UA90536C2 - Газоразрядная электронная пушка - Google Patents
Газоразрядная электронная пушка Download PDFInfo
- Publication number
- UA90536C2 UA90536C2 UAA200803967A UAA200803967A UA90536C2 UA 90536 C2 UA90536 C2 UA 90536C2 UA A200803967 A UAA200803967 A UA A200803967A UA A200803967 A UAA200803967 A UA A200803967A UA 90536 C2 UA90536 C2 UA 90536C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- gas
- gun
- pressure
- discharge
- chamber
- Prior art date
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/077—Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/002—Cooling arrangements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Газоразрядная электронная пушка относится к области электронной техники по разработке газоразрядных электронных пушек технологического назначения для мощных электронно-лучевых установок. Газоразрядная электронная пушка включает высоковольтный изолятор, холодный вогнутый катод с развитой эмиссионной поверхностью и соосно с ним полый анод, а также присоединенный соосно аноду лучепровод с размещенными в нем фокусными катушками и катушками отклонения. Пушка оснащена промежуточной камерой, которая расположена между лучепроводом и технологической камерой, в которую подается инертный газ для создания давления, которое равно давлению рабочего газа в пушке. Изобретение позволяет разделить в соответствии с давлением технологическую камеру и катодно-анодную полость газоразрядной электронной пушки, что способствует более стабильной работе пушки при уменьшении давления остаточных газов в технологической камере установки.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA200803967A UA90536C2 (ru) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Газоразрядная электронная пушка |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA200803967A UA90536C2 (ru) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Газоразрядная электронная пушка |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA90536C2 true UA90536C2 (ru) | 2010-05-11 |
Family
ID=50688778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UAA200803967A UA90536C2 (ru) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Газоразрядная электронная пушка |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA90536C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| LV15213B (lv) * | 2016-10-21 | 2017-04-20 | Kepp Eu, Sia | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
-
2008
- 2008-03-31 UA UAA200803967A patent/UA90536C2/ru unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| LV15213B (lv) * | 2016-10-21 | 2017-04-20 | Kepp Eu, Sia | Gāzizlādes elektronu lielgabals |
| EP3312869A1 (en) * | 2016-10-21 | 2018-04-25 | Kepp Eu, Sia | The gas-discharge electron gun |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2557078C2 (ru) | Устройство генерирования электронного луча | |
| JP5478808B2 (ja) | 気体イオン源を備えた粒子光学装置 | |
| JP3464406B2 (ja) | サイクロトロン用内部負イオン源 | |
| CN110205589B (zh) | 一种脉冲碳离子激发源装置 | |
| US4739214A (en) | Dynamic electron emitter | |
| US7009342B2 (en) | Plasma electron-emitting source | |
| UA90536C2 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| WO2014193207A1 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| RU2323502C1 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| RU2167466C1 (ru) | Плазменный источник ионов и способ его работы | |
| CN210438827U (zh) | 一种脉冲碳离子激发源装置 | |
| EP3333878B1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| RU2308115C1 (ru) | Источник постоянного тока водородных ионов | |
| RU2400861C1 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| UA18148U (en) | Gas-discharge electron gun | |
| RU2237942C1 (ru) | Сильноточная электронная пушка | |
| RU2740146C1 (ru) | Ионный источник (ионная пушка) | |
| UA82101C2 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| RU2792344C9 (ru) | Газоразрядная электронная пушка, управляемая источником ионов с замкнутым дрейфом электронов | |
| RU2792344C1 (ru) | Газоразрядная электронная пушка, управляемая источником ионов с замкнутым дрейфом электронов | |
| UA79171U (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| UA93625C2 (ru) | Газоразрядная электронная пушка | |
| JP4571425B2 (ja) | プラズマ発生装置及び薄膜形成装置 | |
| UA83313U (ru) | Газоразрядная электронно-лучевая пушка | |
| UA78195U (ru) | Газоразрядная электродная пушка |