TWM613226U - 搬送設備通訊系統 - Google Patents
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Abstract
本創作提供一種搬送設備通訊系統,其與生產管理系統耦接,生產管理系統透過搬送設備通訊系統操控複數搬送設備將物品搬離或移送至生產機台,每一物品嵌設專屬標籤;搬送設備通訊系統包含生產通訊界面、複數搬送通訊器、讀取器及主控制器;讀取器與物品之專屬標籤感應連接,以取得識別資訊;主控制器與生產通訊界面、各搬送通訊器及讀取器耦接,控制器透過生產通訊界面將識別資訊傳送至生產管理系統,生產管理系統依據識別資訊透過各搬送通訊器操控各搬送設備;藉以,達到能夠與多台搬送設備間的通訊交流效果。
Description
本創作係關於一種通訊系統,尤指一種應用於半導體生產製造的搬送設備通訊系統。
在半導體元件或液晶顯示器等設備的生產流程中,使用自動搬運系統(Automated Material Handling System:AMHS)將製造物品向各生產流程的製造設備移送,使相關物品按照各製造設備的工序完成製造。
自動搬運系統利用無人移送裝置將收納有半導體基板或液晶基板的載具(carrier)向設置在生產流水線上的各製造設備移送,然後再將在相關製造設備中完成相應工序的物品重新收納並向下一個流程的製造設備移送。
當將搬運物品在無人移送裝置和製造設備之間進行移送時,無人移送裝置和製造設備皆需要透過一組通訊主控制器,按照SEMI E84通訊協定彼此傳送輸入輸出信號,並對搬運物品進行裝載或卸載的裝卸作業。
然而,一般無人移送裝置和製造設備間僅能夠以一對一且單一主從關係進行通訊交流,若有多台搬送設備需要與製造設備進行通訊交流時,便需要多組通訊主控制器進行交流,導致通訊架設成本增加。
為解決上述課題,本創作提供一種搬送設備通訊系統,達到能夠與多台搬送設備間的通訊交流效果,藉以有效減少通訊架設成本,且增加通訊交流的便利性。
本創作之一項實施例提供一種搬送設備通訊系統,其與一生產管理系統耦接,生產管理系統透過搬送設備通訊系統操控複數搬送設備將一物品搬離或移送至一生產機台,每一物品嵌設一專屬標籤;搬送設備通訊系統包含:一生產通訊界面,其與生產管理系統耦接;複數搬送通訊器,其與各搬送設備耦接;一讀取器,其與搬送設備裝載物品之專屬標籤感應連接,以取得一識別資訊;以及一主控制器,其與生產通訊界面、各搬送通訊器及讀取器耦接,主控制器接收識別資訊,主控制器透過生產通訊界面將識別資訊傳送至生產管理系統,生產管理系統依據識別資訊透過各搬送通訊器操控各搬送設備。
藉由上述,本創作能夠使生產機台與多台搬送設備間進行通訊交流,透過雙向通訊交流方式,雙方均能夠做為主端或從端,藉以改善習知僅能單一主從關係,且能有效減少通訊架設成本,進而增加通訊交流的便利性。
為便於說明本創作於上述創作內容一欄中所表示的中心思想,茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件係按適於說明之比例、尺寸、變形量或位移量而描繪,而非按實際元件的比例予以繪製,合先敘明。
請參閱圖1至圖2所示,本創作提供一種搬送設備通訊系統100,其與一生產管理系統1耦接,生產管理系統1透過搬送設備通訊系統100操控複數搬送設備2將一物品搬離或移送至一生產機台,每一物品嵌設一專屬標籤,其中,生產管理系統1能夠是製造執行系統(Manufacturing Execution System;MES)或物料搬送控制系統(Material Control System;MCS);搬送設備2能夠是相同或非相同設備,於本創作實施例中,專屬標籤為無線射頻標籤(RFID)。
本創作搬送設備通訊系統100包含:
一生產通訊界面10,其與生產管理系統1耦接,其中,各搬送通訊器20能夠是透過HSMS或ASCII通訊協議與生產管理系統1訊號連接。
複數搬送通訊器20,其與各搬送設備2耦接;每一搬送通訊器20是根據SEMI E84規格構成;於本創作實施例中,搬送通訊器20的數量為兩個,也就是說,兩個搬送通訊器20能夠分別連接兩台相同的搬送設備2或是兩台不相同的搬送設備2。
一讀取器30,其與搬送設備2所裝載物品之專屬標籤感應連接,以取得專屬標籤所含有的一識別資訊;於本創作實施例中,讀取器30為無線射頻辨識讀取器。
一主控制器40,其與生產通訊界面10、各搬送通訊器20及讀取器30耦接,於本創作實施例中,各搬送通訊器20及讀取器30整合於主控制器40。
主控制器40能夠接收由讀取器30取得的識別資訊,主控制器40接收識別資訊,主控制器40透過生產通訊界面10將識別資訊傳送至生產管理系統1,生產管理系統1依據識別資訊透過各搬送通訊器20操控各搬送設備2,而且主控制器40亦能將識別資訊顯示,顯示方式能夠依據使用者需求做調整,例如以螢幕顯示或語音播報,本創作不以此為限。
再者,各搬送設備2透過各搬送通訊器20傳送資訊至主控制器40,也就是說,搬送設備通訊系統100能夠與搬送設備2及生產機台做雙向溝通,分別將資訊傳送至主控制器40,讓搬送設備2及生產機台兩者均可作為主端或從端。
至少一感應器50,其與主控制器40耦接,感應器50用於偵測搬送設備2將物品搬離或移送至生產機台,感應器50會對應物品所處狀態(搬離或搬至生產機台)產生一感測訊號,主控制器40將感測訊號透過生產通訊界面10傳送至生產管理系統1,生產管理系統1依據感測訊號經由各搬送通訊器20操控各搬送設備2,或是主控制器40能將感測訊號顯示,顯示方式能夠依據使用者需求做調整,例如以螢幕顯示或語音播報,本創作不以此為限。
再者,感應器50能夠是重量、紅外線、影像或其他能夠偵測物品是否被放置或移離生產機台等功效的感應器50,本創作不限制感應器50的類型。
因此,本創作搬送設備通訊系統100,能夠使生產機台與多台搬送設備2間進行通訊交流,透過雙向通訊交流方式,雙方均能夠做為主端或從端,能有效減少通訊架設成本,進而增加通訊交流的便利性。
再者,本創作搬送設備通訊系統100,能夠將各搬送通訊器20及讀取器30與主控制器40整合,無須另外建置讀取器30,以有效縮小整體體積,進而降低搬送設備通訊系統100的建構成本。
以上所舉實施例僅用以說明本創作而已,非用以限制本創作之範圍。舉凡不違本創作精神所從事的種種修改或變化,俱屬本創作意欲保護之範疇。
1:生產管理系統
2:搬送設備
100:搬送設備通訊系統
10:生產通訊界面
20:搬送通訊器
30:讀取器
40:主控制器
50:感應器
圖1係本創作系統方塊圖。
圖2係本創作系統連接示意圖。
100:搬送設備通訊系統
10:生產通訊界面
20:搬送通訊器
30:讀取器
40:主控制器
50:感應器
Claims (10)
- 一種搬送設備通訊系統,其與一生產管理系統耦接,該生產管理系統透過該搬送設備通訊系統操控複數搬送設備將一物品搬離或移送至一生產機台,每一物品嵌設一專屬標籤;該搬送設備通訊系統包含: 一生產通訊界面,其與該生產管理系統耦接; 複數搬送通訊器,其與各該搬送設備耦接; 一讀取器,其與所述搬送設備裝載該物品之專屬標籤感應連接,以取得一識別資訊;以及 一主控制器,其與該生產通訊界面、各該搬送通訊器及該讀取器耦接,該主控制器接收所述識別資訊,該主控制器透過該生產通訊界面將所述識別資訊傳送至該生產管理系統,該生產管理系統依據所述識別資訊透過各該搬送通訊器操控各該搬送設備。
- 如請求項1所述之搬送設備通訊系統,其中,所述搬送設備透過所述搬送通訊器傳送資訊至該主控制器。
- 如請求項1所述之搬送設備通訊系統,更具有至少一感應器,其與該主控制器耦接,所述感應器偵測所述搬送設備將該物品搬離或移送至所述生產機台,對應該物品所處狀態產生一感測訊號,所述感應器將所述感測訊號傳送至該主控制器。
- 如請求項3所述之搬送設備通訊系統,其中,該主控制器將所述感測訊號透過所述搬送通訊器傳送至所述搬送設備。
- 如請求項1所述之搬送設備通訊系統,其中,每一搬送通訊器是根據SEMI E84規格構成。
- 如請求項1至5任一項所述之搬送設備通訊系統,其中,所述搬送通訊器的數量為兩個。
- 如請求項1所述之搬送設備通訊系統,其中,該專屬標籤為無線射頻標籤;該讀取器為無線射頻辨識讀取器。
- 如請求項1或7所述之搬送設備通訊系統,其中,該讀取器及各該搬送通訊器整合於該主控制器。
- 如請求項1所述之搬送設備通訊系統,其中,該主控制器能將所述識別資訊顯示。
- 如請求項1、3或4所述之搬送設備通訊系統,其中,該主控制器能將所述感測訊號顯示。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW110201882U TWM613226U (zh) | 2021-02-20 | 2021-02-20 | 搬送設備通訊系統 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW110201882U TWM613226U (zh) | 2021-02-20 | 2021-02-20 | 搬送設備通訊系統 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM613226U true TWM613226U (zh) | 2021-06-11 |
Family
ID=77517612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW110201882U TWM613226U (zh) | 2021-02-20 | 2021-02-20 | 搬送設備通訊系統 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWM613226U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI895642B (zh) * | 2021-10-29 | 2025-09-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法 |
| TWI901137B (zh) * | 2024-05-21 | 2025-10-11 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 晶圓搬運方法、晶圓搬運區域控制方法與晶圓搬運系統 |
-
2021
- 2021-02-20 TW TW110201882U patent/TWM613226U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI895642B (zh) * | 2021-10-29 | 2025-09-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 無線通訊系統、搬運台車側的通訊設備、及通訊方法 |
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