TWM615578U

TWM615578U - 物料傳送盒的清潔設備

Info

Publication number: TWM615578U
Application number: TW110204187U
Authority: TW
Inventors: 葉步章; 游立達
Original assignee: 科嶠工業股份有限公司
Priority date: 2021-04-16
Filing date: 2021-04-16
Publication date: 2021-08-11

Abstract

本新型提供一種物料傳送盒的清潔設備，建構於一清潔加工區站中，包括一機械手臂、一前蓋清潔腔室、一盒體清洗腔室、一盒體除液腔室及一盒體真空乾燥腔室，憑藉該機械手臂擷取並分離物料傳送盒成為一前蓋及一盒體，且能載運該前蓋及盒體在不同腔室中依序進行濕清洗、除液及真空乾燥的工序；其中，特別的是，該盒體能在單一的盒體除液腔室內能被帶動自轉，並且接受多個能在相異軸向提供呈面狀分佈之線性風力的風刀的噴吹，對於內部構造相對複雜的盒體而言，能提升其濕清洗後的除液效果。

Description

物料傳送盒的清潔設備

本新型涉及在不同加工區站之間裝填及移載物料用的傳送盒，特別有關一種物料傳送盒的清潔設備。

現有技術中，最接近本新型物料傳送盒的，是一種用於載運半導體晶元的前開式晶元傳送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP，以下簡稱晶元傳送盒)。

半導體晶元在產製過程中，特別是在各個加工區站內，以及在各個加工區站之間載運晶元的過程中，對於潔淨度的要求甚高，特別是避免環境中出現落塵微粒，而影響晶元的產製良率。

且知，半導體晶元的載運，常見使用上述晶元傳送盒，通過自動化搬運系統的運作，使多個晶元傳送盒能分別在各個加工區站中擷取、容置晶元，並且能在各個加工區站之間移送晶元，而後在到達目標地的加工區站時卸載晶元。

晶元傳送盒是由一可開啟式的前蓋和一盒體相互組扣而成，該盒體內部的雙側壁面上具有凸伸成梳狀的肋片，用於支撐容置於內的晶元，使得每一晶元傳送盒內皆可容置多數片晶元。

基於潔淨度的高標準要求，晶元傳送盒在使用一段特定時間之後必須要進行自動化清洗。目前，已知的對晶元傳送盒進行自動化清洗的較先進技術，可見於CN102804332B、TW201400202A、CN1082222A、US20140069467A1等專利，該等專利公開教示於晶元的生產線中設置一清潔區站，並且利用自動化搬運系統將待清洗的晶元傳送盒移送至該清潔區站的一裝載端口(load port)上，利用清潔區站內的自動手臂(robot)擷取裝載端口上的晶元傳送盒，並將晶元傳送盒的前蓋和盒體先行分離，而後自動擷取該前蓋和該盒體依序通過清洗液的濕清洗、負壓環境的真空乾燥等工序，以淨化可能殘留於該前蓋和該盒體之內、外表面的微粒，進而提升無塵傳送的潔淨度。

且知，無塵傳送晶元用的晶元傳送盒，目前已經被應用至無塵傳送高階電路載板的場合，例如像崁入式多晶片互連橋接(Embedded Multi-Die Interconnect Bridge,EMIB)用電路載板或使用ABF作為增層材料的電路載板等，這些高階電路載板的面域相對較傳統PCB大，且採長方形的排版模式呈現，使得高階電路載板的硬度也相對較傳統PCB軟。依此，當傳送盒內之容置物必須由晶元變更成是高階電路載板時，必須改變傳送盒的內部構造，才能使每一個傳送盒內能夠穩定的容置多片高階電路載板。

請參閱圖1至圖3，揭露現有用於容置所述高階電路載板16(以下簡稱載板16)的物料傳送盒10的態樣，其盒體11及前蓋12具有晶元傳送盒的相同特徵，特別包括該盒體11的雙側壁面11a上具有凸伸成梳狀的肋片13。此外，基於作為容置物之載板16的面域相對較大且較軟，因此該盒體11內還必須形成由底部11b凸伸至容置腔14的懸狀支撐桿15，以便利用雙側肋片13來支撐載板16的雙端16a，並且利用懸狀支撐桿15來架持載板16的中段部16b，避免載板16在物料傳送盒10內發生塌陷或相互干涉的現象(詳如圖1、圖2及圖3所示)。

由此可知，基於不同容置物的差異，會影響傳送盒之盒體內部構造的複雜度，特別是，裝載載板用的物料傳送盒10，其盒體11內部具有梳狀肋片13和懸狀支撐桿15的整體構造相對較晶元傳送盒的盒體構造複雜。

基於此因，在清潔內部構造相對較複雜之傳送盒的盒體(例如像載板傳送盒的盒體)時，上述已公開的傳送盒清潔技術仍不理想。陳如CN102804332B專利中所公開的濕清洗、真空乾燥技術，是最接近的現有技術，其教示：

1.在同一個濕清洗用的腔室內同時佈設多個噴液嘴和吹氣嘴，先利用噴液嘴對盒體進行噴洗之後，利用該腔室內佈設的吹氣嘴將盒體內、外表面上的液體殘留物進行吹除。然而，不論該等噴液嘴和吹氣嘴為固定式或可轉動式，皆容易在同一個腔室內對盒體內具有凸伸之懸狀支撐桿造成牽絆，因而抵減了整個清潔程序中的濕清洗效率及除液效率，甚至不利於在濕清洗的腔室內取、放所述內部構造較複雜的盒體。

2.真空乾燥可以在同一個或不同的腔室內和濕清洗一起進行。然而，真空乾燥所使用之紅外線加熱器的佈設位置，不是針對具有懸狀支撐桿或構造較複雜而生成諸多槽、肋死角的盒體而設計，因此同樣存在著，容易造成牽絆以及抵減了乾燥效率的問題。

3.在真空乾燥過程中，僅有概念性的揭露，可以使用濕度傳感器監測乾燥過程和結束點。然而，卻未進一步教示該濕度傳感器如何在真空乾燥腔室或其他位置對已清洗和乾燥後的傳送盒進行濕度監測的具體技術細節。

由上述可知，對於晶元傳送盒進行自動清潔的現有技術，難以有效地被應用至清潔內部構造相對複雜的他款前開式物料傳送盒，特別包含盒體內具有凸伸至盒內容置腔的懸狀支撐桿的物料傳送盒，故亟需加以研創並改進。

本新型之目的，旨在改進現有對晶元傳送盒進行自動清潔的技術，特別是針對盒體內部構造相對複雜的物料傳送盒，研創出能提升濕清洗及真空乾燥效率的技術。

本新型特別改善傳統晶元傳送盒之自動化清潔製程，使整個清潔製程能區分成一濕清洗工序、一除水工序及一真空乾燥工序；為此，本新型一較佳實施例在於揭露一種物料傳送盒的清潔設備，用以實施上述工序，該清潔設備包括：一機械手臂，立置於該清潔加工區站中，擷取並分離該物料傳送盒成為一前蓋及一盒體，該盒體具有一開口，該清潔加工區站的四周安裝有：至少一前蓋清潔腔室，該機械手臂擷取該前蓋並置入至少一所述前蓋清潔腔室內，依序進行濕清洗、除液及真空乾燥；至少一盒體清洗腔室，內置多個噴液嘴，該機械手臂擷取該盒體，使該開口罩設於至少一所述盒體清洗腔室內，多個所述噴液嘴能鄰近地分佈於該盒體之外表面及內表面的四周噴撒清洗液，而對該盒體進行濕清洗；至少一盒體除液腔室，內置一轉台及多個能在相異軸向提供呈面狀分佈之線性風力的風刀；該轉台由中空格狀框體製成，並且坐落於所述盒體除液腔室的近底部，該機械手臂擷取至少一所述盒體清洗腔室內的該盒體，使該開口罩設於該轉台上；多個所述風刀包含一底部風刀及一側向風刀，該底部風刀橫跨於該轉台的底部，該側向風刀以垂立方式設置於所述盒體除液腔室之內壁的一側，且該底部風刀提供的線性風力能經由該開口而噴吹該盒體的內表面，該側向風刀提供的線性風力能噴吹該盒體的外表面；其中，該轉台能驅動該盒體自轉而接受該底部風刀和該側向風刀分別在相異軸向提供呈面狀分佈之線性風力的噴吹，而對該盒體進行除液；至少一盒體真空乾燥腔室，設置包含一排氣孔及多個熱能元件，該排氣孔用以擷取所述盒體真空乾燥腔室內的空氣並生成負壓，該機械手臂擷取至少一所述盒體除液腔室內的該盒體，使該開口能罩設於所述盒體真空乾燥腔室的底部；多個所述熱能元件能鄰近地分佈於該盒體之外表面及內表面的四周生成熱輻射，而對該盒體進行真空乾燥。

在進一步實施中，多個所述熱能元件包含多個垂立式電熱板，所述多個垂立式電熱板係立置於所述盒體真空乾燥腔室進而能植入該盒體的容置腔內，並且鄰近地生成熱輻射加熱該盒體的內表面。此外，多個所述熱能元件還包含多個壁型電熱板，分別貼設於該盒體真空乾燥腔室的四周壁面，並生成熱輻射加熱該盒體的外表面。

在進一步實施中，該清潔加工區站的四周還安裝有一裝載端口，該裝載端口包含提供該物料傳送盒置放的一平台，該平台配置有移動該物料傳送盒用的至少一線性驅動器，以及驅使該物料傳送盒轉向用的一旋動器，該機械手臂係自該平台擷取並分離該物料傳送盒成為該前蓋及該盒體，該機械手臂並擷取至少一所述盒體真空乾燥腔室內完成真空乾燥的該盒體以及至少一所述前蓋清潔腔室內完成清潔的該前蓋，並使該盒體及該前蓋相互組扣後置放於該平台。

在更進一步實施中，該裝載端口的平台上還安裝有：能導引潔淨的正壓乾燥空氣進入該物料傳送盒的一進氣接嘴，以及自該物料傳送盒排出正壓乾燥空氣的一排氣接嘴，該排氣接嘴連接一多通管道，該多通管道連接一濕度傳感器，該濕度傳感器能經由該多通管道檢知該物料傳送盒排出之正壓乾燥空氣中的濕度。

在更進一步實施中，該多通管道還連接一微粒子計數器，該微粒子計數器能經由該多通管道檢知該物料傳送盒排出之正壓乾燥空氣中的落塵量。

在進一步實施中，至少一所述盒體真空乾燥腔室還設有一進氣孔，該進氣孔能導入潔淨的乾燥空氣進入所述盒體真空乾燥腔室內解除真空並生成正壓乾燥空氣，該排氣孔連接一多通管道，該多通管道連接一濕度傳感器，該濕度傳感器能經由該多通管道及該排氣孔檢知所述盒體真空乾燥腔室排出之正壓乾燥空氣中的濕度。

在更進一步實施中，該多通管道還連接一微粒子計數器，該微粒子計數器能經由該多通管道檢知所述盒體真空乾燥腔室排出之正壓乾燥空氣中的落塵量。

在進一步實施中，多個所述風刀連接一風壓供應器，該風壓供應器配置有一電熱器。

在進一步實施中，該盒體的一底部凸伸有至少一懸狀支撐桿，該盒體的內表面包含該懸狀支撐桿的四周表面。

本新型所揭技術，除了可針對盒體內部構造較複雜的前開式物料傳送盒(例如載板傳送盒)進行自動化清潔之外，相對的也適用於對晶元傳送盒進行自動化清潔，並予敘明。

在此所揭露的各實施例的特徵及技術效果將呈現於下方的描述與圖示中。

10:物料傳送盒

11:盒體

11a:壁面

11b:底部

11c:開口

11d:第一接口

11e:第二接口

11f:內表面

11g:外表面

12:前蓋

13:肋片

14:容置腔

15:支撐桿

16:載板

16a:雙端

16b:中段部

20:機械手臂

30:裝載端口

31:平台

32:線性驅動器

33:旋動器

34:進氣接嘴

35:排氣接嘴

36:側壁

40:前蓋清潔腔室

40a:蓋板

50:盒體清洗腔室

50a:蓋板

51:噴液嘴

511:壁面噴液嘴

512:旋轉噴液嘴

60:盒體除液腔室

60a:蓋板

61:轉台

62:風刀

621:底部風刀

622:側向風刀

63:風壓供應器

70:盒體真空乾燥腔室

70a:蓋板

71:排氣孔

72:熱能元件

721:垂立式電熱板

722:壁型電熱板

73:進氣孔

74:保溫層

80:多通管道

81:濕度傳感器

82:微粒子計數器

90:清潔加工區站

D:預定方向

L:開蓋位置

S1至S3:實施例之步驟說明

圖1是物料傳送盒的立體分解圖。

圖2及圖3分別是物料傳送盒之不同視角的剖示圖。

圖4a是本新型清潔方法之第一種實施例的步驟流程圖。

圖4b是本新型清潔方法之第二種實施例的步驟流程圖。

圖5至圖10依序是本新型清潔方法的動作示意圖。

圖11是圖4a中濕度檢測工序的動作示意圖。

圖12是圖4b中濕度檢測工序的動作示意圖。

圖13是本新型清潔設備的配置示意圖。

圖14是圖13中裝載端口的立體示意圖。

圖15是圖13中盒體清洗腔室的立體示意圖。

圖16是圖13中盒體真空乾燥腔室的剖示圖。

在本新型說明於下的實施方式中，「清潔」用語與「清洗」用語不為相同，其中「清潔」包含「濕清洗(或清洗)、除液及真空乾燥」的工序；此外，「清潔」也可再包含「濕度檢測」工序，先予陳明。

請參閱圖4a，說明本新型提供物料傳送盒的清潔方法，實施於一清潔加工區站90中(如圖13所示)，實施上該清潔加工區站90可由執行物料傳送盒10之清洗(即濕清洗)、除液及真空乾燥用的腔室或設備框圍形成多邊形的站地區域，而且該清潔加工區站90內部還配置有一擷取、移動、分離、釋放及組裝該物料傳送盒10用的機械手臂20(如圖13所示)，以便執行本新型下述之清潔方法，該清潔方法包括依序執行下列S1至S3步驟：

步驟S1：分離物料傳送盒：

請依序參閱圖5至圖6，說明由盒體11及前蓋12結合而成的物料傳送盒10，先經由清潔加工區站90周邊的設備移載至一裝載端口30，該裝載端口30可抬升、移動、載運物料傳送盒10進行轉向(例如180度)，使尚未打開前蓋12的物料傳送盒10，其預定開蓋後之盒體11的開口11c，能朝向一預定方向D(如圖5所示)。該預定方向D在本實施中，是使開口11c背對清潔加工區站90中之機械手臂20的設立位置(如圖13所示)。另言之，該預定方向D是以機械手臂20為中心，而使該開口11c朝向該裝載端口30裝設位置的方向。其用意，在促使機械手臂20擷取物料傳送盒10之後，能夠較方便地在盒體11上分離及結合前蓋12(即方便執行開蓋、閉蓋動作)，並且促使開蓋後之盒體11上的開口11c能對外顯而利於置入清洗、除液、真空乾燥等加工腔室(容後詳述)。

此外，該裝載端口30還可移動該轉向後的物料傳送盒10至機械手臂20可擷取位置；隨後，機械手臂20以夾持盒體11之雙側外壁的方式擷取該裝載端口30上的整個物料傳送盒10，隨後機械手臂20並移動整個物料傳送盒10至清潔加工區站90內鄰近裝載端口30的一開蓋位置L(如圖13所示)；在本實施中該開蓋位置L坐落於清潔加工區站90內之裝載端口30的一側壁36，該側壁36上設有針對前蓋12設置的固持件以及開蓋鑰匙(圖未示)，該固持件可以實施成是吸盤或其他例如是活動卡勾等元件製成，且該前蓋12上原本即設有對應開蓋鑰匙的鑰匙孔(圖未示)；當機械手臂20擷取並移動上述已轉向的物料傳送盒10時，其盒體11預定的開口11c位置(即裝設前蓋12位置)，正好能朝向該側壁36 方向，並使前蓋12能和側壁36上的固持件接觸，且側壁36上的固持件能吸附或嵌持盒體11上的前蓋12，此時，側壁36上的開蓋鑰匙能植入前蓋12的鑰匙孔內，開蓋鑰匙並啟動旋轉，以解除前蓋12和盒體11之間經由卡榫而相互扣持的狀態，隨後，令已夾持盒體11的機械手臂20產生退縮式移動，以完成開蓋動作，隨後機械手臂20並移動盒體11遠離前蓋12，使盒體11的開口11c對外顯露(如圖6所示)。

步驟S2：清潔前蓋和盒體：

請參閱圖13，說明步驟S2在實施上係在該清潔加工區站90內對該前蓋12及該盒體11各自的依序進行所述濕清洗、除液及真空乾燥的工序。其中，由於前蓋12四周表面的構造較不複雜，因此該前蓋12的所述濕清洗、除液及真空乾燥工序可歸整在至少一前蓋清潔腔室40內進行，包含利用兩個或兩個以上的前蓋清潔腔室40分別執行前蓋12的所述濕清洗、除液及真空乾燥工序；當前蓋清潔腔室40為兩個時，可令前蓋12的濕清洗及除液工序位在同一腔室內進行，且令前蓋12的真空乾燥工序位在另一腔室內進行。該盒體11的所述濕清洗、除液及真空乾燥工序是在多個相異的腔室內各自進行；所述前蓋清潔腔室40和多個所述相異的腔室在實施上是分佈於該清潔加工區站90的四周；多個所述相異的腔室在實施上包括濕清洗用的至少一盒體清洗腔室50、除液用的至少一盒體除液腔室60以及真空乾燥用的至少一盒體真空乾燥腔室70。此外，該盒體11在實施上是以該開口11c朝下的方式置入所述盒體清洗腔室50、所述盒體除液腔室60及所述盒體真空乾燥腔室70；其中，由於機械手臂20在載運盒體11移動時能使開口11c對外顯露，因此當盒體11在進行所述濕清洗、除液及真空乾燥工序之過程中，機械手臂20能讓盒體11的開口11c以朝下的方式(亦即和地心引力的作用方向相同)置入上述多個相異的腔室，使該盒體11在進行所述濕清洗、除液及真空乾燥工序時，殘留在盒體11之內表面11f的清洗液能順應地心引力而更順暢的經由該開口11c離開該盒體11，進而不易殘留於該盒體11的內表面11f。

請參閱圖7，說明盒體11的濕清洗工序係於所述盒體清洗腔室50內進行，包括在所述盒體清洗腔室50內使用多個噴液嘴51對該盒體11的內表面11f及外表面11g噴撒清洗液而進行所述濕清洗的工序。其中，多個所述噴液嘴51包含佈設於盒體清洗腔室50之四周內壁的多個壁面噴液嘴511，以及能植入盒體11之容置腔14內的多個旋轉噴液嘴512；多個所述壁面噴液嘴511能噴撒清洗液沖洗盒體11四周的外表面11g，且多個所述旋轉噴液嘴512能360度旋動式的噴撒清洗液沖洗盒體11四周的內表面11f。此外，該盒體11的內表面11f在實施上還包含該盒體11內所設置之梳狀肋片13和懸狀支撐桿15的四周表面；因此，多個所述旋轉噴液嘴512特別能針對梳狀肋片13和懸狀支撐桿15的四周表面進行360度旋動式的噴撒清洗液動作，使得梳狀肋片13和懸狀支撐桿15上所沾染的污垢，能獲得清洗液多角度的充分沖洗而離開所述內表面11f。

請參閱圖8，說明盒體11的除液工序，係於所述盒體除液腔室60內進行，且該盒體11是以自轉方式在所述盒體除液腔室60內接受除液工序；所述自轉方式，係指可以依照控制端所欲取得該盒體11之除液效果，而實施包括正轉及反轉程序在內的可變換速度式自轉。再者，盒體除液腔室60內還搭配使用多個能在相異軸向提供呈面狀分佈之線性風力的風刀62；本新型特別利用各風刀62所提供之線性風力能在相異軸向呈面狀分佈，以便能利用所述相異軸向的線性風力來將盒體11的內表面11f及外表面11g所附著之清洗液的液珠充分地吹除，進而提升盒體11的除液效果。

進一步實施中，所述風刀62提供的線性風力可以由鼓風機驅動例如是乾燥空氣(dry air)等氣體而生成，且該氣體可先經過濾和加熱之後，才由風刀62對外提供成為噴吹盒體11之內表面11f及外表面11g的潔淨的線性風力。依此，當所述風刀62提供的線性風力為熱風時，除了能在整個除液工序中，加快盒體11之內表面11f及外表面11g上所殘留之清洗液的液珠的受熱揮發速度之外，還能對盒體11產生預熱作用，以便於該盒體11於後序真空乾燥工序過程中，能提升盒體11的乾燥效率(容後詳述)。

請參閱圖9，說明盒體11的真空乾燥工序是在所述盒體真空乾燥腔室70內進行；實施時，所述盒體真空乾燥腔室70內部必須是可以生成真空壓的真空腔室環境，並且搭配使用多個熱能元件72，在較佳實施中，所述熱能元件72可為面狀的電熱板，以便當該盒體11置入盒體真空乾燥腔室70內部時，多個面狀的所述電熱板能分佈於盒體11的內表面11f及外表面11g的周圍，對該盒體11的內表面11f及外表面11g執行除液後的真空乾燥工序。此外，多個熱能元件72亦可為紅外線加熱器，但效果較不理想，故不贅述。

上述中必須說明的是，當盒體11在除液工序中接受風刀62提供熱風的線性風力進行除液後，盒體11本身已具備高於常溫但低於水分子之沸點的一預熱溫度，此預熱溫度能驅使殘留於盒體11之內、外表面11f、11g的水分子也一併受到預熱作用，因此當盒體11接續植入該盒體真空乾燥腔室70內部進行真空乾燥工序時，在真空壓(即低於1atm)的腔室環境下，該等殘留於盒體11之內、外表面11f、11g的水分子，其沸點不至於瞬間受到真空壓的影響而降低，乃至於生成冰凍現象，因此有助於在真空壓的腔室環境下利用熱能元件72散發之熱輻射能的加熱作用，驅使該等殘留於盒體11之內、外表面11f、11g的水分子能快速地被加熱到達沸點，進而快速地蒸發離開盒體11的內、外表面11f、11g，以便於縮短盒體11之真空乾燥工序的時效。

步驟S3：結合前蓋和盒體：請參閱圖10，說明先將接受過所述濕清洗、除液及真空乾燥工序的該前蓋12置放於該側壁36，上述作為開蓋位置L的側壁36，亦可當作是一閉蓋位置，細言之，當該前蓋12和該盒體11各自完成所述濕清洗、除液及真空乾燥的工序之後，也是經由機械手臂20的載運而在該開蓋位置L(即閉蓋位置)組扣結合成完整的物料傳送盒10；該裝載端口30在實施上可以為一個或多個，而且是配置或鄰近配置於該清潔加工區站90四周的至少一端邊，作為待清洗之物料傳送盒10進入清潔加工區站90的窗口，同時該裝載端口30也作為清洗後之物料傳送盒10離開清潔加工區站90的窗口(如圖13所示)。

請合併參閱圖4a及圖11，說明該清潔方法還包含一濕度檢測工序。

該濕度檢測工序的第一種實施例，是在結合該前蓋12及該盒體11之後進行；更具體的說，是在該裝載端口30進行該濕度檢測工序，當該前蓋12及該盒體11在開蓋位置L結合成該物料傳送盒10之後，使該物料傳送盒10內形成一封閉空間，接著，將該物料傳送盒10移動至該裝載端口30，藉由該裝載端口30提供潔淨的乾燥空氣進入該物料傳送盒10內，令該物料傳送盒10內生成一正壓乾燥空氣，也就是使該物料傳送盒10內的氣壓大於外界的大氣壓力，該裝載端口30並提供一多通管道80，使該物料傳送盒10內的正壓乾燥空氣能通過該多通管道80離開該物料傳送盒10，該多通管道80提供一用以檢知該正壓乾燥空氣之濕度的濕度傳感器81和一用以檢知該正壓乾燥空氣中之落塵量的微粒子計數器82，藉此，監測該物料傳送盒10內的濕度和潔淨度。

請合併參閱圖4b及圖12，說明該濕度檢測工序的第二種實施例，是在該盒體11的真空乾燥工序中進行。當該盒體11在所述盒體真空乾燥腔室70內完成該真空乾燥工序之後，導入潔淨的乾燥空氣進入所述盒體真空乾燥腔室70內，進而解除所述盒體真空乾燥腔室70內的真空狀態(即破真空)，令所述盒體真空乾燥腔室70內生成一正壓乾燥空氣，也就是使所述盒體真空乾燥腔室70內的氣壓大於外界的大氣壓力，所述盒體真空乾燥腔室70提供一多通管道80，使所述盒體真空乾燥腔室70內的正壓乾燥空氣能通過該多通管道80離開所述盒體真空乾燥腔室70，該多通管道80提供一用以檢知該正壓乾燥空氣之濕度的濕度傳感器81和一用以檢知該正壓乾燥空氣中之落塵量的微粒子計數器82，藉此，監測所述盒體真空乾燥腔室70內的濕度和潔淨度，進而得知該盒體11本身的濕度和潔淨度。

另一方面，請再次參閱圖13，說明本新型還提供一種物料傳送盒的清潔設備，使上述物料傳送盒的清潔方法可以容易地被實施。

該物料傳送盒的清潔設備是建構於該清潔加工區站90中，該清潔設備包括該機械手臂20、至少一所述裝載端口30、至少一前蓋清潔腔室40、至少一盒體清洗腔室50、至少一盒體除液腔室60及至少一盒體真空乾燥腔室70，其中：

該機械手臂20是立置於該清潔加工區站90中，該裝載端口30、所述前蓋清潔腔室40、所述盒體清洗腔室50、所述盒體除液腔室60及所述盒體真空乾燥腔室70是分別佈設於該機械手臂20的四周，該機械手臂20能將在該裝載端口30的物料傳送盒10移動至鄰近該裝載端口30的開蓋位置L，在本實施中該開蓋位置L坐落於該裝載端口30的側壁36，該物料傳送盒10在該開蓋位置L分離成為前蓋12及盒體11，也能在該開蓋位置L將前蓋12及盒體11結合成為物料傳送盒10，再移動至該裝載端口30，其中該前蓋12能經由該機械手臂20的擷取而移動至該開蓋位置L及所述前蓋清潔腔室40，該盒體11能經由該機械手臂20的擷取而移動至該開蓋位置L、所述盒體清洗腔室50、所述盒體除液腔室60及所述盒體真空乾燥腔室70。

請合併參閱圖13及圖14，說明該裝載端口30包含提供該物料傳送盒10置放的一平台31，該平台31上配置有用以移動該物料傳送盒10的至少一線性驅動器32，該物料傳送盒10經由線性驅動器32的驅動而在平台31上位移，所述線性驅動器32在實施上是多個滾子相互對應的佈設於該平台31上，各滾子能經由馬達等驅動器的帶動而同步轉動，進而帶動該物料傳送盒10位移；該平台31上還配置有用以驅使該物料傳送盒10調整盒體11之開口11c方向的一旋動器33，該旋動器33是坐落於所述線性驅動器32的下方，當該物料傳送盒10經由線性驅動器32的驅動而位移至該旋動器33的上方時，該旋動器33上升而將該物料傳送盒10抬離所述線性驅動器32，接著，該物料傳送盒10經由旋動器33的驅動而使盒體11之開口11c背對該機械手臂20(也就是朝向預定方向D)，然後，該旋動器33下降而將已轉向過的該物料傳送盒10置放於所述線性驅動器32，最後，該機械手臂20擷取已轉向過的該物料傳送盒10，將該物料傳送盒10移動至鄰近該裝載端口30的開蓋位置L，該物料傳送盒10在該開蓋位置L分離成為該前蓋12及該盒體11；或者，該機械手臂20擷取所述盒體真空乾燥腔室70內完成真空乾燥的該盒體11以及所述前蓋清潔腔室40內完成清潔的該前蓋12，並使該盒體11及該前蓋12在該開蓋位置L相互組扣結合成該物料傳送盒10後再置放於該平台31上。

相較於盒體11而言，前蓋12四周表面的凹、凸構造較不複雜，因此較不須要將濕清洗、除液及真空乾燥工序區分成在不同腔室內進行，因此，請續參閱圖13，說明所述前蓋清潔腔室40實施上可設計成具有單一佔地面積的上、下雙層腔室，每一層前蓋清潔腔室40都設有一可掀式蓋板40a；其中，可利用下層腔室來整和對前蓋12進行濕清洗及對自轉中的前蓋進行風多去水工序的所需構裝(參考盒體清洗腔室50及盒體除液腔室60的結構)，並利用上層腔室來安裝真空乾燥前蓋12所需的構裝(參考盒體真空乾燥腔室70的結構)。依此，可掀開所述前蓋清潔腔室40的蓋板40a，使所述前蓋清潔腔室40連通外界，令該機械手臂20能將該前蓋12置入所述前蓋清潔腔室40內，一次性或逐次性的進行所述濕清洗、除液及真空乾燥的前蓋濕清潔，隨後並由所述前蓋清潔腔室40內擷取已完成所述濕清洗、除液及真空乾燥的該前蓋12；反之，當該蓋板40a閉合時，使所述前蓋清潔腔室40內形成封閉空間，以利於對所述前蓋清潔腔室40內的該前蓋12進行所述濕清洗、除液及真空乾燥步驟。

請再次參閱圖13，說明所述盒體清洗腔室50內配置有多個噴液嘴51(如圖7所示)，包含佈設於盒體清洗腔室50之四周內壁的多個壁面噴液嘴511，以及能植入盒體11之容置腔14內的多個旋轉噴液嘴512；當機械手臂20擷取該盒體11，使該盒體11以其開口11c朝下的狀態置入所述盒體清洗腔室50內，能藉由多個所述壁面噴液嘴511噴撒清洗液沖洗盒體11四周的外表面11g，且能藉由多個所述旋轉噴液嘴512能360度旋動式的噴撒清洗液沖洗盒體11四周的內表面11f，使得盒體11的濕清洗工序能順利的在盒體清洗腔室50內進行；其中，由於該盒體11在進行所述濕清洗之過程中，該盒體11的開口11c是維持朝下的狀態，使該盒體11在進行所述濕清洗時清洗液能經由下方的開口11c直接離開該盒體11，進而不易殘留於該盒體11內。所述盒體清洗腔室50在實施上設有一可掀式蓋板50a，當該蓋板50a掀開時，使所述盒體清洗腔室50連通外界，令該機械手臂20能將待進行所述濕清洗的該盒體11置入所述盒體清洗腔室50內，或由所述盒體清洗腔室50內擷取已完成所述濕清洗的該盒體11；反之，當該蓋板50a閉合時，使所述盒體清洗腔室50內形成封閉空間，以利於對所述盒體清洗腔室50內的該盒體11進行所述濕清洗工序，並能避免在對該盒體11進行所述濕清洗工序時清洗液飛濺至所述盒體清洗腔室50外。

請合併參閱圖13及圖15，說明所述盒體除液腔室60內配置有一轉台61及多個能在相異軸向提供呈面狀分佈之線性風力的風刀62，其中該轉台61是由中空格狀框體製成，並且坐落於所述盒體除液腔室60的近底部，該機械手臂20擷取所述盒體清洗腔室50內完成所述濕清洗的該盒體11，使該盒體11以開口11c朝下的狀態罩設於該轉台61上；多個所述風刀62在實施上包含一底部風刀621及一側向風刀622，該底部風刀621橫跨於該轉台61的底部，該側向風刀622以垂立方式設置於所述盒體除液腔室60之內壁的一側，且該底部風刀621所提供的線性風力能經由該開口11c而噴吹該盒體11的內表面11f，該側向風刀622所提供的線性風力能噴吹該盒體11的外表面11g，且該盒體11在接受該底部風刀621和該側向風刀622分別在相異軸向提供呈面狀分佈的線性風力的噴吹時，該轉台61能驅動該盒體11自轉，使該底部風刀621和該側向風刀622所提供的線性風力能均勻的噴吹至該盒體11的內表面11f及外表面11g，藉此提升對該盒體11進行除液的效果。進一步的說，所述風刀62在實施上連接一風壓供應器63，該風壓供應器63配置有一電熱器(圖未示)，藉由該電熱器加熱該風壓供應器63所提供高壓的氣體。所述盒體除液腔室60在實施上設有一可掀式蓋板60a，當該蓋板60a掀開時，使所述盒體除液腔室60連通外界，令該機械手臂20能將待進行所述除液的該盒體11置入所述盒體除液腔室60內，或由所述盒體除液腔室60內擷取已完成所述除液的該盒體11；反之，當該蓋板60a閉合時，使所述盒體除液腔室60內形成封閉空間，以利於對所述盒體除液腔室60內的該盒體11進行所述除液工序，並能避免在對該盒體11進行所述除液工序時清洗液飛濺至所述盒體除液腔室60外。

請合併參閱圖13及圖16，說明所述盒體真空乾燥腔室70設有一排氣孔71及多個面狀的熱能元件72，其中該排氣孔71用以擷取所述盒體真空乾燥腔室70內的空氣並生成負壓。所述多個熱能元件72包含多個內置用的垂立式電熱板721及多個壁型電熱板722；所述垂立式電熱板721是立置於所述盒體真空乾燥腔室70內，當盒體11擺放進入盒體真空乾燥腔室70之後，垂立式電熱板721能植入該盒體11的容置腔14內，使得所述垂立式電熱板721能能植入雙側肋片13和懸狀支撐桿15之間的間隙提供熱輻射能；所述多個壁型電熱板722係分別貼設於該盒體真空乾燥腔室70的四周外壁上，且該盒體真空乾燥腔室70的四周外壁在貼設所述壁型電熱板722之後，其外圍還包覆一層由保溫材製成的保溫層74，使得所述壁型電熱板722能位於盒體真空乾燥腔室70的四周外壁和其保溫層74之間。依此實施，能使所述垂立式電熱板721生成的熱輻射，能直接輻射至盒體11四周的內表面11f，且所述壁型電熱板722所生成的熱輻射，能通過該盒體真空乾燥腔室70的四周壁面的傳導，而將熱能輻射至盒體11四周的外表面11g；特別的，能使得除液後(即去除液珠後)之盒體11的內表面11f及外表面11g可能殘留的水分子，能在真空乾燥工序中充分被熱輻射能蒸發，而獲得理想的乾燥效果。

當該機械手臂20擷取所述盒體除液腔室60內已完成除液工序的該盒體11，並使該盒體11以開口11c朝下的狀態能罩設於所述盒體真空乾燥腔室70的底部時，藉由所述垂立式電熱板721能懸空式的經由該開口11c而挺伸至該盒體11內，進而鄰近地真空乾燥該盒體11的內表面11f，所述壁型電熱板722鄰近地真空乾燥該盒體11的外表面11g。所述盒體真空乾燥腔室70在實施上設有一可掀式蓋板70a，當該蓋板70a掀開時，使所述盒體真空乾燥腔室70連通外界，令該機械手臂20能將待進行所述真空乾燥的該盒體11置入所述盒體真空乾燥腔室70內，或由所述盒體真空乾燥腔室70內擷取已完成所述真空乾燥的該盒體11；反之，當該蓋板70a閉合時，使所述盒體真空乾燥腔室70內形成封閉空間，以利於對所述盒體真空乾燥腔室70內的該盒體11進行所述真空乾燥工序。

請合併參閱圖3、圖13及圖14，揭露實施該濕度檢測工序所應用之相關結構的第一種實施例；其中，圖3揭露該物料傳送盒10之盒體11底部具有多個用以灌注氣體進入物料傳送盒10的第一接口11d，以及多個能排放氣體的第二接口11e，且該第一接口11d和該第二接口11e分別設有逆止功能，用管制氣體只能單向經由第一接口11d進入物料傳送盒10內，並且單向經由第二接口11e排出物料傳送盒10；此外，圖13及圖14揭露該裝載端口30的平台31上設有一進氣接嘴34及一排氣接嘴35，其中當物料傳送盒10置放及定位於該平台31時，該進氣接嘴34在能插入並且連通該第一接口11d，且該排氣接嘴35能插入並且連通該第二接口11e。依此構裝，本新型的創意即是利用該進氣接嘴34導引潔淨的正壓乾燥空氣經由該第一接口11d進入該物料傳送盒10內，並使該物料傳送盒10內的正壓乾燥空氣能經由該第二接口11e、排氣接嘴35排出並且加以收集。用以檢知通過濕清潔後的該物料傳送盒10的內部濕度及落塵量是否已達到潔淨的要求。為此，本新型特別利用該排氣接嘴35來連接多通管道80，並使該多通管道80能連接一濕度傳感器81(如圖11所示)，以便於經由該濕度傳感器81檢知該物料傳送盒10所排出之正壓乾燥空氣中的濕度。再者，本新型還可利用該多通管道80來連接一微粒子計數器82，以便於經由該微粒子計數器82檢知該物料傳送盒10所排出之正壓乾燥空氣中的落塵量。其中，必須說明的是，當該進氣接嘴34在導引潔淨的乾燥空氣進入濕清潔後的物料傳送盒10內時，該排氣接嘴35為關閉狀態，以便於驅使該物料傳送盒10內的乾燥空氣能生成正壓(即大於1atm)的風流，用以擷取物料傳送盒10之內表面(包含盒體內表面及前蓋內表面)未蒸發的水分子及可能殘留的落塵微粒；隨後，開通該排氣接嘴35，令物料傳送盒10內的正壓乾燥空氣能經由多通管道80維持一定週期的排放，並從中取樣該等排放的正壓乾燥空氣，以檢知濕度及落塵微粒；且在正壓乾燥空氣持續排放的過程中，該進氣接嘴34維持開啟狀態，使該物料傳送盒10內之乾燥空氣氣能維持正壓排流狀態，以便於提升乾燥空氣擷取水分子及落塵微粒的效果。除此之外，本新型亦可在多通管道80上銜接一負壓生成器，使能快速的擷取物料傳送盒10內的正壓乾燥空氣經由多通管道80進入濕度傳感器 81、微粒子計數器82，提升檢知濕度、落塵微粒的速度。

請合併參閱圖13及圖16，揭露該濕度檢測工序所應用之相關結構的之第二種實施例；其中，圖16揭露所述盒體真空乾燥腔室70除了設有導引負壓入內生成真空壓的排氣孔71之外，還設有導引潔淨的乾燥空氣入內的一進氣孔73；其中，該排氣孔71用以連接該多通管道80，且該負壓生成器(例如抽氣泵)可連接於多通管道80之多個接口中的一接口，以便於經由排氣孔71擷取盒體真空乾燥腔室70的空氣而生成所述真空壓；此外，如圖12所示，該多通管道80多個接口中的另一接口可連接該濕度傳感器81，且該多通管道80多個接口中的再一接口還可連接該微粒子計數器82。依此構裝，本新型能在該維持有真空壓的盒體真空乾燥腔室70完成盒體11的真空乾燥工序後，利用該進氣孔73導引潔淨的乾燥空氣進入所述盒體真空乾燥腔室70內解除真空，並於所述盒體真空乾燥腔室70內生成正壓乾燥空氣，使正壓乾燥空氣能經由排氣孔71排放至多通管道80，以便於經由濕度傳感器81檢知該物料傳送盒10所排出之正壓乾燥空氣中的濕度，並可經由微粒子計數器82檢知該正壓乾燥空氣中的落塵量。其中，必須說明的是，該排氣孔71和該進氣孔73分別設有自動閥門(例如電磁閥)；其中，排氣孔71的自動閥門能管制負壓流經由排氣孔71排出盒體真空乾燥腔室70的時機，進氣孔73的自動閥門能管制乾燥空氣經由進氣孔73進入盒體真空乾燥腔室70內生成正壓的時機。進一步的說，當排氣孔71在擷取盒體真空乾燥腔室70內的空氣生成真空壓時，該進氣孔73為關閉狀態，以利真空壓之生成；另當開啟進氣孔73導引乾燥空氣進入盒體真空乾燥腔室70時，該排氣孔71為關閉狀態，以利乾燥空氣生成正壓，並擷取盒體11之內、外表面11f、11g未蒸發的水分子及可能殘留的落塵微粒；隨後，開通該排氣孔71，令盒體真空乾燥腔室70內的正壓乾燥空氣能經由多通管道80維持一定週期的排放，並從中取樣該等排放的正壓乾燥空氣，以檢知濕度及落塵微粒；且在正壓乾燥空氣持續排放的過程中，該進氣孔73維持開啟狀態，使該盒體真空乾燥腔室70內之乾燥空氣氣能維持正壓排流狀態，以便於提升乾燥空氣擷取水分子及落塵微粒的效果。

以上實施例僅為表達了本新型的較佳實施方式，但並不能因此而理解為對本新型專利範圍的限制。因此，本新型應以申請專利範圍中限定的請求項內容為準。