UA36209C2 - Способ создания голографической дифракционной решетки - Google Patents
Способ создания голографической дифракционной решетки Download PDFInfo
- Publication number
- UA36209C2 UA36209C2 UA99116251A UA99116251A UA36209C2 UA 36209 C2 UA36209 C2 UA 36209C2 UA 99116251 A UA99116251 A UA 99116251A UA 99116251 A UA99116251 A UA 99116251A UA 36209 C2 UA36209 C2 UA 36209C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- layer
- ethylenediamine
- acetone
- exposure
- gdh
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 66
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 17
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000005387 chalcogenide glass Substances 0.000 claims description 19
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 claims description 10
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 5
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 17
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 14
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 description 5
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 3
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000029087 digestion Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 2
- 239000004009 herbicide Substances 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 230000002363 herbicidal effect Effects 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000002678 macrocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003362 replicative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Предлагаемый способ создания голографической дифракционной решетки может быть использован для голографической защиты промышленных товаров и ценных бумаг, в оптических приборах и других областях. Предлагаемый способ заключается в том, что в вакуумной среде на подложку наносят адгезионный слой и слой резиста из халькогенидного стекла, соответствующий тройной системе As40S60-xSex, где 20 , x 40, подвергают подложку воздействию когерентного лазерного излучения, избирательному травлению в растворе, содержащем этилендиамин, ацетон, глицерин и диметилсульфоксид при следующем содержании компонентов (в процентах по объему): этилендиамин - 5 … 30 %, ацетон 55 … 90 %, глицерин - 2 … 8 %, диметилсульфоксид - остальная часть. Для улучшения характеристик дифракционной решетки используется покрытие слоем с большим коэффициентом отражения. Предлагаемый способ позволяет улучшить показатели технологического процесса создания дифракционной решетки. Использование стабильного слоя резиста со структурой тройной системы и травильного раствора для обработки подложки позволяет формировать дифракционные решетки с синусоидальными штрихами и копировать дифракционные решетки в условиях промышленного производства.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA99116251A UA36209C2 (ru) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | Способ создания голографической дифракционной решетки |
| RU99125577A RU2165637C1 (ru) | 1999-11-17 | 1999-12-03 | Способ изготовления голографических дифракционных решеток |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA99116251A UA36209C2 (ru) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | Способ создания голографической дифракционной решетки |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA36209C2 true UA36209C2 (ru) | 2003-01-15 |
Family
ID=21689411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA99116251A UA36209C2 (ru) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | Способ создания голографической дифракционной решетки |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2165637C1 (ru) |
| UA (1) | UA36209C2 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2389048C2 (ru) * | 2008-01-29 | 2010-05-10 | Сергей Николаевич Максимовский | Способ получения на листовом материале дифракционной решетки из монокристаллов металлов, их сплавов, полупроводников и устройство для его осуществления |
| MD341Z (ru) * | 2010-07-30 | 2011-09-30 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ изготовления рельефных голографических дифракционных решеток |
| WO2013125933A2 (ru) * | 2012-02-22 | 2013-08-29 | Даугавпилсский Университет | Халькогенидный as-se-s электронный резист |
-
1999
- 1999-11-17 UA UA99116251A patent/UA36209C2/ru unknown
- 1999-12-03 RU RU99125577A patent/RU2165637C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2165637C1 (ru) | 2001-04-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5004673A (en) | Method of manufacturing surface relief patterns of variable cross-sectional geometry | |
| DE3856458T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Hologrammen und Beugungsgittern | |
| US4402571A (en) | Method for producing a surface relief pattern | |
| DE1597803B2 (de) | Photomaske zum belichten ausgewaehlter teile einer licht empfindlichen schicht | |
| Hajto et al. | Interference grating fabrication in spin-coated As2S3 films | |
| Jeudy et al. | Spectral photosensitization of a variable index material for recording phase holograms with high efficiency | |
| UA36209C2 (ru) | Способ создания голографической дифракционной решетки | |
| US4087281A (en) | Method of producing optical image on chromium or aluminum film with high-energy light beam | |
| JPH06138666A (ja) | レジスト現像液 | |
| KR880009292A (ko) | 전자선 또는 x-선 조사에 의한 레지스트 미세패턴 형성 방법 | |
| US4866696A (en) | Pre-formatted moth-eye type optical data storage member and method | |
| Ganzherli et al. | The transfer of a holographic structure from dihromated gelatin layers on a polymethylmethacrylate substrate | |
| RU2165902C1 (ru) | СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ НЕГАТИВНОГО СЕЛЕКТИВНОГО ТРАВИТЕЛЯ ДЛЯ РЕЗИСТНЫХ СЛОЕВ ХАЛЬКОГЕНИДНОГО СТЕКЛА As2S3 | |
| Sjölinder | Bandwidth in dichromated gelatin holographic filters | |
| JPH0798404A (ja) | 回折格子の製造方法 | |
| Süptitz et al. | Lateral diffusion of photodoped silver in amorphous Ge25 Se75 layers | |
| JPH0456284B2 (ru) | ||
| JPH06332355A (ja) | ホログラム、ホログラム加工方法及びそのための膨潤フィルム | |
| CA1116005A (en) | Photochromic aziridine recording media | |
| JPS5680133A (en) | Formation of pattern | |
| Olivares-Perez et al. | Holographic material composed by dichromated gelatin with vanilla | |
| RU2029331C1 (ru) | Способ изготовления голограмм | |
| Sunil et al. | Holographic deposition of gratings in glass | |
| JPS60146282A (ja) | ホログラムの製造方法 | |
| Danko et al. | Technique for production of holographic diffraction gratings based on inorganic vacuum photoresists |