UA7111C2 - Способ ионного распыления и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Info

Publication number
UA7111C2
UA7111C2 UA94010085A UA94010085A UA7111C2 UA 7111 C2 UA7111 C2 UA 7111C2 UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 7111 C2 UA7111 C2 UA 7111C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
ion
beam sputtering
realization
sputtering
plasmagenerative
Prior art date
Application number
UA94010085A
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Inventor
Данило Андрійович Дудко
Даниил Андреевич Дудко
Михайло Валеріанович Кузнецов
Михаил Валерьянович Кузнецов
Людмила Данилівна Кістерська
Людмила Даниловна Кистерская
Original Assignee
Данило Андрійович Дудко
Даниил Андреевич Дудко
Михайло Валеріанович Кузнецов
Михаил Валерьянович Кузнецов
Людмила Данилівна Кістерська
Людмила Даниловна Кистерская
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Данило Андрійович Дудко, Даниил Андреевич Дудко, Михайло Валеріанович Кузнецов, Михаил Валерьянович Кузнецов, Людмила Данилівна Кістерська, Людмила Даниловна Кистерская filed Critical Данило Андрійович Дудко
Priority to UA94010085A priority Critical patent/UA7111C2/ru
Publication of UA7111C2 publication Critical patent/UA7111C2/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Способ ионного распыления основан на подаче плазмообразующего газа через сопло непосредственно на распыляемую поверхность мишени-катода. Изобретение относится к области получения покрытий и обработки материалов в вакууме и может быть использованным в ионных распылительных системах для высокоэффективного напыления токопроводящих, защитных, износостойких, декоративных покрытий на труднодоступные места различных изделий.
UA94010085A 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления UA7111C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94010085A UA7111C2 (ru) 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94010085A UA7111C2 (ru) 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA7111C2 true UA7111C2 (ru) 2000-11-15

Family

ID=74367957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA94010085A UA7111C2 (ru) 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA7111C2 (ru)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA020407B1 (ru) * 2012-12-14 2014-10-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" Асептическая повязка из волокнистых материалов с тонкопленочным серебром
RU170029U1 (ru) * 2016-12-09 2017-04-12 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") Устройство для создания потока металлической плазмы
RU2691357C1 (ru) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Устройство для ионно-плазменного напыления
RU199380U1 (ru) * 2020-02-10 2020-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" Узел нагрева и позиционирования подложек
RU213627U1 (ru) * 2022-03-04 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Держатель изделий, имеющих сквозную полость

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA020407B1 (ru) * 2012-12-14 2014-10-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" Асептическая повязка из волокнистых материалов с тонкопленочным серебром
RU170029U1 (ru) * 2016-12-09 2017-04-12 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") Устройство для создания потока металлической плазмы
RU2691357C1 (ru) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Устройство для ионно-плазменного напыления
RU199380U1 (ru) * 2020-02-10 2020-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" Узел нагрева и позиционирования подложек
RU213627U1 (ru) * 2022-03-04 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Держатель изделий, имеющих сквозную полость
RU213628U1 (ru) * 2022-03-22 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU727578C (en) Process for applying protective and decorative coating on an article
CA2155928A1 (en) Plastic articles of reduced gas transmission and method therefor
TW358978B (en) Method to etch a destruction-area on a semiconductor substrate-edge as well as an etching equipment
AU4767993A (en) Ballistic-resistant article and process for making the same
AU582989B2 (en) Multiple port plasma spray apparatus and method for providing sprayed abradable coatings
MY131283A (en) Method for applying a lubricious coating to an article
AU5314394A (en) Article depositing apparatus
AU3009092A (en) Method and apparatus for controlling the cutting and placement of components on a moving substrate, and article made therewith
MY113941A (en) Web for absorbent articles having a textured wearer-contacting surface
AU7589694A (en) Abrasive article, a process for its manufacture, and a method of using it to reduce a workpiece surface
AU8121794A (en) Textured surface effect fabric and methods of manufacture
AU7778894A (en) Abrasive article having precise lateral spacing between abrasive composite members
AU5317196A (en) Scouring articles and process for the manufacture of same
AU6333396A (en) Ornamental feature with apparel or carrying article
AU2360897A (en) Method of producing opaque adherent coating on the surface of substantially hydrated cemetitious substrate
AU587029B2 (en) Aziridine-treated articles
EP0752293A3 (en) Diamond coated article and process for its preparation
AU4080297A (en) Method for attaching a fastener to a surface treating article, and such an article having a fastener
AU6920587A (en) A method and article for environmentally protecting an elongate substrate
AU6628294A (en) Method and apparatus for coating three dimensional articles
AU1708992A (en) Apparatus and methods for coating objects with liquified coatings
AU7998894A (en) Article and method for protecting substrates
GB2263524A (en) A method of coating a plastic pipe and a plastic pipe coated by the method
CA2088792A1 (en) Coating of a roll in a paper machine using hypersonic plasma
UA7111C2 (ru) Способ ионного распыления и устройство для его осуществления