WO1989002336A1 - Beam bender for laser beam machining - Google Patents

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WO1989002336A1
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Takeji Arai
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Fanuc Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/035—Aligning the laser beam
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1824—Manual alignment
    • G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors

Definitions

  • the present invention relates to a laser processing beam vendor that changes the direction of a laser beam, and more particularly to a laser processing beam vendor that can easily respond to a change in the incident direction of a laser beam.
  • a laser generated by a laser oscillator is once deflected by a beam bender, and a laser beam is radiated to a diaphragm by a lens.
  • Fig. 6 shows the outline of the relationship between the laser oscillator and the beam bender.
  • 20 is a laser oscillator
  • 21 is a gas pipe for supplying a laser gas
  • 22 is a cooling water pipe for supplying cooling water for cooling the main body and the vendor mirror.
  • Reference numeral 23 denotes a table of a laser processing machine
  • reference numeral 24 denotes a beam bender
  • a laser beam 26 generated by a laser oscillator is deflected from the front side to the back side of the page and irradiates the work 27 on the table 23.
  • the beam bender 24 is in only one direction, that is, left It can be used only when a laser beam is incident from. Therefore, when it is desired to place the laser oscillator on the right side, it is necessary to redo the design of the beam bender 24 from the beginning, and it is troublesome to change the design and manufacturing for each place where the laser processing machine is installed. The production period of products will also be prolonged. Disclosure of the invention
  • An object of the present invention is to solve the above problems, and in particular, to provide a laser processing beam vendor that can easily cope with a change in the incident direction of a laser beam.
  • a light guide member having an inverted L-shape, a hollow inside, one rotatably inserted into the hole in the base, and the other swingably contacting the flange;
  • a mirror holder fixed to the light guide member and having a fine adjustment mechanism for adjusting the direction of the vendor mirror;
  • a beam bender for laser processing characterized by having the following is provided.
  • a mirror holder fixed to the light guide member and having a 10 fine adjustment mechanism for adjusting the direction of the vendor mirror;
  • a bender mirror fixed to the mirror holder is provided, and a laser processing beam bender is provided.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a beam bender according to one embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
  • Fig. 3 is a diagram in which the mirror ⁇ : etc. are changed to the right, +
  • FIG. 4 is a sectional view of the light guide member and the base.
  • FIG. 5 is a sectional view of a base and a light guide member of the third embodiment, and
  • FIG. 6 is a view schematically showing a relationship between a laser oscillator and a beam bender.
  • FIG. 1 shows a configuration diagram of a beam bender according to one embodiment of the present invention.
  • 1 is a base and has a hole in the center.
  • Reference numeral 2 denotes a flange, which is screwed to the base 1 by a screw 11 and has a side surface 2a on which a light guide member described later can slide.
  • a member 3 is provided at an upper portion of the flange 2 and a microphone port meter 4 is fixed thereto.
  • Reference numeral 5 denotes an II optical path portion, which has an inverted L-shape as shown in the figure and has a hollow interior, through which a laser beam 12 passes.
  • the light guide path member 5 is configured so that a surface in contact with the side surface 2 a of the flange 2 can slide up and down.
  • the micrometer 4 slides up and down.
  • a mirror holder 6 is fixed to the light guide path member 5.
  • the mirror holder 6 has a bender mirror 7 inside.
  • the angle of the mirror holder 6 with respect to the light guide member 5 can be finely adjusted by the micrometers 8 and 9, whereby the angle of the bender mirror 7 is adjusted to adjust the angle of the laser beam 12.
  • the light guide path can be adjusted.
  • Reference numeral 10 denotes a flange provided at a lower portion of the base 1, which is fixed to the base 1 by screws 13.
  • the cooling structure of Vendor Mirror 7 is omitted.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A--A in FIG. 1 is a base, 5 is a light guide member, and the distance between them is drawn large in the figure, but they are in close contact and are rotatable.
  • Fig. 3 shows this state. Details are omitted in the figure.
  • the laser beam 12 is incident from the right, the laser beam 12 is deflected by the vendor mirror 7, and even if there is a demand for a laser processing machine that arranges a laser oscillator on the right side, it can be easily performed. I can respond.
  • FIG. 4 is a view corresponding to a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1, where 1 is a base and 5 is a light guide member.
  • the distance between the base 1 and the light guide member 5 is shown larger than it actually is.
  • remove the screw 11 shown in Fig. 1 pull out the flange 2, the optical path member 5 and the entire mirror holder 6 upward, change the direction to the right side, insert it, and fix the flange 2 on the opposite side.
  • FIG. 5 shows a diagram corresponding to the A-A cross-sectional view of FIG. 1 of the third embodiment.
  • the third embodiment is different from the second embodiment in that the holes in the base 1 and the light guide The shape is the same. As a result, it is possible to reduce the vertical and model play in the drawing.
  • the incident direction of the laser beam is described as corresponding to two places on the left and right, but it can be extended to four places on the front, rear, left and right as necessary.
  • the flange on the base is moved to the opposite side in accordance with the incident direction of the laser beam, the light guide member is rotated, and the bender mirror is directed in the incident direction of the laser beam.
  • the same beam vendor can handle laser processing machines with different laser beam directions.
  • the flange on the base is moved to the opposite side, the light guide member is pulled out once, turned in the opposite direction, inserted, and the bend mirror is directed to the laser beam in the incident direction. It can respond to changes in the direction of the laser beam.

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Description

明 レーザ加工用ビームベンダ 技 術 分 野
本発明はレーザビームの方向を変えるレーザ加工用ビーム ベンダに関し、 特にレーザビームの入射方向が変化しても簡 単に対応可能なレーザ加工用ビームベンダに関する。 背 景 技 術
レーザ加工機ではレーザ発振器で発生したレーザを一旦ビ ームベンダで偏向させて、 レンズでレーザビームを絞り ヮ一 クに照射する。
このレーザ発振器とビームベンダの関係の概略を第 6図に 示す。 図において、 2 0 はレーザ発振器であり、 2 1 はレー ザガスを供給するガス配管、 2 2 は本体及びべンダミ ラーを 冷却するための冷却水を供給する冷却水配管である。 2 3 は レーザ加工機のテーブルであり、 2 4 はビームベンダであり レーザ発振器で発生したレーザビーム 2 6を紙面の手前から 奥の方向に偏向し、 テーブル 2 3上のワーク 2 7に照射する, このような、 配置で図の 2点鎖線で示すように、 レーザ発 振機を右側に配置したい場合がある。 これは、 レーザ加工機 を設置する場所等による制約や、 ガス配管 2 1及び冷却水配 管 2 2 の位置等の制約による。
このとき、 ビームベンダ 2 4 は一方向のみ、 すなわち、 左 からレーザビームが入射した場合のみしか使用できない。 従 つて、 レーザ発振器を右側に配置したいときは、 ビームベン ダ 2 4 の設計を最初からやり直す必要があり、 レーザ加工機 の設置される場所ごとに、 設計、 製造を変更することは煩雑 であり、 製品の製造期間等も長期化する。 発 明 の 開 示
本発明の目的は上記問題点を解決し、 特にレーザビームの 入射方向が変化しても簡単に対応可能なレーザ加工用ビーム ベンダを提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、
第 1 の発明では、
レーザビームの方向を変えるレーザ加工用ビームべンダに おいて、
円形の穴を有するベースと、
該ベースにネジで固定されるフラ ンジと、
逆 L字形で、 内部が中空で、 一方が前記ベースの前記穴に 回転可能に揷入され、 他方が前記フ ラ ンジに揺動可能に接し ている導光路部材と、
該導光路部材に固定され、 ベンダミ ラーの方向を調整する 微調機構を有する ミ ラーホルダと、
該ミ ラーホルダに固定されたベンダミ ラーと、
を有するとを特徴とするレーザ加工用ビームベンダが、 提供される。
また、 第 2の発明では、 W
1 レーザビームの方向を変える レーザ加工用ビームベンダに おいて、
矩形の穴を有するベースと、
該ベースにネジで固定される フ ラ ンジと、
5 逆 L字形で、 内部が中空で、 一方が前記ベースの前記穴に 挿入され、 レーザビームの入射方向に応じて、 抜き差し可能 であり、 他方が前記フラ ンジに揺動可能に接している導光路 部材と、
該導光路部材に固定され、 ベンダ ミ ラーの方向を調整する 10 微調機構を有する ミ ラーホルダと、
該ミ ラーホルダに固定されたベンダミ ラーと、 を有するとを特徴とするレーザ加工用ビームベンダが、 提供される。
レーザビームの入射方向に応じて、 ベース上のフラ ンジを 15 反対側へ移動し、 導光路部材を回転して、 レーザビームの入 射方向にベンダミ ラーを向ける。
また、 ベース上のフ ラ ンジを反対側へ移動し、 導光路部材 を一旦抜き取り、 逆方向に回転して、 差し込み、 レーザビー ムに入射方向にベンダミ ラーを向ける。
20
図 面 の 簡 単 な 説 明
第 1図は本発明の一実施例のビームべ ンダの構成図、 第 2図は第 1図の A— A線断面図、
第 3図はミ ラ一ホル^:等を右向きに変更した図、 +
25 第 4図は導光路部材とベースの断面図、 第 5図は第 3の実施例のベースと導光路部材の断面図、 第 6図はレーザ発振器とビームベンダの関係の概略を示す 図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第 1図に本発明の一実施例のビームベンダの構成図を示す。 図において、 1 はべ一スであり、 中央に穴を有する。 2 はフ ラ ンジであり、 ネジ 1 1によって、 ベース 1 にネジ止めされ ており、 その側面 2 aは後述の導光路部材がスライ ドできる ようになつている。 フラ ンジ 2の上部には部材 3があり、 マ イ ク口メータ 4が固定されている。 5は II光路部お-であり、 図のように逆 L字形で、 内部が中空になっており、 内部をレ 一ザビーム 1 2が通過する。 導光路部材 5 はフ ラ ンジ 2の側 面 2 a と接する面が上下にスライ ドできるようになっており- マイ クロメータ 4によって、 上下にスライ ドする。
導光路部材 5にはミ ラーホルダ 6が固定されている。 ミ ラ 一ホルダ 6 は内部にベンダミ ラー 7が置かれている。 ミ ラー ホルダ 6はマイ クロメータ 8及び 9によって、 導光路部材 5 に対して、 角度を微調整できるようになつており、 これによ つてベンダミ ラー 7の角度を調整して、 レーザビーム 1 2の 導光路を調整することができる。 1 0 はベース 1 の下部に設 けられたフランジであり、 ネジ 1 3によって、 ベース 1 に固 定されている。 なお、 ベンダミ ラ一 7の冷却構造について、 省略してある。 第 2図に第 1 図の A — A線での断面図を示す。 1 はベース であり、 5 は導光路部材であり、 図ではその間隔を大き く描 いてあるが、 実際は両者が密着して、 回転可能にな っている 従って、 レーザビームの入射方向が機械の構成によって、 第 1図に示す左から、 右側に変わった場合は、 第 1図の 2点 鎮線で示すように、 フ ラ ンジ 2のネジ 1 1 を取り外し、 導光 路部材 5を矢印 Bで示す方向に回転して、 フ ラ ンジ 2を予め 設けてある位置にネジ 1 1 で固定する。
これによつて、 ベンダミ ラ一 7 の位置は右方向を向 く。 そ の状態を第 3図に示す。 図では細部は省略してある。 こ こで 右からレーザビーム 1 2が入射されており、 ベンダミ ラー 7 によって、 レーザビーム 1 2が偏向され、 右側にレーザ発振 器を配置するようなレーザ加工機の要求があっても、 簡単に 応じることができる。
次に第 2 の実施例についてのベる。 第 2 の実施例では、 導 光路部材 5 とベース 1 の結合部分を正方形にしており、 これ を第 4図に示す。 第 4図は第 1図の A— A線断面図に相当す る図であり、 1 はベースであり、 5 は導光路部材である。 ベ ース 1 と導光路部材 5 の間隔を図では実際より大き く表して ある。 この場合は第 1図のネジ 1 1 を外し、 フ ラ ンジ 2 、 光路部材 5及びミ ラーホルダ 6全体を、 上方に抜き、 方向を 右側に変えて差し込み、 反対側にフ ラ ンジ 2を止める。
次に第 3 の実施例について述べる。 第 3 の実施例の第 1図 の A— A断面図に相当する図を第 5図に示す。 第 3 の実施例 は第 2の実施例に対して、 ベース 1 の穴及び導光路部材 5 の 形状は同じであるカ^ その配置を 4 5 ° 画転している。 これ によって、 図面における縦及び模方向のガタ分を少な くする ことができる。
以上の説明では、 レーザビームの入射方向は左右の 2個所 に対応することで説明してあるが、 必要に応じて、 前後左右 の 4個所に拡張することもできる。
以上説明したように本発明では、 レーザビームの入射方向 に応じて、 ベース上のフラ ンジを反対側へ移動し、 導光路部 材を回転して、 レーザビームの入射方向にベンダミ ラーを向
10 けるように構成したので、 レーザビームの方向が異なるレー ザ加工機にも、 同一ビームベンダで対応することができる。
また、 ベース上のフラ ンジを反対側へ移動し、 導光路部材 を一旦抜き取り、 逆方向に] l転して、 差し込み、 レーザビー に入射方向にベンダミ ラ一を向けるように構成したので、 簡単にレーザビームの方向の変化に対応することができる。
Figure imgf000008_0001

Claims

請 求 の 範 囲
1 . レーザビームの方向を変える レーザ加工用ビームベ ン ダにおいて、
円形の穴を有するベースと、
該ベースにネジで固定される フ ラ ンジと、
逆 L字形で、 内部が中空で、 一方が前記ベースの前記穴に 面転可能に挿入され、 他方が前記フランジに揺動可能に接し ている導光路部材と、
該導光路部材に固定され、 ベンダミ ラーの方向を調整する 微調機構を有する ミ ラ一ホルダと、
該ミ ラーホルダに固定されたベンダミ ラーと、
を有することを特徴とする レーザ加工用ビームベンダ。
2 . レーザビームの方向を変える レーザ加工用ビームベン ダにおいて、
矩形の穴を有するベースと、
該ベースにネジで固定される フ ラ ンジと、
逆 L字形で、 内部が中空で、 一方が前記ベースの前記穴に 挿入され、 レーザビームの入射方向に ^じて、 抜き差し可能 であり、 他方が前記フ ラ ンジに揺動可能に接している導光路 部材と、
該導光路部材に固定され、 ベンダ ミ ラーの方向を調整する 微調機構を有する ミ ラーホルダと、
該ミ ラーホルダに固定されたベンダミ ラー と、
を有することを特徴とする レーザ加工用ビームベ ンダ。
PCT/JP1988/000893 1987-09-16 1988-09-03 Beam bender for laser beam machining WO1989002336A1 (en)

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KR1019890700819A KR920003585B1 (ko) 1987-09-16 1988-09-03 레이저 가공용 비임 벤더

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DE (1) DE3870864D1 (ja)
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