UA19443A - Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі - Google Patents

Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі

Info

Publication number
UA19443A
UA19443A UA94052407A UA94052407A UA19443A UA 19443 A UA19443 A UA 19443A UA 94052407 A UA94052407 A UA 94052407A UA 94052407 A UA94052407 A UA 94052407A UA 19443 A UA19443 A UA 19443A
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
vacuum
coverings
application
anode
substrate holder
Prior art date
Application number
UA94052407A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Валерій Вікторович Перемітько
Валерий Викторович Перемитько
Вадим Петрович Федічев
Вадим Петрович Федичев
RU Hєровний Вячеслав Міхайловіч
RU Ямпольскій Віктор Модестовіч
Original Assignee
Дніпродзержинський Індустріальний Інститут
Днепродзержинский индустриальный институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дніпродзержинський Індустріальний Інститут, Днепродзержинский индустриальный институт filed Critical Дніпродзержинський Індустріальний Інститут
Priority to UA94052407A priority Critical patent/UA19443A/uk
Publication of UA19443A publication Critical patent/UA19443A/uk

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Винахід належить до технології отримання покриттів у вакуумі. Пристрій містить співвісно розміщені витратний електрод, порожнистий катод, анод і підкладкотримач, а також джерело живлення. Підкладкотримач суміщений з анодом, а порожнистий катод розміщений під витратним електродом.
UA94052407A 1994-05-16 1994-05-16 Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі UA19443A (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94052407A UA19443A (uk) 1994-05-16 1994-05-16 Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94052407A UA19443A (uk) 1994-05-16 1994-05-16 Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA19443A true UA19443A (uk) 1997-12-25

Family

ID=74538563

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA94052407A UA19443A (uk) 1994-05-16 1994-05-16 Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA19443A (uk)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2782102C1 (ru) * 2022-04-01 2022-10-21 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ Ti-Al, СИНТЕЗИРОВАННОГО В СРЕДЕ АЗОТА И АЦЕТИЛЕНА

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2782102C1 (ru) * 2022-04-01 2022-10-21 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ Ti-Al, СИНТЕЗИРОВАННОГО В СРЕДЕ АЗОТА И АЦЕТИЛЕНА

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU573660B2 (en) Plasma arc torch
EP0893405A3 (en) Ozone generating apparatus
DE69839911D1 (uk)
AU4919199A (en) Electrochemiluminescence cell with floating reaction electrodes
ID28594A (id) Sel bahan bakar yang dioperasikan pengelas
ATE333302T1 (de) Reservoirelektrode zur iontophorese und methode zur herstellung der reservoirelektrode
CA2524554A1 (en) Electrical energy from a wellbore light cell
GB2325939A (en) Thermally conductive chuck for vacuum processor
HK1045217A1 (en) Opto-electrical devices
DE3662570D1 (en) Direct current power supply with an adjustable operating point
ATE450635T1 (de) Elektrochemische herstellung von peroxo- dischwefelsäure unter einsatz von diamantbeschichteten elektroden
PL296974A1 (en) Electrode suitable for use as cathode in an electrolyzer
TW353813B (en) Electroluminescent layer system
AU6298298A (en) Double layer high power capacitor comprising a liquid organic electrolyte
SE7903624L (sv) Osmeltande elektrod for plasmabagsvetsning och forfarande for framstellning derav
AU6488390A (en) Electroplating cell anode
WO1998039791A3 (de) Kalte elektrode für gasentladungen
UA19443A (uk) Пристрій для hаhесеhhя покрить у вакуумі
CA2048470A1 (en) Plasma processing apparatus having an electrode enclosing the space between cathode and anode
GB9602620D0 (en) Electrochemical method and electrode
ITMI931959A1 (it) Dispositivo di cortocircuitazione, particolarmente per elettrolizzatori mono e bipolari e simili
JPS553169A (en) Character display unit
AU6396986A (en) Electrolytic apparatus and a method of operating it
TW373210B (en) Electron tube having a semiconductor cathode
AU5485098A (en) Electrolytic cell with bipolar electrodes