, into a dimming position in which, as can be seen from FIG. 2, adjacent regions of mutually adjacent diaphragms 7 overlap. It is thus prevented in a safe and simple manner that, starting from the areas of the anode 1 which lie opposite the screens 7 in the dimming position, field lines run in the direction of the workpiece 2.
  • Apertures 7 are arranged essentially so that they lie in a plane running parallel to the array 1.
  • the diaphragms 7 opposite the workpiece 2 have been moved into a passage position which is essentially transverse to the dimming position and are fixed there in a manner not shown.
  • the screens 7 are arranged in this area, essentially parallel to one another, essentially at right angles to the anode 1 and the workpiece 2.
  • diaphragms 7 which can be moved from a dimming position into a passage position and which can be locked there can thus easily avoid the occurrence of locally high field line concentrations.
  • the workpiece 2 relative to the anode 1 it is only necessary, as can be seen in FIG. 2, that those screens 7 that are not between the workpiece 2 and the anode 1 are in their dipped position are moved and fixed there, while the screens 7 located between the respective workpiece 2 and the anode 1 are moved into their open position and are fixed there.
  • field lines 4 can thus be covered in a simple, quick and safe manner in such a way that a workpiece 2 to be treated, regardless of its size or shape, essentially with field lines of a homogeneous one Distribution is applied.
  • diaphragms 7 are determined according to the size, shape and arrangement of this workpiece with respect to the anode 1 in its shielding or open position. As can be seen from FIG.
  • diaphragms 7 are arranged with their axes 8 in the horizontal direction according to the first exemplary embodiment, the workpiece 2 likewise being immersed in an electroplating bath (not shown) opposite the anode 1 in the horizontal direction indicated by the arrow 9 is moved.
  • an electroplating bath not shown
  • comparable screens 7 can be arranged in the vertical direction, and it is also possible, if appropriate, for screens 7 to be arranged at least in regions both in the horizontal and in the vertical direction.
  • the diaphragm is formed in a band-like manner from a flexible film 15 and / or thin plate segments which are connected to one another and which are partially supported on a transport roller 11. and can be developed or moved in the directions indicated by the double arrow 12.
  • the band-like screen 15 can be moved essentially parallel to the anode 1 along the workpiece 2 such that its front end 15 'is arranged substantially congruently with the upper end 2' of the workpiece 2.
  • the band-like diaphragm 15 is connected at its end 15 'to a tension element 13, for example in the form of a rope, which can be moved in the directions of the double arrow 12 via a roller 14.
  • a tension element 13 for example in the form of a rope
  • the tension element 13 and the panel 15 can be kept under tension by fixing the transport roller 11 or the roller 14 or both. Since the band like screen 15 is capable of dimming the anode 1 from the workpiece 2 only from one side, it is expedient that, as shown in FIG. 4, the lower end 2 "of the workpiece 2 is arranged in correspondence with the lower end of the anode 1 becomes.
  • a device for detecting the workpiece size or shape and, if appropriate, the workpiece arrangement relative to the anode 1 may also be present. This then interacts via a control loop with an actuating device containing the controllable drive, in order to move one or more diaphragms 7, 15 into a shielding or passing position depending on the workpiece size or workpiece shape detected.

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Abstract

In known devices for reducing the concentration of field lines in an electroplating plant for treating disk-shaped workpieces, a diaphragm is associated with a lower end region of a workpiece. Such a diaphragm, which is moved together with the workpiece in an electrolytic bath, can be used only in vertical electroplating plants and its shape or size cannot be adapted to the shape and size of a workpiece to be treated. The invention relates to a diaphragm device (6) with one or more diaphragms (7) which are associated with one of the faces of the anode (1) facing the workpiece (2) such that the concentration of field lines (4) between the anode (1) and the workpiece (2) can be reduced, completely or partly, in a predetermined manner.

Description

"Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien in einer Galvanikanlage" "Device for stopping field lines in a galvanic plant"
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien in einer Galvanikanlage zur Behandlung von im wesentlichen plattenförmigen Werkstücken, die mit einer Blende versehen ist.The invention relates to a device for stopping field lines in a galvanic system for treating essentially plate-shaped workpieces, which is provided with a diaphragm.
Bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung (DE-PS 37 26 571) ist jeweils einer Leiterplatte als einem in einer Tauchgalvamkaπlage zu behandelndem Werkstück ein Abschir uπgs- und Positioπierrahmen zugeordnet, mit einer dachförmig ausgebildeten B1ende , die in einer vertikalen- Richtung verschiebbar geführt ist. Die Blende befindet sich in einer Grundstellung auf der Badoberfläche und wird beim Eintauchen des Werkstückes von diesem mitgenommen.In a generic device (DE-PS 37 26 571), a circuit board as a workpiece to be treated in a diving galvam system is assigned a shielding and positioning frame, with a roof-shaped base that is guided so as to be displaceable in a vertical direction. The screen is in a basic position on the bath surface and is carried along by it when the workpiece is immersed.
Die bekannte, jeweils einem Werkstück zugeordnete Blende ist nur in vertikalen Galvaπikanlagen einsetzbar. Ihre Wirksamkeit ist ferner dadurch beschränkt, daß einem jeweils zu galvanisierenden Werkstück unabhängig von dessen Größe und/oder Form eine einzige Blende unveränderlicher Größe und Gestalt zugeordnet ist. Um eine gleichmäßige Schichtdickeπverteilung eines in derThe known diaphragm, which is assigned to a workpiece, can only be used in vertical galvanizing systems. Their effectiveness is further limited by the fact that a workpiece is to be electroplated, regardless of its size and / or shape, a single aperture of unchangeable size and shape. To achieve a uniform layer thickness distribution in the
Galvaπikanlage auf das Werkstück aufzubringenden Galvanik¬ überzuges zu erzielen, ist es weiterhin bekannt, Blenden oder Schienen unterhalb einer unteren Kante eines zu behandelden Werkstückes anzubringen, durch die in diesem Bereich ver¬ stärkt auftretende Feldlinien teilweise angezogen werden.To achieve electroplating system to be applied to the workpiece electroplating, it is also known to attach panels or rails below a lower edge of a workpiece to be treated, through which field lines appearing in this area are partially attracted.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine gattungsgemäße Vorrichtung so weiterzubilden, daß in einfacher Weise und an die jeweilige Größe und Form eines Werkstückes angepaßt eine im wesentlichen gleichmäßige Feldliniendichte zwischen einer Anode und dem Werkstück, bei gleichzeitiger Vermeidung von Stellen hoher Feldliπienkonzentration , erzielt wird.The invention has for its object to develop a generic device so that a substantially uniform field line density between an anode and the workpiece is achieved in a simple manner and adapted to the respective size and shape of a workpiece, while avoiding places high Feldliπien Concentration, is achieved.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der genannten Gat¬ tung erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.This object is achieved according to the invention in a device of the aforementioned type by the characterizing features of claim 1.
Erfinduπgsgemäß werden dabei eine oder mehrere elektrisch nicht leitende Blendenvorrichtuπgen mit einer Form und Größe, die unabhängig von der jeweiligen Werkstückgröße und Werk¬ stückform ist, einer dem Werkstück zugewandten Seite einer Anode zugeordnet. Die Zuordnung erfolgt dabei abhängig von der jeweiligen Werkstückgröße und der jeweiligen Werkstück- form derart, daß in vorgebbarer Weise Feldlinien zwischen der Anode und dem Werkstück ganz oder teilweise abgeblendet werden .According to the invention, one or more electrically non-conductive screen devices with a shape and size that is independent of the respective workpiece size and workpiece shape are assigned to a side of the anode facing the workpiece. The assignment takes place depending on the respective workpiece size and the respective workpiece shape in such a way that field lines between the anode and the workpiece are completely or partially dimmed.
Damit ist in einfacher Weise sowohl für vertikale als auch für horizontale Galvanikaπlagen erreicht, daß angepaßt an die Größe und die Gestalt eines jeweils zu behandelnden Werk¬ stückes Stellen hoher Feldlinienkonzentration vermieden sind, und daß über den mit einer Galvanikschicht zu überzie¬ henden Bereich des Werkstückes eine im wesentlichen homogene Feldliniendichte erreicht wird. Bei der Behandlung aufeinanderfolgender Werkstücke, die sich hinsichtlich ihrer Größe und Form unterscheiden ist es zur Erreichung einer im wesentlichen homogenen Feldliniendichte somit lediglich erforderlich, daß nach beendeter Behandlung eines Werkstückes und vor der Behandlung eines- nachfolgenden Werkstückes der Anode angepaßt an Größe und Form dieses Werkstückes eine oder mehrere Blendeπvorrichtungen zugeordnet werden .It is thus achieved in a simple manner both for vertical and for horizontal electroplating systems that points of high field line concentration are avoided, adapted to the size and shape of a workpiece to be treated in each case, and that over the area of the workpiece to be coated with an electroplating layer an essentially homogeneous field line density is achieved. When treating successive workpieces which differ in terms of their size and shape, it is therefore only necessary to achieve an essentially homogeneous field line density that after the treatment of a workpiece and before the treatment of a subsequent workpiece, the anode is adapted to the size and shape of this workpiece one or more Blendeπvorrichtungen be assigned.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist somit sehr flexibel einsetzbar und kann auch bei bereits bestehenden Galvanikan¬ lagen in einfacher Weise πachgerüstet werden.The device according to the invention can thus be used very flexibly and can also be retrofitted in a simple manner even in the case of existing galvanic systems.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind eine oder mehrere der Bleπdenvorrichtungen bewegbar angeordnet und in min¬ destens einer Abblend- und mindestens einer Durchlaßstellung feststellbar. Abhängig von Form und Größe eines Werkstückes kann somit beispielsweise eine einzige BlendenVorrichtung in eine, durch die Werkstückgröße und Werkstückform bestimmte Abblendstellung bewegt und dort festgestellt werden. Sind der Anode mehrere Blendenvorrichtungen zugeordnet, dann können für eine im wesentlichen homogene Feldlinienverteilung bezüg¬ lich einer zu galvanisierenden Oberfläche eines Werkstückes, und um ein Auftreten einer hohen Feldlinieπdichte zumindest in einem Raπdbereich des Werkstückes zu vermeiden, einzelne der Bleπdenvorrichtungen in Durchlaßstelluπg und andere, sich an einen Randbereich des Werkstückes anschließende Blenden¬ vorrichtungen in eine Abblendstelluπg bewegt und dort für die Zeitdauer der Behandlung 5es Werkstückes festgestellt werden.In a preferred embodiment, one or more of the plate devices are arranged movably and can be locked in at least one dimming and at least one open position. Depending on the shape and size of a workpiece, for example, a single diaphragm device can thus be moved into a dimming position determined by the workpiece size and workpiece shape and can be fixed there. If several anode devices are assigned to the anode, then for an essentially homogeneous field line distribution with respect to a surface of a workpiece to be electroplated, and in order to avoid the occurrence of a high field line density at least in one edge area of the workpiece, individual of the plate devices in the passage position and others can be used diaphragm devices adjoining an edge region of the workpiece are moved into a dimming position and are fixed there for the duration of the treatment of the workpiece.
Betreffend eine Bewegung einer oder mehrerer Blenden hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, daß diese mit einer schwenkbar gelagerten Achse verbunden sind. Derartig gelager¬ te Blenden können in besonders einfacher Weise in eine Ab- blendstellung , in der sie im wesentlichen parallel zu der Anode angeordnet sind und in eine Durchlaßstellung, in der sie im wesentlichen unter einem rechten Winkel zu der Anode angeordnet sind, bewegt werden.With regard to a movement of one or more diaphragms, it has proven to be advantageous that they are connected to a pivotably mounted axis. Baffles of this type can be inserted into a cover in a particularly simple manner. dazzle position, in which they are arranged substantially parallel to the anode and in a passage position, in which they are arranged essentially at a right angle to the anode.
Es hat sich dabei als vorteilhaft erwiesen, daß die Achse im wesentlichen in einem Mittenbereich der bzw. jeder Blende angeordnet ist.It has proven advantageous that the axis is arranged essentially in a central region of the or each diaphragm.
Besonders vorteilhaft ist es ferner, daß mehrere einander benachbarte Blenden so ausgebildet und angeordnet sind, daß sich in einer Abblendstellung benachbarte Bereiche benachbar¬ ter Blenden überlappen. Damit wird in einfacher und sicherer Weise verhindert, daß in Bereichen von in einer Abblendstel- luπg angeordneten Blenden Feldlinien von der Anode in Rich¬ tung zu dem Werkstück verlaufen können.It is also particularly advantageous that a plurality of adjacent screens are designed and arranged in such a way that adjacent areas of adjacent screens overlap in a low position. This prevents in a simple and reliable manner that in areas of diaphragms arranged in a dimming position, field lines can run from the anode towards the workpiece.
Bei einer weiteren bevorzugten Λusführungsform ist eine über mindestens eine Transportrolle bewegbare bandartige Blenden- Vorrichtung vorhanden. Eine derartige Blende kann in einfa¬ cher Weise entsprechend der Größe und Form eines zu behan¬ delnden Werkstückes auf die Transportrolle auf- bzw. von dieser abgewickelt werden. Durch Auf- bzw. Abwickeln der bandartigen Blendenvorrichtung kann diese im wesentlichen kontinuierlich in eine jeweils vorgebbare Abblend- bzw. Durchlaßstelluπg gebracht werden, in der sie dann fixierbar ist .In a further preferred embodiment there is a band-like diaphragm device which can be moved via at least one transport roller. Such a screen can be easily wound onto or from the transport roller in accordance with the size and shape of a workpiece to be treated. By winding or unwinding the band-like diaphragm device, the latter can be brought substantially continuously into a respectively dimmable or pass-through position in which it can then be fixed.
Die bandartige Blendenvorrichtung kann dabei aus einer fle- xiblen Folie und/oder miteinander verbundenen dünnen Platten¬ segmenten gebildet sein.The band-like diaphragm device can be formed from a flexible film and / or interconnected thin plate segments.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind eine oder mehrere Blendenvorrichtungeπ über einen steuerbaren Antrieb bewegbar. Der steuerbare Antrieb kann bei mit einer Achse verbundenen Blenden für ein Verschwenkeπ der Achse mit dieser zusammenwirken. Bei über mindestens eine Transportrolle bewegbaren bandartigen Blenden kann der steuerbare Antrieb mit der Transportrolle zusammenwirken. In diesem Fall kann der Antrieb aber auch, beispielsweise über ein Seil als Zugelement, auf ein Ende der bandartigen Blende wirken; in diesem Fall kann die Traπsportrolle über den aufgewickelten Teil der bandartigen Blende mit in Drehung versetzt werden.In a further preferred embodiment, one or more aperture devices can be moved via a controllable drive. The controllable drive can be used with one axis connected diaphragms for pivoting the axis cooperate with this. In the case of belt-like diaphragms which can be moved via at least one transport roller, the controllable drive can interact with the transport roller. In this case, however, the drive can also act on one end of the band-like diaphragm, for example via a rope as a tension element; in this case, the sports roll can be set in rotation over the wound-up part of the band-like screen.
In allen Fällen kann anstelle des steuerbaren Antriebs oder als Alternative zusätzlich dazu die Möglichkeit für ein manuelles Bewegen der Bleπdeπvorrichtungen geschaffen sein.In all cases, instead of the controllable drive or as an alternative to this, the possibility can also be created for manual movement of the lead devices.
Für einen Einsatz insbesondere bei flexibel einsetzbaren und im wesentlichen automatisch betriebenen Galvanikanlagen hat es sich als vorteilhaft erwiesen, daß ein Regelkreis mit einer Einrichtung zum Erfassen der Werkstückgröße bzw. der Werkstückform und eine Stelleinrichtung, für ein von der erfaßten Werkstückgröße bzw. -form abhängiges Bewegen einer oder mehrerer Blendenvorrichtungen in eine Abbleπd- bzw. Durchlaßstellung, angeordnet sind. Damit ist unabhängig von Form und Größe jeweils zu behandelnder Werkstücke ein automa¬ tischer Betrieb automatischer Galvanikanlagen ermöglicht, bei dem während einer Behandlung eines Werkstückes jeweils si- chergestellt ist, daß keine örtlich hohen Feldlinienkoπzen- trationen auftreten können und die Feldliniendichte betref¬ fend den mit einer Galvanikschicht zu überziehenden Bereich des Werkstückes im wesentlichen homogen ist.For use, in particular, in flexibly usable and essentially automatically operated electroplating systems, it has proven to be advantageous that a control circuit with a device for detecting the workpiece size or shape and an actuating device for a movement dependent on the detected workpiece size or shape one or more diaphragm devices are arranged in a Abbleπd- or passage position. This means that, regardless of the shape and size of the workpieces to be treated in each case, automatic operation of automatic electroplating systems is made possible, in each case during the treatment of a workpiece ensuring that no locally high field line concentrations can occur and the field line density is related to that area of the workpiece to be coated is essentially homogeneous.
Gemäß der Erfindung können beispielsweise mit einer Achse verbundene und über diese bewegbare Blenden in einer Galva¬ nikanlage einer Anode sowohl in einer vertikalen als auch einer horizontalen Anordnung zugeordnet werden. Für Anlagen mit einer großen Variationsbreite hinsichtlich der Form und der Größe zu behandelnder Werkstücke kann es dabei vorteil- haft sein, daß zumindest bereichsweise Blenden sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung angeordnet sind. Weiterhin ist es möglich, mit einer Achse verbundene und über diese bewegbare Blenden zusammen mit einer über eine Trans¬ portrolle bewegbare bandartige Blende einzusetzen.According to the invention, for example, in an electroplating system, screens connected to an axis and movable via them can be assigned to an anode in both a vertical and a horizontal arrangement. For systems with a wide range of variations in the shape and size of workpieces to be treated, it can be feasible that at least in some areas screens are arranged both in the vertical and in the horizontal direction. Furthermore, it is possible to use diaphragms which are connected to an axis and can be moved via these, together with a band-like diaphragm which can be moved via a transport roller.
Die Erfindung ist nachfolgend anhand der Zeichnung mit weite¬ ren Einzelheiten erläutert. Es zeigen jeweils in vereinfachter schematischer DarstellungThe invention is explained in more detail below with reference to the drawing. They each show a simplified schematic representation
Fig. 1: eine Draufsicht auf eine Anode und ein Werkstück mit einer einer herkömmlichen Galvanikanlage entsprechenden Feldli¬ nienverteilung ,1: a plan view of an anode and a workpiece with a field line distribution corresponding to a conventional electroplating system,
Fig. 2: eine Draufsicht auf eine Anode und ein Werkstück entsprechend der Fig. 1 mit einem ersten AusTührungsbeispiel für eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien,2: a plan view of an anode and a workpiece corresponding to FIG. 1 with a first exemplary embodiment of a device according to the invention for stopping field lines,
Fig. 3: eine Seitenansicht betreffend das in3: a side view relating to the in
Fig. 2 dargestellte erste Ausführungs¬ beispiel,2 shown first embodiment,
Fig. 4: eine Draufsicht auf eine Anode und ein Werkstück mit einer Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel und4: a plan view of an anode and a workpiece with a device for stopping field lines according to a second exemplary embodiment and
Fig. 5: eine Seitenansicht betreffend das in5: a side view relating to the in
Fig. 4 dargestellte zweite Ausführungs¬ beispiel .Fig. 4 shown second exemplary embodiment.
In den Figuren ist, ohne auf Einzelheiten einer Galvanikan- läge einzugehen, jeweils nur der für die Erläuterung einer Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien bzw. einer Feldli¬ nienverteilung erforderliche Bereich dargestellt und be¬ schrieben. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien ist dabei unabhängig von der jeweiligen Bauart beispielsweise in vertikale oder horizontale Galvanikanlagen sowie in automatisch arbeitende Galvanikanlagen einsetzbar. Die erfiπduπgsgemäße Vorrichtung kann beispielsweise auch in einfacher Weise in bereits bestehende Galvaπikanlagen einge¬ baut und in diesen mit Vorteil eingesetzt werden.In the figures, no details of a galvanic would only be shown and described in each case only the area required for the explanation of a device for stopping off field lines or a field line distribution. The device according to the invention for stopping field lines can be used, for example, in vertical or horizontal electroplating systems and in automatically operating electroplating systems, regardless of the particular type. The device according to the invention can, for example, also be installed in a simple manner in already existing electroplating systems and can be used advantageously in these.
Bei der in Fig. 1 vereinfacht und schematisch dargestellten herkömmlichen Galvanikanordnung, die keine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien aufweist, liegt einer Anode 1 mit Abstand ein im wesentlichen plattenförmi- ges, mit einem metallischen Überzug zu versehendes, Werkstück1, which does not have a device according to the invention for shielding field lines, an anode 1 is at a distance from an essentially plate-shaped workpiece to be provided with a metallic coating
2 gegenüber. Über einen schematisch dargestellten Stromkreis2 opposite. Via a circuit shown schematically
3 mit Anschlüssen sowohl an der Anode 1 als auch an dem Werkstück 2 liegt zwischen diesen eine Gleichspannung, auf- gruπd der sich zwischen der Anode 1 und dem Werkstück 2 Feldlinien 4 ausbilden. Die Verteilung der Feldlinien 4 ist dabei nur in einem Mittenbereich des Werkstückes 2 im wesent¬ lichen homogen mit im wesentlichen parallel zueinander ver¬ laufenden Feldlinien, während im oberen und unteren Raπdbe- reich der Anode 1 gegenüberliegend Bereiche 5 des Werkstückes 2 vorhanden sind, für die sich eine hohe Feldlinienkonzentra¬ tion ergibt. Die hohe Beaufschlagung der Bereiche 5 mit Feldlinien 4 ergibt sich dadurch, daß das Werkstück 2 kleiner ist als die Anode 1, so daß einem oberen und unteren Randbe- reich 2' bzw. 2" des Werkstückes 2 ein größerer Anodenbe¬ reich, der sich im wesentlichen jeweils von dem oberen und unteren Endbereich 2' , 2" ausgehend bis zu dem oberen bzw. unteren Ende der Anode 1 erstreckt, gegenüberliegt. Einem mittleren Bereich des Werkstückes 2 hingegen liegt ein ent- sprechend großer Bereich der Anode 1 gegenüber, so daß sich dort eine im wesentlichen homogene Feldlinieπverteilung einstellt .3 with connections both on the anode 1 and on the workpiece 2 there is a direct voltage between them, on which field lines 4 form between the anode 1 and the workpiece 2. The distribution of the field lines 4 is only homogeneous in a central region of the workpiece 2 with field lines running essentially parallel to one another, while in the upper and lower edge regions of the anode 1 there are regions 5 of the workpiece 2 for which results in a high field line concentration. The high exposure of the areas 5 to the field lines 4 results from the fact that the workpiece 2 is smaller than the anode 1, so that an upper and lower edge area 2 'or 2 "of the workpiece 2 has a larger anode area which is essentially extending from the upper and lower end regions 2 ', 2 "to the upper and lower ends of the anode 1, respectively. In contrast, a correspondingly large area of the anode 1 lies opposite a central area of the workpiece 2, so that there sets up an essentially homogeneous field line distribution.
In den Bereichen 5 des Werkstückes 2 mit einer Beaufschlagung 5 mit Feldlinien hoher Konzentration werden innerhalb eines nicht dargestellten galvanischen Bades, innerhalb dessen Anode 1 und Werkstück 2 angeordnet sind, mehr Metallionen abgeschieden. In den Bereichen 5 kommt es somit gegenüber den übrigen Bereichen des Werkstückes 2 zu einer höheren Schicht¬ ig, dicke des galvanischen Überzuges, durch die die Qualität des Überzuges und damit des behandelten Werkstückes 2 herabge¬ setzt wird. In besonders ungünstig gelagerten Fällen kann es innerhalb der Bereiche 5 bei entsprechend hoher Stromdichte auch zu Anbreππungen , d.h. knospen- oder säulenförmigen 15 Abscheiduπgen des Metalles kommen, durch die gleichfalls die Qualität der behandelten Werkstücke 2 herabgesetzt wird.In the areas 5 of the workpiece 2 with an exposure 5 to field lines of high concentration, more metal ions are deposited within a galvanic bath, not shown, within which the anode 1 and workpiece 2 are arranged. In the areas 5 there is thus a higher layer, thickness of the electroplated coating than the other areas of the workpiece 2, by means of which the quality of the coating and thus of the treated workpiece 2 is reduced. In particularly unfavorably positioned cases, there may also be cracks within the areas 5 with a correspondingly high current density, i.e. 15 bud-shaped or columnar deposits of the metal, which also reduce the quality of the treated workpieces 2.
Um zu den genannten Nachteilen im Hinblick auf das zu behan¬ delnde Werkstück 2 führende hohe FeldlinienkonzeπtrationenIn order to achieve the mentioned disadvantages with regard to the workpiece 2 to be treated, high field line concentrations
20 innerhalb der Bereiche 5 zu vermeiden ist es beispielsweise bekannt, daß die Geometrie der Anode 1 im wesentlichen de¬ ckungsgleich zu derjenigen des Werkstückes 2 ausgebildet wird. Dies führt jedoch zu einem erheblichen Aufwand betref¬ fend die galvanische Behandlung von Werkstücken 2 uπter-To avoid within the areas 5, it is known, for example, that the geometry of the anode 1 is designed to be essentially identical to that of the workpiece 2. However, this leads to a considerable outlay in relation to the galvanic treatment of workpieces 2.
25 schiedlicher Größe; diese Vorgehensweise ist somit insbeson¬ dere nicht für einen Einsatz bei automatisch arbeitenden Galvaπikaπlagen geeignet.25 different sizes; this procedure is therefore in particular not suitable for use in automatically operating galvanic systems.
Mit einer weiter bekannten, jeweils einem Werkstück 2 zuge- 30 ordneten Blende (DE-PS 37 26 571) läßt sich in vertikalen Galvanikanlagen das Auftreten einer hohen Feldlinienkonzen¬ tration im Bereich jeweils eines der Enden 2' , 2" erreichen. Damit kann bei vertikalen Galvanikaπlagen dann eine Quali¬ tätsminderung in Folge auftretender hoher Feldlinienkonzen- 35 trationen vermieden werden, wenn ein der Blende gegenüberlie¬ gendes Ende des Werkstückes 2 deckungsgleich zu einem Ende der Anode 1 angeordnet wird. Bei dem in Fig. 2 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel betreffend eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien ist ohne Einschränkung hinsichtlich einer Verwendung in vertikalen bzw. horizontalen Galvaπikanlagen und ohne Notwendigkeit einer besonderen Anordnung des Werk¬ stückes 2 die Ausbildung von im wesentlichen homogen verteil¬ ten Feldlinien ermöglicht. Die Anordnung der Anode 1, des Werkstückes 2 und eines Stromkreises 3 entspricht derjenigen nach Fig. 1, so daß übereinstimmende Bezugszeichen verwendet werden. Der Anode 1 zugeordnet ist zwischen dieser und dem Werkstück 2 eine insgesamt mit 6 bezeichnete Blendenvorrich¬ tung zum Abblenden von Feldlinien angeordnet, die aus einer Vielzahl von im Abstand und benachbart zueinander angeordne¬ ten Blenden 7 besteht. Die Anordnung der Blenden 7 ist unab- hängig von Form oder Größe des Werkstückes 2 derart, daß Blenden 7 im wesentlichen über die gesamte Länge der Anode 1 angeordnet sind. Die im wesentlichen gleich und elektrisch nichtleitend ausgebildeten Bler.Jen 7 weisen jeweils in einem Mittenbereich eine in nicht dargestellter Weise schwenkbar gelagerte Achse 8 auf. Jede der Blenden 7 kann elektrisch nichtleitend beispielsweise aus einem Isoliermaterial ausge¬ bildet oder mit einem Isolierüberzug versehen sein und weist eine im wesentlichen rechteckige Form mit in Richtung der Achse 8 verlaufender Längsrichtung auf. Jede der Blenden 7 ist um die zugeordnete Achse 8, die vorliegend vertikal angeordnet ist, in eine Abblendstellung bewegbar, in der wie aus Fig. 2 ersichtlich einander benachbarte Bereiche einander benachbarter Blenden 7 sich überlappen. Somit ist in sicherer und einfacher Weise verhindert, daß ausgehend von den Berei- chen der Anode 1, die den in der Abblendstellung befindlichen Blenden 7 gegenüberliegen, Feldlinien in Richtung zu dem Werkstück 2 verlaufen. In der Abblendstellung, in der die Blenden 7 über nicht dargestellte, beispielsweise auf die Achsen 8 einwirkende, manuell oder automatisch betriebene, Feststelleinrichtuπgen festgestellt werden können, sind die Blenden 7 im wesentlichen so angeordnet, daß sie in einer zu der Anorde 1 parallel verlaufenden Ebene liegen. Für eine homogene Beaufschlagung des Werkstückes 2 mit Feldlinien sind die dem Werkstück 2 gegenüberliegenden Blenden 7 in eine, im wesentlichen quer zur Abblendstellung liegende Durchlaßstellung bewegt worden und dort in nicht dargestell¬ ter Weise festgestellt. Die Blenden 7 sind in diesem Bereich, im wesentlichen parallel zueinander im wesentlichen recht¬ winklig zu der Anode 1 und dem Werkstück 2 angeordnet. Im Bereich der sich in der Durchlaßstellung befindenden Blenden 7 ergibt sich für einen im wesentlichen gleichmäßigen metal¬ lischen Überzug des zu behandelnden Werkstückes 2 eine im wesentlichen homogene Verteilung der Feldlinien 4.With a further known diaphragm (DE-PS 37 26 571), each assigned to a workpiece 2, a high field line concentration can be achieved in the area of one of the ends 2 ', 2 "in vertical electroplating systems In vertical electroplating systems, a reduction in quality as a result of high field line concentrations occurring can be avoided if an end of the workpiece 2 opposite the screen is arranged congruently with one end of the anode 1. In the first exemplary embodiment shown in FIG. 2 regarding a device according to the invention for stopping field lines, the formation of essentially homogeneously distributed field lines is without restriction with regard to use in vertical or horizontal galvanizing systems and without the need for a special arrangement of the workpiece 2 enables. The arrangement of the anode 1, the workpiece 2 and a circuit 3 corresponds to that of FIG. 1, so that corresponding reference numerals are used. Associated with the anode 1, between it and the workpiece 2 there is a diaphragm device, generally designated 6, for stopping field lines, which consists of a plurality of diaphragms 7 spaced apart and adjacent to one another. The arrangement of the screens 7 is independent of the shape or size of the workpiece 2 such that screens 7 are arranged essentially over the entire length of the anode 1. The Bler.Jen 7, which are of essentially the same design and are electrically non-conductive, each have an axis 8, which is pivotably mounted in a manner not shown, in a central region. Each of the diaphragms 7 can be made electrically non-conductive, for example from an insulating material, or can be provided with an insulating coating and has an essentially rectangular shape with a longitudinal direction running in the direction of the axis 8. Each of the diaphragms 7 can be moved about the associated axis 8, which in the present case is arranged vertically, into a dimming position in which, as can be seen from FIG. 2, adjacent regions of mutually adjacent diaphragms 7 overlap. It is thus prevented in a safe and simple manner that, starting from the areas of the anode 1 which lie opposite the screens 7 in the dimming position, field lines run in the direction of the workpiece 2. In the dimmer position, in which the diaphragms 7 can be ascertained by means of locking devices (not shown, for example acting on the axes 8, manually or automatically operated) Apertures 7 are arranged essentially so that they lie in a plane running parallel to the array 1. For a homogeneous loading of the workpiece 2 with field lines, the diaphragms 7 opposite the workpiece 2 have been moved into a passage position which is essentially transverse to the dimming position and are fixed there in a manner not shown. The screens 7 are arranged in this area, essentially parallel to one another, essentially at right angles to the anode 1 and the workpiece 2. In the area of the diaphragms 7 in the open position, there is an essentially homogeneous distribution of the field lines 4 for a substantially uniform metallic coating of the workpiece 2 to be treated.
Durch die erfindungsgemäße Anordnung von aus einer Abblend- in eine Durchlaßstellung bewegbaren und dort jeweils fest¬ stellbaren Blenden 7 kann somit in einfacher Weise das Auf¬ treten örtlich hoher Feldlinienkonzentrationen vermieden werden. Abhängig von Größe, Gestalt und Anordnung des Werk- Stückes 2 gegenüber der Anode 1 ist es dabei, wie aus Fig. 2 ersichtlich, lediglich erforderlich, daß diejenigen Blenden 7, die sich nicht zwischen dem Werkstück 2 und der Anode 1 befinden in ihre Abblendstellung bewegt und dort festgestellt werden, während die zwischen dem jeweiligen Werkstück 2 und der Anode 1 befindlichen Blenden 7 in ihre Durchlaßstellung bewegt und dort festgestellt werden. Mit der erfindungsge- mäßeπ Vorrichtung 6 zum Abblenden von Feldlinien 4 kann somit in einfacher, schneller und sicherer Weise ein Abdecken von Feldlinien 4 derart erfolgen, daß ein zu behandelndes Werk- stück 2 unabhängig von dessen Größe oder Gestalt jeweils im wesentlichen mit Feldlinien einer homogenen Verteilung beauf¬ schlagt wird. Für die Behandlung aufeinanderfolgender Werk¬ stücke 2 unterschiedlicher Größe und/oder Gestalt ist es dabei lediglich erforderlich, daß nach dem Abschluß der Behandlung eines Werkstückes und vor Beginn der Behandlung für das darauffolgende Werkstück Blenden 7 entsprechend der Größe, Form und Anordnung dieses Werkstückes gegenüber der Anode 1 in ihrer Abbleπd- bzw. Durchlaßstellung festgestellt werden. Wie aus Fig. 3 ersichtlich sind gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel Blenden 7 mit ihren Achsen 8 in horizon¬ taler Richtung angeordnet, wobei das Werkstück 2 gleichfalls nach einem Eintauchen in ein nicht dargestelltes Galvanikbad gegenüber der Anode 1 in der durch den Pfeil 9 angedeuteten horizontalen Richtung bewegt wird. Bei einer vertikalen Galvanikanlage können vergleichbare Blenden 7 in vertikaler Richtung angeordnet werden und es ist gegebenenfalls auch möglich, daß zumindest bereichsweise Blenden 7 sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung angeordnet sind.The arrangement according to the invention of diaphragms 7 which can be moved from a dimming position into a passage position and which can be locked there can thus easily avoid the occurrence of locally high field line concentrations. Depending on the size, shape and arrangement of the workpiece 2 relative to the anode 1, it is only necessary, as can be seen in FIG. 2, that those screens 7 that are not between the workpiece 2 and the anode 1 are in their dipped position are moved and fixed there, while the screens 7 located between the respective workpiece 2 and the anode 1 are moved into their open position and are fixed there. With the device 6 according to the invention for stopping field lines 4, field lines 4 can thus be covered in a simple, quick and safe manner in such a way that a workpiece 2 to be treated, regardless of its size or shape, essentially with field lines of a homogeneous one Distribution is applied. For the treatment of successive workpieces 2 of different sizes and / or shapes, it is only necessary that after the completion of the treatment of a workpiece and before the start of the treatment for the subsequent workpiece, diaphragms 7 are determined according to the size, shape and arrangement of this workpiece with respect to the anode 1 in its shielding or open position. As can be seen from FIG. 3, diaphragms 7 are arranged with their axes 8 in the horizontal direction according to the first exemplary embodiment, the workpiece 2 likewise being immersed in an electroplating bath (not shown) opposite the anode 1 in the horizontal direction indicated by the arrow 9 is moved. In the case of a vertical electroplating system, comparable screens 7 can be arranged in the vertical direction, and it is also possible, if appropriate, for screens 7 to be arranged at least in regions both in the horizontal and in the vertical direction.
Bei dem in Fig. 4 und 5 dargestellten zweiten Ausführungsbei¬ spiel betreffend eine erfindungsgemäße Bleπdenvorrichtung 10 zum Abblenden von Feldlinien ist die Blende bandartig aus einer flexiblen Folie 15 und/oder miteinander verbundenen dünnen Plattensegmenten gebildet, die auf einer Transport- rolle 11 bereichsweise auf- und abwickelbar bzw. über diese in den durch den Doppelpfeil 12 gekennzeichneten Richtungen bewegbar ist. Die bandartige Blende 15 ist im wesentlichen parallel zu der Anode 1 entlang dem Werkstück 2 so bewegbar, daß ihr vorderes Ende 15' im wesentlichen deckungsgleich zu dem oberen Ende 2' des Werkstückes 2 angeordnet ist. Die bandartige Blende 15 ist an ihrem Ende 15' mit einem, bei¬ spielsweise in Form eines Seiles ausgebildeten, Zugelement 13 verbunden, das über eine Rolle 14 in den Richtungen des Doppelpfeiles 12 bewegbar ist. Damit kann in einfacher Weise, an die Größe des Werkstückes 2 angepaßt, das obere Ende 15' übereinstimmend mit dem oberen Ende 2' des Werkstückes 2 in einer Abbleπd- bzw. Durchlaßstellung festgelegt werden. Dazu können beispielsweise das Zugelement 13 und die Blende 15 unter Spannung gehalten werden, in dem die Transportrolle 11 oder die Rolle 14 oder beide festgelegt werden. Da die band- artige Blende 15 die Anode 1 gegenüber dem Werkstück 2 nur von einer Seite her abzublenden vermag, ist es zweckmäßig, daß, wie in Fig. 4 dargestellt, das untere Ende 2" des Werk¬ stückes 2 übereinstimmend mit dem unteren Ende der Anode 1 angeordnet wird.In the second exemplary embodiment shown in FIGS. 4 and 5 relating to a plate device 10 according to the invention for stopping field lines, the diaphragm is formed in a band-like manner from a flexible film 15 and / or thin plate segments which are connected to one another and which are partially supported on a transport roller 11. and can be developed or moved in the directions indicated by the double arrow 12. The band-like screen 15 can be moved essentially parallel to the anode 1 along the workpiece 2 such that its front end 15 'is arranged substantially congruently with the upper end 2' of the workpiece 2. The band-like diaphragm 15 is connected at its end 15 'to a tension element 13, for example in the form of a rope, which can be moved in the directions of the double arrow 12 via a roller 14. In this way, the upper end 15 'can be easily fixed to the size of the workpiece 2, in accordance with the upper end 2' of the workpiece 2 in a shielding or open position. For this purpose, for example, the tension element 13 and the panel 15 can be kept under tension by fixing the transport roller 11 or the roller 14 or both. Since the band like screen 15 is capable of dimming the anode 1 from the workpiece 2 only from one side, it is expedient that, as shown in FIG. 4, the lower end 2 "of the workpiece 2 is arranged in correspondence with the lower end of the anode 1 becomes.
Entsprechend des Einsatzes der Blendenvorrichtung 10 ergibt sich für das Werkstück 2 eine, nicht dargestellte, homogene Feldlinieπverteilung , die derjenigen gemäß Fig. 2 entspricht.Corresponding to the use of the diaphragm device 10, a homogeneous field line distribution, not shown, results for the workpiece 2, which corresponds to that according to FIG. 2.
Beim Einsatz einer Vorrichtung zum Abbblenden von Feldlinien in einer Galvanikanlage mit einer Anordnung von Blenden 7 nach dem ersten Ausführungsbeispiel oder mit einer Anordnung einer Blende 15 nach dem zweiten Ausführungsbeispiel bzw. mit einer kombinierten Anordnung von Blenden 7, 15 nach dem ersten und zweiten Ausführungsbeispiel ist es insbesondere dann, wenn die Galvanikaπlage automatisch betrieben werden soll, vorteilhaft, daß in nicht dargestellter Weise, gege¬ benenfalls neben einer entsprechenden manuellen Einrichtung, ein steuerbarer Antrieb zum Antreiben jeder der Blenden 7 bzw. ein einziger Antrieb zum Antreiben der bandartigen Blende 15 über die Transportrolle 11 oder die Rolle 14 vor¬ handen ist. Weiterhin kann für eine Automatisierung eine nicht dargestellte Einrichtung zum Erfassen der Werkstück¬ größe bzw. der Werkstückform und gegebenenfalls der Werk¬ stückanordnuπg gegenüber der Anode 1 vorhanden sein. Diese wirkt dann über einen Regelkreis mit einer, den steuerbaren Antrieb enthaltenden, Stelleinrichtung zusammen, um jeweils abhängig von der erfaßten Werkstückgröße bzw. Werkstückform eine oder mehrere Blenden 7, 15 in eine Abbleπd- bzw. Durch¬ laßstellung zu bewegen. When using a device for blocking field lines in a galvanic system with an arrangement of diaphragms 7 according to the first exemplary embodiment or with an arrangement of a diaphragm 15 according to the second exemplary embodiment or with a combined arrangement of diaphragms 7, 15 according to the first and second exemplary embodiments It is particularly advantageous when the electroplating system is to be operated automatically that, in a manner not shown, optionally in addition to a corresponding manual device, a controllable drive for driving each of the screens 7 or a single drive for driving the band-like screen 15 the transport roller 11 or the roller 14 is present. For automation, a device (not shown) for detecting the workpiece size or shape and, if appropriate, the workpiece arrangement relative to the anode 1 may also be present. This then interacts via a control loop with an actuating device containing the controllable drive, in order to move one or more diaphragms 7, 15 into a shielding or passing position depending on the workpiece size or workpiece shape detected.

Claims

Patentansprüche: Claims:
1. Vorrichtung zum Abblenden von Feldlinien in einer Galvaπik- aπlage zur Behandlung von im wesentlichen platteπförmigen Werkstücken, mit einer Blende, dadurch gekennzeichnet, daß einer dem Werkstück (2) zugewandten Seite einer Anode (1) der jeweiligen Werkstückgröße und Werkstückform angepaßt eine oder mehrere elektrisch nicht leitende Blendenvorrich- tungeπ (6, 10) derart zugeordnet sind, daß in vorgebbarer Weise Feldlinien (4) zwischen der Anode (1) und dem Werk¬ stück (2) ganz oder teilweise abgeblendet werden.1. Device for stopping field lines in a Galvaπik- aπlage for treating substantially plate-shaped workpieces, with an aperture, characterized in that one or more of the workpiece (2) facing side of an anode (1) adapted to the respective workpiece size and shape electrically non-conductive diaphragm devices (6, 10) are assigned in such a way that field lines (4) between the anode (1) and the workpiece (2) are completely or partially dimmed.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere der Blendenvorrichtungen (6, 10) bewegbar angeordnet und in mindestens einer Abblend- und mindestens einer Durchlaßstellung feststellbar sind.2. Device according to claim 1, characterized in that one or more of the diaphragm devices (6, 10) are arranged movably and can be determined in at least one dimming and at least one passage position.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Blenden (7) einer Blendeπvorrichtung (6) jeweils mit eiπejr schwenkbar gelagerten Achse (8) verbunden sind.3. Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that one or more diaphragms (7) of a Blendeπvorrichtung (6) each with eiπejr pivotally mounted axis (8) are connected.
4. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet daß - die Achse (8) im wesentlichen in einem Mittenbereich der bzw. jeder Blende (7) angeordnet ist.4. The device according to claim 4, characterized in that - The axis (8) is arranged substantially in a central area of the or each panel (7).
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch 5 gekennzeichnet, daß mehrere einander benachbarte Blenden (7) so ausgebildet und angeordnet sind, daß- sich in einer Abblendstellung benachbarte Bereiche benachbarter Blenden (7) überlappen.5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized 5 in that a plurality of adjacent diaphragms (7) are designed and arranged such that - in a dimming position, adjacent areas of adjacent diaphragms (7) overlap.
0 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, gekennzeich¬ net durch eine über mindestens eine Transportrolle (11) bewegbare bandartige Blendenvorrichtung (10).6. Device according to one of claims 1 to 2, characterized by a belt-like diaphragm device (10) which can be moved via at least one transport roller (11).
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß 5 die Blendenvorrichtung (10) aus einer flexiblen Folie (15) gebildet ist.7. The device according to claim 6, characterized in that 5 the diaphragm device (10) is formed from a flexible film (15).
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 jder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenvorrichtuπg miteinander dünne Plattenseg¬ 0 mente aufweist.8. Apparatus according to claim 6 jder 7, characterized in that the aperture device has thin plate segments with each other.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Blendenvorrichtungen (6, 10) jeweils über einen steuerbaren Antrieb bewegbar 5 sind .9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that one or more aperture devices (6, 10) are each movable 5 via a controllable drive.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeich¬ net durch einen Regelkreis mit einer Einrichtung zum Erfas¬ sen der Größe bzw. der Form eines Werkstückes (2) und einer 0 Stelleinrichtung für ein von der erfaßten Größe bzw. Form des Werkstückes (2) abhängiges Bewegen einer oder mehrerer Bleπdenvorrichtungen (6, 10) in eine Abblend- bzw. Durch¬ laßstellung .10. Device according to one of claims 1 to 9, gekennzeich¬ net by a control circuit with a device for detecting the size or shape of a workpiece (2) and a 0 adjusting device for one of the detected size or shape of the workpiece (2) dependent movement of one or more plate devices (6, 10) into a dimming or passage position.
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