CN214791608U - 温湿控制装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种温湿控制装置，其是一种温湿控制装置，其是利用一第一感测组件感测一壳体外侧的一流体的温度与湿度，该流体再进入该壳体的一通道内，并依序利用一制冷装置进行降温及除湿，一制热装置进行加热控温，一加湿装置调控经过的该流体的湿度，且以一控制装置依据一第二感测组件及一第三感测组件的感测信号控制该制冷装置、该制热装置以及该加湿装置的运作，达到调整环境的温度与湿度的功效。

Description

温湿控制装置

技术领域

本申请是关于一种温湿控制装置，尤其是指一种可降低或升高流体的温度及湿度的装置。

背景技术

随着时代的发展，工业生产的品管要求逐渐提高，使得无尘环境的使用也越来越普及，产业界常使用的无尘空间，以半导体产业常设置的无尘室较为常见。

无尘室，又称净室、洁净室或清净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个无尘室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用最大颗粒大小来厘定的；低阶别的无尘室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物)，更在意的是无尘室中的灰尘。

但是在无尘空间的使用中，除了无尘环境所需的污染过滤是统外，还需要能控制无尘空间的湿度以及温度，无尘空间的温度与湿度主要是依据产线的工艺要求来制定，又于满足工艺要求的条件下，也须考虑到作业人员的舒适度感。

当无尘空间的湿度、温度过高时，将产生诸多问题，ㄧ般理想相对湿度范围介于40～60％之间，如相对湿度高于60％且温度也偏高的情况下，意指环境露点温度偏高，使的冷却水管壁上造成结露，如果发生在精密设备或电路中，将产生引起各种事故，使产品不良率上升；此外，湿度太高时，空气中的水分子会使黏着的灰尘吸附在硅晶圆表面耐难以清除，且相对湿度越高，黏附的颗粒越难以去除，但当相对湿度低于30％时，又容易产生静电，由于静电力的作用使粒子也容易吸附于晶圆表面，同时大量半导体器件容易发生电击穿。

由上述可知，湿度控制是无尘环境生产必须具备的重要条件，因此产业界需要一种能感测环境温湿度的温湿控制装置，以调控无尘空间的温度与湿度。

有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种温湿控制装置，其是以感测组件先感测环境中流体的温度与湿度，再将流体依序利用制冷装置除湿，制热装置加温控温，以加湿装置调控湿度，并利用控制装置依第二、三感测组件的信号控制制冷装置、制热装置以及加湿装置，以此结构感测环境的温度与湿度，并对应需求进行温度与湿度的调整与控制。

实用新型内容

本申请所要解决的技术问题在于提供一种温湿控制装置，其是以感测组件先感测环境中流体的温度与湿度，再将流体依序利用制冷装置除湿，制热装置加温控温，以加湿装置调控湿度，并通过控制装置依另一感测组件的信号控制制冷装置、制热装置以及加湿装置的运作，以此结构感测环境的温度与湿度，并对应需求进行温度与湿度的调整与控制。

为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种温湿控制装置，其是用于当一流体流经一第一感测组件后进入该温湿控制装置，以控制该流体的温湿度，该第一感测组件是包含一第一温度传感器以及一第一湿度传感器，该第一温度传感器其是用以感测该流体的一第一温度信号，该第一湿度传感器其是用以感测该流体的一第一湿度信号，该温湿控制装置包含：一壳体、一第二感测组件、一制冷装置、一制热装置、一加湿装置、一第三感测组件以及一控制装置，该壳体穿设一通道，该通道的一端设置一进气口，该通道的另一端设置一出气口，该流体流进该进气口，该第二感测组件设置于该通道并相邻该进气口，该流体流经该第二感测组件，该第二感测组件包含一第二温度传感器以及一第二湿度传感器，该第二温度传感器其是用以感测该流体的一第二温度信号，该第二湿度传感器其是用以感测该流体的一第二湿度信号，该制冷装置是设置于该通道并与该进气口夹设该第二感测组件，该流体流经该第二感测组件后流入该制冷装置，该制热装置是设置于该通道并与该第二感测组件夹设该制冷装置，该流体流经该制冷装置后流入该制热装置，该加湿装置设置于该通道的该内侧，该加湿装置是设置于该通道并与该制冷装置夹设该制热装置，该流体流经该制热装置后流入该加湿装置，该第三感测组件设置于该通道的该内侧，该出气口与该加湿装置夹设该第三感测组件，该流体流经该加湿装置后流入该第三感测组件，该第三感测组件包含一第三温度传感器以及一第三湿度传感器，该第三温度传感器其是用以感测该流体的一第三温度信号，该第三湿度传感器其是用以感测该流体的一第三湿度信号，该流体流经该第三感测组件后，流出该出气口，该控制装置电性连接该第一感测组件、该第二感测组件以及该第三感测组件并接收该第一温度信号、该第一湿度信号、该第二温度信号、该第二湿度信号、该第三温度信号以及该第三湿度信号，该控制装置电性连接并分别传输一控制信号至该制冷装置、该制热装置以及该加湿装置；利用此装置调控环境的温度与湿度。

本申请的一实施例中，其中该距离是与该进气口的一径长成正比。

本申请的一实施例中，其中该制冷装置包含一第一热交换器以及一第一压缩机，该第一压缩机连接该第一热交换器的一端。

本申请的一实施例中，其中该第一热交换器包含一第一交换管件以及多个第一散热鳍片。

本申请的一实施例中，其中该制热装置包含一第二热交换器以及一第二压缩机，该第二压缩机连接该第二热交换器的一端。

本申请的一实施例中，其中该第二热交换器设置一第二交换管件以及多个第二散热鳍片。

本申请的一实施例中，更包含一送风装置，其与该第二感测组件夹设该进气口，该送风装置电性连接该控制装置并接收该控制信号。

有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1其为本申请的实施例的结构示意图；

图2其为本申请的实施例的感测组件距离关系示意图；

图3其为本申请的实施例的电性连接示意图；

图4其为本申请的实施例的流体路径示意图；

图5其为本申请的实施例的送风装置示意图；以及

图6其为本申请的实施例的送风装置电性连接示意图。

符号说明

1 温湿控制装置 10 第一感测组件 12 第一温度传感器

122 第一温度信号 14 第一湿度传感器 142 第一湿度信号

20 壳体 22 通道 24 进气口

26 出气口 30 第二感测组件 32 第二温度传感器

322 第二温度信号 34 第二湿度传感器 342 第二湿度信号

40 制冷装置 42 第一热交换器 422 第一交换管件

424 第一散热鳍片 44 第一压缩机 50 制热装置

52 第二热交换器 522 第二交换管件 524 第二散热鳍片

54 第二压缩机 60 加湿装置 70 第三感测组件

72 第三温度传感器 722 第三温度信号 74 第三湿度传感器

742 第三湿度信号 80 控制装置 802 控制信号

90 送风装置 A 流体 D1 距离

D2 径长

具体实施方式

在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。

本申请提供一种温湿控制装置，其是一种温湿控制装置，其是利用一第一感测组件感测环境中一流体的温度与湿度，再使该流体进入一壳体内，并依序经过一第二感测组件、一制冷装置、一制热装置、一加湿装置以及一第三感测组件，且利用一控制装置依该第二感测组件及该第三感测组件的感测信号控制该制冷装置、该制热装置以及该加湿装置，以该结构调控环境的温度与湿度。

请参阅图1，其为本申请的第一实施例的结构示意图，如图所示，本实施例是一种温湿控制装置1，其是用于当一流体A流经一第一感测组件10后进入该温湿控制装置1，以控制该流体A的温湿度，该温湿控制装置1以一第一感测组件10感测于环境中的该流体A的温度与湿度，该温湿控制装置1包含一壳体20、一第二感测组件30、一制冷装置40、一制热装置50、一加湿装置60、一第三感测组件70以及一控制装置80；于本实施例中，该壳体20以一距离D1间隔设置于该第一感测组件10的一侧，以感测该壳体20外的环境。

再次参阅图1以及参阅图2，图2为本申请的实施例的感测组件距离关系示意图，如图所示，于本实施例中，该第一感测组件10包含一第一温度传感器12以及一第一湿度传感器14，该第一温度传感器12用以感测一第一温度信号122，该第一湿度传感器14用以感测一第一湿度信号142，该壳体20设置于该第一感测组件10的一侧，该壳体20穿设一通道22，该通道22的一端设置一进气口24，该通道的另一端设置一出气口26，该第二感测组件30设置于该通道22的一内侧，并相邻该进气口24，该第一感测组件30包含一第二温度传感器32以及一第二湿度传感器34，该第二温度传感器32用以感测一第二温度信号322，该第二湿度传感器34用以感测一第二湿度信号342，该制冷装置40设置于该通道22并与该进气口24夹设该第二感测组件30，并进行降温除湿，该制热装置50设置于该通道22并与该第二感测组件30夹设该制冷装置40，并进行加温，该加湿装置60设置于该通道22并与该制冷装置40夹设该制热装置50，且进行加湿，例如使用喷洒水雾的方式对经过的流体加湿，该第三感测组件70设置于该通道22的该内侧，该出气口26与该加湿装置60夹设该第三感测组件70，该第三感测组件70包含一第三温度传感器72以及一第三湿度传感器74，该第三温度传感器72用以感测一第三温度信号722，该第三湿度传感器74用以感测一第三湿度信号742，该控制装置80电性连接该第一感测组件10、该第二感测组件30以及该第三感测组件70并接收该第一感测组件10、该第二感测组件30以及该第三感测组件70所发出的该第一温度信号122、该第一湿度信号142、该第二温度信号322、该第二湿度信号342、该第三温度信号722以及该第三湿度信号742，用以取得该些传感器的感测信号，且该控制装置80电性连接并分别传输一控制信号802至该制冷装置40、该制热装置50以及该加湿装置60，用以控制该些装置。

接续上述，于本实施例中，该壳体20的该进气口24与该第一感测组件10之间间距一距离D1，该距离D1是与该进气口24的一径长D2成正比，而该径长D2可为该进气口24的直径、半径或矩形对角线的长度，例如该径长D2为1m时，对应的该距离D1为20m，若该径长D2为0.5m，对应的该距离D1需对应缩短，例如缩短为15m，但本申请不在此限制。

请参阅图3以及图4，图3为本申请的实施例的电性连接示意图，图4为本申请的实施例的流体路径示意图，如图所示，于本实施例中，该第一感测组件10的该第一温度传感器12感测该流体A的温度并传送该第一温度信号122，该第一湿度传感器14感测该流体A的湿度并传送该第一湿度信号142，该控制装置80接收该第一温度信号122及该第一湿度信号142，并控制该温湿控制装置1吸入该流体A，该流体A由该进气口24进入该通道22，该第二感测组件30的该第二温度传感器32感测该流体A的该第二温度信号322，及该第二湿度传感器34感测该流体A的该第二湿度信号342，并将该第二温度信号322及该第二湿度信号342传送至该控制装置80，使该控制装置80可对应控制该制冷装置40的运作，该流体A经过该制冷装置40进行降温除湿，例如以冷却凝结的方式降低该流体A的湿度。

接续上述，该流体A经过该制冷装置40后，再经过该制热装置50，以加温该制冷装置40所降温的该流体A，使该流体A的温度回升，该流体A再经过该加湿装置60，以加湿该制冷装置40所除湿的该流体A，使该流体A的湿度回升，该制热装置50与该加湿装置60用于调控该流体A的湿度及温度，该流体A再经过该第三感测组件70，该第三温度传感器72感测该流体A的温度，并传送该第三温度信号722，及该第三湿度传感器74感测该流体A的湿度，并传输该第三湿度信号742，该控制装置80接收该第三温度信号722，并对应控制该制热装置50的运作，该控制装置80接收该第三湿度信号742，并对应控制该加湿装置60的运作，最后该流体A送出该出气口26至后续产线；于本实施例中，该控制装置80是以该控制信号802控制该制冷装置40、该制热装置50以及该加湿装置60。

接续上述，于本实施例中，该制冷装置40包含一第一热交换器42以及一第一压缩机44，该第一压缩机连接44该第一热交换器42的一端，该第一热交换器42设置于该通道22，该第一热交换器42包含一第一交换管件422以及多个第一散热鳍片424，该第一交换管件422穿设该些个第一散热鳍片424，该些个第一散热鳍片424各别间隔设置使该流体A通过，该第一压缩机44于该第一交换管件422内输送降温后的液体至该些个第一散热鳍片424，以对该流体A进行降温并凝结该流体A的水气，该第一压缩机44接收该控制装置80的该控制信号802，该制热装置50包含一第二热交换器52以及一第二压缩机54，该第二压缩机54连接该第二热交换器52的一端，该第二热交换器52设置于该通道22，该第二热交换器52包含第一第二交换管件522以及多个第二散热鳍片524，该第二交换管件522穿设该些个第二散热鳍片524，该些个第二散热鳍片524各别间隔设置使该流体A通过，该第二压缩机54于该第二交换管件522内输送加温后的液体至该些个第二散热鳍片524，以对该流体A进行加温，该第二压缩机54接收该控制装置80的该控制信号802；于本实施例中，该第一交换管件422的一端凸出该壳体20，用于散热，该第二交换管件522的一端凸出该壳体20，用于吸热。

接续上述，于本实施例中，该加湿装置60是以喷洒水雾的方式对经过的该流体A加湿，但本申请不在此限制。

请参阅图5以及图6，图5为本申请的实施例的送风装置示意图，图6为本申请的实施例的送风装置电性连接示意图，如图所示，于本实施例中，该温湿控制装置1更包含一送风装置90，该送风装置90与该第二感测组件30夹设该进气口24，该送风装置90电性连接该控制装置80并接收该控制信号802，该控制装置80依据该第一温度传感器12以及该第一湿度传感器14的该第一温度信号122及该第一湿度信号142传送该控制信号802，以控制该送风装置90的风扇转速。

本实施例是利用该第一感测组件10感测该壳体20外部的该流体A(例如空气)，该控制装置80以该第一感测组件10的该第一温/湿度信号122、142调整该送风装置90吸取该流体A的吸取量，并以该第二感测组件30的该第二温/湿度信号322、342调整该制冷装置40的降温除湿效率，再以该第三感测组件70的该第三温/湿度信号722、742调整该制热装置50及该加湿装置60的效率，该控制装置80通过该第二感测组件30与该第三感测组件70的信号，避免该制冷装置40过度降温或除湿，同时也避免该制热装置50及该加湿装置60过度加温及加湿，进一步减少该温湿控制装置1的能源消耗。

综上所述，本申请提供一种温湿控制装置，其是以第一感测组件先感测环境中流体的温度与湿度，若环境过于潮湿、干燥，实时对应增加装置的运转效能，再将流体依序利用制冷装置除湿，制热装置加温控温，以加湿装置调控湿度，并利用控制装置依第二、三感测组件的信号，对应控制调整制冷装置、制热装置以及加湿装置的温度、湿度调节效能，避免过度运作，使装置需耗费大量能源重新调节流体，以此结构感测环境的温度与湿度，并对应需求进行温度与湿度的调整与控制，解决无尘空间的湿度、温度过高时，产生的诸多问题。

以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本申请实质相同的技术或实施例。

Claims (7)

1.一种温湿控制装置，其是用于当环境中一流体流经一第一感测组件后进入该温湿控制装置，以调控该环境的温湿度，该第一感测组件是包含一第一温度传感器以及一第一湿度传感器，该第一温度传感器其是用以感测该流体的一第一温度信号，该第一湿度传感器其是用以感测该流体的一第一湿度信号，其特征在于，该温湿控制装置包含：

一壳体，其穿设一通道，该通道的一端设置一进气口，该通道的另一端设置一出气口，该流体流进该进气口；

一第二感测组件，其设置于该通道并相邻该进气口，该流体流经该第二感测组件，该第二感测组件包含一第二温度传感器以及一第二湿度传感器，该第二温度传感器其是用以感测该流体的一第二温度信号，该第二湿度传感器其是用以感测该流体的一第二湿度信号；

一制冷装置，其是设置于该通道并与该进气口夹设该第二感测组件，该流体流经该第二感测组件后流入该制冷装置；

一制热装置，其是设置于该通道并与该第二感测组件夹设该制冷装置，该流体流经该制冷装置后流入该制热装置；

一加湿装置，其设置于该通道，该加湿装置与该制冷装置夹设该制热装置，该流体流经该制热装置后流入该加湿装置；

一第三感测组件，其设置于该通道并与该加湿装置夹设该第三感测组件，该流体流经该加湿装置后流入该第三感测组件，该第三感测组件包含一第三温度传感器以及一第三湿度传感器，该第三温度传感器其是用以感测该流体的一第三温度信号，该第三湿度传感器其是用以感测该流体的一第三湿度信号，该流体流经该第三感测组件后，流出该出气口；以及

一控制装置，其电性连接该第一感测组件、该第二感测组件以及该第三感测组件并接收该第一温度信号、该第一湿度信号、该第二温度信号、该第二湿度信号、该第三温度信号以及该第三湿度信号，该控制装置电性连接并分别传输一控制信号至该制冷装置、该制热装置以及该加湿装置。

2.根据权利要求1所述的温湿控制装置，其特征在于，该壳体与该第一感测组件间隔一距离，该距离是与该进气口的一径长成正比。

3.根据权利要求1所述的温湿控制装置，其特征在于，该制冷装置包含一第一热交换器以及一第一压缩机，该第一压缩机连接该第一热交换器的一端。

4.根据权利要求3所述的温湿控制装置，其特征在于，该第一热交换器包含一第一交换管件以及多个第一散热鳍片。

5.根据权利要求1所述的温湿控制装置，其特征在于，该制热装置包含一第二热交换器以及一第二压缩机，该第二压缩机连接该第二热交换器的一端。

6.根据权利要求5所述的温湿控制装置，其特征在于，该第二热交换器设置一第二交换管件以及多个第二散热鳍片。

7.根据权利要求1所述的温湿控制装置，其特征在于，更包含一送风装置，其与该第二感测组件夹设该进气口，该送风装置电性连接该控制装置并接收该控制信号。

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