TWM642449U - 電子元件測試裝置 - Google Patents
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Abstract
本創作係有關於一種電子元件測試裝置,設有:一機台台面;一承載底盤,設於該機台台面,該承載底盤上設置可被驅動進行旋轉的一測試盤,並在該承載底盤周緣設置有一入料單元及一測試單元;該測試盤上表面設有在徑向相隔間距的複數列同心環狀鏤設的座槽,該座槽每一列環狀相隔間距設置複數個,各列徑向對應的該座槽直線間隔排列呈複數行;其特徵在於:該入料單元與該測試單元之間設有一錯誤排除單元;該錯誤排除單元設有一排除機構,該排除機構設有一料盒與對應同一列直線間隔排列之座槽的複數個排料通道;該料盒設於該測試盤之旋轉流路之上並連通所述排料通道;藉此可防止錯誤容置於該座槽中的電子元件被該測試單元測試。
Description
本創作係有關於一種電子元件測試裝置,尤指一種適於對電子元件進行測試的電子元件測試裝置。
專利號第M631392號「電子元件測試裝置」公開了一種電子元件測試裝置,其係在一機台傾斜的一機台台面上設有圓盤狀的一承載底盤,該承載底盤上設置可被驅動依一順時針方向間歇進行旋轉的一測試盤,並在該承載底盤周緣設置有用以載入電子元件進入該測試盤之複數個座槽的一入料單元、用以對電子元件進行測試其特性的一測試單元、及用以將完成測試的該電子元件排出收集的一收集單元。
在先前技術中,矩形之電子元件在正常情況下會正確容置於該座槽中被該測試盤搬送,但也會發生電子元件錯誤容置於該座槽中的情形;所謂正確容置係電子元件大部分的體積容置於該座槽中,僅上端略凸出該測試盤的上表面供該測試單元可接觸測試;所謂錯誤容置係電子元件因歪斜置入或加工誤差的緣故,而有非期望凸出的部分;錯誤容置於該座槽中的電子元件在該測試單元進行測試時不僅容易造成該測試單元受損,且測試的結果也不正確,可見先前技術仍有待改進之處。
爰是,本創作的目的,在於提供一種可解決先前技術至少一缺點的電子元件測試裝置。
依據本創作目的之電子元件測試裝置,設有:一機台,其上設有一機台台面;一承載底盤,設於該機台台面,該承載底盤上設置可被驅動進行旋轉的一測試盤,並在該承載底盤周緣設置有一入料單元、一測試單元、及一收集單元;該測試盤上表面設有在徑向相隔間距的複數列同心環狀鏤設的座槽,該座槽每一列環狀相隔間距設置複數個,各列徑向對應的該座槽直線間隔排列呈複數行;其特徵在於:該入料單元與該測試單元之間設有一錯誤排除單元;該錯誤排除單元設有一檢知機構,該檢知機構設有一本體、設於該本體之一電路板、設於該本體並與該電路板電性連接之一導接組件、及對應同一列直線間隔排列之座槽並各別與該電路板電性連接的複數個擺動組件;所述擺動組件可受帶動相對該本體樞擺選擇性接觸該導接組件。
依據本創作目的之另一電子元件測試裝置,設有:一機台,其上設有一機台台面;一承載底盤,設於該機台台面,該承載底盤上設置可被驅動進行旋轉的一測試盤,並在該承載底盤周緣設置有一入料單元、一測試單元、及一收集單元;該測試盤上表面設有在徑向相隔間距的複數列同心環狀鏤設的座槽,該座槽每一列環狀相隔間距設置複數個,各列徑向對應的該座槽直線間隔排列呈複數行;其特徵在於:該入料單元與該測試單元之間設有一錯誤排除單元;該錯誤排除單元設有一排除機構,該排除機構設有一料盒與對應同一列直線間隔排列之座槽的複數個排
料通道;該料盒設於該測試盤之旋轉流路之上並連通所述排料通道。
本創作實施例之電子元件測試裝置,該錯誤排除單元可檢知或排除錯誤容置於該座槽中的電子元件,以防止錯誤容置於該座槽中的電子元件被該測試單元測試。
A:機台
A1:機台台面
B:承載底盤
B1:排料吹氣道
C:測試盤
C1:座槽
D:入料單元
E:錯誤排除單元
F:測試單元
G:收集單元
H:閘板
H1:閘孔
H2:鏤空區間
J:檢知機構
J1:本體
J2:電路板
J3:導接組件
J31:導接件
J32:第一導線
J4:擺動組件
J41:擺動件
J411:樞接部
J412:滾輪
J413:導接部
J42:第二導線
J5:檢知高度調整機構
J51:檢知架體
J52:檢知滑軌
J53:檢知滑塊
J54:第一連接座
J55:檢知高度調整件
J56:檢知彈性件
J57:檢知支撐座
J6:彈性件
K:排除機構
K1:料盒
K11:握把
K111:握持部
K112:嵌扣部
K12:開口
K2:排料通道
K21:排料通道
K22:輔助吹氣道
K23:氣體通道
K24:氣嘴
K3:安裝座
K31:固持件
K32:導引面
K4:排料連接座
K41:排料架體
K42:排料滑軌
K43:排料滑塊
K44:排料連接座
K45:排料高度調整件
K46:排料彈性件
K47:排料支撐座
S1:排料氣壓源
S2:輔助氣壓源
W:電子元件
圖1係本創作實施例中電子元件測試裝置的示意圖。
圖2係本創作實施例中測試盤、入料單元、錯誤排除單元、測試單元、及收集單元配置關係的示意圖。
圖3係本創作實施例中電子元件與測試盤配置關係的示意圖。
圖4係本創作實施例中檢知機構與排除機構設於閘板的示意圖。
圖5係本創作實施例中設於閘板的檢知機構與測試盤配置關係的示意圖。
圖6係本創作實施例中圖5之A-A剖面示意圖。
圖7係本創作實施例中排除機構之料盒可拆卸地設於安裝座的示意圖。
圖8係本創作實施例中設於閘板的排除機構與測試盤配置關係的示意圖。
圖9係本創作實施例中圖8之B-B剖面示意圖。
圖10係本創作實施例中檢知機構接觸錯誤容置於座槽中之電子元件的示意圖。
圖11係本創作實施例中排除機構排除錯誤容置於座槽中之電子元件的示意圖。
請參閱圖1,本創作實施例以用於對電容類的電子元件進行測試的電子元件測試裝置來作說明,但並不拘限於電容類的電子元件的實施;該電子元件測試裝置設有:一機台A,其上設有傾斜約六十度的一機台台面A1;一承載底盤B,呈圓盤狀並設於該機台台面A1,該承載底盤上設置可被驅動依順時針方向間歇進行旋轉的一測試盤C,並在該承載底盤B周緣依順時針方向依序設有用以載入電子元件的一入料單元D、用以檢知與排除錯誤容置之電子元件的一錯誤排除單元E、用以對電子元件進行測試其特性的一測試單元F、及用以將完成測試的電子元件排出收集的一收集單元G。
請參閱圖2、3,該測試盤C上表面設有在徑向相隔間距的複數列(本實施例設有八列)同心環狀鏤設的座槽C1,該座槽C1每一列環狀相隔間距設置複數個,各列徑向對應的該座槽C1直線間隔排列呈複數行;各該座槽C1可供容納兩端設有電極之例如電容類的電子元件W,並供該電子元件W以兩端之電極分別位於上、下端方式落置於該座槽C1中;該測試盤C上表面之一部分受一閘板H所罩覆,該電子元件W可經該閘板H上數目對應該座槽C1列數的閘孔H1進入該座槽C1中;該閘板H可相對該機台台面A1(圖1)向上翻轉以便於更換該測試盤C;該入料模組D可包含例如料斗…等用於入料的機構;該錯誤排除單元E設有用以檢知錯誤容置於該座槽C1中之電子元件W的一檢知機構J與用以排除錯
誤容置於該座槽C1中之電子元件W的一排除機構K;該測試單元F可包含例如上探針、下探針…等用於接觸電子元件W兩端電極進行測試的測試機構;該收集單元G可包含氣壓源、收集管路…等用於將電子元件W分類排出收集的收集機構;該測試盤C以該座槽C1在該入料模組D承載該電子元件W後,該測試盤C將以順時針方向之間歇旋轉流路搬送該電子元件W依序經過該錯誤排除單元E、該測試單元F、及該收集單元G。
請參閱圖2、4,該錯誤排除單元E之該檢知機構J與該排除機構K前、後併列設於該閘板H上,該檢知機構J的一部份與該排除機構K的一部份可穿經該閘板H的一鏤空區間H2至該閘板H下方位於該閘板H與該測試盤C之間的空間;該測試盤C將以順時針方向之間歇旋轉流路搬送該電子元件W依序經過該檢知機構J及該排除機構K。
請參閱圖5、6,該檢知機構J設有一本體J1、設於該本體J1之一電路板J2、設於該本體J1並與該電路板J2電性連接之一導接組件J3、及對應同一列直線間隔排列之座槽C1並各別與該電路板J2電性連接的複數個擺動組件J4(本實施例設有八個);該本體J1設於一檢知高度調整機構J5上;所述擺動組件J4可分別受帶動相對該本體J1樞擺選擇性接觸該導接組件J3;該導接組件J3設有長條狀之一導接件J31與一第一導線J32,該導接件J31為可導電的材質所構成並經該第一導線J32與該電路板J2電性連接;所述擺動組件J4各設有一擺動件J41與一第二導
線J42,該擺動件J41為可導電之材質所構成並經該第二導線J42與該電路板J2電性連接;該電路板J2內設有對應所述擺動組件J4數目之複數個電路(圖未示),當該擺動組件J4之該擺動件J41與該導接組件J3之該導接件J31接觸時,對應之電路形成通路,反之則形成斷路;該擺動件J41設有可與該本體J1之一樞軸J11樞接的一樞接部J411、可與該座槽C1中之電子元件W接觸的一滾輪J412、及可受帶動選擇性接觸該導接件J31的一導接部J413;該擺動件J41與該本體J1之間設有供該導接部J413朝該導接件J31靠近接觸的一彈性件J6,該彈性件J6設於該樞接部J411與該導接部J413之間,大致位於該滾輪J412上方偏靠該導接部J413之一側;該滾輪為絕緣之材質所構成;該檢知高度調整機構J5設有一檢知架體J51、一檢知滑軌J52、一檢知滑塊J53及一第一連接座J54;該檢知滑軌J52設於該檢知架體J51上並供該檢知滑塊J53在其上垂直滑移;該本體J1經該第一連接座J54與該檢知滑塊J53連動;該檢知高度調整機構J5在該檢知滑塊J53的一端設有例如分厘卡頭的一檢知高度調整件J55,該檢知滑塊J53的另一端設有一檢知彈性件J56,該檢知彈性件J56的一端抵撐於該檢知滑塊J53的下方,另一端設於一檢知支撐座J57上;該檢知高度調整件J55可調整該檢知滑塊J53在該檢知滑軌J52上的高度,以連動該本體J1進而調整該擺動組件J4與該測試盤C之間距;其中,該擺動組
件J4與該測試盤C之間距預設為該滾輪J412不會接觸正確容置於該座槽C1中的電子元件W(如圖6),但會接觸錯誤容置於該座槽C1中的電子元件W(如圖10)。
請參閱圖7、8、9,該排除機構K設有一料盒K1與對應同一列直線間隔排列之座槽C1的複數個排料通道K21(本實施例設有八個);該料盒K1設於該測試盤C之旋轉流路之上且內部空間連通所述排料通道K2;該料盒K1上設有一握把K11,該握把設有一握持部K111與一嵌扣部K112;該料盒K1可拆卸地設於一安裝座K3上並以一開口K12朝向該安裝座K3,該安裝座K3上設有供該嵌扣部K112選擇性嵌扣的一固持件K31;該安裝座K3設於一排料連接座K4的一側,該排料連接座K4的另一側設有一通道座K2,所述排料通道K21相隔固定間距直線貫通該通道座K2;該排料連接座K4內設有對應各該排料通道K21的複數個連接通道K41,所述連接通道K41相隔固定間距直線貫通該排料連接座K4;該安裝座K3設有一導引面K32,該導引面K32由所述連接通道K41朝該料盒K1之該開口K12傾斜設置並朝向該開口K12;該通道座K2設於一排料高度調整機構K4上,該排料高度調整機構K4設有一排料架體K41、一排料滑軌K42、一排料滑塊K43及一排料連接座K44;該排料滑軌K42設於該排料架體K41上並供該排料滑塊K43在其上垂直滑移;該通道座K2經該排料連接座K4
與該排料滑塊K43連動;該排料高度調整機構K4在該排料滑塊K43的一端設有例如分厘卡頭的一排料高度調整件K45,該排料滑塊的另一端設有一排料彈性件K46,該排料彈性件K46的一端抵撐於該排料滑塊K43的下方,另一端設於一排料支撐座K47上;該排料高度調整件K45可調整該排料滑塊K43在該排料滑軌K42上的高度,進而調整該通道座K2與該測試盤C之間距;該承載底盤B在該排除機構K的下方,該入料單元D(圖2)與該測試單元F(圖2)之間設有對應同一列直線間隔排列之座槽C1的複數個排料吹氣道B1,所述排料吹氣道B1的一端通往各該座槽C1,另一端與一排料氣壓源S1連通;該通道座K2內還可進一步設有對應各該排料通道K21的複數個輔助吹氣道K22,所述輔助吹氣道K22由與一氣嘴K24連接並呈水平長形的一氣體通道K23朝各該排料通道K21傾斜設置,該氣體通道K23經該氣嘴K24與一輔助氣壓源S2連通。
本創作電子元件測試裝置在實施上,在該入料模組D提供電子元件W至該測試盤C之該座槽C1後,以該測試盤C之該間歇旋轉流路被搬送的電子元件W在被搬送至該測試單元F作電性測試之前,電子元件W將先被搬送至該錯誤排除單元E以該檢知機構J檢知電子元件W是否錯誤容置於該座槽C1中,並以該排除機構K排除錯誤容置於該座槽C1的電子元件W;該檢知機構J一次可檢知一行數列電子元件W,如圖10所
示,若某一列電子元件W錯誤容置於該座槽C1中,電子元件W在被該測試盤C搬送經過該檢知機構J與該檢知機構J交錯位移時,該擺動件J41之該滾輪J412將與錯誤容置於該座槽C1中之電子元件W的上端滾動接觸,因錯誤容置於該座槽C1中之電子元件W的上端較凸出於該座槽C1,故當該滾輪J412滾動接觸錯誤容置於該座槽C1中之電子元件W時,該擺動件J41將向上擺動壓縮該彈性件J6,使該擺動件J41不接觸該導接件J31以令該電路板J2內對應之電路形成斷路,此時該電路板J2將紀錄係那一列電子元件W錯誤容置於該座槽C1中,以令後續該排除機構K可排除該列錯誤容置於該座槽C1中的電子元件W;在該檢知機構J檢知完一行數列電子元件W後,如圖11所示,該測試盤C搬送該行電子元件W至該排除機構K,此時該排料氣壓源S1可經該第一吹氣道B1將正壓導入具有錯誤容置之電子元件W的該座槽C1中,使錯誤容置之電子元件W被向上吹出該座槽C1進入對應之該排料通道K21內,隨後經該連接通道K41與該導引面K32的導引由該開口K12進入至該料盒K1內部空間被收集;因該料盒K1可拆卸地設於該測試盤C之旋轉流路之上,便於操作人員拆卸並檢視該料盒K1內電子元件W收集之情況,該料盒K1內電子元件W可倒入該入料單元D重新入料或另作集中收集;其中,在排除重量較重的電子元件W時,可藉由該輔助氣壓源S2經該輔助吹氣道K22將正壓導入該排料通道K21內,以輔助加強排除電子元件W所需的正壓;亦或可在執行一次排除作業後,在該列之座槽C1尚未離開該排除機構K前,以光學感應器(圖未示)感應該座槽C1中是否仍有應排除而未排除之電子元件W,
若仍有應排除而未排除之電子元件W,則該排料氣壓源S1、該輔助氣壓源S2再執行一次導入正壓的動作。
本創作實施例之電子元件測試裝置,該錯誤排除單元E可檢知或排除錯誤容置於該座槽C1中的電子元件W,以防止錯誤容置於該座槽C1中的電子元件W被該測試單元F測試。
惟以上所述者,僅為本創作之較佳實施例而已,當不能以此限定本創作實施之範圍,即大凡依本創作申請專利範圍及創作說明內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。
A:機台
A1:機台台面
B:承載底盤
C:測試盤
D:入料單元
E:錯誤排除單元
F:測試單元
G:收集單元
Claims (15)
- 一種電子元件測試裝置,設有:一機台,其上設有一機台台面;一承載底盤,設於該機台台面,該承載底盤上設置可被驅動進行旋轉的一測試盤,並在該承載底盤周緣設置有一入料單元、一測試單元、及一收集單元;該測試盤上表面設有在徑向相隔間距的複數列同心環狀鏤設的座槽,該座槽每一列環狀相隔間距設置複數個,各列徑向對應的該座槽直線間隔排列呈複數行;其特徵在於:該入料單元與該測試單元之間設有一錯誤排除單元;該錯誤排除單元設有一檢知機構,該檢知機構設有一本體、設於該本體之一電路板、設於該本體並與該電路板電性連接之一導接組件、及對應同一列直線間隔排列之座槽並各別與該電路板電性連接的複數個擺動組件;所述擺動組件可受帶動相對該本體樞擺選擇性接觸該導接組件。
- 如請求項1所述電子元件測試裝置,其中,該導接組件設有一導接件與一第一導線;該擺動組件設有一擺動件與一第二導線;該導接件為可導電的材質所構成並經該第一導線與該電路板電性連接;該擺動件為可導電之材質所構成並經該第二導線與該電路板電性連接。
- 如請求項2所述電子元件測試裝置,其中,該擺動件設有可與該本體樞接的一樞接部、可與該座槽中之一電子元件接觸的一滾輪、及可受帶動選擇性接觸該導接件的一導接部。
- 如請求項3所述電子元件測試裝置,其中,該擺動件與該本體之間設有供該導接部朝該導接件靠近的一彈性件;該彈 性件設於該樞接部與導接部之間。
- 如請求項3所述電子元件測試裝置,其中,該滾輪為絕緣之材質所構成。
- 如請求項1所述電子元件測試裝置,其中,該本體設於一檢知高度調整機構上,該檢知高度調整機構設有一檢知架體、一檢知滑軌、一檢知滑塊及一第一連接座;該檢知滑軌設於該檢知架體上並供該檢知滑塊在其上垂直滑移;該本體經該第一連接座與該檢知滑塊連動。
- 如請求項6所述電子元件測試裝置,其中,該檢知高度調整機構在該檢知滑塊的一端設有一檢知高度調整件,該檢知滑塊的另一端設有一檢知彈性件,該檢知彈性件的一端抵撐於該檢知滑塊的下方,另一端設於一檢知支撐座上。
- 一種電子元件測試裝置,設有:一機台,其上設有一機台台面;一承載底盤,設於該機台台面,該承載底盤上設置可被驅動進行旋轉的一測試盤,並在該承載底盤周緣設置有一入料單元、一測試單元、及一收集單元;該測試盤上表面設有在徑向相隔間距的複數列同心環狀鏤設的座槽,該座槽每一列環狀相隔間距設置複數個,各列徑向對應的該座槽直線間隔排列呈複數行;其特徵在於:該入料單元與該測試單元之間設有一錯誤排除單元;該錯誤排除單元設有一排除機構,該排除機構設有一料盒與對應同一列直線間隔排列之座槽的複數個排料通道;該料盒設於該測試盤之旋轉流路之上並連通所述排料通道。
- 如請求項8所述電子元件測試裝置,其中,該料盒上 設有一握把,該握把設有一握持部與一嵌扣部;該料盒可拆卸地設於一安裝座上,該安裝座上設有供該嵌扣部選擇性嵌扣的一固持件。
- 如請求項8所述電子元件測試裝置,其中,該料盒設於一安裝座上,該安裝座設於一排料連接座的一側,該排料連接座的另一側設有一通道座,所述排料通道相隔固定間距直線貫通該通道座;該排料連接座內設有對應各該排料通道的複數個連接通道,所述連接通道相隔固定間距直線貫通該排料連接座;該安裝座設有一導引面,該導引面由所述連接通道朝該料盒之一開口傾斜設置。
- 如請求項8所述電子元件測試裝置,其中,所述排料通道相隔固定間距直線貫通一通道座。
- 如請求項11所述電子元件測試裝置,其中,該通道座設於一排料高度調整機構上,該排料高度調整機構設有一排料架體、一排料滑軌、一排料滑塊及一排料連接座;該排料滑軌設於該排料架體上並供該排料滑塊在其上垂直滑移;該通道座經該排料連接座與該排料滑塊連動。
- 如請求項12所述電子元件測試裝置,其中,該排料高度調整機構在該排料滑塊的一端設有一排料高度調整件,該排料滑塊的另一端設有一排料彈性件,該排料彈性件的一端抵撐於該排料滑塊的下方,另一端設於一排料支撐座上。
- 如請求項11所述電子元件測試裝置,其中,該通道座內設有對應各該排料通道的複數個輔助吹氣道,所述輔助吹氣道由一氣體通道朝各該排料通道傾斜設置,該氣體通道與一輔助氣 壓源連通。
- 如請求項8所述電子元件測試裝置,其中,該承載底盤在該入料單元與該測試單元之間設有對應同一列直線間隔排列之座槽的複數個排料吹氣道,所述排料吹氣道的一端通往各該座槽,另一端與一排料氣壓源連通。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW112200881U TWM642449U (zh) | 2023-02-01 | 2023-02-01 | 電子元件測試裝置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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---|---|
TW (1) | TWM642449U (zh) |
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