UA87880C2 - Вакуумно-дуговой источник плазмы - Google Patents
Вакуумно-дуговой источник плазмы Download PDFInfo
- Publication number
- UA87880C2 UA87880C2 UAA200706629A UAA200706629A UA87880C2 UA 87880 C2 UA87880 C2 UA 87880C2 UA A200706629 A UAA200706629 A UA A200706629A UA A200706629 A UAA200706629 A UA A200706629A UA 87880 C2 UA87880 C2 UA 87880C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- plasma
- coil
- channel
- conductor
- deflecting
- Prior art date
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract 23
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims abstract 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 37
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 8
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 7
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 6
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 claims 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 5
- 238000013461 design Methods 0.000 claims 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 4
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims 3
- 230000006870 function Effects 0.000 claims 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims 2
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 claims 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 2
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 claims 1
- 241000867390 Zolini Species 0.000 claims 1
- 230000009471 action Effects 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000011161 development Methods 0.000 claims 1
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 claims 1
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 claims 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 claims 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 claims 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 238000010584 magnetic trap Methods 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims 1
- 239000011505 plaster Substances 0.000 claims 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 1
- 230000008569 process Effects 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- -1 titanium ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области металлургии, а именно к конструкции вакуумно-дугового источника плазмы. Вакуумно-дуговой источник плазмы включает генератор плазмы и фильтр для ее очистки от макрочастиц. В состав генератора плазмы входит катод, анод и стабилизирующая и фокусирующая электромагнитные катушки, соответственно. Фильтр содержит прямолинейный плазмовод, внешнюю транспортную электромагнитную катушку и внутреннюю отклоняющую электромагнитную катушку. Внутри осевого канала этой катушки размещена перегородка. Расстояние от входящего отверстия осевого канала этой катушки до указанной перегородки не меньше половины диаметра ее канала, а диаметр указанного канала не меньше трети внешнего диаметра этой катушки. Изобретение обеспечивает уменьшение затрат плазмы при транспортировании ее через фильтр.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA200706629A UA87880C2 (ru) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | Вакуумно-дуговой источник плазмы |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA200706629A UA87880C2 (ru) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | Вакуумно-дуговой источник плазмы |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA87880C2 true UA87880C2 (ru) | 2009-08-25 |
Family
ID=46583049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UAA200706629A UA87880C2 (ru) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | Вакуумно-дуговой источник плазмы |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA87880C2 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012064311A1 (ru) | 2010-11-08 | 2012-05-18 | Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти) | Способ транспортировки вакуумно- дуговой плазмы и устройство для его осуществления |
| RU2507305C2 (ru) * | 2011-09-01 | 2014-02-20 | Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти) | Способ транспортировки с фильтрованием от макрочастиц вакуумно-дуговой катодной плазмы и устройство для его осуществления |
-
2007
- 2007-06-13 UA UAA200706629A patent/UA87880C2/ru unknown
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012064311A1 (ru) | 2010-11-08 | 2012-05-18 | Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти) | Способ транспортировки вакуумно- дуговой плазмы и устройство для его осуществления |
| CN103298969A (zh) * | 2010-11-08 | 2013-09-11 | 哈尔科夫国家科技中心物理科技学院(Nsckipt) | 用于传输真空电弧等离子体的方法和装置 |
| US9035552B2 (en) | 2010-11-08 | 2015-05-19 | National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” | Method and device for transporting vacuum arc plasma |
| CN103298969B (zh) * | 2010-11-08 | 2015-09-16 | 哈尔科夫国家科技中心物理科技学院(Nsckipt) | 用于传输真空电弧等离子体的方法和装置 |
| KR101575145B1 (ko) * | 2010-11-08 | 2015-12-07 | 내셔널 사이언스 센터 하이코프 인스티튜트 오브 피직스 앤드 테크놀로지 (앤에스씨 케이아이피티) | 진공 아크 플라즈마 이송 방법 및 장치 |
| RU2507305C2 (ru) * | 2011-09-01 | 2014-02-20 | Национальный Научный Центр "Харьковский Физико-Технический Институт" (Ннц Хфти) | Способ транспортировки с фильтрованием от макрочастиц вакуумно-дуговой катодной плазмы и устройство для его осуществления |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5480527A (en) | Rectangular vacuum-arc plasma source | |
| Karpov | Cathodic arc sources and macroparticle filtering | |
| JP6305950B2 (ja) | 真空アークプラズマを輸送するための方法 | |
| US7381311B2 (en) | Filtered cathodic-arc plasma source | |
| US5468363A (en) | Magnetic-cusp, cathodic-arc source | |
| US5733418A (en) | Sputtering method and apparatus | |
| US4122347A (en) | Ion source | |
| KR101064567B1 (ko) | 빔폭 제어 가능한 전자빔 제공 장치 | |
| KR20140143352A (ko) | 여과된 음극 아크 증착 장치 및 방법 | |
| MX2007005041A (es) | Fuente de plasma de arco filtrado bidireccional. | |
| JP2005060841A (ja) | カソードスパッタリング装置 | |
| GB2331768A (en) | Apparatus for sputtering or arc evaporation including elongated rectangular target | |
| US20070034501A1 (en) | Cathode-arc source of metal/carbon plasma with filtration | |
| US6465793B1 (en) | Arc initiation in cathodic arc plasma sources | |
| US5997705A (en) | Rectangular filtered arc plasma source | |
| US4542321A (en) | Inverted magnetron ion source | |
| US6756596B2 (en) | Filtered ion source | |
| US6089186A (en) | Vacuum coating forming device | |
| US6465780B1 (en) | Filters for cathodic arc plasmas | |
| UA87880C2 (ru) | Вакуумно-дуговой источник плазмы | |
| JP5496223B2 (ja) | アーク・エバポレーターおよびアーク・エバポレーターの操作方法 | |
| RU2097868C1 (ru) | Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты) | |
| MXPA96005104A (en) | Rectangular source of plasma de arco al va | |
| MXPA98009912A (en) | Apparatus for spraying or evaporation by a | |
| UA63164A (en) | A plasma apparatus |