UA79166C2 - Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration - Google Patents

Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration Download PDF

Info

Publication number
UA79166C2
UA79166C2 UAA200505177A UAA200505177A UA79166C2 UA 79166 C2 UA79166 C2 UA 79166C2 UA A200505177 A UAA200505177 A UA A200505177A UA A200505177 A UAA200505177 A UA A200505177A UA 79166 C2 UA79166 C2 UA 79166C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
cylindrical
holes
resonator
che
diaphragm
Prior art date
Application number
UAA200505177A
Other languages
English (en)
Inventor
Yurii Oleksiiovych Yatsenko
Valerii Valerianovyc Chikovani
Volodymyr Anatoliiov Kovalenko
Original Assignee
Yurii Oleksiiovych Yatsenko
Valerii Valerianovyc Chikovani
Volodymyr Anatoliiov Kovalenko
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yurii Oleksiiovych Yatsenko, Valerii Valerianovyc Chikovani, Volodymyr Anatoliiov Kovalenko filed Critical Yurii Oleksiiovych Yatsenko
Priority to UAA200505177A priority Critical patent/UA79166C2/uk
Priority to US11/284,922 priority patent/US7281425B2/en
Publication of UA79166C2 publication Critical patent/UA79166C2/uk
Priority to US11/845,073 priority patent/US7513156B2/en
Priority to US12/100,365 priority patent/US8011245B2/en
Priority to US12/721,228 priority patent/US20100154542A1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/567Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
    • G01C19/5691Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/12Gyroscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Description

Опис винаходу
Винахід належить до області гіроскопічного приладобудування та може бути використаний для вимірювання 2 кутових швидкостей та кутів повороту в складі вібраційного коріолісового гіроскопа (КВГ).
За аналог пристрою чутливого елемента (ЧЕ) можна розглянути схему запропоновану |в книзі В.А.Матвеев,
В.И.Липатников, А.В.Алехин "Проектирование волнового твердотельного гироскопа" М.: МГТУ им. Н.З.Баумана, 1998, стор.11-16),. ЧЕ в ній виконаний, у вигляді циліндричної оболонки з суцільним дном та вузлом кріплення в середині. Збудження пружних стоячих хвиль в циліндричному резонаторі та зйом інформації здійснювався за 70 рахунок 8-ми п'єзодатчиків приклеєних по колу біля вільного краю циліндра. Змінний сигнал збудження подавався на пару діаметрально протилежних п'єзодатчиків на частоті близькій до частоти основної власної форми коливань резонатора. Згинні деформації датчиків викликають радіальні коливання оболонки резонатора.
В результаті в резонаторі виникає пружна стояча хвиля на другій моді коливань з чотирма пучностями та вузлами. При обертанні резонатора навколо своєї осі з кутовою швидкістю о виникає сила Коріоліса, що зміщує 19 хвилю (її пучності та вузли) по колу. При цьому виникають зміни сигналів датчиків, що розташовані в вузлах, які пропорційні кутовій швидкості.
Недоліки такої схеми ЧЕ полягають в тому, що розміщення п'єзодатчиків біля вільного краю резонатора демпфують хвилю, що приводить до зменшення його добротності, а отже зменшення масштабного коефіцієнта
КВГ та чутливості. Крім того, за рахунок нерівномірності розподілення жорсткості по колу (через наявності 20 приклеєних датчиків) осі пружної хвилі (вісь пучностей та вузлів) не співпадають з осями розміщення п'єзодатчиків, а розміщуються по середині. Це призводить до нелінійності масштабного коефіцієнта КВГ та зменшує чутливість до малих кутових швидкостей.
В пристрої принятому авторами за прототип (патент США Мо4644793 від 24.07.87 (501С19/56)) ЧЕ складається з вібростакана, що виступає з гнучкої плоскої пластини (мембрани) на якій він закріплюється. При с 29 згинних збудженнях плоскої пластини вона деформує циліндричний стакан і збуджує його радіальні коливання. Ге)
При обертанні ЧЕ навколо своєї вісі вузлові точки радіальних коливань переміщуються по колу циліндричної оболонки за рахунок дії сил коріоліса. Ці зміщення передаються мембрані на якій розташовані датчики переміщення, наприклад, ємкісні, котрі регіструють це переміщення. Пластина припаюється до керамічного диску на якому знаходиться система електродів. шо 30 Недоліками прототипу є мембрана форма ЧЕ, що защімлюється по зовнішньому контуру і навантажується (Се) циліндричним елементом, що закріплюється по внутрішньому контуру мембрани. В даному випадку наявність неінерційних збуджень (вібрації, удари тощо) викликає збудження мембранних форм коливань, частоти яких - можуть співпадати або бути близькими з основною частотою вібростакана. Це обмежує чутливість такого ФдФ) гіроскопа та призводить до істотних похибок.
Зо Перед авторами стояла задача підвищення чутливості та технологічності виготовлення за рахунок зміни - конструкції циліндричного резонатора і місць розміщення електродів.
Поставлена задача вирішується тим, що в циліндричний чутливий елемент вібраційного коріолісового гіроскопа, що складають з циліндричного стакана який кріплять на круглій мембрані защемленій по її « зовнішньому контуру, нижню частину циліндра виконують меншої товщини, а в дні резонатора виконують 8-м З отворів, які розташовують симетрично по колу через 45 градусів, вузол кріплення виконують в вигляді с циліндричного стакана вивернутого в середину чутливого елемента, бокова внутрішня поверхня якого є базовою "з площиною для кріплення резонатора до основи, а електроди збудження та зйому інформації розміщують на спицях, які утворилися в наслідок виконання 8-ми отворів.
Отвори можуть бути круглі, овальні або іншої нестандартної форми, але такі, що між ними утворюються спиці 79 на яких розміщуються електроди збудження та зйому, наприклад, приклеюються п'єзодатчики. Для зменшення - зв'язку вібруючих спиць з вузлом кріплення ЧЕ та зменшення відбору енергії і передачі її основі, на якій він (Се) кріпиться, останній виконують в вигляді додаткового циліндричного стакана вивернутого в середину. Цей стакан з має базову циліндричну площину відносно якої базуються при виготовлені резонатора і яка задає напрям вісі ЧЕ.
Суттєвість винаходу ілюструється на Фіг.1, 2 та 3. (Ге) 50 На Фіг.1 представлено вигляд дна циліндричного ЧЕ з 8-ма отворами 1 круглої форми діаметром а, які
Ф розташовані симетрично через кути 459 та наклеєні на спиці, що створились, електроди, наприклад, п'єзодатчики 2 для збудження коливань та зйому інформації. Осі Х та У є осі симетрії утворених спиць, вісь 7 є вісь, що проходить через центри діаметрально протилежних отворів.
На Фіг.2 показаний вигляд циліндричного ЧЕ з боку. ЧЕ КВГ складається з кільцевого резонатора, виконаного у вигляді циліндричного обода З радіуса Ко, товщиною Н, висотою | та циліндричного пружного підвісу 4
ГФ) висотою | з дном 5, що має меншу товщину й порівняно з циліндричним ободом, при цьому середній радіус 7 різнотовщинної циліндричної оболонки один і той же. В дні пружного підвісу передбачене кріплення ЧЕ, в вигляді циліндричного стакана 6 з внутрішнім радіусом г, вивернутим в середину ЧЕ з осесиметричною базовою поверхнею А. Значення параметрів Ко, Н, Г, Н, І г та й можуть змінюватися в залежності від діаметра бо циліндра та області застосування КВГ. Один з прикладів значень параметрів є: К 0-12.5мм, Н-їмм, І-8мм, п-О.Змм, І-1Омм, г-4мм, а-5.5мм.
На Фіг.3 показана форма однієї з 8-ми спиць, що формується на дні ЧЕ в випадку, коли отвори мають круглу форму.
Чутливий елемент працює наступним чином. На діаметрально протилежну пару електродів, наприклад, 65 п'єзодатчиків, розташованих на спицях пружного підвісу зі сторони дна подається змінний сигнал з автогенератора блоку функціональної електроніки (на Фіг. не показано) на частоті близькій до власної частоти коливань кільцевого обода. За рахунок згинних деформацій спиць дна виникає згинний момент, який викликає еліптичні деформації обода на основній 2-й формі коливань. Таким чином в кільцевому резонаторі ЧЕ збуджується стояча хвиля, пучність якої орієнтована по осі У, що зв'язує елементи збудження, тоді як по осі Х вузлів (повернутої на кут 452) розміщуються електроди зйому інформації, наприклад, п'єзодатчики. Так як електроди розташовані симетрично по колу, то навпаки вісь М може бути віссю вузлів, а вісь Х - вісь пучностей. Коли ЧЕ обертається навколо своєї вісі, вузлові точки стоячої хвилі зміщуються по колу за рахунок дії коріолісової сили і на вузлових електродах виникає сигнал, пропорційний кутовій швидкості. Цей сигнал 7/0 підсилюється та обробляється в електронних блоках КВГ, наприклад, демодулюється та через ПІД-регулятор та модулятор подається на пару компенсаційних електродів, розташованих під кутом 90 о відносно елементів зйому, для компенсації інерціального зміщення стоячої хвилі. На цьому прикладі одного з варіантів виконання електронних блоків КВГ, сигнал компенсації виводиться з блоку функціональної електроніки як вихідний сигнал пропорційний кутової швидкості, що вимірюється.
Чутливий елемент КВГ може бути виконаний з любого матеріалу, однак для забезпечення високої стабільності коливань він як правило виконується з матеріалів з малими внутрішніми витратами, що забезпечує високу добротність, та сталими пружними властивостями, що забезпечують стабільність частоти коливань в інтервалі робочих температур, наприклад, прецизійній немагнітний дисперсійно твердіючий сплав з заданими пружними властивостями 42 НХТЮМ - ТУ 109 94-74 або тітановий сплав ВТ8, для яких логарифмічний декремент затухання складає відповідно 5(901-0.03 та 5|(95150.022, а температурний коефіцієнт модуля Юнга відповідно ег(1/2С1-5.1072 та е1/еС1-9.107, та інших високоякісних сплавів. Може також бути застосований плавлений кварц.
Відзначено, що оскільки товщина циліндричної частини пружного підвісу Н«Н то його власна частота зміщена в більш нижчий діапазон частот. Це видно з виразу для власної частоті/коливань циліндричної оболонки: с п Е (0 о щу КОз сх ен
В МИ жид (Се) зо де (8-3 - коефіцієнт, що залежить від номера форми коливань і, Е - модуль Юнга, у - коефіцієнт к(-- Я - (Се)
Же я
Пуасона, р - густина матеріалу. -
В результаті чого досягається частотна розв'язка між резонатором та основою на якій він розміщується. Ге»!
Тому пружній підвіс в такій конструкції ЧЕ виконує роль демпфера при діях неінерціальніх збуджень на пристрій
Зо (наприклад, вібрацій ударів). Крім того, параметри пружнього підвісу вибирають так, щоб його частота не - співпадала з максимумом спекральної компоненти технічного шуму, який знаходиться в більшості застосований в діапазоні до 2-3КГцЦ.
Зменшення товщини пружного підвісу приводить до зменшення моменту його інерції, що знижує вимоги до « точності виготовлення та симетрії пружних властивостей матеріалу. Це видно з відношення моментів інерції - с т0 кільцевого резонатора М;, та підвісу Млід приведених до амплітуди коливань резонатора: :з» міц . п 2 (2) м, ін -І Тому при співвідношенні й.1 вимоги до точності виготовлення пружного підвісу знижуються майже на ня і, порядок. Високі вимоги до точності форми та пружних властивостей необхідно забезпечити лише на висоті - кільцевого резонатора, що значно підвищує технологічність ЧЕ, а отже зменшує його ціну.
Дно ЧЕ як і тонша частина циліндра виконує роль пружного підвісу. Оскільки на дні розміщуються
Ме, п'єзоелектричні елементи, що підвищують жорсткість по осі їх розміщення, то для забезпечення коливань
Ф резонатора по цій осі необхідно збільшити жорсткість дна між осями де розташовані п'єзоелектричні елементи.
Для цього в дні ЧЕ виконується 8-м отворів, розташованих між осями, де розміщені п'єзодатчики. Жорсткість спиць між отворами (позначимо як ось Х) запишеться як Су: єнз о, тоді як жорсткість дна по осям зміщеним на 126
ГФ) кут 22.52 (вісі У) запишеться як Су ЕНнЗ де а - діаметр симетричних отворів, для отворів в формі круга.
Ге 120Кко
Для того щоб коливання відбувалися по осям Х необхідно виконання умови: 60
Сх/Су«1 (3)
Враховуючи те, що по осям Х наклеюють п'єзоелектричні елементи, жорсткість яких е -Ебтіз де Ь таа - бла д5 ширина та довжина пластин, пп - товщина, Ед - модуль Юнга п'єзокераміки. Загальна жорсткість спиць буде івна (при співвідношенні рівна (пр д «Порт, -н)
ЕНЗ ЗЕ,
Ст тю Й т іже Еко
Для виконання умови (3) необхідно виконати співвідношення СУ/Суєк1, або
Я.В (4) 1--Ш-И куки
І ки І ЕК;
Видно, що ця умова легко виконується вже при а»Ко/2.
Таким чином, на прикладі п'єзодатчиків застосованих як електроди зйому та збудження та отворів круглої форми показано досягнення цілі винаходу підвищення чутливості та технологічності циліндричного ЧЕ КВГ.

Claims (1)

  1. Формула винаходу Циліндричний чутливий елемент вібраційного коріолісового гіроскопа, що складається з циліндричного стакана, закріпленого на круглій мембрані, защемленій по її зовнішньому контуру, який відрізняється тим, що нижня частина циліндричного стакана виконана меншої товщини, а на круглій мембрані виконані 8 отворів, які розташовані симетрично по колу через 45 градусів, вузол кріплення виконаний в вигляді циліндричного стакана, вивернутого всередину чутливого елемента, бокова внутрішня поверхня якого є базовою площиною для кріплення чутливого елемента до основи, а електроди збудження та знімання інформації розміщені на спицях, які утворилися унаслідок виконання 8 отворів. с щі 6) (Се) (Се) «- (о) і -
    - . и? -і се) - (о) 4) іме) 60 б5
UAA200505177A 2005-05-31 2005-05-31 Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration UA79166C2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA200505177A UA79166C2 (en) 2005-05-31 2005-05-31 Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration
US11/284,922 US7281425B2 (en) 2005-05-31 2005-11-23 Coriolis force gyroscope with high sensitivity
US11/845,073 US7513156B2 (en) 2005-05-31 2007-08-26 Coriolis force gyroscope with high sensitivity
US12/100,365 US8011245B2 (en) 2005-05-31 2008-04-09 Sensing element of coriolis force gyroscope
US12/721,228 US20100154542A1 (en) 2005-05-31 2010-03-10 Sensing element of coriolis force gyroscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAA200505177A UA79166C2 (en) 2005-05-31 2005-05-31 Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA79166C2 true UA79166C2 (en) 2007-05-25

Family

ID=37461763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAA200505177A UA79166C2 (en) 2005-05-31 2005-05-31 Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration

Country Status (2)

Country Link
US (2) US7281425B2 (uk)
UA (1) UA79166C2 (uk)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2445575C2 (ru) * 2008-06-24 2012-03-20 Симоненко Дмитрий Владимирович Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа
RU2454629C1 (ru) * 2011-05-04 2012-06-27 Общество с ограниченной ответственностью "Пьезоприбор" (ООО "Пьезоприбор") Трубчатый продольно-изгибный пьезогироскоп
RU187272U1 (ru) * 2018-11-28 2019-02-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Цилиндрический резонатор

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7281426B1 (en) * 2006-06-15 2007-10-16 Innalabs Technologies, Inc. Stemless hemispherical resonator gyroscope
JP4940035B2 (ja) * 2007-07-06 2012-05-30 セイコーインスツル株式会社 角速度センサ及び角速度センサの製造方法
US7992438B2 (en) * 2007-11-28 2011-08-09 Chung Shan Institute Of Science And Technology, Armaments Bureau, M.N.D. Multiaxial gyroscope
FR2952428B1 (fr) * 2009-11-12 2011-12-16 Sagem Defense Securite Capteur inertiel
CN101846517B (zh) * 2010-06-18 2011-11-30 中国人民解放军国防科学技术大学 杯形波动陀螺的杯形谐振子的机械平衡方法
CN101936734B (zh) * 2010-09-28 2012-02-08 中国人民解放军国防科学技术大学 固体波动陀螺的谐振子及固体波动陀螺
EP3009792B1 (en) 2010-11-19 2018-02-14 Innalabs Limited Gyroscope
FR2969750B1 (fr) * 2010-12-22 2013-02-08 Sagem Defense Securite Gyroscope vibrant et procede de fabrication
US8991249B2 (en) * 2011-05-23 2015-03-31 Sagem Defense Securite Vibrating gyroscope and treatment process
EP2573516B1 (en) * 2011-09-21 2013-11-20 Tronics Microsystems S.A. A micro-electromechanical gyro device
US9157739B1 (en) 2012-08-07 2015-10-13 Innalabs Limited Force-rebalance coriolis vibratory gyroscope
US9599470B1 (en) * 2013-09-11 2017-03-21 Hrl Laboratories, Llc Dielectric high Q MEMS shell gyroscope structure
US10308505B1 (en) 2014-08-11 2019-06-04 Hrl Laboratories, Llc Method and apparatus for the monolithic encapsulation of a micro-scale inertial navigation sensor suite
US10502568B2 (en) 2015-04-29 2019-12-10 General Electric Company Inertial sensing systems and methods of manufacturing the same
US10444014B1 (en) * 2015-09-01 2019-10-15 Hrl Laboratories, Llc High dynamic range gyroscope
CN105547271B (zh) * 2016-01-04 2018-01-05 中国人民解放军国防科学技术大学 基于一体式圆柱壳体石英谐振子和压电薄膜的振动陀螺
CN105865430B (zh) * 2016-05-03 2019-03-26 中国人民解放军国防科学技术大学 基于化学刻蚀一体式石英圆柱壳体谐振子修形系统及方法
CA3030308C (en) 2016-07-29 2022-04-05 The Board Of Trustees Of Western Michigan University Magnetic nanoparticle-based gyroscopic sensor
WO2019032179A1 (en) * 2017-08-11 2019-02-14 Hrl Laboratories, Llc SILICON MULTI-MODE CORIOLIS VIBRATORY GYROSCOPES HAVING A HIGH-RODING SYMMETRIC MECHANICAL STRUCTURE AND 32 ELECTRODES
CN108332732B (zh) * 2018-01-26 2020-05-19 珠海全志科技股份有限公司 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置
CN108332733B (zh) * 2018-01-26 2020-05-19 珠海全志科技股份有限公司 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置
CN109443336B (zh) * 2018-10-31 2022-06-10 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种金属筒形谐振陀螺的侧壁16点修调系统及方法
CN110058041A (zh) * 2019-04-08 2019-07-26 瑞声科技(新加坡)有限公司 陀螺仪
US11346668B2 (en) * 2019-12-12 2022-05-31 Enertia Microsystems Inc. System and method for micro-scale machining
CN112484683B (zh) * 2020-11-19 2022-06-03 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种半球谐振器质量平衡处理装置及工作方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3565601D1 (en) 1984-09-07 1988-11-17 Marconi Co Ltd Vibrational gyroscope
US5874674A (en) 1988-08-12 1999-02-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same
JPH10115526A (ja) * 1996-10-15 1998-05-06 Ngk Insulators Ltd 振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・センサの製造方法
FR2789170B1 (fr) * 1999-02-01 2001-02-23 Salaberry Bernard Lucien Charl Gyroscope vibrant

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2445575C2 (ru) * 2008-06-24 2012-03-20 Симоненко Дмитрий Владимирович Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа
RU2454629C1 (ru) * 2011-05-04 2012-06-27 Общество с ограниченной ответственностью "Пьезоприбор" (ООО "Пьезоприбор") Трубчатый продольно-изгибный пьезогироскоп
RU187272U1 (ru) * 2018-11-28 2019-02-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Цилиндрический резонатор

Also Published As

Publication number Publication date
US20080173123A1 (en) 2008-07-24
US20060266116A1 (en) 2006-11-30
US7513156B2 (en) 2009-04-07
US7281425B2 (en) 2007-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UA79166C2 (en) Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration
US8011245B2 (en) Sensing element of coriolis force gyroscope
JP3834397B2 (ja) レートセンサ
US9568314B2 (en) Bell-shaped vibrator type angular rate gyro
US20100154542A1 (en) Sensing element of coriolis force gyroscope
EP2527789A1 (en) Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity
FI126070B (en) Improved ring gyroscope structure and gyroscope
TW200416394A (en) Microgyroscope tunable for translational acceleration
WO1988000334A1 (en) Vibration type weight measuring apparatus
JP7284564B2 (ja) 角速度センサ
JPH0520693B2 (uk)
JPH0520692B2 (uk)
JP3942762B2 (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
RU2445575C2 (ru) Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа
RU151978U1 (ru) Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа
US6959600B2 (en) Vibratory gyroscope
UA22153U (en) Vibratory gyroscope sensitive to complementary acceleration
US20240102804A1 (en) Vibratory gyroscope sensor
JP2000180466A (ja) 直線加速度計
RU2662456C2 (ru) Способ непрерывного съёма навигационной информации с кориолисова вибрационного гироскопа
RU2659097C2 (ru) Способ компенсации погрешности от углового ускорения основания для кориолисова вибрационного гироскопа с непрерывным съёмом навигационной информации
US20100327693A1 (en) Miniature mechanical resonator device
JPH08247770A (ja) 振動ジャイロ
JPH0980069A (ja) 加速度センサ
JPS6061613A (ja) 円筒振動式角速度計