TWM582937U - 多功能換蓋模組 - Google Patents

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魯建國
彭啟元
葉啟達
張紹賜
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帆宣系統科技股份有限公司
張紹賜
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Abstract

一種多功能換蓋模組包含有一旋蓋模組支撐器以及至少一旋蓋模組。旋蓋模組安裝於旋蓋模組支撐器，而旋蓋模組包含有一第一旋蓋裝置以及一第二旋蓋裝置。第一旋蓋裝置用以開啟至少一化學桶之一密封蓋，並由化學桶抽取一化學液體，而第二旋蓋裝置用以開啟化學桶之另一密封蓋，並讓化學液體回流至化學桶。

Description

多功能換蓋模組
本新型係有關於一種換蓋模組。特別是有關於一種多功能換蓋模組。
隨著近年來國內外半導體市場因電腦及其週邊產品材料之需求而蓬勃發展，半導體產業亦不斷的持續擴展，更替國家創造了大量的外匯收入。
半導體元件的製作流程非常複雜，所涉及的技術幾乎含蓋所有人類近代科學發展上最重要且關鍵的科技與新型。因此，半導體元件的生產不但是一項尖端科技的產業，也是一項需要龐大資金，以維持發展的需求。
然而，由於半導體元件的設計日趨複雜，因此半導體元件製造技術愈趨精密與複雜化，所潛在的職業危害與財產損失也愈來愈複雜，舉凡半導體製程中的磊晶、擴散、離子植入、化學氣相沈積、蝕刻和微影等製程單元所常使用的化學品，雖然儲存量與使用量皆遠小於化學或石化工業所處理與使用量，但是由於具有著火性、可燃性、毒性、腐蝕性等特性，一旦發生洩漏或操作異常，亦造成人員傷亡，甚至可能造成重大財產損失。
在半導體工廠，化學液體以化學儲存桶儲存，使用時接上工廠中的供應線路。當化學液體使用完畢，則需進行化學儲存桶的更換。
如何能方便地進行化學儲存桶的更換，將有助於提升半導體廠工作的安全性，更有助於提升半導體廠的整體產能。
新型內容旨在提供本揭示內容的簡化摘要，以使閱讀者對本揭示內容具備基本的理解。此新型內容並非本揭示內容的完整概述，且其用意並非在指出本新型實施例的重要/關鍵元件或界定本新型的範圍。
本新型內容之一目的是在提供一種多功能換蓋模組，可以方便地進行化學儲存桶的更換，提升更換化學儲存桶的安全性與便利性。
為達上述目的，本新型內容之一技術態樣係關於一種多功能換蓋模組包含有一旋蓋模組支撐器以及至少一旋蓋模組。旋蓋模組安裝於旋蓋模組支撐器，而旋蓋模組包含有一第一旋蓋裝置以及一第二旋蓋裝置。
第一旋蓋裝置用以開啟至少一化學桶之一密封蓋，並由化學桶抽取一化學液體，而第二旋蓋裝置用以開啟化學桶之另一密封蓋，並讓化學液體回流至化學桶。
在一些實施例中，旋蓋模組支撐器包含有一水平移動模組，以使旋蓋模組在複數個化學桶之間移動，並對準其中之一。
在一些實施例中，旋蓋模組的數量為複數個，且分別對應於複數個化學桶，以分別抽取化學桶中的化學液體。
在一些實施例中，多功能換蓋模組更包含有一化學桶容置裝置，化學桶容置裝置包含有一支撐架以容置化學桶，且旋蓋模組支撐器設置於支撐架之上方。
在一些實施例中，旋蓋模組更包含有一基板以及一旋蓋模組中心柱連接於基板，其中第一旋蓋裝置以及第二旋蓋裝置可移動地安裝於基板之上。
在一些實施例中，旋蓋模組中心柱包含有一通風管道，以將化學桶所揮發的化學氣體抽離旋蓋模組。
在一些實施例中，第一旋蓋裝置包含有一旋蓋器、一液體抽取器以及一光學偵測器，其中光學偵測器用以偵測化學桶之密封蓋位置以使旋蓋器對準密封蓋，並利用旋蓋器開啟密封蓋，進而以液體抽取器抽取化學液體。
在一些實施例中，第二旋蓋裝置包含有一旋蓋器、一液體回流器以及一光學偵測器，其中第二旋蓋裝置的光學偵測器用以偵測化學桶之另一密封蓋位置，以使第二旋蓋裝置的旋蓋器對準另一密封蓋，並利用第二旋蓋裝置的旋蓋器開啟另一密封蓋，進而利用液體回流器讓化學液體回流至化學桶。
在一些實施例中，多功能換蓋模組更包含有一固定板、一上下移動裝置以及一水平移動裝置。上下移動裝置連接於固定板與第一旋蓋裝置或第二旋蓋裝置之間，用以上下移動第一旋蓋裝置或第二旋蓋裝置，水平移動裝置連接 於固定板與基板之間，以使第一旋蓋裝置或第二旋蓋裝置水平移動。
在一些實施例中，多功能換蓋模組更包含有一隔離板以及一彈性隔離罩，彈性隔離罩連接隔離板以及基板，以隔離化學桶所揮發的化學氣體。
綜上所述，多功能換蓋模組可以安全與可靠地被配置在現有的化學桶容置裝置的上方，以使用化學桶中的化學液體。多功能換蓋模組亦可以設置於專屬的化學桶容置裝置之中，以使用化學桶中的化學液體。此外，多功能換蓋模組更可以利用單一旋蓋模組進行複數個化學桶的液體抽取與回流，或者複數個旋蓋模組同時進行複數個化學桶的液體抽取與回流，其均不脫離本新型的精神與範圍。
100‧‧‧多功能換蓋模組
110‧‧‧旋蓋模組
112‧‧‧密封壁
120‧‧‧旋蓋模組
130‧‧‧旋蓋模組支撐器
210‧‧‧旋蓋模組
230‧‧‧旋蓋模組支撐器
300‧‧‧旋蓋模組
310‧‧‧旋蓋模組中心柱
320‧‧‧第一旋蓋裝置
322‧‧‧旋蓋器
324‧‧‧液體抽取器
326‧‧‧光學偵測器
328‧‧‧液體輸送管
330‧‧‧第二旋蓋裝置
332‧‧‧旋蓋器
334‧‧‧液體回流器
336‧‧‧光學偵測器
338‧‧‧液體輸送管
340‧‧‧通風管道
342‧‧‧吸風口
346‧‧‧排風口
350‧‧‧隔離板
360‧‧‧基板
370‧‧‧彈性隔離罩
380‧‧‧上下移動裝置
385‧‧‧水平移動裝置
390‧‧‧固定板
500‧‧‧化學桶容置裝置
510‧‧‧支撐架
520‧‧‧化學桶
522‧‧‧密封蓋
524‧‧‧密封蓋
530‧‧‧化學桶
532‧‧‧密封蓋
534‧‧‧密封蓋
為讓本揭露之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖是依照本新型一實施例所繪示的一種多功能換蓋模組之示意圖。
第2圖是依照本新型另一實施例所繪示的一種多功能換蓋模組之示意圖。
第3圖是依照本新型一實施例所繪示的一種多功能換蓋模組的旋蓋模組之示意圖。
下文係舉實施例配合所附圖式進行詳細說明， 但所提供之實施例並非用以限制本揭露所涵蓋的範圍，而結構運作之描述非用以限制其執行之順序，任何由元件重新組合之結構，所產生具有均等功效的裝置，皆為本揭露所涵蓋的範圍。另外，圖式僅以說明為目的，並未依照原尺寸作圖。為使便於理解，下述說明中相同元件或相似元件將以相同之符號標示來說明。
另外，在全篇說明書與申請專利範圍所使用之用詞(terms)，除有特別註明外，通常具有每個用詞使用在此領域中、在此揭露之內容中與特殊內容中的平常意義。某些用以描述本揭露之用詞將於下或在此說明書的別處討論，以提供本領域技術人員在有關本揭露之描述上額外的引導。
於實施方式與申請專利範圍中，除非內文中對於冠詞有所特別限定，否則『一』與『該』可泛指單一個或複數個。而步驟中所使用之編號僅係用來標示步驟以便於說明，而非用來限制前後順序及實施方式。
其次，在本文中所使用的用詞『包含』、『包括』、『具有』、『含有』等等，均為開放性的用語，即意指包含但不限於。
參閱第1圖，其是依照本新型一實施例所繪示的一種多功能換蓋模組之示意圖。第2圖是依照本新型另一實施例所繪示的一種多功能換蓋模組之示意圖。而第3圖則是多功能換蓋模組的旋蓋模組之示意圖。
首先參閱第1圖，如圖中所示，多功能換蓋模組100包含有一旋蓋模組支撐器130、一旋蓋模組110以及另一 旋蓋模組120。旋蓋模組110以及另一旋蓋模組120安裝於旋蓋模組支撐器130的下方，而旋蓋模組支撐器130則安裝於化學桶容置裝置500的上方。化學桶容置裝置500包含有一支撐架510，以容置至少一化學桶，例如是化學桶520以及化學桶530，且旋蓋模組支撐器130可以外加的方式設置於支撐架510之上方。
進一步參閱第3圖，如圖中所示，旋蓋模組300，其可以應用於第1圖中的旋蓋模組110及旋蓋模組120，旋蓋模組300包含有一組以上的旋蓋裝置，例如圖中所示的第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330，其中，第一旋蓋裝置320可以開啟化學桶530之密封蓋532，並由化學桶530抽取化學液體，而第二旋蓋裝置330則可以開啟化學桶530之另一密封蓋534，並讓化學液體回流至化學桶530，以提供廠房中生產製程所需的化學液體。
此外，旋蓋模組300更包含有一基板360以及一旋蓋模組中心柱310連接於基板360，其中第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330均可移動地安裝於基板360之上。
在一些實施例中，多功能換蓋模組100更包含有一固定板390、一上下移動裝置380以及一水平移動裝置385。上下移動裝置380，例如是一汽缸或一液壓缸，連接於固定板390與第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330之間，用以上下移動第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330，而水平移動裝置385則設置於固定板390與基板360之間，以使第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330可以進行水平移動。
在一些實施例中，第一旋蓋裝置320包含有一旋 蓋器322、一液體抽取器324、一光學偵測器326以及一液體輸送管328。其中，光學偵測器326用以偵測化學桶530之密封蓋532的位置，以使旋蓋器322可以準確地對準密封蓋532，並利用旋蓋器322開啟密封蓋532，接著移動液體抽取器324至密封蓋532的位置並加以密合，進而以液體抽取器324抽取化學液體，然後經由液體輸送管328傳送至廠房中的機台中使用。
在一些實施例中，第二旋蓋裝置330，包含一旋蓋器332、一液體回流器334、一光學偵測器336以及一液體輸送管338。其中，第二旋蓋裝置330的光學偵測器336可以偵測化學桶530之另一密封蓋534位置，以使第二旋蓋裝置330的旋蓋器332對準另一密封蓋534，然後利用第二旋蓋裝置330的旋蓋器332開啟密封蓋534，接著移動液體回流器334至密封蓋534的位置，並加以密合，進而利用液體回流器334讓化學液體回流至化學桶530之中。
在一些實施例中，第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330使用相同或近似之兩組元件，以進行化學液體的抽取與回流，然本新型並不限定於此，第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330亦可採用不同結構的兩組元件，以進行化學液體的抽取與回流，其亦不脫離本新型的精神與範圍。
在一些實施例中，旋蓋器322與液體抽取器324，分別具有獨立的上下移動裝置380，以分別控制旋蓋器322與液體抽取器324的上下移動。此外，旋蓋器332與液體回流器334，亦分別具有獨立的上下移動裝置380，以分別控制旋蓋器332與液體回流器334的上下移動。
在一些實施例中，多功能換蓋模組100更包含有一隔離板350以及一彈性隔離罩370。隔離板350具有開口以分別讓旋蓋器322與液體抽取器324，或旋蓋器332與液體回流器334穿過。彈性隔離罩370連接隔離板350以及基板360，以避免化學桶530所揮發的化學氣體直接接觸旋蓋模組300的內部元件，以致於造成腐蝕或污染。其中，第一旋蓋裝置320的隔離板350與第二旋蓋裝置330的隔離板350具有相同的形狀與功能，在此並未繪示，以便於露出其中的元件。
在一些實施例中，同時參閱第1圖，多功能換蓋模組100利用基板360、隔離板350以及彈性隔離罩370有效地將揮發的化學氣體與多功能換蓋模組100的旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件隔離，進而增加多功能換蓋模組100使用上的安全性與穩定性。此外，旋蓋模組110更設置有密封壁112，其連接基板360以避免揮發的化學氣體與多功能換蓋模組100的旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件接觸，進而增加多功能換蓋模組100使用上的安全性與穩定性。而旋蓋模組120在此並未繪示密封壁，以露出內部元件，便於說明與瞭解旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件。
在一些實施例中，旋蓋模組中心柱310中包含有一通風管道340，其包含有一吸風口342位於基板360之中，以及一排風口346連接於外部的排風裝置，以將化學桶520及化學桶530所揮發的化學氣體抽離旋蓋模組300，以避免造成污染與腐蝕，並提升多功能換蓋模組100的使用壽命。
在一些實施例中，旋蓋模組中心柱310可以進行旋轉，以便於第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330的定位以 及開蓋，進而抽取與回流化學液體。
參閱第2圖，如圖中所示，多功能換蓋模組200利用單一的旋蓋模組210，並藉由旋蓋模組支撐器230中所設置的一水平移動模組，以使旋蓋模組210可在複數個化學桶之間移動，例如是化學桶520以及化學桶530，並對準其中之一，以進行所需的化學液體抽取與回流。相較於第1圖之多功能換蓋模組100，多功能換蓋模組100則採取多個旋蓋模組分別連接多個化學桶，以分別抽取與回流所需的化學液體。多功能換蓋模組200則採取單一旋蓋模組，選擇連接多個化學桶其中之一，以抽取與回流所需的化學液體。
綜上所述，多功能換蓋模組可以安全與可靠地被配置在現有的化學桶容置裝置的上方，以使用化學桶中的化學液體。多功能換蓋模組亦可以設置於專屬的化學桶容置裝置之中，以使用化學桶中的化學液體，其均不脫離本新型的精神與保護範圍。此外，多功能換蓋模組更可以利用單一旋蓋模組進行複數個化學桶的液體抽取與回流，或者複數個旋蓋模組同時進行複數個化學桶的液體抽取與回流，其均不脫離本新型的精神與範圍。
雖然本揭露已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何本領域具通常知識者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (10)

  1. 一種多功能換蓋模組，包含：一旋蓋模組支撐器；以及至少一旋蓋模組，安裝於該旋蓋模組支撐器，其中該旋蓋模組，包含：一第一旋蓋裝置，以開啟至少一化學桶之一密封蓋，並由該化學桶抽取一化學液體；以及一第二旋蓋裝置，以開啟該化學桶之另一密封蓋，並讓該化學液體回流至該化學桶。
  2. 如請求項1所述之多功能換蓋模組，其中該旋蓋模組支撐器包含一水平移動模組，以使該旋蓋模組在複數個化學桶之間移動，並對準其中之一。
  3. 如請求項1所述之多功能換蓋模組，其中該至少一旋蓋模組的數量為複數個，分別對應於複數個化學桶，以分別抽取該些化學桶中的化學液體。
  4. 如請求項1所述之多功能換蓋模組，更包含一化學桶容置裝置，該化學桶容置裝置包含一支撐架，以容置該至少一化學桶，且該旋蓋模組支撐器設置於該支撐架之上方。
  5. 如請求項1所述之多功能換蓋模組，其中該旋蓋模組，更包含： 一基板；以及一旋蓋模組中心柱連接於該基板，其中該第一旋蓋裝置以及該第二旋蓋裝置可移動地安裝於該基板之上。
  6. 如請求項5所述之多功能換蓋模組，其中該旋蓋模組中心柱包含一通風管道，以將該至少一化學桶所揮發的化學氣體抽離該旋蓋模組。
  7. 如請求項6所述之多功能換蓋模組，其中該第一旋蓋裝置，包含一旋蓋器、一液體抽取器以及一光學偵測器，其中該光學偵測器用以偵測該化學桶之該密封蓋位置以使該旋蓋器對準該密封蓋，並利用該旋蓋器開啟該密封蓋，進而以該液體抽取器抽取該化學液體。
  8. 如請求項7所述之多功能換蓋模組，其中該第二旋蓋裝置，包含一旋蓋器、一液體回流器以及一光學偵測器，其中該第二旋蓋裝置的該光學偵測器用以偵測該化學桶之該另一密封蓋位置，以使該第二旋蓋裝置的該旋蓋器對準該另一密封蓋，並利用該第二旋蓋裝置的該旋蓋器開啟該另一密封蓋，進而利用該液體回流器讓該化學液體回流至該化學桶。
  9. 如請求項5所述之多功能換蓋模組，更包含：一固定板； 一上下移動裝置，連接於該固定板與該第一旋蓋裝置或該第二旋蓋裝置之間，用以上下移動該第一旋蓋裝置或該第二旋蓋裝置；以及一水平移動裝置，連接於該固定板與該基板之間，以使該第一旋蓋裝置或第二旋蓋裝置水平移動。
  10. 如請求項9所述之多功能換蓋模組，更包含：一隔離板；以及一彈性隔離罩，連接於該隔離板以及該基板，以隔離該化學桶所揮發的化學氣體。
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