UA8688A1 - Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів - Google Patents

Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Info

Publication number
UA8688A1
UA8688A1 UA4322003A UA4322003A UA8688A1 UA 8688 A1 UA8688 A1 UA 8688A1 UA 4322003 A UA4322003 A UA 4322003A UA 4322003 A UA4322003 A UA 4322003A UA 8688 A1 UA8688 A1 UA 8688A1
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
articles
thermo
chemical treatment
reaction gas
treatment
Prior art date
Application number
UA4322003A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Сергій Миколайович Григор'єв
Сергей Николаевич Григоръев
Анатолій Афанасійович Андреєв
Анатолий Афанасьевич Андреев
Анатолій Степанович Верещака
Анатолий Степанович Верещака
Леонід Павлович Саблєв
Леонид Павлович Саблев
Римма Іванівна Ступак
Римма Ивановна Ступак
Original Assignee
Харківський Фізико-Технічний Інститут
Харьковский физико-технический институт
Московський Станкоінструментальний Інститут
Московский станкоинструментальний институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Харківський Фізико-Технічний Інститут, Харьковский физико-технический институт, Московський Станкоінструментальний Інститут, Московский станкоинструментальний институт filed Critical Харківський Фізико-Технічний Інститут
Priority to UA4322003A priority Critical patent/UA8688A1/uk
Publication of UA8688A1 publication Critical patent/UA8688A1/uk

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)

Abstract

Спосіб включає збудження несамостійного газового розряду вакуумно-дуговим розрядом, нагрівання виробів і обробку в плазмі реакційного газу. Обробку в плазмі реакційного газу проводять бомбардуванням електронами несамостійного розряду при тиску реакційного газу 1,33г10-2-6,65 Па.
UA4322003A 1987-10-05 1987-10-05 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів UA8688A1 (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4322003A UA8688A1 (uk) 1987-10-05 1987-10-05 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4322003A UA8688A1 (uk) 1987-10-05 1987-10-05 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA8688A1 true UA8688A1 (uk) 1996-09-30

Family

ID=74594283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA4322003A UA8688A1 (uk) 1987-10-05 1987-10-05 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA8688A1 (uk)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES8707311A1 (es) Procedimiento para revestir sustratos en una camara de vacio
ZA958542B (en) Plasma-enhanced vacuum drying
GB2272995B (en) Method for making or treating a semiconductor
EP0348690A3 (en) Apparatus and method for plasma treatment of small diameter tubes
EP0885981A3 (de) Verfahren und Anlage zum Behandeln von Substraten mittels Ionen aus einer Niedervoltbogenentladung
TW365018B (en) Tandem process chamber
TW343921B (en) A process for preparing a substantially non-aqueous hydrogen peroxide complex
SE8702410D0 (sv) Forfarande for termokemisk ytbehandling av material i ett reaktivt gasplasma
EP0817237A3 (en) Methods and apparatus for treating workpieces with plasmas
GB9310269D0 (en) Process for generating a low-voltage discharge as well its ignition,vacuum treatment installation and cathode chamber for this purpose
GR3007016T3 (uk)
IE830747L (en) Plasma treatment process
EP0327406A3 (en) Plasma processing method and apparatus for the deposition of thin films
ATE181116T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von substratoberflächen
EP0247397A3 (en) Apparatus for the surface treatment of work pieces
EP0402867A3 (en) Apparatus for microwave processing in a magnetic field
EP0641150A4 (en) TREATMENT DEVICE.
GB2320713A (en) Process for the destruction of chemical agents and munitions
TW336339B (en) Method for controlling plasma processes
UA8688A1 (uk) Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів
TW370569B (en) Method for depositing golden titanium nitride
TW267291B (en) Plasma treatment device
TW343393B (en) Electron emissive film
TW350981B (en) Method and system for plasma-processing
UA8625A1 (uk) Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів