TWM615515U - 空氣環境控制系統 - Google Patents

Abstract

本新型提供一種空氣環境控制系統，其設置於一殼體之一內側，並接 收一流體，該空氣環境控制系統其係利用一第一過濾組件以及一水洗組件過濾流經之該流體，減少其中的微粒含量，以一第一溫控組件控制該流體之溫度，以一除濕組件減少該流體水氣含量，以此系統減少空氣中的微粒，且同時控制其溫度、濕度，並以一送風組件抽送該流體，使其於該空氣環境控制系統內之各通道流動，利用此系統控制環境之空氣變化。

Description

空氣環境控制系統

本新型是關於一種空氣環境控制系統，尤其係指一種用於控制工廠內部空氣環境之系統。

隨著時代的發展，如今生活中的科技裝置幾乎均以半導體晶片為基礎，藉由可編輯應用程式控制，執行多樣化的功能。半導體的應用層面遍及智慧型手機、汽車、網路、雲端數據、工業自動化、智能家庭與各式消費性電子產品，產業端對於半導體關鍵技術發展與零組件供應的需求與日俱增，帶動整體潛在市場穩定擴張。

又隨著各領域晶片的推陳出新，使半導體導線的線徑逐漸縮小，工廠內部空氣微粒所造成的影響也越來越大，因此氣態分子污染物(AMC)的管制及監控方式逐漸受到重視。

在常溫常壓下以氣態型式存在空氣中，其含量雖未造成人身傷害，但對產品足以造成影響之微量污染物，稱為氣態分子污染物(AMC)。AMC依其性質，可分為以下幾類。

1.MA，分子酸(acid)：腐蝕性物質，具有電子接受者的化學反應特性。如：HF、H2SO4、HCl、HNO3、H3PO4、HBO3。

2.MB，分子鹼(base)：腐蝕性物質，具有電子提供者的化學反應特性。如ammonia、tetramethylammonium hydroxide(TMAH)、trimethylamine、 triethylamine、trimethyldisilazane、hexamethyldisilazane(HMDS)、1-methyl-2-pyrrolidone(NMP)、cyclohexylamine、diethylaminoethanol、methylamine、dimethylamine、ethanolamine。

3.MC，凝結物(condensable)：除水之外的物質，在大氣壓下沸點大於室溫，具有凝結在乾淨表面能力者。如：silicone(沸點>150℃)、hydrocarbon(沸點>150℃)。

4.MD，摻雜物(dopant)：為一種化學元素、可以改變半導體物質的電性者。如：boron、phosphorous。

5.MM，金屬污染物(metal)：由於銅製程的導入量產，以及有機金屬前驅物(organometallic precursor)的使用，以氣態型式存在或粒徑小於高效率空氣微粒(high efficiency particulate air,HEPA)濾網可捕捉範圍之金屬化合物亦可能成為污染物，因此被視為第5類AMC而受重視。

為了避免產品的電性受到影響，半導體及晶圓製造之過程均置於嚴格管控的環境，亦即無塵室或稱潔淨室(cleanroom)內；過去的無塵室空氣品質控制，主要著重在微粒、氣流及溫溼度；然而近年來半導體業界已開始重新思考所謂無塵室的定義；隨著半導體導線線徑的縮小，靜電破壞及氣態分子污染物的影響日益明顯，因此產業界需要一種能穩定控制工廠空氣環境的系統、設備，以進一步減少空氣微粒所產生的不良品。

有鑑於上述習知之問題，本新型提供一種空氣環境控制系統，其係利用過濾組件、溫控組件、水洗組件、除濕組件以及送風組件控制空氣環境，利用過濾組件以及水洗組件過濾空氣中的微粒，並以溫控組件控制流經系統之空氣之溫度，再以除濕組件控制空氣中的水氣含量，以此系統減少空氣中的微粒，且同時控制其溫度、濕度。

本新型之一目的在於提供一種空氣環境控制系統，其係利用過濾組件、溫控組件、水洗組件、除濕組件以及送風組件，控制空氣環境之微粒含量、溫度以及濕度，利用過濾組件以及水洗組件過濾空氣中的微粒，並以溫控組件控制流經系統之空氣之溫度，再以除濕組件控制空氣中的水氣含量，藉由此系統控制空氣環境。

為達到上述所指稱之各目的與功效，本新型提供一種空氣環境控制系統，其設置於一殼體之一內側，該殼體之二端各別設置一入氣口以及一出氣口，該入氣口接收一流體，該空氣環境控制系統包含：一第一過濾組件、一第一溫控組件、一水洗組件、一除濕組件以及一送風組件，該第一過濾組件包含一第一過濾通道以及一第一過濾件，該第一過濾通道之一端連通該入氣口，該第一過濾件設置於該第一過濾通道之一內側，該第一過濾件過濾通過該第一過濾通道之該流體，該第一溫控組件包含一第一通道，該第一通道之一端連通該第一過濾通道之另一端，該第一溫控組件係用於控制通過該第一通道之該流體之溫度，該水洗組件包含一第二通道，該第二通道之一端連通該第一通道之另一端，該水洗組件對通過該第二通道之該流體噴灑一液體，該除濕組件包含一第三通道，該第三通道之一端連通該第二通道之另一端，該除濕組件係用於對通過該第三通道之該流體除濕，該送風組件包含一第五通道，該第五通道之一端連通該第三通道之另一端，該第五通道之另一端連通該出氣口，該送風組件係用於輸送通過該第五通道之該流體。

本新型之一實施例中，其中該第一溫控組件更包含一第一熱交換裝置以及一第一溫度感測元件，該第一熱交換裝置以及該第一溫度感測元件依序設置於該第一通道之一內側。

本新型之一實施例中，其中該水洗組件更包含一灑水裝置以及一 排水裝置，該灑水裝置設置於該第二通道之一內側，並噴灑該液體至該第二通道，該排水裝置設置於該灑水裝置之一下方，並接收該液體。

本新型之一實施例中，其中該除濕組件更包含一蒸發器以及一濕度感測元件，該蒸發器以及該濕度感測元件依序設置於該第三通道之一內側。

本新型之一實施例中，其中該除濕組件以及該送風組件之間更包含一第二溫控組件，該第二溫控組件之一內側設置一第四通道，該第四通道之一端連通該第三通道之另一端，該第二溫控組件係用於控制通過該第四通道之該流體之溫度，該送風組件之該第五通道之一端連通該第四通道之另一端。

本新型之一實施例中，其中該第二溫控組件更包含一第二熱交換裝置以及一第二溫度感測元件，該第二熱交換裝置以及該第二溫度感測元件依序設置於該第四通道之一內側。

本新型之一實施例中，更包含一第二過濾組件，其包含一第二過濾通道以及一第二過濾件，該第二過濾通道之一端連通該第五通道之另一端，該第二過濾通道之另一端連通該出氣口，該第二過濾件設置於該第二過濾通道之一內側，該第二過濾件過濾通過該第二過濾通道之該流體。

本新型之一實施例中，其中該送風組件更包含一鼓風機，該鼓風機設置於該第五通道之一內側。

為達到上述所指稱之各目的與功效，本新型提供一種空氣環境控制系統，其設置於一殼體之一內側，該殼體之二端各別設置一入氣口以及一出氣口，該入氣口接收一流體，該空氣環境控制系統包含：一第一過濾組件、一第一溫控組件、一水洗組件、一除濕組件、一第二溫控組件、一送風組件以及一第二過濾組件，該第一過濾組件設置於該第一腔室之一內側，該第一過濾組件包含一第一過濾通道以及一第一過濾件，該第一過濾通道之一端連通該入氣口，該第一過濾件設置於該第一過濾通道之一內側，該第一過濾件過濾通過該 第一過濾通道之該流體，該第一溫控組件設置於該第一腔室之該內側，該第一溫控組件包含一第一通道，該第一通道之一端連通該第一過濾通道之另一端，該第一溫控組件係用於控制通過該第一通道之該流體之溫度，該水洗組件設置於該第一腔室之該內側，該水洗組件包含一第二通道，該第二通道之一端連通該第一通道之另一端，該水洗組件對通過該第二通道之該流體噴灑一液體，該除濕組件設置於該第二腔室之一內側，該除濕組件包含一第三通道，該第三通道之一端接收該流體，該除濕組件係用於對通過該第三通道之該流體除濕，該第二溫控組件設置於該第二腔室之該內側，該第二溫控組件之一內側設置一第四通道，該第四通道之一端連通該第三通道之另一端，該第二溫控組件係用於控制通過該第四通道之該流體之溫度，該送風組件設置於該第二腔室之該內側，該送風組件包含一第五通道，該第五通道之一端連通該第三通道之另一端，該送風組件係用於輸送通過該第五通道之該流體，該第二過濾組件設置於該第二腔室之該內側，該第二過濾組件包含一第二過濾通道以及一第二過濾件，該第二過濾通道之一端連通該第五通道之另一端，該第二過濾通道之另一端連通該出氣口，該第二過濾件設置於該第二過濾通道之一內側，該第二過濾件過濾通過該第二過濾通道之該流體。

1:空氣環境控制系統

2:殼體

3:入氣口

4:出氣口

5:第一腔室

6:第二腔室

10:第一過濾組件

12:第一過濾通道

14:第一過濾件

20:第一溫控組件

22:第一通道

24:第一熱交換裝置

26:第一溫度感測元件

30:水洗組件

32:第二通道

34:灑水裝置

36:排水裝置

40:除濕組件

42:第三通道

44:蒸發器

46:濕度感測元件

50:送風組件

52:第五通道

54:鼓風機

60:第二溫控組件

62:第四通道

64:第二熱交換裝置

66:第二溫度感測元件

70:第二過濾組件

72:第二過濾通道

74:第二過濾件

A:流體

L:液體

第1圖：其為本新型之第一實施例之結構示意圖；第2圖：其為本新型之第一實施例之流體流動示意圖；第3圖：其為本新型之第二實施例之結構示意圖；第4圖：其為本新型之第二實施例之流體流動示意圖；以及第5圖：其為本新型之第三實施例之結構示意圖。

為使 貴審查委員對本新型之特徵及所達成之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以實施例及配合說明，說明如後：有鑑於上述習知技術之問題，本新型提供一種空氣環境控制系統，其係利用過濾組件、溫控組件、水洗組件、除濕組件以及送風組件控制空氣環境，利用過濾組件以及水洗組件過濾空氣中的微粒，並以溫控組件控制流經系統之空氣之溫度，再以除濕組件控制空氣中的水氣含量，以此系統減少空氣中的微粒，且能同時控制其溫度、濕度之系統。

請參閱第1圖以及第2圖，第1圖為本新型之第一實施例之結構示意圖，第2圖為本新型之第一實施例之流體流動示意圖，如圖所示，本實施例係第一實施例，其係一種空氣環境控制系統1，其係設置於一殼體2之一內側，該殼體2之二端各別設置一入氣口3以及一出氣口4，該入氣口3接收一流體A，該空氣環境控制系統包含，一第一過濾組件10、一第一溫控組件20、一水洗組件30、一除濕組件40以及一送風組件50。

再次參閱第1圖及第2圖，如圖所示，於本實施例中，該第一過濾組件10包含一第一過濾通道12以及一第一過濾件14，該第一過濾通道12之一端連通該入氣口3，該第一過濾件14設置於該第一過濾通道12之一內側，該第一過濾件14過濾通過該第一過濾通道12之該流體A，該第一溫控組件20包含一第一通道22，該第一通道22之一端連通該第一過濾通道12之另一端，該第一溫控組件20係用於控制通過該第一通道22之該流體A之溫度，該水洗組件30包含一第二通道32，該第二通道32之一端連通該第一通道22之另一端，該水洗組件30對通過該第二通道32之該流體A噴灑一液體L，該除濕組件40包含一第三通道42，該第三通道42之一端連通該第二通道32之另一端，該除濕組件40係用於對通過該第 三通道42之該流體A進行除濕，該送風組件50包含一第五通道52，該第五通道52之一端連通該第三通道42之另一端，該第五通道52之另一端連通該出氣口4，該送風組件50係用於輸送通過該第五通道52之該流體A，將該流體A送出該出氣口4。

接續上述，於本實施例中，該第一溫控組件20更包含一第一熱交換裝置24以及一第一溫度感測元件26，該第一熱交換裝置24以及該第一溫度感測元件26依序設置於該第一通道22之一內側，該第一溫度感測元件26感測流經該第一熱交換裝置24之該流體A，以調整該第一熱交換裝置24冷卻、加熱效率；於本實施例中，該第一熱交換裝置24係使用乾盤管(dry coil)，但本新型不在此限制。

接續上述，於本實施例中，該水洗組件30更包含一灑水裝置34以及一排水裝置36，該灑水裝置34設置於該第二通道32之一內側，並噴灑該液體L至該第二通道32之該內側，該排水裝置36設置於該灑水裝置34之一下方，以接收該液體L進行回收，該流體A經過該排水裝置36至該灑水裝置34；於本實施例中，該液體L係水，該排水裝置36係盛水盤及排水孔，但本新型不在此限制。

接續上述，於本實施例中，該除濕組件40更包含一蒸發器44以及一濕度感測元件46，該蒸發器44以及該濕度感測元件46依序設置於該第三通道42之一內側，該濕度感測元件46感測流經該蒸發器44之該流體A，以調整該蒸發器44之除濕效率。

接續上述，於本實施例中，該送風組件50更包含一鼓風機54，該鼓風機54設置於該第五通道52之一內側，以抽送該流體A，使該流體A可流動於該些個通道。

再次參閱第1圖及第2圖，如圖所示，本實施例進一步揭示該流體A之流動路徑，該流體A從該入氣口3吸入至該第一過濾通道12，並經過該第一 過濾件14進行過濾，除去該流體A之微粒，該流體A再經過該第一通道22內之該第一熱交換裝置24進行加熱或冷卻，該流體A再由該排水裝置36之一端進入至該第二通道32內，並受該灑水裝置34噴灑該液體L，進一步以該液體L減少該流體A之微粒含量，而後該流體A進入該第三通道42，並由該蒸發器44進行除濕，減少該流體A之水氣含量，最後該流體A經過該第五通道52受該鼓風機54抽取，且將該流體A輸送出該出氣口4，於此完成本實施例之流體路徑。

本實施例之一種空氣環境控制系統1，其係利用該第一過濾組件10以及該水洗組件30過濾該流體A之微粒含量，以該第一溫控組件20控制該流體A之溫度，以該除濕組件40控制該流體A之濕度，並藉由該送風組件50輸送該流體A，以該流體A改善外部環境之空氣。

請參閱第3圖及第4圖，第3圖為本新型之第二實施例之結構示意圖，第4圖為本新型之第二實施例之流體流動示意圖，如圖所示，本實施例係第二實施例，其係基於上述第一實施例，於該除濕組件40以及該送風組件50之間更包含一第二溫控組件60，以及於該送風組件50之後設置一第二過濾組件70。

再次參閱第3圖及第4圖，如圖所示，於本實施例中，該第二溫控組件60之一內側設置一第四通道62，該第四通道62之一端連通該第三通道42之另一端，該第二溫控組件60係用於控制通過該第四通道62之該流體A之溫度，且該送風組件50之該第五通道52之一端連通該第四通道62之另一端，該第二過濾組件70包含一第二過濾通道72以及一第二過濾件74，該第二過濾通道72之一端連通該第五通道52之另一端，該第二過濾通道72之另一端連通該出氣口4，該第二過濾件74設置於該第二過濾通道72之一內側，該第二過濾件74過濾通過該第二過濾通道72之該流體A，進一步減少該流體A之微粒，以及去除該些組件所產生之額外汙染；本實施例之其他元件與上述第一實施例相同，故不再贅述。

接續上述，於本實施例中，該第二溫控組件60更包含一第二熱交 換裝置64以及一第二溫度感測元件66，該第二熱交換裝置64以及該第二溫度感測元件66依序設置於該第四通道62之一內側，該第二溫度感測元件66感測流經該第二熱交換裝置64之該流體A，以調整該第二熱交換裝置64冷卻、加熱之效率；於本實施例中，該第二熱交換裝置64係使用冷凝器(condenser)，但本新型不在此限制。

再次參閱第3圖及第4圖，如圖所示，本實施例進一步揭示該流體A之流動路徑，該流體A進入該第三通道42，並由該蒸發器44進行除濕，減少該流體A之水氣含量，該流體A進入該第四通道62，並經過該第二熱交換裝置64，以控制該流體A之溫度，該流體A進入該第五通道52後，該鼓風機54將該流體A輸送至該第二過濾通道72，該第二過濾件74過濾通過之該流體A，最後該流體A輸送出該出氣口4，本實施例之其他元件及其流體路徑，皆與上述第一實施例相同，故不再贅述。

本實施例之一種空氣環境控制系統1，其係利用該第一過濾組件10以及該水洗組件30過濾該流體A之微粒含量，以該第一溫控組件20控制該流體A之溫度，以該除濕組件40控制該流體A之濕度，並藉由該送風組件50輸送該流體A，更進一步以該第二控溫組件60穩定經過該水洗組件30以及該除濕組件40之該流體A之溫度，並以該第二過濾組件70進一步去除該些組件所產生之額外汙染。

請參閱第5圖，其為本新型之第三實施例之結構示意圖，如圖所示，本實施例係第三實施例，其係基於上述第二實施例，進一步將一第一過濾組件10、一第一溫控組件20、一水洗組件30、一除濕組件40、一第二溫控組件60、一送風組件50以及一第二過濾組件70各別設置於該殼體2包含之一第一腔室5以及一第二腔室6，該第一腔室5之一端設置一入氣口3，該入氣口3接收一流體A，該第二腔室6之一端連通該第一腔室5之另一端，該第二腔室6之另一端設置 一出氣口4。

再次參閱第5圖，如圖所示，於本實施例中，該第一過濾組件10、該第一溫控組件20、該水洗組件30、該除濕組件40以及該第二溫控組件60設置於該第一腔室5之一內側，該送風組件50以及該第二過濾組件70設置於該第二腔室6之一內側，使該些組件設置於該殼體2內。

綜上所述，本新型提供一種空氣環境控制系統，其利用過濾組件、溫控組件、水洗組件、除濕組件以及送風組件控制空氣環境，利用過濾組件以及水洗組件過濾空氣中的微粒，並以溫控組件控制流經系統之空氣之溫度，再以除濕組件控制空氣中的水氣含量，以此系統減少空氣中的微粒，且同時控制其溫度、濕度，進一步解決習知隨著半導體導線線徑的縮小，氣態分子污染物使製造物產生的不良品之問題。

故本新型實為一具有新穎性、進步性及可供產業上利用者，應符合我國專利法專利申請要件無疑，爰依法提出新型專利申請，祈 鈞局早日賜准專利，至感為禱。

惟以上所述者，僅為本新型一實施例而已，並非用來限定本新型實施之範圍，故舉凡依本新型申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本新型之申請專利範圍內。

1:空氣環境控制系統

2:殼體

3:入氣口

4:出氣口

10:第一過濾組件

12:第一過濾通道

14:第一過濾件

20:第一溫控組件

22:第一通道

30:水洗組件

32:第二通道

40:除濕組件

42:第三通道

50:送風組件

52:第五通道

Claims (9)

1. 一種空氣環境控制系統，其設置於一殼體之一內側，該殼體之二端各別設置一入氣口以及一出氣口，該入氣口接收一流體，該空氣環境控制系統包含：

   一第一過濾組件，其包含一第一過濾通道以及一第一過濾件，該第一過濾通道之一端連通該入氣口，該第一過濾件設置於該第一過濾通道之一內側，該第一過濾件過濾通過該第一過濾通道之該流體；

   一第一溫控組件，其包含一第一通道，該第一通道之一端連通該第一過濾通道之另一端，該第一溫控組件係用於控制通過該第一通道之該流體之溫度；

   一水洗組件，其包含一第二通道，該第二通道之一端連通該第一通道之另一端，該水洗組件對通過該第二通道之該流體噴灑一液體；

   一除濕組件，其包含一第三通道，該第三通道之一端連通該第二通道之另一端，該除濕組件係用於對通過該第三通道之該流體除濕；以及

   一送風組件，其包含一第五通道，該第五通道之一端連通該第三通道之另一端，該第五通道之另一端連通該出氣口，該送風組件係用於輸送通過該第五通道之該流體。
2. 如請求項1所述之空氣環境控制系統，其中該第一溫控組件更包含一第一熱交換裝置以及一第一溫度感測元件，該第一熱交換裝置以及該第一溫度感測元件依序設置於該第一通道之一內側。
3. 如請求項1所述之空氣環境控制系統，其中該水洗組件更包含一灑水裝置以及一排水裝置，該灑水裝置設置於該第二通道之一內側，並噴灑該液體至該第二通道，該排水裝置設置於該灑水裝置之一下方，並接收該液 體。
4. 如請求項1所述之空氣環境控制系統，其中該除濕組件更包含一蒸發器以及一濕度感測元件，該蒸發器以及該濕度感測元件依序設置於該第三通道之一內側。
5. 如請求項1所述之空氣環境控制系統，其中該除濕組件以及該送風組件之間更包含一第二溫控組件，該第二溫控組件之一內側設置一第四通道，該第四通道之一端連通該第三通道之另一端，該第二溫控組件係用於控制通過該第四通道之該流體之溫度，該送風組件之該第五通道之一端連通該第四通道之另一端。
6. 如請求項5所述之空氣環境控制系統，其中該第二溫控組件更包含一第二熱交換裝置以及一第二溫度感測元件，該第二熱交換裝置以及該第二溫度感測元件依序設置於該第四通道之一內側。
7. 如請求項1所述之空氣環境控制系統，更包含一第二過濾組件，其包含一第二過濾通道以及一第二過濾件，該第二過濾通道之一端連通該第五通道之另一端，該第二過濾通道之另一端連通該出氣口，該第二過濾件設置於該第二過濾通道之一內側，該第二過濾件過濾通過該第二過濾通道之該流體。
8. 如請求項1所述之空氣環境控制系統，其中該送風組件更包含一鼓風機，該鼓風機設置於該第五通道之一內側。
9. 一種空氣環境控制系統，其設置於一殼體之一內側，該殼體包含一第一腔室以及一第二腔室，該第一腔室之一端設置一入氣口，該入氣口接收一流體，該第二腔室之一端連通該第一腔室，該第二腔室之另一端設置一出氣口，該空氣環境控制系統包含：

   一第一過濾組件，其設置於該第一腔室之一內側，該第一過濾組件包 含一第一過濾通道以及一第一過濾件，該第一過濾通道之一端連通該入氣口，該第一過濾件設置於該第一過濾通道之一內側，該第一過濾件過濾通過該第一過濾通道之該流體；

   一第一溫控組件，其設置於該第一腔室之該內側，該第一溫控組件包含一第一通道，該第一通道之一端連通該第一過濾通道之另一端，該第一溫控組件係用於控制通過該第一通道之該流體之溫度；

   一水洗組件，其設置於該第一腔室之該內側，該水洗組件包含一第二通道，該第二通道之一端連通該第一通道之另一端，該水洗組件對通過該第二通道之該流體噴灑一液體；

   一除濕組件，其設置於該第一腔室之一內側，該除濕組件包含一第三通道，該第三通道之一端接收該流體，該除濕組件係用於對通過該第三通道之該流體除濕；

   一第二溫控組件，其設置於該第一腔室之該內側，該第二溫控組件之一內側設置一第四通道，該第四通道之一端連通該第三通道之另一端，該第二溫控組件係用於控制通過該第四通道之該流體之溫度；

   一送風組件，其設置於該第二腔室之該內側，該送風組件包含一第五通道，該第五通道之一端連通該第三通道之另一端，該送風組件係用於輸送通過該第五通道之該流體；以及

   一第二過濾組件，其設置於該第二腔室之該內側，該第二過濾組件包含一第二過濾通道以及一第二過濾件，該第二過濾通道之一端連通該第五通道之另一端，該第二過濾通道之另一端連通該出氣口，該第二過濾件設置於該第二過濾通道之一內側，該第二過濾件過濾通過該第二過濾通道之該流體。

Images