WO1990008620A1

WO1990008620A1 - Articulation de poignet pour robot industriel d'usinage au laser

Info

Publication number: WO1990008620A1
Application number: PCT/JP1990/000084
Authority: WO
Inventors: Nobutoshi Torii; Susumu Ito; Akihiro Terada; Takeshi Okada
Original assignee: Fanuc Ltd
Priority date: 1989-01-30
Filing date: 1990-01-25
Publication date: 1990-08-09
Also published as: KR910700121A; CA2020028A1; EP0416112A1; JPH02200390A; EP0416112A4

Description

明細書産業用レーザロボットのための手首技術分野

本発明は、産業用レーザロボットのための手首の構造に関し、特に、手首の駆動モータとしてダイレクトドライブ型モータを具備したコンパクトな全体構造を有した、産業用レーザロボットのための手首に関する。従来の技術

産業用レーザ口ボットは、主としてロボット胴に、上腕に相当する第 1のロボット腕が、水平軸線（W軸）まわりに旋回可能に関節結合され、この第 1 ロボット腕の前端に、前腕に相当する第 2の口ボット腕が、水平軸線（U軸）回りに旋回可能に関節結合された、所謂、多関節型産業用レーザロボットが従来からレーザエネルギーを利用して被加工材料の溶接や切断、縫合（シ一ム）等の各種のレーザ加工用途に広く利用されており、この種の多関節型産業用レーザロボットの手首における従来の構造は、手首の動作自由度に応じた台数の手首駆動モータを第 2 ロボット腕の先端領域に設け、これら駆動モータの回転を周知の R V減速機（日本の帝人精機社より販売されている）により減速して手首駆動用ドライブ軸に伝達し、このドライブ軸の回転、又は、ベベルギヤ等の伝動機構を介して方向転換した回転により、ロボット手首が 1 〜3つの動作自由度を得る構成が採られ、叉ロボット機体から離れた場所に設けられたレーザ光発振器からレーザ光管路を用いて同ロボット機体に導いたレーザ光は、ロボット手首の先端に装備されるレーザ光発出用のノズルに对して、ロボット腕内部を通過させ、導ぐことは、上記の R V減速機がその中心部をレーザ光に貫通させ得る構造を有しないことから、口ボット機体の外部を迂回するレーザ光路を導管によつて形成し、ロボット手首の先端近くでミラーを用いて進路を変更させながらレーザ光発出用ノズルに導き、集光レンズを介して加工エネルギーとして発出する構造が採られていた。

第 6図は、上述した従来の多関節形産業用レーザロボットの典型例を示しており、床面沿いに横軸（Y軸）方向に移動可能なロボヅトベース 7上にロボット胴 8が搭載され、 'このロボット旋回胴 8の上部に第 1のロボット腕 9が水平軸線' (W軸）回りに旋回可能に関節結合され、更に、この第 i n ボット腕 9の先端領域に、第 2のロボット腕 10が、上記 W軸に平行な U軸回りに旋回可能に関節結合された構成を有し、該第 2 ロボット腕 1 0 の先端領域にレーザ'光発出ノズル 1 2 を備えたロボット手首 1 1が装着された構成を有している。そして、レーザ光はレーザ光発振器（図示なし）から適宜の管路を経て、ロボット機体近くに誘導され、管路 1 3、 1 4 を経て第 2 σボット腕 1 0の後端領域に一旦、導かれ、更に- 管路 1 5及び第 2口ボット腕 1 0に沿う管路 1 6を経て手首 1 1の近くでミラ一ュニット 1 7を経てレーザ光発出ノズル 1 2に導いている。なお、ロボット手首 1 1 には例えば、 2 動作自由度（直交する ^、 rの 2軸回りの動作）が付与された構成を有し、この 2動作自由度の伝動機構内の既述した R V減速機（図示に現れない）がその中心部に回転の入力軸又は出力軸を有する構造を供えるから、レーザ光管路 1 4〜 1 6をこの減速機中心を通ることを不可能にし、結局、ロボット腕や手首内にレーザ光路を内蔵させることを困難にしている。特に、大きなレーザエネルギー（例えば、数キロヮット）を発出するためのレーザロボットの場合には、レーザ光の管路怪も必然的に大きくなり、数十ミリ径となる。従って、このような大きな管径のレーザ光路をロボット機体内に確保することは、従来の R V減速機を内蔵した伝動機構から成る口ボット手首の構造では、設計、製作が極めて困難になり、しかもレーザ光管路を外部配管にした構造では口ボット周囲の機器類との干渉の問題、ロボット胴部の旋回量に制限が加わる、また、口ボット手首の先端部分にも減速機を搭載する構造では、重量が大きくなり、動作慣性が大きいために高精度の位置決めや高加減速度による動作を得ることが難しく用途上で不利となり、また、前述の R V減速機の場合には、必然的にモータの出力をヘリカルギヤを経て一旦、同減速機に入力して減速出力を得る構成であるために、大きなギヤボックス重量による俊敏な動作の困難度やギヤバックラッシュによる精度劣化をもたらす等の不利があり、解決すベき課题とされている。発明の開示

依って、本発明の主目的は、多用される、上述した従来の多関節形産業用レーザロボットの手首の構造における課題を解決することにある。

また、本発明の他の目的は、周知のダイレクトドライブモータを手首の回転駆動源として利用することによつし、レーザ光管路をロボット機体内に内蔵できるようにし、かつ、口ボツト機体の周囲環境との干渉の解消と、ロボット機体を全体的コンパクト化とを達成する産業用レーザロボットの手首を提供せんとするものである。

本発明によれば、ロボット腕手段を有した産業用レーザ口ボットの当該ロボット腕手段の先端に取付けられるのに適し，かつ、レーザ光発出手段を具備する手首において、

上記口ボット腕手段に備えられ、前記手首に少なくとも 1 つの動作自由度を付与する駆動源として機能するダイレクトドライブ型モータ手段と、

前記ダイレク卜ドライブ型モータ手段に依って駆動される中空の手首ドライブ軸手段と、

前記中空ドライブ軸手段の周表面に接離可能に設けられて制動作用を行うブレーキ手段と、

前記中空ドライブ軸手段内部に配設され、前記ロボット腕手段から前記レ一ザ光発出手段に連通したレーザ光管路手段とを、

具備した産業用レーザロボットのための手首を提供するものである。上述したロボット手首の構造によれば、レーザ光発振器を外部管路を経て産業用ロボットの機体のロボット腕手段に誘導したレーザ光は、ロボット腕手段とロボット手首の中空ドライブ軸手段内部を経て、レーザ光発出手段に導かれる。従つて、レーザ光管路手段がロボットの機体内部に有り、しかも、剛性、強度を要求される手首の中空ドライブ軸手段内にレーザ光管路手段が設けられるから、レーザエネルギー用の比較的大径の管路が形成でき、且つ、手首周囲から外部レーザ光配管路を廃することにより、ロボット手首の全体的構造のコンパクト化が得られる。図面の簡単な説明

本発明のその他の目的、特徵、効果等を添付図面に彔す実施例に基づいて、更に詳細に説明する。なお、図において、第 1図は、本発明の 1実施例による産業用レーザロボットの手首構造を示した断面図、

第 2図は本発明の他の実施例による産業用レーザ σボットの手首構造を示した断面図、

第 3図は、第 2図に示した実施例の改変例を示した断面図、第 4図は本発明による更に他の実施例を示した断面図、第 5図は、第 4図に示した実施例の改変例を示した断面図、第 6図は従来の多関節型産業用レーザロボッ卜の構造を示す斜視図。発明を実施するための最良の態様

第 1図を参照すると、ロボット手首が 1動作自由度を有した産業用レーザロボットに、本発明を適用した例を示し、 U 軸回りの旋回自由度を有したロボット前腕に相当するロボット腕 2 0のケ一シング 2 0 aの先端に周知の中空構造を有したダイレクトドライブモータ M rを配置し、このダイレクトドライブモータ M rの回転要素 2 2に直結して中空管構造に形成した手首ドライブ軸 2 4の後端 2 4 bをボルト結合等の適宜の結合構造で連結し、しかも、上記ダイレクトドライブモータ M rに連続して電磁的に作動するブレーキ B rを設けて手首ドライブ軸 2 4に内側から要時に制動を付与する構造に形成されている。手首ドライブ軸 2 4の先端 2 4 aには πボット手首 2 6が結合され、当該手首ドライブ軸 2 4の回転に同期して同軸 2 4の中心の回りの回転動作自由度（ r軸回転）が与えられている。ロボット手首 2 6にはレーザ光発出用のノズル 2 8が装着されている。従って、ロボット腕 2 0、ダィレクトドライブモータ M 、ブレーキ B r、手首ドラィブ軸 2 4の略中心部を貫通して πボット腕 2 0の後端側からロボット手首 2 6内に向けて貫通、延設したレーザ光々路を形成する管路 3 0を配設することができる。レーザ光はこのレーザ光管路 3 0によりロボット腕 2 0の後端側から口ボット手首 2 6の内部に誘導され、ここで、集光用の凹面鏡 3 4を有したミラ一ュニット 3 2により例えば、略直角に曲げられる進路変更を受け、レーザ光発出ノズル 2 8により、所要のレーザ加工部等の目的地点へ照射される構成にある。このような構成によれば、レーザ光管路 3 0がロボット機体の要素であるロボット腕 2 0やロボット手首ドライブ軸、手首 2 6等の内部に内蔵、収納された構造にあるから、ロボット機体の周囲の機器類との干渉を回避でき、管路径も比較的大きく確保できるので、高エネルギーのレーザ光を誘導でき、しかも、ロボット手首 2 6の駆動モータにダイレクトドライブモータ M rから手首 2 6への伝動系の特に、手首部分に減速機が無いから、手首重量を大幅に低減できると共にミラーユニット 3 2 さえ配置すれば良い構造は口ボット手首 26 のコンパクト化、軽量化に大幅に寄与することが可能となり、故に、かんせい低減により、手首ドライブ軸 2 4 と口ボット手首 2 6、ノズル 2 8を備えた手首機構の動作精度の向上を得ることができる。

第 2図は、ロボット手首が 2つの動作自由度を有し、本発明を実施する産業用レーザロボッ卜の手首の構成を示し、 U 軸回りの旋回自由度を有したロボットの前腕に相当する口ボット腕 1 2 0の前方ケーシング 1 2 0 aの先端に中空構造のダイレクトドライブモ—タ M を備え、そのダイレクトドラィブモータの回転要素 1 2 2 aに直結して第 1の； 9軸系の手首ドライブ軸 1 3 6を有し、この手首ドライブ軸 1 3 6の後端 1 3 6 bの周囲に接離して当接時にブレーキ力を付与する軸系の電磁作動型ブレーキ B βが設けられている。上記第 1 の手首ドライブ軸 1 3 6の先端 1 3 6 a はロボット手首 1 2 6の内部まで延長して、その最先端にベベルギヤ 1 3 6 c を備え、手首 1 2 6の端部に設けられた他のベベルギヤ 1 2 6 cと嚙合して口ボツト手首 1 2 6の軸回りの第 1の動作自由度を得ている。 1 2 3はロボットケーシング 120a の端部を閉止するェンドキャップである。

他方、ロボット腕 1 2 0の前方ケ一シング 1 2 0 aの端部を閉止するェンドキャップ 1 2 3に隣接して他の中空構造形を有したダイレクトドライブモータ M rが設けられ、その回転要素 1 2 2 bに、第 2の手首ドライブ軸 1 2 4の後端 1 2 4 bが結合されている。この手首ドライブ軸 1 2 4は、前述の手首ドライブ軸 1 3 6の外側に同軸構造で配置され、先端 1 2 aが、ロボット手首 1 2 6に結合されることにより、同 αボット手首 1 2 6に第 2の動作自由度（ r軸回りの回転）を付与する。叉、第 2の手首ドライブ軸 1 2 4の後端 1 2 4 bの内周には電磁作動型のブレーキ B rが設けられて、手首ドライブ軸 1 2 4に回転制動力を付与し得る構造に成ってい > o

上述したロボット手首構造においても、前述の実施例と同様に手首ドライブ軸 1 2 4、 1 3 6が共に中空軸構造を有するから、最内部に設けられた第 1の手首ドライブ軸 1 3 6の内部は、ロボット腕 1 2 0から貫通するレーザ光の光路を延設する空間として利用でき、レーザ光管路 1 3 0は、口ボット腕 1 2 0、 2つの連設さたダイレクトドライブモータ M 、 M r、 2つの電磁作動型ブレーキ B 、 B の中心部を貫通して口ボット手首 126の先端に誘導され、ここで第 1のミラーュニット 132a におけるミラー 1 3 4 aで略直角に進路変更され、更に、同口ポット手首 1 2 6の上部に軸受 1 4 ひを介して取付けられた軸回転ケーシング 1 2 6 a内に設けられた第 2のミラーユニット 1 3 2 bの集光用凹面鏡ミラー 1 3 4 bにより再び、進路を略直角に変更されてレーザ光発出用ノズル 1 2 8から目的地点に向け照射される構成に成っている。

上述の構成においても、前述の第 1 の実施例のロボット手首 26の場合と同様に、手首内部にロボット腕 1 2 0から延長したレーザ光管路 1 3 0を設け、又、内部のミラーュニット 1 3 2 a . 1 3 2 bにより進路変更されて、レーザ光発出ノズル 1 2 8に至る構成にあるため、ロボット機体外にはレーザ光の光路用配管の必要はなく、故に、 oボット機体周囲の機器類との干渉を避け、又、口ボット手首 126 の動作範囲を制限する不利な条件の解消を図ることができる。勿論、手首の構造が夫によってコンパクト化される。

更に、手首ドライブ軸 1 2 4、 1 3 6の先端に有るロボット手首 1 2 6の動作部分には減速機が配置されないので、手首を軽量化することができ、故に、手首動作における俊敏性、つまり、動作速度と動作精度の向上が得られる。

第 3図は、第 2図に示した産業用レーザロボットの手首における改変構造例であり、ここでは、ロボット手首 1 2 6の動作自由度は先の実施例と-同様に 2つの自由度（/9軸回り旋回、ァ軸回り旋回）が具備され、ロボット手首 1 2 6の先端部に設けたレーザ光発出ソズル等には何らの改変はなく、 2 つのミラーユニット（図示略）を介して進路変更される構成

(こつてヽ O o この実施例では、手首駆動用のダイレクトドライブモータ

M β、 M rの配置と、ブレーキ B 、 B rの配置とが、前述の第 2図の実施例とは前後が反対に配置されている。従って、手首ドライブ軸 1 2 4の後方部 1 2 4 bが錐体形状部を含んだ筒 ¾形状を有した構造になっている。

本実施例においても、レーザ光光路を成す管路 1 3 0は π ボット腕 1 2 0の内部、 2つのダイレクトドライブモータ M rヽ M 、ブレーキ B 、 B β、最内部の手首ドライブ軸 1 3 6の内部の夫々の軸方向空間を延長して、ロボット手首 1 2 6に達している。故に、レーザ光々路を内蔵する特徴てき構造が形成されている等の前述の実施例と同じ利点を享有できるのである。

本発明の更に他の実施例を示す第 4図を参照すると、産業用レーザ πボットが、 3つの動作自由度（《軸、 /3軸、 r軸の 3軸回りの旋回動作自由度）を有したロボット手首を備え，しかも、ダイレクトドライブモータを駆動モータとして具備することにより、レ一ザ光管路をロボット腕とロボット手首内に内蔵した構造を有する例である。

同レーザロボットの手首構造は、前述の諸実施例の場合と同様に、ロボット腕 2 2 0のケ一シング 2 2 0 aの先端に、ダイレク卜ドライブモータ Μ が設けられ、このダイレクトドラィブモータ Μ αの出力回転は回耘要素 2 2 2 c を経て中空構造の手首ドライブ軸 2 4 0の後端 2 4 0 bに直結で伝達されて、これを回転駆動する。そして、この手首ドライブ軸 2 4 0の後端 240b の外周囲に接離するブレーキ Bなが配 ^ され、同手首ドライブ軸 2 4 0に回転制動を付与する構成に成っている。

ロボット腕 2 2 0の前方ケーシング 2 2 0 aの端部には、中間ケーシング 2 2 0 bが設けられ、この中間ケーシング 2 2 0 bの内部に回転要素 222a を有したダイレクトドライブモータ M /9が内蔵されている。すなわち、同ダイレクトドラィブモータ M ;5の回転要素 222a は、手首ドライブ軸 2 4 0 の外側に同軸に配置された中空構造の手首ドライブ軸 2 3 6 の後端 236b に直結され、同手首ドライブ軸 2 3 6を回転駆動する。ブレーキ B は同手首ドライブ軸 2 3 6の後端 236 b の外周面に接離してブレーキ力を付与或いは解除し、同軸 2 3 6に回転制動を付与する構成に成っている。

更に、上記ダイレクトドライブモータ M /5とブレー年 B i5 の組みに隣接した手首側に第 3のダイレクトドライブモータ M rが設けられ、このダイレクトドライブモータ M rは、前記手首ドライブ軸 2 3 6、 2 4 0に対して同軸に且つ最外部に配置された中空構造の手首ドライブ軸 2 2 4を回転駆動する駆動モータであり、回転要素 222 b が手首ドライブ軸 224 に結合している。また、ブレーキ B rが同手首ドライブ軸 2 2 4の内側周面に接離してブレーキ力を付与し得る構成になつている。

これら 3つの手首ドライブ軸 2 2 4、 2 3 6、 2 4 0は、ロボット手首 2 2 6に向けて延長、配置され、手首ドライブ軸 2 2 4 は、口ボット手首 226 に第 1の動作自由度として Ύ 回転動作を与える。また、手首ドラィブ軸 2 3 6は、その先端 236aに設けられたべベルギヤ 2 3 6 cから手首中間ケーシング 2 2 6 aのべベルギヤ 2 2 6 cに回転伝動し、同べベルギヤ 2 2 6 cが軸受 2 4 1を介して回転自在に支承されることにより、手首中間ケ一シング 2 2 6 aを軸の回りに回転駆動する構成と成っている。

叉、手首ドライブ軸 2 4 0の先端 2 4 0 aには設けられたベベルギヤ 2 5 0 aは、手首中間ケ一シング 226a の内部に設けられた中空筒体 2 5 2の一端に設けられたべペルギヤ 2 5 0 bに嚙合し、この筒体 2 5 2を回転駆動し、従って、同筒体 2 5 2の他端に設けられたべベルギヤ 250c を一体回転させる。故に、同べベルギヤ 250cに嚙 "^したレーザ光発出ノズル 2 2 8の中空構造の保持体 2 6 0の内端部に設けられたベベルギヤ 2 6 2に回転が伝達され、レーザ光発出用ノズル

2 2 8の保持体 260は、第 3の手首動作自由度として《軸まわりの動作が許容される。つまり、同保持体 2 6 0に保持されたレ一ザ光発出ノズル 2 2 8は究極的に、 "、 β、 "の 3 軸回りの運動が手首 2 2 6、中間ケ一シング 2 2 6 a、保持体 2 6 0を介して付与されるのである。

上述の 3動作自由度を有した本実施例のレーザロボットにおいても、最内部の手首ドライブ軸 2 4 0の内部空間にレーザ光々路用の管路 2 3 0が配設さ、ロボット腕 2 2 0から導入されるレーザ光が々管路 2 3 0を経て口ボット手首 2 2 6 に達し、ここで、第 1 のミラ一ュニット 2 3 2 aのミラ一 2

3 4 aにより中空筒体 2 5 2の中心部分のレーザ光路に進路変更されて進み、ここから更に第 2のミラ一ュニット 2 3 2 bのミラー 234 bにより、更に進路変更を受け、中空構造の保持体 2 6 0の中心を進み、第 3のミラーユニット 2 3 2 cの集光用凹面鏡から成るミラー 2 3 4 cで集光と進路変更作用を受け、レーザ光発出用ノズル 2 2 8から発出される構成に成っている。

依って、本実施例においても、レーザ光々路はロボット機体のロボット腕 2 2 0、ロボット手首機構を形成する 3つのダイレクトドライブモータ M "、 M /3、 M r、ブレーキ B 、 Β β、 Β r、手首 2 2 6、中間ケ一シング 2 2 6 a . 保持体 2 6 0等を経てレーザ光発出用のノズル 2 2 8から発出される内蔵形の配置に成っている。また、上記 3つのダイレクトドライブモータを備えて、減速機類を排除した構造であるから、 3つの動作自由度をロボット手首が比較的軽量化きれた構造となり、手首動作の俊敏性と動作精度の向上とを達成できる有利が発揮されるのである。

第 5図は、第 4図に示した 3動作自由度を有した産業用レ一ザロボットの手首構造の改変例であり、前述した第 2図と第 3図の実施例との関係同様にダイレクトドライブモータ M o〜M rとブレーキ B ~ B rの連設配置における配列順序を変えた点で違いが有るのみであるから、詳細な説明を省略する。然しながら、この実施例においても、レーザ光々路を形成する管路 2 3 0が最内部の手首ドライブ軸 2 4 0の内部に配置され、故に、レーザ光々路がロボット機体の内部に設けられている点は、第 4図の実施例と全く同じである。

以上の本発明の実施例の詳細な説明を介して理解できるように、本発明によれば、産業用レーザロボットにおけるレーザ光エネルギーの発出部が具備されるロボット手首の内部に. ロボット腕から延長したレーザ光々路が設けられ、これに依つて、レーザ光管路がロボット機体の内部に内蔵、収納されるから、ロボット手首の周囲からレーザ管路を廃し、故に口ボット手首のコンパクト性を向上せしめることが可能となり- また、ロボット機体の周囲の機器類との干渉等の危惧も大幅に低減されることにより、ロボット使用現場におけるロボットの作業性を向上させ得るのである。

更に、ロボット手首はレーザ管路を手首内に確保するために、該手首動作の動作駆動を中空構造のダイレクトドライブモータによる方式、構造としたから、減速機が手首機構内から排除され、依って、徒に手首の重量が大きくなる危惧か解消されて、手首動作における慣性を小さく保ち、以て手首動作の精度向上と俊敏、迅速な速度を得ることができるのであ α

また、レーザ光々路がロボット腕、手首内に内蔵されるから、高エネルギーを発するレーザ口ボットにおける安全度の向上も期待できる。

なお、以上の説明における本発明の構成と作用及び効果は. レーザ Πボットが垂直、水平何れの多関節ロボットにもおいても等しく享受可能であることは言うまでもない。

Claims

請求の範囲

1 . ロボット腕手段を有した産業用レーザロボットの当該ロボット腕手段の先端に取付けられるのに適し、かつ、レーザ光発出手段を具備する手首において、

前記ロボット腕手段に備えられ、前記手首に少なくとも 1 つの動作自由度を付与する駆動源として機能するダイレクトドライブ型モータ手段と、

前記ダイレクトドライブ型モータ手段に依って駆動される中空の手首ドライブ軸手段と、

前記中空ドライブ軸手段内部に配設され、前記ロボット腕手段から前記レーザ光発出手段に連通したレーザ光管路手段とを、

具備したことを特徴とした産業用レーザ σボットのための手首。

2 . 前記ダイレクトドライブ型モータ手段は、前記ロボット腕手段に取付けられ、第 1のダイレクトドライブ型モ一タと第 2のダイレクトドライブ型モータとを具備し、

前記ブレーキ手段は、前記第 1のダイレクトドライブ型モータと組み合わされた第 1のブレーキと、前記第 2のダイレクトドライブ型モータと組み合わせられた第 2のブレーキとを具備し、

前記第 1 のダイレクトドライブ型モータと前記第 1 のブレーキとの組みと、前記第 2のダイレクトドライブ型モータと前記第 2のブレーキとの組みとは、互いに連接して設けられ、前記中空ドライブ軸手段は、内側、外側の同軸構造を有した第 1、第 2の中空手首ドライブ軸を具備し、該第 1、第 2 の中空手首ドライブ軸における内側に配置されたドライブ軸内部に前記レーザ光管路手段が設けられ、

以て前記手首は、 2つの動作自由度を有する請求の範囲 1 . に記載の産業用レーザロボットのための手首。

3 . 前記手首は、前記第 1、第 2の中空手首ドライブ軸における内側の手首ドライブ軸に結合した 1組のベベルギヤ機構を具備することを特徴とした請求の範囲 2 . に記載の産業用レーザロボットのための手首。

4 . 前記ダイレクトドライブ型モータ手段と前記ブレーキ手段とは、更に、第 3のダイレクトドライブ型モータと第 3 のブレーキの組を夫々備え、該第 3のダイレクトドライブ型モータと第 3のブレーキとの組は、前記第 2のダイレクトドラィブ型モータと第 2のブレーキの組に連接して設け、

前記中空手首ドライブ軸手段は、前記第 1、第 2の中空手首ドライブ軸と同軸に第 3の中空手首ドライブ軸を備え、該第 1から第 3の中空手首ドライブ軸における最も内側の中空手首ドライブ軸内部に前記レーザ光管路手段が設けられ、以て前記手首は、 3つの動作自由度を有する請求の範囲 2 . に記載の産業用レーザロボットのための手首。

5 . 前記手首は、更に前記第 3の中空手首ドライブ軸に結合した他の 1組のベベルギヤ機構を具備した請求の範囲 4 . に記載の産業用レーザロボットのための手首。

6 . 前記手首は、前記レーザ光管路手段と前記レーザ光発出手段との間にレーザ光の進路を変更する少なくとも 1つのミラーユニットを具備することを特徵とした請求の範囲 1 . に記載の産業用レーザロボットのための手首。

7 . 前記レーザ光出手段は、前記手首の最も先端に取付けられたレーザ光発出ノズルから成る請求の範囲 6 . に記載の産業用レーザロボットのための手首。

8 . 前記請求の範囲 1 . に記載の手首を具備した産業用多関節型レーザ口ボット。