UA79166C2 - Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration - Google Patents
Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration Download PDFInfo
- Publication number
- UA79166C2 UA79166C2 UAA200505177A UAA200505177A UA79166C2 UA 79166 C2 UA79166 C2 UA 79166C2 UA A200505177 A UAA200505177 A UA A200505177A UA A200505177 A UAA200505177 A UA A200505177A UA 79166 C2 UA79166 C2 UA 79166C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- cylindrical
- holes
- resonator
- che
- diaphragm
- Prior art date
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title abstract 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 15
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008485 antagonism Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 238000004881 precipitation hardening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/12—Gyroscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
Опис винаходу
Винахід належить до області гіроскопічного приладобудування та може бути використаний для вимірювання 2 кутових швидкостей та кутів повороту в складі вібраційного коріолісового гіроскопа (КВГ).
За аналог пристрою чутливого елемента (ЧЕ) можна розглянути схему запропоновану |в книзі В.А.Матвеев,
В.И.Липатников, А.В.Алехин "Проектирование волнового твердотельного гироскопа" М.: МГТУ им. Н.З.Баумана, 1998, стор.11-16),. ЧЕ в ній виконаний, у вигляді циліндричної оболонки з суцільним дном та вузлом кріплення в середині. Збудження пружних стоячих хвиль в циліндричному резонаторі та зйом інформації здійснювався за 70 рахунок 8-ми п'єзодатчиків приклеєних по колу біля вільного краю циліндра. Змінний сигнал збудження подавався на пару діаметрально протилежних п'єзодатчиків на частоті близькій до частоти основної власної форми коливань резонатора. Згинні деформації датчиків викликають радіальні коливання оболонки резонатора.
В результаті в резонаторі виникає пружна стояча хвиля на другій моді коливань з чотирма пучностями та вузлами. При обертанні резонатора навколо своєї осі з кутовою швидкістю о виникає сила Коріоліса, що зміщує 19 хвилю (її пучності та вузли) по колу. При цьому виникають зміни сигналів датчиків, що розташовані в вузлах, які пропорційні кутовій швидкості.
Недоліки такої схеми ЧЕ полягають в тому, що розміщення п'єзодатчиків біля вільного краю резонатора демпфують хвилю, що приводить до зменшення його добротності, а отже зменшення масштабного коефіцієнта
КВГ та чутливості. Крім того, за рахунок нерівномірності розподілення жорсткості по колу (через наявності 20 приклеєних датчиків) осі пружної хвилі (вісь пучностей та вузлів) не співпадають з осями розміщення п'єзодатчиків, а розміщуються по середині. Це призводить до нелінійності масштабного коефіцієнта КВГ та зменшує чутливість до малих кутових швидкостей.
В пристрої принятому авторами за прототип (патент США Мо4644793 від 24.07.87 (501С19/56)) ЧЕ складається з вібростакана, що виступає з гнучкої плоскої пластини (мембрани) на якій він закріплюється. При с 29 згинних збудженнях плоскої пластини вона деформує циліндричний стакан і збуджує його радіальні коливання. Ге)
При обертанні ЧЕ навколо своєї вісі вузлові точки радіальних коливань переміщуються по колу циліндричної оболонки за рахунок дії сил коріоліса. Ці зміщення передаються мембрані на якій розташовані датчики переміщення, наприклад, ємкісні, котрі регіструють це переміщення. Пластина припаюється до керамічного диску на якому знаходиться система електродів. шо 30 Недоліками прототипу є мембрана форма ЧЕ, що защімлюється по зовнішньому контуру і навантажується (Се) циліндричним елементом, що закріплюється по внутрішньому контуру мембрани. В даному випадку наявність неінерційних збуджень (вібрації, удари тощо) викликає збудження мембранних форм коливань, частоти яких - можуть співпадати або бути близькими з основною частотою вібростакана. Це обмежує чутливість такого ФдФ) гіроскопа та призводить до істотних похибок.
Зо Перед авторами стояла задача підвищення чутливості та технологічності виготовлення за рахунок зміни - конструкції циліндричного резонатора і місць розміщення електродів.
Поставлена задача вирішується тим, що в циліндричний чутливий елемент вібраційного коріолісового гіроскопа, що складають з циліндричного стакана який кріплять на круглій мембрані защемленій по її « зовнішньому контуру, нижню частину циліндра виконують меншої товщини, а в дні резонатора виконують 8-м З отворів, які розташовують симетрично по колу через 45 градусів, вузол кріплення виконують в вигляді с циліндричного стакана вивернутого в середину чутливого елемента, бокова внутрішня поверхня якого є базовою "з площиною для кріплення резонатора до основи, а електроди збудження та зйому інформації розміщують на спицях, які утворилися в наслідок виконання 8-ми отворів.
Отвори можуть бути круглі, овальні або іншої нестандартної форми, але такі, що між ними утворюються спиці 79 на яких розміщуються електроди збудження та зйому, наприклад, приклеюються п'єзодатчики. Для зменшення - зв'язку вібруючих спиць з вузлом кріплення ЧЕ та зменшення відбору енергії і передачі її основі, на якій він (Се) кріпиться, останній виконують в вигляді додаткового циліндричного стакана вивернутого в середину. Цей стакан з має базову циліндричну площину відносно якої базуються при виготовлені резонатора і яка задає напрям вісі ЧЕ.
Суттєвість винаходу ілюструється на Фіг.1, 2 та 3. (Ге) 50 На Фіг.1 представлено вигляд дна циліндричного ЧЕ з 8-ма отворами 1 круглої форми діаметром а, які
Ф розташовані симетрично через кути 459 та наклеєні на спиці, що створились, електроди, наприклад, п'єзодатчики 2 для збудження коливань та зйому інформації. Осі Х та У є осі симетрії утворених спиць, вісь 7 є вісь, що проходить через центри діаметрально протилежних отворів.
На Фіг.2 показаний вигляд циліндричного ЧЕ з боку. ЧЕ КВГ складається з кільцевого резонатора, виконаного у вигляді циліндричного обода З радіуса Ко, товщиною Н, висотою | та циліндричного пружного підвісу 4
ГФ) висотою | з дном 5, що має меншу товщину й порівняно з циліндричним ободом, при цьому середній радіус 7 різнотовщинної циліндричної оболонки один і той же. В дні пружного підвісу передбачене кріплення ЧЕ, в вигляді циліндричного стакана 6 з внутрішнім радіусом г, вивернутим в середину ЧЕ з осесиметричною базовою поверхнею А. Значення параметрів Ко, Н, Г, Н, І г та й можуть змінюватися в залежності від діаметра бо циліндра та області застосування КВГ. Один з прикладів значень параметрів є: К 0-12.5мм, Н-їмм, І-8мм, п-О.Змм, І-1Омм, г-4мм, а-5.5мм.
На Фіг.3 показана форма однієї з 8-ми спиць, що формується на дні ЧЕ в випадку, коли отвори мають круглу форму.
Чутливий елемент працює наступним чином. На діаметрально протилежну пару електродів, наприклад, 65 п'єзодатчиків, розташованих на спицях пружного підвісу зі сторони дна подається змінний сигнал з автогенератора блоку функціональної електроніки (на Фіг. не показано) на частоті близькій до власної частоти коливань кільцевого обода. За рахунок згинних деформацій спиць дна виникає згинний момент, який викликає еліптичні деформації обода на основній 2-й формі коливань. Таким чином в кільцевому резонаторі ЧЕ збуджується стояча хвиля, пучність якої орієнтована по осі У, що зв'язує елементи збудження, тоді як по осі Х вузлів (повернутої на кут 452) розміщуються електроди зйому інформації, наприклад, п'єзодатчики. Так як електроди розташовані симетрично по колу, то навпаки вісь М може бути віссю вузлів, а вісь Х - вісь пучностей. Коли ЧЕ обертається навколо своєї вісі, вузлові точки стоячої хвилі зміщуються по колу за рахунок дії коріолісової сили і на вузлових електродах виникає сигнал, пропорційний кутовій швидкості. Цей сигнал 7/0 підсилюється та обробляється в електронних блоках КВГ, наприклад, демодулюється та через ПІД-регулятор та модулятор подається на пару компенсаційних електродів, розташованих під кутом 90 о відносно елементів зйому, для компенсації інерціального зміщення стоячої хвилі. На цьому прикладі одного з варіантів виконання електронних блоків КВГ, сигнал компенсації виводиться з блоку функціональної електроніки як вихідний сигнал пропорційний кутової швидкості, що вимірюється.
Чутливий елемент КВГ може бути виконаний з любого матеріалу, однак для забезпечення високої стабільності коливань він як правило виконується з матеріалів з малими внутрішніми витратами, що забезпечує високу добротність, та сталими пружними властивостями, що забезпечують стабільність частоти коливань в інтервалі робочих температур, наприклад, прецизійній немагнітний дисперсійно твердіючий сплав з заданими пружними властивостями 42 НХТЮМ - ТУ 109 94-74 або тітановий сплав ВТ8, для яких логарифмічний декремент затухання складає відповідно 5(901-0.03 та 5|(95150.022, а температурний коефіцієнт модуля Юнга відповідно ег(1/2С1-5.1072 та е1/еС1-9.107, та інших високоякісних сплавів. Може також бути застосований плавлений кварц.
Відзначено, що оскільки товщина циліндричної частини пружного підвісу Н«Н то його власна частота зміщена в більш нижчий діапазон частот. Це видно з виразу для власної частоті/коливань циліндричної оболонки: с п Е (0 о щу КОз сх ен
В МИ жид (Се) зо де (8-3 - коефіцієнт, що залежить від номера форми коливань і, Е - модуль Юнга, у - коефіцієнт к(-- Я - (Се)
Же я
Пуасона, р - густина матеріалу. -
В результаті чого досягається частотна розв'язка між резонатором та основою на якій він розміщується. Ге»!
Тому пружній підвіс в такій конструкції ЧЕ виконує роль демпфера при діях неінерціальніх збуджень на пристрій
Зо (наприклад, вібрацій ударів). Крім того, параметри пружнього підвісу вибирають так, щоб його частота не - співпадала з максимумом спекральної компоненти технічного шуму, який знаходиться в більшості застосований в діапазоні до 2-3КГцЦ.
Зменшення товщини пружного підвісу приводить до зменшення моменту його інерції, що знижує вимоги до « точності виготовлення та симетрії пружних властивостей матеріалу. Це видно з відношення моментів інерції - с т0 кільцевого резонатора М;, та підвісу Млід приведених до амплітуди коливань резонатора: :з» міц . п 2 (2) м, ін -І Тому при співвідношенні й.1 вимоги до точності виготовлення пружного підвісу знижуються майже на ня і, порядок. Високі вимоги до точності форми та пружних властивостей необхідно забезпечити лише на висоті - кільцевого резонатора, що значно підвищує технологічність ЧЕ, а отже зменшує його ціну.
Дно ЧЕ як і тонша частина циліндра виконує роль пружного підвісу. Оскільки на дні розміщуються
Ме, п'єзоелектричні елементи, що підвищують жорсткість по осі їх розміщення, то для забезпечення коливань
Ф резонатора по цій осі необхідно збільшити жорсткість дна між осями де розташовані п'єзоелектричні елементи.
Для цього в дні ЧЕ виконується 8-м отворів, розташованих між осями, де розміщені п'єзодатчики. Жорсткість спиць між отворами (позначимо як ось Х) запишеться як Су: єнз о, тоді як жорсткість дна по осям зміщеним на 126
ГФ) кут 22.52 (вісі У) запишеться як Су ЕНнЗ де а - діаметр симетричних отворів, для отворів в формі круга.
Ге 120Кко
Для того щоб коливання відбувалися по осям Х необхідно виконання умови: 60
Сх/Су«1 (3)
Враховуючи те, що по осям Х наклеюють п'єзоелектричні елементи, жорсткість яких е -Ебтіз де Ь таа - бла д5 ширина та довжина пластин, пп - товщина, Ед - модуль Юнга п'єзокераміки. Загальна жорсткість спиць буде івна (при співвідношенні рівна (пр д «Порт, -н)
ЕНЗ ЗЕ,
Ст тю Й т іже Еко
Для виконання умови (3) необхідно виконати співвідношення СУ/Суєк1, або
Я.В (4) 1--Ш-И куки
І ки І ЕК;
Видно, що ця умова легко виконується вже при а»Ко/2.
Таким чином, на прикладі п'єзодатчиків застосованих як електроди зйому та збудження та отворів круглої форми показано досягнення цілі винаходу підвищення чутливості та технологічності циліндричного ЧЕ КВГ.
Claims (1)
- Формула винаходу Циліндричний чутливий елемент вібраційного коріолісового гіроскопа, що складається з циліндричного стакана, закріпленого на круглій мембрані, защемленій по її зовнішньому контуру, який відрізняється тим, що нижня частина циліндричного стакана виконана меншої товщини, а на круглій мембрані виконані 8 отворів, які розташовані симетрично по колу через 45 градусів, вузол кріплення виконаний в вигляді циліндричного стакана, вивернутого всередину чутливого елемента, бокова внутрішня поверхня якого є базовою площиною для кріплення чутливого елемента до основи, а електроди збудження та знімання інформації розміщені на спицях, які утворилися унаслідок виконання 8 отворів. с щі 6) (Се) (Се) «- (о) і -- . и? -і се) - (о) 4) іме) 60 б5
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA200505177A UA79166C2 (en) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration |
US11/284,922 US7281425B2 (en) | 2005-05-31 | 2005-11-23 | Coriolis force gyroscope with high sensitivity |
US11/845,073 US7513156B2 (en) | 2005-05-31 | 2007-08-26 | Coriolis force gyroscope with high sensitivity |
US12/100,365 US8011245B2 (en) | 2005-05-31 | 2008-04-09 | Sensing element of coriolis force gyroscope |
US12/721,228 US20100154542A1 (en) | 2005-05-31 | 2010-03-10 | Sensing element of coriolis force gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAA200505177A UA79166C2 (en) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA79166C2 true UA79166C2 (en) | 2007-05-25 |
Family
ID=37461763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAA200505177A UA79166C2 (en) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7281425B2 (uk) |
UA (1) | UA79166C2 (uk) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2445575C2 (ru) * | 2008-06-24 | 2012-03-20 | Симоненко Дмитрий Владимирович | Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа |
RU2454629C1 (ru) * | 2011-05-04 | 2012-06-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Пьезоприбор" (ООО "Пьезоприбор") | Трубчатый продольно-изгибный пьезогироскоп |
RU187272U1 (ru) * | 2018-11-28 | 2019-02-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) | Цилиндрический резонатор |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7281426B1 (en) * | 2006-06-15 | 2007-10-16 | Innalabs Technologies, Inc. | Stemless hemispherical resonator gyroscope |
JP4940035B2 (ja) * | 2007-07-06 | 2012-05-30 | セイコーインスツル株式会社 | 角速度センサ及び角速度センサの製造方法 |
US7992438B2 (en) * | 2007-11-28 | 2011-08-09 | Chung Shan Institute Of Science And Technology, Armaments Bureau, M.N.D. | Multiaxial gyroscope |
FR2952428B1 (fr) * | 2009-11-12 | 2011-12-16 | Sagem Defense Securite | Capteur inertiel |
CN101846517B (zh) * | 2010-06-18 | 2011-11-30 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 杯形波动陀螺的杯形谐振子的机械平衡方法 |
CN101936734B (zh) * | 2010-09-28 | 2012-02-08 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺 |
EP3009792B1 (en) | 2010-11-19 | 2018-02-14 | Innalabs Limited | Gyroscope |
FR2969750B1 (fr) * | 2010-12-22 | 2013-02-08 | Sagem Defense Securite | Gyroscope vibrant et procede de fabrication |
US8991249B2 (en) * | 2011-05-23 | 2015-03-31 | Sagem Defense Securite | Vibrating gyroscope and treatment process |
EP2573516B1 (en) * | 2011-09-21 | 2013-11-20 | Tronics Microsystems S.A. | A micro-electromechanical gyro device |
US9157739B1 (en) | 2012-08-07 | 2015-10-13 | Innalabs Limited | Force-rebalance coriolis vibratory gyroscope |
US9599470B1 (en) * | 2013-09-11 | 2017-03-21 | Hrl Laboratories, Llc | Dielectric high Q MEMS shell gyroscope structure |
US10308505B1 (en) | 2014-08-11 | 2019-06-04 | Hrl Laboratories, Llc | Method and apparatus for the monolithic encapsulation of a micro-scale inertial navigation sensor suite |
US10502568B2 (en) | 2015-04-29 | 2019-12-10 | General Electric Company | Inertial sensing systems and methods of manufacturing the same |
US10444014B1 (en) * | 2015-09-01 | 2019-10-15 | Hrl Laboratories, Llc | High dynamic range gyroscope |
CN105547271B (zh) * | 2016-01-04 | 2018-01-05 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于一体式圆柱壳体石英谐振子和压电薄膜的振动陀螺 |
CN105865430B (zh) * | 2016-05-03 | 2019-03-26 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于化学刻蚀一体式石英圆柱壳体谐振子修形系统及方法 |
CA3030308C (en) | 2016-07-29 | 2022-04-05 | The Board Of Trustees Of Western Michigan University | Magnetic nanoparticle-based gyroscopic sensor |
WO2019032179A1 (en) * | 2017-08-11 | 2019-02-14 | Hrl Laboratories, Llc | SILICON MULTI-MODE CORIOLIS VIBRATORY GYROSCOPES HAVING A HIGH-RODING SYMMETRIC MECHANICAL STRUCTURE AND 32 ELECTRODES |
CN108332732B (zh) * | 2018-01-26 | 2020-05-19 | 珠海全志科技股份有限公司 | 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置 |
CN108332733B (zh) * | 2018-01-26 | 2020-05-19 | 珠海全志科技股份有限公司 | 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置 |
CN109443336B (zh) * | 2018-10-31 | 2022-06-10 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 一种金属筒形谐振陀螺的侧壁16点修调系统及方法 |
CN110058041A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-07-26 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 陀螺仪 |
US11346668B2 (en) * | 2019-12-12 | 2022-05-31 | Enertia Microsystems Inc. | System and method for micro-scale machining |
CN112484683B (zh) * | 2020-11-19 | 2022-06-03 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种半球谐振器质量平衡处理装置及工作方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3565601D1 (en) | 1984-09-07 | 1988-11-17 | Marconi Co Ltd | Vibrational gyroscope |
US5874674A (en) | 1988-08-12 | 1999-02-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
JPH10115526A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-06 | Ngk Insulators Ltd | 振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・センサの製造方法 |
FR2789170B1 (fr) * | 1999-02-01 | 2001-02-23 | Salaberry Bernard Lucien Charl | Gyroscope vibrant |
-
2005
- 2005-05-31 UA UAA200505177A patent/UA79166C2/uk unknown
- 2005-11-23 US US11/284,922 patent/US7281425B2/en active Active
-
2007
- 2007-08-26 US US11/845,073 patent/US7513156B2/en active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2445575C2 (ru) * | 2008-06-24 | 2012-03-20 | Симоненко Дмитрий Владимирович | Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа |
RU2454629C1 (ru) * | 2011-05-04 | 2012-06-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Пьезоприбор" (ООО "Пьезоприбор") | Трубчатый продольно-изгибный пьезогироскоп |
RU187272U1 (ru) * | 2018-11-28 | 2019-02-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) | Цилиндрический резонатор |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080173123A1 (en) | 2008-07-24 |
US20060266116A1 (en) | 2006-11-30 |
US7513156B2 (en) | 2009-04-07 |
US7281425B2 (en) | 2007-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
UA79166C2 (en) | Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration | |
US8011245B2 (en) | Sensing element of coriolis force gyroscope | |
JP3834397B2 (ja) | レートセンサ | |
US9568314B2 (en) | Bell-shaped vibrator type angular rate gyro | |
US20100154542A1 (en) | Sensing element of coriolis force gyroscope | |
EP2527789A1 (en) | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity | |
FI126070B (en) | Improved ring gyroscope structure and gyroscope | |
TW200416394A (en) | Microgyroscope tunable for translational acceleration | |
WO1988000334A1 (en) | Vibration type weight measuring apparatus | |
JP7284564B2 (ja) | 角速度センサ | |
JPH0520693B2 (uk) | ||
JPH0520692B2 (uk) | ||
JP3942762B2 (ja) | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 | |
RU2445575C2 (ru) | Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа | |
RU151978U1 (ru) | Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа | |
US6959600B2 (en) | Vibratory gyroscope | |
UA22153U (en) | Vibratory gyroscope sensitive to complementary acceleration | |
US20240102804A1 (en) | Vibratory gyroscope sensor | |
JP2000180466A (ja) | 直線加速度計 | |
RU2662456C2 (ru) | Способ непрерывного съёма навигационной информации с кориолисова вибрационного гироскопа | |
RU2659097C2 (ru) | Способ компенсации погрешности от углового ускорения основания для кориолисова вибрационного гироскопа с непрерывным съёмом навигационной информации | |
US20100327693A1 (en) | Miniature mechanical resonator device | |
JPH08247770A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH0980069A (ja) | 加速度センサ | |
JPS6061613A (ja) | 円筒振動式角速度計 |