Днепропетровский Государственный Аграрный Университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дніпропетровський Державний Аграрний Університет, Днепропетровский Государственный Аграрный УниверситетfiledCriticalДніпропетровський Державний Аграрний Університет
Priority to UA98052723ApriorityCriticalpatent/UA30545A/uk
Publication of UA30545ApublicationCriticalpatent/UA30545A/uk
Винахід відноситься до рецептури абразивних паст, призначених для доводки і притирання металевих поверхонь і може бути використаний в технології обробки металів. Абразивна паста містить абразив і стеарин. Додатково містить олігоуретанакрилат і мінеральне мастило.
Copper chemical-mechanical polishing process using a fixed abrasive polishing pad and a copper layer chemical-mechanical polishing solution specifically adapted for chemical-mechanical polishing with a fixed abrasive pad