UA8625A1 - Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів - Google Patents

Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Info

Publication number
UA8625A1
UA8625A1 UA4330155A UA4330155A UA8625A1 UA 8625 A1 UA8625 A1 UA 8625A1 UA 4330155 A UA4330155 A UA 4330155A UA 4330155 A UA4330155 A UA 4330155A UA 8625 A1 UA8625 A1 UA 8625A1
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
articles
holding
thermo
chemical treatment
heating articles
Prior art date
Application number
UA4330155A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Леонід Павлович Саблєв
Леонид Павлович Саблев
Анатолій Афанасійович Андреєв
Анатолий Афанасьевич Андреев
Ігор Васильович Бубнов
Игорь Васильевич Бубнов
Сергій Миколайович Григор'єв
Сергей Николаевич Григоръев
Анатолій Степанович Верещака
Анатолий Степанович Верещака
Олександр Іванович Савостіков
Александр Иванович Савостиков
Римма Іванівна Ступак
Римма Ивановна Ступак
Олександр Михайлович Чикрижов
Александр Михайлович Чикрижов
Original Assignee
Харківський Фізико-Технічний Інститут
Харьковский физико-технический институт
Московський Станкоінструментальний Інститут
Московский станкоинструментальний институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Харківський Фізико-Технічний Інститут, Харьковский физико-технический институт, Московський Станкоінструментальний Інститут, Московский станкоинструментальний институт filed Critical Харківський Фізико-Технічний Інститут
Priority to UA4330155A priority Critical patent/UA8625A1/uk
Publication of UA8625A1 publication Critical patent/UA8625A1/uk

Links

Abstract

Спосіб включає збудження несамостійного вакуумно-дугового розряду в атмосфері реакційного газу, нагрівання виробів і їх витримку в плазмі розряду при негативному потенціалі на поверхні. Витримку здійснюють при плаваючому потенціалі на поверхні оброблюваних виробів, причому в процесі витримки здійснюють додаткове нагрівання виробів від автономного джерела.
UA4330155A 1987-10-06 1987-10-06 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів UA8625A1 (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4330155A UA8625A1 (uk) 1987-10-06 1987-10-06 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4330155A UA8625A1 (uk) 1987-10-06 1987-10-06 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA8625A1 true UA8625A1 (uk) 1996-09-30

Family

ID=74594487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA4330155A UA8625A1 (uk) 1987-10-06 1987-10-06 Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA8625A1 (uk)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0761415A3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken
IE830747L (en) Plasma treatment process
SG98382A1 (en) Device and process for liquid treatment of wafer-shaped articles
GB9322966D0 (en) Method for making a semiconductor and apparatus for the same
EP0817237A3 (en) Methods and apparatus for treating workpieces with plasmas
KR900001365B1 (en) Means for loading or unloading workpiece into or from a vacuum processing chamber
DE3069019D1 (en) Process and apparatus for treating workpieces in a vacuum chamber into which a gas is introduced
DE59602132D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Substratoberflächen
AU581525B2 (en) Heat activation process and apparatus for heat shrinkable material
AU1509499A (en) Apparatus for surface modification of polymer, metal and ceramic materials usingion beam
EP0384754A3 (en) Localized vacuum apparatus and method
TW287292B (en) Parylene deposition apparatus including an atmospheric shroud and inert gas source
ES8200929A1 (es) Procedimiento para el tratamiento de boruracion de piezas hechas de metal o de cermets.
MY117325A (en) Method of heat treating object and apparatus for the same.
TW371776B (en) Laser irradiation apparatus and method
GB2320713A (en) Process for the destruction of chemical agents and munitions
AU4607793A (en) Method and apparatus for carrying out surface processes
TW375765B (en) Method for reducing particles deposited onto a semiconductor wafer during plasma processing
UA8625A1 (uk) Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів
GR3034871T3 (en) Method and apparatus for cleaning a metal substrate
CA2051214A1 (en) Vacuum Film Forming Apparatus
TW350981B (en) Method and system for plasma-processing
UA8688A1 (uk) Спосіб хіміко-термічhої обробки виробів
EP0834593A3 (en) Plasma thin-film forming apparatus and method
JPS56166377A (en) Plasma treating method of hollow body