Днепропетровский Государственный Аграрный Университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дніпропетровський Державний Аграрний Університет, Днепропетровский Государственный Аграрный УниверситетfiledCriticalДніпропетровський Державний Аграрний Університет
Priority to UA98052723ApriorityCriticalpatent/UA30545A/ru
Publication of UA30545ApublicationCriticalpatent/UA30545A/ru
Изобретение относится к рецептуре абразивных паст, предназначенных для доводки и притирки металлических поверхностей и может быть использовано в технологии обработки металлов. Абразивная паста содержит абразив и стеарин. Дополнительно содержит олигоуретанакрилат и минеральное масло.
Copper chemical-mechanical polishing process using a fixed abrasive polishing pad and a copper layer chemical-mechanical polishing solution specifically adapted for chemical-mechanical polishing with a fixed abrasive pad