UA121969C2 - COMBINED GAS DISCHARGE ELECTRONIC RADIANT HEATER - Google Patents
COMBINED GAS DISCHARGE ELECTRONIC RADIANT HEATER Download PDFInfo
- Publication number
- UA121969C2 UA121969C2 UAA201611080A UAA201611080A UA121969C2 UA 121969 C2 UA121969 C2 UA 121969C2 UA A201611080 A UAA201611080 A UA A201611080A UA A201611080 A UAA201611080 A UA A201611080A UA 121969 C2 UA121969 C2 UA 121969C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- gas
- guns
- discharge
- nozzles
- vacuum
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 16
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 8
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 3
- 241001417527 Pempheridae Species 0.000 claims 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 abstract description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000007670 refining Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
Винахід належить до електронної техніки, а саме до розробки газорозрядних електронних нагрівачів, і може знайти вживання у спеціальній електрометалургії, переважно в потужних плавильних установках для плавки і рафінування тугоплавких і хімічно активних металів, а також кремнію, міді, сплавів на основі заліза, нікелю, кобальту. Комбінований газорозрядний електронно-променевий нагрівач складається з низьковакуумної та середньовакуумної газорозрядних електронних гармат, що мають загальний променевід, виконаний у вигляді трійника, два патрубки якого герметично стикуються з металевими корпусами гармат, а третій патрубок герметично стикується з технологічною камерою. На патрубках розміщені котушки фокусування, повороту та відхилення променя. Технічним результатом винаходу є проведення технологічного процесу у вельми широкому діапазоні зміни тиску залишкових газів в технологічних камерах плавильних установок від 1000 Па до 10-3 Па, що повинно сприяти помітному підвищенню продуктивності. Нагрівач відрізняється також порівняльною простотою конструктивного виконання, що забезпечує можливість його виготовлення без використання спеціального обладнання.The invention relates to electronic technology, namely to the development of gas-discharge electronic heaters, and can be used in special electrometallurgy, mainly in powerful smelters for smelting and refining of refractory and chemically active metals, as well as silicon, copper, alloys based on iron, nickel, cobalt. The combined gas-discharge electron-beam heater consists of low-vacuum and medium-vacuum gas-discharge electronic guns having a common beam made in the form of a tee, two nozzles of which are hermetically connected to the metal bodies of guns, and the third nozzle is hermetically connected to the process chamber. Focusing, turning and deflection coils are placed on the nozzles. The technical result of the invention is to carry out the process in a very wide range of changes in the pressure of residual gases in the process chambers of smelters from 1000 PA to 10-3 PA, which should contribute to a significant increase in productivity. The heater is also relatively simple in design, which provides the possibility of its manufacture without the use of special equipment.
Description
Винахід належить до електронної техніки, а саме до розробки газорозрядних електронних нагрівачів, і може знайти вживання у спеціальній електрометалургії, переважно в потужних плавильних установках для плавки і рафінування тугоплавких і хімічно активних металів, а також кремнію, міді, сплавів на основі заліза, нікелю, кобальту.The invention belongs to electronic engineering, namely to the development of gas-discharge electronic heaters, and can be used in special electrometallurgy, mainly in powerful melting plants for melting and refining refractory and chemically active metals, as well as silicon, copper, alloys based on iron, nickel, cobalt
Відомі так звані низьковакуумні електронні гармати, які можуть працювати при тиску до 1000The so-called low-vacuum electron guns are known, which can work at pressures up to 1000
Па. Ці гармати складаються з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор із закріпленими на ньому водяним реостатом і високовольтним увідом з роз'ємними ізоляторами, холодний катод, анод, система піддування робочого газу і фокусуючі електроди і до якого приєднаний променевід з розміщеними на ньому котушками систем фокусування і відхилення електронного променя. Вирішення проблеми підвищення робочого тиску в технологічній камері до 1000 Па при використанні цих гармат здійснюється шляхом встановлення впливу на формування електронного променя параметрів залишкового газу, прискорюючої напруги, граничних умов, геометрії області формування електронного променяPas. These guns consist of a hermetically sealed metal housing containing a high-voltage isolator with a fixed water rheostat and a high-voltage sensor with detachable insulators, a cold cathode, an anode, a working gas blowing system and focusing electrodes, and to which is attached a beam guide with coils placed on it electron beam focusing and deflection systems. Solving the problem of increasing the working pressure in the process chamber up to 1000 Pa when using these guns is carried out by establishing the influence of the parameters of the residual gas, accelerating voltage, boundary conditions, geometry of the electron beam formation area on the formation of the electron beam
ПІ.PI.
Недоліком цих гармат є те, що вони стабільно працюють при тиску залишкового газу в технологічній камері в межах 10-20 Па і при його подальшому зниженні перестають функціонувати.The disadvantage of these guns is that they work stably at residual gas pressure in the process chamber within 10-20 Pa and stop functioning when it is further reduced.
Відома також низьковакуумна електронна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор із закріпленим на ньому водяним реостатом, холодний катод з розвиненою емісійною поверхнею і співвісно з ним анод, система піддування робочого газу і фокусуючі електроди і до якого приєднаний променевід з розміщеними на ньому котушками систем фокусування і відхилення електронного променя, в якій катод є водо охолоджуваним металевим блоком, сферична емісійна поверхня якого утворюється вмонтованими в цей блок змінними катодами і який відокремлений від герметичного металевого корпусу високовольтним ізолятором з виконаними у ньому отворами для вказаних змінних катодів, а анод виконаний у вигляді сферичної металевої пластини, яка концентрична поверхні змінних катодів, і захищений від електричного пробою високовольтним ізолятором, і в аноді та ізоляторі аноду виконані отвори, розміщені співвісно и навпроти вказаних змінних катодів (21.A low-vacuum electron gun is also known, which consists of a hermetic metal case, which houses a high-voltage insulator with a water rheostat attached to it, a cold cathode with a developed emission surface and an anode coaxial with it, a working gas blowing system and focusing electrodes, and to which a ray guide with coils of electron beam focusing and deflection systems placed on it, in which the cathode is a water-cooled metal block, the spherical emission surface of which is formed by replaceable cathodes mounted in this block and which is separated from the hermetic metal case by a high-voltage insulator with holes made in it for the specified replaceable cathodes, and the anode is made in the form of a spherical metal plate, which is concentric with the surface of the variable cathodes, and is protected from electric breakdown by a high-voltage insulator, and holes are made in the anode and the anode insulator, located coaxially and opposite the specified variable cathodes (21.
Зо Недоліком цієї гармати залишається той же, що і в розглянутому вище випадку, а саме, вона перестає стійко функціонувати при тиску залишкових газів в технологічній камері менше 10-20The disadvantage of this gun remains the same as in the above case, namely, it ceases to function stably when the pressure of residual gases in the process chamber is less than 10-20
Па.Pas.
Відома також газорозрядна електронна гармата, яка складається з герметичного металевого корпусу, в якому розміщені високовольтний ізолятор, холодний увігнутий катод з розвиненою емісійною поверхнею, співвісний з ним порожнистий анод, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, які виконані в середині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розташовану навколо отвору для проходження електронного пучка, і до цієї плити співвісно приєднаний магнітний екран, мінімальний діаметр отвору в якому збігається з діаметром отвору в аноді, а також герметично приєднаний до корпусу променевід з розміщеними на ньому фокусуючими і відхиляючими котушками, в якій променевід виконано з двох частин у вигляді коліна, перша частина якого приєднана до металевого корпусу, а друга виконана з можливістю стикування з технологічною камерою, кут повороту другої частини променеводу відносно першої вибрано таким, щоб виключити пряме проходження променя через отвір в аноді до тигля, що знаходиться по центру приєднуваної технологічної камери, і друга частина променеводу виконана з можливістю збігання вертикальної осі з центром тигля в приєднуваній технологічній камері, причому фокусуючі котушки розташовано на першій частині променеводу, а на другій його частині розташовані котушки повороту променя на кут повороту другої частини променеводу і котушки відхилення променя |ЗІ.A gas-discharge electron gun is also known, which consists of a hermetic metal case, which houses a high-voltage insulator, a cold concave cathode with a developed emission surface, a hollow anode coaxial with it, the bottom part of which is made in the form of a plate with channels for cooling water, which are made in the middle body of the plate and are interconnected into a single system located around the hole for the passage of the electron beam, and a magnetic screen is coaxially connected to this plate, the minimum diameter of the hole in which coincides with the diameter of the hole in the anode, as well as a radiation guide hermetically connected to the body with placed with focusing and deflecting coils on it, in which the ray guide is made of two parts in the form of a knee, the first part of which is attached to the metal case, and the second is made with the possibility of docking with the technological camera, the angle of rotation of the second part of the ray guide relative to the first is chosen in such a way as to exclude direct passage beam through the hole in the anode d o the crucible, located in the center of the connected technological chamber, and the second part of the beam is made with the possibility of the vertical axis coinciding with the center of the crucible in the connected technological chamber, and the focusing coils are located on the first part of the beam, and on the second part of it are the coils for turning the beam to the angle of rotation of the second part of the ray guide and the beam deflection coil |ZI.
Недоліком цієї гармати залишається той же, що і в розглянутих вище випадках, тобто гармата перестає функціонувати при тиску залишкового газу в технологічній камері менш за 10- 20 Па.The disadvantage of this gun remains the same as in the cases discussed above, that is, the gun stops functioning when the residual gas pressure in the process chamber is less than 10-20 Pa.
В основу винаходу поставлена задача забезпечити працездатність електронно-променевого нагрівача при зміні тиску залишкових газів в технологічній камері в діапазоні від 1000 Па до 103The basis of the invention is the task of ensuring the efficiency of the electron beam heater when the pressure of residual gases in the process chamber changes in the range from 1000 Pa to 103
Па, тобто при роботі в низькому і середньому вакуумі. Для цього пропонується комбінований електронно-променевий нагрівач, який складається з низьковакуумної газорозрядної гармати, що включає герметичний металевий корпус з розміщеними в ньому високовольтним ізолятором, холодним катодом у вигляді металевого блока, сферична емісійна поверхня якого утворюється вмонтованими в цей блок змінними катодами і який відокремлений від герметичного металевого 60 корпусу високовольтним ізолятором з виконаними в ньому отворами для вказаних змінних катодів, і анодом, виконаним у вигляді сферичної металевої пластини, яка концентрична поверхні змінних катодів, і захищений від електричного пробою високовольтним ізолятором, і в аноді і ізоляторі виконані отвори, які розміщені співвісно і навпроти вказаних змінних катодів, і системами подачі робочого газу і охолоджуючої води, і з середньовакуумної газорозрядної гармати, яка включає герметичний металевий корпус з розміщеними в ньому високовольтним ізолятором, холодним увігнутим катодом з розвиненою емісійною поверхнею, співвісним з ним порожнистим анодом, донна частина якого виконана у вигляді плити з каналами для охолоджуючої води, які виконані в середині тіла плити і зв'язані між собою в єдину систему, розміщену біля отвору для проходження електронного променя, і системами подачі робочого газу і охолоджуючої води, в якому згідно 3 винаходом вказані низьковакуумна і середньовакуумна газорозрядні електронні гармати мають загальний променевід, виконаний у вигляді трійника, два патрубки якого герметично стикуються з металевими корпусами гармат, а третій патрубок герметично стикується з технологічною камерою, і на трійнику розміщені котушки повороту електронних променів на кути, рівні кутам між патрубками, що стикуються з металевими корпусами гармат, і патрубком, що стикується з технологічною камерою, і на всіх трьох патрубках розміщені котушки фокусування променя, а на патрубку, що стикується з технологічною камерою, - також котушки відхилення (розгортки) променя, причому вказані кути між патрубками можуть бути різними.Pa, that is, when working in low and medium vacuum. For this purpose, a combined electron-beam heater is proposed, which consists of a low-vacuum gas-discharge gun, which includes a sealed metal case with a high-voltage insulator placed in it, a cold cathode in the form of a metal block, the spherical emission surface of which is formed by replaceable cathodes mounted in this block and which is separated from sealed metal 60 housing with a high-voltage insulator with holes made in it for the specified variable cathodes, and an anode made in the form of a spherical metal plate, which is concentric with the surface of the variable cathodes, and is protected from electric breakdown by a high-voltage insulator, and holes are made in the anode and insulator, which are placed coaxially and opposite to the indicated variable cathodes, and the supply systems of working gas and cooling water, and from the medium vacuum gas discharge gun, which includes a sealed metal case with a high-voltage insulator placed in it, a cold concave cathode with a developed emission the upper hollow anode, coaxial with it, the bottom part of which is made in the form of a plate with channels for cooling water, which are made in the middle of the body of the plate and are connected to each other in a single system, placed near the hole for the passage of the electron beam, and working gas supply systems and cooling water, in which, according to the 3rd invention, the specified low-vacuum and medium-vacuum gas-discharge electronic guns have a common beam path made in the form of a tee, two nozzles of which are hermetically connected to the metal housings of the guns, and the third nozzle is hermetically connected to the technological chamber, and the turning coils are placed on the tee electron beams at angles equal to the angles between the nozzles that connect to the metal gun bodies and the nozzle that connects to the technological camera, and on all three nozzles there are beam focusing coils, and on the nozzle that connects to the technological camera, there are also deflection coils (sweeps) of the beam, and the angles between patr ubkam can be different.
Суть винаходу пояснює креслення.The drawing explains the essence of the invention.
Комбінований газорозрядний електронно-променевий нагрівач складається З низьковакуумної газорозрядної гармати 1 і середньовакуумної газорозрядної гармати 2, з металевими корпусами яких герметично стикуються патрубки З і 4 променеводу, виконаного у вигляді трійника 5. Третій патрубок 6 цього трійника герметично стикується з технологічною камерою 7. На всіх трьох патрубках (3, 4 і б) трійника 5 встановлені котушки 8 фокусувань електронного променя 9, що йде від гармат 1 або 2 до об'єкту 10, що обігрівається, встановленому в технологічній камері 7. Поворот променя 9, що йде від гармат 1 або 2 по патрубках З або 4 в патрубок б, здійснюється за допомогою котушок 11, встановлених на трійнику 5, а відхилення променя 9, що надходить в технологічну камеру 7 з патрубка 6, здійснюється за допомогою котушок відхилення 12, встановлених на патрубку 6.The combined gas-discharge electron-beam heater consists of a low-vacuum gas-discharge gun 1 and a medium-vacuum gas-discharge gun 2, with the metal housings of which the nozzles C and 4 of the radiation guide made in the form of a tee 5 are hermetically connected. The third nozzle 6 of this tee is hermetically connected to the technological chamber 7. On all coils 8 for focusing the electron beam 9 coming from guns 1 or 2 to the heated object 10 installed in the technological chamber 7 are installed in the three nozzles (3, 4 and b) of the tee 5. Turning the beam 9 coming from guns 1 or 2 through nozzles C or 4 into nozzle b, is carried out using coils 11 installed on tee 5, and deflection of the beam 9 entering the technological chamber 7 from nozzle 6 is carried out using deflection coils 12 installed on nozzle 6.
Зо Комбінований газорозрядний електронно-променевий нагрівач працює таким чином. Після завершення підготовки установки до плавки і її герметизації при тиску в технологічній камері 7 близько 1000 Па в низьковакуумну газорозрядну гармату 1 подають робочий газ та охолоджуючу воду, а на катод - напругу порядку 30 кВ. Електронний промінь 9, що виникає при цьому в гарматі 1, надходить в патрубок 3, в якому під впливом поля, що наводиться котушкою 8, він фокусується і в трійнику 5 під дією поля, що наводиться котушкою 11, повертає в патрубок б. У патрубку 6 під впливом поля, що наводиться котушкою 8, промінь фокусується і надходить в технологічну камеру 7 до об'єкту 10. При необхідності під впливом поля, що наводиться котушкою 12, здійснюється відхилення променя 9. Гармата 1 продовжує генерувати електронний промінь У аж до зниження тиску в камері 7 до значень порядку 10-100 Па, при якому її робота стає спочатку нестабільною, а потім взагалі може припинитися. У цей період аналогічні описаним вище операції починають здійснювати з гарматою 2, а саме, подають в неї робочий газ та охолоджуючу воду, а на катод гармати - високу напругу до 30 кВ. При тиску в камері 7 приблизно в 10 Па і менше в гарматі 2 генерується електронний промінь 9, який аналогічно описаному вище спочатку надходить в патрубок 4, потім з нього - в патрубок 6 і далі в камеру 7 до об'єкта 10. При цьому на всьому шляху проходження променя 9 він фокусується в патрубках 4 і 6 під дією полів, що наводяться котушками 8, а в патрубку б може відхилятися під впливом полів, що наводяться котушкою 12. Таким чином, гармата 1 забезпечує генерування електронного променя при низькому вакуумі в технологічній камері 7, а гармата 2 - при середньому.The combined gas-discharge electron-beam heater works as follows. After completing the installation preparation for melting and its sealing at a pressure in the technological chamber 7 of about 1000 Pa, working gas and cooling water are supplied to the low-vacuum gas discharge gun 1, and a voltage of the order of 30 kV is applied to the cathode. Electron beam 9, which occurs in the gun 1, enters the nozzle 3, in which, under the influence of the field induced by the coil 8, it is focused and in the tee 5, under the action of the field induced by the coil 11, returns to the nozzle b. In the nozzle 6, under the influence of the field induced by the coil 8, the beam is focused and enters the technological chamber 7 to the object 10. If necessary, under the influence of the field induced by the coil 12, the beam 9 is deflected. The gun 1 continues to generate the electron beam U until to a decrease in the pressure in the chamber 7 to values of the order of 10-100 Pa, at which its operation becomes unstable at first, and then may stop altogether. During this period, operations similar to those described above begin to be carried out with gun 2, namely, working gas and cooling water are fed into it, and a high voltage of up to 30 kV is applied to the cathode of the gun. At a pressure in the chamber 7 of approximately 10 Pa and less, an electron beam 9 is generated in the gun 2, which, similarly to what was described above, first enters the nozzle 4, then from it to the nozzle 6 and then into the chamber 7 to the object 10. along the entire path of the beam 9, it is focused in nozzles 4 and 6 under the influence of the fields induced by the coils 8, and in the nozzle b it can be deflected under the influence of the fields induced by the coil 12. Thus, the gun 1 ensures the generation of an electron beam at a low vacuum in the technological camera 7, and gun 2 - at average.
Перевагою пропонованого комбінованого газорозрядного електронно-променевого нагрівача перед використовуваними в даний час газорозрядними гарматами є проведення технологічного процесу у вельми широкому діапазоні зміни тиску залишкових газів в технологічних камерах плавильних установок від 1000 Па до 103 Па. Це повинно сприяти помітному підвищенню продуктивності. Нагрівач відрізняється також порівняльною простотою конструктивного виконання, що забезпечує можливість його виготовлення без використання спеціального обладнання.The advantage of the proposed combined gas-discharge electron-beam heater over currently used gas-discharge guns is to carry out the technological process in a very wide range of changes in the pressure of residual gases in the process chambers of melting plants from 1000 Pa to 103 Pa. This should contribute to a noticeable increase in productivity. The heater is also distinguished by the comparative simplicity of its construction, which ensures the possibility of its manufacture without the use of special equipment.
Джерела інформації: 1. Тутик В.А. Низьковакуумні газорозрядні електронні гармати і їх використання в електронно-променевих технологіях: Автореф. дис. ... д-ра техн. наук. - Харків, 2009. - 40 с.Sources of information: 1. Tutyk V.A. Low-vacuum gas-discharge electron guns and their use in electron-beam technologies: Abstract. thesis ... Dr. Tech. of science - Kharkiv, 2009. - 40 p.
2. Патент України Мо 102765, МПК НО1.) 37/06. Газорозрядна електронна гармата. Опубл. 12.08.2013. Бюл. Мо 15, 2013 р.2. Patent of Ukraine Mo 102765, IPC NO1.) 37/06. Gas discharge electron gun. Publ. 12.08.2013. Bul. May 15, 2013
З. Патент України Мо 93625, МПК НО1 37/06. Газорозрядна електронна гармата. Опубл. 25.02.2011. Бюл. Ме 4, 2011 р.Z. Patent of Ukraine Mo 93625, IPC NO1 37/06. Gas discharge electron gun. Publ. 25.02.2011. Bul. May 4, 2011
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA201611080A UA121969C2 (en) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | COMBINED GAS DISCHARGE ELECTRONIC RADIANT HEATER |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UAA201611080A UA121969C2 (en) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | COMBINED GAS DISCHARGE ELECTRONIC RADIANT HEATER |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA121969C2 true UA121969C2 (en) | 2020-08-25 |
Family
ID=72340113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UAA201611080A UA121969C2 (en) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | COMBINED GAS DISCHARGE ELECTRONIC RADIANT HEATER |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA121969C2 (en) |
-
2016
- 2016-11-04 UA UAA201611080A patent/UA121969C2/en unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2557078C2 (en) | Electronic beam generator | |
| US4620913A (en) | Electric arc vapor deposition method and apparatus | |
| EP1018137B1 (en) | Charged particle beam emitting assembly | |
| US4714860A (en) | Ion beam generating apparatus | |
| KR20100016086A (en) | Melting furnace including wire-discharge ion plasma electron emitter | |
| JP2013503259A5 (en) | ||
| CN102762762B (en) | Vacuum processing device | |
| UA121969C2 (en) | COMBINED GAS DISCHARGE ELECTRONIC RADIANT HEATER | |
| US4061871A (en) | Electron gun for heating, melting and vaporizing purposes, with deflection systems | |
| RU2323502C1 (en) | Gaseous-discharge electron gun | |
| US3182175A (en) | Electron beam heating device | |
| EP3333878B1 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| DE19841012C1 (en) | Apparatus for plasma-activated vapor coating of substrates in vacuum | |
| US20180233316A1 (en) | Electron beam projector with linear thermal cathode | |
| US3409729A (en) | Electron beam furnace and method for heating a target therein | |
| US4034256A (en) | Electron gun for heating, fusing and vaporizing | |
| US3869675A (en) | Heating arrangement with focused electron beams under vacuum | |
| CN102296274A (en) | Shielding device for cathode arc metal ion source | |
| Rutberg et al. | Investigation of anode and cathode jets influence on electric arc properties with current up to 500 kA | |
| CN208208709U (en) | E-beam projection device with linear thermionic cathode | |
| UA83313U (en) | Gas-discharge electron beam gun | |
| UA93625C2 (en) | Gas-discharge electron gun | |
| JPH11224797A (en) | Plasma generating apparatus, and thin film forming apparatus | |
| CN202443946U (en) | Electron gun for electron beam furnaces | |
| RU2740146C1 (en) | Ion source (ion gun) |