UA7111C2 - Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof - Google Patents

Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof

Info

Publication number
UA7111C2
UA7111C2 UA94010085A UA94010085A UA7111C2 UA 7111 C2 UA7111 C2 UA 7111C2 UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 7111 C2 UA7111 C2 UA 7111C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
ion
beam sputtering
realization
sputtering
plasmagenerative
Prior art date
Application number
UA94010085A
Other languages
Russian (ru)
Ukrainian (uk)
Inventor
Данило Андрійович Дудко
Даниил Андреевич Дудко
Михайло Валеріанович Кузнецов
Михаил Валерьянович Кузнецов
Людмила Данилівна Кістерська
Людмила Даниловна Кистерская
Original Assignee
Данило Андрійович Дудко
Даниил Андреевич Дудко
Михайло Валеріанович Кузнецов
Михаил Валерьянович Кузнецов
Людмила Данилівна Кістерська
Людмила Даниловна Кистерская
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Данило Андрійович Дудко, Даниил Андреевич Дудко, Михайло Валеріанович Кузнецов, Михаил Валерьянович Кузнецов, Людмила Данилівна Кістерська, Людмила Даниловна Кистерская filed Critical Данило Андрійович Дудко
Priority to UA94010085A priority Critical patent/UA7111C2/en
Publication of UA7111C2 publication Critical patent/UA7111C2/en

Links

Abstract

A method for ion-beam sputtering is based on supplying of plasmagenerative gas through the nozzle directly at the spraying surface of target-cathode. The invention relates to the field of covering formation and treating of materials in the vacuum and could be used in ion-beam sputtering systems for high-performance sputtering of conducting, protective, wearproof, decorative coverings at the difficult of access places of various articles.
UA94010085A 1993-12-10 1993-12-10 Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof UA7111C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94010085A UA7111C2 (en) 1993-12-10 1993-12-10 Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94010085A UA7111C2 (en) 1993-12-10 1993-12-10 Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA7111C2 true UA7111C2 (en) 2000-11-15

Family

ID=74367957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA94010085A UA7111C2 (en) 1993-12-10 1993-12-10 Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA7111C2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA020407B1 (en) * 2012-12-14 2014-10-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" Aseptic dressing from fibrous materials comprising thin-filmed silver
RU170029U1 (en) * 2016-12-09 2017-04-12 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") DEVICE FOR CREATING A METAL PLASMA FLOW
RU2691357C1 (en) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Device for ion-plasma sputtering
RU199380U1 (en) * 2020-02-10 2020-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" UNIT OF HEATING AND POSITIONING OF SUBSTRATES
RU213627U1 (en) * 2022-03-04 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") The holder of products having a through cavity

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA020407B1 (en) * 2012-12-14 2014-10-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" Aseptic dressing from fibrous materials comprising thin-filmed silver
RU170029U1 (en) * 2016-12-09 2017-04-12 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") DEVICE FOR CREATING A METAL PLASMA FLOW
RU2691357C1 (en) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Device for ion-plasma sputtering
RU199380U1 (en) * 2020-02-10 2020-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" UNIT OF HEATING AND POSITIONING OF SUBSTRATES
RU213627U1 (en) * 2022-03-04 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") The holder of products having a through cavity
RU213628U1 (en) * 2022-03-22 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Electrically conductive holder for a non-conductive product with a through cylindrical cavity

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU727578C (en) Process for applying protective and decorative coating on an article
CA2155928A1 (en) Plastic articles of reduced gas transmission and method therefor
TW358978B (en) Method to etch a destruction-area on a semiconductor substrate-edge as well as an etching equipment
AU4767993A (en) Ballistic-resistant article and process for making the same
MY131283A (en) Method for applying a lubricious coating to an article
AU5314394A (en) Article depositing apparatus
AU3009092A (en) Method and apparatus for controlling the cutting and placement of components on a moving substrate, and article made therewith
AU7589694A (en) Abrasive article, a process for its manufacture, and a method of using it to reduce a workpiece surface
AU8121794A (en) Textured surface effect fabric and methods of manufacture
AU7778894A (en) Abrasive article having precise lateral spacing between abrasive composite members
AU6333396A (en) Ornamental feature with apparel or carrying article
AU587029B2 (en) Aziridine-treated articles
AU7016596A (en) Free form article by layer deposition
AU4080297A (en) Method for attaching a fastener to a surface treating article, and such an article having a fastener
AU6628294A (en) Method and apparatus for coating three dimensional articles
AU4408693A (en) Composite article
EP0660138A3 (en) Transparent article and process for producing the same.
AU7998894A (en) Article and method for protecting substrates
GB2263524A (en) A method of coating a plastic pipe and a plastic pipe coated by the method
CA2088792A1 (en) Coating of a roll in a paper machine using hypersonic plasma
UA7111C2 (en) Method for ion-beam sputtering and device for realization thereof
CA2047827A1 (en) Rotatable disc, apparatus containing the same, and method of using the same to remove heat softenable surface coverings
AU5098293A (en) Method for plasma processing at high pressures
AU2920989A (en) Process and device for continuously coating workpieces
AU4667896A (en) Confinement method and device, in particular for a special atmosphere in a space for continuously processing articles fed therethrough