RU213628U1 - Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью - Google Patents
Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью Download PDFInfo
- Publication number
- RU213628U1 RU213628U1 RU2022107668U RU2022107668U RU213628U1 RU 213628 U1 RU213628 U1 RU 213628U1 RU 2022107668 U RU2022107668 U RU 2022107668U RU 2022107668 U RU2022107668 U RU 2022107668U RU 213628 U1 RU213628 U1 RU 213628U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- product
- holder
- cylindrical cavity
- electrically conductive
- coating
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective Effects 0.000 description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N Cesium Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000004544 DC2 Anatomy 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N Zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002530 ischemic preconditioning Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Полезная модель относится к устройствам для позиционирования изделий при нанесении покрытий в установках, работающих по методу конденсации с ионной бомбардировкой (КИБ). Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью, позиционируемого в камере установки для нанесения покрытия методом конденсации с ионной бомбардировкой, выполнен с возможностью расположения внутри цилиндрической полости изделия с зазорами, снабжен упорами для контактирования с внутренней поверхностью изделия и ограничителями, обеспечивающими позиционирование изделия по его длине. В частном случае осуществления полезной модели электропроводный держатель имеет упоры, выполненные в виде поясков. Обеспечивается усовершенствование конструкции держателя изделий для нанесения покрытий на изделия, выполненные из материалов, не обладающих электропроводностью и имеющих сквозную открытую полость цилиндрической формы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Полезная модель относится к устройствам для позиционирования изделий при нанесении покрытий. Устройство предусматривает, что изделия выполнены из материалов, не обладающих электропроводностью, например, из стекла, и имеют сквозную цилиндрическую полость.
Уровень развития техники известен из решения [US 4558388 А, С23С 14/50, Опубликовано 10.12.1985]. Данное решение описывает способ нанесения покрытия и устройство для реализации способа. Устройство для нанесения покрытия в нем выполнено двухкамерным в вертикальной плоскости. Заготовка изделия, выполненного предпочтительно в виде жесткого немагнитного алюминиевого диска, перемещается специальным лезвием вертикально между камерой вакуумной обработки и камерой нанесения вакуумного напыления и обратно. Устройство сопряжено в горизонтальной плоскости со специальным сектором для остывания изделий после нанесения покрытия.
Недостатком данного решения является ограниченная область его применения (диски для компьютеров) и сложность нанесения покрытия.
Наиболее близким к заявляемому решению является решение [Патент РФ №154036 МПК С23С 14/00 от 10.08.2015, Бюл. №22]. В нем предложено устройство для формирования локальной зоны для нанесения металлического покрытия на наружной поверхности защитной трубчатой оболочки, выполненной из лейкосапфира газоразрядной лампы с цезиевым наполнением, содержащее вертикально установленный с возможностью вращения вокруг своей оси металлический стержневой держатель, предназначенный для размещения на нем упомянутой оболочки с примыканием внутренней ее части к наружной поверхности держателя, маску, соосную с держателем и состоящую из полого металлического цилиндра и металлического диска, расположенных соответственно на держателе у противоположных концов упомянутой оболочки, при этом на конце держателя, на котором расположен полый цилиндр маски, выполнена кольцевая ступень, а упомянутый цилиндр маски с внутренней стороны имеет кольцевую ступень и закреплен на держателе с примыканием одной стороны ступени к кольцевой ступени держателя, а другой - к оболочке, а металлический диск выполнен со сквозным отверстием, в котором жестко закреплен держатель оболочки посредством фиксирующего элемента, и с кольцевой ступенью на торцевой поверхности со стороны примыкания к нему наружной поверхности упомянутой оболочки, при этом обращенные друг к другу торцы диска и цилиндра расположены на расстоянии, соответствующем заданной длине зоны нанесения металлического покрытия на наружной поверхности упомянутой оболочки, а полый цилиндр маски выполнен длиной, выбранной из условия обеспечения экранирования упомянутой оболочки за исключением зоны нанесения на нее покрытия.
Недостатком данного решения является ограниченная область его применения, т.е. нанесение металлического покрытия обеспечивается только на наружной поверхности защитной трубчатой оболочки, выполненной из лейкосапфира.
Техническим результатом заявляемого решения является усовершенствование конструкции держателя изделий для обеспечения возможности нанесения покрытий на изделия, выполненные из материалов, не обладающих электропроводностью и имеющих сквозную (открытую) цилиндрическую полость.
Технический результат достигается тем, что держатель выполнен из электропроводного теплопроводного (теплоемкого) материала и выполнен с возможностью расположения внутри цилиндрической полости изделия. Его размеры меньше соответствующих размеров внутренней поверхности изделия для того, чтобы образовать зазоры. Зазоры выполнены везде за исключением мест, в которых держатель контактирует с внутренней поверхностью изделия. Эти места образованы за счет наличия у держателя упоров, выполнениях, например, в виде поясков.
Принцип достижения технического результата основан на том, что под воздействием потока ионов, испаряемых с поверхности катода в камере для нанесения покрытий по методу конденсации с ионной бомбардировкой, под действием электрического потенциала между держателем (с нему подведен электрический ток, он электропроводен) и катодом держатель разогревается до необходимой температуры и передает свое тепло материалу изделия, при этом на поверхностях изделия оседает покрытие.
Таким образом, заявляемое решение, как и в прототип, представляет собой электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью, позиционируемого в камере установки для нанесения покрытия методом конденсации с ионной бомбардировкой
Однако заявляемый держатель отличается тем, что он выполнен с возможностью расположения внутри цилиндрической полости изделия с зазорами, снабжен упорами для контактирования с внутренней поверхностью изделия и ограничителями, обеспечивающими позиционирование изделия по его длине. При этом упомянутые упоры выполнены в виде поясков.
На фигуре представлена принципиальная схема и расположение держателя в камере для нанесения покрытия.
Держатель 1 установлен на опору 2, монтируемую на столе камеры установки, предназначенной для нанесения покрытия. На держатель 1 установлено неэлектропроводное изделие 3. Размеры держателя меньше размеров полости изделия на величину зазоров 4 за исключением тех мест, где зазоров нет в силу того, что держатель снабжен упорами (поясками) 5. Эти упоры выполнены в качестве ограничителей перемещений изделия на держателе. Размеры и форма поясков и ограничителя роли не играют. Они могут быть сплошными, с прорезями, со сквозными отверстиями и т.д.
С позиций обеспечения равных величин зазоров 4 целесообразно исполнение упоров в виде поясков по всей окружности держателя.
Чем больше объем держателя, тем больше он передаст тепла изделию, тем больше нагреется изделие, тем выше будет прочность сцепления покрытия с изделием.
К опоре подведен токопровод 6. Камеру установки вакуумируют, опоре 2 задают вращение (либо вращают стол установки, на котором установлены несколько опор с изделиями), между токопроводом 6 опоры 2 и катодом 7 задают необходимый электрический потенциал U, зажигают искру на катоде, камеру установки заполняют газом, например, азотом, ионы испаряемого катода 7, проходя через газовую среду, воздействуют на материал держателя и нагревают его до необходимой температуры. Тепло от держателя передается материалу изделия, ионы испаряемого катода оседают на наружной поверхности изделий в виде покрытия, например, нитрида циркония, титана и т.д.
В качестве материала держателя можно использовать разные материалы, например, сформованную (она измельчена, спрессована) стружку, образующуюся при обработке сталей резанием. Стружка должна быть очищена и промыта. Более технологично изготавливать держатель из дробленного лома твердого сплава, который спечен в нужные размеры по методу порошковой металлургии. Такой материал держателя позволяет нагреть держатель до более высоких (чем при использовании стружки) температур, что способствует повышению прочности сцепления покрытия с поверхностью изделия.
Для ограничения местоположения изделия по высоте относительно держателя он снабжен внизу ограничителями 8.
Claims (2)
1. Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью, позиционируемого в камере установки для нанесения покрытия методом конденсации с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что он выполнен с возможностью расположения внутри цилиндрической полости изделия с зазорами, снабжен упорами для контактирования с внутренней поверхностью изделия и ограничителями, обеспечивающими позиционирование изделия по его длине.
2. Электропроводный держатель по п. 1, отличающийся тем, что упомянутые упоры выполнены в виде поясков.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU213628U1 true RU213628U1 (ru) | 2022-09-20 |
Family
ID=
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2416273A1 (fr) * | 1978-01-31 | 1979-08-31 | Inst T Avtomobilno | Dispositif d'application de revetements sous vide |
US6103070A (en) * | 1997-05-14 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Powered shield source for high density plasma |
UA7111C2 (ru) * | 1993-12-10 | 2000-11-15 | Данило Андрійович Дудко | Способ ионного распыления и устройство для его осуществления |
RU2437964C2 (ru) * | 2010-01-11 | 2011-12-27 | Вера Дмитриевна Мирошникова | Подложкодержатель и установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления на его основе |
RU154036U1 (ru) * | 2014-12-02 | 2015-08-10 | Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" | Устройство для формирования локальной зоны для нанесения металлического покрытия на наружной поверхности защитной трубчатой оболочки из лейкосапфира газоразрядной лампы с цезиевым наполнением |
RU162503U1 (ru) * | 2015-11-17 | 2016-06-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Подложкодержатель |
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2416273A1 (fr) * | 1978-01-31 | 1979-08-31 | Inst T Avtomobilno | Dispositif d'application de revetements sous vide |
UA7111C2 (ru) * | 1993-12-10 | 2000-11-15 | Данило Андрійович Дудко | Способ ионного распыления и устройство для его осуществления |
US6103070A (en) * | 1997-05-14 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Powered shield source for high density plasma |
RU2437964C2 (ru) * | 2010-01-11 | 2011-12-27 | Вера Дмитриевна Мирошникова | Подложкодержатель и установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления на его основе |
RU154036U1 (ru) * | 2014-12-02 | 2015-08-10 | Закрытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро "ЗЕНИТ" | Устройство для формирования локальной зоны для нанесения металлического покрытия на наружной поверхности защитной трубчатой оболочки из лейкосапфира газоразрядной лампы с цезиевым наполнением |
RU162503U1 (ru) * | 2015-11-17 | 2016-06-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Подложкодержатель |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100420352C (zh) | 产生极紫外辐射或软x射线辐射的方法和设备 | |
US6171461B1 (en) | Sputtering cathode | |
US4865712A (en) | Apparatus for manufacturing planarized aluminum films | |
US4661228A (en) | Apparatus and method for manufacturing planarized aluminum films | |
US4595482A (en) | Apparatus for and the method of controlling magnetron sputter device having separate confining magnetic fields to separate targets subject to separate discharges | |
US4657654A (en) | Targets for magnetron sputter device having separate confining magnetic fields to separate targets subject to separate discharges | |
JP4810351B2 (ja) | ガス放電による放射線発生装置 | |
KR20210000756A (ko) | 물리 기상 증착 프로세스들에서 이온 프랙션을 제어하기 위한 방법들 및 장치 | |
CN1308771A (zh) | 用于离子化物理气相淀积的方法和装置 | |
JPS6255931A (ja) | 金属ケイ化物接点の形成方法及びそのためのスパツタリング装置 | |
JP2014158009A (ja) | 熱処理装置 | |
RU213628U1 (ru) | Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью | |
JPH11501766A (ja) | 接触部材の製造方法及び装置 | |
CN110396664B (zh) | 接地环、腔室以及物理气相沉积设备 | |
US9702627B2 (en) | High temperature vacuum furnace heater element support assembly | |
RU213627U1 (ru) | Держатель изделий, имеющих сквозную полость | |
US4246434A (en) | Work support for vacuum electric furnaces | |
CN102296274B (zh) | 用于阴极弧金属离子源的屏蔽装置 | |
CN109686631B (zh) | 一种阵列多孔空心阴极放电电子源 | |
CN114059024A (zh) | 一种等离子物理气相沉积用喷枪及热障涂层制备方法 | |
CN207701304U (zh) | 一种能降低真空电弧推力器起弧能量的无触发式电极 | |
JP2000319780A (ja) | スパッタリングカソード及びこれを備えたマグネトロン型スパッタリング装置 | |
US3824039A (en) | Sublimable targets | |
US2677770A (en) | Ion source | |
RU2220905C2 (ru) | Устройство для получения углеродных нанотрубок методом дугового разряда |