TWM597509U

TWM597509U - 旋轉裝置及其晶舟裝置

Info

Publication number: TWM597509U
Application number: TW109203383U
Authority: TW
Inventors: 蘇信瑀
Original assignee: 蘇信瑀
Priority date: 2020-03-24
Filing date: 2020-03-24
Publication date: 2020-06-21

Abstract

一種旋轉裝置，其保溫桶下部與保溫桶上部間係形成法蘭座結構的組合方式，使二者間能夠相對轉動。保溫桶上部用以連接及支持晶舟本體，而加熱器結構則設置於保溫桶上部與加熱器支架之間，使旋轉裝置能帶動晶舟本體轉動並透過加熱器支架支撐加熱器結構，藉此有效避免電源線與晶舟本體間相互干涉現象，進而不會妨礙加熱器結構加熱工序者。

Description

旋轉裝置及其晶舟裝置

本創作係關於一種旋轉裝置，尤指一種用以旋轉加熱晶圓之旋轉裝置及其晶舟裝置。

於矽晶圓上形成各種電路等之半導體製程中，半導體薄膜成膜處理、蝕刻處理、抗蝕膜焙燒處理等，都需使用供對矽晶圓等半導體晶圓(以下略稱為晶圓)進行加熱之晶圓加熱裝置。

習用晶圓加熱裝置，主要是由一上板體與一下板體所組成，並在該下板體上設置有溝槽，使加熱線可放置於其中，且在晶圓放置於加熱器上後對加熱線導通電流，使加熱器整體產生熱度以對晶圓進行加熱之動作。

請參閱第1圖，習用晶舟裝置90包括：一由數個柱體97支持的晶舟本體91；至少一個設置於該晶舟本體91上的檔片92；數個被疊層放置於該晶舟本體91內的晶圓93；一設於各該檔片92之間之加熱器結構94，該加熱器結構94經由一電源線98電性連接至外界電源；一用以支持該晶舟本體91的基座95；以及一設置於該基座95下方的底座96。基座95及底座96均為固定結構，與晶舟本體91間並無相對轉動關係。

上述習用加熱器結構94若希望採用旋轉方式對晶圓93進行加熱時，電源線98將與晶舟本體91尤指柱體97相互干涉，進而纏繞糾結(如第1圖中虛線所示者)，造成設備損壞的情形，故習用加熱器結構94實質上無法以旋轉方式進行加熱。

本創作之目的即在於提供一種旋轉裝置，其能帶動晶舟裝置進行旋轉加熱工序，使加熱器結構在加熱過程中的溫度能夠均勻分布者。

本創作之次一目的係在於提供一種應用上述旋轉裝置之晶舟裝置，其能帶動晶舟本體轉動並透過加熱器支架支撐加熱器結構，有效避免電源線與晶舟本體間相互干涉現象，進而不會妨礙晶舟裝置進行旋轉加熱工序者。

可達成上述新型目的之旋轉裝置，至少包括有：一底座；一固設於該底座正上方的支撐座；一固設於該支撐座正上方的平台；一固設於該平台正上方的保溫桶下部，該保溫桶下部具有一形成法蘭座結構中的座部；一設置於該平台正上方且套接於該座部上的加熱器支架；一保溫桶上部，該保溫桶上部具有一形成法蘭座結構中的管部，該管部以能夠相對轉動方式套接於該座部上；以及一加熱器結構者；其中該加熱器支架係由至少一支撐件所支撐，其中該支撐件一端接設於該加熱器支架，另一端則接設於該底座上。

在本創作一較佳實施例中，其中該加熱器結構係設置於該保溫桶上部與該加熱器支架之間。

在本創作一較佳實施例中，其中該加熱器結構係設置於該平台與該支撐座之間。

在本創作一較佳實施例中，其中該加熱器結構更包含：一容置槽，其具有一頂端開口及一容置空間；一設於該容置槽上方並被容置於該容置空間內的層板，該層板頂面設有一溝槽；一被容置於該溝槽內部的加熱線圈，該加熱線圈更電性連接至一電源線。

在本創作一較佳實施例中，其中該加熱器結構更包含一可蓋合於該頂端開口並封閉該容置空間的蓋體。

在本創作一較佳實施例中，其中該加熱器結構係為一同心圓態樣。

在本創作一較佳實施例中，其中該加熱器結構係為八邊形或花瓣形態樣。

在本創作一較佳實施例中，其中該支撐件係為柱體，較佳者係以四個柱體支撐。

可達成上述新型目的之另一種旋轉裝置，至少包括一底座；一固設於該底座正上方的支撐座；一固設於該支撐座正上方的保溫桶下部，該保溫桶下部具有一形成法蘭座結構中的座部；一保溫桶上部，該保溫桶上部具有一形成法蘭座結構中的管部，該管部以能夠相對轉動方式套接於該座部上；一套設於該支撐座及該保溫桶外圍的加熱器支架；一被該加熱器支架所支撐的加熱器結構；以及一安裝於該加熱器結構上的加熱線圈，該加熱線圈更電性連接至一電源線，藉以連接外電；其中該加熱器支架、該加熱器結構及該加熱線圈分別設有一直徑稍大於該支撐座外徑的中央通孔，以容許該支撐座以可自由轉動方式穿過該加熱器支架、該加熱器結構及該加熱線圈者；其中該加熱器支架一端設置於該保溫桶上部，另一端則接設於該底座之上方。

可達成上述新型目的之一種晶舟裝置，至少包括：一晶舟本體；至少一個設置於該晶舟本體上的檔片；數個被疊層放置於該晶舟本體內的晶圓；以及一如上所述之旋轉裝置，該旋轉裝置中的保溫桶上部用以連接及支持該晶舟本體，藉以帶動該晶舟本體轉動者。

在本創作一較佳實施例中，更包括有一完全罩住該晶舟本體的外罩。

在本創作一較佳實施例中，其中該外罩係使用高熱傳導率材料所製成。

可達成上述新型目的之另一種晶舟裝置，至少包括：一晶舟本體；至少一個設置於該晶舟本體上的檔片；數個被疊層放置於該晶舟本體內的晶圓；以及一如前所述之旋轉裝置，該旋轉裝置中套設於該支撐座外圍作為保溫桶的加熱器支架係用以連接及支持該晶舟本體，藉以帶動該晶舟本體轉動者。

在本創作一較佳實施例中，更包括有一完全罩住該晶舟本體的外罩，其中該外罩係使用高熱傳導率材料所製成。

請同時參閱第2圖至第4圖，本創作所提供之旋轉裝置，主要包括有：一底座10；一固設於該底座10正上方的支撐座11；一固設於該支撐座11正上方的平台13；一固設於該平台13正上方的保溫桶下部14，該保溫桶下部14具有一形成法蘭座結構中的座部15；一設置於該平台13正下方且接設於該座部15下的加熱器支架16；一保溫桶上部17，該保溫桶上部17具有一形成法蘭座結構中的管部18，該管部18以能夠相對轉動方式套接於該座部15上；以及一加熱器結構19，該加熱器結構19更電性連接至一電源線12，藉以連接外電，提供該加熱器結構19進行加熱時所需的工作電源者。該加熱器支架16係由至少一支撐件40所支撐，該支撐件40可為柱體、桶狀型支撐件，在本創作一實施例中，該支撐件40較佳者係以四個柱體為主。其中支撐該支撐件40一端接設於該加熱器支架16，另一端則接設於該底座10上，用以透過各該支撐件40及該加熱器支架16之設計，使其能夠支撐加熱器結構，達到支撐之作用，且將電線設置於加熱器支架上，即可有效避免電線旋轉而打結絆住之情形。

請參閱第5圖至第7圖，本創作所提供之一種晶舟裝置，至少包括：一晶舟本體20；至少一個設置於該晶舟本體20上的檔片21；數個被疊層放置於該晶舟本體20內的晶圓22；以及一如上所述之旋轉裝置，該旋轉裝置中的保溫桶上部17用以連接及支持該晶舟本體20，藉以帶動該晶舟本體20轉動者。該晶舟裝置更包括有一完全罩住該晶舟本體20的外罩23，該外罩23係使用高熱傳導率材料所製成。且該加熱器結構19係設置於該保溫桶上部17與該加熱器支架16之間，且該加熱器支架16、加熱器結構19及加熱線圈35分別設有一直徑稍大於該支撐座11外徑的中央通孔，故其不會跟著轉動，藉此有效避免電線因旋轉加熱而打結絆住之情形。

如第4圖及第5圖所示者，旋轉裝置中的保溫桶下部14與保溫桶上部17間係形成法蘭座結構的組合方式，使二者間能夠相對轉動。其中該旋轉裝置中的保溫桶上部17用以連接及支持該晶舟本體20，而該加熱器結構19則設置於該保溫桶上部17與該加熱器支架16之間，使該旋轉裝置能帶動晶舟本體20轉動，並能夠避免加熱器結構19與加熱器支架16旋轉，藉此有效避免電源線12與晶舟本體20間相互干涉現象，進而不會妨礙晶舟本體20進行旋轉加熱工序者。

請參閱第6圖，該加熱器結構19包含：一容置槽30，其具有一頂端開口31及一容置空間32；一設於該容置槽30上方並被容置於該容置空間32內的層板33，該層板33頂面設有一溝槽34；一被容置於該溝槽34內部的加熱線圈35，該加熱線圈35更電性連接至一電源線12；以及一可蓋合於該頂端開口31並封閉該容置空間32的蓋體36。

請參閱第8圖，本創作所提供之旋轉裝置第二實施例，包括有：一底座10；一固設於該底座10正上方的支撐座11，該支撐座11實質上為一可帶動晶舟裝置（圖未示出）轉動的驅動軸桿；一套設於該支撐座11外圍的加熱器支架16，該加熱器支架16除了可以支撐一加熱器結構19外，實質上亦形成為一桶狀型加熱器結構(圖未示)；以及一安裝於該加熱器結構19上的加熱線圈35，該加熱線圈35更電性連接至一電源線12，藉以連接外電，提供該加熱線圈35進行加熱時所需的工作電源者。該加熱器支架16、加熱器結構19及加熱線圈35分別設有一直徑稍大於該支撐座11外徑的中央通孔，以容許該支撐座11以可自由轉動方式穿過該加熱器支架16、加熱器結構19及加熱線圈35，其頂端再與該晶舟裝置（圖未示出）聯結，並透過支撐座11帶動該晶舟裝置轉動，而該加熱器支架16、加熱器結構19及加熱線圈35因直徑大於於該支撐座11外徑的中央通孔故其不會跟著轉動，藉此有效避免電線因旋轉加熱而打結絆住之情形。

請參閱第9圖，該加熱器結構19亦可設置於該平台13與該支撐座11之間。請參閱第10圖，該加熱器結構19係為一同心圓態樣。請參閱第11圖該加熱器結構19亦可為八邊形或花瓣形態樣。另外，在本創作另一較佳實施例中，該加熱器結構係為桶狀型加熱器結構，該桶狀型加熱器結構，由內而外依序設有該加熱線圈、該層板以及該隔熱層所形成；據此透過該加熱器結構用以圍繞於該保溫桶外圍，亦能達到讓整體之保溫效果更好且溫度更均勻。

本創作所提供之旋轉裝置及其晶舟裝置，能夠帶動加熱器結構進行旋轉加熱工序，使加熱器結構在加熱過程中的溫度能夠均勻分布者。應用上述旋轉裝置之晶舟裝置，更能帶動晶舟本體轉動，並能夠避免加熱器結構與加熱器支架旋轉，藉此有效避免電源線與晶舟本體間相互干涉現象，進而不會妨礙晶舟本體進行旋轉加熱工序者。

上列詳細說明係針對本創作之一可行實施例之具體說明，惟該實施例並非用以限制本創作之專利範圍，凡未脫離本創作技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍中。

10:底座 11:支撐座 12:電源線 13:平台 14:保溫桶下部 15:座部 16:加熱器支架 17:保溫桶上部 18:管部 19:加熱器結構 20:晶舟本體 21:檔片 22:晶圓 23:外罩 30:容置槽 31:頂端開口 32:容置空間 33:層板 34:溝槽 35:加熱線圈 36:蓋體 40:支撐件 90:晶舟裝置 91:晶舟本體 92:檔片 93:晶圓 94:加熱器結構 95:基座 96:底座 97:柱體 98:電源線

第1圖為習用晶舟裝置之立體組合視圖；第2圖為本創作旋轉裝置第一實施例之立體組合視圖；第3圖為第2圖之立體分解視圖；第4圖表示該旋轉裝置旋轉時不相互干涉的動作示意圖；第5圖為本創作應用上述旋轉裝置之晶舟裝置第一實施例之立體組合視圖；第6圖為第5圖部分構件之剖面視圖；第7圖為為第5圖之剖面視圖；第8圖為本創作旋轉裝置第二實施例之立體分解視圖；第9圖為本創作旋轉裝置第三實施例之剖面視圖；第10圖為本創作加熱器結構第一實施例之立體示意圖；以及第11圖為加熱器結構第二實施例之立體示意圖。

10:底座

11:支撐座

13:平台

14:保溫桶下部

15:座部

16:加熱器支架

17:保溫桶上部

18:管部

19:加熱器結構

20:晶舟本體

21:檔片

22:晶圓

23:外罩

Claims

一種旋轉裝置，至少包括：一底座(10)；一固設於該底座(10)正上方的支撐座(11)；一固設於該支撐座(11)正上方的平台(13)；一固設於該平台(13)正上方的保溫桶下部(14)，該保溫桶下部(14)具有一形成法蘭座結構中的座部(15)；一設置於該平台(13)正上方且套接於該座部(15)上的加熱器支架(16)；一保溫桶上部(17)，該保溫桶上部(17)具有一形成法蘭座結構中的管部(18)，該管部(18)以能夠相對轉動方式套接於該座部(15)上；以及一加熱器結構(19)者；其中該加熱器支架(16)係由至少一支撐件(40)所支撐，其中該支撐件(40)一端接設於該加熱器支架(16)，另一端則接設於該底座(10)上。
如請求項1所述之旋轉裝置，其中該加熱器結構(19)係設置於該保溫桶上部(17)與該加熱器支架(16)之間。
如請求項1所述之旋轉裝置，其中該加熱器結構(19)係設置於該平台(13)與該支撐座(11)之間。
如請求項1所述之旋轉裝置，其中該加熱器結構(19)包含：一容置槽(30)，其具有一頂端開口(31)及一容置空間(32)；一設於該容置槽(30)上方並被容置於該容置空間(32)內的層板(33)，該層板(33)頂面設有一溝槽(34)；一被容置於該溝槽(34)內部的加熱線圈(35)，該加熱線圈(35)更電性連接至一電源線(12)。
如請求項4所述之旋轉裝置，其中該加熱器結構(19)更包含一可蓋合於該頂端開口(31)並封閉該容置空間(32)的蓋體(36)。
如請求項1所述之旋轉裝置，其中該加熱器結構(19)係為一同心圓態樣。
如請求項1所述之旋轉裝置，其中該加熱器結構(19)係為八邊形或花瓣形態樣。
如請求項1所述之旋轉裝置，其中該支撐件(40)可為至少一柱體，較佳者為四個柱體。
一種旋轉裝置，包括：一底座(10)；一固設於該底座(10)正上方的支撐座(11)；一固設於該支撐座(11)正上方的保溫桶下部(14)，該保溫桶下部(14)具有一形成法蘭座結構中的座部(15)；一保溫桶上部(17)，該保溫桶上部(17)具有一形成法蘭座結構中的管部(18)，該管部(18)以能夠相對轉動方式套接於該座部(15)上；一套設於該支撐座(11)及該保溫桶外圍的加熱器支架(16)；一被該加熱器支架(16)所支撐的加熱器結構(19)；以及一安裝於該加熱器結構(19)上的加熱線圈(35)，該加熱線圈(35)更電性連接至一電源線(12)，藉以連接外電；其中該加熱器支架(16)、該加熱器結構(19)及該加熱線圈(35)分別設有一直徑稍大於該支撐座(11)外徑的中央通孔，以容許該支撐座(11)以可自由轉動方式穿過該加熱器支架(16)、該加熱器結構(19)及該加熱線圈(35)者；其中該加熱器支架(16)一端設置於該保溫桶上部(17)，另一端則接設於該底座(10)之上方。
一種晶舟裝置，至少包括：一晶舟本體(20)；至少一個設置於該晶舟本體(20)上的檔片(21)；數個被疊層放置於該晶舟本體(20)內的晶圓(22)；以及一如請求項1所述之旋轉裝置，該旋轉裝置中的保溫桶上部(17)用以連接及支持該晶舟本體(20)，藉以帶動該晶舟本體(20)轉動者。
如請求項10所述之晶舟裝置，更包括有一完全罩住該晶舟本體(20)的外罩(23)。
如請求項11所述之晶舟裝置，其中該外罩(23)係使用高熱傳導率材料所製成。
一種晶舟裝置，至少包括：一晶舟本體(20)；至少一個設置於該晶舟本體(20)上的檔片(21)；數個被疊層放置於該晶舟本體(20)內的晶圓(22)；以及一如請求項9所述之旋轉裝置，該旋轉裝置係接設於該支撐座(11)上方，且該旋轉裝置之外圍係為該加熱器支架(16)，且該加熱器支架(16)係用以連接及支持該晶舟本體(20)，藉以帶動該晶舟本體(20)轉動者。
如請求項13所述之晶舟裝置，更包括有一完全罩住該晶舟本體(20)的外罩(23)，其中該外罩(23)係使用高熱傳導率材料所製成。